JP2003103770A - 液滴ジェットパターニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ノズルヘッドの傾斜回動角を調整することでノ
ズルピッチの誤差を補正可能な液滴ジェットパターニン
グ装置を提供する。 【解決手段】４節平行リンク機構４９に３つのノズルホ
ルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂを回動可能に装備し、１対
の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂの途中部に１対の回動
支点５０Ａ，５０Ｂを設け、傾斜回動用モータ８２によ
り傾斜回動させて副走査方向の吐出ピッチを調整可能に
し、多数のノズルヘッドのノズルピッチ誤差を複数段階
にランク付けしておき、前記回動手段に装着する複数の
ノズルヘッドをノズルピッチ誤差が同ランクのノズルヘ
ッドで構成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】 本発明は、液滴ジェットパ
ターニング装置に関し、特にノズルヘッドを傾斜回動さ
せて吐出ピッチを可変にし、ノズルピッチ誤差が同ラン
クの複数のノズルヘッドを装置に組み込み、ノズルピッ
チ誤差に基づいて傾斜回動角に補正を施すようにしたも
のに関する。

【０００２】

【従来の技術】 最近、種々の構造のインクジェットプ
リンタが広く実用に供され、写真と同程度に高解像度の
カラー印刷が可能なカラーのインクジェットプリンタが
普及しつつある。インクジェットプリンタでは、キャリ
ッジに複数のノズルヘッドを装備し、各ノズルヘッドに
例えば１２８個の微細なノズルを副走査方向に１又は
複数列に形成し、各ノズルからインクの液滴を吐出する
ことでドットパターンにて画像を記録する。特開平１１
−３３４０４９号公報には、この種のインクジェットプ
リンタにおいて、ノズル間ピッチ（ノズルピッチ）を可
変にして印字する為に、固定リンクに対して可動リンク
を移動させてノズルヘッドを傾斜回動させることによ
り、ノズルピッチを可変にする技術が記載されている。

【０００３】他方、近年、パーソナルコンピュータ、ワ
ープロ、複写機、ファクシミリ装置、携帯電話、種々の
携帯端末機などに、一般に液晶ディスプレイが採用さ
れ、最近ではカラーフィルターを介してカラー表示可能
なカラーの液晶ディスプレイも広く採用されている。前
記カラーフィルターは、透明膜にＲ（赤）、Ｇ（緑）、
Ｂ（青）の光３原色のフィルター画素を微細なドットパ
ターンにて規則的に形成したものであるが、このカラー
フィルターも、前記のインクジェットプリンタと同様の
液滴ジェットパターニング装置により製作することがで
きる。

【０００４】特許第３１２１２２６号公報には、前記の
カラーフィルターを製作する為の液滴ジェットパターニ
ング装置が記載されている。この装置では、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の３色の各ノズルヘッドの複数のノズルから液滴を吐出
させてガラス基板にＲ，Ｇ，Ｂのドットパターンを記録
する。そして、副走査方向に対してノズルヘッドを傾斜
させることにより、副走査方向のドットピッチ（吐出ピ
ッチ）をノズルピッチよりも適宜小さく調整して記録す
る技術も提案されている。ノズルヘッドを傾斜させた場
合に、各ノズルヘッドのＮｏ．１，Ｎｏ．２，・・・Ｎ
ｏ．Ｎのノズルから吐出するタイミングを異ならせて、
ガラス基板における記録開始端の位置を揃える技術も提
案されている。また、各ノズルヘッドにおける複数のノ
ズルの中心線からの各ノズルの位置の誤差を修正するよ
うに、吐出タイミングを制御する技術も提案されてい
る。

【０００５】また、特開平９−３００６６４号公報に
は、前記のカラー液晶ディスプレイに用いるカラーフィ
ルターを製作する為の液滴ジェットパターニング装置が
記載されている。この装置では、Ｒ，Ｇ，Ｂの３色のノ
ズルヘッドが副走査方向と平行に、かつ副走査方向に対
して傾斜回動可能に設けられている。他方、特開平７−
８９１８５号公報に記載のインクジェットプリンタにお
いては、複数のヘッドチップを有し、インクの着弾位置
の位置ずれの補正を行うように、複数のヘッドチップ間
の相対位置を決定してそれらヘッドチップを枠体に固定
する構造を採用している。

【０００６】即ち、ヘッドチップを製作後に、インクの
着弾位置の縦ずれ量（ノズル列方向のずれ量）や横ずれ
量（ノズル中心線に直交する方向のずれ量）を測定し、
これらずれ量が規定値内に収まる複数のヘッドチップに
ついて横ずれ量をランク分けし、この横ずれ量が同ラン
クの３つのノズルを選択してプリンタに装着する。尚、
特開平８−１１８６４７号公報に記載のインクジェット
プリンタにおいては、ノズルの径や溝や形状のバラツキ
を予め測定しておき、その製作誤差を解消するように補
正する。

【０００７】ここで、前記のような液晶ディスプレイに
代わる次世代のディスプレイとして、有機ＥＬディスプ
レイが実用化されつつある。尚、ＥＬはElectro Lumine
scenceの略称である。有機ＥＬディスプレイのＥＬ基板
は、例えば、ガラス基板の表面に、陽極膜、正孔輸送
層、発光層、陰極膜を形成したもので、発光層として発
光色に応じて種々の発光性有機化合物が適用される。カ
ラーＥＬディスプレイのＥＬ基板の発光層では、Ｒ
（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）の３色の発光画素を規則的
にドットパターンに形成してある。有機ＥＬディスプレ
イでは、構造が簡単で薄型化、軽量化、低コスト化が可
能となるうえ、視野角依存性が少なく、低消費電力であ
るなどの優位性がある。

【０００８】前記カラーの有機ＥＬディスプレイのＥＬ
基板を製作する方法について概略説明すると、ガラス基
板の上に形成された陽極膜の上に、正孔輸送層形成用の
液滴を液滴ジェット記録装置のノズルヘッドからガラス
基板上に吐出させ、真空中または不活性ガス中で加熱し
て定着させる。次に、ＥＬ発光層形成用のＲ，Ｇ，Ｂに
対応する３種類の液滴を正孔輸送層の上に３つのノズル
ヘッドから夫々ガラス基板上に吐出してドットパターン
を形成し、次にそのドットパターンを真空加熱し、その
後ＥＬ発光層の上に陰極膜を形成する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】 特許第３１２１２２
６号公報の技術では、各ノズルヘッドにおける複数のノ
ズルの中心線からの各ノズルの位置の誤差を修正するこ
とが可能であるが、ノズルピッチの誤差を補正すること
は何ら提案されていない。また、特開平７−８９１８５
号公報に記載のインクジェットプリンタにおいても、横
ずれ量についての誤差をある程度補正可能であるが、ノ
ズル列方向の縦ずれ量を補正する技術については何ら提
案されていない。本発明の目的は、ノズルヘッドの傾斜
回動角を調整することでノズルピッチの誤差を補正可能
な液滴ジェットパターニング装置を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】 請求項１の液滴ジェッ
トパターニング装置は、主走査方向と直交する副走査方
向に沿ってノズルヘッドに列設された複数のノズルから
液滴を吐出して被吐出媒体にパターンを形成する液滴ジ
ェットパターニング装置において、前記主走査方向に所
定間隔おきに配置した複数のノズルヘッドと、前記複数
のノズルヘッドを支持し、それらノズルヘッドを副走査
方向と平行な基準位置から傾斜回動させる為の回動手段
と、この回動手段を制御する回動制御手段とを備え、多
数のノズルヘッドのノズルピッチ誤差を複数段階にラン
ク付けしておき、前記回動手段に装着する複数のノズル
ヘッドをノズルピッチ誤差が同ランクのノズルヘッドで
構成したことを特徴とするものである。

【００１１】複数のノズルヘッドが主走査方向に所定間
隔おきに配置されて回動手段に支持され、副走査方向の
吐出ピッチをノズルピッチよりも小さく調整する際に
は、回動制御手段により制御される回動手段によって、
それらノズルヘッドを副走査方向と平行な基準位置から
傾斜回動させる。例えば、ノズルピッチをＰ、傾斜回動
角をθとすると、吐出ピッチはＰ×ｃｏｓθとなる。

【００１２】この液滴ジェットパターニング装置の製作
段階において、予め多数のノズルヘッドが製作して準備
され、それらノズルヘッドのノズルピッチ誤差（例え
ば、ノズル列の一端側のノズルから他端側のノズルまで
の寸法の誤差）を複数段階にランク付けしておき、前記
回動手段に装着する複数のノズルヘッドをノズルピッチ
誤差が同ランクのノズルヘッドで構成するため、複数の
ノズルヘッドにおけるノズルピッチ誤差が近似した値と
なる。前記ノズルピッチ誤差が正の値の場合は、ノズル
ヘッドの傾斜回動角度を大きく調整することでノズルピ
ッチ誤差を補正することができ、ノズルピッチ誤差が負
の値の場合は、ノズルヘッドの傾斜回動角度を小さく調
整することでノズルピッチ誤差を補正することができ
る。

【００１３】ここで、請求項２のように、前記回動制御
手段は、指定される回動角（θ）だけ前記回動手段を介
してノズルヘッドを回動させる際に、前記回動手段に装
着された複数のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけ
るノズルピッチ誤差に基づいて前記回動角に補正を施す
構成にしてもよい。請求項１の欄で説明したように、複
数のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズルピ
ッチ誤差が＋ΔＰの場合は、指定回動角θに対して角度
Δθだけ傾斜回動角を大きく補正する。同様に、複数の
ノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズルピッチ
誤差が−ΔＰの場合には、前記角度Δθだけ傾斜回動角
を小さく補正する。

【００１４】また、請求項３のように、前記回動制御手
段は、指定される回動角だけ前記回動手段を介してノズ
ルヘッドを回動させる際に、前記回動手段に装着された
複数のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズル
ピッチ誤差中心値に基づいて前記回動角に補正を施す構
成にしてもよい。ピッチ誤差ランクにおいては、ノズル
ピッチ誤差が幅のある値となっていることから、前記Δ
Ｐとしてノズルピッチ誤差中心値を採用することで、ノ
ズルヘッドの傾斜回動角を補正する補正の精度を高める
ことができる。

【００１５】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。本実施形態は、有機ＥＬデ
ィスプレイに用いるＥＬ基板（薄いガラス板に３色（R,
G,B)用の発光層を形成したもの）を製造する為の液滴ジ
ェットパターニング装置に本発明を適用した場合の一例
を示すものである。尚、ＥＬはElectro Luminescenceの
略称である。

【００１６】この液滴ジェットパターニング装置１は、
ベースフレーム２と、ケーシング３と、被吐出媒体４を
保持し主走査方向と副走査方向に独立に移動駆動可能な
媒体保持移動装置５と、Ｚ軸スライド機構６と、このＺ
軸スライド機構６に昇降可能に保持されたノズルヘッド
保持装置７と、ノズルヘッド８からの液滴の吐出状態を
検査したりノズルヘッド８の保守や調整を行う為の検査
調整装置９と、３色のＥＬ発光層を形成する為の吐出用
液１０やフラッシング用溶剤（フラッシング液）１１等
を供給する液供給装置１２と、これらの装置や機器を制
御する制御装置１３などで構成されている。

【００１７】次に前記のように列挙した順序に従って、
図面に基づいて詳細に説明するが、図２は前記液滴ジェ
ットパターニング装置１の平面図であり、図２の前後左
右を前後左右として以下説明するが、左右方向がＸ軸方
向（主走査方向）であり、前後方向がＹ軸方向（副走査
方向）、上下方向がＺ軸方向である。

【００１８】図１〜図４に示すように、液滴ジェットパ
ターニング装置１のベースフレーム２の上に直方体状の
ケーシング３が形成され、このケーシング３の内部空間
は、中段位置の水平な仕切り板１４（仕切り部材）によ
り、１Ｆのパターニングルーム１５と２Ｆのメンテナン
スルーム１６とに仕切られ、仕切り板１４はノズルヘッ
ド保持装置７が通過可能な開口部１４ａも形成されてい
る。この仕切り板１４はパターニングルーム１５とメン
テナンスルーム１６とを仕切るものであればよく、必ず
しも水平に配設される必要はない。パターニングルーム
１５内のパターン処理ステージにおいてガラス基板４
（被吐出媒体）に多数の３色の微細な画素部からなるド
ットパターンを形成する吐出記録処理が行われ、メンテ
ナンスルーム１６内の検査調整ステージ４４においてノ
ズルヘッド８に対する検査や調整が行われる。

【００１９】最初に、媒体保持移動装置５について説明
する。この媒体保持移動装置５は、外部システムの後方
の搬送ローダーＨから搬送されてくるガラス基板４を所
定の受け渡し位置（待機位置）（図２に２点鎖線で図
示）で受取り、吐出開始位置に移動させ、ガラス基板４
を初期設定位置（原点位置）にアライメント調整し、吐
出記録時にはそのガラス基板４をＸ軸、Ｙ軸方向へ夫々
独立に移動駆動し、吐出記録終了後にはガラス基板４を
待機位置へ移動させて搬送ローダーＨへ受け渡すもので
ある。

【００２０】図１、図４〜図６に示すように、パターニ
ングルーム１５（例えば1500×1500×500mm のサイズ）
内にベースフレーム２の上面に大理石のベース台１７が
配設され、このベース台１７の４隅から夫々支柱１８が
立ち上がっている。尚、パターニングルーム１５内の空
気を圧縮窒素ガスで置換し，室内の水蒸気濃度及び酸素
濃度を所定レベル以下にして吐出記録が行われる。

【００２１】図４〜図６に示すように、ベース台１７上
にはＹ軸スライド機構１９が装備され、Ｙ軸スライド機
構１９の出力部材１９ａにはＸ軸スライド機構２０が夫
々装備され、このＸ軸スライド機構２０の出力部材２０
ａにはガラス基板４を載置する為の基板受台２１が設け
られている。これら両スライド機構１９，２０によって
ガラス基板４をＸ，Ｙ軸方向に夫々独立に移動可能にな
っている。この基板受台２１はアライメント調整の為に
ピン２２を中心に鉛直軸心回りに回転可能になってい
る。

【００２２】この基板受台２１は合成樹脂製の多孔材、
あるいは焼結金属製の多孔材などで構成され、基板受台
２１上に載せたガラス基板４に多孔材を介して負圧を作
用させて吸着可能になっている。尚、基板受台２１はガ
ラス基板４よりも左右に幅広に形成され、基板受台２１
にはフラッシング液１１（ヘッド洗浄用溶剤）を受ける
為の左右１対のトレイ２１ａが一体的に形成されてい
る。ガラス基板４を搬出入する際ガラス基板４を基板受
台２１から所定小距離リフトさせる４本のリフトバー２
３ａとこれらリフトバー２３ａを昇降させるエアシリン
ダを含む基板リフト機構２３（図５参照）も設けられて
いる。

【００２３】媒体送り機構２４としてのＸ軸スライド機
構２０とＹ軸スライド機構１９について説明する。図
１、図４〜６に示すように、基板受台２１とその上に載
置したガラス基板４はＸ軸スライド機構２０により主走
査方向へ移動駆動可能であり、Ｙ軸スライド機構１９に
より副走査方向へ移動駆動可能である。ガラス基板４へ
のパターン形成時には、ノズルヘッド保持装置７を所定
の下降位置に停止させた状態で、前記の両スライド機構
１９，２０により、ガラス基板４と、ヘッド組取付台２
５に装着されたノズルヘッド保持装置７の複数のノズル
ヘッド８との間に主走査方向と副走査方向とに夫々相対
移動を発生させながら吐出記録を行う。

