JP2003087897A - 超音波振動子及びその製造方法 - Google Patents
超音波振動子及びその製造方法Info
- Publication number
- JP2003087897A JP2003087897A JP2001278050A JP2001278050A JP2003087897A JP 2003087897 A JP2003087897 A JP 2003087897A JP 2001278050 A JP2001278050 A JP 2001278050A JP 2001278050 A JP2001278050 A JP 2001278050A JP 2003087897 A JP2003087897 A JP 2003087897A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric element
- shape
- surface side
- ultrasonic transducer
- piezoelectric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B7/00—Recording or reproducing by optical means, e.g. recording using a thermal beam of optical radiation by modifying optical properties or the physical structure, reproducing using an optical beam at lower power by sensing optical properties; Record carriers therefor
- G11B7/004—Recording, reproducing or erasing methods; Read, write or erase circuits therefor
- G11B7/0045—Recording
- G11B7/00455—Recording involving reflectivity, absorption or colour changes
Landscapes
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 セラミック系の圧電材料等を円柱または多角
柱状の圧電素子ピースを束ねた集合体によって、円形，
円環状，楕円状等の所望の形状をした超音波振動子を容
易に形成できるようにする。 【解決手段】 圧電素子ピース５をそれらの表裏両端面
がほぼ一定の平面となるようにして圧電素子集合体３０
を形成し、この圧電素子集合体３０の表面側に円環状の
圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電素子ピ
ース５以外の不要な圧電素子ピース５の表面にマスキン
グシート３１を貼り付け、その上に導電部材３２を形成
した後に、マスキングシート３１を剥離するが、この剥
離時に圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電
素子ピース５以外の不要の圧電素子ピース５がマスキン
グシート３１と共に取り除かれて、表面側電極１４Ｓ，
１４Ｍ，１４Ｌが形成され、各圧電素子１１Ｓ，１１
Ｍ，１１Ｌに共通となる裏面側電極１３が貼り付けられ
る。
柱状の圧電素子ピースを束ねた集合体によって、円形，
円環状，楕円状等の所望の形状をした超音波振動子を容
易に形成できるようにする。 【解決手段】 圧電素子ピース５をそれらの表裏両端面
がほぼ一定の平面となるようにして圧電素子集合体３０
を形成し、この圧電素子集合体３０の表面側に円環状の
圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電素子ピ
ース５以外の不要な圧電素子ピース５の表面にマスキン
グシート３１を貼り付け、その上に導電部材３２を形成
した後に、マスキングシート３１を剥離するが、この剥
離時に圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電
素子ピース５以外の不要の圧電素子ピース５がマスキン
グシート３１と共に取り除かれて、表面側電極１４Ｓ，
１４Ｍ，１４Ｌが形成され、各圧電素子１１Ｓ，１１
Ｍ，１１Ｌに共通となる裏面側電極１３が貼り付けられ
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は超音波の送受信面を
所望の形状となるように容易に形成できるようにした超
音波振動子及びその製造方法に関するものである。
所望の形状となるように容易に形成できるようにした超
音波振動子及びその製造方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば医用検査手段として広く用いられ
