JP2003089189A

JP2003089189A - スクリーン印刷用分割マスク、スクリーン印刷用積層マスク、スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法

Info

Publication number: JP2003089189A
Application number: JP2001281652A
Authority: JP
Inventors: Kunihiko Hayashi; 邦彦林; Hiroshi Oba; 央大庭
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 2001-09-17
Filing date: 2001-09-17
Publication date: 2003-03-25

Abstract

(57)【要約】【課題】良好な品質で安価にスクリーン印刷でき、さ
らに多品種少量生産を実現するスクリーン印刷用マス
ク、スクリーン印刷装置及びスクリーン印刷方法を提供
する。【解決手段】開口部を有するマスク部材からなる上層
マスクが他の開口部を有する他のマスク部材からなる下
層マスク上に積層されて所定の開口部を形成してなる。
以上のように構成されたスクリーン印刷用積層マスク
は、必要な印刷パターンの数に対して必要な部品点数を
大幅に削減することができる。また、マスクの交換を行
う回数を大幅に削減することができる。そして、印刷の
際に部分的に印圧が高くなることが防止することがで
き、安定した印圧を得ることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、マスクを用いて印
刷を行うスクリーン印刷を行う際に用いるスクリーン印
刷用分割マスク、スクリーン印刷用積層マスク、スクリ
ーン印刷装置、及びスクリーン印刷方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、塗布方法としてスクリーン印刷が
様々な分野において広く使用されている。例えば、電子
機器の分野では、基板に電子部品を実装する際に電子部
品を電気的に接続すると共に、機械的に固着するため
に、スクリーン印刷を用いて基板にクリーム半田を印刷
（塗布）することが行われている。ここで、スクリーン
印刷を行うには、スクリーン印刷装置を用いるが、スク
リーン印刷装置では、基板の回路パターン、すなわちク
リーム半田を塗布する領域の配置に合わせて、大小の、
また種々の形状のマスク孔を形成したマスクを用意し、
マスクを上から基板に重ね、マスク上で、クリーム半田
をかき寄せるスキージをスライドさせることにより、マ
スク孔にのみにクリーム半田を印刷、すなわち塗布する
ようになっている。

【０００３】例えば、図３０に示すように基板２０１上
にマスク２０２を合わせ、このマスク２０２の開口部２
０３から基板２０１上にスキージ２０４を矢印Ｗで示す
方向に移動操作することによりクリーム半田２０５を押
し出してクリーム半田を印刷、すなわち塗布する。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
スクリーン印刷においては、回路基板等の部品搭載面全
体にスキージによって適正な印圧を付与することが必要
である。

【０００５】すなわち、この印圧が低いと、マスク上に
クリーム半田が薄く残り、マスクを取り外した後に回路
基板上の印刷膜厚が大きくなり、またスキージによる印
圧が高いと、スキージがマスクの開口部内に入り込み、
回路基板上の印刷膜厚が薄くなるからである。また、印
圧が適正でなく、変化が激しい場合には、塗布するクリ
ーム半田がこの印圧の変化によってマスクの下、すなわ
ち回路基板とマスクとの間に入り込み、回路基板上の印
刷膜厚が薄くなったり、塗布したクリーム半田の端部に
ダレが生じたりする。そして、このようなダレが生じな
い場合でも、塗布したクリーム半田の端部に盛り上がり
が生じる場合もある。

【０００６】また、スクリーン印刷は、本来、大量生産
に適した塗布技術である。すなわち、従来のスクリーン
印刷のマスクは、基板の品種に１対１に対応するパター
ン配列（マスク孔の集合）を１つだけ形成するようにな
っている。このため、基板の品種が変更されるたびに、
また、塗布形状を変更するたびにマスクを交換しなけれ
ばならず、スクリーン印刷装置の非稼働時間、すなわち
段取り替えのための時間が多くなり、生産効率が低下す
るという問題がある。すなわち、スクリーン印刷は、少
品種大量生産には好適であるが、多品種少量生産には不
向きであるという問題がある。

【０００７】また、スクリーン印刷は、その性質上、マ
スクとスキージとが常時接触して移動することにより印
刷を行うため、マスクの摩耗が激しく、マスクの耐久性
が悪い。ここで、マスクの摩耗に関しては、マスクの
構成材料として対摩耗性に優れた材料を用いることによ
り対応することが可能である。しかしながら、このよう
な材料は、加工性が悪く、パターン配列、すなわち開口
部を形成するのが非常に困難であるという問題がある。
したがって、開口部の形成を考慮すると加工性の良好な
材料を用いることが必要となり、その結果、対摩耗性を
確保することができなくなる。そして、塗布したクリー
ム半田膜の膜厚はマスクの膜厚に依存するため、マスク
が摩耗した場合には、所望のクリーム半田を所望の膜厚
に塗布することができず、品質が低下してしまうため、
定期的な交換が必須となる。

【０００８】すなわち、従来のスクリーン印刷は、コス
トやメンテナンスの面において負担が大きいという問題
がある。

【０００９】したがって、本発明は、上述した従来の実
情に鑑みて創案されたものであり、良好な品質で安価に
スクリーン印刷でき、さらに多品種少量生産を実現する
スクリーン印刷用マスク、スクリーン印刷装置及びスク
リーン印刷方法を提供することを目的とする。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以上の目的を達成する本
発明にかかるスクリーン印刷用分割マスクは、複数のマ
スク片を組み合わせることにより所定の開口部を形成し
てなることを特徴とするものである。

【００１１】以上のように構成された本発明にかかるス
クリーン印刷用分割マスクは、マスク片の選択により種
々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部を形成す
ることができる。これにより、必要な印刷パターンの数
に対して必要な部品点数を大幅に削減することができ
る。また、マスク片を移動させることにより、すなわ
ち、マスク片の配置方法を変更することにより、種々の
形状の開口部、及び種々の大きさの開口部を形成するこ
とができる。これにより、必要な印刷パターンの数に対
して必要な部品点数を大幅に削減するとともに、マスク
の交換を行う回数を大幅に削減することができる。

【００１２】以上の目的を達成する本発明にかかるスク
リーン印刷用積層マスクは、開口部を有するマスク部材
からなる上層マスクが他の開口部を有する他のマスク部
材からなる下層マスク上に積層されて所定の開口部を形
成してなることを特徴とするものである。

【００１３】以上のように構成された本発明にかかるス
クリーン印刷用積層マスクは、マスク部材の選択により
種々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部を形成
することができる。これにより、必要な印刷パターンの
数に対して必要な部品点数を大幅に削減することができ
る。また、下層マスク上において上層マスクを移動させ
ることにより、開口部の位置、形状及び大きさを適宜変
更することができる。これにより、必要な印刷パターン
の数に対して必要な部品点数を大幅に削減するととも
に、マスクの交換を行う回数を大幅に削減することがで
きる。

【００１４】また、本発明にかかるスクリーン印刷用積
層マスクでは、スキージの移動方向において、上層マス
クの開口部を下層マスクの開口部よりも大とすることに
より部分的に印圧が高くなることが防止される。

【００１５】以上の目的を達成する本発明に係るスクリ
ーン印刷装置は、所定の開口部を有するマスクと、マス
ク上をスライドして開口部を介して基材に塗布剤を塗布
するスキージとを備え、基材上にマスクを合わせ、当該
マスク上にスキージを移動操作することにより塗布剤を
押し出して印刷するスクリーン印刷装置であって、マス
クが、複数のマスク片を組み合わせることにより所定の
開口部を形成してなることを特徴とするものである。

【００１６】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷装置は、上述したスクリーン印刷用分割マス
クを用いているため、少ない部品点数で種々の形状の開
口部、及び種々の大きさの開口部を形成することがで
き、また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。

【００１７】以上の目的を達成する本発明に係るスクリ
ーン印刷装置は、所定の開口部を有するマスクと、マス
ク上をスライドして開口部を介して基材に塗布剤を塗布
するスキージとを備え、基材上にマスクを合わせ、当該
マスク上にスキージを移動操作することにより塗布剤を
押し出して印刷するスクリーン印刷装置であって、マス
クが、開口部を有するマスク部材からなる上層マスクが
他の開口部を有する他のマスク部材からなる下層マスク
上に積層されて所定の開口部を形成してなることを特徴
とするものである。

【００１８】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷装置は、上述したスクリーン印刷用積層マス
クを用いているため、少ない部品点数で種々の形状の開
口部、及び種々の大きさの開口部を形成することがで
き、また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。また、スクリーン印刷の際に部分的に印圧
が高くなることを防止することができる。

【００１９】以上の目的を達成する本発明に係るスクリ
ーン印刷方法は、基材上にマスクを合わせ、当該マスク
上にスキージを移動操作することにより塗布剤を押し出
して印刷するスクリーン印刷方法であって、マスクとし
て複数のマスク片を組み合わせることにより所定の開口
部を形成してなるマスクを用いることを特徴とするもの
である。

【００２０】以上のような本発明に係るスクリーン印刷
方法では、スクリーン印刷用マスクとして上述したスク
リーン印刷用分割マスクを用いているため、少ない部品
点数で種々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部
を形成することができ、また、マスクの交換を行う回数
を大幅に削減することができる。

【００２１】以上の目的を達成する本発明に係るスクリ
ーン印刷方法は、基材上にマスクを合わせ、当該マスク
上にスキージを移動操作することにより塗布剤を押し出
して印刷するスクリーン印刷方法であって、マスクとし
て開口部を有するマスク部材からなる上層マスクが他の
開口部を有する他のマスク部材からなる下層マスク上に
積層されて所定の開口部を形成してなるマスクを用いる
ことを特徴とするものである。

【００２２】以上のような本発明に係るスクリーン印刷
方法では、スクリーン印刷用マスクとして上述したスク
リーン印刷用積層マスクを用いているため、少ない部品
点数で種々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部
を形成することができ、また、マスクの交換を行う回数
を大幅に削減することができる。また、スクリーン印刷
の際に部分的に印圧が高くなることを防止することがで
きる。

【００２３】

【発明の実施の形態】以下、本発明にかかるスクリーン
印刷用分割マスク、スクリーン印刷用積層マスク、スク
リーン印刷装置、及びスクリーン印刷方法について図面
を参照しながら説明する。なお、本発明は、下記の例に
限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範
囲において適宜変更可能である。

【００２４】まず、スクリーン印刷用分割マスク及びス
クリーン印刷用積層マスクについて説明する。本発明に
かかるスクリーン印刷用分割マスクは、複数のマスク片
を組み合わせることにより所定の開口部を形成してなる
ことを特徴とするものである。