【００２４】つまり、媒体送り機構２４は、基板受台２
１に保持されたガラス基板４と、ヘッド組取付台２５に
装着されたノズルヘッド保持装置７のノズルヘッド８と
の間に、主走査方向と副走査方向とに夫々相対移動を発
生させる相対移動発生手段（相対移動手段）に相当す
る。Ｘ軸スライド機構２０のＸ方向駆動部２６はＸ軸エ
ンコーダ２７を含むサーボモータ２８により、Ｘ方向案
内部材に対して出力部材２０ａを移動駆動するものであ
り、Ｙ軸スライド機構１９のＹ方向駆動部２９はＹ軸エ
ンコーダ３０を含むサーボモータ３１により、Ｙ方向案
内部材に対して出力部材１９ａを移動駆動するものであ
る。Ｘ軸スライド機構２０には、それに付随的にその出
力部材２０ａの移動量を精密に検出可能なＸ軸リニアス
ケール189が設けられ、同様に、Ｙ軸スライド機構１９
には、それに付随的にその出力部材１９ａの移動量を精
密に検出可能なＹ軸リニアスケール198 が設けられてい
る（図３８参照）。

【００２５】基板受台２１上に載置したガラス基板４を
原点位置にアライメント調整する際には、２Ｆのメンテ
ナンスルーム１６に装備した４つのＣＣＤカメラ３２ａ
〜３２ｄによりガラス基板４の４つのアライメントマー
クＡＭ１〜ＡＭ４を撮像してガラス基板４の位置を検出
し、その検出位置情報に基づいて、Ｘ軸，Ｙ軸スライド
機構２０，１９により基板受台２１をＸ軸，Ｙ軸方向へ
夫々位置調整すると共に、基板受台２１の下面に摩擦係
合したカム片３３とこのカム片３３をＸ軸方向へ微動可
能な電動シリンダ３４とを含む回動調整装置３５によ
り、基板受台２１をピン２２を中心に角度（α）を調整
し、ガラス基板４を初期設定位置にアライメント調整す
るようになっている。つまり、ガラス基板４を初期設定
位置にアライメント調整する自動アライメント調整機構
３６が、Ｘ軸，Ｙ軸スライド機構２０，１９と、回動調
整装置３５と、４つのＣＣＤカメラ３２ａ〜３２ｄと、
制御装置１３などで構成されているが、このアライメン
ト調整に関する補足説明は後述する。

【００２６】Ｚ軸スライド機構６について説明する。図
１〜図４、図６に示すように、昇降手段（ヘッド昇降手
段）としてのＺ軸スライド機構６は、ノズルヘッド保持
装置７を支持して昇降させる為のものであり、このＺ軸
スライド機構６をベース台１７に支持する構造として、
２Ｆのメンテナンスルーム１６において仕切り板１４上
の左右両側には、前後方向に延びる１対のボックスフレ
ーム３７が支柱１８で支持され、これらボックスフレー
ム３７には支持フレーム３８が架設され、この支持フレ
ーム３８にＺ軸スライド機構６が取付けられている。こ
のＺ軸スライド機構６は、支持フレーム３８に固定され
たスライドケース３９、このスライドケース３９に昇降
自在に案内された出力部材４０（スライド部材）、この
出力部材４０を昇降する電動シリンダ４１、この電動シ
リンダ４１のＺ軸エンコーダ４２等で構成されている。

【００２７】図１〜図７に示すように、Ｚ軸スライド機
構６の出力部材４０の下端部にはヘッド組取付台２５が
固定され、このヘッド組取付台２５にはノズルヘッド保
持装置７が着脱可能に取付けられ、図６に示すように、
ノズルヘッド保持装置７の複数のノズルヘッド８を含む
ヘッド部４３を、仕切り部材１４よりも下側のパターン
処理ステージ２１においてガラス基板４に対してパター
ン形成を行う吐出位置（下降位置）ＤＰと、検査調整ス
テージ４４においてヘッド部４３に対して検査調整を行
う検査調整位置（上昇位置）ＵＰと、この位置よりも僅
かに上昇させたホーム位置ＨＰにわたって昇降可能であ
る。

【００２８】図１、図３、図４、図７〜図１１に示すよ
うに、ヘッド組取付台２５は、Ｚ軸スライド機構６の出
力部材４０の下端部に複数のボルト４８にて固定された
支持基板４７を含み（図９参照）、この支持基板４７上
に、後述するノズルヘッド保持装置７のフレーム部材４
６を位置決め支持するようになっている。

【００２９】次に、ノズルヘッド保持装置７について説
明する。図１〜図４、図７〜図２１に示すように、ノズ
ルヘッド保持装置７は、フレーム部材４６と、４節平行
リンク機構４９と、１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂと、
３つのヘッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂと、２組の
案内機構５２Ａ，５２Ｂ及び移動機構５３Ａ，５３Ｂな
どを有し、ノズルヘッド保持装置７のフレーム部材４６
が支持基板４７に対して着脱可能に装着されている。
尚、図７〜図１２はノズルヘッド保持装置７を支持基板
４７に装着した状態を示す図であり、図１３、図１４は
支持基板４７から取り外した状態を示す図であり、図１
５〜図１８はノズルヘッド保持装置７を支持基板４７か
ら取り外しフレーム部材４６を省略した状態を示す図で
ある。

【００３０】最初に、ヘッドホルダ５１について簡単に
説明しておく。ヘッドホルダ５１は副走査方向に細長く
形成され、このヘッドホルダ５１は初期設定状態におい
ては副走査方向と平行に配設され、ヘッドホルダ５１に
は副走査方向に細長いノズルヘッド８が取り外し可能に
固定されている。ノズルヘッド８は、ＥＬ発光有機物質
などの有機物質を溶剤で液化した溶液（吐出液）を吐出
するために、耐溶剤性材料（例えば、セラミック材料な
ど）で形成されている。

【００３１】各ノズルヘッド８には例えば６４個の微小
径のノズル５５が副走査方向に微小ピッチで１列状をな
すように形成されている。ヘッドホルダ５１としては、
赤色用液と緑色用液と青色用液とを夫々吐出するノズル
ヘッド８R,８G,８B が装着されたヘッドホルダ５１Ｒ，
５１Ｇ，５１Ｂが主走査方向に所定の間隔をあけて平行
に設けられている。各ノズルヘッド８の例えば６４個の
ノズル５５は、最も後端側（基端側）のものから順にＮ
ｏ．１，Ｎｏ．２，・・・・Ｎｏ．64とされ、Ｎｏ．１
のノズル５５が基準ノズルである。

【００３２】４節平行リンク機構４９について説明す
る。図２、図７、図１４に示すように、ノズルヘッド８
をノズルヘッド８の副走査方向基端側の基準ノズル８R
の軸心又はその近傍の軸心回りに回動させる為の回動機
構は、４節平行リンク機構４９を有する。この４節平行
リンク機構４９は、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６
Ｂと、これら第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂを回動可能
に連結する１対の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂと、１
対の押えプレート５８Ａ，５８Ｂと、４つのスペーサ５
９とを有する。１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂは
前後に所定間隔あけて主走査方向と平行に配設され、１
対の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂは第１リンク部材５
６Ａ，５６Ｂの端部にほぼ対応する位置に副走査方向に
向けて平行に配設され、１対の第２リンク部材５７Ａ，
５７Ｂの両端部は１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂ
の上面に当接する状態に配設されている。

【００３３】尚、後側の第１リンク部材５６Ｂには、右
側の第２リンク部材５７Ｂよりも所定長さ突出する突出
部６０（図１４参照）が形成されている。第１リンク部
材５６Ａ，５６Ｂと第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂを鉛
直軸心回りに回動可能に連結する４つの連結部６１は同
様の構造であるので、図１０、図１７に基づいて説明す
ると、各連結部６１において、第１リンク部材５６Ａ，
５６Ｂにピン部材６２が立設され、第２リンク部材５７
Ａ，５７Ｂにボールベアリングブッシュ６３が立向きに
設けられ、ボールベアリングブッシュ６３にピン部材６
２を挿通させ座金６４とコイルバネ６５と穴付きボルト
６６にて抜け止めされている。

【００３４】次に、フレーム部材４６について説明す
る。フレーム部材４６は、左右方向に延びる本体部４６
ａと、この本体部４６ａの左端部から前方へ延びた左腕
部４６ｂと、本体部４６ａの右端付近から斜めに前方へ
延びた右腕部４６ｃとを有し、左腕部４６ｂと右腕部４
６ｃとに、後述の４節平行リンク機構４９の傾斜回動の
為の１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂが支持されている。

【００３５】次に、１対の取付用連結機構６７について
説明する。この１対の取付用連結機構６７は、３組のヘ
ッドホルダ５１Ｒ，５１Ｇ，５１Ｂが装着されたノズル
ヘッド保持装置７を、ヘッド組取付台２５の支持基板４
７に対して精密に位置決めしたうえで１対のボルト４５
を介して着脱可能に取り付ける為のものである。図７、
図８に示すように、１対の取付用連結機構６７は、同様
の構造のものであり、フレーム部材４６の左部と右部に
対応する位置に設けられている。

【００３６】図１２、図１３に示すように、各取付用連
結機構６７において、支持基板４７の下端部に有底状の
筒状金具６８がボルトなどにより固定され、この筒状金
具６８の内部には、ボールリテーナー６９ａを上方に付
勢するボールリテーナー支持バネ６８ａが装備されてい
る。支持基板４７のうちこの筒状金具６８の取付け位置
に貫通穴４７ｂが形成され、貫通穴４７ｂにボールリテ
ーナー６９ａ、ベアリングブッシュ６９ｂ、リテーナー
抜け止めリング６９ｃが内嵌状に装備されている。フレ
ーム部材４６にも、前記貫通穴４７ｂと略同径の貫通穴
４６ｄが形成され、この貫通穴４６ｄにボールリテーナ
ー７１ａ、ベアリングブッシュ７１ｂ、リテーナー抜け
止めリング７１ｃが内嵌状に装備されている。

【００３７】ピンアッシー７０は、ピン部材７０ａと、
雄ネジ部を含むストッパー部材７０ｂと、ナット板７０
ｃと、ツマミ７０ｄと、止めネジ７０ｅとで構成されて
いる。ピン部材７０ａの上半部には、筒状のストッパー
部材７０ｂが外装固着されている。このストッパー部材
７０ｂには、上部から順次小径部、雄ネジ部、フランジ
状の抜け止め部が形成され、雄ネジ部にナット板７０ｃ
を螺合させたうえで小径部にツマミ７０ｄを外装し、止
めネジ７０ｅでもって固定する。その後、ナット板７０
ｃをフレーム部材４６に固定するようになっている。

【００３８】図１２に示すように、ノズルヘッド保持装
置７を支持基板４７に取り付ける際には、支持基板４７
の貫通穴４７ｂに対してフレーム部材４６の貫通穴４６
ｄを略一致させた後、ピンアッシー７０のツマミ７０を
回してピン部材７０ａをこれら貫通穴４６ｄ，４７ｂに
挿入していく。このとき、ボールリテーナー支持バネ６
８ａの付勢力に抗してボールリテーナー６９ａがやや下
方に移動する。

【００３９】このように、ノズルヘッド保持装置７を支
持基板４７に対して精密に位置決めしたうえで１対のボ
ルト４５を介して連結する。図１３に示すように、ノズ
ルヘッド保持装置７を支持基板４７から取り外す際に
は、１対のボルト４５を取外したうえで、ツマミ７０ｄ
を回しピンアッシー７０のピン部材７０ａを支持基板４
７側の貫通穴４７ｂから引抜くことで、ノズルヘッド保
持装置７全体を前方にスライド移動させて分離可能にな
っている。このとき、ボールリテーナー７１ａがやや上
方に移動すると共にストッパー部材７０ｂの抜け止め部
がナット板７０ｃに当接することによりピンアッシー７
０がノズルヘッド保持装置７から離脱するのを防止す
る。

【００４０】次に、１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂにつ
いて説明する。この液滴ジェットパターニング装置１
は、４節平行リンク機構４９の１対の第２リンク部材５
７Ａ，５７Ｂを０〜６０度の範囲内で副走査方向に対し
て所望の角度だけ傾斜回動させることにより、パターン
形成時の副走査方向のドット間ピッチを変更可能になっ
ている。１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂは、１対の第２
リンク部材５７Ａ，５７Ｂの途中部であって、基準ノズ
ルヘッドであるノズルヘッド８R のＮｏ．１ノズル５５
（基準ノズル）に対応する途中部が回動中心となるよう
に、４節平行リンク機構４９を傾斜回動させる為の回動
支点であり、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂ間の
１対の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂの途中部を、連結
部６１の軸心と平行な軸心回りに回動可能に支持するも
のである。

【００４１】尚、前記途中部は、第２リンク部材５７
Ａ，５７Ｂの後端から約１／３の長さの位置であり、１
対の回動支点５０Ａ，５０Ｂの軸心を結ぶ面ＢＦ上に、
ノズルヘッド８R の基準ノズル５５が位置している（図
２８参照）。尚、ノズルヘッド８G,８B の基準ノズル５
５は、前記軸心を結ぶ面ＢＦ上に配置される場合もある
し、夫々必要に応じて副走査方向へ微小距離移動させた
位置に配置される場合もある。

【００４２】図１０、図１７に示す左側の回動支点５０
Ａについて説明すると、第２リンク部材５７Ａに鉛直の
ピン部材７５が立設固定され、フレーム部材４６の左腕
部４６ｂの先端部分の穴にはボールベアリングブッシュ
７６が立て向きに装着され、ピン部材７５をベアリング
ブッシュ７６に密内嵌状に挿通して突出したピン部材７
５の突出部７５ａには、座金７７とコイルバネ７８と穴
付きボルト７９が装着されている。尚、ノズルヘッド保
持装置７を取り外す際に、ボルト７９とコイルバネ７８
と座金７７とを取り外せば、ピン部材７５とボールベア
リングブッシュ７６をフレーム部材４６の左腕部４６ｂ
から取り外すことができる。

【００４３】図９、図１６に示す右側の回動支点５０Ｂ
は前記の左側の回動支点５０Ａと同様の構造であり、フ
レーム部材４６の右腕部４６ｃの先端部分で支持される
右側の回動支点５０Ｂにおいて、第２リンク部材５７Ｂ
に鉛直のピン部材７５が立設固定され、第１リンク部材
５６Ａ，５６Ｂの右腕部４６ｃの先端部分の穴にはボー
ルベアリングブッシュ７６が立て向きに装着され、ピン
部材７５をボールベアリングブッシュ７６に密内嵌状に
挿通して突出したピン部材７５の突出部には、座金７７
とコイルバネ７８と穴付きボルト７９が装着されてい
る。

【００４４】次に、前記の回動支点５０Ｂに回動モーメ
ントを作用させて４節平行リンク機構４９を傾斜回動さ
せる為の回動駆動機構８０（傾斜回動手段）と、この回
動駆動機構８０によって回動させた４節平行リンク機構
４９の傾斜回動量を検出する傾斜角度検出用エンコーダ
８１（傾斜角度検出手段、傾斜回動量検出手段）につい
て説明する。図７〜図９、図１１、図１５、図１６、図
１８、図２０に示すように、回動駆動機構８０は減速機
付きモータ８２（傾斜回動用サーボモータ）と、レバー
部材８３と、回動力入力軸８４とからなる。

【００４５】この減速機付きモータ８２は、右側の回動
支点５０Ｂと略同軸心となるように、Ｚ軸スライド機構
６の出力部材４０に固定されたモータ支持板８５に立向
き姿勢に装着され、この減速機付きモータ８２の出力軸
８２ａがレバー部材８３を介して回動力入力軸８４に連
結され、第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂは回動支点５０
Ａ，５０Ｂを中心に回動するように構成してある。