ている超音波検査装置は、超音波プローブと超音波観測
装置とから構成され、超音波プローブは、被検者の体内
に向けて超音波ビームを送信し、体内組織の断層部分か
らの反射エコーを電気信号に変換するためのものであ
る。超音波プローブを構成する超音波振動子は、圧電素
子を挟んだ両側に電極を設ける構成としたものである。
そして、この超音波振動子には、その送受信面側に音響
整合層、音響レンズ等が積層され、反対側の面にはバッ
キング材が積層される。
ている超音波検査装置は、超音波プローブと超音波観測
装置とから構成され、超音波プローブは、被検者の体内
に向けて超音波ビームを送信し、体内組織の断層部分か
らの反射エコーを電気信号に変換するためのものであ
る。超音波プローブを構成する超音波振動子は、圧電素
子を挟んだ両側に電極を設ける構成としたものである。
そして、この超音波振動子には、その送受信面側に音響
整合層、音響レンズ等が積層され、反対側の面にはバッ
キング材が積層される。
【０００３】圧電素子の材料としては、ジルコン酸チタ
ン酸塩、チタン酸バリウム等のセラミックス半導体があ
り、またＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等の高分子
圧電材料も知られている。ただし、高分子圧電材料は、
セラミック系の圧電材料と比較して、送信効率が悪く、
また機械的強度も劣るために、特殊な場合を除いて、セ
ラミック系の圧電材料を用いるのが一般的である。ただ
し、セラミック系の圧電材料は加工性に劣るものであ
り、所望の形状に加工しようとすると、割れや欠け等が
発生するので、多角形状、通常は四角形状のものが用い
られる。
ン酸塩、チタン酸バリウム等のセラミックス半導体があ
り、またＰＶＤＦ（ポリフッ化ビニリデン）等の高分子
圧電材料も知られている。ただし、高分子圧電材料は、
セラミック系の圧電材料と比較して、送信効率が悪く、
また機械的強度も劣るために、特殊な場合を除いて、セ
ラミック系の圧電材料を用いるのが一般的である。ただ
し、セラミック系の圧電材料は加工性に劣るものであ
り、所望の形状に加工しようとすると、割れや欠け等が
発生するので、多角形状、通常は四角形状のものが用い
られる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】超音波検査装置は、体
内組織の断層情報を取得して、超音波画像としてモニタ
に表示されるものであり、この超音波画像に基づいて患
部の発見等といった検査を行うためのものである。超音
波画像の画質を向上させるには、体内組織の断層部分か
らの反射エコーの強度を高めなければならない。また、
検査の範囲を広げるには、超音波ビームの深達度を深く
する必要がある。ここで、超音波ビームのパワーは超音
波振動子の送受信面の面積に依存し、この送受信面を広
くすれば高い出力の超音波ビームを送信することができ
る。
内組織の断層情報を取得して、超音波画像としてモニタ
に表示されるものであり、この超音波画像に基づいて患
部の発見等といった検査を行うためのものである。超音
波画像の画質を向上させるには、体内組織の断層部分か
らの反射エコーの強度を高めなければならない。また、
検査の範囲を広げるには、超音波ビームの深達度を深く
する必要がある。ここで、超音波ビームのパワーは超音
波振動子の送受信面の面積に依存し、この送受信面を広
くすれば高い出力の超音波ビームを送信することができ
る。
【０００５】超音波ビームは発散する傾向にあるので、
超音波振動子の送受信面には音響レンズを装着すること
によって、超音波ビームのビーム径を絞るようにする。
このように、超音波ビームのビーム径を有効に絞るため
には、超音波振動子の送受信面は円形状乃至円形に近い
形状となっているのが望ましい。
超音波振動子の送受信面には音響レンズを装着すること
によって、超音波ビームのビーム径を絞るようにする。
このように、超音波ビームのビーム径を有効に絞るため
には、超音波振動子の送受信面は円形状乃至円形に近い
形状となっているのが望ましい。
【０００６】また、音響レンズは体内におけるある深さ
位置の超音波断層情報を取得するための音響的なフォー
カス機能を発揮する。ただし、音響レンズの焦点位置が
固定的であるために、所望の深さにおける超音波断層情
報を取得する、所謂ダイナミックフォーカス機能を持た
せることはできない。ダイナミックフォーカスを可能に
するには、円環状の超音波振動子を同心円状に所定数配
列することによってアニュラアレイを構成し、このアニ
ュラアレイを構成する各超音波振動子を電子走査させる
ようになし、各超音波振動子による超音波パルスの送信
タイミングを変化させるようにすれば良い。
位置の超音波断層情報を取得するための音響的なフォー
カス機能を発揮する。ただし、音響レンズの焦点位置が
固定的であるために、所望の深さにおける超音波断層情
報を取得する、所謂ダイナミックフォーカス機能を持た
