JP2003106956A - 試料切削面作成方法及びその装置 - Google Patents
試料切削面作成方法及びその装置Info
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- JP2003106956A JP2003106956A JP2001299793A JP2001299793A JP2003106956A JP 2003106956 A JP2003106956 A JP 2003106956A JP 2001299793 A JP2001299793 A JP 2001299793A JP 2001299793 A JP2001299793 A JP 2001299793A JP 2003106956 A JP2003106956 A JP 2003106956A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 試料の切断に際し、ブレードの刃こぼれ等が
無く、しかもカッタの旋回軸の振動、カッタによる試料
の切断による試料の振動等の影響も無く、切削面の撮影
が正確に、しかも余裕を持って行うことができる。 【解決手段】 試料の表層部を切れ刃により切削し、そ
の都度切削面の情報を記録するようになした試料切削面
作成方法において、回転している切れ刃の回転面に対し
平行な直線上に、試料を試料ホルダに取付け、取外しを
行う第１の位置と、試料の表層部を切削する第２の位置
と、切削面を写真撮影等により記録する第３の位置とを
設け、直線上の第１ないし第３の位置間を試料ホルダに
取付けた試料或いは切れ刃の内のいずれか一方を移動さ
せることにより試料切削面を作成する。
無く、しかもカッタの旋回軸の振動、カッタによる試料
の切断による試料の振動等の影響も無く、切削面の撮影
が正確に、しかも余裕を持って行うことができる。 【解決手段】 試料の表層部を切れ刃により切削し、そ
の都度切削面の情報を記録するようになした試料切削面
作成方法において、回転している切れ刃の回転面に対し
平行な直線上に、試料を試料ホルダに取付け、取外しを
行う第１の位置と、試料の表層部を切削する第２の位置
と、切削面を写真撮影等により記録する第３の位置とを
設け、直線上の第１ないし第３の位置間を試料ホルダに
取付けた試料或いは切れ刃の内のいずれか一方を移動さ
せることにより試料切削面を作成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は試料の表層部を切れ
刃により切削し、その都度切削面の情報を記録するよう
にした試料切削面作成方法及びその装置に関する。
刃により切削し、その都度切削面の情報を記録するよう
にした試料切削面作成方法及びその装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図４により従来の試料切削面作成装置に
ついて説明すると、図４（イ）に示すように加工室１は
略楕円形状をし、加工室１内には旋回式のカッタ２が収
容されている。カッタ２はカッタブレード３、クランプ
４、ブレードホルダ５及び旋回軸６等から構成されてい
る。カッタブレード３はクランプ４を介してブレードホ
ルダ５の先端に取付けられ、ブレードホルダ５は図示し
てない駆動装置により回転する旋回軸６上端に旋回軸６
に対して垂直な平面内に取付けられ、旋回軸６の周りを
加工室の側壁７の内面に沿って旋回する。
ついて説明すると、図４（イ）に示すように加工室１は
略楕円形状をし、加工室１内には旋回式のカッタ２が収
容されている。カッタ２はカッタブレード３、クランプ
４、ブレードホルダ５及び旋回軸６等から構成されてい
る。カッタブレード３はクランプ４を介してブレードホ
ルダ５の先端に取付けられ、ブレードホルダ５は図示し
てない駆動装置により回転する旋回軸６上端に旋回軸６
に対して垂直な平面内に取付けられ、旋回軸６の周りを
加工室の側壁７の内面に沿って旋回する。
【０００３】加工室１の底部には図４（ロ）に示すよう
に開口部８が形成されており、この開口部８の下部には
試料９を保持する試料ホルダ１０が取付けてあり、試料
ホルダ１０上の試料９を図示してないアクチュエータに
より開口部８を通過させて所定量づつ加工室１内に押上
げるようにしてある。
に開口部８が形成されており、この開口部８の下部には
