JP2003090926A - 光等化器 - Google Patents
光等化器Info
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- JP2003090926A JP2003090926A JP2001283576A JP2001283576A JP2003090926A JP 2003090926 A JP2003090926 A JP 2003090926A JP 2001283576 A JP2001283576 A JP 2001283576A JP 2001283576 A JP2001283576 A JP 2001283576A JP 2003090926 A JP2003090926 A JP 2003090926A
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- waveguide
- variable
- attenuator
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- Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 例えばEDFAの利得を波長によらず等化す
ることが可能で、部品点数が少なく、安価で小型の光等
化器を提供する。 【解決手段】 アレイ導波路回折格子を有する回路を設
けて光合分波器2を形成し、光合分波器2の光出力部9
にそれぞれ可変光減衰器3を接続し、可変光減衰器3の
出力側に受光素子5を接続する。光合分波器2、可変光
減衰器3は平面光導波回路により形成し、平面光導波回
路の一端側に受光素子5を実装する。各可変光減衰器3
は、光合分波器2を通る光の波長ごとに光パワーを減衰
させ、受光素子5は、対応する可変光減衰器3により減
衰した光パワー特性をモニタする。
ることが可能で、部品点数が少なく、安価で小型の光等
化器を提供する。 【解決手段】 アレイ導波路回折格子を有する回路を設
けて光合分波器2を形成し、光合分波器2の光出力部9
にそれぞれ可変光減衰器3を接続し、可変光減衰器3の
出力側に受光素子5を接続する。光合分波器2、可変光
減衰器3は平面光導波回路により形成し、平面光導波回
路の一端側に受光素子5を実装する。各可変光減衰器3
は、光合分波器2を通る光の波長ごとに光パワーを減衰
させ、受光素子5は、対応する可変光減衰器3により減
衰した光パワー特性をモニタする。
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光通信分野等に適
用され、主に例えばEDFA(Erbium Doped Fiber Amp
lifer;エルビウムドープ光ファイバ型光増幅器)等の
光増幅器の利得を等化するために用いられる光等化器に
関するものである。
用され、主に例えばEDFA(Erbium Doped Fiber Amp
lifer;エルビウムドープ光ファイバ型光増幅器)等の
光増幅器の利得を等化するために用いられる光等化器に
関するものである。
【0002】
【背景技術】現在、高密度波長分割多重伝送システムの
開発が盛んに行なわれ、EDFAを用いて高密度波長分
割多重伝送を行うことが検討されている。
開発が盛んに行なわれ、EDFAを用いて高密度波長分
割多重伝送を行うことが検討されている。
【0003】EDFAは、通常、波長1530nm〜1
560nm帯で利得を有しているが、その利得波長特性
は、例えば図11に示すように平坦ではない。そこで、
EDFAを高密度波長分割多重伝送に適用するために、
近年、EDFAの利得波長特性を補正する光波長レベル
等化器(以下、光等化器と言う)を用いることが検討さ
れている。また、光等化器は、OADM(光アドドロッ
プマルチプレクタ)の使用等によって発生する波長ごと
のパワーレベル偏差を補正するためにも用いられる。
560nm帯で利得を有しているが、その利得波長特性
は、例えば図11に示すように平坦ではない。そこで、
EDFAを高密度波長分割多重伝送に適用するために、
近年、EDFAの利得波長特性を補正する光波長レベル
等化器(以下、光等化器と言う)を用いることが検討さ
れている。また、光等化器は、OADM(光アドドロッ
プマルチプレクタ)の使用等によって発生する波長ごと
のパワーレベル偏差を補正するためにも用いられる。
【0004】図10には、光等化器の提案例の構成が示
されている。同図に示す光等化器1は、1つの光入力ポ
ート30と複数の光出力ポート19を有している。この
光等化器1は、複数の光出力部9を有する光合分波器2
の各光出力部9に、それぞれ、光ファイバ6を介して可
変光減衰器3を接続し、それぞれの可変光減衰器3の出
力側に、光ファイバ6を介して光分岐器4を接続し、そ
れぞれの光分岐器4の出力側に、光ファイバ6を介して
受光素子5を接続して形成されている。また、光分岐器
4の出力側には、光ファイバ6を介して光出力ポート1
9が接続されている。
されている。同図に示す光等化器1は、1つの光入力ポ
ート30と複数の光出力ポート19を有している。この
光等化器1は、複数の光出力部9を有する光合分波器2
の各光出力部9に、それぞれ、光ファイバ6を介して可
変光減衰器3を接続し、それぞれの可変光減衰器3の出
力側に、光ファイバ6を介して光分岐器4を接続し、そ
れぞれの光分岐器4の出力側に、光ファイバ6を介して
受光素子5を接続して形成されている。また、光分岐器
4の出力側には、光ファイバ6を介して光出力ポート1
9が接続されている。
【0005】光合分波器2は、基板11上にアレイ導波
路回折格子の回路を形成した平面光導波回路である。ア
レイ導波路回折格子の回路構成(導波路構成)は、1本
以上の光入力導波路12と、該光入力導波路12の出力
端に接続された第1のスラブ導波路13と、該第1のス
ラブ導波路13の出力端に接続されたアレイ導波路14
と、該アレイ導波路14の出力端に接続された第2のス
ラブ導波路15と、該第2のスラブ導波路15の出力端
に複数並設接続された光出力導波路16とを有してい
る。
路回折格子の回路を形成した平面光導波回路である。ア
レイ導波路回折格子の回路構成(導波路構成)は、1本
以上の光入力導波路12と、該光入力導波路12の出力
端に接続された第1のスラブ導波路13と、該第1のス
ラブ導波路13の出力端に接続されたアレイ導波路14
と、該アレイ導波路14の出力端に接続された第2のス
ラブ導波路15と、該第2のスラブ導波路15の出力端
に複数並設接続された光出力導波路16とを有してい
る。
【0006】前記アレイ導波路14は、第1のスラブ導
波路13から導出された光を伝搬するものであり、複数
のチャンネル導波路14aを並設して形成されており、
隣り合うチャンネル導波路14aの長さは互いに設定量
(ΔL)異なっている。
波路13から導出された光を伝搬するものであり、複数
のチャンネル導波路14aを並設して形成されており、
隣り合うチャンネル導波路14aの長さは互いに設定量
(ΔL)異なっている。
【0007】なお、光出力導波路16は、例えばアレイ