せることはできない。ダイナミックフォーカスを可能に
するには、円環状の超音波振動子を同心円状に所定数配
列することによってアニュラアレイを構成し、このアニ
ュラアレイを構成する各超音波振動子を電子走査させる
ようになし、各超音波振動子による超音波パルスの送信
タイミングを変化させるようにすれば良い。
【０００７】以上のように、超音波ビームのビーム径を
絞るために、またダイナミックフォーカス機能を持たせ
るためには、超音波振動子は円形、円環状乃至楕円形，
楕円環形状とするのが望ましい。しかしながら、セラミ
ック系の圧電材料を用いる場合には、円形乃至円形に近
い形状に加工するのは著しく困難である。特に、アニュ
ラアレイを構成する円環状の超音波振動子はセラミック
系の圧電材料で形成するのは実質的に不可能であり、従
って実用化が可能な圧電材料としては、高分子圧電材料
しかなく、このために所望の送信効率が得られない等と
いった問題点があった。
絞るために、またダイナミックフォーカス機能を持たせ
るためには、超音波振動子は円形、円環状乃至楕円形，
楕円環形状とするのが望ましい。しかしながら、セラミ
ック系の圧電材料を用いる場合には、円形乃至円形に近
い形状に加工するのは著しく困難である。特に、アニュ
ラアレイを構成する円環状の超音波振動子はセラミック
系の圧電材料で形成するのは実質的に不可能であり、従
って実用化が可能な圧電材料としては、高分子圧電材料
しかなく、このために所望の送信効率が得られない等と
いった問題点があった。
【０００８】本発明は以上の点に鑑みてなされたもので
あって、その目的とするところは、所望の形状をした超
音波振動子を容易に形成できるようにすることにある。
あって、その目的とするところは、所望の形状をした超
音波振動子を容易に形成できるようにすることにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】前述した目的を達成する
ために、本発明に係る超音波振動子の構成としては、円
柱または多角柱状をした圧電素子ピースをそれらの表裏
両端面がほぼ一定の平面となるようにして束ね、少なく
ともその外周が曲線形状となった振動子構成体と、この
振動子構成体の表裏両面に積層させ、全ての圧電素子ピ
ースを覆うように形成した表面側及び裏面側の各電極
と、前記表面側電極及び裏面側電極にそれぞれ接続した
配線とから構成したことをその特徴とするものである。
ために、本発明に係る超音波振動子の構成としては、円
柱または多角柱状をした圧電素子ピースをそれらの表裏
両端面がほぼ一定の平面となるようにして束ね、少なく
ともその外周が曲線形状となった振動子構成体と、この
振動子構成体の表裏両面に積層させ、全ての圧電素子ピ
ースを覆うように形成した表面側及び裏面側の各電極
と、前記表面側電極及び裏面側電極にそれぞれ接続した
配線とから構成したことをその特徴とするものである。
【００１０】また、本発明による超音波振動子の製造方
法としては、円柱または多角柱状の形状を有する圧電素
子ピースをそれらの表裏両端面がほぼ一定の平面となる
ようにして多数束ねて、圧電素子集合体を形成する工程
と、前記圧電素子集合体の表面に、所望のパターンを有
する表面側電極を積層・固着する工程と、前記振動子組
立体を形成する圧電素子ピースのうち、電極が形成され
ている部位以外の不要な圧電素子ピースを取り除くこと
により所定の形状となった振動子構成体を形成する工程
と、前記振動子構成体の裏面側に裏面側電極を形成する
工程とからなることをその特徴とするものである。
法としては、円柱または多角柱状の形状を有する圧電素
子ピースをそれらの表裏両端面がほぼ一定の平面となる
ようにして多数束ねて、圧電素子集合体を形成する工程
と、前記圧電素子集合体の表面に、所望のパターンを有
する表面側電極を積層・固着する工程と、前記振動子組
立体を形成する圧電素子ピースのうち、電極が形成され
ている部位以外の不要な圧電素子ピースを取り除くこと
により所定の形状となった振動子構成体を形成する工程
と、前記振動子構成体の裏面側に裏面側電極を形成する
工程とからなることをその特徴とするものである。
【００１１】本発明においては、超音波振動子における
圧電素子を単一の圧電材料で形成するのではなく、微小
な圧電素子ピースを束ねることにより形成される。ここ
で、圧電素子ピースは、円柱形状、四角柱形状、六角柱
形状等というように、表裏両端面が平面形状となり、所
定の高さを有するものである。多数の圧電素子ピース
は、それらの端面がほぼ一定の平面となるように揃えた
状態で多数束ねられる。圧電素子ピースは、通常、ロッ
ド状に形成したものを所定の長さ毎に切断する等により
形成されるから、全ての圧電素子ピースが完全には同じ
長さとならないこともある。その結果、多数の圧電素子
ピースを束ねて圧電素子集合体とし、その表面を揃えて
も多少の凹凸が生じる。これら圧電素子ピースを束ねた
圧電素子集合体の表裏両面に電極が形成されることか