【００４６】回動力入力軸８４は、回動支点５０Ｂの前
側に位置する第２リンク部材５７Ｂの途中部に立設され
たピン部材８７と、スペーサ８８と、ボールベアリング
ブッシュ８９と、穴付きボルト９０とを有する。レバー
部材８３は、レバー本体８３ａと、弾性板８３ｂとから
なり、レバー本体８３ａの後部が、減速機付きモータ８
２の出力軸８２ａにボルト９１にて固定され、弾性板８
３ｂはレバー本体８３ａの後部にボルト９２にて固定さ
れ、レバー本体８３ａと弾性板８３ｂとでボールベアリ
ングブッシュ８９を左右両側から挟持している。

【００４７】減速機付きモータ８２の出力軸８２ａが回
動すると、レバー部材８３を介して回動力入力軸８４に
回動力が伝達され、第２リンク部材５７Ｂが出力軸８２
ａの回動角と同角度だけ傾斜回動し、４節平行リンク機
構４９の１対の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂと３つの
ヘッドホルダ５１が前記と同角度だけ傾斜回動する。
尚、ノズルヘッド保持装置７の４節平行リンク機構４９
のみを取り外す際に、夫々１対のボルト７９とコイルバ
ネ７８と座金７７とを取り外せば、フレーム部材４６の
左腕部４６ｂと右腕部４６ｃから取り外すことができ
る。

【００４８】図７、図９に示すように、傾斜角度検出用
エンコーダ８１は高分解能のロータリエンコーダからな
り、このエンコーダ８１は支持基板４７の張出し部４７
ａに立向き姿勢に固定され、エンコーダ８１の入力軸の
軸心は、１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂの軸心を結ぶ面
と同一面上に位置している。このエンコーダ８１の入力
軸８１ａに固定されたアーム９５の前端部にはピン９４
にてローラ９５ａが枢着され、アーム９５は弾性部材９
３により図７にて反時計回りに弾性付勢され、ローラ９
５ａが４節平行リンク機構４９の後側の第１リンク部材
５６Ｂの右端側の突出部６０の右端面に弾性的に当接し
ている。尚、支持基板４７のストッパー溝９６は、ノズ
ルヘッド保持装置７が取り外されているとき、アーム９
５を適正な位置に保持する為のストッパー溝であって、
ノズルヘッド保持装置７を支持基板４７に取り付ける際
のアーム９５の干渉を防止するようになっている。

【００４９】図２７（ｂ）に示すように、４節平行リン
ク機構４９が１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂを中心とし
て時計回り方向へ傾斜回動すると、第１リンク部材５６
Ｂが右方へ移動するため、傾斜回動量をエンコーダ８１
で検出することができる。初期設定状態において、アー
ム９５の中心線は副走査方向に向いており、４節平行リ
ンク機構４９が傾斜回動するとき、アーム９５は１対の
第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂと平行に傾斜回動するの
で、エンコーダ８１により４節平行リンク機構４９の傾
斜回動角θを精密に検出することができる。

【００５０】こうして、第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂ
と３つのノズルホルダ５１が傾斜回動する際に、副走査
方向に対するノズルヘッド８の検出した傾斜角度θをフ
ィードバックしながら所望の傾斜回動とするように減速
機付きモータ８２の回動角を制御する。後述の制御装置
１３は、パターン形成の解像度（吐出解像度）に基づい
て回動駆動機構８０によるノズルヘッド８の回動角を制
御する。

【００５１】次に、ヘッド保持装置７におけるヘッドホ
ルダ５１の周辺の構造について説明する。３つのヘッド
ホルダ５１は、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに
１対の押えプレート５８Ａ，５８Ｂと複数のボルト９７
を介して着脱可能に装着され、各ヘッドホルダ５１の両
端部は、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに鉛直軸
心回りに回動可能に支持されている。基準ヘッドホルダ
としてのヘッドホルダ５１Ｒは副走査方向に移動不能に
支持され、ヘッドホルダ５１Ｇ，５１Ｂは、夫々、１対
の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに案内機構５２Ａ，５
２Ｂにより副走査方向に移動可能に案内支持されてお
り、ヘッドホルダ５１Ｂ，５１Ｇの各々を副走査方向に
移動させる為の移動機構５３Ａ，５３Ｂも設けられてい
る。尚、ヘッドホルダ５１Ｒも他のヘッドホルダ５１
Ｇ，５１Ｂと同様に副走査方向に移動可能に支持してお
くことも可能である。

【００５２】ヘッドホルダ５１の両端部において、３つ
のヘッドホルダ５１の端部の上面には押えプレート５８
Ａ，５８Ｂが配設され、複数のボルト９７で第１リンク
部材５６Ａ，５６Ｂに取付けられている。押えプレート
５８Ａ，５８Ｂと第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂとの間
で且つ隣接するヘッドホルダ５１の間にスペーサ５９が
配設され、各スペーサ５９は複数のボルト９７で固着さ
れている。スペーサ５９はヘッドホルダ５１よりも約５
μｍほど厚く形成され、ヘッドホルダ５１と押えプレー
ト５８Ａ，５８Ｂの間に５μｍの隙間が形成され、各ヘ
ッドホルダ５１の両端部が１対の第１リンク部材５６
Ａ，５６Ｂに対して回動可能となり、副走査方向に移動
可能となっている。

【００５３】図１０、図１７、図２１〜図２４に示すよ
うに、各ヘッドホルダ５１の下面にスペーサ９８を介し
てノズルヘッド８が夫々ビス９９で固定され、各ノズル
ヘッド８には、前述のように、液滴を鉛直下方へ吐出可
能な６４個のノズル５５が主走査方向と直交する副走査
方向に所定の微小なノズルピッチ（隣接するノズル間ピ
ッチ、例えば、７５ｄｐｉ）にて１列状に形成されてい
る。

【００５４】次に、ノズルヘッド保持装置７に設けられ
た案内機構５２Ａ，５２Ｂと移動機構５３Ａ，５３Ｂに
ついて説明する。ノズルヘッド８B,８G を１対の第１リ
ンク部材５６Ａ，５６Ｂに対して副走査方向に移動可能
に夫々案内支持する案内機構５２Ａ，５２Ｂは同じ構造
のものであるので、ノズルヘッド８B の為の案内機構５
２Ａについて説明する。図１１、図１４、図１８、図２
１、図２３に示すように、案内機構５２Ａは、前端案内
機構100 と後端案内機構101 とを有し、前端案内機構10
0 はローラ部材102 、凹部103 、案内面104 、押圧部材
105 、圧縮コイルバネ106 等を有する。

【００５５】ノズルヘッド８B が固定されたヘッドホル
ダ５１Ｂの下面側には、ローラ部材102 が支軸107 を介
して鉛直軸心回りに回動可能に取り付けられ、第１リン
ク部材５６Ａ，５６Ｂに形成された凹部103 には、ロー
ラ部材102 と押圧部材105 が収容され、凹部103 の右側
面には案内面104 が形成され、回動可能に支持された押
圧部材105 を圧縮コイルバネ106 で付勢し、押圧部材10
5 でローラ部材102 を案内面104 に当接させ、ローラ部
材102 を介してヘッドホルダ５１Ｂの前端部を副走査方
向に平行に移動可能にしてある。

【００５６】後端案内機構101 も、ローラ部材102 、凹
部103 、案内面104 、押圧部材105、圧縮コイルバネ106
等を有し、前端案内機構100 と同様に、回動可能に支
持された押圧部材105 を圧縮コイルバネ106 で付勢し、
押圧部材105 でローラ部材102 を案内面104 に当接さ
せ、ローラ部材102 を介してヘッドホルダ５１Ｂの後端
部を副走査方向に平行に移動可能にしてある。尚、押圧
部材105 はローラ部材102 を後方かつ右方へ押し、移動
機構５３Ａとしてのマイクロメータ機構のスピンドル10
8 の先端にローラ部材102 を当接させている。

【００５７】ノズルヘッド８R は副走査方向へ移動不能
に装着される関係上、ノズルヘッド８R の両端部には１
対のローラ部材102 が設けられ、それらローラ部材102
が１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂのガイド穴に夫
々係合されている。図１１、図１６、図１８、図２２、
図２３に示すように、１対の第リンク部材５６Ａ，５６
Ｂに対するノズルホルダ５１の高さ位置を正確に設定す
るため、各ノズルホルダ５１における各ローラ部材102
の支軸107 がノズルホルダ５１の上面より上方へ突出す
るように形成され、押えプレート５８Ａ，５８Ｂの凹部
109A,109B 内において突出部107aに圧縮コイルバネ110
とバネ受けキャップ111 が装着され、前記圧縮コイルバ
ネ110 の付勢力でノズルホルダ５１が下方へ付勢される
ようになっている。

【００５８】このとき、ノズルホルダ５１の下面が第１
リンク部材５６Ａ，５６Ｂの上面に当接し、ローラ部材
102 が凹部103 の底面に当接しないようになっている。
つまり、ローラ部材102 の回動軸方向に付勢手段（圧縮
コイルバネ110 はその一例）の付勢力でノズルホルダ５
１を付勢するため、ノズルホルダ５１の下面（図２３に
おける下面）がリンク部材５６Ａ，５６Ｂの上面に当接
され、ノズルの上下方向の位置決めが行われる。

【００５９】次に、ノズルホルダ５１Ｇとノズルホルダ
５１Ｂを夫々副走査方向へ微小距離移動させる為の移動
機構５３Ａ，５３Ｂについて説明する。これら移動機構
５３Ａ，５３Ｂは同じ構造のものであるので、ノズルホ
ルダ５１Ｂ用の移動機構５３Ｂについて説明する。図
７、図８、図１４、図１６、図２１、図２７に示すよう
に、移動機構５３Ｂとしてのマイクロメータ機構が後側
の第１リンク部材５６Ｂの後面に固定されたブラケット
112 に取付けられ、このマイクロメータ機構の先端部の
スピンドル108 が前記の後端案内機構101 の凹部103 に
部分的に突入し、スピンドル108 の先端がローラ部材10
2 に後方から当接している。

【００６０】マイクロメータ機構の後端部には、後述の
位置調整駆動機構113 からの回転駆動力を入力する為の
入力部114 が形成されており、入力部114 の回転角度
（φ）に比例する微小距離だけ、回転方向で決まる方向
へ、スピンドル108 が進退移動するのでノズルホルダ５
１Ｂを副走査方向へ位置調整することができる。尚、マ
イクロメータ機構の静止側部材が回動しないように規制
する回動規制部115 も設けられている。

【００６１】スピンドル108 を凹部103 内に突入させれ
ば後側のローラ部材102 はローラ用の付勢手段( 圧縮コ
イルバネ106 はその一例) に抗して前方側( 図２１の下
方）に移動され、スピンドル108 を凹部103 から退出さ
せれば後側のローラ部材102 はローラ用の付勢手段によ
りスピンドル先端に追従して後方移動される。この時、
前側のローラ部材102 もリンク部材５６Ａの凹部103 内
を前後方向に移動する。そして、前側後側のローラ部材
102 は、それぞれ案内面１０４に沿って前後移動される
ため、ノズルホルダ５１Ｇ，５１Ｂは４節平行リンク機
構４９の回動付勢にかかわらず、副走査方向へ移動され
るのである。

【００６２】次に、移動機構５３Ａ，５３Ｂを駆動する
位置調整駆動機構113 について説明する。図２〜図４、
図２８に示すように、位置調整駆動機構113 は、ヘッド
組取付台２５に装着されたノズルヘッド保持装置７の移
動機構５３Ａ，５３Ｂに着脱可能に択一的に連結し、移
動機構５３Ａ，５３Ｂを介してノズルヘッド８B,８Gを
副走査方向に移動させる機構である。この位置調整駆動
機構113 は、２Ｆのメンテナンスルーム１６に開口部１
４ａよりも後側に配設されている。

【００６３】この位置調整駆動機構113 は、エアーシリ
ンダからなるＹ方向駆動機構116 、このＹ方向駆動機構
116 でＹ方向へ移動駆動可能なエアーシリンダからなる
Ｘ方向駆動機構117 、このＸ方向駆動機構117 でＸ方向
へ移動駆動可能なサーボモータ118 と、移動機構５３
Ａ，５３Ｂの入力部114 にモータ駆動力を伝達する為の
出力部119 などで構成されている。サーボモータ118 の
出力部119 が前方向けに配設されている。

【００６４】Ｚ軸スライド機構６によりヘッド組取付台
２５に装着されたノズルヘッド保持装置７を上昇位置Ｕ
Ｐに切換えた状態において、この出力部119 をノズルヘ
ッド８B,８G のうちの所望のノズルヘッドの為の移動機
構５３Ａ，５３Ｂの入力部114 に対して同心になるよう
に左右方向に位置調節後、Ｙ方向駆動機構116 により前
方移動させ、出力部119 を入力部114 に係合させ、サー
ボモータ118 によりマイクロメータ機構のスピンドル10
8 を副走査方向に微調整することにより、ローラ部材10
2 を介してノズルヘッド８を副走査方向に前方へ又は後
方へ所望の微小距離移動させ得るように構成してある。

【００６５】ノズルヘッド保持装置７に装備した３つの
ノズルヘッド８は、所定の複数色で発光するＥＬ発光層
を吐出形成する為の前記複数色用の液滴を夫々吐出する
ノズルヘッドを含む。本実施形態では、３つのノズルヘ
ッド８は、フルカラーのＥＬ発光層を吐出形成する為の
Ｒ（赤）、Ｇ（緑）、Ｂ（青）用の液滴を夫々吐出する
ノズルヘッド８R,８G,８B であり、後述の液滴供給機構
１２（図２６参照）からチューブを介して３種類の液が
対応するノズルヘッド８R,８G,８B に供給され、複数の
ノズル５５から液滴を吐出可能になっている。

【００６６】図２９（ａ）〜（ｃ）は、ＥＬ発光層にお
ける１組の画素を構成するＲ，Ｇ，Ｂのドットの配置の
例を示すものであり、Ｒドットに対してＧドット又はＢ
ドットのみが副走査方向へシフトする場合があるし、Ｒ
ドットに対してＧドットとＢドットの両方が副走査方向
にシフトする場合もあるので、前記のようにノズルヘッ
ド８G, 8B を夫々副走査方向へ位置調整可能にしてあ
る。

【００６７】図２４、図２５に示すように、ノズルヘッ
ド８における前後両端のノズル間寸法Ｌの設計理論値に
対するノズル間寸法誤差は、ランク１，２，・・５の５
段階にランク付けされ、１つのノズルヘッド保持装置７
に装着する３つのノズルヘッド８R,８G,８B をノズル間
寸法誤差が同ランクのノズルヘッド８で構成している。
そして、０〜６０度の範囲の何れかの回動角だけ、回動
駆動機構８０により４節平行リンク機構４９を傾斜回動
させる際には、３つのノズルヘッド８R,８G,８B のノズ
ル間寸法誤差のランクにおける中心誤差に基づいて回動
傾斜角θに補正を施すようになっている。

【００６８】４節平行リンク機構４９を傾斜回動させる
傾斜回動角を演算するとき、ランク１〜５の中心誤差
（＋10, ＋5, 0, −5,−10μm ）のうちの対応する１つ
の中心誤差を用いて傾斜回動角θを補正する補正処理を
施す補正処理用プログラムが制御装置１３に予め格納さ
れている。但し、ノズル間寸法誤差の代わりに、隣接す
るノズル間のノズルピッチ誤差（つまり、前記の誤差を
ノズル間間隔数で割った値）を採用してもよい。

【００６９】次に、２Ｆのメンテナンスルーム１６とそ
の内部の機器について説明する。このメンテナンスルー
ム１６では、Ｚ軸スライド機構６によりヘッド部４３
を、仕切り板１４の開口部１４ａを通して上昇位置ＵＰ
に切換えてから、ノズルヘッド８R,８G,８B の複数のノ
ズル５５の吐出状態を吐出検査機構121 により検査した
り、ノズルヘッド保持装置７自体のメンテナンスを行
う。

