JP2003098141A - 露点測定装置およびその製造方法 - Google Patents
露点測定装置およびその製造方法Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 結露防止装置を製作するにあたり、結露検出
センサと温度検出センサとの配設レイアウトが自由にで
き、かつ製作工程数が少なくなるように構成する。 【解決手段】 結露検出センサ２と、該結露検出センサ
２の環境温度を測定する第一温度検出センサ３とを、同
一基板８上に設けるように構成し、かつ、結露検出セン
サ２用のくし形対向電極９と温度検出センサ３用の測温
抵抗体１２とを、同一材料である白金（Ｐｔ）をスパッ
タリングする一工程の作業で形成し、さらに電極部１
０、１３の形成、リード線の接続等についても一工程の
作業で行うように構成する。
センサと温度検出センサとの配設レイアウトが自由にで
き、かつ製作工程数が少なくなるように構成する。 【解決手段】 結露検出センサ２と、該結露検出センサ
２の環境温度を測定する第一温度検出センサ３とを、同
一基板８上に設けるように構成し、かつ、結露検出セン
サ２用のくし形対向電極９と温度検出センサ３用の測温
抵抗体１２とを、同一材料である白金（Ｐｔ）をスパッ
タリングする一工程の作業で形成し、さらに電極部１
０、１３の形成、リード線の接続等についても一工程の
作業で行うように構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、車室内等の窓面に
結露が発生するのを防止するための結露防止装置等を構
成する露点測定装置およびその製造方法の技術分野に属
するものである。
結露が発生するのを防止するための結露防止装置等を構
成する露点測定装置およびその製造方法の技術分野に属
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に、この種露点測定装置は、例えば
車両に設けられる結露防止装置の構成部材として用いら
れることがあり、この場合では、露点測定装置により車
両の窓ガラスに結露が発生することを予測して、デフォ
ッガ（熱線ビーム）等の結露除去アクチュエータを作動
させる構成となっている。このような結露防止装置に配
される露点測定装置は、温度制御可能な基板上に、結露
検出センサと、該結露検出センサの環境温度を測定する
第一温度検出センサとを設けたものに構成されるが、こ
のような露点測定装置を製作する場合、従来では、一般
に市販されている汎用型の結露検出センサと温度検出セ
ンサとをそれぞれ用意して、温度制御可能な、例えば熱
電冷却モジュールの上面に近接状に組込むか、それぞれ
のセンサを別個に製作し、これら製作されたセンサを前
述と同様に組込むかして製作している。
車両に設けられる結露防止装置の構成部材として用いら
れることがあり、この場合では、露点測定装置により車
両の窓ガラスに結露が発生することを予測して、デフォ
ッガ（熱線ビーム）等の結露除去アクチュエータを作動
させる構成となっている。このような結露防止装置に配
される露点測定装置は、温度制御可能な基板上に、結露
検出センサと、該結露検出センサの環境温度を測定する
第一温度検出センサとを設けたものに構成されるが、こ
のような露点測定装置を製作する場合、従来では、一般
に市販されている汎用型の結露検出センサと温度検出セ
ンサとをそれぞれ用意して、温度制御可能な、例えば熱
電冷却モジュールの上面に近接状に組込むか、それぞれ
のセンサを別個に製作し、これら製作されたセンサを前
述と同様に組込むかして製作している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、汎用された
センサを購入して組込む場合では、コスト高になるうえ
形状が予め決まっているため、レイアウトの自由度が極
端に低下するという問題がある。一方、各センサをそれ
ぞれ製作する場合、結露検出センサの製作工程の一例と
しては、絶縁性の基板上にくし型対向電極をカーボン
（Ｃ）を用いてスパッタリング形成し（第一ステッ
プ）、前記対向電極に接続する電極を金（Ａｕ）を用い
てスパッタリング形成し（第二ステップ）、基板上面に
樹脂材（例えばシリコン）による保護膜を被覆し（第三
ステップ）、感湿樹脂（例えばアクリル系樹脂材等）を
用いて前記対向電極を跨ぐように感湿膜を形成し（第四