試料９を保持する試料ホルダ１０が取付けてあり、試料
ホルダ１０上の試料９を図示してないアクチュエータに
より開口部８を通過させて所定量づつ加工室１内に押上
げるようにしてある。
【０００４】加工室１の天井部１１の試料９に当たる上
部には、カッタ２により試料９の表面ａが薄切りされ、
切削面が更新される度に同切削面を撮影する撮影装置１
２が配設されている。
部には、カッタ２により試料９の表面ａが薄切りされ、
切削面が更新される度に同切削面を撮影する撮影装置１
２が配設されている。
【０００５】カッタ２の旋回軌道の加工室下側底部には
図４（ハ）に示すように開口部１３が設けてあり、同開
口部１３の下側にはカッタ２による薄切りされた試料９
の切屑を回収する図示しない切り屑回収装置が設けてあ
る。
図４（ハ）に示すように開口部１３が設けてあり、同開
口部１３の下側にはカッタ２による薄切りされた試料９
の切屑を回収する図示しない切り屑回収装置が設けてあ
る。
【０００６】以上のように構成されており、次にその作
用動作を説明すると、試料ホルダ１０の上の試料９はカ
ッタ２の旋回運動に同期させて一回当たり数μm〜数十
μmづつ加工室１内に押上げられ、カッタ２の旋回によ
り薄切りされる。試料９の薄切りによって発生した切屑
はカッタ２の旋回運動により開口部１３まで運ばれ、開
口部１３内へ落下し、回収される。
用動作を説明すると、試料ホルダ１０の上の試料９はカ
ッタ２の旋回運動に同期させて一回当たり数μm〜数十
μmづつ加工室１内に押上げられ、カッタ２の旋回によ
り薄切りされる。試料９の薄切りによって発生した切屑
はカッタ２の旋回運動により開口部１３まで運ばれ、開
口部１３内へ落下し、回収される。
【０００７】
【発明が解決しょうとする課題】しかしながら、カッタ
と試料の相対位置は常に一定のため、カッタブレードは
何時も硬度の高い試料を同一個所で切断することにな
り、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生するととも
に、切削面はカッタの旋回軸の振動等によるブレの影響
がでることもある。またカッタの旋回速度を速くした場
合、カッタブレードが試料の上に無い間に試料の切削面
を撮影しなくてはならないのでその同期が難しいととも
に、試料の連続的な切断は切断により生じた試料自身の
振動が納まらない内に切削面の撮影をするため倍率の高
い撮影においては切削面がブレて情報が正確に写すこと
が出来ないという欠点があった。
と試料の相対位置は常に一定のため、カッタブレードは
何時も硬度の高い試料を同一個所で切断することにな
り、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生するととも
に、切削面はカッタの旋回軸の振動等によるブレの影響
がでることもある。またカッタの旋回速度を速くした場
合、カッタブレードが試料の上に無い間に試料の切削面
を撮影しなくてはならないのでその同期が難しいととも
に、試料の連続的な切断は切断により生じた試料自身の
振動が納まらない内に切削面の撮影をするため倍率の高
い撮影においては切削面がブレて情報が正確に写すこと
が出来ないという欠点があった。
【０００８】本発明の目的は、従来装置に有るカッタブ
レードが何時も硬度の高い試料を同一個所で切断するこ
とになり、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生する
という欠点、及びカッタの旋回速度を速くした場合、試
料の切削面の撮影に時間的な余裕が無く、倍率の高い撮
影においては試料の切断により生じた試料自身の振動に
よるブレのため、或いはカッタ旋回軸の振動等の影響に
より情報が正確に得られないという欠点を取除き、試料
の切断に際し、ブレードの刃こぼれ等が無く、しかもカ
ッタ旋回軸の振動等の影響も無く、切削面の撮影を余裕
を持って行うことができる試料切削面作成方法及びその
装置を提供することに有る。
レードが何時も硬度の高い試料を同一個所で切断するこ
とになり、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生する
という欠点、及びカッタの旋回速度を速くした場合、試
料の切削面の撮影に時間的な余裕が無く、倍率の高い撮
影においては試料の切断により生じた試料自身の振動に
