JP2003097802A - 蓄熱装置 - Google Patents
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/14—Thermal energy storage
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- Control Of Steam Boilers And Waste-Gas Boilers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】蓄熱槽からの過熱蒸気を飽和蒸気とすることが
できる蓄熱装置を提供する。 【解決手段】蓄熱槽12はケース13内に充填された蓄
熱材14と、蓄熱材14を加熱するヒータ16と、蓄熱
材14内に配設されると共に内部に水が流される伝熱管
15とを備えている。伝熱管15の一端は接続管21及
び供給管22を介して水タンク23に接続されている。
同じく他端は接続管31及び導入管32を介して密閉タ
ンク33内の水の中に導入されている。蓄熱材14はヒ
ータ16により所定温度に加熱され、この状態で伝熱管
15内に水が流される。供給管22及び接続管21を介
して伝熱管15内に供給された水は過熱蒸気となり、同
過熱蒸気は接続管31及び導入管32を介して密閉タン
ク33内の水の中に導入される。過熱蒸気は密閉タンク
33内の水と混合されることにより飽和蒸気となる。
できる蓄熱装置を提供する。 【解決手段】蓄熱槽12はケース13内に充填された蓄
熱材14と、蓄熱材14を加熱するヒータ16と、蓄熱
材14内に配設されると共に内部に水が流される伝熱管
15とを備えている。伝熱管15の一端は接続管21及
び供給管22を介して水タンク23に接続されている。
同じく他端は接続管31及び導入管32を介して密閉タ
ンク33内の水の中に導入されている。蓄熱材14はヒ
ータ16により所定温度に加熱され、この状態で伝熱管
15内に水が流される。供給管22及び接続管21を介
して伝熱管15内に供給された水は過熱蒸気となり、同
過熱蒸気は接続管31及び導入管32を介して密閉タン
ク33内の水の中に導入される。過熱蒸気は密閉タンク
33内の水と混合されることにより飽和蒸気となる。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、比熱の大きな物質
に熱を蓄えておき、後でこの顕熱を利用する蓄熱装置に
関するものである。
に熱を蓄えておき、後でこの顕熱を利用する蓄熱装置に
関するものである。
【0002】
【従来の技術】この種の蓄熱装置としては、ケースに充
填された蓄熱材をヒータで加熱しておき、この状態で蓄
熱材に埋設された伝熱管の一方からポンプの駆動により
水を供給し、他方から蒸気として取り出すようにしたも
のが従来から知られている。
填された蓄熱材をヒータで加熱しておき、この状態で蓄
熱材に埋設された伝熱管の一方からポンプの駆動により
水を供給し、他方から蒸気として取り出すようにしたも
のが従来から知られている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、前記従来の
蓄熱装置においては、次のような問題があった。即ち、
前記伝熱管の他方から取り出される蒸気は過熱蒸気であ
った。
蓄熱装置においては、次のような問題があった。即ち、
前記伝熱管の他方から取り出される蒸気は過熱蒸気であ
った。
【0004】本発明は前記問題点を解決するためになさ
れたものであって、その目的は、蓄熱槽からの過熱蒸気
を飽和蒸気とすることができる蓄熱装置を提供すること
にある。
れたものであって、その目的は、蓄熱槽からの過熱蒸気
を飽和蒸気とすることができる蓄熱装置を提供すること
にある。
【0005】
【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、熱媒体を蓄熱槽の伝熱管内に供給することにより加
熱して過熱蒸気とし、この過熱蒸気を前記蓄熱槽の外部
に配置された密閉タンク内へ導くと共に当該密閉タンク
内に予め貯留された所定量の熱媒体の中に導入するよう
にしたことをその要旨とする。
は、熱媒体を蓄熱槽の伝熱管内に供給することにより加
熱して過熱蒸気とし、この過熱蒸気を前記蓄熱槽の外部
に配置された密閉タンク内へ導くと共に当該密閉タンク
内に予め貯留された所定量の熱媒体の中に導入するよう
にしたことをその要旨とする。
【0006】請求項2に記載の発明は、請求項1に記載
の発明において、前記伝熱管の一端は熱媒体供給経路に
接続されており、同じく他端は熱媒体出口側経路を介し
て前記密閉タンク内の熱媒体の中に導入されていること
をその要旨とする。 (作用)請求項1に記載の発明においては、熱媒体は蓄
熱槽の伝熱管内に供給されることにより加熱されて過熱
蒸気となる。この過熱蒸気は前記蓄熱槽の外部に配置さ
れた密閉タンク内へ導かれると共に当該密閉タンク内に
予め貯留された所定量の熱媒体の中に導入される。過熱
蒸気は密閉タンク内の熱媒体と混合されることにより、
飽和蒸気となる。
の発明において、前記伝熱管の一端は熱媒体供給経路に
接続されており、同じく他端は熱媒体出口側経路を介し
て前記密閉タンク内の熱媒体の中に導入されていること
をその要旨とする。 (作用)請求項1に記載の発明においては、熱媒体は蓄
熱槽の伝熱管内に供給されることにより加熱されて過熱
蒸気となる。この過熱蒸気は前記蓄熱槽の外部に配置さ
れた密閉タンク内へ導かれると共に当該密閉タンク内に
予め貯留された所定量の熱媒体の中に導入される。過熱
蒸気は密閉タンク内の熱媒体と混合されることにより、
飽和蒸気となる。
【0007】請求項2に記載の発明においては、請求項
1に記載の発明の作用に加えて、熱媒体供給経路を介し
て伝熱管内に供給された熱媒体は過熱蒸気となり、この
過熱蒸気は熱媒体出口側経路を介して前記密閉タンク内
の熱媒体の中に導入され、飽和蒸気となる。
1に記載の発明の作用に加えて、熱媒体供給経路を介し
て伝熱管内に供給された熱媒体は過熱蒸気となり、この
過熱蒸気は熱媒体出口側経路を介して前記密閉タンク内
の熱媒体の中に導入され、飽和蒸気となる。
【0008】
【発明の実施の形態】(第1実施形態)以下、本発明を
蓄熱装置に具体化した一実施形態を図1に従って説明す
る。