ステップ）、そして、前記電極に外部電源供給用のリー
ド線を半田付けにより接続する（第五ステップ）ように
したものがあり、この場合では五段階の工程が必要とな
る。一方、温度検出センサの製作工程の一例としては、
絶縁性の基板上に、測温抵抗体を白金（Ｐｔ）を用いて
スパッタリング形成し（第一ステップ）、このものをア
ニール処理（熱処理）し（第二ステップ）、前記測温抵
抗体の抵抗調整をし（第三ステップ）、前記測温抵抗体
に接続する電極を金（Ａｕ）を用いてスパッタリング形
成し（第四ステップ）、基板上面を二酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ２）を用いて保護膜を被覆し（第五ステップ）、そし
て、前記電極に外部電源供給用のリード線を半田付けに
より接続する（第六ステップ）ようにしたものがあり、
この場合では六段階の工程が必要となる。このように、
それぞれ別個に製作したものを組込む場合では、レイア
ウトの自由度は改善されるものの製作工程数が多く煩雑
となってしまい、コスト低下を実現できないという問題
があり、ここに本発明が解決しようとする課題があっ
た。
センサを購入して組込む場合では、コスト高になるうえ
形状が予め決まっているため、レイアウトの自由度が極
端に低下するという問題がある。一方、各センサをそれ
ぞれ製作する場合、結露検出センサの製作工程の一例と
しては、絶縁性の基板上にくし型対向電極をカーボン
（Ｃ）を用いてスパッタリング形成し（第一ステッ
プ）、前記対向電極に接続する電極を金（Ａｕ）を用い
てスパッタリング形成し（第二ステップ）、基板上面に
樹脂材（例えばシリコン）による保護膜を被覆し（第三
ステップ）、感湿樹脂（例えばアクリル系樹脂材等）を
用いて前記対向電極を跨ぐように感湿膜を形成し（第四
ステップ）、そして、前記電極に外部電源供給用のリー
ド線を半田付けにより接続する（第五ステップ）ように
したものがあり、この場合では五段階の工程が必要とな
る。一方、温度検出センサの製作工程の一例としては、
絶縁性の基板上に、測温抵抗体を白金（Ｐｔ）を用いて
スパッタリング形成し（第一ステップ）、このものをア
ニール処理（熱処理）し（第二ステップ）、前記測温抵
抗体の抵抗調整をし（第三ステップ）、前記測温抵抗体
に接続する電極を金（Ａｕ）を用いてスパッタリング形
成し（第四ステップ）、基板上面を二酸化ケイ素（Ｓｉ
Ｏ２）を用いて保護膜を被覆し（第五ステップ）、そし
て、前記電極に外部電源供給用のリード線を半田付けに
より接続する（第六ステップ）ようにしたものがあり、
この場合では六段階の工程が必要となる。このように、
それぞれ別個に製作したものを組込む場合では、レイア
ウトの自由度は改善されるものの製作工程数が多く煩雑
となってしまい、コスト低下を実現できないという問題
があり、ここに本発明が解決しようとする課題があっ
た。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記の如き実
情に鑑み、これらの課題を解決することを目的として創
作されたものであって、結露検出センサと、該結露検出
センサの環境温度を測定する温度検出センサとを備えて
露点測定装置を構成するにあたり、各センサは、温度制
御される同一基板上に設けられ、結露検出センサ用のく
し形対向電極と温度検出センサ用の測温抵抗体とは、同
一材料により一工程で形成されているものである。そし
て、このようにすることにより、両センサを同一基板上
に設けることでレイアウトの自由度が増すうえ、製作工
程数を削減できる。このものにおいて、くし形対向電極
と測温抵抗体とは白金で形成されているものとすること
ができる。また、本発明は、結露検出センサと、該結露
検出センサの環境温度を測定する温度検出センサとを備
えた露点測定装置は、温度制御される同一基板上に、結
露検出センサ用のくし形対向電極と温度検出センサ用の
測温抵抗体とを同一材料で形成する第一ステップと、こ
のものを熱処理する第二ステップと、測温抵抗体の抵抗
調整をする第三ステップと、くし形対向電極と測温抵抗
体とに接続される二対の電極部を形成する第四ステップ
と、基板表面を保護膜で被覆する第五ステップと、くし
形電極上に感湿膜を形成する第六ステップと、電極部に
リード線を接続する第七ステップとにより構成されるも
のである。そして、このようにすることによって、製作
工程数を削減できて、コスト低下を計ることができる。