ら、各圧電素子ピース（後述する不要の圧電素子ピース
を除く）の表裏両面が電極と接合されなければならな
い。従って、圧電素子集合体が形成された時に、その表
裏両面を揃えるのは電極と接合させるためである。例え
ば、蒸着等の成膜手段により電極を形成する場合には、
ある程度まで表面に不揃いがあっても、その凹凸を十分
吸収して、全ての圧電素子ピースを電極と接合できる。
従って、圧電素子ピースの端面がほぼ一定の平面を形成
するというのは、電極を形成した時に全ての圧電素子ピ
ースの端面が確実に電極と当接できる程度に揃っている
ことを意味する。なお、圧電素子ピースを束ねた後に、
表面を研磨する等により完全な平面形状とすることも可
能である。
圧電素子を単一の圧電材料で形成するのではなく、微小
な圧電素子ピースを束ねることにより形成される。ここ
で、圧電素子ピースは、円柱形状、四角柱形状、六角柱
形状等というように、表裏両端面が平面形状となり、所
定の高さを有するものである。多数の圧電素子ピース
は、それらの端面がほぼ一定の平面となるように揃えた
状態で多数束ねられる。圧電素子ピースは、通常、ロッ
ド状に形成したものを所定の長さ毎に切断する等により
形成されるから、全ての圧電素子ピースが完全には同じ
長さとならないこともある。その結果、多数の圧電素子
ピースを束ねて圧電素子集合体とし、その表面を揃えて
も多少の凹凸が生じる。これら圧電素子ピースを束ねた
圧電素子集合体の表裏両面に電極が形成されることか
ら、各圧電素子ピース（後述する不要の圧電素子ピース
を除く）の表裏両面が電極と接合されなければならな
い。従って、圧電素子集合体が形成された時に、その表
裏両面を揃えるのは電極と接合させるためである。例え
ば、蒸着等の成膜手段により電極を形成する場合には、
ある程度まで表面に不揃いがあっても、その凹凸を十分
吸収して、全ての圧電素子ピースを電極と接合できる。
従って、圧電素子ピースの端面がほぼ一定の平面を形成
するというのは、電極を形成した時に全ての圧電素子ピ
ースの端面が確実に電極と当接できる程度に揃っている
ことを意味する。なお、圧電素子ピースを束ねた後に、
表面を研磨する等により完全な平面形状とすることも可
能である。
【００１２】以上のようにして形成された圧電素子集合
体の表面及び裏面に形成される電極のうち、表面側電極
が所定のパターンになるように形成することにより、こ
のパターンが送受信面として機能する。圧電素子集合体
に所望形状の表面側電極のパターンを形成した場合に、
この表面側電極以外の位置の圧電素子ピースは実質的に
超音波の送受信機能を発揮しない不要な圧電素子ピース
である。これら不要の圧電素子ピースを残したままであ
っても、表面側電極が設けられていなければ、この不要
な圧電素子ピースには電流が流れず、従って機械的な変
形を受けることはない。ただし、表面側電極を形成した
部位の圧電素子ピースが電圧の印加により機械的な変形
を受けると、その影響で不要な圧電素子ピースが歪む結
果、送信される超音波ビームの形状が変化してしまう。
そこで、不要な圧電素子ピースを除去する。このよう
に、圧電素子集合体から不要な圧電素子ピースを取り除
くことによって、所望の形状の超音波振動子を形成する
ことができる。
体の表面及び裏面に形成される電極のうち、表面側電極
が所定のパターンになるように形成することにより、こ
のパターンが送受信面として機能する。圧電素子集合体
に所望形状の表面側電極のパターンを形成した場合に、
この表面側電極以外の位置の圧電素子ピースは実質的に
超音波の送受信機能を発揮しない不要な圧電素子ピース
である。これら不要の圧電素子ピースを残したままであ
っても、表面側電極が設けられていなければ、この不要
な圧電素子ピースには電流が流れず、従って機械的な変
形を受けることはない。ただし、表面側電極を形成した
部位の圧電素子ピースが電圧の印加により機械的な変形
を受けると、その影響で不要な圧電素子ピースが歪む結
果、送信される超音波ビームの形状が変化してしまう。
そこで、不要な圧電素子ピースを除去する。このよう
に、圧電素子集合体から不要な圧電素子ピースを取り除
くことによって、所望の形状の超音波振動子を形成する
ことができる。
【００１３】不要の圧電素子ピースを取り除くには、例
えば所望のパターンを有し、粘着面を有するシート状の
部材を圧電素子集合体の表面に貼り付けた後に、このシ
ートを剥離すると、粘着面に粘着されている圧電素子ピ
ースがシートと共に圧電素子集合体から分離される。そ
の結果、パターン以外の領域が残ることになり、例えば
円形、楕円形、円環状、楕円環状等、１枚のセラミック
材をカットした場合では加工できないか、または極めて
加工が困難な形状の超音波振動子を極めて容易に形成で
きるようになる。
えば所望のパターンを有し、粘着面を有するシート状の
部材を圧電素子集合体の表面に貼り付けた後に、このシ
ートを剥離すると、粘着面に粘着されている圧電素子ピ
ースがシートと共に圧電素子集合体から分離される。そ