蓄熱装置に具体化した一実施形態を図1に従って説明す
る。
【0009】図1に示すように、蓄熱装置11は蓄熱槽
12を備えており、同蓄熱槽12のケース13内にはマ
グネシア及び硝酸塩を主成分とする蓄熱材14が充填さ
れている。蓄熱材14内には内部に熱媒体としての水が
流通される伝熱管15、及び蓄熱材14を加熱するヒー
タ16が配設されている。伝熱管15及びヒータ16は
それぞれケース13の上壁を貫通して外部に導出されて
いる。
12を備えており、同蓄熱槽12のケース13内にはマ
グネシア及び硝酸塩を主成分とする蓄熱材14が充填さ
れている。蓄熱材14内には内部に熱媒体としての水が
流通される伝熱管15、及び蓄熱材14を加熱するヒー
タ16が配設されている。伝熱管15及びヒータ16は
それぞれケース13の上壁を貫通して外部に導出されて
いる。
【0010】伝熱管15の一端は接続管21及び供給管
22を介して蓄熱槽12の外部に配置された水タンク2
3の水出口に接続されている。水タンク23は上面が開
口されており、前記水出口は水タンク23の外周壁下部
に設けられている。水タンク23には給水管24を介し
て外部から水が供給され、予め所定量の水が貯留されて
いる。供給管22上にはポンプ25及び逆止弁26が配
設されており、同逆止弁26はポンプ25よりも接続管
21側(ポンプ25の吐出側)に配置されている。尚、
前記接続管21及び供給管22は蓄熱槽12への熱媒体
供給経路を構成する。水タンク23は熱媒体タンクを構
成する。
22を介して蓄熱槽12の外部に配置された水タンク2
3の水出口に接続されている。水タンク23は上面が開
口されており、前記水出口は水タンク23の外周壁下部
に設けられている。水タンク23には給水管24を介し
て外部から水が供給され、予め所定量の水が貯留されて
いる。供給管22上にはポンプ25及び逆止弁26が配
設されており、同逆止弁26はポンプ25よりも接続管
21側(ポンプ25の吐出側)に配置されている。尚、
前記接続管21及び供給管22は蓄熱槽12への熱媒体
供給経路を構成する。水タンク23は熱媒体タンクを構
成する。
【0011】伝熱管15の他端は接続管31及び導入管
32を介して蓄熱槽12の外部に配置された密閉タンク
としての蒸気タンク33の上壁を貫通して内部に導入さ
れている。この蒸気タンク33には予め所定量の水が貯
留されている。蒸気タンク33の上部には蒸気導出管3
4の一端が接続されていると共に蒸気タンク33の内部
圧力を検出する圧力センサ35が設けられている。ま
た、蒸気タンク33の外周壁上部には安全弁36が内部
の空気だまりに対応するように設けられている。安全弁
36の開放値は例えば5.5kgf/cm^2程度に設
定されている。尚、本明細書中、記号「^」は、べき乗
を示す。
32を介して蓄熱槽12の外部に配置された密閉タンク
としての蒸気タンク33の上壁を貫通して内部に導入さ
れている。この蒸気タンク33には予め所定量の水が貯
留されている。蒸気タンク33の上部には蒸気導出管3
4の一端が接続されていると共に蒸気タンク33の内部
圧力を検出する圧力センサ35が設けられている。ま
た、蒸気タンク33の外周壁上部には安全弁36が内部
の空気だまりに対応するように設けられている。安全弁
36の開放値は例えば5.5kgf/cm^2程度に設
定されている。尚、本明細書中、記号「^」は、べき乗
を示す。
【0012】前記接続管21と供給管22との接続部分
(熱媒体供給経路の途中)には導出管41の一端が分岐
するように接続されており、同導出管41の他端は前記
水タンク23の上面開口部から内部に導入されている。
導出管41上には電磁弁42が設けられており、同電磁
弁42の開閉により導出管41は連通及び遮断される。
尚、導出管41及び電磁弁42は、蓄熱槽12内に滞留
している水を外部に取り出す熱媒体導出手段を構成す
る。
(熱媒体供給経路の途中)には導出管41の一端が分岐
するように接続されており、同導出管41の他端は前記
水タンク23の上面開口部から内部に導入されている。
導出管41上には電磁弁42が設けられており、同電磁
弁42の開閉により導出管41は連通及び遮断される。
尚、導出管41及び電磁弁42は、蓄熱槽12内に滞留
している水を外部に取り出す熱媒体導出手段を構成す
る。
【0013】蓄熱装置11はCPU等からなる制御手段
としての制御装置51を備えている。制御装置51の入
力側には前記圧力センサ35が接続されており、出力側
には前記電磁弁42及びポンプ25がそれぞれ接続され
ている。制御装置51は圧力センサ35が検出した蒸気
タンク33の内部圧力に基づいて電磁弁42の開閉及び
ポンプ25の駆動停止をそれぞれ制御する。
としての制御装置51を備えている。制御装置51の入
力側には前記圧力センサ35が接続されており、出力側
には前記電磁弁42及びポンプ25がそれぞれ接続され
ている。制御装置51は圧力センサ35が検出した蒸気
タンク33の内部圧力に基づいて電磁弁42の開閉及び
ポンプ25の駆動停止をそれぞれ制御する。
【0014】次に、前述のように構成した蓄熱装置の作
用について説明する。蓄熱装置11の放熱(出熱)運転
は、蓄熱材14が夜間電力によるヒータ加熱により50
0℃程度に加熱された状態で開始される。即ち、制御装
置51は電磁弁42を閉弁状態に保持すると共にポンプ
25を駆動させ、供給管22及び接続管21を介して水
タンク23内の水を伝熱管15内に供給する。この水は
伝熱管15内を通過する際、蓄熱材14の熱が伝熱管1
5の管壁を介して伝達されることにより加熱され、過熱
蒸気となる。この過熱蒸気は接続管31及び導入管32
を介して蒸気タンク33に貯留された水の中に導入さ
れ、水と混合されることによって飽和蒸気となる。この
飽和蒸気は蒸気導出管34を介して外部に取り出され
る。本実施形態において、蓄熱装置11の放熱運転時に
おける蒸気タンク33の内部圧力(運転圧力)、即ち負
荷蒸気供給圧力は5.0kgf/cm^2(約4.9×
10^5Pa)とされている。
用について説明する。蓄熱装置11の放熱(出熱)運転
は、蓄熱材14が夜間電力によるヒータ加熱により50
0℃程度に加熱された状態で開始される。即ち、制御装
置51は電磁弁42を閉弁状態に保持すると共にポンプ
25を駆動させ、供給管22及び接続管21を介して水