導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに
異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるもので
あり、アレイ導波路14を構成するチャンネル導波路1
4aは、通常、例えば100本といったように多数設け
られるが、同図においては、図の簡略化のために、これ
らのチャンネル導波路14a、光出力導波路16および
光入力導波路2の各々の本数を簡略的に示してある。
導波路回折格子によって分波あるいは合波される互いに
異なる波長の信号光の数に対応させて設けられるもので
あり、アレイ導波路14を構成するチャンネル導波路1
4aは、通常、例えば100本といったように多数設け
られるが、同図においては、図の簡略化のために、これ
らのチャンネル導波路14a、光出力導波路16および
光入力導波路2の各々の本数を簡略的に示してある。
【0008】アレイ導波路回折格子の光分波作用は以下
の通りである。すなわち、光入力導波路12に入射した
光は、光入力導波路12を通って第1のスラブ導波路1
3に導入され、第2のスラブ導波路13の回折効果によ
って広がってアレイ導波路14に入射し、アレイ導波路
14を伝搬する。
の通りである。すなわち、光入力導波路12に入射した
光は、光入力導波路12を通って第1のスラブ導波路1
3に導入され、第2のスラブ導波路13の回折効果によ
って広がってアレイ導波路14に入射し、アレイ導波路
14を伝搬する。
【0009】このアレイ導波路14を伝搬した光は、第
2のスラブ導波路15に達し、さらに、光出力導波路1
6に集光されて出力されるが、アレイ導波路14の全て
のチャンネル導波路14aの長さが互いに異なることか
ら、アレイ導波路14を伝搬した後に個々の光の位相に
ずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、
この傾き角度により集光する位置が決まる。
2のスラブ導波路15に達し、さらに、光出力導波路1
6に集光されて出力されるが、アレイ導波路14の全て
のチャンネル導波路14aの長さが互いに異なることか
ら、アレイ導波路14を伝搬した後に個々の光の位相に
ずれが生じ、このずれ量に応じて集束光の波面が傾き、
この傾き角度により集光する位置が決まる。
【0010】そのため、波長の異なった光の集光位置は
互いに異なることになり、その位置に光出力導波路16
を形成することによって、波長の異なった光を各波長ご
とに異なる光出力導波路16から出力できる。
互いに異なることになり、その位置に光出力導波路16
を形成することによって、波長の異なった光を各波長ご
とに異なる光出力導波路16から出力できる。
【0011】すなわち、アレイ導波路回折格子は、光入
力導波路12から入力される互いに異なる複数の波長を
もった多重光から1つ以上の波長の光を分波して各光出
力導波路16から出力する光分波機能を有しており、分
波される光の中心波長は、アレイ導波路14の隣り合う
チャンネル導波路14aの長さの差(ΔL)及びチャン
ネル導波路14aの実効屈折率(等価屈折率)ncに比
例する。
力導波路12から入力される互いに異なる複数の波長を
もった多重光から1つ以上の波長の光を分波して各光出
力導波路16から出力する光分波機能を有しており、分
波される光の中心波長は、アレイ導波路14の隣り合う
チャンネル導波路14aの長さの差(ΔL)及びチャン
ネル導波路14aの実効屈折率(等価屈折率)ncに比
例する。
【0012】図10に示した光等化器1において、光等
化器1の光入力ポート30から波長多重光が導入される
と、この波長多重光は光合分波器2の光入力部31から
光入力導波路12に入射し、上記アレイ導波路回折格子
の光分波作用により、それぞれの波長の光に分波され
て、それぞれの光出力導波路16を通り、光出力部9か
ら出射される。この出射光は、それぞれの光出力導波路
16に接続された光ファイバ6を介して、対応する可変
光減衰器3に入射する。
化器1の光入力ポート30から波長多重光が導入される
と、この波長多重光は光合分波器2の光入力部31から
光入力導波路12に入射し、上記アレイ導波路回折格子
の光分波作用により、それぞれの波長の光に分波され
て、それぞれの光出力導波路16を通り、光出力部9か
ら出射される。この出射光は、それぞれの光出力導波路
16に接続された光ファイバ6を介して、対応する可変
光減衰器3に入射する。
【0013】可変光減衰器3に入射した光は、それぞれ
の可変光減衰器3によって設定パワーになるように減衰
させられ、出射する。この減衰された出射光は光分岐器
4に入射し、その一部が分岐されて、対応する受光素子
5に導かれる。受光素子5は光を受光し、その光パワー
をモニタする。このモニタした光パワーのデータを対応
する可変光減衰器3のコントローラ(図示せず)にフィ
ードバックすることにより、可変光減衰器3によって、
それぞれの波長の光を設定パワーになるように減衰させ
ることができる。
の可変光減衰器3によって設定パワーになるように減衰
させられ、出射する。この減衰された出射光は光分岐器
4に入射し、その一部が分岐されて、対応する受光素子
5に導かれる。受光素子5は光を受光し、その光パワー
をモニタする。このモニタした光パワーのデータを対応
する可変光減衰器3のコントローラ(図示せず)にフィ
ードバックすることにより、可変光減衰器3によって、
それぞれの波長の光を設定パワーになるように減衰させ
ることができる。
【0014】なお、設定パワーに減衰されたそれぞれの
波長の光は、光分岐器4、光ファイバ6を介して、光等
化器1の光出力ポート19から出射する。
波長の光は、光分岐器4、光ファイバ6を介して、光等
化器1の光出力ポート19から出射する。
【0015】図10に示した構成は、光合分波器2によ
って光の分波を行ない、この分波部分でパワーレベル補
正を行なうものであり、例えばEDFAから出力された
光の利得等化用に用いられる。
って光の分波を行ない、この分波部分でパワーレベル補
正を行なうものであり、例えばEDFAから出力された
光の利得等化用に用いられる。
【0016】また、上記とは逆に、例えばEDFAの入
力側に光等化器を適用する場合は、可変光減衰器でそれ
ぞれの波長ごとのパワーレベルを設定レベルに補正し、
その補正後の光を光合分波器で合波し、その後、光分岐
器で光の一部を分岐して受光素子で光パワーをモニタす
る構成となる。
力側に光等化器を適用する場合は、可変光減衰器でそれ
ぞれの波長ごとのパワーレベルを設定レベルに補正し、
その補正後の光を光合分波器で合波し、その後、光分岐
器で光の一部を分岐して受光素子で光パワーをモニタす
る構成となる。
【0017】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図10
に示したような光等化器1は、光合分波器2、可変光減
衰器3、光分岐器4、受光素子5を、それぞれ、個別に
形成し、光ファイバ6により接続して形成されており、