このものにおいて、本発明のくし形対向電極と測温抵抗
体とは白金で形成されているものとすることができる。
情に鑑み、これらの課題を解決することを目的として創
作されたものであって、結露検出センサと、該結露検出
センサの環境温度を測定する温度検出センサとを備えて
露点測定装置を構成するにあたり、各センサは、温度制
御される同一基板上に設けられ、結露検出センサ用のく
し形対向電極と温度検出センサ用の測温抵抗体とは、同
一材料により一工程で形成されているものである。そし
て、このようにすることにより、両センサを同一基板上
に設けることでレイアウトの自由度が増すうえ、製作工
程数を削減できる。このものにおいて、くし形対向電極
と測温抵抗体とは白金で形成されているものとすること
ができる。また、本発明は、結露検出センサと、該結露
検出センサの環境温度を測定する温度検出センサとを備
えた露点測定装置は、温度制御される同一基板上に、結
露検出センサ用のくし形対向電極と温度検出センサ用の
測温抵抗体とを同一材料で形成する第一ステップと、こ
のものを熱処理する第二ステップと、測温抵抗体の抵抗
調整をする第三ステップと、くし形対向電極と測温抵抗
体とに接続される二対の電極部を形成する第四ステップ
と、基板表面を保護膜で被覆する第五ステップと、くし
形電極上に感湿膜を形成する第六ステップと、電極部に
リード線を接続する第七ステップとにより構成されるも
のである。そして、このようにすることによって、製作
工程数を削減できて、コスト低下を計ることができる。
このものにおいて、本発明のくし形対向電極と測温抵抗
体とは白金で形成されているものとすることができる。
【０００５】
【発明の実施の形態】次に、本発明の第一の実施の形態
を図１〜３の図面に基づいて説明する。図中、１は車両
に配される結露防止装置１であって、該結露防止装置１
は、結露検出センサ２と、該結露検出センサ２の実際の
温度を検出するための第一温度検出センサ（本発明の温
度検出センサに相当する）３と、結露検出センサ２の環
境温度を所定の温度に設定するための温度設定手段４と
を備え後述するように形成された露点測定装置Ｓと、該
露点測定装置Ｓの近傍の窓ガラスに取付けられ、該後部
窓ガラスの実際の温度を測定する第二温度検出センサ５
とが設けられている。さらに、結露防止装置１には、前
記露点測定装置Ｓと第二温度検出センサ５と、デフォッ
ガ（熱線ビーム）、デフロスタ、エアコン等の車両に設
けられる結露除去アクチュエータ６とにそれぞれ接続さ
れる制御部７が設けられている。
を図１〜３の図面に基づいて説明する。図中、１は車両
に配される結露防止装置１であって、該結露防止装置１
は、結露検出センサ２と、該結露検出センサ２の実際の
温度を検出するための第一温度検出センサ（本発明の温
度検出センサに相当する）３と、結露検出センサ２の環
境温度を所定の温度に設定するための温度設定手段４と
を備え後述するように形成された露点測定装置Ｓと、該
露点測定装置Ｓの近傍の窓ガラスに取付けられ、該後部
窓ガラスの実際の温度を測定する第二温度検出センサ５
とが設けられている。さらに、結露防止装置１には、前
記露点測定装置Ｓと第二温度検出センサ５と、デフォッ
ガ（熱線ビーム）、デフロスタ、エアコン等の車両に設
けられる結露除去アクチュエータ６とにそれぞれ接続さ
れる制御部７が設けられている。
【０００６】そして、制御部７は、結露検出に伴い電圧
低下して結露検出信号を出力する回路構成となっている
結露検出センサ２と、各温度信号を出力する第一、第二
温度検出センサ３、５とからの信号入力に基づいて、温
度設定手段４の温度制御をするべく指令信号を出力する
とともに、結露が発生しやすい状態になっているかの判
断をして、発生しやすいと判断することに伴い、デフォ
ッガ（熱線ビーム）、デフロスタ、エアコン等の結露除
去アクチュエータ６が駆動するよう指令信号を出力する
ように設定されている。尚、温度設定手段４は複数のペ
ルチェ素子を用いた熱電冷却モジュールで構成されてお
り、制御部７からの指令信号に基づいて電流印加される
ことでこれらペルチェ素子を挟持する一対の基板の温度
がそれぞれ変化して、結露検出センサ２の環境温度を所
定の温度に設定するようになっている。
低下して結露検出信号を出力する回路構成となっている
結露検出センサ２と、各温度信号を出力する第一、第二
温度検出センサ３、５とからの信号入力に基づいて、温