タンク23内の水を伝熱管15内に供給する。この水は
伝熱管15内を通過する際、蓄熱材14の熱が伝熱管1
5の管壁を介して伝達されることにより加熱され、過熱
蒸気となる。この過熱蒸気は接続管31及び導入管32
を介して蒸気タンク33に貯留された水の中に導入さ
れ、水と混合されることによって飽和蒸気となる。この
飽和蒸気は蒸気導出管34を介して外部に取り出され
る。本実施形態において、蓄熱装置11の放熱運転時に
おける蒸気タンク33の内部圧力(運転圧力)、即ち負
荷蒸気供給圧力は5.0kgf/cm^2(約4.9×
10^5Pa)とされている。
【0015】蓄熱装置11の放熱運転に伴って、蒸気タ
ンク33の内部圧力が上昇し、運転圧力5.0kgf/
cm^2を越えた場合、制御装置51はポンプ25を停
止させる。すると、伝熱管15内への給水が停止され、
過熱蒸気の生成が停止する。このため、蒸気タンク33
内には過熱蒸気が供給されず、同蒸気タンク33の内部
圧力の上昇が抑制される。蒸気タンク33内の飽和蒸気
は引き続き蒸気導出管34を介して負荷側へ供給されて
いるため、蒸気タンク33の内部圧力は徐々に低下す
る。そして、蒸気タンク33の内部圧力が再び5.0k
gf/cm^2まで下降すると、制御装置51はポンプ
25を再び駆動させる。このように、ポンプ25の運転
及び停止が繰り返されることにより蒸気タンク33の内
部圧力が一定(5kgf/cm^2)に保持され、飽和
蒸気が負荷側へ安定して供給される。
ンク33の内部圧力が上昇し、運転圧力5.0kgf/
cm^2を越えた場合、制御装置51はポンプ25を停
止させる。すると、伝熱管15内への給水が停止され、
過熱蒸気の生成が停止する。このため、蒸気タンク33
内には過熱蒸気が供給されず、同蒸気タンク33の内部
圧力の上昇が抑制される。蒸気タンク33内の飽和蒸気
は引き続き蒸気導出管34を介して負荷側へ供給されて
いるため、蒸気タンク33の内部圧力は徐々に低下す
る。そして、蒸気タンク33の内部圧力が再び5.0k
gf/cm^2まで下降すると、制御装置51はポンプ
25を再び駆動させる。このように、ポンプ25の運転
及び停止が繰り返されることにより蒸気タンク33の内
部圧力が一定(5kgf/cm^2)に保持され、飽和
蒸気が負荷側へ安定して供給される。
【0016】蓄熱装置11の運転継続による蓄熱材14
の蓄熱量低下に伴って、伝熱管15内には水入口付近か
ら徐々に水が温水の状態で滞留し始める。この状態で、
蒸気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/c
m^2を越えた場合においても、前述と同様に、制御装
置51はポンプ25を停止させる。しかしながら、この
場合においては、伝熱管15内に滞留した水が引き続き
蒸気になって蒸気タンク33内に供給される。このた
め、ポンプ25を停止した後も、蒸気タンク33内の圧
力が上昇する。そして、蒸気タンク33の内部圧力が予
め設定された電磁弁開放圧力(例えば5.2kgf/c
m^2)に達すると、制御装置51はポンプ25を停止
させた状態で、電磁弁42を開弁する。
の蓄熱量低下に伴って、伝熱管15内には水入口付近か
ら徐々に水が温水の状態で滞留し始める。この状態で、
蒸気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/c
m^2を越えた場合においても、前述と同様に、制御装
置51はポンプ25を停止させる。しかしながら、この
場合においては、伝熱管15内に滞留した水が引き続き
蒸気になって蒸気タンク33内に供給される。このた
め、ポンプ25を停止した後も、蒸気タンク33内の圧
力が上昇する。そして、蒸気タンク33の内部圧力が予
め設定された電磁弁開放圧力(例えば5.2kgf/c
m^2)に達すると、制御装置51はポンプ25を停止
させた状態で、電磁弁42を開弁する。
【0017】このとき、蒸気タンク33の内部圧力は伝
熱管15、接続管21及び導出管41の内部圧力、即ち
大気圧(約1.01×10^5Pa)よりも大きくなっ
ているため、伝熱管15内に滞留している水は蒸気タン
ク33の圧力によって押され、接続管21及び導出管4
1を介して水タンク23内に導かれる。また、蒸気タン
ク33の内部圧力も外部に放出される。接続管21内を
押し戻されてきた水が供給管22を逆流して水タンク2
3に流れ込むことは、逆止弁26によって防止される。
熱管15、接続管21及び導出管41の内部圧力、即ち
大気圧(約1.01×10^5Pa)よりも大きくなっ
ているため、伝熱管15内に滞留している水は蒸気タン
ク33の圧力によって押され、接続管21及び導出管4
1を介して水タンク23内に導かれる。また、蒸気タン
ク33の内部圧力も外部に放出される。接続管21内を
押し戻されてきた水が供給管22を逆流して水タンク2
3に流れ込むことは、逆止弁26によって防止される。
【0018】伝熱管15内に滞留している水の導出に伴
って、伝熱管15内での蒸気の発生が抑制され、前述と
同様に蒸気タンク33の内部圧力が低下する。そして、
蒸気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/c
m^2まで下降すると、制御装置51は電磁弁42を閉
弁すると共にポンプ25を再び駆動させ、伝熱管15に
水を供給する。このように、電磁弁42の開閉により蒸
気タンク33の内部圧力が一定(5.0kgf/cm^
2)に保持される。蒸気タンク33の内部圧力は大気圧
レベルまで下降することがないため、同蒸気タンク33
の内部圧力を大気圧レベルから運転圧力まで再び上昇さ
せる必要がない。従って、蒸気タンク33の内部圧力が
安定し、飽和蒸気が負荷側へ安定して供給される。
って、伝熱管15内での蒸気の発生が抑制され、前述と
同様に蒸気タンク33の内部圧力が低下する。そして、
蒸気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/c
m^2まで下降すると、制御装置51は電磁弁42を閉
弁すると共にポンプ25を再び駆動させ、伝熱管15に
水を供給する。このように、電磁弁42の開閉により蒸
気タンク33の内部圧力が一定(5.0kgf/cm^
2)に保持される。蒸気タンク33の内部圧力は大気圧
レベルまで下降することがないため、同蒸気タンク33