【００７０】図１〜図４、図６に示すように、２Ｆのメ
ンテナンスルーム１６は例えば、1500×1500×700mm の
サイズのものであり、このメンテナンスルーム１６の内
部には、Ｚ軸スライド機構６の大部分と、前記の位置調
整駆動機構113 と、自動アライメント調整機構３６の一
部と、ヘッドホルダ５１のノズルヘッド８を検査維持す
る為の検査調整装置９等が配設されている。尚、検査調
整装置９は、ヘッドメンテナンス機構123 と吐出検査機
構121 とを含むものである。

【００７１】次に、ヘッドメンテナンス機構123 につい
て説明する。図１〜図４、図３０、図３４、図３８に示
すように、メンテナンスルーム１６において仕切り板１
４の開口部１４ａよりやや前側にヘッドメンテナンス機
構123 が設けられている。このヘッドメンテナンス機構
123 は、電動シリンダ124 、吸取り紙送り機構125 、紙
送り駆動機構126 、加圧パージ用トレイ127 、ワイプ用
ゴムパッド128 などを有する。ヘッドメンテナンス機構
123 は、後述の吐出検査機構121 によりノズルヘッド８
の副走査方向に列設された複数のノズル５５からの吐出
状態を検査する際に吐出検査機構121 と協働する。

【００７２】可動テーブル129 上には、吸取り紙送り機
構125 とトレイ127 とゴムパッド128 が一体的に支持さ
れ、電動シリンダ124 により可動テーブル129 を前後方
向に移動駆動し、Ｚ軸スライド機構６により上昇位置Ｕ
Ｐにしたノズルヘッド保持装置７のノズルヘッド８に対
して吸取り紙送り機構125 、トレイ127 、ゴムパッド12
8 が夫々下方に位置するように位置切換え可能になって
いる。

【００７３】図２、図３、図３４に示すように、吸取り
紙送り機構125 は、紙送り駆動機構126 からの駆動力を
伝達可能なワンウェイクラッチ式の駆動ローラ130 、駆
動ローラ130 との間に掛装されたベルト131 を含み巻き
取り方向の逆向きに一定の張力を付与する為のバックテ
ンション機構132 、従動ローラ133,134 、支持板135等
で構成されている。吸取り紙136 は、バックテンション
機構132 の従動ローラにセットされ、紙送り駆動機構12
6 により駆動ローラ130 、従動ローラ133,134を介して
駆動ローラ130 に巻取られるようになっている。

【００７４】紙送り駆動機構126 は、摩擦係数の高いゴ
ムが外装固着された出力軸137aを有するサーボモータ13
7 と、サーボモータ137 をＸ方向に摺動自在に支持する
Ｘ方向スライド機構138 、サーボモータ137 の出力軸13
7aを駆動力伝達位置と非伝達位置とにわたって移動駆動
するスライド駆動用エアーシリンダ139 を有する。電動
シリンダ124 により可動テーブル129 を待機位置（吸取
り紙巻取り位置）に移動駆動するとともに、スライド駆
動用エアーシリンダ139 によりサーボモータ137 の出力
軸137aを駆動力伝達位置に切替え、サーボモータ137 の
回転駆動力を駆動ローラ130 の入力軸に伝達して吸取り
紙136 を図３４の矢印の方向に紙送りする。

【００７５】加圧パージ用トレイ127 は３つの凹部127
B,127G,127Rからなり、ノズルヘッド８B,８G,８R をこ
れら凹部127B,127G,127Rの上方に相対移動し、３つのノ
ズルヘッド８B,８G,８R を３つの凹部127B,127G,127Rに
対向させ、３つのノズルヘッド８B,８G,８R にヘッド洗
浄パージ用溶剤１１を供給して、ノズル５５から吐出さ
せることで、ノズル５５を洗浄する。吐出検査する際に
は、ノズルヘッド８B,８G,８R を凹部127B,127G,127Rの
上方に相対移動させたうえで、ノズルヘッド８毎に行
う。それ故、吐出検査機構121 による吐出検査の際、ノ
ズルヘッド８から吐出する液滴を飛散させることなく回
収することができる。

【００７６】ワイプ用ゴムパッド128 は３つのゴムパッ
ド128B,128G,128Rからなり、３つのノズルヘッド８B,８
G,８R をゴムパッド128B,128G,128Rの上方に相対移動さ
せ、液滴ジェットパターニング装置１が休止中のとき
に、３つのノズルヘッド８B,８G,８R を３つのゴムパッ
ド128B,128G,128Rで夫々キャップしてノズル５５の乾燥
を防止するようになっている。

【００７７】次に、吐出検査機構121 について説明す
る。図１〜図４、図３０〜図３２、図３８に示すよう
に、吐出検査機構121 は、２Ｆのメンテナンスルーム１
６内において、仕切り板１４の開口部１４ａの左右両側
付近に対向状に且つヘッドメンテンス機構123 の付近に
配設されている。吐出検査機構121 は、Ｙ方向移動駆動
機構140a,140b 、撮影ポジション切換え機構141a,141b
、液滴の吐出状態を撮像する撮像手段としてのＣＣＤ
カメラ142と、このＣＣＤカメラ142 に投光する投光手
段としてのストロボ投光器143 などを有する。

【００７８】ＣＣＤカメラ142 は左側に配置され、この
ＣＣＤカメラ142 を副走査方向に移動させる為のＹ方向
駆動機構140aと、ＣＣＤカメラ142 を主走査方向に２段
階に移動させる為の上下２段のエアーシリンダ144 から
なる撮影ポジション切換え機構141aとが配設されてい
る。尚、このＹ方向駆動機構140aと撮影ポジション切換
え機構141aとが、ＣＣＤカメラ142 を副走査方向と主走
査方向に夫々独立に移動可能な撮像機移動手段に相当す
る。ストロボ投光器143 は右側に配設され、このストロ
ボ投光器143 を副走査方向に移動させる為の前記と同様
のＹ方向移動駆動機構140bと、前記と同様の上下２段の
エアシリンダ144 からなる撮影ポジション切換え機構14
1bが配設されている。尚、このＹ方向駆動機構140bと撮
影ポジション切換え機構141bとが、ストロボ投光器143
を副走査方向と主走査方向に夫々独立に移動可能な投光
用移動手段に相当する。

【００７９】３つのノズルヘッド８B,８G,８R の吐出状
況の検査は、各ノズルヘッド８毎に実行するが、各ノズ
ルヘッド８には６４個のノズル５５が副走査方向に１列
に形成されており、Ｎｏ．１〜Ｎｏ．16ノズル、Ｎｏ．
17〜Ｎｏ．32ノズル、・・のように、１６個のノズルを
１群とするノズル群別に吐出検査を行うものとする。こ
の場合、ＣＣＤカメラ142 とストロボ投光器143 を副走
査方向の初期位置に設定して、第１群のＮｏ．１〜Ｎ
ｏ．１16ノズルの吐出状態を検査し、次にＣＣＤカメラ
142 とストロボ投光器143 を前方へ移動させて、第２群
のＮｏ．１7 〜Ｎｏ．32ノズルの吐出状態を検査し、以
下同様に、第３群、第４群のノズルの吐出検査を行う。

【００８０】そのため、Ｙ方向駆動機構140a,140b は、
ＣＣＤカメラ142 、ストロボ投光器143 を副走査方向
（Ｙ方向）へノズル１６個分の距離ずつ移動駆動する為
の機構である。また、ノズルヘッド８R,８G,８B のノズ
ル５５の吐出検査を同一条件で行う為に、常にＣＣＤカ
メラ142 とストロボ投光器143 間の距離を一定に且つＣ
ＣＤカメラ142 とストロボ投光器143 間の中間位置に液
滴を吐出させて撮像するものとする。

【００８１】そのため、３つのノズルヘッド８R,８G,８
B のうち検査対象のノズルヘッドに応じてＣＣＤカメラ
142 、ストロボ投光器143 をＸ方向の３段階に位置切換
え可能になっている。ノズルヘッド８R を検査すると
き、左側の撮影ポジション切換え機構141aでは、２段の
エアーシリンダ144 を最大限伸長させ、右側の撮影ポジ
ション切換え機構141bでは、２段のエアーシリンダ144
を最も収縮させた位置にする。

【００８２】次に、ノズルヘッド８G を検査するとき、
左側の撮影ポジション切換え機構141aでは、２段のエア
ーシリンダのうちの１つのみを収縮させ、右側の撮影ポ
ジション切換え機構141bでは、２段のエアーシリンダの
うちの１つのみを伸長させた位置にする。ノズルヘッド
８B を検査するとき、左側の撮影ポジション切換え機構
141aでは、２段のエアーシリンダを最も収縮させ、右側
の撮影ポジション切換え機構141bでは、２段のエアーシ
リンダを最大限伸長させた位置にする。こうして、撮影
ポジション切換え機構141a,141b により、検査対象のノ
ズルヘッド８に対するＣＣＤカメラ142 とストロボ投光
器143 の相対位置を常に一定に保持した状態で撮像する
ことができるので、吐出検査の信頼性を高めることがで
きる。

【００８３】次に、ガラス基板４に対して液滴を吐出し
て記録するのに先行して、ガラス基板４を原点位置に設
定する為の自動アライメント調整機構３６について説明
する。この自動アライメント調整機構３６は、１Ｆのパ
ターン処理ステージ２１に設けたＸ軸，Ｙ軸スライド機
構２０，１９と回動調整装置３５を含むが、これらにつ
いては既に説明したので説明を省略し、２Ｆの検査調整
ステージ４４に設けた機器について説明する。

【００８４】図１〜図３、図３３、図３５に示すよう
に、ガラス基板４の後端側の左右の隅部には、大小のア
ライメントマークAM１，AM３、AM2 ，AM４が印されてお
り、これらのアライメントマークAM１〜AM４を撮像し、
制御装置１３においてその画像情報を解析することで、
ガラス基板４の原点位置からのズレ量を求めてガラス基
板４を原点位置に設定する。

【００８５】前記の左側のアライメントマークAM１，AM
３を夫々撮像するため、２Ｆの検査調整ステージ４４に
おいて、開口部１４ａの左側には、仕切り板１４に設け
たガラス窓から下方のアライメントマークAM1 ，AM３を
夫々撮像する低倍率のＣＣＤカメラ３２ａと高倍率のＣ
ＣＤカメラ３２ｃが設けられている。これらのＣＣＤカ
メラ３２ａ，３２ｃは共通の支持板145 に取付けられ、
ガラス基板４の厚さが変った場合にエアシリンダ146 に
より高さ位置調整可能であり、手動操作により夫々フォ
ーカス調整可能になっている。

【００８６】同様に、右側のアライメントマークAM２，
AM４を夫々撮像するため、開口部１４ａの右側には、仕
切り板１４に設けたガラス窓から下方のアライメントマ
ークAM２，AM４を撮像する低倍率のＣＣＤカメラ３２ｂ
と高倍率のＣＣＤカメラ３２ｄが設けられている。これ
らのＣＣＤカメラ３２ｂ，３２ｄは共通の支持板147に
取付けられ、ガラス基板４の厚さが変わった場合にエア
シリンダ148 により高さ位置調整可能であり、手動操作
により夫々フォーカス調整可能になっている。

【００８７】さらに、ガラス基板４の搬入位置誤差が大
きい場合や、ガラス基板４のサイズが変わった場合に、
左右方向や前後方向へ位置が変動する右側のアライメン
トマークAM２，AM４を検出可能にする為に、支持板147
と２つのＣＣＤカメラ３２ｂ，３２ｄとをＸ，Ｙ方向に
独立に精密に移動駆動可能なＸ方向移動駆動機構149と
Ｙ方向移動駆動機構150 も設けられている。

【００８８】基板受台２１上に載置されたガラス基板４
を初期設定位置（原点位置）にアライメント調整する場
合、左右の低倍率のＣＣＤカメラ３２ａ，３２ｂで大き
い方のアライメントマークAM1,AM２を撮像した画像情報
を制御装置１３に供給し、その画像情報を所定の制御プ
ログラムで解析処理して、ガラス基板４の原点位置から
のＸ，Ｙ方向のズレ量ΔＸ，ΔＹと、ピン２２の回りの
回動角ズレ量Δαを求め、そのズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δα
が解消するように、Ｘ，Ｙスライド機構２０，１９と、
回動調整装置３５を駆動制御して、ガラス基板４を原点
位置に粗位置決めする。

【００８９】次に、左右の高倍率のＣＣＤカメラ３２
ｃ，３２ｄで小さい方のアライメントマークAM３，AM４
を撮像した画像情報を制御装置１３に供給し、前記同様
に画像情報を制御装置１３で解析処理してガラス基板４
の原点位置からのズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δαを求め、その
ズレ量ΔＸ，ΔＹ，Δαが解消するように、Ｘ，Ｙスラ
イド機構２０，１９と、回動調整装置３５を駆動制御し
て、ガラス基板４を原点位置に精密に位置決めする。従
って、ガラス基板４が厚さやサイズが変化した場合に
も、ガラス基板４を原点位置に精密に確実に位置決めす
ることができる。

【００９０】次に、吐出検査機構121 による吐出検査に
ついて説明する。前述のように、ノズル５５からの吐出
状況を検査する吐出検査はノズルヘッド８別に行い、各
ノズルヘッド８のノズル群別に行う。しかも、ノズルヘ
ッド保持装置７をＺ軸スライド機構６の出力部材４０に
装備したまま、ノズルヘッド保持装置７を２Ｆの検査調
整ステージ４４（つまり、上昇位置）へ上昇させれば行
うことができるので、この吐出検査機構121 による吐出
検査は、ガラス基板４へパターン形成するパターン形成
処理工程における処理停止時間中に実行するようになっ
ている。そのため、液滴ジェットパターニング装置１の
稼働率を格段に高めることができる。

【００９１】ここで、吐出検査時にノズル５５の吐出の
良否を判定する技術について説明する。図３、図３０〜
図３２に示すように、ＣＣＤカメラ142 の撮像領域ＰＡ
（約6.5 ×5mm ）に、１６個のノズル５５に対応する１
６個の観測窓151 が副走査方向に一定間隔おきに設定さ
れ、各観測窓151 はノズル５５の下端から下方向きに約
1.5mm の位置に設定され、縦６０画素、横１０画素の矩
形状になっている。

【００９２】ノズル群の１６個のノズル５５から液滴を
例えば速度約７ｍ／ｓで夫々吐出させ、観測窓151 に撮
像される液滴を撮影する。このとき、ＣＣＤカメラ142
のシャッタースピードは例えば約1/10000sec. 、ストロ
ボ発光時間は約１μsec.とする。こうして撮像した画像
信号を制御装置１３に供給し、所定の画像処理プログラ
ムにより画像処理する。この画像処理において、例え
ば、ノズルヘッド８からの液滴の画像の大部分が、観測
窓151 に入っていれば正常と判定され( Ｎｏ．１〜Ｎ
ｏ．7 ノズル、Ｎｏ．9,Ｎｏ．10ノズル、Ｎｏ．12〜Ｎ
ｏ．16ノズル) 、観測窓から外れていれば異常と判定さ
れる( Ｎｏ．8,Ｎｏ．11ノズル) 。吐出異常の原因とし
ては、吐出速度の異常、不吐出、ノズル表面への異物
（主にＥＬポリマーが凝着）堆積等が考えられる。

