JP2003090801A - 検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置 - Google Patents
検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置Info
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- JP2003090801A JP2003090801A JP2001285268A JP2001285268A JP2003090801A JP 2003090801 A JP2003090801 A JP 2003090801A JP 2001285268 A JP2001285268 A JP 2001285268A JP 2001285268 A JP2001285268 A JP 2001285268A JP 2003090801 A JP2003090801 A JP 2003090801A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 事前に検査領域を設定することなく、ライン
センサの出力からパターン領域の端部を判定可能とす
る。 【解決手段】 一定の間隔で同じ形状が配置された検査
対象パターンに対して、ラインセンサ（２４）を相対移
動させながら、検査対象パターンを検査する際に、前記
ラインセンサからの出力が、パターンのピッチより長い
間、一定レベルのままである時に、パターン領域の端部
と判定する。
センサの出力からパターン領域の端部を判定可能とす
る。 【解決手段】 一定の間隔で同じ形状が配置された検査
対象パターンに対して、ラインセンサ（２４）を相対移
動させながら、検査対象パターンを検査する際に、前記
ラインセンサからの出力が、パターンのピッチより長い
間、一定レベルのままである時に、パターン領域の端部
と判定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、一定の間隔で同じ
形状が配置された検査対象パターンに対して、ライン毎
に読出し可能なラインセンサやエリアセンサを用いて、
検査対象パターンを検査する際の検査対象パターンの端
部検出方法及び装置、並びに、これを用いた検査方法及
び装置に関する。
形状が配置された検査対象パターンに対して、ライン毎
に読出し可能なラインセンサやエリアセンサを用いて、
検査対象パターンを検査する際の検査対象パターンの端
部検出方法及び装置、並びに、これを用いた検査方法及
び装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】図１に示すようなプラズマディスプレイ
パネル（ＰＤＰ）背面板や、図２に示すようなシャドウ
マスク等、一定の間隔で同じ形状が配置されているパタ
ーンの外観検査に際しては、図３に示す如く、検査対象
であるワーク１０とラインセンサカメラ１４を相対移動
（例えば検査範囲を複数回に分けて走査）させながら、
カメラ１４に内蔵されたラインセンサからの出力を画像
処理して、図４に示す如く、パターン配置のピッチと整
数倍離れた画素同士を比較する方法が採られる。
パネル（ＰＤＰ）背面板や、図２に示すようなシャドウ
マスク等、一定の間隔で同じ形状が配置されているパタ
ーンの外観検査に際しては、図３に示す如く、検査対象
であるワーク１０とラインセンサカメラ１４を相対移動
（例えば検査範囲を複数回に分けて走査）させながら、
カメラ１４に内蔵されたラインセンサからの出力を画像
処理して、図４に示す如く、パターン配置のピッチと整
数倍離れた画素同士を比較する方法が採られる。
【０００３】この際、パターン領域の端部では、比較す
る対象がなくなるため、誤検出を避けるべく、例えば最
外周のパターンは処理しない等の例外処理を行うことが
多い。そのためには、視野内の何処にパターン領域の端
部があるかを認識する必要がある。
る対象がなくなるため、誤検出を避けるべく、例えば最
外周のパターンは処理しない等の例外処理を行うことが
多い。そのためには、視野内の何処にパターン領域の端
部があるかを認識する必要がある。
【０００４】従って従来は、例えば図５に示す如く、事
前にパターン領域を検査領域１２として座標により設定
（例えば検査領域が矩形の場合、対角に位置する２つの
頂点座標（x0，y0）（x1，y1）を指定）し、検査時に