の内部圧力を大気圧レベルから運転圧力まで再び上昇さ
せる必要がない。従って、蒸気タンク33の内部圧力が
安定し、飽和蒸気が負荷側へ安定して供給される。
【0019】従って、本実施形態によれば、以下の効果
を得ることができる。 (1)供給管22及び接続管21を介して水タンク23
内の水を伝熱管15内に供給することにより加熱して過
熱蒸気とし、この過熱蒸気を接続管31及び導入管32
を介して蒸気タンク33に貯留された水の中に導入する
ようにした。このため、前記過熱蒸気は水と混合される
ことによって飽和蒸気となる。この飽和蒸気は蒸気導出
管34を介して外部に取り出される。
を得ることができる。 (1)供給管22及び接続管21を介して水タンク23
内の水を伝熱管15内に供給することにより加熱して過
熱蒸気とし、この過熱蒸気を接続管31及び導入管32
を介して蒸気タンク33に貯留された水の中に導入する
ようにした。このため、前記過熱蒸気は水と混合される
ことによって飽和蒸気となる。この飽和蒸気は蒸気導出
管34を介して外部に取り出される。
【0020】(2)伝熱管15内への水の供給を停止し
た後に蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合には、
伝熱管15内に滞留している水を外部に取り出すように
した。このため、蒸気タンク33内への蒸気の供給が停
止され、同蒸気タンク33の内部圧力の上昇が抑制され
る。従って、安全弁36を作動させることなく、蒸気タ
ンク33の内部圧力を一定(5.0kgf/cm^2)
に保つことができる。即ち、蒸気タンク33の運転圧力
が安定することから、飽和蒸気を負荷へ安定して供給す
ることができる。
た後に蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合には、
伝熱管15内に滞留している水を外部に取り出すように
した。このため、蒸気タンク33内への蒸気の供給が停
止され、同蒸気タンク33の内部圧力の上昇が抑制され
る。従って、安全弁36を作動させることなく、蒸気タ
ンク33の内部圧力を一定(5.0kgf/cm^2)
に保つことができる。即ち、蒸気タンク33の運転圧力
が安定することから、飽和蒸気を負荷へ安定して供給す
ることができる。
【0021】(3)伝熱管15内への給水を停止した後
に、蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合には電磁
弁42を開弁するようにした。このため、伝熱管15内
に滞留している水は蒸気タンク33内の圧力にて押され
水タンク23内に供給される。即ち、安全弁36を作動
させることなく蒸気タンク33内の圧力が放出される。
従って、安全弁36が頻繁に作動することがなく、同安
全弁36の耐久性、信頼性及び用途上好ましい。
に、蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合には電磁
弁42を開弁するようにした。このため、伝熱管15内
に滞留している水は蒸気タンク33内の圧力にて押され
水タンク23内に供給される。即ち、安全弁36を作動
させることなく蒸気タンク33内の圧力が放出される。
従って、安全弁36が頻繁に作動することがなく、同安
全弁36の耐久性、信頼性及び用途上好ましい。
【0022】(4)電磁弁42が開弁された後、蒸気タ
ンク33の内部圧力が所定の運転圧力まで下降した場合
には、電磁弁42が閉弁されるようにした。このため、
蒸気タンク33内の圧力が大気圧レベルまで下降するこ
とがなく、一定(5.0kgf/cm^2)に保たれ
る。従って、蒸気タンク33の内部圧力を安定させるこ
とができる。
ンク33の内部圧力が所定の運転圧力まで下降した場合
には、電磁弁42が閉弁されるようにした。このため、
蒸気タンク33内の圧力が大気圧レベルまで下降するこ
とがなく、一定(5.0kgf/cm^2)に保たれ
る。従って、蒸気タンク33の内部圧力を安定させるこ
とができる。
【0023】(5)蓄熱槽12内への水の供給を停止し
た後に蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合、電磁
弁42を開弁することにより伝熱管15内に滞留した水
(温水)を水タンク23内に戻すようにした。このた
め、安全弁36を開放して蒸気タンク33内の蒸気を放
出する場合と異なり、蓄熱槽12にて蓄熱した熱を捨て
ることにはならない。即ち、蒸気タンク33内の蒸気は
伝熱管15内に滞留した水と共に水タンク23内に供給
される。従って、水タンク23内の水の温度は徐々に上
昇すると共に再び伝熱管15内に供給され、効率的な運
転を行うことができる。
た後に蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合、電磁
弁42を開弁することにより伝熱管15内に滞留した水
(温水)を水タンク23内に戻すようにした。このた
め、安全弁36を開放して蒸気タンク33内の蒸気を放
出する場合と異なり、蓄熱槽12にて蓄熱した熱を捨て
ることにはならない。即ち、蒸気タンク33内の蒸気は
伝熱管15内に滞留した水と共に水タンク23内に供給
される。従って、水タンク23内の水の温度は徐々に上
昇すると共に再び伝熱管15内に供給され、効率的な運
転を行うことができる。
【0024】(6)伝熱管15内に滞留している水の外
部への導出開始後、蒸気タンク33の内部圧力が所定の
運転圧力まで下降した場合、伝熱管15内の水の外部へ
の導出が停止されるようにした。このため、蒸気タンク
33内の圧力が大気圧レベルまで下降することがない。
従って、蒸気タンク33の内部圧力を大気圧レベルから
所定の運転圧力まで再び上昇させる必要がない。
部への導出開始後、蒸気タンク33の内部圧力が所定の
運転圧力まで下降した場合、伝熱管15内の水の外部へ
の導出が停止されるようにした。このため、蒸気タンク
33内の圧力が大気圧レベルまで下降することがない。
従って、蒸気タンク33の内部圧力を大気圧レベルから
所定の運転圧力まで再び上昇させる必要がない。
【0025】(第2実施形態)次に、本発明の第2実施
形態を説明する。図2に示すように、蒸気タンク33の
蒸気層部分に対応する側壁と接続管31の途中との間に
はバイパス管61が接続されており、同バイパス管61