よるブレのため、或いはカッタ旋回軸の振動等の影響に
より情報が正確に得られないという欠点を取除き、試料
の切断に際し、ブレードの刃こぼれ等が無く、しかもカ
ッタ旋回軸の振動等の影響も無く、切削面の撮影を余裕
を持って行うことができる試料切削面作成方法及びその
装置を提供することに有る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述の目的を達成するた
め本発明は試料の表層部を切れ刃により切削し、その都
度切削面の情報を記録するようにした試料切削面作成方
法において、回転している前記切れ刃の回転面に対し平
行な直線上に、前記試料の試料ホルダへの着脱を行う第
１の位置と、前記試料の表層部を切削する第２の位置
と、前記切削面を撮影により記録する第３の位置とを設
け、前記直線上の第１ないし第３の位置間を前記試料ホ
ルダに取付けた試料或いは前記切れ刃の内のいずれか一
方を移動させることにより試料切削面を作成する方法と
した。
め本発明は試料の表層部を切れ刃により切削し、その都
度切削面の情報を記録するようにした試料切削面作成方
法において、回転している前記切れ刃の回転面に対し平
行な直線上に、前記試料の試料ホルダへの着脱を行う第
１の位置と、前記試料の表層部を切削する第２の位置
と、前記切削面を撮影により記録する第３の位置とを設
け、前記直線上の第１ないし第３の位置間を前記試料ホ
ルダに取付けた試料或いは前記切れ刃の内のいずれか一
方を移動させることにより試料切削面を作成する方法と
した。
【００１０】また前記第２の位置における試料の切削は
複数回行い、進退動作毎に試料の切削を行うようにすれ
ばより好適な試料切削面を作成することができる。
複数回行い、進退動作毎に試料の切削を行うようにすれ
ばより好適な試料切削面を作成することができる。
【００１１】さらにまた、試料の表層部を切れ刃により
切削し、その都度切削面の情報を記録するようにした試
料切削面作成装置において、前記試料を取付ける試料ホ
ルダと、回転する前記切れ刃を有する切削手段と、回転
する切れ刃面に対し平行な直線状に伸び、前記試料ホル
ダの第１ないし第３の位置間の移動を案内するガイド
と、前記試料ホルダに螺合し、回転により試料ホルダを
移動させるネジ軸と、前記ガイド上の第３の位置にあ
り、第２の位置で切削された切削面の情報を記録する情
報記録手段とを有して成る装置とした。
切削し、その都度切削面の情報を記録するようにした試
料切削面作成装置において、前記試料を取付ける試料ホ
ルダと、回転する前記切れ刃を有する切削手段と、回転
する切れ刃面に対し平行な直線状に伸び、前記試料ホル
ダの第１ないし第３の位置間の移動を案内するガイド
と、前記試料ホルダに螺合し、回転により試料ホルダを
移動させるネジ軸と、前記ガイド上の第３の位置にあ
り、第２の位置で切削された切削面の情報を記録する情
報記録手段とを有して成る装置とした。
【００１２】また、この装置のガイドはＶ−Ｖ型溝或い
はＶ−Ｖ型ころがり案内とし、ネジ軸はボールネジで、
しかも切削手段の切れ刃を回転させるスピンドルは空気
静圧軸受であればより好適である。
はＶ−Ｖ型ころがり案内とし、ネジ軸はボールネジで、
しかも切削手段の切れ刃を回転させるスピンドルは空気
静圧軸受であればより好適である。
【００１３】この発明により、ブレードの刃こぼれ、ブ
レードを回転させるスピンドルは空気静圧軸受としたの
で振動等が無く、しかも切削位置と撮影位置が離れてい
て、切削による試料の振動も納まってから切削面の撮影
を行うため、切削面のブレもなく、更に時間的余裕も有
るので切削面の情報を十分に得ることができる。
レードを回転させるスピンドルは空気静圧軸受としたの
で振動等が無く、しかも切削位置と撮影位置が離れてい
て、切削による試料の振動も納まってから切削面の撮影
を行うため、切削面のブレもなく、更に時間的余裕も有
るので切削面の情報を十分に得ることができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態を図１な
いし図３を用いて説明する。図１は本発明の試料切削面
作成装置の実施の形態を示す全体概略図であり、図２は
図１の１−１断面図である。図１において２本の平行に
伸びるガイドとしてのリニアガイド２４上には、凍結の