の結果、パターン以外の領域が残ることになり、例えば
円形、楕円形、円環状、楕円環状等、１枚のセラミック
材をカットした場合では加工できないか、または極めて
加工が困難な形状の超音波振動子を極めて容易に形成で
きるようになる。
【００１４】不要の圧電素子ピースを除去するシート状
の部材は、表面側電極を形成する際に設けられるマスキ
ングと兼用させることができる。即ち、粘着面を有する
マスキングシートを用いて、その粘着面に不要な圧電素
子ピースを粘着させておき、表面側電極形成後にマスキ
ングシートを除去するが、この時に不要な圧電素子ピー
スを結着したまま取り外すようにすれば良い。従って、
マスキングシートを所望の打ち抜き形状とすることによ
って、所望の形状をした超音波振動子を容易に形成する
ことができることになる。
の部材は、表面側電極を形成する際に設けられるマスキ
ングと兼用させることができる。即ち、粘着面を有する
マスキングシートを用いて、その粘着面に不要な圧電素
子ピースを粘着させておき、表面側電極形成後にマスキ
ングシートを除去するが、この時に不要な圧電素子ピー
スを結着したまま取り外すようにすれば良い。従って、
マスキングシートを所望の打ち抜き形状とすることによ
って、所望の形状をした超音波振動子を容易に形成する
ことができることになる。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて本発明の実
施の形態について説明する。まず、図１乃至図３に円環
状に形成した超音波振動子の構成を示す。図１及び図２
において、１は圧電素子、２は表面側電極、３は裏面側
電極であり、これらで超音波振動子４が構成される。圧
電素子１は、図３から明らかなように、微小な圧電素子
ピース５を多数束ねたものから構成される。そして、図
示した圧電素子１は円環状のものからなり、その内部は
シリコン樹脂等、電気絶縁性を有する樹脂充填部６とな
っている。ここで、圧電素子１を構成する単位としての
圧電素子ピース５の形状としては、同じ直径で、同じ高
さを有する円柱状のものから構成されている。また、圧
電素子ピースは、これ以外でも、図４（Ａ）に示したよ
うに、四角柱形状の圧電素子ピース５Ａ、または同図
（Ｂ）に示したように、六角柱形状の圧電素子ピース５
Ｂ等の多角柱形状とすることもできる。ここで、圧電素
子ピース５は、ジルコン酸チタン酸塩、チタン酸バリウ
ム等のセラミックス半導体からなるセラミック系の圧電
材料で形成される。
施の形態について説明する。まず、図１乃至図３に円環
状に形成した超音波振動子の構成を示す。図１及び図２
において、１は圧電素子、２は表面側電極、３は裏面側
電極であり、これらで超音波振動子４が構成される。圧
電素子１は、図３から明らかなように、微小な圧電素子
ピース５を多数束ねたものから構成される。そして、図
示した圧電素子１は円環状のものからなり、その内部は
シリコン樹脂等、電気絶縁性を有する樹脂充填部６とな
っている。ここで、圧電素子１を構成する単位としての
圧電素子ピース５の形状としては、同じ直径で、同じ高
さを有する円柱状のものから構成されている。また、圧
電素子ピースは、これ以外でも、図４（Ａ）に示したよ
うに、四角柱形状の圧電素子ピース５Ａ、または同図
（Ｂ）に示したように、六角柱形状の圧電素子ピース５
Ｂ等の多角柱形状とすることもできる。ここで、圧電素
子ピース５は、ジルコン酸チタン酸塩、チタン酸バリウ
ム等のセラミックス半導体からなるセラミック系の圧電
材料で形成される。
【００１６】このように、円環状に形成した圧電素子を
用いることによって、例えば、図５乃至図７に示したよ
うに、アニュラアレイ式の超音波トランスデューサ１０
が形成される。即ち、図５及び図６から明らかなよう
に、前述した圧電素子ピースの集合体からなり、それぞ
れの内外径に差を持たせた円環状の圧電素子１１Ｓ，１
１Ｍ，１１Ｌが同心円状に配置されている。ここで、必
須ではないが、図５に示したように、それぞれ径差があ
る各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの表面積を同じに
するのが望ましい。そして、最も小径の圧電素子１１Ｓ
の内側と、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ間及び１１Ｍ，１１
Ｌ間に形成されている空間部分は、例えばシリコン樹脂
等のように、電気絶縁性があり、好ましくは軟性で接着
力のある素材からなり、スペーサとして機能する樹脂充
填部１２となっている。さらに、図６から明らかなよう
に、裏面側には、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに共
通する裏面側電極１３が接続されており、また表面側で
は、各々の圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに対してそ