部品点数が非常に多かった。
に示したような光等化器1は、光合分波器2、可変光減
衰器3、光分岐器4、受光素子5を、それぞれ、個別に
形成し、光ファイバ6により接続して形成されており、
部品点数が非常に多かった。
【0018】つまり、上記構成の光等化器1は、使用す
る波長分の数量の可変光減衰器3と光分岐器4と受光素
子5を必要とするので、例えば、32波長を用いた波長
分割多重伝送システムに上記光等化器1を適用する場
合、1個の光合分波器2と、各波長に対応した32個の
可変光減衰器3と、32個の光分岐器4と、32個の受
光素子5を個別に形成する必要があり、部品点数は合計
97個になる。
る波長分の数量の可変光減衰器3と光分岐器4と受光素
子5を必要とするので、例えば、32波長を用いた波長
分割多重伝送システムに上記光等化器1を適用する場
合、1個の光合分波器2と、各波長に対応した32個の
可変光減衰器3と、32個の光分岐器4と、32個の受
光素子5を個別に形成する必要があり、部品点数は合計
97個になる。
【0019】したがって、図10に示した光等化器1
は、波長分割多重伝送システムの伝送容量の増大に伴っ
て使用波長が増えると共に、部品点数が非常に多くな
り、組み立てコストの増大、サイズの増大を招くといっ
た問題があった。
は、波長分割多重伝送システムの伝送容量の増大に伴っ
て使用波長が増えると共に、部品点数が非常に多くな
り、組み立てコストの増大、サイズの増大を招くといっ
た問題があった。
【0020】本発明は、上記課題を解決するために成さ
れたものであり、その目的は、例えばEDFAの利得を
波長によらず等化するといったように、複数波長を持っ
た光を波長ごとに設定強度に調整することが可能で、部
品点数が少なく、安価で小型の光等化器を提供すること
にある。
れたものであり、その目的は、例えばEDFAの利得を
波長によらず等化するといったように、複数波長を持っ
た光を波長ごとに設定強度に調整することが可能で、部
品点数が少なく、安価で小型の光等化器を提供すること
にある。
【0021】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第1の発明は、光入力
部と光出力部の少なくとも一方を複数有する光合分波器
と、該光合分波器の光入力部と光出力部の少なくとも一
方にそれぞれ接続されて前記光合分波器を通る光の波長
ごとに光パワーを減衰させる可変光減衰器と、それぞれ
の可変光減衰器に接続されて対応する可変光減衰器によ
り減衰した光パワー特性をモニタする受光素子とを備
え、前記可変光減衰器は平面光導波回路により形成され
て該平面光導波回路の一端側に前記受光素子が実装され
ている構成をもって課題を解決する手段としている。
に、本発明は次のような構成をもって課題を解決するた
めの手段としている。すなわち、第1の発明は、光入力
部と光出力部の少なくとも一方を複数有する光合分波器
と、該光合分波器の光入力部と光出力部の少なくとも一
方にそれぞれ接続されて前記光合分波器を通る光の波長
ごとに光パワーを減衰させる可変光減衰器と、それぞれ
の可変光減衰器に接続されて対応する可変光減衰器によ
り減衰した光パワー特性をモニタする受光素子とを備
え、前記可変光減衰器は平面光導波回路により形成され
て該平面光導波回路の一端側に前記受光素子が実装され
ている構成をもって課題を解決する手段としている。
【0022】また、第2の発明は、上記第1の発明の構
成に加え、前記可変光減衰器は、マッハツェンダ光干渉
計回路の位相部を形成する少なくとも2本の光導波路の
少なくとも1本の光導波路にヒーターを設けて構成され
ている構成をもって課題を解決する手段としている。
成に加え、前記可変光減衰器は、マッハツェンダ光干渉
計回路の位相部を形成する少なくとも2本の光導波路の
少なくとも1本の光導波路にヒーターを設けて構成され
ている構成をもって課題を解決する手段としている。
【0023】さらに、第3の発明は、上記第1または第
2の発明の構成に加え、前記光合分波器は平面光導波回
路により形成されている構成をもって課題を解決する手
段としている。
2の発明の構成に加え、前記光合分波器は平面光導波回
路により形成されている構成をもって課題を解決する手
段としている。
【0024】さらに、第4の発明は、上記第3の発明の
構成に加え、前記平面光導波回路は、1本以上の光入力
導波路と、該光入力導波路の出力端に接続された第1の
スラブ導波路と、該第1のスラブ導波路の出力端に接続
され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネ
ル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出
力端に接続された第2のスラブ導波路と、該第2のスラ
ブ導波路の出力端に複数並設接続された光出力導波路と
を備えたアレイ導波路回折格子を有する回路を基板上に
形成して成る構成をもって課題を解決する手段としてい
る。
構成に加え、前記平面光導波回路は、1本以上の光入力
導波路と、該光入力導波路の出力端に接続された第1の
スラブ導波路と、該第1のスラブ導波路の出力端に接続
され、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネ
ル導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出
力端に接続された第2のスラブ導波路と、該第2のスラ
ブ導波路の出力端に複数並設接続された光出力導波路と
を備えたアレイ導波路回折格子を有する回路を基板上に
形成して成る構成をもって課題を解決する手段としてい
る。
【0025】さらに、第5の発明は、上記第1乃至第4
のいずれか一つに記載の発明の構成に加え、前記光合分
波器は、マッハツェンダ光干渉計の回路を1つ以上設け
て形成されている構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
のいずれか一つに記載の発明の構成に加え、前記光合分
波器は、マッハツェンダ光干渉計の回路を1つ以上設け
て形成されている構成をもって課題を解決する手段とし
ている。
【0026】さらに、第6の発明は、上記第1乃至第5
のいずれか一つの発明の構成に加え、前記光合分波器と
可変光減衰器は同一基板上に形成されている構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
のいずれか一つの発明の構成に加え、前記光合分波器と
可変光減衰器は同一基板上に形成されている構成をもっ
て課題を解決する手段としている。
【0027】さらに、第7の発明は、上記第1乃至第6
のいずれか一つの発明の構成に加え、前記可変光減衰器
と受光素子との間には、可変光減衰器を通った光の一部
を受光素子側に導く光分岐器が設けられ、該光分岐器は
可変光減衰器と同一基板上に形成されて平面光導波回路
と成している構成をもって課題を解決する手段としてい
る。
のいずれか一つの発明の構成に加え、前記可変光減衰器
と受光素子との間には、可変光減衰器を通った光の一部