【００９３】次に、この液滴ジェットパターニング装置
１により種々の記録解像度（吐出解像度）にてガラス基
板４にＲ，Ｇ，Ｂのドットパターンを吐出記録する制御
について説明する。尚、この制御は制御装置１３のホス
ト制御ユニット173 により実行される。この各ノズルヘ
ッド８の１列状のノズル５５の副走査方向のノズルピッ
チが７５ｄｐｉであるとすると、そのノズルピッチＰは
Ｐ＝（２５．４／７５）ｍｍである。そして、回動駆動
機構８０により４節平行リンク機構４９の１対の第２リ
ンク部材５７Ａ，５７Ｂと３つのノズルホルダ５１を、
副走査方向に対して角度θだけ、図２７、図３５〜図３
８に示すように傾斜回動させた場合には、副走査方向の
ノズルピッチＰθはＰ× cosθとなるので、角度θを０
〜６０度の範囲で変化させることで、ノズルピッチをＰ
×（１．０）〜Ｐ×（０．５）の範囲で連続的に小さく
することができる。

【００９４】ａ）解像度７５〜１５０ｄｐｉの場合（図
３５、図３６参照）：ノズルヘッド８の傾斜角度θを０
〜６０度の範囲内で副走査方向に所望のｄｐｉとなる角
度に設定し、１パス主走査方向に吐出記録する毎に、ガ
ラス基板４を６４×Ｐ× cosθだけ後方（副走査方向と
反対方向）へステップ送りする。例えば７５ｄｐｉのと
きθ＝０°、１５０ｄｐｉのときθ＝６０°とする。

【００９５】ｂ）解像度１５０〜３００ｄｐｉの場合
（図３７参照）：例えば、解像度１５０ｄｐｉの吐出記
録は、解像度７５ｄｐｉの吐出記録後にノズルホルダ５
１を１点鎖線で図示のように半ピッチだけずらしてイン
ターレースで吐出記録することで達成することができ
る。それ故、ノズルヘッド８の傾斜角度θを前記と同様
に０〜６０度の範囲内で副走査方向へ所望のｄｐｉの半
分のｄｐｉとなる角度に設定し、１パス主走査方向に吐
出記録後、ガラス基板４を０．５×Ｐ× cosθだけ後方
へ微動送りをして１パス吐出記録し、次に６３．５×Ｐ
× cosθだけガラス基板４を後方へステップ送りする。
例えば、１５０ｄｐｉのとき、θ＝０°、３００ｄｐｉ
のとき、θ＝６０°とする。

【００９６】ｃ）解像度３７．５〜７５ｄｐｉの場合:
ノズルヘッド８の傾斜角度θを０〜６０度の範囲内で副
走査方向へ所望のｄｐｉの２倍のｄｐｉとなる角度に設
定し、例えばNo.１，３，５・・・の奇数ノズルのみ用
いて１パス主走査方向に吐出記録後、６４×Ｐ× cosθ
だけ後方へステップ送りする。例えば、解像度３７．５
ｄｐｉのときθ＝０°、解像度７５ｄｐｉのときθ＝６
０°とする。

【００９７】尚、以上は解像度設定の数例を示すものに
過ぎず、インターレースを適当に細かく行うことによ
り、２２５〜４５０ｄｐｉ、３００〜６００ｄｐｉの解
像度、又はその他の解像度で吐出記録することも可能で
ある。このように、任意の吐出解像度に基づいて回動駆
動機構８０によるノズルヘッド８の回動角を０〜６０度
の範囲内で制御するようになっており制御装置１３が回
動駆動手段に相当する。

【００９８】ここで、ノズルピッチの製作誤差を傾斜回
動角θにより補正する補正制御について説明する。尚、
この制御は制御装置１３のホスト制御ユニット173 によ
り実行される。隣接するノズル間のノズルピッチ（図面
値）をＰ0 、ノズル数をｎとすると、前後両端のノズル
間寸法（図面値）Ｌ0 は次式で表される。 Ｌ0 ＝Ｐ0 ・（ｎ−１） 前後両端のノズル間寸法（実測値）をＬとすると、その
誤差ΔＬはΔＬ＝（Ｌ−Ｌ0 ）となる。製作した複数の
ノズルヘッド８のノズル間寸法Ｌが夫々測定され、既に
説明したノズルピッチ誤差のランク１〜５の何れかに分
類される。

【００９９】吐出記録を行う目標の副走査方向における
解像度をＲ、回動角θ、ノズルピッチ（実測値）をＰ1
とすると、ノズルピッチＰ1 は次式で表される。 Ｐ1 ＝Ｌ／（ｎ−１）＝（ΔＬ＋Ｌ0 ）／（ｎ−１） ＝〔ΔＬ＋Ｐ0 ・（ｎ−１）〕／（ｎ−１）＝ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ0 回動角θのときの副走査方向のノズルピッチＰ1 ・ｃｏ
ｓθであるから、 ２５．４／Ｒ＝Ｐ1 ・ｃｏｓθ＝〔ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ0 〕・ｃｏｓθ θ＝ｃｏｓ^-1 （２５．４／Ｒ）／〔ΔＬ／（ｎ−１）＋Ｐ0 〕

【０１００】つまり、回動角θは解像度Ｒにより理論上
は演算決定できるが、実際のノズルピッチ誤差の存在に
よりΔθだけ余分に回動されることを意味する。傾斜回
動に先立って解像度とノズルピッチ誤差を指定すれば実
際の回動角θ’が演算されるのである。ノズルピッチ誤
差の指定方法としては、複数のノズルヘッドのノズルピ
ッチ誤差が全て同一であればその値を直接指定してもよ
い。一般的には、複数のノズルヘッドが全く同じノズル
ピッチ誤差になる場合は少なく、且つノズルピッチ誤差
を管理する際にはピッチ誤差を複数（例えば、５つ）に
範囲分けしてそれぞれをランク分けすれば管理しやす
い。このため、ランク毎のノズルピッチ誤差の上限値と
下限値とからランク毎に誤差中心値が求まるので、この
誤差中心値をノズルピッチ誤差として指定してもよい。
こうすれば、多数のノズルヘッドの中から、同じ誤差ラ
ンクのノズルヘッドを使用し、解像度と誤差中心値とか
ら実際の回動角を求めれば、概ね正確な補正が行えるの
である。

【０１０１】上式により、０≦θ≦６０°即ち０．５≦
ｃｏｓθ≦１を満たす範囲内で回動角θだけ傾斜回動さ
せることにより、ノズルピッチの誤差を解消するように
補正することができる。但し、Ｐ1 ・ｃｏｓθ＝２５．
４／Ｒ＝Ｐ0 のとき、本来θ＝０°でよい筈であるが、
ノズル間寸法Ｌが短い場合には、Ｐ1 ≦Ｐ0 となり、ｃ
ｏｓθ≧１となって、Ｐ1 ・ｃｏｓθ＝２５．４／Ｒ＝
Ｐ0 が成立しない。また、２５．４／Ｒ＝Ｐ0 ／２のと
き、本来θ＝６０°でよい筈であるが、ノズル間寸法Ｌ
が長い場合には、Ｐ0 ≦Ｐ1 となり、ｃｏｓθ≦０．５
となって、２５．４／Ｒ＝Ｐ0 ／２＝Ｐ1 ・ｃｏｓθが
成立しない。つまり、この場合には、回動角θを０°付
近に戻し、インターレースを１段（１パス）入れて吐出
記録することになる。

【０１０２】次に、液供給機構１２について説明する。
図１、図２、図２６に示すように、液滴ジェットパター
ニング装置１のケーシング３の側面には、ノズルホルダ
５１R,５１G,５１B に赤，緑，青用の液１０や洗浄用の
溶剤１１等を供給する為の液供給機構１２が設けられて
いる。赤，緑，青用の液１０を夫々収容した液容器152
R,152G,152BがＺ軸スライド機構６の昇降動作に連動し
て昇降するように装備され、廃液回収用容器153 、ノズ
ルヘッド洗浄用溶剤１１の容器154 、バルブユニット15
5 等も設けられている。液容器152R,152G,152Bの液がバ
ルブユニット155 等を経由してノズルヘッド８R,８G,８
B へ供給され、各ノズルホルダ５１の複数のノズル５５
から液滴が吐出される。

【０１０３】ノズルヘッド８を洗浄する際には、洗浄用
溶剤１１の容器154 の溶剤もバルブユニット155 を経由
してノズルヘッド８R,８G,８B へ供給され、複数のノズ
ル５５から加圧パージが行われる。ヘッドメンテナンス
機構123 の加圧パージ用トレイ127 の各凹部127B,127G,
127Rにはチューブが接続され、廃液がこれらチューブか
ら、負圧によって吸引され、バルブユニット155 を経由
して廃液回収用容器153 に回収される。チューブ156 は
図示外のミスト分離用タンクへ接続される。チューブ15
7 〜160 はバルブユニット155 を介して圧縮窒素ガスラ
インへ接続されている。尚、前記負圧は、図示しない真
空ポンプあるいはエジェクター等により発生させ、その
排気は工場の有機排気ダクトへ放出される。

【０１０４】液供給機構１２の支持フレーム161 には、
可動フレーム162 （保持台）が液容器昇降機構163 によ
り昇降可能に設けられている。つまり、液容器昇降機構
163（基準位置設定手段に相当する）は、金属ベローズ
付き電動シリンダ164 を有し、この電動シリンダ164 の
ロッドの先端部が可動フレーム162 に連結され、Ｚ軸ス
ライド機構６の昇降作動に連動して電動シリンダ164 を
昇降作動させ、液容器152R,152G,152Bを保持する保持体
165R,165G,165Bを液容器152R,152G,152Bの液面がノズル
ヘッド８R,８G,８B の高さ位置に対して所定の高さ関係
になるように昇降させる。３つの容器152R,152G,152Bに
おける液消費に追従して液容器152R,152G,152B内の液面
の高さを基準高さ位置に維持する３つの液面位置維持機
構166 が設けられ、各液面位置維持機構166 にはロック
機構167 が付設されている。

【０１０５】各液面位置維持機構166 により、各液容器
152R,152G,152Bの液面の高さがノズル位置よりも低くな
る基準高さ位置（例えば50mm）に常に補正される。この
各液面位置維持機構166 は、上下方向向きに配設された
円筒状ケーシング168 、軸状部材169 、弾性部材として
の圧縮コイルバネ170 、スリーブ171 、各液容器152R,1
52G,152Bを保持する各保持体165R,165G,165B等で構成さ
れている。可動フレーム162 に、ケーシング168 の上端
部に形成されたフランジ168aが着脱可能に連結され、ケ
ーシング168 内部には、軸状部材169 がケーシング168
と一体的に固着されている。

【０１０６】ケーシング168 内部において、軸状部材16
9 の上端部が保持体165 に連結されている。ボールスプ
ラインからなるスリーブ171 はケーシング168 に打ち込
まれている。ケーシング168 、軸状部材169 、スリーブ
171 で囲繞された環状空間に圧縮コイルバネ170 が介装
されている。この圧縮コイルバネ170 により液１０を収
容した液容器152 と保持体165 が弾性支持されて、液面
の高さが一定に保持される。液消費に追従して液面レベ
ルが下がると、その分圧縮コイルバネ170 により液容器
152 と保持体165 を押し上げて補正するようになってい
る。

【０１０７】ロック機構167 は、電動シリンダ164 によ
り可動フレーム162 を上下動する際の圧縮コイルバネ17
0 による弾性支持に起因する上下動が生じないようにロ
ックする機構であって、小型のエアーシリンダとそのロ
ッドの先端部に固着されたロック用パッドとを有する。
このシリンダ本体はケーシング168 の上半部の側面に横
向きに固着され、ロッドの先端部がケーシング168 内部
に挿通され、ロック用パッドで軸状部材169 を押圧して
ロック可能になっている。尚、これら液容器152R,152G,
152B、廃インク回収用容器153 、ノズルヘッド洗浄用溶
剤の容器１１は、グローブボックス172 に収容され、図
示外のハッチを介して取替え可能になっている。

【０１０８】次に、液滴ジェットパターニング装置１の
制御ユニット１３を含む制御系について説明する。図３
８、図３９に示すように、制御ユニット１３のホスト制
御ユニット173 は、ＣＰＵとＲＯＭとＲＡＭとを含むコ
ンピュータを有し、そのＲＯＭには液滴ジェットパター
ニング装置１の種々のモータや撮像機やストロボ投光器
やその他の種々の機器を制御する種々の制御プログラム
が格納されている。このホスト制御ユニット173 には操
作パネル174 と外部記憶装置175 と電源回路176 が接続
されている。外部記憶装置175 には、ガラス基板４に形
成するトッドパターンの画像データ、液滴ジェットパタ
ーニング装置１のシステム定数、生産管理情報などが格
納される。

【０１０９】ホスト制御ユニット173 は、入出力ライン
177 を介して、ＤＳＰ178(DigitalSignal Processor)
、多軸送りパルス発生回路179 、多軸送りパルス発生
回路180 、出力レジスタ181 、入力レジスタ182 、アラ
イメントコントローラ183 、吐出検査コントローラ184
、ローダ用Ｉ／Ｆ185 などに接続されている。ＤＳＰ1
78 は、信号出力回路186 と駆動回路187 を介して３つ
のノズルヘッド８R,８G,８B に接続されている。ＤＳＰ
178 はＣＰＵとＲＯＭとＲＡＭを有し、そのＲＯＭには
ノズルヘッド８を駆動して吐出記録する吐出記録用制御
プログラムが格納されている。

【０１１０】前記駆動回路187 は多数のノズル駆動用圧
電素子を駆動する駆動パルスを発生させるパルス発生回
路を有する。前記の駆動パルスの波形を、ノズルヘッド
８R,８G,８B に共通に設定することもあるし、ノズルヘ
ッド８R,８G,８B 別に異ならせて設定する場合もある
が、前記の駆動パルスを表示させるための波形モニター
188 が駆動回路187 に接続されている。

【０１１１】ＤＳＰ178 は多軸送りパルス発生回路179
にも接続され、ガラス基板４のＸ方向への移動に同期さ
せて吐出記録する為にＸ軸サーボモータ２８で駆動され
るＸ軸スライド機構２０の移動量を精密に検出するＸ軸
リニアスケール189 の検出信号がアンプAMP を介してＤ
ＳＰ178 に供給されている。ＤＳＰ178 には、吐出記録
用データや位相データ（吐出のタイミングを設定するデ
ータ）を記憶するデータ記憶装置190 が接続され、この
データ記憶装置190はホスト制御ユニット173 から供給
されたデータを記憶しておき、吐出記録時にはそのデー
タをＤＳＰ178 に出力する。

【０１１２】多軸送りパルス発生回路179 には、ガラス
基板４をＸ方向に送るＸ軸スライド機構２０のＸ軸サー
ボモータ２８の為の駆動回路191 、Ｙ軸スライド機構１
９のＹサーボモータ３１の為の駆動回路192 、傾斜回動
用サーボモータ８２（減速機付きモータ）の為の駆動回
路193 、傾斜回動角θを検出するエンコーダ８１の検出
信号を増幅するアンプ、ノズルホルダ５１G,５１B の副
走査方向位置を調整する位置調整用サーボモータ118 の
為の駆動回路194 、ノズルヘッド保持装置７を昇降させ
る電動シリンダ４１のＺ軸スライドサーボモータの為の
駆動回路195 、液滴供給機構１２の可動フレーム162 を
昇降させる電動シリンダ164 のＺ１軸スライドサーボモ
ータ196 の為の駆動回路197 などが接続されている。