【００２５】以上のような、本発明にかかるスクリーン
印刷用分割マスクは、一体形成されたマスク用基材に所
定の開口部を形成した従来のスクリーン印刷用マスクと
は異なり、所定の形状を有する複数のマスク用部材を任
意に組み合わせてマスクとして使用するものである。こ
れにより、マスク片の選択により種々の形状の開口部、
及び種々の大きさの開口部を形成することが可能であ
り、所望の形状及び所望の大きさの開口部を簡便に実現
することが可能である。

【００２６】ここで、従来のスクリーン印刷用マスクで
は、１つのスクリーン印刷用マスクは１種類の開口パタ
ーンしか有さなかったため、印刷パターンとスクリーン
印刷用マスクとが１対１で対応している。このため、従
来のスクリーン印刷用マスクでは、印刷パターンの数だ
けスクリーン印刷用マスクが必要となり、部品点数が膨
大となるため、コスト的に負担が大きかった。

【００２７】それに対して、本発明にかかるスクリーン
印刷用分割マスクでは、マスク片の組み合わせにより種
々の形状、及び種々の大きさの開口部を形成することが
できる。これより、本発明にかかるスクリーン印刷用分
割マスクは、必要な印刷パターンの数に対して必要な部
品点数を大幅に削減することが可能であり、コストの負
担を軽減すること、すなわち、スクリーン印刷用マスク
の低コスト化を実現することが可能である。

【００２８】また、本発明にかかるスクリーン印刷用分
割マスクにおいては、マスク片の配置方法は、所定のパ
ターンに固定されるものではなく、任意のマスク片を組
み合わせて開口部を形成する際にマスク片は可動とされ
ており、自在に移動させることができる。これにより、
このスクリーン印刷用分割マスクでは、所定のマスク片
の組み合わせにおいても、当該マスク片を任意に移動さ
せることにより、すなわち、当該マスク片の配置方法を
変更することにより、開口部の形状及び大きさを所望の
形状及び大きさとすることが可能である。

【００２９】したがって、本発明にかかるスクリーン印
刷用分割マスクは、少ない部品点数で、すなわち、少な
い数のマスク片で種々の形状の開口部、及び種々の大き
さの開口部を形成することが可能である。これにより、
本発明にかかるスクリーン印刷用分割マスクは、必要な
印刷パターンの数に対して必要な部品点数をさらに大幅
に削減することが可能であり、さらにコストの負担を軽
減すること、すなわち、さらなるスクリーン印刷用マス
クの低コスト化を実現することが可能である。

【００３０】また、従来のスクリーン印刷用マスクで
は、印刷パターンを変更するたびにスクリーン印刷用マ
スクを交換なければならず、スクリーン印刷装置の非稼
働時間、すなわち段取り替えのための時間が多くなり、
生産効率が低下するという問題がある。

【００３１】それに対して、本発明にかかるスクリーン
印刷用分割マスクは、マスク片を任意に移動させること
により、すなわち、マスク片の配置方法を変更すること
により、開口部の形状及び大きさを所望の形状及び大き
さとすることが可能である。これにより、印刷パターン
を変更する場合においても、マスク片を移動させること
により印刷パターンを変更することが可能とされるた
め、スクリーン印刷用マスク、すなわち、マスク片の交
換を行う回数を大幅に削減することが可能である。これ
により、スクリーン印刷装置の非稼働時間、すなわち段
取り替えのための時間を大幅に削減することが可能であ
り、生産効率を向上させることができる。

【００３２】そして、本発明にかかるスクリーン印刷用
分割マスクでは、上述したように生産効率を向上させる
ことができるため、従来のスクリーン印刷用マスクでは
生産効率の低下が原因で実現できなかった多品種少量生
産に対応することが可能となる。

【００３３】以下においては、上述した本発明に係るス
クリーン印刷用分割マスクを、具体的な例を挙げて説明
する。

【００３４】図１に、本発明を適用したスクリーン印刷
用分割マスクの第１の例を示す。図１に示すスクリーン
印刷用分割マスク１は、マスク片２とマスク片３とを組
み合わせることにより構成されている。そして、このス
クリーン印刷用マスク１では、２つのマスク片２，３を
組み合わせることにより、マスク片２とマスク片３とで
囲われた部分が略長方形を呈した開口部４とされてい
る。

【００３５】ここで、マスク片２，３は、共に図１中の
矢印Ａの方向に可動自在とされており、マスク片２又は
マスク片３を移動させることにより開口部４の形状及び
大きさを変更することができる。

【００３６】例えば、マスク片２を移動させることによ
り、図２に示すように開口部４の大きさを小さくするこ
とができる。図２に示すスクリーン印刷用分割マスク５
は、図１においてマスク片２を図２中の矢印Ｂの方向に
移動させて構成したものである。これにより、大きさが
図１に示すスクリーン印刷用分割マスク１の開口部４よ
りも小さく略長方形を呈する開口部６が形成されてい
る。また、図２においては、マスク片２を矢印Ｂの方向
に移動させたが、マスク片３を図２中の矢印Ｃの方向に
移動させても良く、これによっても図２に示したスクリ
ーン印刷用分割マスクを構成することができる。そし
て、マスク片２を矢印Ｂの方向に、マスク片３を矢印Ｃ
の方向に移動させることによっても、図２に示したスク
リーン印刷用分割マスクを構成することができる。

【００３７】また、マスク片２を移動させることによ
り、図３に示すように開口部４の大きさを大きくするこ
とができる。図３に示すスクリーン印刷用分割マスク７
は、図１においてマスク片２を図３中の矢印Ｄの方向に
移動させて構成したものである。これにより、大きさが
図１に示すスクリーン印刷用分割マスク１の開口部４よ
りも大きく略長方形を呈する開口部８が形成されてい
る。また、図３においては、マスク片２を矢印Ｂの方向
に移動させたが、マスク片３を図３中の矢印Ｅの方向に
移動させても良く、これによっても図３に示したスクリ
ーン印刷用分割マスクを構成することができる。そし
て、マスク片２を矢印Ｄの方向に、マスク片３を矢印Ｅ
の方向に移動させることによっても、図３に示したスク
リーン印刷用分割マスクを構成することができる。

【００３８】なお、図１乃至図３においては、説明の便
宜上、マスク片２，３の大きさを小さく示してあるが、
実際のマスク片２，３は、開口部４、６，８に対して十
分に大きく、開口部４，６，８の近傍に他の開口部が形
成されることはない。

【００３９】図４に、本発明を適用したスクリーン印刷
用分割マスクの第２の例を示す。図４に示すスクリーン
印刷用分割マスク１１は、マスク片１２とマスク片１３
とマスク片１４とマスク片１５とを組み合わせることに
より構成されている。そして、このスクリーン印刷用分
割マスク１１では、４つのマスク片１２，１３，１４，
１５を組み合わせることにより、４つのマスク片１２，
１３，１４，１５で囲われた部分が略長方形を呈した開
口部１６とされている。

【００４０】ここで、マスク片１４，１５は、図４中の
矢印Ｆの方向に可動自在とされており、マスク片１４又
はマスク片１５を移動させることにより開口部１８の形
状及び大きさを変更することができる。

【００４１】例えば、マスク片１４を移動させることに
より、図５に示すように開口部１８の大きさを小さくす
ることができる。図５に示すスクリーン印刷用分割マス
ク１７は、図４においてマスク片１４を図５中の矢印Ｇ
の方向に移動させて構成したものである。これにより、
大きさが図４に示すスクリーン印刷用分割マスク１１の
開口部１６よりも小さく略長方形を呈する開口部１８が
形成されている。また、図５においては、マスク片１４
を矢印Ｇの方向に移動させたが、マスク片１５を図５中
の矢印Ｈの方向に移動させても良く、これによっても図
５に示したスクリーン印刷用分割マスク１７を構成する
ことができる。そして、マスク片１４を矢印Ｇの方向
に、マスク片１５を矢印Ｈの方向に移動させることによ
っても、図５に示したスクリーン印刷用マスク分割１７
を構成することができる。

【００４２】また、マスク片１４を移動させることによ
り、図６に示すように開口部１６の大きさを大きくする
ことができる。図６に示すスクリーン印刷用分割マスク
１９は、図４においてマスク片１４を図６中の矢印Ｊの
方向に移動させて構成したものである。これにより、大
きさが図４に示すスクリーン印刷用分割マスク１１の開
口部１６よりも大きく略長方形を呈する開口部２０が形
成されている。また、図６においては、マスク片１４を
矢印Ｊの方向に移動させたが、マスク片１５を図６中の
矢印Ｋの方向に移動させても良く、これによっても図６
に示したスクリーン印刷用分割マスク１９を構成するこ
とができる。そして、マスク片１４を矢印Ｊの方向に、
マスク片１５を矢印Ｋの方向に移動させることによって
も、図６に示したスクリーン印刷用分割マスク１９を構
成することができる。

【００４３】なお、図４乃至図６においては、説明の便
宜上、マスク片１２，１３，１４，１５の大きさを小さ
く示してあるが、実際のマスク片１２，１３，１４，１
５は、開口部１６，１８，２０に対して十分に大きく、
開口部１６，１８，２０の近傍に他の開口部が形成され
ることはない。

【００４４】図７に、本発明を適用したスクリーン印刷
用分割マスクの第３の例を示す。図７に示すスクリーン
印刷用分割マスク２１は、マスク片２２とマスク片２３
とを組み合わせることにより構成されている。そして、
このスクリーン印刷用分割マスク２１では、２つのマス
ク片２２，２３を組み合わせることにより、２つのマス
ク片２２，２３で囲われた部分が略長方形を呈した開口
部２４とされている。

【００４５】ここで、マスク片２２，２３は、図７中の
矢印Ｌの方向に可動自在とされており、マスク片２２又
はマスク片２３を移動させることにより開口部２４の形
状及び大きさを変更することができる。

【００４６】例えば、マスク片２２を移動させることに
より、図８に示すように開口部２４の大きさを小さくす
ることができる。図８に示すスクリーン印刷用分割マス
ク２５は、図７においてマスク片２２を図８中の矢印Ｍ
の方向に移動させて構成したものである。これにより、
大きさが図７に示すスクリーン印刷用分割マスク２１の
開口部２４よりも小さく略長方形を呈する開口部２６が
形成されている。また、図８においては、マスク片２２
を矢印Ｍの方向に移動させたが、マスク片２３を図８中
の矢印Ｎの方向に移動させても良く、これによっても図
８に示したスクリーン印刷用分割マスク２５を構成する
ことができる。そして、マスク片２２を矢印Ｍの方向
に、マスク片２３を矢印Ｎの方向に移動させることによ
っても、図８に示したスクリーン印刷用分割マスク２５
を構成することができる。