れぞれ表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌが接続されて
いる。
用いることによって、例えば、図５乃至図７に示したよ
うに、アニュラアレイ式の超音波トランスデューサ１０
が形成される。即ち、図５及び図６から明らかなよう
に、前述した圧電素子ピースの集合体からなり、それぞ
れの内外径に差を持たせた円環状の圧電素子１１Ｓ，１
１Ｍ，１１Ｌが同心円状に配置されている。ここで、必
須ではないが、図５に示したように、それぞれ径差があ
る各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの表面積を同じに
するのが望ましい。そして、最も小径の圧電素子１１Ｓ
の内側と、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ間及び１１Ｍ，１１
Ｌ間に形成されている空間部分は、例えばシリコン樹脂
等のように、電気絶縁性があり、好ましくは軟性で接着
力のある素材からなり、スペーサとして機能する樹脂充
填部１２となっている。さらに、図６から明らかなよう
に、裏面側には、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに共
通する裏面側電極１３が接続されており、また表面側で
は、各々の圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに対してそ
れぞれ表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌが接続されて
いる。
【００１７】以上のようにして、同心円状に配置した３
つの円環状の超音波振動子１５Ｓ，１５Ｍ，１５Ｌから
なる超音波振動子のユニットが構成されるが、このユニ
ットには、さらに図６に示したように、その裏面側にバ
ッキング材１６が、また表面側には音響整合層１７がそ
れぞれ積層されており、バッキング材１６は基板１８等
に搭載される。そして、裏面側電極１３及び各表面側電
極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌには、それぞれ配線２０及び
配線２１Ｓ，２１Ｍ，２１Ｌが接続されており、また配
線２１Ｓ，２１Ｍ，２１Ｌには可変ディレイ２２Ｓ，２
２Ｍ，２２Ｌが接続される。
つの円環状の超音波振動子１５Ｓ，１５Ｍ，１５Ｌから
なる超音波振動子のユニットが構成されるが、このユニ
ットには、さらに図６に示したように、その裏面側にバ
ッキング材１６が、また表面側には音響整合層１７がそ
れぞれ積層されており、バッキング材１６は基板１８等
に搭載される。そして、裏面側電極１３及び各表面側電
極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌには、それぞれ配線２０及び
配線２１Ｓ，２１Ｍ，２１Ｌが接続されており、また配
線２１Ｓ，２１Ｍ，２１Ｌには可変ディレイ２２Ｓ，２
２Ｍ，２２Ｌが接続される。
【００１８】アニュラアレイ式の超音波トランスデュー
サ１０は以上のように構成されるものであって、表面側
電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌと裏面側電極１３との間に
所定電圧の電圧を流すと、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１
１Ｌから超音波ビームが送信されるが、各配線２１Ｓ，
２１Ｍ，２１Ｌに可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌ
が接続されているので、各超音波振動子１５Ｓ，１５
Ｍ，１５Ｌからの超音波ビームの送信に遅延が与えら
れ、これらの超音波ビームの合成波面は収束波面とな
る。そして、可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌによ
る遅延時間を変化させると、図７に示したように、合成
波面は、超音波トランスデューサ１０に近い位置Ｐ１に
収束させたり（同図に二点鎖線で示した波面）、また超
音波トランスデューサ１０から遠い位置Ｐ２に収束させ
たり（同図に点線で示した波面）することができる。つ
まり、可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌの遅延時間
を制御することによって、超音波ビームのフォーカス位
置を変化させることができる。
サ１０は以上のように構成されるものであって、表面側
電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌと裏面側電極１３との間に
所定電圧の電圧を流すと、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１
１Ｌから超音波ビームが送信されるが、各配線２１Ｓ，