は、ラインセンサの位置と検査領域の座標を比較し、視
野内のどの部分に検査領域１２の端部が来るかを計算に
より求める、いわゆる検査領域設定方法が採用されてい
た。
前にパターン領域を検査領域１２として座標により設定
（例えば検査領域が矩形の場合、対角に位置する２つの
頂点座標（x0，y0）（x1，y1）を指定）し、検査時に
は、ラインセンサの位置と検査領域の座標を比較し、視
野内のどの部分に検査領域１２の端部が来るかを計算に
より求める、いわゆる検査領域設定方法が採用されてい
た。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うに検査領域を予め設定する方法では、検査する品種毎
に検査領域を設定する必要がある。又、ワークを所定の
位置に精度良く設置しないと、設定した検査領域と実際
のワークの座標とにずれが生じ、検査領域の内と外を比
較してしまうことによって生じる過検出や、検査領域内
を外としてしまうことによって生じる未検査部分の発生
の原因になるという問題点を有していた。
うに検査領域を予め設定する方法では、検査する品種毎
に検査領域を設定する必要がある。又、ワークを所定の
位置に精度良く設置しないと、設定した検査領域と実際
のワークの座標とにずれが生じ、検査領域の内と外を比
較してしまうことによって生じる過検出や、検査領域内
を外としてしまうことによって生じる未検査部分の発生
の原因になるという問題点を有していた。
【０００６】本発明は、前記従来の問題点を解決するべ
くなされたもので、事前に検査領域を設定することな
く、パターン領域の端部を判定可能とすることを課題と
する。
くなされたもので、事前に検査領域を設定することな
く、パターン領域の端部を判定可能とすることを課題と
する。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、一定の間隔で
同じ形状が配置された検査対象パターンに対して、ライ
ン毎に読出し可能なセンサを用いて、検査対象パターン
を検査する際に、図６に示す如く、前記センサからの出
力が、パターンのピッチＰより長い間、一定レベルのま
まである時に、パターン領域の端部と判定するようにし
て、前記課題を解決したものである。
同じ形状が配置された検査対象パターンに対して、ライ
ン毎に読出し可能なセンサを用いて、検査対象パターン
を検査する際に、図６に示す如く、前記センサからの出
力が、パターンのピッチＰより長い間、一定レベルのま
まである時に、パターン領域の端部と判定するようにし
て、前記課題を解決したものである。
【０００８】又、前記センサからの出力の微分値が、パ
ターンのピッチより長い間、設定値より小さい時に、パ
ターン領域の端部と判定するようにして、光量の変動に
拘らず、正確な判定を可能としたものである。
ターンのピッチより長い間、設定値より小さい時に、パ
ターン領域の端部と判定するようにして、光量の変動に
拘らず、正確な判定を可能としたものである。
【０００９】本発明は、又、一定の間隔で同じ形状が配
置された検査対象パターンに対して、ライン毎に読出し
可能なセンサを用いて、検査対象パターンを検査する際
に、検査対象パターンの端部を検出するための検査対象
パターンの端部検出装置であって、前記センサの出力を
１ライン毎にモニタする手段と、前記センサからの出力
が、パターンのピッチより長い間、一定レベルのままで
ある時に、パターン領域の端部と判定する手段とを備え
ることにより、前記課題を解決したものである。
置された検査対象パターンに対して、ライン毎に読出し
可能なセンサを用いて、検査対象パターンを検査する際
に、検査対象パターンの端部を検出するための検査対象
パターンの端部検出装置であって、前記センサの出力を
１ライン毎にモニタする手段と、前記センサからの出力
が、パターンのピッチより長い間、一定レベルのままで
ある時に、パターン領域の端部と判定する手段とを備え
ることにより、前記課題を解決したものである。
【００１０】又、前記センサの出力を微分する手段と、
前記センサからの出力の微分値が、パターンのピッチよ
り長い間、設定値より小さい時に、パターン領域の端部
と判定する手段とを備えることにより、光量の変動に拘
らず、正確な判定を可能としたものである。
前記センサからの出力の微分値が、パターンのピッチよ
り長い間、設定値より小さい時に、パターン領域の端部