【００４７】また、マスク片２２を移動させることによ
り、図９に示すように開口部２４の大きさを大きくする
ことができる。図９に示すスクリーン印刷用分割マスク
２７は、図７においてマスク片２２を図９中の矢印Ｐの
方向に移動させて構成したものである。これにより、大
きさが図７に示すスクリーン印刷用分割マスク２１の開
口部２４よりも大きく略長方形を呈する開口部２８が形
成されている。また、図９においては、マスク片２２を
矢印Ｐの方向に移動させたが、マスク片２３を図９中の
矢印Ｑの方向に移動させても良く、これによっても図９
に示したスクリーン印刷用分割マスク２７を構成するこ
とができる。そして、マスク片２２を矢印Ｐの方向に、
マスク片２３を矢印Ｑの方向に移動させることによって
も、図９に示したスクリーン印刷用分割マスク２７を構
成することができる。

【００４８】なお、図７乃至図９においては、説明の便
宜上、マスク片２２，２３の大きさを小さく示してある
が、実際のマスク片２２，２３は、開口部２４，２６，
２８に対して十分に大きく、開口部２４，２６，２８の
近傍に他の開口部が形成されることはない。

【００４９】次に、本発明にかかるスクリーン印刷用積
層マスクについて説明する。本発明にかかるスクリーン
印刷用積層マスクは、それぞれ開口部を有する複数のマ
スク部材を開口部の一部が重なるように上層マスクと下
層マスクとの２層に積層して所定の開口部を形成してな
ることを特徴とするものである。

【００５０】図１０及び図１１に本発明を適用して形成
したスクリーン印刷用積層マスク４１の平面図及び断面
図を示す。なお、図１１は、図１０中の線分ＡＡ'にお
ける縦断面図である。スクリーン印刷用積層マスク４１
は、略正方形の開口部４２を備え、上層マスクとなる図
１２に示すマスク部材４３と、下層マスクとなる図１３
に示すマスク部材４５とを積層して形成されている。具
体的には、スクリーン印刷用積層マスク４１は、マスク
部材４３が有する開口部４４の一部とマスク部材４５が
有する開口部４６の一部とが重なるようにして、マスク
部材４５上にマスク部材４３を積層することにより開口
部４２を形成してなるものである。

【００５１】このように、本発明にかかるスクリーン印
刷用積層マスクは、一体形成されたマスク用基材に所定
の開口部を形成した従来のスクリーン印刷用マスクとは
異なり、開口部を有する複数のマスク部材を開口部の一
部が重なるように上層マスクと下層マスクとの２層に積
層して、上層マスクと下層マスクとにより所定の開口部
を形成してマスクとして使用するものである。

【００５２】以上のようにして構成される本発明にかか
るスクリーン印刷用積層マスクでは、異なる形状及び大
きさの開口部を有するマスク部材を複数用意し、異なる
マスク部材を選択して積層することにより種々の形状の
開口部、及び種々の大きさの開口部を形成することが可
能であり、所望の形状及び所望の大きさの開口部を簡便
に実現することが可能である。

【００５３】ここで、従来のスクリーン印刷用マスクで
は、１つのスクリーン印刷用マスクは１種類の開口パタ
ーンしか有さなかったため、印刷パターンとスクリーン
印刷用マスクとが１対１で対応している。すなわち、１
つのスクリーン印刷用マスクは、１つの印刷パターンに
しか用いることができなかった。このため、従来のスク
リーン印刷用マスクでは、印刷パターンの数だけスクリ
ーン印刷用マスクが必要となり、部品点数が膨大となる
ため、コスト的に負担が大きかった。

【００５４】それに対して、本発明にかかるスクリーン
印刷用積層マスクでは、マスク部材の組み合わせにより
種々の形状、及び種々の大きさの開口部を形成すること
ができる。すなわち、このスクリーン印刷用積層マスク
では、上層マスク用のマスク部材と下層マスク用のマス
ク部材とをそれぞれ複数種類用意し、これらの上層マス
ク用のマスク部材と下層マスク用のマスク部材との組み
合わせを変更することにより、多くの種類の開口部、す
なわち印刷パターンを実現することができる。これよ
り、本発明にかかるスクリーン印刷用積層マスクは、必
要な印刷パターンの数に対して必要な部品点数を大幅に
削減することが可能であり、コストの負担を軽減するこ
と、すなわち、スクリーン印刷用マスクの低コスト化を
実現することが可能である。そして、このスクリーン印
刷用積層マスクを用いることにより、スクリーン印刷に
おいても多品種少量生産を行うことが可能となる。そし
て、この効果は、上層マスク用のマスク部材及び下層マ
スク用のマスク部材のそれぞれについて種類が多くなる
ほど顕著となる。

【００５５】また、スクリーン印刷においては、スクリ
ーン印刷用マスク上にスキージをスライドさせることに
より開口部を介してスクリーン印刷が施される基材に塗
布剤を塗布するが、本発明にかかるスクリーン印刷用積
層マスクは、スキージの移動方向において、上層マスク
の開口部を下層マスクの開口部よりも大とすることが好
ましい。すなわち、図１０及び図１１を例にして説明す
ると、スクリーン印刷を行う際、スキージ５８は上層マ
スクであるマスク部材４３上を矢印Ｒの方向にスライド
させる。この場合、スクリーン印刷用積層マスク４１に
おいては、図１０及び図１１に示すように、開口部４２
の左右の領域４７及び領域４８では、下層マスクは存在
するが上層マスクにおいては開口部とされている。

【００５６】ここで、従来のスクリーン印刷用マスク
は、図１４及び図１５に示すように開口部５２は、被塗
布材である基材５３に印刷したい領域５４、すなわち所
望の印刷パターンと同一の大きさに形成されている。し
かしながら、このような従来のスクリーン印刷用マスク
を用いてスクリーン印刷を行った場合、スキージにより
塗布剤を押し出して基材５３に印刷をする際に塗布剤に
かかる印圧は、開口部５２の端部５５，５６の近傍にお
いて急激に変化してしまう。このため、塗布剤５７がこ
の印圧の変化によって図１６に示すようにスクリーン印
刷用マスク５１の下、すなわち基材５３とスクリーン印
刷用マスク５１との間に入り込み、基材５３上の印刷膜
厚が薄くなったり、塗布した塗布剤５７の端部にダレが
生じたりするという不具合が生じる。そして、このよう
なダレが生じない場合でも、図１７に示すように基材５
３の表面に塗布した塗布剤５７の端部に盛り上がりが生
じるという不具合が生じる場合もある。

【００５７】そこで、本発明を適用したスクリーン印刷
用積層マスク４１においては、図１０及び図１１に示す
ように、開口部４２の左右の領域４７及び領域４８は開
口部とされている。このように、スキージの移動方向に
おいて、上層マスクであるマスク部材４３の開口部４４
を下層マスクであるマスク部材４５の開口部４６よりも
大とすることにより、スキージ５８により開口部４２を
介して塗布剤５７を押し出して印刷をする際に、塗布剤
５７にかかる印圧を分散し、印圧の急激な変化を防止す
ることができる。すなわち、開口部４２の左右の領域４
７及び領域４８では、下層マスクは存在するが上層マス
クにおいては開口部とされており、開口部に段差が形成
されている。そして、スクリーン印刷を行った際、開口
部４２を介して印刷が行われた後、余分な塗布剤は、こ
の段差部分、すなわち領域４８に逃げることができるた
め、印圧が高くなることがない。すなわち、安定した印
圧を得ることが可能となり、この効果は開口部４２の形
状、すなわち印刷パターンに依存することなく得ること
ができる。これにより、印圧の急激な変化に起因して塗
布剤５７がスクリーン印刷用マスクの下、すなわち基材
とスクリーン印刷用マスクとの間に入り込み、基材上の
印刷膜厚が薄くなったり、塗布した塗布剤の端部にダレ
が生じたりするという不具合の発生を防止することがで
きる。また、図１７に示すような、基材５３の表面に塗
布した塗布剤５７の端部に盛り上がりが発生することも
防止することができる。したがって、本発明にかかるス
クリーン印刷用積層マスクは、スキージの移動方向にお
いて、上層マスクの開口部を下層マスクの開口部よりも
大とすることにより良好な品質のスクリーン印刷を可能
とするスクリーン印刷用マスクを実現することができ
る。

【００５８】また、上記のスクリーン印刷用積層マスク
４１においては、開口部のスキージの移動方向に対する
端部の形状が曲線により形成されていることが好まし
い。

【００５９】スクリーン印刷は、その原理上、スクリー
ン印刷用マスクとスキージとが常時接触して移動するこ
とにより印刷を行うため、スクリーン印刷用マスクの摩
耗が激しく、耐久性が悪い。そのなかでも、スクリーン
印刷用マスクは、開口部を形成する部分のうちスキージ
の移動方向に対する端部近傍は、塗布剤にかかる印圧が
高く、また、スクリーン印刷時にスキージと擦れるため
一番摩耗が激しくなっている。すなわち、図１４に示す
ようにスクリーン印刷用マスクにおいて、開口部を形成
する部分のうちスキージの移動方向に対する端部５５，
５６の形状が、スキージの移動方向と略垂直な直線形状
とされている場合、スキージにより塗布剤を押し出して
基材に印刷をする際に塗布剤にかかる印圧は、端部５
５，５６の近傍において一番高くなっている。そして、
スクリーン印刷用マスクの摩耗は、直接スクリーン印刷
における印刷の品質に影響する。すなわち、スクリーン
印刷用マスクの摩耗が激しい場合には、品質の良好なス
クリーン印刷が行えない。

【００６０】そこで、図１０に示すようにスクリーン印
刷用マスクにおいて、開口部を形成する部分のうちスキ
ージの移動方向に対する端部５９，６０の形状を曲線に
より形成することにより、スキージの移動方向におい
て、上述したように上層マスクであるマスク部材４３の
開口部４４を下層マスクであるマスク部材４５の開口部
４６よりも大とすることにより塗布剤を逃がす効果に加
えて、スキージ５８により塗布剤５７を押し出して印刷
をする際に、端部５９，６０の近傍において塗布剤５７
にかかる印圧を分散することができる。これにより、ス
クリーン印刷用積層マスク４１において、塗布剤５７に
かかる印圧に起因する端部５９，６０の近傍の摩耗を抑
制することができ、耐久性に優れた、良好な印刷品質を
維持できるスクリーン印刷用マスクを実現することがで
きる。ここで、上述したような端部５９，６０の形状と
しては、例えば所定の曲率半径を有する形状や半円状等
が好適である。

【００６１】また、このスクリーン印刷用積層マスク４
１では、上述したように領域４８が設けられているた
め、スクリーン印刷用を行う際に、スキージが端部６０
の手前でスキージを停止させることにより、スキージ５
８と端部６０との接触をなくすことができる。これによ
り、スキージ５８との摩擦に起因する端部６０の近傍の
摩耗を抑制することができ、耐久性に優れた、良好な印
刷品質を維持できるスクリーン印刷用マスクを実現する
ことができる。これにより、スキージ５８の寿命も延ば
すことができる。