を受光素子側に導く光分岐器が設けられ、該光分岐器は
可変光減衰器と同一基板上に形成されて平面光導波回路
と成している構成をもって課題を解決する手段としてい
る。
【0028】上記構成の本発明において、光合分波器に
は光入力部と光出力部の少なくとも一方が複数設けられ
て、その少なくとも一方に、光合分波器を通る光の波長
ごとに光パワーを減衰させる複数の可変光減衰器が設け
られているが、この可変光減衰器は、平面光導波回路に
より形成されているので、例えば複数の可変光減衰器を
1つの基板上に集積した平面光導波回路とすることがで
きる。また、本発明においては、光パワー特性をモニタ
する受光素子は前記平面光導波回路の一端側に実装され
ているので、可変光減衰器と受光素子とを一体化でき
る。
は光入力部と光出力部の少なくとも一方が複数設けられ
て、その少なくとも一方に、光合分波器を通る光の波長
ごとに光パワーを減衰させる複数の可変光減衰器が設け
られているが、この可変光減衰器は、平面光導波回路に
より形成されているので、例えば複数の可変光減衰器を
1つの基板上に集積した平面光導波回路とすることがで
きる。また、本発明においては、光パワー特性をモニタ
する受光素子は前記平面光導波回路の一端側に実装され
ているので、可変光減衰器と受光素子とを一体化でき
る。
【0029】したがって、本発明の光等化器は、たとえ
使用波長が増えても、可変光減衰器や受光素子を個別に
設けてそれぞれ接続する必要が無く、1つまたは少ない
平面光導波回路を設け、この平面光導波回路に複数の可
変光減衰器や受光素子を設けることにより、部品点数を
少なくできる。したがって、本発明の光等化器は、組み
立てコストの増大やサイズの増大を抑制でき、低コスト
で小型の光等化器を実現できる。
使用波長が増えても、可変光減衰器や受光素子を個別に
設けてそれぞれ接続する必要が無く、1つまたは少ない
平面光導波回路を設け、この平面光導波回路に複数の可
変光減衰器や受光素子を設けることにより、部品点数を
少なくできる。したがって、本発明の光等化器は、組み
立てコストの増大やサイズの増大を抑制でき、低コスト
で小型の光等化器を実現できる。
【0030】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。なお、なお、本実施形態例の説明
において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、
その重複説明は省略する。図1には、本発明に係る光等
化器の第1実施形態例の要部構成が平面図により示され
ている。
に基づいて説明する。なお、なお、本実施形態例の説明
において、従来例と同一名称部分には同一符号を付し、
その重複説明は省略する。図1には、本発明に係る光等
化器の第1実施形態例の要部構成が平面図により示され
ている。
【0031】同図に示すように、本第1実施形態例の光
等化器1は、図10に示した提案例と同様に、1つの光
入力ポート30と複数の光出力ポート19を有し、アレ
イ導波路回折格子の回路を有する光合分波器2と、複数
の可変光減衰器3、複数の光分岐器4、複数の受光素子
5を有しているが、本実施形態例の光等化器1は1つの
基板11上に形成された平面光導波回路と成している。
等化器1は、図10に示した提案例と同様に、1つの光
入力ポート30と複数の光出力ポート19を有し、アレ
イ導波路回折格子の回路を有する光合分波器2と、複数
の可変光減衰器3、複数の光分岐器4、複数の受光素子
5を有しているが、本実施形態例の光等化器1は1つの
基板11上に形成された平面光導波回路と成している。
【0032】すなわち、本第1実施形態例は、光合分波
器2と複数の可変光減衰器3と複数の光分岐器4を同一
基板11上に形成して平面光導波回路と成し、この平面
光導波回路に複数の受光素子5を実装して形成されてい
る。
器2と複数の可変光減衰器3と複数の光分岐器4を同一
基板11上に形成して平面光導波回路と成し、この平面
光導波回路に複数の受光素子5を実装して形成されてい
る。
【0033】光合分波器2は、1つの光入力部31と複
数の光出力部9を有しており、それぞれの光出力部9に
可変光減衰器3が接続されている。
数の光出力部9を有しており、それぞれの光出力部9に
可変光減衰器3が接続されている。
【0034】可変光減衰器3は、図2の(a)に示すよ
うに、2本の光導波路7,8から成るマッハツェンダ光
干渉計回路を有し、この位相部20の少なくとも一方
(ここでは両方)の光導波路上に薄膜のヒーター25を
設けて形成された、熱光学型可変光減衰器である。
うに、2本の光導波路7,8から成るマッハツェンダ光
干渉計回路を有し、この位相部20の少なくとも一方
(ここでは両方)の光導波路上に薄膜のヒーター25を
設けて形成された、熱光学型可変光減衰器である。
【0035】ヒーター25には、電極パターン26が接
続され、さらに、給電用の電気配線(図示せず)が接続
されている。可変光減衰器3は、ヒーター25への給電
がないときには減衰量がほぼ零となるように、光導波路
7,8の位相部20の長さが設定されている。
続され、さらに、給電用の電気配線(図示せず)が接続
されている。可変光減衰器3は、ヒーター25への給電
がないときには減衰量がほぼ零となるように、光導波路
7,8の位相部20の長さが設定されている。
【0036】光分岐器4は、図2の(b)に示すよう
に、2本の光導波路17,18から成るマッハツェンダ
光干渉計回路により形成されており、光分岐器4に入射
した光のうち5%を分岐して、受光素子5側へ導く構成
と成している。各受光素子5には、信号受信用の電気配
線(図示せず)が設けられている。
に、2本の光導波路17,18から成るマッハツェンダ
光干渉計回路により形成されており、光分岐器4に入射
した光のうち5%を分岐して、受光素子5側へ導く構成
と成している。各受光素子5には、信号受信用の電気配
線(図示せず)が設けられている。
【0037】光合分波器2は、100GHz間隔で32
波の光の合分波を行なうアレイ導波路回折格子であり、
図1、図3に示すように、光入力導波路12の出力端
に、光入力導波路12の幅よりも広幅で、かつ、第1の
スラブ導波路13側に向かうにつれて拡幅する台形状導
波路50を接続して形成されている。台形状導波路50
の斜辺23は実質的にほぼ直線と成している。
波の光の合分波を行なうアレイ導波路回折格子であり、
図1、図3に示すように、光入力導波路12の出力端
に、光入力導波路12の幅よりも広幅で、かつ、第1の
スラブ導波路13側に向かうにつれて拡幅する台形状導
波路50を接続して形成されている。台形状導波路50
の斜辺23は実質的にほぼ直線と成している。
【0038】台形状導波路50は、マルチモードとなる
幅のマルチモード導波路として機能し、かつ、光の進行
方向に向かうにつれて拡幅する形状のマルチモード拡幅
形状導波路として機能する。なお、光入力導波路12の
出力端側における導波路構成の詳細は、特願2000−
285448に記載されている。
幅のマルチモード導波路として機能し、かつ、光の進行