度設定手段４の温度制御をするべく指令信号を出力する
とともに、結露が発生しやすい状態になっているかの判
断をして、発生しやすいと判断することに伴い、デフォ
ッガ（熱線ビーム）、デフロスタ、エアコン等の結露除
去アクチュエータ６が駆動するよう指令信号を出力する
ように設定されている。尚、温度設定手段４は複数のペ
ルチェ素子を用いた熱電冷却モジュールで構成されてお
り、制御部７からの指令信号に基づいて電流印加される
ことでこれらペルチェ素子を挟持する一対の基板の温度
がそれぞれ変化して、結露検出センサ２の環境温度を所
定の温度に設定するようになっている。
【０００７】そして、制御部７は、電源ＯＮ状態となる
ことに伴い、窓ガラスの温度を第二温度検出センサ５に
より判断し、温度設定手段４に対して窓ガラス温度より
も予め設定される所定温度（例えば３度）だけ低くなる
よう指令信号を出力する。この状態で、制御部７に結露
検出センサ２から結露検出の信号が入力された場合、制
御部７は結露が発生しやすい状態となっていると判断し
て、結露除去アクチュエータ６を駆動させるように指令
信号を出力するように設定されており、これによって、
窓ガラスに結露が発生、付着する以前の段階で、結露除
去アクチュエータ６が駆動し、窓ガラスに結露が発生し
てしまうのが防止されるように設定されている。
ことに伴い、窓ガラスの温度を第二温度検出センサ５に
より判断し、温度設定手段４に対して窓ガラス温度より
も予め設定される所定温度（例えば３度）だけ低くなる
よう指令信号を出力する。この状態で、制御部７に結露
検出センサ２から結露検出の信号が入力された場合、制
御部７は結露が発生しやすい状態となっていると判断し
て、結露除去アクチュエータ６を駆動させるように指令
信号を出力するように設定されており、これによって、
窓ガラスに結露が発生、付着する以前の段階で、結露除
去アクチュエータ６が駆動し、窓ガラスに結露が発生し
てしまうのが防止されるように設定されている。
【０００８】次に、前記露点測定装置Ｓを図１に基づい
て説明する。８は温度設定手段４の一方の基板上に固定
される絶縁性材料で矩形状に形成された基板であって、
該基板８の図１において上側半部に結露検出センサ２が
形成され、下側半部に第一温度検出センサ３が形成され
ている。前記結露検出センサ２は、基板８上の中央部に
白金（Ｐｔ）をスパッタリングすることで構成されたく
し形対向電極９が形成され、該くし形対向電極９に接続
するようにして左右一対の電極部１０が金（Ａｕ）をス
パッタリングすることで形成されている。そして、前記
くし形対向電極９を跨ぐようにして感湿膜１１が形成さ
れたものとなっている。一方、前記第一温度検出センサ
３は、基板８上の中央部に白金（Ｐｔ）をスパッタリン
グすることで構成された測温抵抗体１２が形成され、該
側温抵抗体１２に接続されるようにして左右一対の電極
部１３が金（Ａｕ）をスパッタリングすることで形成さ
れたものとなっている。
て説明する。８は温度設定手段４の一方の基板上に固定
される絶縁性材料で矩形状に形成された基板であって、
該基板８の図１において上側半部に結露検出センサ２が
形成され、下側半部に第一温度検出センサ３が形成され
ている。前記結露検出センサ２は、基板８上の中央部に
白金（Ｐｔ）をスパッタリングすることで構成されたく
し形対向電極９が形成され、該くし形対向電極９に接続
するようにして左右一対の電極部１０が金（Ａｕ）をス
パッタリングすることで形成されている。そして、前記
くし形対向電極９を跨ぐようにして感湿膜１１が形成さ
れたものとなっている。一方、前記第一温度検出センサ
３は、基板８上の中央部に白金（Ｐｔ）をスパッタリン
グすることで構成された測温抵抗体１２が形成され、該
側温抵抗体１２に接続されるようにして左右一対の電極
部１３が金（Ａｕ）をスパッタリングすることで形成さ
れたものとなっている。
【０００９】続いて、前記露点測定装置Ｓの製作手順に
ついて図３の手順表図に基づいて説明する。まず、第一
ステップとして、基板８の上面の所定箇所に、結露検出
センサ２のくし形対向電極９と第一温度検出センサ３の
測温抵抗体１２とを、白金（Ｐｔ）のスパッタリングに
より形成する。つぎに、第二ステップとして、前記白金
がスパッタリングされた基板８を熱処理（アニール処
理）する。続いて第三ステップとして、熱処理された測
温抵抗体１２の縁部を、レーザを用いて形状を整えるこ