【００６２】上述したスクリーン印刷用積層マスク４１
において、マスク部材４３、すなわち上層マスク用のマ
スク部材の構成材料は特に限定されるものではなく、ス
キージの構成材料との組み合わせや対摩耗性、開口部を
形成する際の加工性等を考慮して種々の材料を用いるこ
とが可能である。このような材料としては、例えばステ
ンレス鋼等が好適である。このような材料を選択するこ
とにより、開口部を形成する際の手間が軽減されるた
め、効率よくスクリーン印刷用積層マスク４１を作製す
ることができる。

【００６３】また、上述したスクリーン印刷用積層マス
ク４１において、マスク部材４５、すなわち下層マスク
用のマスク部材の構成材料は特に限定されるものではな
く、被塗布材である基板の構成材料との組み合わせ等を
考慮して種々の材料を選択することができる。その際、
被塗布材である基板よりも軟らかい材料を選択すること
が好ましい。下層マスクは、スキージと擦れることがな
いため、上層マスクのように摩耗することがない。この
ため、対摩耗性に優れた材料を用いる必要ない。一方、
マスク部材４５は、被塗布材である基板と直接接触する
ため、マスク部材４５の構成材料として基板よりも軟ら
かい材料を用いることにより、スクリーン印刷用積層マ
スク４１が基板を傷つけてしまうことを防止することが
でき、また、開口部を形成する際の手間が軽減されるた
め、効率よくスクリーン印刷用積層マスク４１を作製す
ることができる。このような材料としては、例えばアル
ミニウム等が好適である。

【００６４】また、従来のスクリーン印刷用マスクで
は、印刷パターンを変更するたびにスクリーン印刷用マ
スクを交換なければならず、スクリーン印刷装置の非稼
働時間、すなわち段取り替えのための時間が多くなり、
生産効率が低下するという問題がある。

【００６５】それに対して、本発明にかかるスクリーン
印刷用積層マスクは、マスク部材４３とマスク部材４５
とを積層させて、すなわち、上層マスクと下層マスクと
の２層により構成されているため、マスク部材４３がマ
スク部材４５上において可動とされている。すなわち、
上層マスクが下層マスク上において可動とされている。
これにより、マスク部材４３をマスク部材４５上におい
て任意に移動させることにより、すなわち、上層マスク
と下層マスクとの配置方法を変更することにより、開口
部の位置、形状及び大きさを適宜変更することが可能で
ある。これにより、印刷パターンを変更する場合におい
ても、マスク部材を移動させることにより印刷パターン
を変更することが可能とされるため、スクリーン印刷用
マスク、すなわち、マスク部材の交換を行う回数を大幅
に削減することが可能である。したがって、スクリーン
印刷装置の非稼働時間、すなわち段取り替えのための時
間を大幅に削減することが可能であり、生産効率を向上
させることができる。

【００６６】そして、本発明にかかるスクリーン印刷用
積層マスクでは、上述したように生産効率を向上させる
ことができるため、従来のスクリーン印刷用マスクでは
生産効率の低下が原因で実現できなかった多品種少量生
産に対応することが可能となる。

【００６７】そして、このスクリーン印刷用積層マスク
においては、上述した発明にかかるスクリーン印刷用分
割マスクを適用することができる。すなわち、マスク部
材４３及びマスク部材４５、すなわち上層マスクと下層
マスクとを、複数のマスク片を組み合わせることにより
所定の開口部を形成してなるものとしても良い。このよ
うに、上層マスクと下層マスクに上述したスクリーン印
刷用分割マスクを適用することにより、上述したスクリ
ーン印刷用積層マスク有する効果と共にスクリーン印刷
用分割マスクの有する効果も得ることができる。

【００６８】次に、以上のような本発明にかかるスクリ
ーン印刷用分割マスクを用いたスクリーン印刷方法につ
いて説明する。

【００６９】以下では、図１８に示すように発光ダイオ
ード（ＬＥＤ）を樹脂で固めたＬＩＰ６１を基板６３上
に実装する場合を例に説明する。

【００７０】実装を行うには、まず、ＬＩＰ６１用の接
着材をスクリーン印刷する。ＬＩＰ６１用の接着材をス
クリーン印刷するには、図１９及び図２０に示すように
基板６２上におけるＬＩＰ６１を実装する所定の位置に
マスクの開口部が配されるようにスクリーン印刷用分割
マスク１０３を基板６２上に配置する。

【００７１】ここで、スクリーン印刷用分割マスク１０
３は、図１９に示すようにマスク片６５と、マスク片６
６とを用いて構成する。すなわち、ＬＩＰ６１用の接着
材をスクリーン印刷する際には、マスク片６５とマスク
片６６とを組み合わせることによりＬＩＰ６１と略同一
の形状及び大きさの開口部６４を形成してスクリーン印
刷用分割マスク１０３を構成し、マスクとして使用す
る。

【００７２】このようなスクリーン印刷用分割マスク１
０３を基板６２上の所定の位置に配した後、接着材を開
口部６４の手前に配する。そして、スキージをスクリー
ン印刷用分割マスク１０３上を図１９の矢印Ｔの方向に
スライドさせることにより接着材を開口部６４を介して
基板６２にスクリーン印刷する。

【００７３】次に、所定の形状に印刷された接着材上に
ＬＩＰ６１を載置して、所定の温度に加熱することによ
り、接着材を溶融硬化させてＬＩＰ６１の実装が完了す
る。

【００７４】以上のようなスクリーン印刷方法では、マ
スクとしてスクリーン印刷用分割マスクを用いているた
め、上述したスクリーン印刷用分割マスクの有する効果
を得ることができる。

【００７５】すなわち、少ない部品点数で所望の形状及
び所望の大きさのスクリーン印刷が可能であるため、安
価にスクリーン印刷を行うことができる。また、段取り
替えのための時間を大幅に削減することが可能であり、
効率よくスクリーン印刷を行うことができる。したがっ
て、多品種少量生産に対応することが可能である。

【００７６】次に、本発明にかかるスクリーン印刷用積
層マスクを用いたスクリーン印刷方法について説明す
る。

【００７７】以下では、図２１に示すように基板７１上
にアクティブチップ７２と、赤色（Ｒ）発光ダイオード
（ＬＥＤ）を樹脂で固めた赤色ＬＩＰ７３、緑色（Ｇ）
発光ダイオードを樹脂で固めた緑色ＬＩＰ７４、青色
（Ｂ）発光ダイオードを樹脂で固めた青色ＬＩＰ７５を
実装する場合を例に説明する。このように基板上にアク
ティブチップ７２とＬＩＰ７３，７４，７５とを実装す
る場合には、アクティブチップ７２とＬＩＰ７３，７
４，７５とで硬化温度の異なる接着剤を用いる。そし
て、まずＬＩＰ７３，７４，７５を硬化温度の高い接着
剤で接着し、次にアクティブチップ７２を硬化温度の低
い接着材で接着することにより実装を行う。

【００７８】実装を行うには、まず、ＬＩＰ７３，７
４，７５用の接着材をスクリーン印刷する。ＬＩＰ７
３，７４，７５用の接着材をスクリーン印刷するには、
基板７１上におけるＬＩＰ７３，７４，７５を実装する
所定の位置にマスクの開口部が配されるようにスクリー
ン印刷用積層マスク９１を基板７１上に配置する。

【００７９】ここで、スクリーン印刷用積層マスク９１
は、図２２に示す上層マスクであり開口部７６，７７，
７８，７９を有するマスク部材８０と、図２３に示す下
層マスクであり開口部８１を有するマスク部材８２と、
図２４に示す下層マスクであり開口部８３，８４，８
５，８６を有するマスク部材８７とを用いて構成する。
そして、ＬＩＰ７３，７４，７５用の接着材をスクリー
ン印刷する際には、図２３に示すマスク部材８２上に図
２２に示すマスク部材８０を重ねることにより図２５に
示すようにＬＩＰ７３，７４，７５と略同一の形状及び
大きさの開口部１２８，８９，９０を形成してスクリー
ン印刷用積層マスク９１を構成し、マスクとして使用す
る。

【００８０】そして、このようなスクリーン印刷用積層
マスク９１を基板７１上の所定の位置に配した後、硬化
温度の高い第１の接着材をスクリーン印刷用積層マスク
９１の中央よりの開口部１２８，８９，９０の脇に配す
る。そして、スキージをスクリーン印刷用積層マスク９
１上を図２５の矢印Ｕの方向にスライドさせることによ
り第１の接着材を、開口部１２８，８９，９０を介して
基板７１にスクリーン印刷する。

【００８１】次に、所定の形状に印刷された第１の接着
材上にＬＩＰ７３，７４，７５をそれぞれ載置して、所
定の温度に加熱することにより、第１の接着材を溶融硬
化させてＬＩＰ７３，７４，７５の実装が完了する。

【００８２】次に、アクティブチップ７２用の接着材を
スクリーン印刷する。アクティブチップ７２用の接着材
をスクリーン印刷するには、まず、スクリーン印刷用積
層マスクをはずし、基板７１上におけるアクティブチッ
プ７２を実装する所定の位置にマスクの開口部が配され
るようにスクリーン印刷用積層マスク９２を基板７１上
に配置する。

【００８３】ここで、スクリーン印刷用積層マスク９２
は、図２２に示す上層マスクであるマスク部材８０と、
図２４に示す下層マスクであるマスク部材８７とを用い
て構成する。すなわち、アクティブチップ７２用の接着
材をスクリーン印刷する際には、マスク部材８７上にマ
スク部材８０を重ねることにより図２６に示すようにア
クティブチップ７２と略同一の形状及び大きさの開口部
９３を形成してスクリーン印刷用積層マスク９２を構成
し、マスクとして使用する。

【００８４】また、このようなスクリーン印刷用積層マ
スク９２を基板７１上の所定の位置に配する。このと
き、下層マスクであるマスク部材８７には、ＬＩＰ７
３，７４，７５と略同一の形状及び大きさの開口部８
４，８５，８６がＬＩＰ７３，７４，７５に対応する位
置に設けられており、これにより、スクリーン印刷用積
層マスク９２を基板７１上に配した際、図２７に示すよ
うにＬＩＰ７３，７４，７５がこの開口部８４，８５，
８６に嵌合する。このためスクリーン印刷用積層マスク
が、ＬＩＰ７３，７４，７５により盛り上がることがな
く、アクティブチップ用の接着材をスクリーン印刷する
際に邪魔になることがないようになされている。