と判定する手段とを備えることにより、光量の変動に拘
らず、正確な判定を可能としたものである。
【００１１】本発明は、又、前記の端部検出方法により
端部が検出されたパターン領域を検査することを特徴と
する検査対象パターンの検査方法を提供するものであ
る。
端部が検出されたパターン領域を検査することを特徴と
する検査対象パターンの検査方法を提供するものであ
る。
【００１２】本発明は、又、前記の端部検出装置を含む
ことを特徴とする検査対象パターンの検査装置を提供す
るものである。
ことを特徴とする検査対象パターンの検査装置を提供す
るものである。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下図面を参照して、本発明の実
施形態を詳細に説明する。
施形態を詳細に説明する。
【００１４】本実施形態は、本発明を、ＰＤＰ背面板リ
ブの外観検査装置に適用したもので、図７（斜視図）及
び図８（ブロック図）に示す如く、検査対象であるＰＤ
Ｐ背面板（ワークと称する）１０を配置するためのステ
ージ２０と、前記ワーク１０を照明するための照明部２
２と、該照明部２２によって照明されたワーク１０の画
像を入力するための、例えばラインセンサカメラで構成
される画像入力部２４と、該画像入力部２４を前記ワー
ク１０に対してＸ、Ｙの２次元（２軸）方向に移動操作
するための搬送部２６と、前記画像入力部２４からの信
号を処理して本発明による端部検出及びパターンの外観
検査を行うための画像処理部２８と、各構成部を制御す
るための制御部３０とを含んで構成されている。
ブの外観検査装置に適用したもので、図７（斜視図）及
び図８（ブロック図）に示す如く、検査対象であるＰＤ
Ｐ背面板（ワークと称する）１０を配置するためのステ
ージ２０と、前記ワーク１０を照明するための照明部２
２と、該照明部２２によって照明されたワーク１０の画
像を入力するための、例えばラインセンサカメラで構成
される画像入力部２４と、該画像入力部２４を前記ワー
ク１０に対してＸ、Ｙの２次元（２軸）方向に移動操作
するための搬送部２６と、前記画像入力部２４からの信
号を処理して本発明による端部検出及びパターンの外観
検査を行うための画像処理部２８と、各構成部を制御す
るための制御部３０とを含んで構成されている。
【００１５】本実施形態の全体の処理手順を図９に示
す。
す。
【００１６】まずステップ１００で、前記画像入力部２
４のラインセンサの出力を１ライン入力し、ステップ１
０２で、本発明による端部判定を行う。具体的には、図
１０に示す第１実施形態の如く、パターンのない部分の
ラインセンサからの出力レベルを含み、且つ、パターン
のある部分の出力レベルは含まない範囲で設定値を事前
に登録しておき、検査時に、ラインセンサの出力が、設
定範囲内の中にパターン１ピッチ以上連続して入ってい
た場合、パターン領域の端部と判定する。
４のラインセンサの出力を１ライン入力し、ステップ１
０２で、本発明による端部判定を行う。具体的には、図
１０に示す第１実施形態の如く、パターンのない部分の
ラインセンサからの出力レベルを含み、且つ、パターン
のある部分の出力レベルは含まない範囲で設定値を事前
に登録しておき、検査時に、ラインセンサの出力が、設
定範囲内の中にパターン１ピッチ以上連続して入ってい
た場合、パターン領域の端部と判定する。
【００１７】次いでステップ１０４に進み、ステップ１
０２で判定されたパターン領域内のみ、所定数ａ画素離
れた画素と比較処理する。ここで、ａは、パターン配置
の整数倍で、画素単位で指定する設定値である。
０２で判定されたパターン領域内のみ、所定数ａ画素離
れた画素と比較処理する。ここで、ａは、パターン配置
の整数倍で、画素単位で指定する設定値である。
【００１８】次いでステップ１０６に進み、所定値ｂ以
上差がある場合、欠陥と判定し、ステップ１０８で結果
を出力する。ここで、ｂは、比較処理した結果、欠陥と
判断するための閾値である。
上差がある場合、欠陥と判定し、ステップ１０８で結果
を出力する。ここで、ｂは、比較処理した結果、欠陥と
判断するための閾値である。
【００１９】ステップ１１０で、全範囲の検査が終了し
たか否かを判定し、判定結果が否である場合には、ステ
ップ１１２に進み、前記搬送部２６により画像入力部２
４のラインセンサカメラを移動して、ステップ１００に
戻る。
たか否かを判定し、判定結果が否である場合には、ステ