方向に向かうにつれて拡幅する形状のマルチモード拡幅
形状導波路として機能する。なお、光入力導波路12の
出力端側における導波路構成の詳細は、特願2000−
285448に記載されている。
【0039】本第1実施形態例において、光合分波器2
は、この提案例と同様の動作により同様の効果を奏する
ことができ、光合分波器2の光入力部31から入射して
各光出力部9から出射する光の光透過特性は、それぞれ
の光透過中心波長を中心とした平坦型のスペクトルとな
る。
は、この提案例と同様の動作により同様の効果を奏する
ことができ、光合分波器2の光入力部31から入射して
各光出力部9から出射する光の光透過特性は、それぞれ
の光透過中心波長を中心とした平坦型のスペクトルとな
る。
【0040】本第1実施形態例は以上のように構成され
ており、以下のようにして作製される。すなわち、ま
ず、シリコン基板上に火炎加水分解堆積法を用いてアン
ダークラッド層およびコア層を成膜する。次に、本第1
実施形態例の光等化器の回路構成、すなわち、アレイ導
波路回折格子の回路の各光出力部9側に可変光減衰器3
と光分岐器4を縦列接続した導波路パターンが描かれた
フォトマスクを用い、周知のフォトリソグラフィーおよ
びドライエッチング技術を用いて、上記導波路パターン
の導波路コアをパターニングする。
ており、以下のようにして作製される。すなわち、ま
ず、シリコン基板上に火炎加水分解堆積法を用いてアン
ダークラッド層およびコア層を成膜する。次に、本第1
実施形態例の光等化器の回路構成、すなわち、アレイ導
波路回折格子の回路の各光出力部9側に可変光減衰器3
と光分岐器4を縦列接続した導波路パターンが描かれた
フォトマスクを用い、周知のフォトリソグラフィーおよ
びドライエッチング技術を用いて、上記導波路パターン
の導波路コアをパターニングする。
【0041】その後、火炎加水分解堆積法を用いてオー
バークラッド層を形成し、導波路コアを埋め込む。次
に、受光素子5を実装する部分に、導波路コアの数〜数
10μm下程度の深さまでドライエッチングにより嵌合
溝を形成する。次に、可変光減衰器3を形成する導波路
コアの位相部20の光導波路7,8上に、スパッタ法と
リフトオフ法を用いて薄膜のヒーター25および電極パ
ターン26を形成する。
バークラッド層を形成し、導波路コアを埋め込む。次
に、受光素子5を実装する部分に、導波路コアの数〜数
10μm下程度の深さまでドライエッチングにより嵌合
溝を形成する。次に、可変光減衰器3を形成する導波路
コアの位相部20の光導波路7,8上に、スパッタ法と
リフトオフ法を用いて薄膜のヒーター25および電極パ
ターン26を形成する。
【0042】次に、ダイシングソーを用いて、光等化器
1をチップ状に切り出す。その後、受光素子実装用の嵌
合溝に受光素子5を搭載して実装し、ワイヤボンディン
グにより基板11上の電気配線と接続する。最後に、図
示されていない光ファイバを光等化器1の光入力ポート
30と光出力ポート19に接続し、前記給電用電気配線
と信号受信用電気配線を光等化器1のチップに接続し、
パッケージングすることにより光等化器1を完成させ
る。
1をチップ状に切り出す。その後、受光素子実装用の嵌
合溝に受光素子5を搭載して実装し、ワイヤボンディン
グにより基板11上の電気配線と接続する。最後に、図
示されていない光ファイバを光等化器1の光入力ポート
30と光出力ポート19に接続し、前記給電用電気配線
と信号受信用電気配線を光等化器1のチップに接続し、
パッケージングすることにより光等化器1を完成させ
る。
【0043】本第1実施形態例の光等化器1において、
例えば光等化器1の光入力ポート30から波長多重光が
入射されると、この波長多重光は光合分波器2の光入力
部31から光入力導波路12に入射し、アレイ導波路回
折格子の光分波作用により、波長多重がそれぞれの波長
の光に分波され、上記アレイ導波路回折格子の光分波作
用により、それぞれの波長の光に分波されて、それぞれ
の光出力導波路16を通り、各光出力部9から出射され
る。
例えば光等化器1の光入力ポート30から波長多重光が
入射されると、この波長多重光は光合分波器2の光入力
部31から光入力導波路12に入射し、アレイ導波路回
折格子の光分波作用により、波長多重がそれぞれの波長
の光に分波され、上記アレイ導波路回折格子の光分波作
用により、それぞれの波長の光に分波されて、それぞれ
の光出力導波路16を通り、各光出力部9から出射され
る。
【0044】この出射光は、対応する可変光減衰器3に
入射し、それぞれの可変光減衰器3によって設定パワー
になるように減衰させられ、出射する。この光減衰動作
は、ヒーター25に供給する電力の調整により、位相部
20の光導波路7,8の実効屈折率差を所望の値にする
ことにより行なわれる。この調整は、例えば、複数の可
変光減衰器3からの出力光パワーが互いに等しくなるよ
うに行なわれる。
入射し、それぞれの可変光減衰器3によって設定パワー
になるように減衰させられ、出射する。この光減衰動作
は、ヒーター25に供給する電力の調整により、位相部
20の光導波路7,8の実効屈折率差を所望の値にする
ことにより行なわれる。この調整は、例えば、複数の可
変光減衰器3からの出力光パワーが互いに等しくなるよ
うに行なわれる。
【0045】それぞれの可変光減衰器3の出力は、対応
する光分岐器4によって、その5%が分岐されて対応す
る受光素子5に入力され、残りの光は光等化器1の各光
出力ポート19から出力される。受光素子5は受光した
光パワーをモニタし、このモニタした光パワーのデータ
を可変光減衰器3のコントローラ(図示せず)にフィー
ドバックすることにより、可変光減衰器3によって、そ
れぞれの波長の光を設定パワーになるように減衰させ
る。
する光分岐器4によって、その5%が分岐されて対応す
る受光素子5に入力され、残りの光は光等化器1の各光
出力ポート19から出力される。受光素子5は受光した
光パワーをモニタし、このモニタした光パワーのデータ
を可変光減衰器3のコントローラ(図示せず)にフィー
ドバックすることにより、可変光減衰器3によって、そ
れぞれの波長の光を設定パワーになるように減衰させ
る。
【0046】図4の特性線a(実線)は、本実施形態例
の光等化器1において、光合分波器2を形成するアレイ
導波路回折格子の16番目の光出力導波路16に接続さ
れている可変光減衰器3のヒーター25にのみ給電を行
なった場合の、光等化器1の光透過損失を示す。なお、
上記可変光減衰器3への給電は約400mWとし、他の
可変光減衰器3のヒーター25は無給電状態とした。
の光等化器1において、光合分波器2を形成するアレイ
導波路回折格子の16番目の光出力導波路16に接続さ
れている可変光減衰器3のヒーター25にのみ給電を行
なった場合の、光等化器1の光透過損失を示す。なお、
上記可変光減衰器3への給電は約400mWとし、他の
可変光減衰器3のヒーター25は無給電状態とした。
【0047】上記操作により、図4の特性線aに示すよ
うに、波長多重光の設定波長光(ここでは約1544.