【００８５】次に、硬化温度の低い第２の接着材をスク
リーン印刷用積層マスク９２の中央よりの開口部９３の
脇に配し、スキージをスクリーン印刷用積層マスク９２
上において図２６の矢印Ｖの方向にスライドさせること
により第２の接着材を、開口部８２を介して基板７１に
スクリーン印刷する。

【００８６】次に、所定の形状に印刷された第２の接着
材上にアクティブチップ７２を載置して、所定の温度に
加熱することにより、第２の接着材を溶融硬化させてア
クティブチップ７２の実装が完了する。

【００８７】以上により、アクティブチップ７２及びＬ
ＩＰ７３，７４，７５を効率よく、簡便に、そして確実
に実装することができる。通常、このような異なる接着
材を隣接した位置に塗布し、素子の実装を行う際には、
先に実装した素子が邪魔となり後の素子用の接着材は非
常に塗布しづらく、精度的にも問題が生じる場合があ
る。しかしながら、上述した方法を用いることにより精
度良く、且つ簡便に接着材の塗布及び素子の実装を行う
ことができる。

【００８８】以上のようなスクリーン印刷方法では、マ
スクとしてスクリーン印刷用積層マスクを用いているた
め、上述したスクリーン印刷用積層マスクの有する効果
を得ることができる。

【００８９】すなわち、少ない部品点数で所望の形状及
び所望の大きさのスクリーン印刷が可能であり、また、
スキージ及びマスクの寿命が長くなるため、安価にスク
リーン印刷を行うことができる。また、段取り替えのた
めの時間を大幅に削減することが可能であり、効率よく
スクリーン印刷を行うことができる。したがって、多品
種少量生産に対応することが可能である。

【００９０】上記においては、半導体素子を実装する場
合について説明したが、本発明に係るスクリーン印刷方
法の適用用途は電子部品や半導体素子の実装に限定され
るものではなく、種々の分野において広く適用可能であ
る。

【００９１】なお、上述したＬＩＰを構成するＬＥＤと
しては、例えば、いわゆるピラミッド形のＬＥＤを用い
ることができる。以下、このＬＥＤについて説明する。

【００９２】このＬＥＤは、基板上に該基板の主面に対
して傾斜したＳ面または該Ｓ面に実質的に等価な面を有
する結晶層を形成し、該Ｓ面または該Ｓ面に実質的に等
価な面に平行な面内に延在する第１導電型層、活性層、
及び第２導電型層を前記結晶層に形成してなることを特
徴とするものである。

【００９３】このＬＥＤに用いられる基板は、後述のＳ
面またはそのＳ面に等価な面を有する結晶層を形成し得
るものであれば特に限定されず、種々のものを使用でき
る。例示すると、基板として用いることができるのは、
サファイヤ（Ａｌ_２Ｏ_３、Ａ面、Ｒ面、Ｃ面を含む。）
ＳｉＣ（６Ｈ、４Ｈ、３Ｃを含む。）ＧａＮ、Ｓｉ、Ｚ
ｎＳ、ＺｎＯ、ＡｌＮ、ＬｉＭｇＯ、ＧａＡｓ、ＭｇＡ
ｌ_２Ｏ_４、ＩｎＡｌＧａＮなどからなる基板であり、好
ましくはこれらの材料からなる六方晶系基板または立方
晶系基板であり、より好ましくは六方晶系基板である。
例えば、サファイヤ基板を用いる場合では、窒化ガリウ
ム（ＧａＮ）系化合物半導体の材料を成長させる場合に
多く利用されているＣ面を主面としたサファイヤ基板を
用いることができる。この場合の基板主面としてのＣ面
は、５乃至６度の範囲で傾いた面方位を含むものであ
る。

【００９４】この基板上に形成される結晶層は基板の主
面に対して傾斜したＳ面または該Ｓ面に実質的に等価な
面を有している。この結晶層は後述のＳ面または該Ｓ面
に実質的に等価な面に平行な面に第１導電型層、活性
層、及び第２導電型層からなる発光領域を形成可能な材
料層であれば良く、特に限定されるものではないが、そ
の中でもウルツ鉱型の結晶構造を有することが好まし
い。このような結晶層としては、例えばＩＩＩ族系化合
物半導体やＢｅＭｇＺｎＣｄＳ系化合物半導体を用いる
ことができ、更には窒化ガリウム（ＧａＮ）系化合物半
導体、窒化アルミニウム（ＡｌＮ）系化合物半導体、窒
化インジウム（ＩｎＮ）系化合物半導体、窒化インジウ
ムガリウム（ＩｎＧａＮ）系化合物半導体、窒化アルミ
ニウムガリウム（ＡｌＧａＮ）系化合物半導体を好まし
くは形成することができ、特に窒化ガリウム系化合物半
導体が好ましい。なお、このＬＥＤにおいて、ＩｎＧａ
Ｎ、ＡｌＧａＮ、ＧａＮなどは必ずしも、３元混晶の
み、２元混晶のみの窒化物半導体を指すのではなく、例
えばＩｎＧａＮでは、ＩｎＧａＮの作用を変化させない
範囲での微量のＡｌ、その他の不純物を含んでいても良
いことはいうまでもない。また、Ｓ面に実質的に等価な
面とは、Ｓ面に対して５乃至６度の範囲で傾いた面方位
を含むものである。

【００９５】この結晶層の成長方法としては、種々の気
相成長法を挙げることができ、例えば有機金属化合物気
相成長法（ＭＯＣＶＤ（ＭＯＶＰＥ）法）や分子線エピ
タキシー法（ＭＢＥ法）などの気相成長法や、ハイドラ
イド気相成長法（ＨＶＰＥ法）などを用いることができ
る。その中でもＭＯＶＰＥ法によると、迅速に結晶性の
良いものが得られる。ＭＯＶＰＥ法では、Ｇａソースと
してＴＭＧ（トリメチルガリウム）、ＴＥＧ（トリエチ
ルガリウム）、ＡｌソースとしてはＴＭＡ（トリメチル
アルミニウム）、ＴＥＡ（トリエチルアルミニウム）、
Ｉｎソースとしては、ＴＭＩ（トリメチルインジウ
ム）、ＴＥＩ（トリエチルインジウム）などのアルキル
金属化合物が多く使用され、窒素源としてはアンモニ
ア、ヒドラジンなどのガスが使用される。また、不純物
ソースとしてはＳｉであればシランガス、Ｇｅであれば
ゲルマンガス、ＭｇであればＣｐ２Ｍｇ（シクロペンタ
ジエニルマグネシウム）、ＺｎであればＤＥＺ（ジエチ
ルジンク）などのガスが使用される。ＭＯＣＶＤ法で
は、これらのガスを例えば６００℃以上に加熱された基
板の表面に供給して、ガスを分解することにより、Ｉｎ
ＡｌＧａＮ系化合物半導体をエピタキシャル成長させる
ことができる。

【００９６】結晶層を形成する前に、下地成長層を基板
上に形成することが好ましい。この下地成長層は例えば
窒化ガリウム層や窒化アルミ二ウム層からなり、下地成
長層は低温バッファ層と高温バッファ層との組み合わせ
或いはバッファ層と結晶種として機能する結晶種層との
組み合わせからなる構造であっても良い。この下地成長
層も結晶層と同様に、種々の気相成長法で形成すること
ができ、例えば有機金属化合物気相成長法（ＭＯＣＶＤ
法）や分子線エピタキシー法（ＭＢＥ法）、ハイドライ
ド気相成長法（ＨＶＰＥ法）などの気相成長法を用いる
ことができる。結晶層の成長を低温バッファ層から始め
るとマスク上にポリ結晶が析出しやすくなって、それが
問題となる。そこで、結晶種層を含んでからその上に基
板と異なる面を成長することで、さらに結晶性のよい結
晶が成長できる。また、選択成長を用いて結晶成長を行
うには結晶種層がないとバッファ層から形成する必要が
あるが、もしバッファ層から選択成長を行うと成長の阻
害された成長しなくても良い部分に成長が起こりやすく
なる。従って、結晶種層を用いることで、成長が必要な
領域に選択性良く結晶を成長させることができることに
なる。バッファ層は基板と窒化物半導体の格子不整合を
緩和するという目的もある。したがって、窒化物半導体
と格子定数の近い基板、格子定数が一致した基板を用い
る場合にはバッファ層が形成されない場合もある。たと
えば、ＳｉＣ上にはＡｌＮを低温にしないでバッファ層
をつけることもあり、Ｓｉ基板上にはＡｌＮ、ＧａＮを
やはり低温にしないでバッファ層として成長することも
あり、それでも良質のＧａＮを形成できる。また、バッ
ファ層を特に設けない構造であっても良く、ＧａＮ基板
を使用しても良い。

【００９７】そして、このＬＥＤにおいては、Ｓ面また
はＳ面に実質的に等価な面を形成するために、選択成長
法を用いることができる。Ｓ面はＣ＋面の上に選択成長
した際に見られる安定面であり、比較的得やすい面であ
って六方晶系の面指数では（１−１０１）である。Ｃ面
にＣ＋面とＣ−面が存在するのと同様に、Ｓ面について
はＳ＋面とＳ−面が存在するが、ここでは、特に断らな
い場合は、Ｃ＋面ＧａＮ上にＳ＋面を成長しており、こ
れをＳ面として説明している。なお、Ｓ面についてはＳ
＋面が安定面である。またＣ＋面の面指数は（０００
１）である。このＳ面ついては、前述のように窒化ガリ
ウム系化合物半導体で結晶層を構成した場合には、Ｓ面
上、ＧａからＮへのボンド数が２または３とＣ−面の次
に多くなる。ここでＣ−面はＣ＋面の上には事実上得る
ことができないので、Ｓ面でのボンド数は最も多いもの
となる。例えば、Ｃ面を主面に有するサファイヤ基板に
窒化物を成長した場合、一般にウルツ鉱型の窒化物の表
面はＣ＋面になるが、選択成長を利用することでＳ面を
形成することができ、Ｃ面に平行な面では脱離しやすい
傾向をもつＮのボンドがＧａから一本のボンドで結合し
ているのに対し、傾いたＳ面では少なくとも一本以上の
ポンドで結合することになる。従って、実効的にV/III
比が上昇することになり、積層構造の結晶性の向上に有
利である。また、基板と異なる方位に成長すると基板か
ら上に伸びた転位が曲がることもあり、欠陥の低減にも
有利となる。