いらない比較的硬度のある金属材料などの試料２１を取
り付けた試料ホルダ２０が、図１において上下方向に移
動可能に取り付けられている。試料ホルダ２０の図２に
おいて下部には、リニアガイド２４と平行に設けられた
ネジ軸２６が螺合されている。ネジ軸２６は、モータ２
７により正逆回転し、試料２１の試料ホルダ２０への着
脱を行う第１の位置Ａ、試料２１の表層面ａの切削を行
う第２の位置Ｂ及び切削面ｂの情報を記録撮影する第３
の位置Ｃを進退移動するようになっている。
いし図３を用いて説明する。図１は本発明の試料切削面
作成装置の実施の形態を示す全体概略図であり、図２は
図１の１−１断面図である。図１において２本の平行に
伸びるガイドとしてのリニアガイド２４上には、凍結の
いらない比較的硬度のある金属材料などの試料２１を取
り付けた試料ホルダ２０が、図１において上下方向に移
動可能に取り付けられている。試料ホルダ２０の図２に
おいて下部には、リニアガイド２４と平行に設けられた
ネジ軸２６が螺合されている。ネジ軸２６は、モータ２
７により正逆回転し、試料２１の試料ホルダ２０への着
脱を行う第１の位置Ａ、試料２１の表層面ａの切削を行
う第２の位置Ｂ及び切削面ｂの情報を記録撮影する第３
の位置Ｃを進退移動するようになっている。
【００１５】また、リニアガイド２４上の第２の位置Ｂ
に対して垂直方向には、試料２１の表層面ａを切れ刃２
３の回転により切削する切削手段としての切削装置２２
が矢印ｄの方向に進退移動可能に取り付けられている。
切削装置２２は、スピンドル２９の回転により切れ刃２
３が回転するようになっており、同スピンドル２９と軸
受の間に形成された空隙部３０に圧搾空気が送り込まれ
る空気静圧軸受構造となっている。
に対して垂直方向には、試料２１の表層面ａを切れ刃２
３の回転により切削する切削手段としての切削装置２２
が矢印ｄの方向に進退移動可能に取り付けられている。
切削装置２２は、スピンドル２９の回転により切れ刃２
３が回転するようになっており、同スピンドル２９と軸
受の間に形成された空隙部３０に圧搾空気が送り込まれ
る空気静圧軸受構造となっている。
【００１６】さらにまた、リニアガイド２４上の第３の
位置Ｃに対して垂直方向には、切れ刃２３によって切削
された試料２１の切削面ｂを記録撮影する情報記録手段
としてのＣＣＤカメラ２５が設けられている。
位置Ｃに対して垂直方向には、切れ刃２３によって切削
された試料２１の切削面ｂを記録撮影する情報記録手段
としてのＣＣＤカメラ２５が設けられている。
【００１７】また、図３はリニアガイド２４の代わりに
図３（イ）に示すＶ−Ｖ型溝２８と図３（ロ）に示すＶ
−Ｖ型ころがり案内３１を用いた際の断面図である。Ｖ
−Ｖ型溝２８は、そのＶ溝部分に図示しない油溝から油
が供給されることにより試料ホルダ２０と接地面との摩
擦が抑えられ試料ホルダ２０が滑らかに移動することが
可能な構造となっている。また、Ｖ−Ｖ型ころがり案内
３１は、Ｖ溝部分に「ころ」が設けられ、この「ころ」
に適当な油膜やプリロードを与えることにより試料ホル
ダ２０の振動を抑え、滑らかに移動することができるよ
うになっている。
図３（イ）に示すＶ−Ｖ型溝２８と図３（ロ）に示すＶ
−Ｖ型ころがり案内３１を用いた際の断面図である。Ｖ
−Ｖ型溝２８は、そのＶ溝部分に図示しない油溝から油
が供給されることにより試料ホルダ２０と接地面との摩
擦が抑えられ試料ホルダ２０が滑らかに移動することが
可能な構造となっている。また、Ｖ−Ｖ型ころがり案内
３１は、Ｖ溝部分に「ころ」が設けられ、この「ころ」
に適当な油膜やプリロードを与えることにより試料ホル
ダ２０の振動を抑え、滑らかに移動することができるよ
うになっている。
【００１８】次に本発明の作用を説明する。第１の位置
Ａで試料２１を取付けた試料ホルダ２０ａが、モータ２
７によるネジ軸２６の回転によりリニアガイド２４上を
移動する。試料ホルダ２０が第２の位置Ｂに移動する
と、スピンドル２９の回転により切削装置２２の切れ刃
２３が回転し、試料表層面ａを切削する。試料表層面ａ
を切削した後、試料ホルダ２０は第３の位置Ｃに移動
し、第２の位置Ｂで切削された試料２１の切削面ｂをＣ
ＣＤカメラ２５により記録撮影した後、第１の位置Ａへ
戻し、試料２１を試料ホルダ２０から取外される。この
ことにより、好適な試料切削面を作成することができ、