【０１１３】ここで、Ｘ軸サーボモータ２８の為の駆動
回路191 は、Ｘ軸サーボモータ２８に内蔵のエンコーダ
２７の検出信号と、Ｘ軸リニアスケール189 の検出信号
とに基づいてモータ制御を行う。同様に、Ｙ軸スライド
機構１９のＹ方向移動量を精密に検出する為のＹ軸リニ
アスケール198 も設けられており、Ｙ軸サーボモータ２
８の為の駆動回路192 は、Ｙ軸サーボモータ２８に内蔵
のエンコーダ３０の検出信号と、Ｙ軸リニアスケール19
8 の検出信号とに基づいてモータ制御を行う。それ故、
Ｘ軸，Ｙ軸スライド機構２０，１９によって、ガラス基
板４をＸ，Ｙ方向に独立に精密に移動駆動してガラス基
板４のＸ，Ｙ方向の位置を精密に制御できるように構成
してある。

【０１１４】多軸送りパルス発生回路180 には、ガラス
基板４を原点位置にアライメント調整する為にガラス基
板４を回動させるアライメント調整用サーボモータ199
の為の駆動回路200 、吐出検査用ＣＣＤカメラ移動用サ
ーボモータ201 の為の駆動回路202 、吐出検査用ストロ
ボ移動用サーボモータ203 の為の駆動回路204 、メンテ
ナンス機構移動用電動シリンダ１２４のサーボモータ20
5 の為の駆動回路206、メンテナンス機構123 の吸取り
紙巻取り用サーボモータ137 の為の駆動回路207 などが
接続されている。

【０１１５】図３９に示すように、ホスト制御ユニット
173 に接続された入出力ライン177には、液滴供給機構
１２のバルブユニット155 の複数のソレノイドバルブ20
8 を駆動するリレー回路209 に接続された出力レジスタ
181 、複数の検出用スイッチに接続されたＩ／Ｆ210(イ
ンターフェース) に接続された入力レジスタ182 、ガラ
ス基板４のアライメント調整の為の４つのＣＣＤカメラ
３２ａ〜３２ｄに接続されたアライメントコントローラ
183 、吐出検査用のＣＣＤカメラ142 とストロボ投光器
143 を駆動する吐出検査コントローラ184 、外部のガラ
ス基板搬送の為のローダとの間で信号を授受するローダ
用Ｉ／Ｆ185(インターフェース）などが接続されてい
る。尚、前記のアライメントコントローラ183 にはキー
ボード及びモニター211 も接続されている。

【０１１６】次に、３つのノズルヘッド８R,８G,８B か
ら夫々の液滴を吐出してガラス基板４にドットパターン
を吐出記録する連続記録の制御について説明する。尚、
この制御はホスト制御ユニット１７３により実行される
が、図中、符号Ｓｉ（ｉ＝１，２，３・・）は各ステッ
プを示す。図４０、図４１に示すように、主電源を投入
し手動スイッチを操作すると、この制御が開始され、最
初にノズルヘッド８をメンテナンス機構123 のゴムパッ
ド128R,128G,128B（キャップ）から離隔させて開放し
（Ｓ1 ）、ノズルヘッド保持装置７のＸ，Ｙ，Ｚ軸の待
機位置と、基板受台２１のピン２２（回転軸）であるα
軸の回りの待機位置を確認し、図２に示す待機位置へ移
動する（Ｓ2 ）。

【０１１７】次に、装着されているガラス基板４に対す
る全生産（全ての吐出記録）が終了したか否か判定し
（Ｓ3 ）、終了している場合は、Ｓ５において吐出検査
機構121 、ヘッドメンテナンス機構123 等を用いて、図
４１、図４３の吐出検査の処理を実行する。次に前回の
ガラス基板履歴へ検査内容を追記し（Ｓ6 ）、Ｓ７の判
定にてＹｅｓと判定されるため、ノズルヘッド８R,８G,
８B をゴムパッド128R,128G,128B（キャップ）に接触さ
せ（Ｓ14）、この制御を終了する。

【０１１８】Ｓ３の判定がＮｏの場合、前回と同じワー
ク（ガラス基板４）か否か判定し（Ｓ4 ）、その判定が
Ｙｅｓの場合、Ｓ５以降の処理とＳ１７以降の処理が並
行して実行される。Ｓ５以降の処理においては、Ｓ５〜
Ｓ７を経てＳ８へ移行し、ノズル５５の吐出状態が正常
か否か判定し（Ｓ8 ）、吐出状態が正常であれば、図４
１のＳ２１に移行する。正常でなければ、Ｓ９の判定を
経て、Ｚ軸スライド機構６によりノズルヘッド保持装置
７のヘッド部４３を上昇位置へ移動した状態で、ヘッド
メンテナンス機構123 を用いてノズル５５から洗浄溶剤
を吐出させるパージを行う（Ｓ10）。

【０１１９】次に、前記と同じ吐出検査を行い（Ｓ1
1）、Ｓ８へ戻り、ノズル５５の吐出状態が正常になれ
ばＳ２１へ移行する。吐出が異常であれば（Ｓ8;Ｎ
ｏ）、パージを設定回数終了したか否か判定し（Ｓ9
）、その判定がＮｏの場合はＳ１０、Ｓ１１移行を繰
り返し、パージを設定回数終了した場合には（Ｓ9;Ｙe
s）、別の代替ノズルで記録可能か否か判定し（Ｓ1
2）、その判定がＹｅｓの場合は図４３のＳ２１へ移行
する。しかし、代替ノズルで記録可能でない場合は生産
中断処理（Ｓ13）の後、この制御を終了する。

【０１２０】図４１のＳ２１においては、Ｚ軸スライド
機構６によりノズルヘッド保持装置７のヘッド部４３を
下降位置（記録位置）へ下降させ（Ｓ21）、入力設定さ
れた傾斜回動角θに関するデータに基づき、回動駆動機
構８０によりノズルヘッド８を傾斜回動させ（Ｓ22）、
その後Ｓ２３へ移行する。

【０１２１】図４０のＳ４の判定の結果、前回と異なる
ワーク（ガラス基板４が異なる場合、ドットパターンが
異なる場合）には、Ｓ１５に移行し、先ずホスト制御ユ
ニット173 において作成した吐出記録に関連する全ての
データ（吐出関連データ）をホスト制御ユニット173 の
ＲＡＭやデータ記憶装置190 やレジスタ類に設定する
（Ｓ15）。次に、Ｓ１６において前記の吐出関連データ
に含まれるθ, φG,φBに応じた処理が実行される。

【０１２２】尚、θは４節平行リンク機構４９を傾斜回
動させる角度であり、φG,φB は、１画素における赤色
ドットに対する緑色ドット、青色ドットの副走査方向の
配置位置を微小にずらす場合に、位置調整駆動機構113
により移動機構５３Ａ，５３Ｂを駆動してノズルヘッド
８G,８B を副走査方向に夫々設定された微小距離だけ移
動駆動する為に位置調整駆動機構113 を回転させる角度
である。Ｓ１６の処理により、４節平行リンク機構４９
が設定角度だけ傾斜回動され、ノズルヘッド８G,８B が
副走査方向に設定微小距離だけ位置変更されることにな
る。Ｓ１６の次にＳ５へ移行してＳ５以降が実行され、
これと並行してＳ５からＳ１７へ移行してＳ１７〜Ｓ２
０の処理が実行される。

【０１２３】図４１に示すように、Ｓ１７では、搬送ロ
ーダーによりガラス基板４を図２の待機位置にある基板
受台２１上に載置した後吸着させ、次にＸ，Ｙ軸スライ
ド機構２０，１９と回動調整装置３５により、基板受台
２１とこれに載置されたガラス基板４をＸ軸，Ｙ軸，α
軸（ピン回りの回動）について３軸制御して自動アライ
メント開始位置へ移動させる（Ｓ18）。次に、自動アラ
イメント機構３６により、補正移動量ΔＸ，ΔＹ，Δα
を求め、その補正移動量分の位置補正を行って原点位置
に初期設定する（Ｓ19）。その後Ｘ，Ｙ軸スライド機構
２０，１９によりガラス基板４を記録開始点へ基準ノズ
ルを移動させ（Ｓ20）、Ｓ２３へ移行する。

【０１２４】次に、Ｓ２３以降のステップについて説明
する。Ｓ５の吐出検査の結果が正常記録の場合には（Ｓ
23 ;Ｙes）、Ｓ２４において正常記録の処理を実行す
る。この場合、ガラス基板４とノズルヘッド８を主走査
方向と副走査方向に相対移動してパターンを形成してい
き、Ｓ２５へ移行する。一方、Ｓ２３の判定の結果正常
記録でない場合は一部のノズル５５を停止させた状態で
記録する抜けノズル記録を実行する（Ｓ28）。この場
合、例えば、Ｎｏ．１, Ｎｏ．3,・・・などの奇数番ノ
ズルのみで１パス記録毎に、１段のインターレース記録
を行う。

【０１２５】Ｓ２８の抜けノズル記録は実行不可能な場
合もあり、そのような場合には、Ｓ２９において代替ノ
ズル記録のデータが生成され、データ記憶装置190 のペ
ージメモリやそれ以外のレジスタ類への設定が実行され
る（Ｓ29）。代替ノズル記録は、例えばＮｏ．１,2ノズ
ルが使用不可能なとき、そのノズルを使用せず、記録し
たガラス基板４に対して、追加的に例えばＮｏ．3,4 ノ
ズルのみ使用してもう一度記録することである。次に代
替ノズル記録を実行し（Ｓ30）、Ｓ２５へ移行する。Ｓ
２５では、そのガラス基板４の履歴情報をホスト制御ユ
ニット173 のメモリに記録し、次に回動駆動機構８０に
よりノズルヘッド８の傾斜回動角θを０度に戻し（Ｓ2
6）、Ｚ軸スライド機構６によりノズルヘッド保持装置
７を待機位置（ホームポジション）へ上昇させてから
（Ｓ27）、Ｓ３へリターンする。

【０１２６】これらＳ２６、Ｓ２７と並行して、Ｘ，Ｙ
軸スライド機構２０，１９により基板受台２１とガラス
基板４を図２の待機位置へ移動させ（Ｓ31）、次に、そ
のガラス基板４を基板リフト機構２３により基板受台２
１から所定小距離持ち上げて搬送ローダーへ受け渡し
（Ｓ32）、次にＳ３３において、先にＳ１９で移動した
ΔＸ，ΔＹ，Δα分を逆方向に移動させ，その後Ｓ３へ
リターンする。

【０１２７】次に、吐出検査の処理について簡単に説明
する。図４２に示すように、この制御が開始されてＺ軸
スライド機構６により、ノズルヘッド保持装置７つまり
ヘッド部４３が上昇位置にあるか否か判定し（Ｓ40）、
その判定がＮｏの場合はＺ軸スライド機構６によりヘッ
ド部４３を上昇位置へ移動させる（Ｓ４１）。Ｓ４０が
Ｙｅｓの場合及びＳ４１の次に、ヘッドメンテナンス機
構123 が検査位置にあるか否か判定し（Ｓ42）、その判
定がＮｏの場合はヘッドメンテナンス機構123 が検査位
置へ移動させる（Ｓ43）。

【０１２８】Ｓ４２の判定がＹｅｓの場合及びＳ４３の
次に、ノズルヘッド８R,８G,８B の吐出検査が順次実行
される（Ｓ44、Ｓ45、Ｓ46）。尚、例えば、ノズルヘッ
ド８R,８G,８B の吐出検査については、後述する。次
に、吐出検査機構121 のＹ方向移動駆動機構140a,140b
、撮影ポジション切換え機構141a,141b を待機位置へ
移動させ、つまり、ＣＣＤカメラ142 やストロボ投光器
143 を待機位置へ移動させ（Ｓ47）、ヘッドメンテナン
ス機構123 を待機位置に移動させ（Ｓ48）、この制御が
終了する。

【０１２９】次に、ノズルヘッド８R,８G,８B の吐出検
査について図４３に基づいて説明する。但し、これらの
ノズルヘッド８R,８G,８B の吐出検査は同じであるので
ノズルヘッド８R の吐出検査を例として説明する。図４
３に示すように、この制御の開始後、最初に撮影ポジシ
ョンレジスタにポジションＲｉが設定され（Ｓ50）、次
に吐出検査機構121 のＹ方向移動駆動機構140a,140b 、
撮影ポジション切換え機構141a,141b により、ＣＣＤカ
メラ142 をポジションＲｉへ移動すると共にストロボ投
光器143 をポジションＲｉへ移動する（Ｓ51）。次に、
ノズルヘッド８R の第ｉ群の１６個のノズル５５に吐出
指令が出力される（Ｓ52）。尚、ポジションＲｉとは、
第ｉ群のノズルに対応するポジションのことであり、カ
ウンタｉは最初ｉ＝１に設定され、その後インクリメン
トされる。

【０１３０】Ｓ５２の実行後に、タイマＴ１に設定時間
αが設定され、タイマＴ２に設定時間βが設定され、タ
イマＴ１の計時時間の判定を介して設定時間αが経過す
ると（Ｓ53 ;Ｙes）、ＣＣＤカメラ142 のシャッターが
切られて撮影が実行され（Ｓ54）、タイマＴ２の計時時
間の判定を介して設定時間βが経過すると（Ｓ55 ;Ｙe
s）、ストロボ投光器143 が作動して撮影の為の照明光
を投光する（Ｓ56）。尚、αとβはほぼ等しい微小時間
である。

【０１３１】Ｓ８とＳ５６の次のＳ５７において、１６
個のノズル５５からの液滴の吐出状態を撮影した画像の
画像データを画像処理し、吐出の正常、異常を判定し、
その結果についての情報を操作パネル174 のディスプレ
イに表示出力する。尚、各ノズル５５について、液滴の
画像がＣＣＤカメラ142 の観測窓151 内に収まっている
場合は正常と判定し、収まっていない場合は異常と判定
する。次に、カウンタｉが「１」だけインクリメントさ
れ（Ｓ58）、第４群のノズルまでの撮影が終了したか否
か判定し（Ｓ59）、その判定がＮｏの場合はＳ５１へ戻
ってＳ５１以降が繰り返し実行される。こうして、第１
群から第４群まで順々に、１６個ずつのノズル５５につ
いての吐出検査が実行される。第４群のノズルまでの検
査が終了すると（Ｓ59 ;Ｙes）、ＣＣＤカメラ142 とス
トロボ投光器143 が待機位置へ移動され（Ｓ60）、この
制御が終了する。

【０１３２】次に液滴ジェットパターニング装置１、ノ
ズルヘッド保持装置７の作用、効果について説明する。
ガラス基板４にパターンを形成する際には、１対の第
２リンク部材５７Ａ，５７Ｂをその途中部の１対の回動
支点５０Ａ，５０Ｂを中心に回動させると、１対の第２
リンク部材５７Ａ，５７Ｂに連結された１対の第１リン
ク部材５６Ａ，５６Ｂが主走査方向へ且つ相反する方向
へ移動し、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに連結
されたノズルヘッド８の両端部が移動し、ノズルヘッド
８が副走査方向に対して傾斜回動する。

【０１３３】このように、ノズルヘッド８を副走査方向
に対して傾斜させることによって、副走査方向の吐出ピ
ッチを小さく調整して所望の吐出ピッチに設定した後、
ノズルヘッド保持装置７をガラス基板４に対して主走査
方向へ相対移動させつつ、１パス分吐出記録し、その後
副走査方向へ適宜相対移動させてから、次の１パス分吐
出記録を行い、順次これを繰り返して吐出記録を行う。

【０１３４】特に、このノズルヘッド保持装置７は、４
節平行リンク機構４９、１対の回動支点５０Ａ，５０
Ｂ、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに両端部が回
動可能に連結されたノズルヘッド８とを備えた構成であ
るので、このノズルヘッド保持装置７を支持する外部の
取付部材（ヘッド組取付台２５）に対し、簡単に着脱可
能なノズルヘッド保持装置７に構成することができる。
その場合、修理や交換の為にノズルヘッド８を着脱する
構造も簡単化することができ、メンテナンス性を確保す
ることができる。