【００９８】このＬＥＤにおいては、結晶層は少なくと
もＳ面又はＳ面に実質的に等価な面を有する構造を有し
ているが、特に、結晶層はＳ面または該Ｓ面に実質的に
等価な面が略六角錐形状の斜面をそれぞれ構成する構造
であっても良く、或いは、Ｓ面または該Ｓ面に実質的に
等価な面が略六角錐台形状の斜面をそれぞれ構成する共
にＣ面または該Ｃ面に実質的に等価な面が前記略六角錐
台形状の上平面部を構成する構造、所謂略六角錐台形状
であっても良い。これら略六角錐形状や略六角錐台形状
は、正確に六角錐であることを必要とせず、その中の幾
つかの面が消失したようなものも含む。また、結晶層の
結晶面間の稜線は必ずしも直線でなくても良い。また、
略六角錐形状や略六角錐台形状は直線状に延在された形
状であっても良い。

【００９９】具体的な選択成長法としては、そのような
選択成長は下地成長層の一部を選択的に除去することを
利用して行われたり、あるいは、選択的に前記下地成長
層上にまたは前記下地成長層形成前に形成されたマスク
層の開口された部分を利用して行われる。例えば、前記
下地成長層がバッファ層と結晶種層とからなる場合、バ
ッファ層上の結晶種層を点在する１０μｍ径程度の小領
域に細分化し、それぞれの部分からの結晶成長によって
Ｓ面等を有する結晶層を形成することが可能である。例
えば、細分化された結晶種層は、発光素子として分離す
るためのマージンを見込んで離間するように配列するこ
とができ、個々の小領域としては、帯状、格子状、円形
状、正方形状、六角形状、三角形状、矩形状、菱形状お
よびこれらの変形形状などの形状にすることができる。
下地成長層の上にマスク層を形成し、そのマスク層を選
択的に開口して窓領域を形成することでも、選択成長が
可能である。マスク層は例えば酸化シリコン層或いは窒
化シリコン層によって構成することができる。前述のよ
うな略六角錐台形状や略六角錐形状が直線状に延在され
た形状である場合、一方向を長手方向とするような角錐
台や角錐形状はマスク層の窓領域を帯状にしたり、結晶
種層を帯状にすることで可能である。

【０１００】選択成長を用いマスク層の窓領域を１０μ
ｍ程度の円形（或いは辺が１−１００方向の六角形、ま
たは辺が１１−２０方向の六角形など）にすることでそ
の約２倍程度の選択成長領域まで簡単に作製できる。ま
たＳ面が基板と異なる方向であれば転位を曲げる効果、
および転位を遮蔽する効果があるために、転位密度の低
減にも役立つ。

【０１０１】本発明者らの行った実験において、カソー
ドルミネッセンスを用いて成長した六角錐台形状を観測
してみると、Ｓ面の結晶は良質でありＣ＋面に比較して
発光効率が高くなっていることが示されている。特にＩ
ｎＧａＮ活性層の成長温度は７００〜８００℃であるた
め、アンモニアの分解効率が低く、よりＮ種が必要とさ
れる。またＡＦＭで表面を見たところステップが揃って
ＩｎＧａＮ取り込みに適した面が観測された。さらにそ
の上、Ｍｇドープ層の成長表面は一般にＡＦＭレベルで
の表面状態が悪いが、Ｓ面の成長によりこのＭｇドープ
層も良い表面状態で成長し、しかもドーピング条件がか
なり異なることがわかっている。また、顕微フォトルミ
ネッセンスマッピングを行うと、０. ５- １μｍ程度の
分解能で測定することができるが、Ｃ+ 面の上に成長し
た通常の方法では、１μｍピッチ程度のむらが存在し、
選択成長でＳ面を得た試料については均一な結果が得ら
れた。また、ＳＥＭで見た斜面の平坦性もＣ+ 面より滑
らかに成っている。

【０１０２】また、選択成長マスクを用いて選択成長す
る場合であって、選択マスク開口部の上だけに成長する
際には横方向成長が存在しないため、マイクロチャネル
エピタキシーを用いて横方向成長させ窓領域より拡大し
た形状にすることが可能である。このようなマイクロチ
ャネルエピタキシーを用いて横方向成長をした方が貫通
転位を避けやすくなり、転位が減ることがわかってい
る。またこのような横方向成長により発光領域も増大
し、さらに電流の均一化、電流集中の回避、および電流
密度の低減を図ることができる。

【０１０３】この半導体発光素子は、Ｓ面または該Ｓ面
に実質的に等価な面に平行な面内に延在する第１導電型
層、活性層、及び第２導電型層を結晶層に形成する。第
１導電型はｐ型又はｎ型のクラッド層であり、第２導電
型はその反対の導電型である。例えばＳ面を構成する結
晶層をシリコンドープの窒化ガリウム系化合物半導体層
によって構成した場合では、ｎ型クラッド層をシリコン
ドープの窒化ガリウム系化合物半導体層によって構成
し、その上にＩｎＧａＮ層を活性層として形成し、さら
にその上にｐ型クラッド層としてマグネシウムドープの
窒化ガリウム系化合物半導体層を形成してダブルヘテロ
構造をとることができる。活性層であるＩｎＧａＮ層を
ＡｌＧａＮ層で挟む構造とすることも可能である。ま
た、活性層は単一のバルク活性層で構成することも可能
であるが、単一量子井戸（ＳＱＷ）構造、二重量子井戸
（ＤＱＷ）構造、多重量子井戸（ＭＱＷ）構造などの量
子井戸構造を形成したものであっても良い。量子井戸構
造には必要に応じて量子井戸の分離のために障壁層が併
用される。活性層をＩｎＧａＮ層とした場合には、特に
製造工程上も製造し易い構造となり、素子の発光特性を
良くすることができる。さらにこのＩｎＧａＮ層は、窒
素原子の脱離しにくい構造であるＳ面の上での成長では
特に結晶化しやすくしかも結晶性も良くなり、発光効率
を上げることが出来る。なお、窒化物半導体はノンドー
プでも結晶中にできる窒素空孔のためにｎ型となる性質
があるが、通常Ｓｉ、Ｇｅ、Ｓｅなどのドナー不純物を
結晶成長中にドープすることで、キャリア濃度の好まし
いｎ型とすることができる。また、窒化物半導体をｐ型
とするには、結晶中にＭｇ、Ｚｎ、Ｃ、Ｂｅ、Ｃａ、Ｂ
ａなどのアクセプター不純物をドープすることによって
得られるが、高キャリア濃度のｐ層を得るためには、ア
クセプター不純物のドープ後、窒素、アルゴンなどの不
活性ガス雰囲気で、かつ４００℃以上でアニーリングを
行うことが好ましく、電子線照射などにより活性化する
方法もあり、マイクロ波照射、光照射などで活性化する
方法もある。

【０１０４】これら第１導電型層、活性層、及び第２導
電型層はＳ面または該Ｓ面に実質的に等価な面に平行な
面内に延在されるが、このような面内への延在はＳ面等
が形成されているところで続けて結晶成長させれば容易
に行うことができる。結晶層が略六角錐形状や略六角錐
台形状となり、各傾斜面がＳ面等とされる場合では、第
１導電型層、活性層、及び第２導電型層からなる発光領
域を全部又は一部のＳ面上に形成することができる。略
六角錐台形状の場合には、基板主面に平行な上面上にも
第１導電型層、活性層、及び第２導電型層を形成でき
る。傾斜したＳ面を利用して発光させることで、平行平
板では多重反射により光が減衰していくが、傾いた面が
あると光は多重反射の影響を免れて半導体の外にでるこ
とができるという利点がある。第１導電型層すなわちク
ラッド層はＳ面を構成する結晶層と同じ材料で同じ導電
型とすることができ、Ｓ面を構成する結晶層を形成した
後、連続的に濃度を調整しながら形成することもでき、
また他の例として、Ｓ面の構成する結晶層の一部が第１
導電型層として機能する構造であっても良い。

【０１０５】この半導体発光素子では、傾斜したＳ面の
結晶性の良さを利用して、発光効率を高めることができ
る。特に、結晶性が良いＳ面にのみ電流を注入すると、
Ｓ面はＩｎの取り込みもよく結晶性も良いので発光効率
を高くすることができる。また、活性層の実質的なＳ面
に平行な面内に延在する面積は該活性層を基板又は前記
下地成長層の主面に投影した場合の面積より大きいもの
とすることができる。このように活性層の面積を大きな
ものとすることで、素子の発光する面積が大きくなり、
それだけで電流密度を低減することが出来る。また、活
性層の面積を大きくとることで、輝度飽和の低減に役立
ち、これにより発光効率を上げることが出来る。

【０１０６】六角錐形状の結晶層を考えた場合、Ｓ面の
特に頂点近く部分がステップの状態が悪くなり、頂点部
は発光効率が低くなっている。これは六角錐形状の素子
では、それぞれの面のほぼ中心部分を中心に頂点側、側
辺左側、側辺右側、底面側に4 箇所に区分され、特に頂
点側部分は最もステップの状態が波打っていて、頂上付
近になると異常成長が起こりやすくなっているためであ
る。これに対して、側辺側の二箇所はどちらもステップ
がほぼ直線状でしかもステップが密集しており極めて良
好な成長状態になっており、また、底面に近い部分はや
や波打つステップであるが、頂点側ほどの異常成長は起
こっていない。そこで、この半導体発光素子では、活性
層への電流注入は頂点近傍側で周囲側よりも低密度とな
るように制御することが可能である。このような頂点近
傍側で低密度の電流を流すためには、電極を斜面の側部
には形成するが、頂点部分では電極を形成しないような
構造としたり、或いは頂点部分に電極形成前に電流ブロ
ック領域を形成する構造とすることができる。

【０１０７】結晶層と第２導電型層には、それぞれ電極
が形成される。接触抵抗を下げるために、コンタクト層
を形成し、その後で電極をコンタクト層上に形成しても
良い。これらの電極を蒸着法により形成する場合、ｐ電
極、ｎ電極が結晶層とマスクの下に形成された結晶種層
との双方についてしまうと短絡してしまうことがあり、
それぞれ精度よく蒸着することが必要となる。

【０１０８】この半導体発光素子は複数個を並べて画像
表示装置や照明装置を構成することが可能である。各素
子を３原色分揃え、走査可能に配列することで、Ｓ面を
利用して電極面積を抑えることができるため、少ない面
積でディスプレイとして利用できる。

【０１０９】次に、本発明に係るスクリーン印刷装置に
ついて説明する。図２８は、本発明を適用したスクリー
ン印刷装置１０１を示す側面図であり、図２９は、平面
図である。このスクリーン印刷装置１０１は、マスクホ
ルダ１０２に保持されるマスク１０３として上述したス
クリーン印刷用積層マスクを用いるものである。