上にはバイパス用電磁弁62が設けられている。バイパ
ス用電磁弁62は制御装置51の出力側に接続されてい
る。制御装置51は前記圧力センサ35にて検出された
蒸気タンク33の内部圧力に基づいて前記電磁弁42及
びバイパス用電磁弁62をそれぞれ開閉制御する。尚、
前記接続管31及び導入管32は熱媒体出口側経路を構
成する。前記バイパス管61及びバイパス用電磁弁62
は蒸気導出手段を構成する。バイパス管61はバイパス
経路を構成する。
形態を説明する。図2に示すように、蒸気タンク33の
蒸気層部分に対応する側壁と接続管31の途中との間に
はバイパス管61が接続されており、同バイパス管61
上にはバイパス用電磁弁62が設けられている。バイパ
ス用電磁弁62は制御装置51の出力側に接続されてい
る。制御装置51は前記圧力センサ35にて検出された
蒸気タンク33の内部圧力に基づいて前記電磁弁42及
びバイパス用電磁弁62をそれぞれ開閉制御する。尚、
前記接続管31及び導入管32は熱媒体出口側経路を構
成する。前記バイパス管61及びバイパス用電磁弁62
は蒸気導出手段を構成する。バイパス管61はバイパス
経路を構成する。
【0026】さて、前記蓄熱槽12の伝熱管15内への
給水を停止したにもかかわらず蒸気タンク33の内部圧
力が上昇し、同蒸気タンク33内の圧力が前記電磁弁開
放圧力(5.2kgf/cm^2)に達した場合、制御
装置51は前記両電磁弁42,62をそれぞれ開弁す
る。すると、蒸気タンク33内の蒸気はバイパス管61
を介して伝熱管15内に流れ込み、伝熱管15内の滞留
水と共に接続管21及び導出管41を介して水タンク2
3内に導かれる(図1参照)。
給水を停止したにもかかわらず蒸気タンク33の内部圧
力が上昇し、同蒸気タンク33内の圧力が前記電磁弁開
放圧力(5.2kgf/cm^2)に達した場合、制御
装置51は前記両電磁弁42,62をそれぞれ開弁す
る。すると、蒸気タンク33内の蒸気はバイパス管61
を介して伝熱管15内に流れ込み、伝熱管15内の滞留
水と共に接続管21及び導出管41を介して水タンク2
3内に導かれる(図1参照)。
【0027】このとき、蒸気タンク33内の水が導入管
32及び接続管31を介して伝熱管15内に吸い込まれ
ることはない。蒸気は水よりも比重が小さいため、蒸気
は水よりも吸い込まれやすいからである。即ち、水が伝
熱管15内に吸い込まれる前に蒸気が吸い込まれ、蒸気
タンク33の内部圧力が外部に放出される。そして、蒸
気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/cm
^2まで下降すると、制御装置51は両電磁弁42,6
2をそれぞれ閉弁し、ポンプ25を再び駆動させる。
32及び接続管31を介して伝熱管15内に吸い込まれ
ることはない。蒸気は水よりも比重が小さいため、蒸気
は水よりも吸い込まれやすいからである。即ち、水が伝
熱管15内に吸い込まれる前に蒸気が吸い込まれ、蒸気
タンク33の内部圧力が外部に放出される。そして、蒸
気タンク33の内部圧力が運転圧力5.0kgf/cm
^2まで下降すると、制御装置51は両電磁弁42,6
2をそれぞれ閉弁し、ポンプ25を再び駆動させる。
【0028】ちなみに、バイパス管61及びバイパス用
電磁弁62を設けない場合、電磁弁42が開弁される
と、蒸気タンク33内の水は導入管32及び接続管31
を介して伝熱管15内に吸い込まれ、蒸気となる。この
ため、蒸気タンク33の内部圧力がなかなか下降しな
い。従って、伝熱管15内の滞留水に加えて、この蒸気
も取り出す必要があり、蒸気タンク33の内部圧力が通
常の運転圧力5.0kgf/cm^2まで下降するのに
時間がかかる。
電磁弁62を設けない場合、電磁弁42が開弁される
と、蒸気タンク33内の水は導入管32及び接続管31
を介して伝熱管15内に吸い込まれ、蒸気となる。この
ため、蒸気タンク33の内部圧力がなかなか下降しな
い。従って、伝熱管15内の滞留水に加えて、この蒸気
も取り出す必要があり、蒸気タンク33の内部圧力が通
常の運転圧力5.0kgf/cm^2まで下降するのに
時間がかかる。
【0029】従って、本実施形態によれば、以下の効果
を得ることができる。 ・蒸気タンク33の内部圧力上昇時には、電磁弁42及
びバイパス用電磁弁62が開弁され、同蒸気タンク33
内の蒸気がバイパス管61を介して伝熱管15内に導か
れるようにした。このため、蒸気タンク33内の水が伝
熱管15内に吸い込まれ、蒸気となることはない。従っ
て、蒸気タンク33の内部圧力上昇時における減圧動作
を円滑に行うことができる。
を得ることができる。 ・蒸気タンク33の内部圧力上昇時には、電磁弁42及
びバイパス用電磁弁62が開弁され、同蒸気タンク33
内の蒸気がバイパス管61を介して伝熱管15内に導か
れるようにした。このため、蒸気タンク33内の水が伝
熱管15内に吸い込まれ、蒸気となることはない。従っ
て、蒸気タンク33の内部圧力上昇時における減圧動作
を円滑に行うことができる。
【0030】(第3実施形態)次に、本発明の第3実施
形態を説明する。図3に示すように、本実施形態は、前
記バイパス用電磁弁62が逆止弁63に置き換えられて
いる点において前記第2実施形態と異なる。尚、前記バ
イパス管61及び逆止弁63は蒸気導出手段を構成す
る。さて、伝熱管15内への給水を停止したにもかかわ
らず蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合、前記電
磁弁42が開弁されると、前記第2実施形態と同様に、
蒸気タンク33内の蒸気は伝熱管15内に流れ込み、同
伝熱管15内の滞留水は水タンク23に押し戻される。
バイパス管61内において、蒸気の蒸気タンク33側へ
の移動は逆止弁63により防止される。従って、本実施
形態によれば、バイパス管61上に電磁弁を設ける場合
に比べて安価になる。逆止弁63は電磁弁と異なり、電
気的制御が不要だからである。
形態を説明する。図3に示すように、本実施形態は、前
記バイパス用電磁弁62が逆止弁63に置き換えられて
いる点において前記第2実施形態と異なる。尚、前記バ
イパス管61及び逆止弁63は蒸気導出手段を構成す
る。さて、伝熱管15内への給水を停止したにもかかわ
らず蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場合、前記電