ップ１１２に進み、前記搬送部２６により画像入力部２
４のラインセンサカメラを移動して、ステップ１００に
戻る。
【００２０】一方、ステップ１１０の判定結果が正であ
り、全範囲の検査が終了したと判断される時には、検査
を終了する。
り、全範囲の検査が終了したと判断される時には、検査
を終了する。
【００２１】本実施形態においては、ラインセンサの出
力により直接、端部判定を行っているので、構成が簡略
である。
力により直接、端部判定を行っているので、構成が簡略
である。
【００２２】次に、本発明の第２実施形態を詳細に説明
する。
する。
【００２３】本実施形態は、ラインセンサの出力により
直接、端部判定するのではなく、図１１に示す如く、ラ
インセンサの出力を画像処理部２８内に設けた微分回路
で微分したものに対して、第１実施形態と同様に端部判
定を行い、微分結果が１ピッチ以上の間、設定範囲内の
レベルであれば、パターン領域の端部と判定するように
している。
直接、端部判定するのではなく、図１１に示す如く、ラ
インセンサの出力を画像処理部２８内に設けた微分回路
で微分したものに対して、第１実施形態と同様に端部判
定を行い、微分結果が１ピッチ以上の間、設定範囲内の
レベルであれば、パターン領域の端部と判定するように
している。
【００２４】本実施形態においては、パターンのない部
分での微分値が完全に含まれ、且つ、パターン領域端部
での微分値が外れるような範囲で、設定値を事前に登録
する。
分での微分値が完全に含まれ、且つ、パターン領域端部
での微分値が外れるような範囲で、設定値を事前に登録
する。
【００２５】他の点に関しては、第１実施形態と同様で
あるので、説明は省略する。
あるので、説明は省略する。
【００２６】本実施形態によれば、ラインセンサの出力
レベルの絶対値の影響を受けることがなくなり、照明部
２２の光量の変動に強くなる。
レベルの絶対値の影響を受けることがなくなり、照明部
２２の光量の変動に強くなる。
【００２７】なお、前記実施形態においては、いずれ
も、ラインセンサが用いられていたが、エリアセンサで
あっても、１ライン毎に処理を行なえば同様に適用でき
る。
も、ラインセンサが用いられていたが、エリアセンサで
あっても、１ライン毎に処理を行なえば同様に適用でき
る。
【００２８】又、適用対象も、ＰＤＰの背面板リブの外
観検査に限定されず、例えば図２に示したようなシャド
ウマスクの孔形状の検査にも同様に適用できる。
観検査に限定されず、例えば図２に示したようなシャド
ウマスクの孔形状の検査にも同様に適用できる。
【００２９】
【発明の効果】本発明によれば、ラインセンサカメラの
出力からパターンの端部を判断するため、事前に検査領
域を設定する必要がなくなる。
出力からパターンの端部を判断するため、事前に検査領
域を設定する必要がなくなる。
【００３０】又、カメラやワークを移動させる搬送部の
位置決めの精度に左右されず、必要な部分のみを精度良
く検査領域として処理できる。
位置決めの精度に左右されず、必要な部分のみを精度良
く検査領域として処理できる。
【００３１】更に、検査対象の材質が同じであれば、レ
ベル判定のための設定は一度しておけばよく、品目毎に
設定する必要はない等の優れた効果を有する。
ベル判定のための設定は一度しておけばよく、品目毎に
設定する必要はない等の優れた効果を有する。
【図１】本発明の検査対象の一例であるＰＤＰ背面板リ
ブを示す正面図
ブを示す正面図
【図２】検査対象の他の例であるシャドウマスクを示す
正面図
正面図
【図３】ラインセンサカメラにより検査対象を検査して
いる状態を示す斜視図
いる状態を示す斜視図
【図４】パターン領域端部におけるパターン検査の問題
点を説明するための図
点を説明するための図
【図５】従来の検査領域設定方法による検査領域の設定
例を示す正面図
例を示す正面図
【図６】本発明におけるパターン領域端部の判定の原理
を示す線図
を示す線図
【図７】本発明の実施形態の全体構成を示す斜視図
【図８】同じくブロック図
【図９】同じく処理手順を示す流れ図
【図１０】本発明の第１実施形態における端部判定の原
理を示す線図
理を示す線図
【図１１】同じく第２実施形態における端部判定の原理
を示す線図
を示す線図
１０…ワーク（検査対象）
２０…ステージ
２２…照明部
２４…画像入力部（ラインセンサ）
２６…搬送部
２８…画像処理部
３０…制御部