【０１１０】図２８において、１０４は基板１０５を位
置決めする手段である。このうち、１０６はＸＹテーブ
ルでありＸテーブル１０７とＹテーブル１０８とにより
構成される。１０９はＸＹテーブル１０６上に設けら
れ、基板１０５を保持する基板ホルダを昇降させるＺテ
ーブルである。１１０は、マスク１０３の上方に位置す
るスキージヘッドであり、このうち、１１１は図２８の
紙面垂直方向に移動し、マスク１０３上で塗布剤１１２
をかき寄せ、マスク１０３の開口部１１３を介して塗布
剤１１２を基板１０５に印刷するスキージである。ま
た、スキージ１１１の両脇には、サイドスキージ１１
４，１１５が設けられている。

【０１１１】また、スキージヘッド１１０の上部には、
スキージヘッド１１０の移動手段が設けられている。こ
のうち、１１６、１１７は図２８の紙面垂直方向に延び
るガイドレールである。そして、水平な移動板１１８の
下部に固定されたスライダ１１９、１２０がガイドレー
ル１１６、１１７にスライド自在に係合している。すな
わち、移動板１１８は、図２８の紙面垂直方向に移動自
在に支持されている。

【０１１２】また、ボールネジ１２１が移動板１１８の
上部に軸支されており、当該ボールネジ１２１には、移
動板１１８の上部に固定された送りナット１２２が螺合
している。すなわち、ボールネジ１２１を図示しない駆
動手段で回転させることにより、移動板１１８を図２８
の紙面垂直方向に移動させることができる。

【０１１３】そして、移動板１１８の下部には、図２８
の水平方向にシリンダ１２３が固定されており、そのロ
ッド１２４は、スキージヘッド１１０を昇降させる昇降
機構１２５に連結されている。また、昇降機構１２５
は、ガイド部１２６に固定され、ガイド部１２６は、移
動板１１８の下部に図２８の水平方向に支持されたシャ
フト１２７にスライド自在に係合している。したがっ
て、シリンダ１２３を駆動することにより、スキージヘ
ッド１１０を図２９の矢印Ｓ方向に移動させることがで
きる。

【０１１４】また、マスク１０３は、略長方形の開口部
１２８を有する上層マスクと略長方形の開口部１２９を
有する下層マスクとを積層することに形成する。これに
より、開口部１２８と開口部１２９とに囲われた部分を
開口部１１３として形成することができる。

【０１１５】以上のようなスクリーン印刷装置１０１
は、次のようにしてスクリーン印刷を行うことができ
る。まず、位置決め手段１０４に基板１０５を載置す
る。そして、位置決め手段１０４により、所定の位置に
基板１０５をセットする。また、昇降機構１２５を用い
てスキージヘッド１１０をマスク１０３からわずかに離
間した距離に移動させ、シリンダ１２３及びボールネジ
１２１を用いてスキージヘッド１１０を開口部１１３の
真上に配置する。そして、昇降機構１２５によりスキー
ジヘッド１１０を下降させてマスク１０３に接触させ
る。次に、図２９の矢印Ｔの方向にスキージ１１１を往
復運動させることにより開口部１１３の形状に印刷を行
う。そして、スキージ１１１の往復運動の回数が所定の
回数に達したら、スキージヘッド１１０をシリンダ１２
３及びボールネジ１２１により隣の列の開口部に移動さ
せ、上記と同様の要領で印刷を行う。以上により、マス
ク１０３を用いてスクリーン印刷を行うことができる。

【０１１６】また、上記においては、マスク１０３とし
て本発明に係るスクリーン印刷用積層マスクを用いたス
クリーン印刷装置１０１について説明したが、マスク１
０３として本発明に係るスクリーン印刷用分割マスクを
用いたスクリーン印刷装置も上記と同様に構成すること
ができる。

【０１１７】なお、以上において説明した本発明にかか
るスクリーン印刷用分割マスク、スクリーン印刷用積層
マスク、スクリーン印刷方法及びスクリーン印刷装置に
おいては、使用用途は限定されるものではなく、スクリ
ーン印刷の全ての用途に適用可能である。すなわち、ポ
スター、看板、ＰＯＰ、ディスプレイ、ステッカー、標
識、旗などの商業関係や、玩具、文房具、スポーツ用
品、バッグ、Ｔシャツ、化粧品容器、各種パッケージ、
木工品、ガラス、陶器等の生活用品、計器類、ＣＤ、電
機部品、ネームプレート、プリント回路、厚膜ＩＣ、液
晶ディスプレイ等の工業製品等に幅広く用いることが可
能である。

【０１１８】

【発明の効果】本発明に係るスクリーン印刷用分割マス
クは、複数のマスク片を組み合わせることにより所定の
開口部を形成してなるものである。

【０１１９】以上のように構成された本発明にかかるス
クリーン印刷用分割マスクは、必要な印刷パターンの数
に対して必要な部品点数を大幅に削減することができ
る。また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。したがって、本発明に係るスクリーン印刷
用分割マスクによれば、安価にスクリーン印刷でき、さ
らに多品種少量生産を実現することができる。

【０１２０】また、本発明に係るスクリーン印刷用積層
マスクは、開口部を有するマスク部材からなる上層マス
クが他の開口部を有する他のマスク部材からなる下層マ
スク上に積層されて所定の開口部を形成してなるもので
ある。

【０１２１】以上のように構成された本発明にかかるス
クリーン印刷用積層マスクは、必要な印刷パターンの数
に対して必要な部品点数を大幅に削減することができ
る。また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。そして、印刷の際に部分的に印圧が高くな
ることが防止することができ、安定した印圧を得ること
ができる。したがって、本発明に係るスクリーン印刷用
分割マスクによれば、安価で且つ良好な品質のスクリー
ン印刷ができ、さらに多品種少量生産を実現することが
できる。

【０１２２】また、本発明に係るスクリーン印刷装置
は、所定の開口部を有するマスクと、上記マスク上をス
ライドして上記開口部を介して基材に塗布剤を塗布する
スキージとを備え、上記基材上にマスクを合わせ、当該
マスク上に上記スキージを移動操作することにより上記
塗布剤を押し出して印刷するスクリーン印刷装置であっ
て、上記マスクが、複数のマスク片を組み合わせること
により所定の開口部を形成してなるものである。

【０１２３】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷装置は、上述したスクリーン印刷用分割マス
クを用いているため、少ない部品点数で種々の形状の開
口部、及び種々の大きさの開口部を形成することがで
き、また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。したがって、本発明に係るスクリーン印刷
装置によれば、安価にスクリーン印刷ができ、さらに多
品種少量生産を実現することができる。

【０１２４】また、本発明に係るスクリーン印刷装置
は、所定の開口部を有するマスクと、上記マスク上をス
ライドして上記開口部を介して基材に塗布剤を塗布する
スキージとを備え、上記基材上にマスクを合わせ、当該
マスク上に上記スキージを移動操作することにより上記
塗布剤を押し出して印刷するスクリーン印刷装置であっ
て、上記マスクが、開口部を有するマスク部材からなる
上層マスクが他の開口部を有する他のマスク部材からな
る下層マスク上に積層されて所定の開口部を形成してな
るものである。

【０１２５】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷装置は、上述したスクリーン印刷用積層マス
クを用いているため、少ない部品点数で種々の形状の開
口部、及び種々の大きさの開口部を形成することがで
き、また、マスクの交換を行う回数を大幅に削減するこ
とができる。また、スクリーン印刷の際に部分的に印圧
が高くなることを防止することができる。したがって、
本発明に係るスクリーン印刷装置によれば、安価で且つ
良好な品質のスクリーン印刷ができ、さらに多品種少量
生産を実現することができる。

【０１２６】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷方法は、基材上にマスクを合わせ、当該マス
ク上にスキージを移動操作することにより上記塗布剤を
押し出して印刷するスクリーン印刷方法であって、上記
マスクとして複数のマスク片を組み合わせることにより
所定の開口部を形成してなるマスクを用いるものであ
る。

【０１２７】以上のような本発明に係るスクリーン印刷
方法では、スクリーン印刷用マスクとして上述したスク
リーン印刷用分割マスクを用いているため、少ない部品
点数で種々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部
を形成することができ、また、マスクの交換を行う回数
を大幅に削減することができる。したがって、本発明に
係るスクリーン印刷方法によれば、安価にスクリーン印
刷ができ、さらに多品種少量生産を実現することができ
る。

【０１２８】以上のように構成された本発明に係るスク
リーン印刷方法は、基材上にマスクを合わせ、当該マス
ク上にスキージを移動操作することにより上記塗布剤を
押し出して印刷するスクリーン印刷方法であって、上記
マスクとして開口部を有するマスク部材からなる上層マ
スクが他の開口部を有する他のマスク部材からなる下層
マスク上に積層されて所定の開口部を形成してなるマス
クを用いるものである。

【０１２９】以上のような本発明に係るスクリーン印刷
方法では、スクリーン印刷用マスクとして上述したスク
リーン印刷用積層マスクを用いているため、少ない部品
点数で種々の形状の開口部、及び種々の大きさの開口部
を形成することができ、また、マスクの交換を行う回数
を大幅に削減することができる。また、スクリーン印刷
の際に部分的に印圧が高くなることを防止することがで
きる。したがって、本発明に係るスクリーン印刷装置に
よれば、安価で且つ良好な品質のスクリーン印刷がで
き、さらに多品種少量生産を実現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第１の例を示す平面図である。