磁弁42が開弁されると、前記第2実施形態と同様に、
蒸気タンク33内の蒸気は伝熱管15内に流れ込み、同
伝熱管15内の滞留水は水タンク23に押し戻される。
バイパス管61内において、蒸気の蒸気タンク33側へ
の移動は逆止弁63により防止される。従って、本実施
形態によれば、バイパス管61上に電磁弁を設ける場合
に比べて安価になる。逆止弁63は電磁弁と異なり、電
気的制御が不要だからである。
【0031】(第4実施形態)次に、本発明の第4実施
形態を説明する。図4に示すように、蒸気タンク33の
蒸気層部分に対応する側壁には導出管64を介して排出
管65が接続されている。導出管64上には排出用電磁
弁66が設けられている。図1に示す電磁弁42及び導
出管41はそれぞれ省略されている。尚、導出管64、
排出管65及び排出用電磁弁66は蒸気導出手段を構成
する。導出管64及び排出管65は蒸気排出経路を構成
する。
形態を説明する。図4に示すように、蒸気タンク33の
蒸気層部分に対応する側壁には導出管64を介して排出
管65が接続されている。導出管64上には排出用電磁
弁66が設けられている。図1に示す電磁弁42及び導
出管41はそれぞれ省略されている。尚、導出管64、
排出管65及び排出用電磁弁66は蒸気導出手段を構成
する。導出管64及び排出管65は蒸気排出経路を構成
する。
【0032】さて、伝熱管15内への給水を停止したに
もかかわらず蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場
合、制御装置51は排出用電磁弁66を開弁する。する
と、蒸気タンク33内の蒸気は導出管64及び排出管6
5を介して外部に導かれ、この結果、蒸気タンク33の
内部圧力は下降する。第1〜第3実施形態のように伝熱
管15内の滞留水を水タンク23へ戻す場合と異なり、
同水タンク23内の水温が上昇することはない。
もかかわらず蒸気タンク33の内部圧力が上昇する場
合、制御装置51は排出用電磁弁66を開弁する。する
と、蒸気タンク33内の蒸気は導出管64及び排出管6
5を介して外部に導かれ、この結果、蒸気タンク33の
内部圧力は下降する。第1〜第3実施形態のように伝熱
管15内の滞留水を水タンク23へ戻す場合と異なり、
同水タンク23内の水温が上昇することはない。
【0033】ちなみに、伝熱管15の滞留水の温度は比
較的高温(伝熱管15内の圧力によって異なるものの、
100〜130℃程度)である。このため、水タンク2
3への戻し量が多い場合(出熱が進行するほど伝熱管1
5内の滞留水量が多くなる)、及び蒸気タンク33の減
圧動作が繰り返し行われる場合等には、水タンク23内
の水温が上昇し、ポンプ25の耐熱温度(例えば80
℃)を越える場合がある。この水タンク23内の水温上
昇は、蓄熱装置11の設置面積が狭い等の理由で同水タ
ンク23の容積がそれほど大きくとれないような場合に
おいて特に顕著である。
較的高温(伝熱管15内の圧力によって異なるものの、
100〜130℃程度)である。このため、水タンク2
3への戻し量が多い場合(出熱が進行するほど伝熱管1
5内の滞留水量が多くなる)、及び蒸気タンク33の減
圧動作が繰り返し行われる場合等には、水タンク23内
の水温が上昇し、ポンプ25の耐熱温度(例えば80
℃)を越える場合がある。この水タンク23内の水温上
昇は、蓄熱装置11の設置面積が狭い等の理由で同水タ
ンク23の容積がそれほど大きくとれないような場合に
おいて特に顕著である。
【0034】従って、本実施形態によれば、以下の効果
を得ることができる。 ・伝熱管15内の滞留水を水タンク23へ戻すことなく
蒸気タンク33の減圧を行うようにしたことにより、蒸
気タンク33の減圧動作時、水タンク23内の水温が上
昇することはない。このため、例えば伝熱管15内の滞
留水量の多い場合又は蒸気タンク33の減圧動作の繰り
返し回数等にかかわらず、ポンプ25の運転を継続させ
ることができる。
を得ることができる。 ・伝熱管15内の滞留水を水タンク23へ戻すことなく
蒸気タンク33の減圧を行うようにしたことにより、蒸
気タンク33の減圧動作時、水タンク23内の水温が上
昇することはない。このため、例えば伝熱管15内の滞
留水量の多い場合又は蒸気タンク33の減圧動作の繰り
返し回数等にかかわらず、ポンプ25の運転を継続させ
ることができる。
【0035】(第5実施形態)次に、本発明の第5実施
形態を説明する。図5に示すように、本実施形態は、前
記第3及び第4実施形態の両方の構成を備えている。即
ち、蒸気タンク33の蒸気層部分に対応する側壁と接続
管31の途中との間にはバイパス管61が接続されてお
り、同バイパス管61上には逆止弁63が設けられてい
る。また、蒸気タンク33の蒸気層部分に対応する側壁
には導出管64を介して排出管65が接続されており、
同導出管64上には排出用電磁弁66が設けられてい
る。
形態を説明する。図5に示すように、本実施形態は、前
記第3及び第4実施形態の両方の構成を備えている。即
ち、蒸気タンク33の蒸気層部分に対応する側壁と接続
管31の途中との間にはバイパス管61が接続されてお
り、同バイパス管61上には逆止弁63が設けられてい
る。また、蒸気タンク33の蒸気層部分に対応する側壁
には導出管64を介して排出管65が接続されており、
同導出管64上には排出用電磁弁66が設けられてい
る。
【0036】蓄熱装置11は水タンク23内の水温を検
出する温度センサ67を備えており、同温度センサ67
は制御装置51の入力側に接続されている。制御装置5
1は前記圧力センサ35にて検出された蒸気タンク33
内の圧力及び温度センサ67にて検出された水タンク2
3内の水温に基づいて前記電磁弁42及び排出用電磁弁
66を開閉制御する。尚、バイパス管61、逆止弁6
3、導出管64、排出管65及び排出用電磁弁66は蒸
気導出手段を構成する。
出する温度センサ67を備えており、同温度センサ67
は制御装置51の入力側に接続されている。制御装置5
1は前記圧力センサ35にて検出された蒸気タンク33
内の圧力及び温度センサ67にて検出された水タンク2
3内の水温に基づいて前記電磁弁42及び排出用電磁弁
66を開閉制御する。尚、バイパス管61、逆止弁6
3、導出管64、排出管65及び排出用電磁弁66は蒸