切削面の情報を正確に得ることが可能となる。
Ａで試料２１を取付けた試料ホルダ２０ａが、モータ２
７によるネジ軸２６の回転によりリニアガイド２４上を
移動する。試料ホルダ２０が第２の位置Ｂに移動する
と、スピンドル２９の回転により切削装置２２の切れ刃
２３が回転し、試料表層面ａを切削する。試料表層面ａ
を切削した後、試料ホルダ２０は第３の位置Ｃに移動
し、第２の位置Ｂで切削された試料２１の切削面ｂをＣ
ＣＤカメラ２５により記録撮影した後、第１の位置Ａへ
戻し、試料２１を試料ホルダ２０から取外される。この
ことにより、好適な試料切削面を作成することができ、
切削面の情報を正確に得ることが可能となる。
【００１９】また、前記切削装置２２の切れ刃２３は、
表層面ａの切削を行うに際し、切削量を種々調整するこ
とが可能である。さらにまた、第２の位置Ｂにおける切
削時の移動速は速くすれば切削面が粗く、移動速度は遅
くすれば細かくすることが出来き、切削量により切削を
複数回行うことも可能であり、更に往き工程ばかりでな
く、復工程で切削作業を行う等の種々の切削方法が可能
であり、この切削工程が完了した後、第３の位置へ移動
させれば良い。
表層面ａの切削を行うに際し、切削量を種々調整するこ
とが可能である。さらにまた、第２の位置Ｂにおける切
削時の移動速は速くすれば切削面が粗く、移動速度は遅
くすれば細かくすることが出来き、切削量により切削を
複数回行うことも可能であり、更に往き工程ばかりでな
く、復工程で切削作業を行う等の種々の切削方法が可能
であり、この切削工程が完了した後、第３の位置へ移動
させれば良い。
【００２０】前述した実施の形態では、試料２１を取付
けた試料ホルダ２０を第１ないし第３の位置間を往復さ
せる例を示したが、本発明は試料ホルダ２０の移動に換
えて切削装置２２をリニアガイド２４に対して平行に移
動させて切削することも可能であり、その配置・構成も
適宜に変更可能である。
けた試料ホルダ２０を第１ないし第３の位置間を往復さ
せる例を示したが、本発明は試料ホルダ２０の移動に換
えて切削装置２２をリニアガイド２４に対して平行に移
動させて切削することも可能であり、その配置・構成も
適宜に変更可能である。
【００２１】
【発明の効果】以上説明したように本発明の試料切削面
作成方法及びその装置を用いることにより、従来装置に
有るカッタブレードが何時も試料を同一個所で切断する
ことになり、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生す
るという欠点、及びカッタの旋回速度を速くした場合、
試料の切削面の撮影に時間的な余裕が無く、倍率の高い
撮影においては試料の切断により生じた振動によるブレ
のため、或いはカッタ旋回軸の振動等の影響により切削
面の情報が正確に得られないという欠点を取除くことが
できる。また試料の切断に際し、ブレードの刃こぼれ等
が無く、しかもカッタの旋回軸の振動等の影響も無く、
切削面の撮影を余裕を持って行うことができる。
作成方法及びその装置を用いることにより、従来装置に
有るカッタブレードが何時も試料を同一個所で切断する
ことになり、刃こぼれ、或いは磨耗等による傷が発生す
るという欠点、及びカッタの旋回速度を速くした場合、
試料の切削面の撮影に時間的な余裕が無く、倍率の高い
撮影においては試料の切断により生じた振動によるブレ
のため、或いはカッタ旋回軸の振動等の影響により切削
面の情報が正確に得られないという欠点を取除くことが
できる。また試料の切断に際し、ブレードの刃こぼれ等
が無く、しかもカッタの旋回軸の振動等の影響も無く、
切削面の撮影を余裕を持って行うことができる。
【図１】本発明の実施形態例を示す試料切削面作成方法
を実施するための装置の概略全体図である。
を実施するための装置の概略全体図である。
【図２】本発明の実施形態例を示す試料切削面作成方法
を実施するための装置の概略図で、図１の１−１断面図
である。
を実施するための装置の概略図で、図１の１−１断面図
である。
【図３】（イ）は本発明の他の実施形態例を示す図で、
ガイドをＶ−Ｖ型溝にしたときの説明図、（ロ）はガイ
ドをＶ−Ｖ型ころがり案内にしたときの説明図である。
ガイドをＶ−Ｖ型溝にしたときの説明図、（ロ）はガイ
ドをＶ−Ｖ型ころがり案内にしたときの説明図である。
【図４】従来の試料切削面作成装置の説明図で、（イ）