【図２】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第１の例の変形例を示す平面図である。

【図３】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第１の例の変形例を示す平面図である。

【図４】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第２の例を示す平面図である。

【図５】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第２の例の変形例を示す平面図である。

【図６】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第２の例の変形例を示す平面図である。

【図７】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第３の例を示す平面図である。

【図８】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第３の例の変形例を示す平面図である。

【図９】本発明を適用したスクリーン印刷用分割マスク
の第３の例の変形例を示す平面図である。

【図１０】本発明を適用したスクリーン印刷用積層マス
クの一例を示す平面図である。

【図１１】本発明を適用したスクリーン印刷用積層マス
クの一例を示す断面図である。

【図１２】マスク部材の一例を示す平面図である。

【図１３】マスク部材の一例を示す平面図である。

【図１４】従来のスクリーン印刷用マスクの一例を示す
平面図である。

【図１５】従来のスクリーン印刷用マスクの一例を示す
断面図である。

【図１６】従来のマスクを用いた場合に発生する不具合
の状態を示す断面図である。

【図１７】従来のマスクを用いた場合に発生する不具合
の状態を示す断面図である。

【図１８】基板上にＬＩＰが実装された状態を示す平面
図である。

【図１９】基板上に所定の位置にスクリーン印刷用分割
マスク配置した状態を示す平面図である。

【図２０】図１９中の線分Ｃ−Ｃ'における断面図であ
る。

【図２１】基板上にアクティブチップとＬＩＰが実装さ
れた状態を示す平面図である。

【図２２】マスク部材の一例を示す平面図である。

【図２３】マスク部材の一例を示す平面図である。

【図２４】マスク部材の一例を示す平面図である。

【図２５】スクリーン印刷用積層マスクを構成した状態
を示す平面図である。

【図２６】スクリーン印刷用積層マスクを構成した状態
を示す平面図である。

【図２７】基板上にスクリーン印刷用積層マスクを配し
た状態を示す断面図である。

【図２８】本発明を適用したスクリーン印刷装置の一例
を示す側面図である。

【図２９】本発明を適用したスクリーン印刷装置におい
て、マスク及びスキージの部分を抜き出して見た平面図
である。

【図３０】スクリーン印刷の原理を説明する断面図であ
る。

【符号の説明】

１スクリーン印刷用分割マスク２，３マスク片４開口部４１スクリーン印刷用積層マスク４２開口部４３マスク部材４４開口部４５マスク部材４６開口部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】複数のマスク片を組み合わせることによ
り所定の開口部を形成してなることを特徴とするスクリ
ーン印刷用分割マスク。
【請求項２】上記マスク片が可動とされ、上記マスク
片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形状
が可変とされることを特徴とする請求項１記載のスクリ
ーン印刷用分割マスク。
【請求項３】上記開口部が、２枚もしくはそれ以上の
上記マスク片を組み合わせて形成されることを特徴とす
る請求項１記載のスクリーン印刷用分割マスク。
【請求項４】上記開口部が、４枚もしくはそれ以上の
上記マスク片を組み合わせて形成されることを特徴とす
る請求項１記載のスクリーン印刷用分割マスク。
【請求項５】開口部を有するマスク部材からなる上層
マスクが他の開口部を有する他のマスク部材からなる下
層マスク上に積層されて所定の開口部を形成してなるこ
とを特徴とするスクリーン印刷用積層マスク。
【請求項６】スクリーン印刷を行う際に上記上層マス
ク上をスライドして上記開口部を介してスクリーン印刷
が施される基材に塗布剤を塗布するスキージの移動方向
において、上記上層マスクの開口部を上記下層マスクの
開口部よりも大とすることを特徴とする請求項５記載の
スクリーン印刷用積層マスク。
【請求項７】上記上層マスクの開口部は、上記スキー
ジの移動方向の端部の形状が曲線により形成されている
ことを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用積層
マスク。
【請求項８】上記端部の形状が、半円形であることを
特徴とする請求項７記載のスクリーン印刷用積層マス
ク。
【請求項９】上記端部の形状が、所定の曲率半径を有
する形状であることを特徴とする請求項７記載のスクリ
ーン印刷用積層マスク。
【請求項１０】上記下層マスクが、上記基材よりも軟
らかい材料からなることを特徴とする請求項５記載のス
クリーン印刷用積層マスク。
【請求項１１】上記マスク部材が、複数のマスク片を
組み合わせることにより所定の開口部を形成してなるこ
とを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用積層マ
スク。
【請求項１２】上記マスク部材が、２枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項１１記載のスク
リーン印刷用積層マスク。
【請求項１３】上記マスク部材が、４枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項１１記載のスク
リーン印刷用積層マスク。
【請求項１４】上記マスク片が可動とされ、上記マス
ク片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形
状が可変とされることを特徴とする請求項１１記載のス
クリーン印刷用積層マスク。
【請求項１５】上記他のマスク部材が、複数のマスク
片を組み合わせることにより他の開口部を形成してなる
ことを特徴とする請求項５記載のスクリーン印刷用積層
マスク。
【請求項１６】上記他のマスク部材が、２枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項１５記載の
スクリーン印刷用積層マスク。
【請求項１７】上記他のマスク部材が、４枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項１５記載の
スクリーン印刷用積層マスク。
【請求項１８】上記他のマスク片が可動とされ、上記
他のマスク片を移動させることにより上記他の開口部の
大きさ及び形状が可変とされることを特徴とする請求項
１５記載のスクリーン印刷用積層マスク。
【請求項１９】所定の開口部を有するマスクと、上記
マスク上をスライドして上記開口部を介して基材に塗布
剤を塗布するスキージとを備え、上記基材上にマスクを
合わせ、当該マスク上に上記スキージを移動操作するこ
とにより上記塗布剤を押し出して印刷するスクリーン印
刷装置であって、上記マスクが、複数のマスク片を組み合わせることによ
り所定の開口部を形成してなることを特徴とするスクリ
ーン印刷装置。
【請求項２０】上記マスク片が可動とされ、上記マス
ク片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形
状が可変とされることを特徴とする請求項１９記載のス
クリーン印刷装置。
【請求項２１】上記開口部が、２枚もしくはそれ以上
の上記マスク片を組み合わせて形成されることを特徴と
する請求項１９記載のスクリーン印刷装置。
【請求項２２】上記開口部が、４枚もしくはそれ以上
の上記マスク片を組み合わせて形成されることを特徴と
する請求項１９記載のスクリーン印刷装置。
【請求項２３】所定の開口部を有するマスクと、上記
マスク上をスライドして上記開口部を介して基材に塗布
剤を塗布するスキージとを備え、上記基材上にマスクを
合わせ、当該マスク上に上記スキージを移動操作するこ
とにより上記塗布剤を押し出して印刷するスクリーン印
刷装置であって、上記マスクが、開口部を有するマスク部材からなる上層
マスクが他の開口部を有する他のマスク部材からなる下
層マスク上に積層されて所定の開口部を形成してなるこ
とを特徴とするスクリーン印刷装置。
【請求項２４】スクリーン印刷を行う際に上記上層マ
スク上をスライドして上記開口部を介してスクリーン印
刷が施される基材に塗布剤を塗布するスキージの移動方
向において、上記上層マスクの開口部を上記下層マスク
の開口部よりも大とすることを特徴とする請求項２３記
載のスクリーン印刷装置。
【請求項２５】上記上層マスクの開口部は、上記スキ
ージの移動方向の端部の形状が曲線により形成されてい
ることを特徴とする請求項２３記載のスクリーン印刷装
置。
【請求項２６】上記端部の形状が、半円形であること
を特徴とする請求項２５記載のスクリーン印刷用積層マ
スク。
【請求項２７】上記端部の形状が、所定の曲率半径を
有する形状であることを特徴とする請求項２５記載のス
クリーン印刷装置。
【請求項２８】上記下層マスクが、上記基材よりも軟
らかい材料からなることを特徴とする請求項２３記載の
スクリーン印刷装置。
【請求項２９】上記マスク部材が、複数のマスク片を
組み合わせることにより所定の開口部を形成してなるこ
とを特徴とする請求項２３記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３０】上記マスク部材が、２枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項２９記載のスク
リーン印刷装置。
【請求項３１】上記マスク部材が、４枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項２９記載のスク
リーン印刷装置。
【請求項３２】上記マスク片が可動とされ、上記マス
ク片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形
状が可変とされることを特徴とする請求項２９記載のス
クリーン印刷装置。
【請求項３３】上記他のマスク部材が、複数のマスク
片を組み合わせることにより他の開口部を形成してなる
ことを特徴とする請求項２３記載のスクリーン印刷装
置。
【請求項３４】上記他のマスク部材が、２枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項３３記載の
スクリーン印刷装置。
【請求項３５】上記他のマスク部材が、４枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項３３記載の
スクリーン印刷装置。
【請求項３６】上記他のマスク片が可動とされ、上記
他のマスク片を移動させることにより上記他の開口部の
大きさ及び形状が可変とされることを特徴とする請求項
３３記載のスクリーン印刷装置。
【請求項３７】基材上にマスクを合わせ、当該マスク
上にスキージを移動操作することにより上記塗布剤を押
し出して印刷するスクリーン印刷方法であって、上記マスクとして複数のマスク片を組み合わせることに
より所定の開口部を形成してなるマスクを用いることを
特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項３８】上記マスク片が可動とされ、上記マス
ク片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形
状が可変とされることを特徴とする請求項３７記載のス
クリーン印刷方法。
【請求項３９】上記開口部を２枚もしくはそれ以上の
上記マスク片を組み合わせて形成することを特徴とする
請求項３７記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４０】上記開口部を４枚もしくはそれ以上の
上記マスク片を組み合わせて形成することを特徴とする
請求項３７記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４１】基材上にマスクを合わせ、当該マスク
上にスキージを移動操作することにより上記塗布剤を押
し出して印刷するスクリーン印刷方法であって、上記マスクとして開口部を有するマスク部材からなる上
層マスクが他の開口部を有する他のマスク部材からなる
下層マスク上に積層されて所定の開口部を形成してなる
マスクを用いることを特徴とするスクリーン印刷方法。
【請求項４２】スクリーン印刷を行う際に上記上層マ
スク上をスライドして上記開口部を介してスクリーン印
刷が施される基材に塗布剤を塗布するスキージの移動方
向において、上記上層マスクの開口部を上記下層マスク
の開口部よりも大とすることを特徴とする請求項４１記
載のスクリーン印刷方法。
【請求項４３】上記上層マスクの開口部は、上記スキ
ージの移動方向に対する端部の形状が曲線により形成さ
れていることを特徴とする請求項４１記載のスクリーン
印刷方法。
【請求項４４】上記端部の形状が、半円形であること
を特徴とする請求項４３記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４５】上記端部の形状が、所定の曲率半径を
有する形状であることを特徴とする請求項４３記載のス
クリーン印刷方法。
【請求項４６】上記下層マスクが、上記基材よりも軟
らかい材料からなることを特徴とする請求項４１記載の
スクリーン印刷方法。
【請求項４７】上記マスク部材が、複数のマスク片を
組み合わせることにより所定の開口部を形成してなるこ
とを特徴とする請求項４１記載のスクリーン印刷方法。
【請求項４８】上記マスク部材が、２枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項４７記載のスク
リーン印刷方法。
【請求項４９】上記マスク部材が、４枚もしくはそれ
以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開口部
を形成してなることを特徴とする請求項４７記載のスク
リーン印刷方法。
【請求項５０】上記マスク片が可動とされ、上記マス
ク片を移動させることにより上記開口部の大きさ及び形
状が可変とされることを特徴とする請求項４７記載のス
クリーン印刷方法。
【請求項５１】上記他のマスク部材が、複数のマスク
片を組み合わせることにより他の開口部を形成してなる
ことを特徴とする請求項４１記載のスクリーン印刷方
法。
【請求項５２】上記他のマスク部材が、２枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項５１記載の
スクリーン印刷方法。
【請求項５３】上記他のマスク部材が、４枚もしくは
それ以上のマスク片を組み合わせることにより所定の開
口部を形成してなることを特徴とする請求項５１記載の
スクリーン印刷方法。
【請求項５４】上記他のマスク片が可動とされ、上記
他のマスク片を移動させることにより上記他の開口部の
大きさ及び形状が可変とされることを特徴とする請求項
５１記載のスクリーン印刷方法。