気導出手段を構成する。
【0037】さて、蒸気タンク33の減圧動作時、温度
センサ67にて検出された水タンク23内の水温が予め
設定された所定温度未満の場合、制御装置51は排出用
電磁弁66を閉弁した状態で電磁弁42を開弁する。す
ると、前記第3実施形態と同様に、蒸気タンク33内の
蒸気は伝熱管15内に流れ込み、同伝熱管15内の滞留
水は水タンク23に押し戻される。
センサ67にて検出された水タンク23内の水温が予め
設定された所定温度未満の場合、制御装置51は排出用
電磁弁66を閉弁した状態で電磁弁42を開弁する。す
ると、前記第3実施形態と同様に、蒸気タンク33内の
蒸気は伝熱管15内に流れ込み、同伝熱管15内の滞留
水は水タンク23に押し戻される。
【0038】一方、温度センサ67にて検出された水タ
ンク23内の水の温度が予め設定された所定温度以上の
場合、制御装置51は電磁弁42を閉弁した状態で排出
用電磁弁66を開弁する。すると、前記第4実施形態と
同様に、蒸気タンク33内の蒸気は外部に導かれる。
尚、本実施形態において、前記所定温度は、伝熱管15
内の滞留水を水タンク23に戻しても同水タンク23内
の水温がポンプ25の耐熱温度を越えない程度の温度と
されている。
ンク23内の水の温度が予め設定された所定温度以上の
場合、制御装置51は電磁弁42を閉弁した状態で排出
用電磁弁66を開弁する。すると、前記第4実施形態と
同様に、蒸気タンク33内の蒸気は外部に導かれる。
尚、本実施形態において、前記所定温度は、伝熱管15
内の滞留水を水タンク23に戻しても同水タンク23内
の水温がポンプ25の耐熱温度を越えない程度の温度と
されている。
【0039】従って、本実施形態によれば、蒸気タンク
33の減圧動作時、温度センサ67にて検出された水タ
ンク23内の水温に基づいて、伝熱管15内の滞留水を
水タンク23へ戻す方法と、蒸気タンク33内の蒸気を
外部に排出する方法とを切り替えることができる。
33の減圧動作時、温度センサ67にて検出された水タ
ンク23内の水温に基づいて、伝熱管15内の滞留水を
水タンク23へ戻す方法と、蒸気タンク33内の蒸気を
外部に排出する方法とを切り替えることができる。
【0040】(第6実施形態)次に、本発明の第6実施
形態を説明する。図6に示すように、前記導出管64に
は接続管68の一端が接続されており、同接続管68の
他端は水タンク23の上面開口部から内部へ導入されて
いる。接続管68上には導出用電磁弁69が設けられて
いる。尚、導出管64、接続管68及び導出用電磁弁6
9は蒸気導出手段を構成する。導出管64、排出管65
及び排出用電磁弁66は蒸気排出経路を構成する。
形態を説明する。図6に示すように、前記導出管64に
は接続管68の一端が接続されており、同接続管68の
他端は水タンク23の上面開口部から内部へ導入されて
いる。接続管68上には導出用電磁弁69が設けられて
いる。尚、導出管64、接続管68及び導出用電磁弁6
9は蒸気導出手段を構成する。導出管64、排出管65
及び排出用電磁弁66は蒸気排出経路を構成する。
【0041】さて、蒸気タンク33の減圧動作時、制御
装置51は導出用電磁弁69を開弁する。すると、蒸気
タンク33内の蒸気は導出管64、導出用電磁弁69及
び接続管68を介して水タンク23内に流れ込み、この
結果、蒸気タンク33内の圧力が下降する。
装置51は導出用電磁弁69を開弁する。すると、蒸気
タンク33内の蒸気は導出管64、導出用電磁弁69及
び接続管68を介して水タンク23内に流れ込み、この
結果、蒸気タンク33内の圧力が下降する。
【0042】伝熱管15内の滞留水を水タンク23に戻
す場合と異なり、蒸気タンク33の減圧動作後、伝熱管
15内には滞留水が残っている。このため、運転を再開
すれば水は伝熱管15の蒸発点にすぐに到達し、蒸気タ
ンク33には蒸気がすぐに供給される。ちなみに、伝熱
管15内の滞留水を水タンク23に戻す場合には、運転
再開時、伝熱管15内へ供給した水が同伝熱管15の蒸
発点に達するまである程度の時間が必要であり、蒸気タ
ンク33内へ蒸気が再び供給されるまで時間がかかる。
す場合と異なり、蒸気タンク33の減圧動作後、伝熱管
15内には滞留水が残っている。このため、運転を再開
すれば水は伝熱管15の蒸発点にすぐに到達し、蒸気タ
ンク33には蒸気がすぐに供給される。ちなみに、伝熱
管15内の滞留水を水タンク23に戻す場合には、運転
再開時、伝熱管15内へ供給した水が同伝熱管15の蒸
発点に達するまである程度の時間が必要であり、蒸気タ
ンク33内へ蒸気が再び供給されるまで時間がかかる。
【0043】従って、本実施形態によれば、蒸気タンク
33の減圧動作後、運転を再開したとき、蒸気タンク3
3には蒸気がすぐに供給される。このため、蒸気タンク
33の運転圧力をより安定させることができる。
33の減圧動作後、運転を再開したとき、蒸気タンク3
3には蒸気がすぐに供給される。このため、蒸気タンク
33の運転圧力をより安定させることができる。
【0044】尚、前記各実施形態は以下のように変更し
て実施してもよい。 ・第6実施形態においては、蒸気タンク33内の蒸気を
導出管64及び接続管68を介して水タンク23へ戻す
ようにしたが、次のようにしてもよい。即ち、図6に二
点鎖線で示すように、蓄熱装置11には前記温度センサ
67が設けられている。そして、前記第5実施形態と同
様に、制御装置51は温度センサ67にて検出した水タ
ンク23内の水温に基づいて、前記排出用電磁弁66又
は導出用電磁弁69のいずれか一方を開弁させる。この
ようにすれば、蒸気タンク33の減圧動作時、温度セン
サ67にて検出された水タンク23内の水温に基づい
て、蒸気タンク33内の蒸気を水タンク23へ戻すか、
蒸気タンク33内の蒸気を外部に排出するかを切り替え
ることができる。
て実施してもよい。 ・第6実施形態においては、蒸気タンク33内の蒸気を
導出管64及び接続管68を介して水タンク23へ戻す
ようにしたが、次のようにしてもよい。即ち、図6に二
点鎖線で示すように、蓄熱装置11には前記温度センサ
67が設けられている。そして、前記第5実施形態と同
様に、制御装置51は温度センサ67にて検出した水タ
ンク23内の水温に基づいて、前記排出用電磁弁66又
は導出用電磁弁69のいずれか一方を開弁させる。この