とにより抵抗調整をする。さらに第四ステップとして、
くし形対向電極と測温抵抗体とに接続するための二対の
電極部１０、１３を、金のスパッタリングにより形成す
る。そして、第五ステップとして、前記各部材が形成さ
れた基板８の上面に、二酸化ケイ素を主材料とするガラ
スペースト印刷することで保護膜（図示せず）を形成す
る。さらに、第六ステップとして、前記第一ステップに
おいて形成されたくし形対向電極９の上に保護膜１１を
形成するが、該保護膜１１は、感湿樹脂とカーボン粉末
とを混練したものを厚膜印刷することで形成されてい
る。そうして最後に、前記第七ステップとして、第４ス
テップにおいて形成された電極部にリード線を半田によ
り接続し、これによって、露点測定装置Ｓの製作工程が
終了するように設定されている。
ついて図３の手順表図に基づいて説明する。まず、第一
ステップとして、基板８の上面の所定箇所に、結露検出
センサ２のくし形対向電極９と第一温度検出センサ３の
測温抵抗体１２とを、白金（Ｐｔ）のスパッタリングに
より形成する。つぎに、第二ステップとして、前記白金
がスパッタリングされた基板８を熱処理（アニール処
理）する。続いて第三ステップとして、熱処理された測
温抵抗体１２の縁部を、レーザを用いて形状を整えるこ
とにより抵抗調整をする。さらに第四ステップとして、
くし形対向電極と測温抵抗体とに接続するための二対の
電極部１０、１３を、金のスパッタリングにより形成す
る。そして、第五ステップとして、前記各部材が形成さ
れた基板８の上面に、二酸化ケイ素を主材料とするガラ
スペースト印刷することで保護膜（図示せず）を形成す
る。さらに、第六ステップとして、前記第一ステップに
おいて形成されたくし形対向電極９の上に保護膜１１を
形成するが、該保護膜１１は、感湿樹脂とカーボン粉末
とを混練したものを厚膜印刷することで形成されてい
る。そうして最後に、前記第七ステップとして、第４ス
テップにおいて形成された電極部にリード線を半田によ
り接続し、これによって、露点測定装置Ｓの製作工程が
終了するように設定されている。
【００１０】そして、このようにして製作された露点測
定装置Ｓの結露検出センサ２と第一温度検出センサ３に
ついて、それぞれの性能実験を行った結果をつぎに示
す。前記結露検出センサ２において、湿度特性に対する
電気抵抗値は、高湿度領域の相対湿度７０パーセント
（７０％／ＲＨ）のときでは１キロオーム（１ｋΩ）以
下であるが、９５パーセント（９５％／ＲＨ）のときで
は２００キロオーム（２００ｋΩ）となっていて感度の
高い状態で結露を検知でき、また、水滴付着後の応答速
度は、電気抵抗値１キロオーム（１ｋΩ）〜１メガオー
ム（１ＭΩ）のあいだで３０秒（３０ｓ）以内となって
いる。これらの数値は、何れも単独で機能するべく一般
に市販されている結露検出センサにおける数値と略同様
であって、機能的に問題ないことが確認された。一方、
第一温度検出センサ３において、温度抵抗計数は０．３
２５（％／℃）であり、温度特性に対する電機抵抗値と
のあいだには直線的な相関関係となっており、その相関
係数は０．９９９９となっている。そして、これらの数
値は、何れも単独で機能するべく一般に市販されている
温度検出センサの数値と略同様であって、機能的に問題
ないことが確認された。
定装置Ｓの結露検出センサ２と第一温度検出センサ３に
ついて、それぞれの性能実験を行った結果をつぎに示
す。前記結露検出センサ２において、湿度特性に対する
電気抵抗値は、高湿度領域の相対湿度７０パーセント
（７０％／ＲＨ）のときでは１キロオーム（１ｋΩ）以
下であるが、９５パーセント（９５％／ＲＨ）のときで
は２００キロオーム（２００ｋΩ）となっていて感度の
高い状態で結露を検知でき、また、水滴付着後の応答速
度は、電気抵抗値１キロオーム（１ｋΩ）〜１メガオー
ム（１ＭΩ）のあいだで３０秒（３０ｓ）以内となって
いる。これらの数値は、何れも単独で機能するべく一般
に市販されている結露検出センサにおける数値と略同様
であって、機能的に問題ないことが確認された。一方、
第一温度検出センサ３において、温度抵抗計数は０．３
２５（％／℃）であり、温度特性に対する電機抵抗値と
のあいだには直線的な相関関係となっており、その相関
係数は０．９９９９となっている。そして、これらの数
値は、何れも単独で機能するべく一般に市販されている
温度検出センサの数値と略同様であって、機能的に問題