1nm)のみを約10dB減衰させることができた。ま
た、この光の減衰により、光の波形の崩れ等は生じてい
ない。なお、全ての可変光減衰器3のヒーター25を無
給電状態とした場合、上記設定波長光の透過スペクトル
は同図の特性線bに示すようになる。
うに、波長多重光の設定波長光(ここでは約1544.
1nm)のみを約10dB減衰させることができた。ま
た、この光の減衰により、光の波形の崩れ等は生じてい
ない。なお、全ての可変光減衰器3のヒーター25を無
給電状態とした場合、上記設定波長光の透過スペクトル
は同図の特性線bに示すようになる。
【0048】また、本発明者は、32波長の波長多重光
をEDFAにより励起した後、この励起光を本実施形態
例の光等化器1の入力ポートに入力し、光等化器1の出
力信号を測定した。
をEDFAにより励起した後、この励起光を本実施形態
例の光等化器1の入力ポートに入力し、光等化器1の出
力信号を測定した。
【0049】図5は、本実施形態例の光等化器1におい
て、全ての可変光減衰器3のヒーター25に給電を行な
わなかった場合の、光等化器1からの光通過スペクトル
を示す。また、図6は、各受光素子5によるモニタ結果
をフィードバックして、各可変光減衰器3の光減衰量を
調整し、各波長の光パワーが等しくなるように制御した
ときの光等化器1からの光通過スペクトルを示す。
て、全ての可変光減衰器3のヒーター25に給電を行な
わなかった場合の、光等化器1からの光通過スペクトル
を示す。また、図6は、各受光素子5によるモニタ結果
をフィードバックして、各可変光減衰器3の光減衰量を
調整し、各波長の光パワーが等しくなるように制御した
ときの光等化器1からの光通過スペクトルを示す。
【0050】図5、図6から明らかなように、可変光減
衰器3のヒーター25への給電を全く行なわないときに
は、8dB程度あった波長間の光パワー差を、可変光減
衰器3の光減衰量調整により約0.5dB以内にするこ
とができた。
衰器3のヒーター25への給電を全く行なわないときに
は、8dB程度あった波長間の光パワー差を、可変光減
衰器3の光減衰量調整により約0.5dB以内にするこ
とができた。
【0051】本実施形態例の光等化器1によれば、光合
分波器2、可変光減衰器3、光分岐器4、受光素子5を
1つの基板上に集積して形成したので、部品点数の低
減、組み立てコストの低減、パッケージサイズの縮小化
を実現することができる。
分波器2、可変光減衰器3、光分岐器4、受光素子5を
1つの基板上に集積して形成したので、部品点数の低
減、組み立てコストの低減、パッケージサイズの縮小化
を実現することができる。
【0052】また、本実施形態例の光等化器1は、上記
のように、可変光減衰器3の光減衰量調整により、例え
ばEDFAの利得等化器として的確に動作することがで
きる。
のように、可変光減衰器3の光減衰量調整により、例え
ばEDFAの利得等化器として的確に動作することがで
きる。
【0053】図7には、本発明に係る光等化器の第2実
施形態例の要部構成が平面図により示されている。本第
2実施形態例は上記第1実施形態例とほぼ同様に構成さ
れており、本第2実施形態例が上記第1実施形態例と異
なる特徴的なことは、光分岐器4を省略し、各可変光減
衰器3の2本の光導波路7,8のうち、信号光の出力に
供さない方の光導波路の出力側に受光素子5を設けたこ
とである。
施形態例の要部構成が平面図により示されている。本第
2実施形態例は上記第1実施形態例とほぼ同様に構成さ
れており、本第2実施形態例が上記第1実施形態例と異
なる特徴的なことは、光分岐器4を省略し、各可変光減
衰器3の2本の光導波路7,8のうち、信号光の出力に
供さない方の光導波路の出力側に受光素子5を設けたこ
とである。
【0054】つまり、本第2実施形態例では、図2の
(a)の鎖線に示すように受光素子5を設け、各可変光
減衰器3の2本の光導波路7,8うち、信号光の出力に
供さない方の光導波路7の出力部からの出力を、対応す
る受光素子5によりモニタしている。
(a)の鎖線に示すように受光素子5を設け、各可変光
減衰器3の2本の光導波路7,8うち、信号光の出力に
供さない方の光導波路7の出力部からの出力を、対応す
る受光素子5によりモニタしている。
【0055】本第2実施形態例も上記第1実施形態例と
同様の効果を奏することができ、また、本第2実施形態
例は、光分岐器4を省略した分だけ、光等化器1を小型
化することができる。
同様の効果を奏することができ、また、本第2実施形態
例は、光分岐器4を省略した分だけ、光等化器1を小型
化することができる。
【0056】図8には、本発明に係る光等化器の第3実
施形態例の要部構成が示されている。本第3実施形態例
は、複数の光入力ポート30と1つの光出力ポート19
を有している。本第3実施形態例は、上記第1実施形態
例とほぼ同様の構成要素を有しているが、第3実施形態
例において、光合分波器2は複数の光入力部31と1つ
の光出力部9を有し、光合分波器2の複数の光入力部3
1に、光分岐器4を介して可変光減衰器3が接続されて
形成されている。
施形態例の要部構成が示されている。本第3実施形態例
は、複数の光入力ポート30と1つの光出力ポート19
を有している。本第3実施形態例は、上記第1実施形態
例とほぼ同様の構成要素を有しているが、第3実施形態
例において、光合分波器2は複数の光入力部31と1つ
の光出力部9を有し、光合分波器2の複数の光入力部3
1に、光分岐器4を介して可変光減衰器3が接続されて
形成されている。
【0057】第3実施形態例の光等化器1は、例えばE
DFAの入射側に設けられる。本第3実施形態例の構成
は、光合分波器2を透過した後の各波長の光パワーをモ
ニタすることはできないため、事前に光合分波器2を形
成するアレイ導波路回折格子のポート間ロス偏差(光透
過波長の偏差)を検出しておき、その結果に基づいてそ
れぞれの可変光減衰器3の光減衰量を決定する。
DFAの入射側に設けられる。本第3実施形態例の構成
は、光合分波器2を透過した後の各波長の光パワーをモ
ニタすることはできないため、事前に光合分波器2を形
成するアレイ導波路回折格子のポート間ロス偏差(光透
過波長の偏差)を検出しておき、その結果に基づいてそ
れぞれの可変光減衰器3の光減衰量を決定する。
【0058】本第3実施形態例も上記第1実施形態例と
同様の効果を奏することができる。
同様の効果を奏することができる。
【0059】図9には、本発明に係る光等化器の第4実
施形態例の要部構成が示されている。本第4実施形態例
は上記第3実施形態例とほぼ同様に構成されており、本
第4実施形態例が上記第3実施形態例と異なる特徴的な
ことは、光分岐器4を省略し、各可変光減衰器3の2本
の光導波路7,8のうち、信号光の出力に供さない方の
光導波路の出力側に受光素子5を設けたことである。
施形態例の要部構成が示されている。本第4実施形態例
は上記第3実施形態例とほぼ同様に構成されており、本
第4実施形態例が上記第3実施形態例と異なる特徴的な
ことは、光分岐器4を省略し、各可変光減衰器3の2本
の光導波路7,8のうち、信号光の出力に供さない方の
光導波路の出力側に受光素子5を設けたことである。
【0060】本第4実施形態例も、上記第3実施形態例
と同様の効果を奏することができ、また、本第4実施形
態例は、光分岐器4を省略した分だけ第3実施形態例よ
りも光等化器1を小型化することができる。
と同様の効果を奏することができ、また、本第4実施形
態例は、光分岐器4を省略した分だけ第3実施形態例よ