【０１３５】４節平行リンク機構４９自体は高精度のも
のに構成できるし、この４節平行リンク機構４９にノズ
ルヘッド８を高精度に装着することも容易であるから、
製作誤差を最小限にした高精度のノズルヘッド保持装置
７を実現できる。４節平行リンク機構４９を傾斜回動さ
せる構成であるから、ノズルヘッド８の傾斜角度を大き
くし、副走査方向の吐出ピッチの可変幅を大きくするこ
とができる。尚、このノズルヘッド保持装置７を着脱可
能ではなく、液滴ジェットパターニング装置１に一体的
に設けることもできる。

【０１３６】４節平行リンク機構４９の１対の第２リン
ク部材５７Ａ，５７Ｂの途中部に設けられ且つ回動可能
に支持される１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂを設けたた
め、１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂの軸心を結ぶ面上に
ノズルヘッド８の基準ノズル（例えば、No.１ノズル）
を位置させた構造にすることが可能となる。その場合、
ノズルヘッド８が傾斜回動しても、基準ノズルの位置
（主走査方向と副走査方向の位置）が変化しないため、
ガラス基板４とノズルヘッド８とを相対移動させる為の
記録用駆動データを作成するデータ処理が簡単になるう
え、パターン形成の精度を高め易くなる。

【０１３７】複数のノズルヘッド８R,８G,８B を主走査
方向に所定間隔おきに配設するので、これらノズルヘッ
ド８R,８G,８B を副走査方向に対して傾斜させて副走査
方向の吐出ピッチを所望の値に設定してパターンを記録
でき、カラーフィルターや有機カラーＥＬディスプレイ
のＥＬ基板の製作に適用可能となる。しかも、これらノ
ズルヘッド８はＥＬ発光層を吐出形成する為の複数色用
の液滴を夫々吐出するノズルヘッドを含むことから、ス
ループットを高めることができ、フルカラー用のＥＬ基
板を製作可能となる。しかも、ノズルヘッド保持装置７
を用いてそのノズルヘッド８から正孔輸送層を吐出記録
することも可能である。尚、技術の発展により１つの液
滴内に正孔輸送成分とＥＬ発光成分を混在させ、単一層
のみで発光し得るようになれば、正孔輸送層を形成する
必要はない。

【０１３８】ノズルヘッド保持装置７をヘッド組取付台
２５に着脱可能に装着するので、ノズルヘッド保持装置
７の着脱を簡単に行うことができ、ノズルヘッド８の修
理や交換を簡単に行うことができる。４節平行リンク機
構４９の１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂに作用し４節平
行リンク機構４９を傾斜回動させる回動駆動機構８０を
設け、エンコーダ８１を前記のように設けたので、副走
査方向の吐出ピッチを小さく調整する際に、迅速に自動
的に精度よく傾斜回動させることができる。ガラス基板
４を基板受台２１に載置保持し、媒体保持移動装置５に
よりガラス基板４とノズルヘッド８との間に主走査方向
と副走査方向とに夫々相対移動させつつパターン形成を
行うことができる。

【０１３９】傾斜角度検出用エンコーダ８１と、傾斜回
動量制御手段としての制御装置１３を設けたので、４節
平行リンク機構４９の１対の第２リンク部材５７Ａ，５
７Ｂと複数のノズルヘッド８を傾斜回動させる際に、精
度よく傾斜回動させることができる。１対の回動支点５
０Ａ，５０Ｂのうちの何れか一方において第２リンク部
材５７Ａ，５７Ｂに連結されて第２リンク部材５７Ａ，
５７Ｂを回動させる回動用アクチュエータとしての減速
機付きモータ８２を設けたので、簡単な構成でもって第
２リンク部材５７Ａ，５７Ｂを、つまり４節平行リンク
機構４９を傾斜回動させることができる。

【０１４０】複数のノズルヘッド８のうちの基準ノズル
ヘッド８R 以外のノズルヘッド８G,8Bは、案内機構５２
Ａ，５２Ｂにより１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂ
に対して副走査方向に移動可能に案内され、この案内機
構５２Ａ，５２Ｂの案内によりノズルヘッド８G,８B を
副走査方向へ移動させる為の移動機構５３Ａ，５３Ｂを
設けてあるので、ノズルヘッド８G,８B の傾斜角度に関
係なしに、ノズルヘッド８G,８B を副走査方向へのみ微
動させてノズルヘッド８G,８B の副走査方向の位置を微
調節することができる。

【０１４１】この微調節の際に、ノズルヘッド８が仮に
副走査方向に対して傾斜回動した状態であっても、ノズ
ルヘッド８は副走査方向へのみ移動し主走査方向へは移
動しないため、ノズルヘッド８の副走査方向の位置を精
度よく微調節することができる。例えば、Ｒ，Ｇ，Ｂの
３つの記録ドットからなる画素の配置形態に応じて、ノ
ズルヘッド８R に対して、ノズルヘッド８G やノズルヘ
ッド８B の副走査方向の位置を微調節する際に、精度よ
く能率的に自動的に微調節することができる。

【０１４２】案内機構５２Ａ，５２Ｂがノズルヘッド８
の両端部に取付けられた１対のローラ部材102 と、各ロ
ーラ部材102 を当接させて副走査方向に案内するように
凹部103 に形成された案内面104 とを有するため、ノズ
ルヘッド８が傾斜回動した姿勢であっても、１対のロー
ラ部材102 と案内面104 を介して、ノズルヘッド８を副
走査方向へのみ微動させることができる。また、ノズル
ヘッド８の傾斜角の大小によらず、１対のローラ部材10
2 は、１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに対して夫
々一定の部位に位置しているため、移動機構５３Ａ，５
３Ｂを第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂの一定の部位に装
備でき、この移動機構５３Ａ，５３Ｂを駆動するアクチ
ュエータを外部に設け、ノズルヘッド８の副走査方向へ
の微調節を自動化することもできる。

【０１４３】ノズルヘッド８の両端部が圧縮コイルバネ
110 の付勢力で１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに
形成した凹部103 の底面に面接触しているから、ノズル
ヘッド８の鉛直方向の高さ位置の誤差を小さくして、ガ
ラス基板４に対するノズルヘッド８の高さ位置を精密に
設定し、吐出記録の性能を高めることができる。

【０１４４】１Ｆ（下側）のパターニングルーム１５に
パターン処理ステージを配置し、２Ｆ（上側）のメンテ
ナンスルーム１６に検査調整ステージ４４を配置し、ヘ
ッド部４３をＺ軸スライド機構６で両ステージにわたっ
て昇降可能であるので、例えば、パターン形成の処理停
止中などのアイドル期間の間に、ヘッド部４３を上昇さ
せて検査調整ステージ４４において複数のノズル５５か
らの液滴の吐出状態を検査することができる。その検査
後に直ちに、ヘッド部４３をパターン処理ステージに下
降させてパターン形成を行うことができる。こうして、
パターン形成処理工程における、処理停止中に複数のノ
ズル５５の吐出状態を検査可能であるから、不良品の発
生を低減でき、装置の稼働率を高めることができる。両
ステージを空間的に上下に配置するため、装置のコンパ
クト化を図ることができる。

【０１４５】ガラス基板４を主走査方向と副走査方向に
夫々移動させる媒体送り機構２４を設けたので、パター
ン形成の為にヘッド部４３を水平方向へ移動させる必要
がない。そのため、検査調整ステージ４４に複数のノズ
ル５５の吐出状態を検査する吐出検査機構121 を設けて
おくだけで、Ｚ軸スライド機構６によるヘッド部４３の
昇降を介して、パターン形成と、吐出検査とを能率的に
行うことができる。吐出検査機構121 がＣＣＤカメラ14
2 とストロボ投光器143 を有するため、複数のノズル５
５から吐出された液滴を撮影し、画像データをデータ処
理して判定することにより吐出の良否を簡単に判定でき
る。ガラス基板４へパターン形成するパターン形成処理
工程におけるガラス基板搬送及び、自動アライメント期
間中に、吐出検査機構121 による検査を実行可能に構成
したので、不良品の発生を低減させ、装置の稼働率を高
めることができる。

【０１４６】Ｙ方向移動駆動機構140a,140b と撮影ポジ
ション切換え機構141a,141b を設け、ＣＣＤカメラ142
とストロボ投光器143 を主走査方向と副走査方向に夫々
移動可能に構成したので、複数のノズルヘッド８の各々
の複数のノズル５５からの吐出を順次確実に実行するこ
とができる。ＣＣＤカメラ142 で撮影した画像信号を受
けて画像処理によりノズルヘッド８からの液滴の吐出の
良否を判定する前記検査用画像処理手段を設けたため、
吐出検査を自動的に能率的に行うことができる。

【０１４７】ノズルヘッド８を傾斜回動させる際に、基
準ノズル８R の軸心又はその近傍の軸心の回りに回動さ
せるため、基準ノズル８R の副走査方向と主走査方向の
位置は変化しない又は変化するにしても微小量変化する
だけであるから、記録用駆動データを作成するデータ処
理が簡単化し、吐出記録の為の制御が簡単化し、パター
ン形成の精度も高めることができる。

【０１４８】ノズルヘッド８を０〜６０度の範囲で傾斜
回動できるため、ノズルピッチをＰとし傾斜回動角をθ
として、副走査方向の吐出ピッチＰ×ｃｏｓθをＰ〜0.
5 Ｐの範囲で変えることができ、副走査方向の吐出ピッ
チの可変幅が大きくなり、副走査方向の解像度をＰ〜0.
5 Ｐの範囲で無段階的（連続的）に設定することができ
る。しかも、４節平行リンク機構４９を有する前記回動
機構と、回動駆動機構８０と、この回動駆動機構８０に
よるノズルヘッド８の回動角を制御する回動制御手段と
を設けたので、手動操作ではなく、自動的にノズルヘッ
ド８を傾斜回動させることができるから、ノズルヘッド
８の傾斜回動角の設定を迅速に精度よく行うことができ
る。

【０１４９】ガラス基板４とノズルヘッド８を副走査方
向に相対移動する媒体送り機構２４と、副走査方向の相
対移動をインターレース方式で行う為に吐出解像度に基
づいて副走査方向送り量の制御を行うホスト制御ユニッ
ト１７３を設けたので、副走査方向の吐出ピッチが吐出
解像度に応じたピッチとなるように、副走査方向の送り
量を自動的に設定し、ガラス基板４とノズルヘッド８を
副走査方向に自動的に相対移動させることができる。

【０１５０】４節平行リンク機構４９を設け、ノズルヘ
ッド８の両端部を１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂ
に回動可能に連結したので、ノズルヘッド８を０〜６０
度の範囲で確実に傾斜回動させることができる。しか
も、４節平行リンク機構４９自体は製作誤差が僅少の高
精度のものに構成できるうえ、ノズルヘッド８の両端部
を１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに回動可能に連
結してあるので、ノズルヘッド８の組み付け精度と、傾
斜回動時の位置決め精度を高く維持でき、パターン形成
の精度を高く維持することができる。

【０１５１】この液滴ジェットパターニング装置１の製
作段階において、予め多数のノズルヘッド８が製作して
準備され、それらノズルヘッド８のノズルピッチ誤差を
複数段階にランク付けしておき、４節平行リンク機構４
９に装着する複数のノズルヘッド８をノズルピッチ誤差
が同ランクのノズルヘッド８で構成するため、複数のノ
ズルヘッド８におけるノズルピッチ誤差が近似した値と
なる。ノズルピッチ誤差が正の値の場合は、ノズルヘッ
ド８の傾斜回動角度を大きく調整することでノズルピッ
チ誤差を補正することができ、ノズルピッチ誤差が負の
値の場合は、ノズルヘッド８の傾斜回動角度を小さく調
整することでノズルピッチ誤差を補正することができ
る。こうして、パターン形成の精度を格段に高めること
ができる。

【０１５２】前記ホスト制御ユニット１７３は、指定さ
れた又は演算にて求めた傾斜回動角だけ４節平行リンク
機構４９を介してノズルヘッド８を回動させる際に、４
節平行リンク機構４９に装着された複数のノズルヘッド
８のピッチ誤差ランクにおけるノズルピッチ誤差に基づ
いて回動角に補正を施すので、複数のノズルヘッド８の
ピッチ誤差ランクにおけるノズルピッチ誤差に応じて傾
斜回動角を補正し、ノズルピッチ誤差に起因する吐出記
録の誤差を殆ど解消させて、パターン形成の精度を高め
ることができる。しかも、複数のノズルヘッド８のピッ
チ誤差ランクにおけるノズルピッチ誤差中心値に基づい
て傾斜回動角に補正を施すので、ノズルヘッド８の傾斜
回動角を補正する補正の精度を高めることができる。

【０１５３】パターン形成を行う空間の上方をほぼ水平
な仕切り板１４により上下にほぼ遮断された構造にし、
その仕切り板１４にヘッド部４３が通過可能な開口部１
４ａを形成し、Ｚ軸スライド機構６によりヘッド部４３
を開口部１４ａを通して昇降可能にし、ヘッド部４３を
下降位置ＤＰにしてガラス基板４に吐出記録を行うよう
に構成し、ヘッド部４３を上昇位置ＵＰにして、仕切り
板１４の上方の空間においてヘッド部４３に吐出検査な
どを施すことができるので、液滴ジェットパターニング
装置１の内部の空間の利用効率を高めて、装置の小型化
を図ることができ、設備コスト的に有利になる。しか
も、仕切り板１４で上下に略遮断された構造になってい
るので、仕切り板１４よりも上方に何らかの可動部材を
配置して移動させたとしても、基板受台２１に保持した
ガラス基板４上に埃や塵などの異物が落下してくること
がなく、不良品の発生を防止することができる。

【０１５４】仕切り板１４の上方に検査調整装置９を設
け、Ｚ軸スライド機構６により上昇位置ＵＰに配置され
たヘッド部４３のノズルヘッド８をこの検査調整装置９
で検査・維持する構成にしたので、ガラス基板４を搬出
入する間、ガラス基板４を基板受台２１にセットする間
などの吐出記録停止中に、ヘッド部４３をＺ軸スライド
機構６により上昇位置ＵＰにして、仕切り板１４の上方
に設けられた検査調整装置９によりヘッド部４３のノズ
ルヘッド８を検査・維持することができる。パターン形
成を行う空間の上方の空間に検査調整装置９を設け、パ
ターン形成における吐出記録停止中に、ヘッド部４３の
ノズルヘッド８の検査・維持を行うことができるため、
液滴ジェットパターニング装置１の稼働率を高めること
もできる。

【０１５５】基板受台２１にガラス基板４を主走査方向
と副走査方向に夫々独立に移動可能な媒体送り機構２４
を設けたため、吐出記録の際に、ヘッド部４３を主走査
方向にも副走査方向にも移動させる必要がない。そのた
め、ヘッド部４３をＺ軸スライド機構６により昇降させ
る構成が簡単なものになるうえ、Ｚ軸スライド機構６で
ヘッド部４３を昇降させて仕切り板１４の下方の空間と
上方の空間とにわたって位置切換え可能にすることがで
きる。

【０１５６】仕切り板１４上に、ガラス基板４を原点位
置に設定する際にガラス基板４の位置を検出する為の複
数のＣＣＤカメラ３２ａ〜３２ｄを設けたので、基板受
台２１に保持したガラス基板４の位置を検出し、その検
出結果に基いてガラス基板４を原点位置に精度よく設定
することができる。液面位置維持機構166 、液容器昇降
機構163 、ケーシング168 、スリーブ171、圧縮コイル
バネ170 、軸状部材169 を介して、液容器152 内の液面
の基準高さ位置に維持し、この基準高さ位置をノズルヘ
ッド８の高さ位置に対して所定の位置関係に設定するた
め、ノズルヘッド８の複数のノズル５５から液滴を確実
に安定的に吐出させることができる。