ないことが確認された。
【００１１】叙述の如く構成された本発明の実施の形態
において、結露防止装置１の露点測定装置Ｓは、一枚上
の基板８の上側半部に結露検出センサ２が配され、下側
半部に第一温度検出センサ３が配されたものとなってい
る。この結果、結露検出センサ２の環境温度の精度を高
めることができ、結露防止装置１の検知性能が向上す
る。しかも、これら各検出センサ２、３は、それぞれ別
個に市販されたものを組付けるのではなく、基板８上に
順次組込んで製作したものとなっている。このため、各
センサ２、３は、基板８の上面に自由に配設することが
できてレイアウトの自由度が大幅に改善され、露点測定
装置Ｓのコンパクト化等を実現できるうえ、作業工程数
が削減されてコスト低下を計ることができる。
において、結露防止装置１の露点測定装置Ｓは、一枚上
の基板８の上側半部に結露検出センサ２が配され、下側
半部に第一温度検出センサ３が配されたものとなってい
る。この結果、結露検出センサ２の環境温度の精度を高
めることができ、結露防止装置１の検知性能が向上す
る。しかも、これら各検出センサ２、３は、それぞれ別
個に市販されたものを組付けるのではなく、基板８上に
順次組込んで製作したものとなっている。このため、各
センサ２、３は、基板８の上面に自由に配設することが
できてレイアウトの自由度が大幅に改善され、露点測定
装置Ｓのコンパクト化等を実現できるうえ、作業工程数
が削減されてコスト低下を計ることができる。
【００１２】このように、このものでは結露検出センサ
２と第一温度検出センサ３とを同一基板８上に製作され
るものであるが、この場合に、結露検出センサ２のくし
形対向電極９と第一温度検出センサ３の測温抵抗体１２
とは、ともに白金をスパッタリングすることで形成する
ようにしたため、一回の白金スパッタリング作業によ
り、これらくし形対向電極９と測温抵抗体１２とが同時
的に形成できる。さらには、各センサ２、３用の電極部
１０、１３は同材料の金のスパッタリングで形成される
ため、これらも一回の金スパッタリング作業により形成
することができるうえ、これら電極部１０、１３にリー
ド線を接続させる作業も同時的に行うことができ、これ
ら各センサ２、３を別個に製作する場合に比べて作業の
工程数を大幅に削減できて、コスト低下にも寄与でき
る。
２と第一温度検出センサ３とを同一基板８上に製作され
るものであるが、この場合に、結露検出センサ２のくし
形対向電極９と第一温度検出センサ３の測温抵抗体１２
とは、ともに白金をスパッタリングすることで形成する
ようにしたため、一回の白金スパッタリング作業によ
り、これらくし形対向電極９と測温抵抗体１２とが同時
的に形成できる。さらには、各センサ２、３用の電極部
１０、１３は同材料の金のスパッタリングで形成される
ため、これらも一回の金スパッタリング作業により形成
することができるうえ、これら電極部１０、１３にリー
ド線を接続させる作業も同時的に行うことができ、これ
ら各センサ２、３を別個に製作する場合に比べて作業の
工程数を大幅に削減できて、コスト低下にも寄与でき
る。
【図１】結露防止装置の概略平面図である。
【図２】結露防止装置を説明するブロック図である。
【図３】結露防止装置の作業工程の手順を説明する表図
である。
である。
１ 結露防止装置
２ 結露検出センサ
３ 第一温度検出センサ
４ 温度設定手段
５ 第二温度検出センサ
６ 結露除去アクチュエータ
７ 制御部
８ 基板
９ くし形対向電極
１０ 電極部
１１ 感湿膜
１２ 測温抵抗体
１３ 電極部
─────────────────────────────────────────────────────
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Ｆターム(参考） 2G046 AA09 BA01 BC03 BC05 BE04
EA01 EA09 EA11 EB07 FB00
FE00 FE31
2G060 AA01 AC01 AF07 AG10 AG15
FA02 JA06 KA05
Claims (4)
- 【請求項１】 結露検出センサと、該結露検出センサの
環境温度を測定する温度検出センサとを備えて露点測定
装置を構成するにあたり、各センサは、温度制御される
同一基板上に設けられ、結露検出センサ用のくし形対向
電極と温度検出センサ用の測温抵抗体とは、同一材料に