りも光等化器1を小型化することができる。
【0061】なお、本発明は上記実施形態例に限定され
ることはなく様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記各実施形態例では、光合分波器2は、各実施形態例の
構成図に示したアレイ導波路回折格子の回路を有する構
成としたが、光合分波器2を形成するアレイ導波路回折
格子の回路構成は特に限定されるものでなく適宜設定さ
れるものであり、従来のアレイ導波路回折格子、あるい
は提案されている様々なアレイ導波路回折格子の回路を
設けて光合分波器2を形成することができる。
ることはなく様々な実施の態様を採り得る。例えば、上
記各実施形態例では、光合分波器2は、各実施形態例の
構成図に示したアレイ導波路回折格子の回路を有する構
成としたが、光合分波器2を形成するアレイ導波路回折
格子の回路構成は特に限定されるものでなく適宜設定さ
れるものであり、従来のアレイ導波路回折格子、あるい
は提案されている様々なアレイ導波路回折格子の回路を
設けて光合分波器2を形成することができる。
【0062】また、上記各実施形態例では、光合分波器
2をアレイ導波路回折格子としたが、光合分波器2は必
ずしもアレイ導波路回折格子とするとは限らず、例えば
マッハツェンダ光干渉計型の回路を1つ以上設けて形成
した光合分波器とすることもできる。
2をアレイ導波路回折格子としたが、光合分波器2は必
ずしもアレイ導波路回折格子とするとは限らず、例えば
マッハツェンダ光干渉計型の回路を1つ以上設けて形成
した光合分波器とすることもできる。
【0063】さらに、上記各実施形態例では、光合分波
器2と可変光減衰器3を同一基板上に形成したが、光合
分波器2と可変光減衰器3は別々の基板上に形成するこ
ともできる。ただし、上記各実施形態例のように、光合
分波器2と可変光減衰器3を同一基板上に設け、さら
に、光分岐器4を設ける場合に、この光分岐器4も同一
基板上に設けることにより、部品点数の低減、組み立て
コストの低減、パッケージサイズの縮小化をより一層良
好にすることができる。
器2と可変光減衰器3を同一基板上に形成したが、光合
分波器2と可変光減衰器3は別々の基板上に形成するこ
ともできる。ただし、上記各実施形態例のように、光合
分波器2と可変光減衰器3を同一基板上に設け、さら
に、光分岐器4を設ける場合に、この光分岐器4も同一
基板上に設けることにより、部品点数の低減、組み立て
コストの低減、パッケージサイズの縮小化をより一層良
好にすることができる。
【0064】
【発明の効果】本発明によれば、光合分波器を通る光の
波長ごとに光パワーを減衰させる可変光減衰器を平面光
導波回路により形成したので、例えば複数の可変光減衰
器を1つの基板上に集積した平面光導波回路とすること
ができる。また、本発明においては、光パワー特性をモ
ニタする受光素子は前記平面光導波回路の一端側に実装
されているので、可変光減衰器と受光素子とを一体化で
きる。
波長ごとに光パワーを減衰させる可変光減衰器を平面光
導波回路により形成したので、例えば複数の可変光減衰
器を1つの基板上に集積した平面光導波回路とすること
ができる。また、本発明においては、光パワー特性をモ
ニタする受光素子は前記平面光導波回路の一端側に実装
されているので、可変光減衰器と受光素子とを一体化で
きる。
【0065】したがって、本発明の光等化器は、たとえ
使用波長が増えても、個別に可変光減衰器や受光素子を
設けて接続する必要が無く、1つまたは少ない平面光導
波回路を設け、この平面光導波回路に複数の可変光減衰
器や受光素子を設けることにより、部品点数を少なくで
き、組み立てコストの増大や光等化器のサイズの増大を
抑制できる。
使用波長が増えても、個別に可変光減衰器や受光素子を
設けて接続する必要が無く、1つまたは少ない平面光導
波回路を設け、この平面光導波回路に複数の可変光減衰
器や受光素子を設けることにより、部品点数を少なくで
き、組み立てコストの増大や光等化器のサイズの増大を
抑制できる。
【0066】また、本発明において、可変光減衰器は、
マッハツェンダ光干渉計の位相部を形成する少なくとも
2本の光導波路の少なくとも1本の光導波路にヒーター
を設けて構成したものにおいては、可変光減衰器の構成
を簡単にすることができ、装置構成をより一層簡単にで
きるし、光減衰量の調整も容易に、かつ、正確にでき
る。
マッハツェンダ光干渉計の位相部を形成する少なくとも
2本の光導波路の少なくとも1本の光導波路にヒーター
を設けて構成したものにおいては、可変光減衰器の構成
を簡単にすることができ、装置構成をより一層簡単にで
きるし、光減衰量の調整も容易に、かつ、正確にでき
る。
【0067】さらに、本発明において、光合分波器は平
面光導波回路により形成されている構成によれば、光合
分波器を容易に精度良く形成でき、装置コストの低減を
図ることができる。
面光導波回路により形成されている構成によれば、光合
分波器を容易に精度良く形成でき、装置コストの低減を
図ることができる。
【0068】さらに、本発明において、平面光導波回路
は、アレイ導波路回折格子の回路を有する構成によれ
ば、光合分波器によって、精度良く光の合分波を行なう
ことができる。
は、アレイ導波路回折格子の回路を有する構成によれ
ば、光合分波器によって、精度良く光の合分波を行なう
ことができる。
【0069】さらに、本発明において、光合分波器は、
マッハツェンダ光干渉計の回路を1つ以上有する構成に
よれば、光合分波器を容易に精度良く形成でき、装置コ
ストの低減を図ることができる。
マッハツェンダ光干渉計の回路を1つ以上有する構成に
よれば、光合分波器を容易に精度良く形成でき、装置コ
ストの低減を図ることができる。
【0070】さらに、本発明において、光合分波器と可
変光減衰器は同一基板上に形成されている構成によれ
ば、部品点数をより一層少なくでき、組み立てコストの
低減、光等化器サイズの小型化をより一層図ることがで
きる。
変光減衰器は同一基板上に形成されている構成によれ
ば、部品点数をより一層少なくでき、組み立てコストの
低減、光等化器サイズの小型化をより一層図ることがで
きる。
【0071】さらに、本発明において、可変光減衰器と
受光素子との間には、可変光減衰器を通った光の一部を
受光素子側に導く光分岐器が設けられ、該光分岐器は可
変光減衰器と同一基板上に形成されて平面光導波回路と
成している構成によれば、光分岐器を設けても、部品点
数の増大等を招くことなく、かつ、光分岐器によって所
望の割合の光を受光素子に導くことができる。
受光素子との間には、可変光減衰器を通った光の一部を
受光素子側に導く光分岐器が設けられ、該光分岐器は可
変光減衰器と同一基板上に形成されて平面光導波回路と
成している構成によれば、光分岐器を設けても、部品点
数の増大等を招くことなく、かつ、光分岐器によって所
望の割合の光を受光素子に導くことができる。
【図1】本発明に係る光等化器の第1実施形態例を示す
要部構成図である。
要部構成図である。
【図2】上記実施形態例に適用されている可変光減衰器
(a)と光分岐器(b)の構成を示す説明図である。
(a)と光分岐器(b)の構成を示す説明図である。
【図3】上記実施形態例に適用されている光合分波器に
おける光入力導波路出力側の構成を示す説明図である。
おける光入力導波路出力側の構成を示す説明図である。
【図4】上記実施形態例の光等化器を用いて設定波長光
の減衰を行なったときの可変光減衰器からの出力スペク