Claims (6)
- 【請求項１】一定の間隔で同じ形状が配置された検査対
象パターンに対して、ライン毎に読出し可能なセンサを
用いて、検査対象パターンを検査する際に、 前記センサからの出力が、パターンのピッチより長い
間、一定レベルのままである時に、パターン領域の端部
と判定することを特徴とする検査対象パターンの端部検
出方法。 - 【請求項２】前記センサからの出力の微分値が、パター
ンのピッチより長い間、設定値より小さい時に、パター
ン領域の端部と判定することを特徴とする請求項１に記
載の検査対象パターンの端部検出方法。 - 【請求項３】一定の間隔で同じ形状が配置された検査対
象パターンに対して、ライン毎に読出し可能なセンサを
用いて、検査対象パターンを検査する際に、検査対象パ
ターンの端部を検出するための検査対象パターンの端部
検出装置であって、 前記センサの出力を１ライン毎にモニタする手段と、 前記センサからの出力が、パターンのピッチより長い
間、一定レベルのままである時に、パターン領域の端部
と判定する手段と、 を備えたことを特徴とする検査対象パターンの端部検出
装置。 - 【請求項４】前記センサの出力を微分する手段と、 前記センサからの出力の微分値が、パターンのピッチよ
り長い間、設定値より小さい時に、パターン領域の端部
と判定する手段と、 を備えたことを特徴とする請求項３に記載の検査対象パ
ターンの端部検出装置。 - 【請求項５】請求項１又は２に記載の端部検出方法によ
り端部が検出されたパターン領域を検査することを特徴
とする検査対象パターンの検査方法。 - 【請求項６】請求項３又は４に記載の端部検出装置を含
むことを特徴とする検査対象パターンの検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001285268A JP2003090801A (ja) | 2001-09-19 | 2001-09-19 | 検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001285268A JP2003090801A (ja) | 2001-09-19 | 2001-09-19 | 検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003090801A true JP2003090801A (ja) | 2003-03-28 |
Family
ID=19108445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001285268A Pending JP2003090801A (ja) | 2001-09-19 | 2001-09-19 | 検査対象パターンの端部検出方法、装置、及び、検査方法、装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003090801A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008292309A (ja) * | 2007-05-24 | 2008-12-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | パターン欠陥検査装置 |
| JP2011029647A (ja) * | 2003-07-22 | 2011-02-10 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
-
2001
- 2001-09-19 JP JP2001285268A patent/JP2003090801A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011029647A (ja) * | 2003-07-22 | 2011-02-10 | Idemitsu Kosan Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| JP2008292309A (ja) * | 2007-05-24 | 2008-12-04 | Hitachi Kokusai Electric Inc | パターン欠陥検査装置 |
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