より一工程で形成されている露点測定装置。 - 【請求項２】 請求項１において、くし形対向電極と測
温抵抗体とは白金で形成されている露点測定装置。 - 【請求項３】 結露検出センサと、該結露検出センサの
環境温度を測定する温度検出センサとを備えた露点測定
装置は、温度制御される同一基板上に、結露検出センサ
用のくし形対向電極と温度検出センサ用の測温抵抗体と
を同一材料で形成する第一ステップと、このものを熱処
理する第二ステップと、測温抵抗体の抵抗調整をする第
三ステップと、くし形対向電極と測温抵抗体とに接続さ
れる二対の電極部を形成する第四ステップと、基板表面
を保護膜で被覆する第五ステップと、くし形電極上に感
湿膜を形成する第六ステップと、電極部にリード線を接
続する第七ステップとにより構成される露点測定装置の
製造方法。 - 【請求項４】 請求項３において、くし形対向電極と測
温抵抗体とは白金で形成されている露点測定装置の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001291316A JP2003098141A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 露点測定装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001291316A JP2003098141A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 露点測定装置およびその製造方法 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003098141A true JP2003098141A (ja) | 2003-04-03 |
Family
ID=19113487
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001291316A Pending JP2003098141A (ja) | 2001-09-25 | 2001-09-25 | 露点測定装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003098141A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007315925A (ja) * | 2006-05-26 | 2007-12-06 | Riken Keiki Co Ltd | 可燃性ガスセンサ、及び可燃性ガス検出装置 |
| JP2010066009A (ja) * | 2008-09-08 | 2010-03-25 | Fuji Electric Systems Co Ltd | 薄膜ガスセンサ |
| JP2012021975A (ja) * | 2010-06-04 | 2012-02-02 | Sensirion Ag | センサシステム |
| CN110231364A (zh) * | 2019-07-03 | 2019-09-13 | 中国特种设备检测研究院 | 一种在线检测露点腐蚀探针装置 |
| CN110646471A (zh) * | 2019-09-29 | 2020-01-03 | 杭州铂得科技有限公司 | 一种微环境智能监测装置和微环境智能监测系统 |
| US20200053837A1 (en) * | 2017-02-14 | 2020-02-13 | National Institute For Materials Science | Method and system for preventing dew condensation and light scattering due to dew condensation |
-
2001
- 2001-09-25 JP JP2001291316A patent/JP2003098141A/ja active Pending
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| CN110646471A (zh) * | 2019-09-29 | 2020-01-03 | 杭州铂得科技有限公司 | 一种微环境智能监测装置和微环境智能监测系统 |
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