は平面図、（ロ）は図４の２−２断面図、（ハ）は図４
の３−３断面図である。
は平面図、（ロ）は図４の２−２断面図、（ハ）は図４
の３−３断面図である。
１ 加工室
２ カッタ
３ カッタブレード
４ クランプ
５ ブレードホルダ
６ 旋回軸
７ 加工室の側壁
８ 開口部
９ 試料
１０ 試料ホルダ
１１ 天井部
１２ 撮影装置
１３ 開口部
２０ 試料ホルダ
２１ 試料
２２ 切削装置
２３ 切れ刃
２４ リニアガイド
２５ ＣＣDカメラ
２６ ネジ軸
２７ モータ
２８ Ｖ−Ｖ型溝
２９ スピンドル
３０ 空隙部
３１ Ｖ−Ｖ型ころがり案内
Claims (7)
- 【請求項１】 試料の表層部を切れ刃により切削し、そ
の都度切削面の情報を記録するようにした試料切削面作
成方法において、 回転している前記切れ刃の回転面に対し平行な直線上
に、前記試料の試料ホルダへの着脱を行う第１の位置
と、 前記試料の表層部を切削する第２の位置と、 前記切削面を撮影により記録する第３の位置とを設け、 前記直線上の第１ないし第３の位置間を前記試料ホルダ
に取付けた試料或いは前記切れ刃の内のいずれか一方を
移動させることにより試料切削面を作成することを特徴
とする試料切削面作成方法。 - 【請求項２】 前記第２の位置における試料の切削は複
数回行い、進退動作毎に試料の切削行うことを特徴とす
る請求項１に記載の試料切削面作成方法。 - 【請求項３】 試料の表層部を切れ刃により切削し、そ
の都度切削面の情報を記録するようにした試料切削面作
成装置において、 前記試料を取付ける試料ホルダと、 回転する前記切れ刃を有する切削手段と、 回転する切れ刃面に対し平行な直線状に伸び、前記試料
ホルダの第１ないし第３の位置間の移動を案内するガイ
ドと、前記試料ホルダに螺合し、回転により試料ホルダ
を移動させるネジ軸と、 前記ガイド上の第３の位置にあり、第２の位置で切削さ
れた切削面の情報を記録する情報記録手段と、 を有して成ることを特徴とする試料切削面作成装置。 - 【請求項４】 前記ガイドは、Ｖ−Ｖ型溝であることを
特徴とする請求項３に記載の試料切削面作成装置。 - 【請求項５】 前記ガイドは、Ｖ−Ｖ型ころがり案内で
あることを特徴とする請求項３に記載の試料切削面作成
装置。 - 【請求項６】 前記ネジ軸は、ボールネジであることを
特徴とする請求項３ないし請求項５の内のいずれかに記
載の試料切削面作成装置。 - 【請求項７】 前記切削手段の切れ刃を回転させるスピ
ンドルは、空気静圧軸受であることを特徴とする請求項
３ないし請求項６の内のいずれかに記載の試料切削面作
成装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001299793A JP2003106956A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 試料切削面作成方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001299793A JP2003106956A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 試料切削面作成方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003106956A true JP2003106956A (ja) | 2003-04-09 |
Family
ID=19120480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001299793A Pending JP2003106956A (ja) | 2001-09-28 | 2001-09-28 | 試料切削面作成方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003106956A (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 2001-09-28 JP JP2001299793A patent/JP2003106956A/ja active Pending
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