トル例を示すグラフである。
の減衰を行なったときの可変光減衰器からの出力スペク
トル例を示すグラフである。
【図5】上記実施形態例の光等化器からの光出力パワー
の一例を示すグラフである。
の一例を示すグラフである。
【図6】上記実施形態例を適用してEDFAの利得を等
化した場合の光出力パワーの一例を示すグラフである。
化した場合の光出力パワーの一例を示すグラフである。
【図7】本発明に係る光等化器の第2実施形態例を示す
要部構成図である。
要部構成図である。
【図8】本発明に係る光等化器の第3実施形態例を示す
要部構成図である。
要部構成図である。
【図9】本発明に係る光等化器の第4実施形態例を示す
要部構成図である。
要部構成図である。
【図10】従来提案されている光等化器の一例を示す説
明図である。
明図である。
【図11】EDFAの利得波長特性例を示すグラフであ
る。
る。
1 光等化器
2 光合分波器
3 可変光減衰器
4 光分岐器
5 受光素子
7,8,17,18 光導波路
9 光出力部
12 光入力導波路
13 第1のスラブ導波路
14 アレイ導波路
14a チャンネル導波路
15 第2のスラブ導波路
16 光出力導波路
25 ヒーター
31 光入力部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考)
G02B 6/12 H
(72)発明者 柏原 一久
東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古
河電気工業株式会社内
Fターム(参考) 2H047 KA04 KA12 LA19 NA01 PA22
PA24 RA00
2H079 AA06 AA12 BA01 CA04 DA17
EB27 GA03 KA08
5F072 AB09 AK06 JJ20 KK07 MM20
YY17
Claims (7)
- 【請求項1】 光入力部と光出力部の少なくとも一方を
複数有する光合分波器と、該光合分波器の光入力部と光
出力部の少なくとも一方にそれぞれ接続されて前記光合
分波器を通る光の波長ごとに光パワーを減衰させる可変
光減衰器と、それぞれの可変光減衰器に接続されて対応
する可変光減衰器により減衰した光パワー特性をモニタ
する受光素子とを備え、前記可変光減衰器は平面光導波
回路により形成されて該平面光導波回路の一端側に前記
受光素子が実装されていることを特徴とする光等化器。 - 【請求項2】 可変光減衰器は、マッハツェンダ光干渉
計回路の位相部を形成する少なくとも2本の光導波路の
少なくとも1本の光導波路にヒーターを設けて構成され
ていることを特徴とする請求項1記載の光等化器。 - 【請求項3】 光合分波器は平面光導波回路により形成
されていることを特徴とする請求項1または請求項2記
載の光等化器。 - 【請求項4】 平面光導波回路は、1本以上の光入力導
波路と、該光入力導波路の出力端に接続された第1のス
ラブ導波路と、該第1のスラブ導波路の出力端に接続さ
れ、互いに設定量異なる長さの複数並設されたチャネル
導波路から成るアレイ導波路と、該アレイ導波路の出力
端に接続された第2のスラブ導波路と、該第2のスラブ
導波路の出力端に複数並設接続された光出力導波路とを
備えたアレイ導波路回折格子を有する回路を基板上に形
成して成ることを特徴とする請求項3記載の光等化器。 - 【請求項5】 光合分波器は、マッハツェンダ光干渉計
の回路を1つ以上設けて形成されていることを特徴とす
る請求項1乃至請求項4のいずれか一つに記載の光等化
器。 - 【請求項6】 光合分波器と可変光減衰器は同一基板上
に形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項
5のいずれか一つに記載の光等化器。 - 【請求項7】 可変光減衰器と受光素子との間には、可
変光減衰器を通った光の一部を受光素子側に導く光分岐
器が設けられ、該光分岐器は可変光減衰器と同一基板上
に形成されて平面光導波回路と成していることを特徴と
する請求項1乃至請求項6記載の光等化器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283576A JP2003090926A (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 光等化器 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001283576A JP2003090926A (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 光等化器 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003090926A true JP2003090926A (ja) | 2003-03-28 |
Family
ID=19107043
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2001283576A Pending JP2003090926A (ja) | 2001-09-18 | 2001-09-18 | 光等化器 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2003090926A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005208650A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujitsu Ltd | パワーモニタを有しウエーブガイド及び光接続層を有する可変光アッテネータ |
JP2006146097A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 可変分散補償器、可変分散補償デバイス |
JP2012042849A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路デバイス |
-
2001
- 2001-09-18 JP JP2001283576A patent/JP2003090926A/ja active Pending
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005208650A (ja) * | 2004-01-21 | 2005-08-04 | Fujitsu Ltd | パワーモニタを有しウエーブガイド及び光接続層を有する可変光アッテネータ |
JP2006146097A (ja) * | 2004-11-25 | 2006-06-08 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 可変分散補償器、可変分散補償デバイス |
JP2012042849A (ja) * | 2010-08-23 | 2012-03-01 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 光導波路デバイス |
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---|---|---|---|
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