ようにすれば、蒸気タンク33の減圧動作時、温度セン
サ67にて検出された水タンク23内の水温に基づい
て、蒸気タンク33内の蒸気を水タンク23へ戻すか、
蒸気タンク33内の蒸気を外部に排出するかを切り替え
ることができる。
【0045】・第5実施形態において、逆止弁63(図
5参照)をバイパス用電磁弁62に置き換えてもよい。
このとき、温度センサ67にて検出された水タンク23
内の水温が予め設定された所定温度未満の場合、制御装
置51は排出用電磁弁66を閉弁した状態で電磁弁42
及びバイパス用電磁弁62をそれぞれ開弁する。一方、
温度センサ67にて検出された水タンク23内の水温が
予め設定された所定温度以上の場合、制御装置51は電
磁弁42及びバイパス用電磁弁62をそれぞれ閉弁した
状態で排出用電磁弁66を開弁する。このようにして
も、第5実施形態と同様の効果を得ることができる。
5参照)をバイパス用電磁弁62に置き換えてもよい。
このとき、温度センサ67にて検出された水タンク23
内の水温が予め設定された所定温度未満の場合、制御装
置51は排出用電磁弁66を閉弁した状態で電磁弁42
及びバイパス用電磁弁62をそれぞれ開弁する。一方、
温度センサ67にて検出された水タンク23内の水温が
予め設定された所定温度以上の場合、制御装置51は電
磁弁42及びバイパス用電磁弁62をそれぞれ閉弁した
状態で排出用電磁弁66を開弁する。このようにして
も、第5実施形態と同様の効果を得ることができる。
【0046】
【発明の効果】本発明によれば、蓄熱槽からの過熱蒸気
を密閉タンク内の熱媒体の中に導入することにより、蓄
熱槽からの過熱蒸気を飽和蒸気とすることができる。
を密閉タンク内の熱媒体の中に導入することにより、蓄
熱槽からの過熱蒸気を飽和蒸気とすることができる。
【図1】 第1実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
【図2】 第2実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
【図3】 第3実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
【図4】 第4実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
【図5】 第5実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
【図6】 第6実施形態における蓄熱装置の模式的な構
成図。
成図。
11…蓄熱装置、12…蓄熱槽、13…ケース、14…
蓄熱材、15…伝熱管、16…ヒータ、21…熱媒体供
給経路を構成する接続管、22…熱媒体供給経路を構成
する供給管、25…ポンプ、31…熱媒体出口側経路を
構成する接続管、32…熱媒体出口側経路を構成する導
入管、33…蒸気タンク(密閉タンク)、34…蒸気導
出管。
蓄熱材、15…伝熱管、16…ヒータ、21…熱媒体供
給経路を構成する接続管、22…熱媒体供給経路を構成
する供給管、25…ポンプ、31…熱媒体出口側経路を
構成する接続管、32…熱媒体出口側経路を構成する導
入管、33…蒸気タンク(密閉タンク)、34…蒸気導
出管。
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 鈴木 和仁
愛知県犬山市字上小針1番地 エナジーサ
ポート 株式会社内
Claims (2)
- 【請求項1】 熱媒体を蓄熱槽の伝熱管内に供給するこ
とにより加熱して過熱蒸気とし、この過熱蒸気を前記蓄
熱槽の外部に配置された密閉タンク内へ導くと共に当該
密閉タンク内に予め貯留された所定量の熱媒体の中に導
入するようにした蓄熱装置。 - 【請求項2】 前記伝熱管の一端は熱媒体供給経路に接
続されており、同じく他端は熱媒体出口側経路を介して
前記密閉タンク内の熱媒体の中に導入されている請求項
1に記載の蓄熱装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002255521A JP2003097802A (ja) | 2000-08-11 | 2002-08-30 | 蓄熱装置 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2000-243776 | 2000-08-11 | ||
JP2000243776 | 2000-08-11 | ||
JP2002255521A JP2003097802A (ja) | 2000-08-11 | 2002-08-30 | 蓄熱装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000358241A Division JP2002122357A (ja) | 2000-08-11 | 2000-11-24 | 蓄熱装置及びその運転方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308189A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tlv Co Ltd | 蒸気減温装置 |
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-
2002
- 2002-08-30 JP JP2002255521A patent/JP2003097802A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006308189A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Tlv Co Ltd | 蒸気減温装置 |
US11521880B2 (en) | 2018-07-27 | 2022-12-06 | Kokusai Electric Corporation | Substrate processing apparatus and recording medium for changing atmosphere of transfer chamber |
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