【０１５７】しかも、液面維持手段としてのケーシング
168 、スリーブ171 、圧縮コイルバネ170 、軸状部材16
9 を介して液消費に追従して液容器152 内の液面を基準
高さ位置に維持するため、液面センサを設ける必要がな
く、簡単な構成のものとすることができる。また、液面
の基準高さ位置をノズルヘッド８の高さ位置に対して所
定の位置関係に設定するため、ノズルヘッド８を昇降さ
せるような場合にも、ノズルヘッド８から液が漏出した
り、ノズルヘッド８内の液が逆流したりするのを、確実
に防止することができるうえ、ノズルヘッド８から確実
に安定的に液滴を吐出させてパターンを形成することが
できる。

【０１５８】ノズルヘッド８をパターン形成を行う使用
位置と不使用位置とにわたって昇降させることができ、
この昇降時にも、ノズルヘッド８における液圧は安定し
た液圧に維持することができる。可動フレーム162 と液
容器152 との間に配設され且つ液容器152 を弾性支持す
る弾性支持手段と、この弾性支持手段を介して液容器15
2 内の液面の高さを基準高さ位置に維持する液面位置維
持機構166 を設けたため、液の消費に追従して液面の高
さが基準高さ位置に維持されるため、ノズルヘッド８内
の液圧を安定させ、液滴の吐出を安定させることができ
る。

【０１５９】液容器昇降機構163 を設けたため、Ｚ軸ス
ライド機構６によりヘッド部４３を昇降させる場合に
も、ノズルヘッド８における液圧を一定圧に維持でき
る。しかも、液面位置維持機構166 を設けたため、各液
容器152 における液の消費に起因する液面の変動が生じ
ないように補正することができ、液消費に伴うノズルヘ
ッド８における液圧の変動を防止し、液滴の吐出を安定
させることができる。液面位置維持機構166 は、弾性部
材としての圧縮コイルバネ170 により液容器152 内の液
体の重量が軽くなった際に、軽くなった分圧縮コイルバ
ネ170 の付勢力により液保持台165 を押し上げて液面を
一定高さ位置に簡単に補正することができる。

【０１６０】ノズルヘッド８は、ヘッドホルダ５１に一
体化されており、その両端と１対の第１リンク部材５６
Ａ，５６Ｂとを回動可能且つ分離可能に連結されるため
の連結ピンを、ヘッドホルダ５１の両端に突設し、その
連結ピンはノズルヘッドのヘッド面に直交する方向へ延
びるようにしたヘッド体（ノズルヘッドとヘッドホルダ
の結合体）を採用した構成であるので、ヘッド体の構成
が簡単である。連結ピンとしてはローラ部材１０２が回
動可能であるのでヘッド体の傾斜回動及び副走査方向へ
の移動が滑らかに行われる点から好ましい。しかし、連
結ピンは回動可能なローラ部材でなくてもヘッド体とし
ては機能する。このヘッド体は第１リンク部材に付勢手
段（圧縮コイルバネ１１０）により付勢されているの
で、ノズルヘッドの上下位置が第１リンク部材に対して
固定保持される。

【０１６１】このように、ノズルヘッドを備えた複数の
ヘッド体は、その両端部で４節平行リンク機構４９の第
１リンク部材５６Ａ，５６Ｂに回動可能且つ着脱可能に
取着されて複数のヘッド体からなるヘッドユニットが構
成されている。このヘッドユニットが液滴ジェットパタ
ーニング装置のヘッド組取付台に取着されているので、
被吐出媒体とヘッド体との間の距離が極めて精度よく保
たれるのである。このため、ＲＧＢの発光層を極めて高
精度に基板上に配列できる。ヘッド体と第１リンク部材
との間の可動部にガタつきが発生しないからである。従
って、従来のスクリーン印刷法による発光層の作成に比
べて、ＥＬディスプレイを簡易且つ短時間、低コストで
作成することができる。

【０１６２】次に、特許請求の範囲に記載の部材や手段
に相当するものについて説明する。 回動手段：４節平行リンク機構４９及び回動駆動機構８
０が回動手段に相当する。回動制御手段：制御装置１
３、特にホスト制御ユニット173 が回動制御手段に相当
する。

【０１６３】次に、前記実施形態を部分的に変更する例
について説明する。 １）この液滴ジェットパターニング装置１は、カラーＥ
Ｌディスプレイ用のガラス基板にドットパターンを形成
する用途以外に、カラーＬＣＤのカラーフィルタの製造
時のドットパターンの形成、大型のインクジェットプリ
ンタ、その他種々の用途の液滴ジェットパターニング装
置に適用可能である。

【０１６４】２）４節平行リンク機構４９を傾斜回動さ
せるモータ８２の出力軸を、回動支点５０Ｂのピン部材
７５に直接連結して４節平行リンク機構４９を傾斜回動
させるように構成してもよい。また、４節平行リンク機
構４９を傾斜回動させる手段として、前側の第１リンク
部材５６Ａを左方へ精密に移動駆動する手段、又は、後
側の第１リンク部材５６Ｂを右方へ精密に移動駆動する
手段を採用することも可能である。その移動駆動する手
段としては、例えば電動シリンダやソレノイドアクチュ
エータ等を適用できる。

【０１６５】３）４節平行リンク機構４９の傾斜回動角
を検出する手段は、前記エンコーダ８１に限定されるも
のではなく、例えば、左側の回動支点５０Ａの上方に同
心状にエンコーダを設け、そのエンコーダにより第２リ
ンク部材５７Ａの回動角を検出するような構成にしても
よい。また、傾斜回動用のモータ８２として高精度のサ
ーボモータを適用し、このサーボモータのエンコーダか
らの信号に基づいて４節平行リンク機構４９の傾斜回動
角を検出する構成にしてもよい。

【０１６６】４）４節平行リンク機構４９の１対の回動
支点５０Ａ，５０Ｂは、１対の第２リンク部材５７Ａ，
５７Ｂの途中部（１対の第１リンク部材５６Ａ，５６Ｂ
の間の途中部）に設ける必要があるが、１対の回動支点
５０Ａ，５０Ｂを１対の第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂ
の副走査方向のほぼ中間部に設け、基準ノズルヘッド８
R のノズル列のほぼ中間位置の所定ノズル番号のノズル
が、１対の回動支点５０Ａ，５０Ｂの軸心を結ぶ面上に
位置するように設定することもできる。

【０１６７】５）４節平行リンク機構４９の１対の回動
支点５０Ａ，５０Ｂは、第２リンク部材５７Ａ，５７Ｂ
に固定されたピン部材７５を主体として構成したが、上
基板４６側に固定した１対のピン部材を第２リンク部材
５７Ａ，５７Ｂに形成した１対の穴に摺動自在に嵌合さ
せた構成にしてもよく、その場合、第２リンク部材５７
Ａ，５７Ｂに形成した１対の穴が１対の回動支点とな
る。 ６）相対移動手段としては、前記媒体送り機構２４に限
定されるものではなく、ノズルヘッドと被吐出媒体との
間にＸＹ方向（主走査方向と副走査方向）に相対移動を
発生するものであればよい。例えば、ノズルヘッド８を
主走査方向に移動し得るように構成し、基板受台２１を
副走査方向に移動し得るように構成することも可能であ
る。

【０１６８】

【発明の効果】 請求項１の発明によれば、この液滴ジ
ェットパターニング装置の製作段階において、予め多数
のノズルヘッドが製作して準備され、それらノズルヘッ
ドのノズルピッチ誤差を複数段階にランク付けしてお
き、前記回動手段に装着する複数のノズルヘッドをノズ
ルピッチ誤差が同ランクのノズルヘッドで構成するた
め、複数のノズルヘッドにおけるノズルピッチ誤差が近
似した値となる。前記ノズルピッチ誤差が正の値の場合
は、ノズルヘッドの傾斜回動角度を大きく調整すること
でノズルピッチ誤差を補正することができ、ノズルピッ
チ誤差が負の値の場合は、ノズルヘッドの傾斜回動角度
を小さく調整することでノズルピッチ誤差を補正するこ
とができる。こうして、パターン形成の精度を格段に高
めることができる。

【０１６９】請求項２の発明によれば、前記回動制御手
段は、指定される回動角だけ前記回動手段を介してノズ
ルヘッドを回動させる際に、前記回動手段に装着された
複数のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズル
ピッチ誤差に基づいて前記回動角に補正を施すので、複
数のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズルピ
ッチ誤差に応じて傾斜回動角を補正し、ノズルピッチ誤
差に起因する吐出記録の誤差を殆ど解消させて、パター
ン形成の精度を高めることができる。

【０１７０】請求項３の発明によれば、前記回動制御手
段は、指定される回動角だけ前記回動手段を介してノズ
ルヘッドを回動させる際に、回動手段に装着された複数
のノズルヘッドのピッチ誤差ランクにおけるノズルピッ
チ誤差中心値に基づいて前記回動角に補正を施すので、
ノズルヘッドの傾斜回動角を補正する補正の精度を高め
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態の液滴ジェットパターニング
装置の正面図である。

【図２】液滴ジェットパターニング装置の平面図であ
る。

【図３】検査調整ステージの要部拡大平面図である。

【図４】液滴ジェットパターニング装置の要部拡大正面
図である。

【図５】媒体保持移動装置と基板受台とガラス基板等の
平面図である。

【図６】ノズルヘッドのヘッド部の位置を説明する説明
図である。

【図７】Ｚ軸スライド機構の一部とノズルヘッド保持装
置と回動駆動機構とエンコーダの平面図である。

【図８】図７のVIII-VIII 線端面図（一部切欠き縦断部
を含む）である。

【図９】ノズルヘッド保持装置と回動駆動機構とエンコ
ーダなどの一部切欠き縦断右側面図である。

【図１０】ノズルヘッド保持装置の一部切欠き縦断左側
面図である。

【図１１】図７のXI-XI 線端面図（一部切欠き縦断部を
含む）である。

【図１２】ノズルヘッド保持装置を支持基板に取付けた
状態の要部縦断面図である。

【図１３】ノズルヘッド保持装置を支持基板から取外し
た状態の要部縦断面図である。

【図１４】ノズルヘッド保持装置の一部切欠き横断平面
図である。

【図１５】ノズルヘッド保持装置の背面図である。

【図１６】ノズルヘッド保持装置の縦断側面面である。

【図１７】ノズルヘッド保持装置の縦断側面面である。

【図１８】ノズルヘッド保持装置の一部切欠き縦断正面
図である。

【図１９】ノズルヘッド保持装置の概略平面図である。

【図２０】第２リンク部材を傾斜回動させる回動駆動機
構の要部平面である。

【図２１】ノズルヘッド保持装置の案内機構と移動機構
の要部横断面図である。

【図２２】ヘッドホルダの平面図である。

【図２３】ノズルヘッド保持装置の要部縦断側面図であ
る。

【図２４】ノズルヘッドのノズル間寸法誤差を説明する
説明図である。

【図２５】ランク付けしたノズル間寸法誤差と中心誤差
を示す図表である。

【図２６】液供給機構の側面図である。

【図２７】（ａ）は４節平行リンク機構とノズルヘッド
を初期位置にした状態の機構図、（ｂ）は４節平行リン
ク機構とノズルヘッドを傾斜回動させた状態の機構図で
ある。

【図２８】回動駆動機構とエンコーダと位置調整駆動機
構の構成説明図である。

【図２９】（ａ）〜（ｃ）は夫々Ｒ，Ｇ，Ｂのドット配
置例の説明図である。

【図３０】吐出検査機構の構成説明図である。

【図３１】吐出検査用のＣＣＤカメラにおけるＣＣＤ撮
像領域の説明図である。

【図３２】図３１の観測窓と液滴の画像を説明する説明
図である。

【図３３】基板受台上のガラス基板と自動アライメント
調整機構の構成説明図である。

【図３４】ヘッドメンテナンス機構の斜視図である。

【図３５】ガラス基板の複数のきパターン形成領域に液
滴を吐出してパターンを形成するノズルヘッドのガラス
基板に対する相対移動を説明する説明図である。

【図３６】ノズルヘッドを１パスずつ移動させてパター
ンを形成する移動経路を説明する説明図である

【図３７】ノズルヘッドを１パス毎にインターレースを
行ってパターンを形成する移動経路を説明する説明図で
ある。

【図３８】液滴ジェットパターニング装置の制御系のブ
ロック図の一部である。

【図３９】液滴ジェットパターニング装置の制御系のブ
ロック図の残部である。

【図４０】連続記録にてガラス基板に吐出記録する制御
の概略フローチャートの一部である。

【図４１】図４０のフローチャートに続く概略フローチ
ャートの残部である。

【図４２】ノズルヘッドの吐出検査の制御の概略フロー
チャートである。

【図４３】図４２のフローチャートのＳ４４の処理のフ
ローチャートである。

【符号の説明】

１ 液滴ジェットパターニング装置 ４ ガラス基板 ６ Ｚ軸スライド機構 ７ ノズルヘッド保持装置 ８ ノズルヘッド １２ 液供給機構 １３ 制御装置 １４ 仕切り板 １４ａ 開口部 ２０，１９ Ｘ，Ｙ軸スライド機構 ２１ 基板受台 ２５ ヘッド組取付台 ３２ａ〜３２ｄ ＣＣＤカメラ ３６ 自動アライメント調整機構 ４３ ヘッド部 ４９ ４節平行リンク機構 ５１ ヘッドホルダ ５２Ａ，５２Ｂ 案内機構 ５３Ａ，５３Ｂ 移動機構 ５５ ノズル ８０ 回動駆動機構 ８１ エンコーダ ８２ 減速機付きモータ 113 位置調整駆動機構 121 吐出検査機構 123 ヘッドメンテナンス機構 140a,140b Ｙ方向移動駆動機構 141a,141b 撮影ポジション切換え機構 142 ＣＣＤカメラ 143 ストロボ投光器 173 ホスト制御ユニット

─────────────────────────────────────────────────────

【手続補正書】

【提出日】平成１４年９月２６日（２００２．９．２
６）

【手続補正１】

【補正対象書類名】図面

【補正対象項目名】図４２

【補正方法】変更

【補正内容】

【図４２】

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 主走査方向と直交する副走査方向に沿っ
   てノズルヘッドに列設された複数のノズルから液滴を吐
   出して被吐出媒体にパターンを形成する液滴ジェットパ
   ターニング装置において、 前記主走査方向に所定間隔おきに配置した複数のノズル
   ヘッドと、 前記複数のノズルヘッドを支持し、それらノズルヘッド
   を副走査方向と平行な基準位置から傾斜回動させる為の
   回動手段と、 この回動手段を制御する回動制御手段とを備え、 多数のノズルヘッドのノズルピッチ誤差を複数段階にラ
   ンク付けしておき、前記回動手段に装着する複数のノズ
   ルヘッドをノズルピッチ誤差が同ランクのノズルヘッド
   で構成したことを特徴とする液滴ジェットパターニング
   装置。
2. 【請求項２】 前記回動制御手段は、指定される回動角
   だけ前記回動手段を介してノズルヘッドを回動させる際
   に、前記回動手段に装着された複数のノズルヘッドのピ
   ッチ誤差ランクにおけるノズルピッチ誤差に基づいて前
   記回動角に補正を施すことを特徴とする請求項１に記載
   の液滴ジェットパターニング装置。
3. 【請求項３】 前記回動制御手段は、指定される回動角
   だけ前記回動手段を介してノズルヘッドを回動させる際
   に、前記回動手段に装着された複数のノズルヘッドのピ
   ッチ誤差ランクにおけるノズルピッチ誤差中心値に基づ
   いて前記回動角に補正を施すことを特徴とする請求項１
   に記載の液滴ジェットパターニング装置。