２１Ｍ，２１Ｌに可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌ
が接続されているので、各超音波振動子１５Ｓ，１５
Ｍ，１５Ｌからの超音波ビームの送信に遅延が与えら
れ、これらの超音波ビームの合成波面は収束波面とな
る。そして、可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌによ
る遅延時間を変化させると、図７に示したように、合成
波面は、超音波トランスデューサ１０に近い位置Ｐ１に
収束させたり（同図に二点鎖線で示した波面）、また超
音波トランスデューサ１０から遠い位置Ｐ２に収束させ
たり（同図に点線で示した波面）することができる。つ
まり、可変ディレイ２２Ｓ，２２Ｍ，２２Ｌの遅延時間
を制御することによって、超音波ビームのフォーカス位
置を変化させることができる。
【００１９】而して、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ間及び１
１Ｍ，１１Ｌ間は、それぞれ円環状に形成した空間部分
が存在しているので、各超音波振動子１５Ｓ，１５Ｍ，
１５Ｌから超音波ビームを送信する際に、各々の超音波
ビームの波面に他の超音波振動子を構成する圧電素子の
影響を受けることはない。ここで、前述した各空間部分
は樹脂充填部１２となっているが、この樹脂充填部１２
は、それぞれ圧電素子ピースの集合体であり、かつ円環
状に形成した圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの保形性
を良好にするためであり、その必要がない場合には、各
空間部分を空隙状態とするようにしても良い。
１Ｍ，１１Ｌ間は、それぞれ円環状に形成した空間部分
が存在しているので、各超音波振動子１５Ｓ，１５Ｍ，
１５Ｌから超音波ビームを送信する際に、各々の超音波
ビームの波面に他の超音波振動子を構成する圧電素子の
影響を受けることはない。ここで、前述した各空間部分
は樹脂充填部１２となっているが、この樹脂充填部１２
は、それぞれ圧電素子ピースの集合体であり、かつ円環
状に形成した圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの保形性
を良好にするためであり、その必要がない場合には、各
空間部分を空隙状態とするようにしても良い。
【００２０】ところで、高分子圧電材料であればともか
く、高分子圧電材料より送信効率が高く、機械的強度も
良好なセラミック系の圧電材料を用いる場合には、１枚
の圧電素子を円環状に加工するのは極めて困難であり、
加工中に圧電材料に割れや欠け等が生じる等により著し
く歩留が悪い。しかしながら、セラミック系の圧電材料
であっても、圧電素子ピースの集合体を円環状に形成す
ることにより、アニュラアレイ式の超音波トランスデュ
ーサ１０における同心円状に配列した円環状の圧電素子
１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを極めて容易に形成することが
できる。そこで、図８に基づいて、円環状の圧電素子１
１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの製造方法について説明する。
く、高分子圧電材料より送信効率が高く、機械的強度も
良好なセラミック系の圧電材料を用いる場合には、１枚
の圧電素子を円環状に加工するのは極めて困難であり、
加工中に圧電材料に割れや欠け等が生じる等により著し
く歩留が悪い。しかしながら、セラミック系の圧電材料
であっても、圧電素子ピースの集合体を円環状に形成す
ることにより、アニュラアレイ式の超音波トランスデュ
ーサ１０における同心円状に配列した円環状の圧電素子
１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを極めて容易に形成することが
できる。そこで、図８に基づいて、円環状の圧電素子１
１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの製造方法について説明する。
【００２１】まず、図８（Ａ）に示したように、多数の
圧電素子ピース、即ち図３に示した円柱状の圧電素子ピ
ース５（これ以外でも、図４（Ａ）の四角柱形状の圧電
素子ピース５Ａ、図４（Ｂ）の六角柱形状の圧電素子ピ
ース５Ｂ等を用いることができる）を立てた状態で密に
配列して端面を揃えることによって、表裏両端面がほぼ
同一平面となるようにして圧電素子集合体３０を形成す
る。ここで、圧電素子集合体３０の形状としては、四角
形状としたものが示されているが、例えば六角形、八角
形等、円に近い形状とすることもできる。なお、各圧電
素子ピース５は相互に接着等を行わない。
圧電素子ピース、即ち図３に示した円柱状の圧電素子ピ
ース５（これ以外でも、図４（Ａ）の四角柱形状の圧電
素子ピース５Ａ、図４（Ｂ）の六角柱形状の圧電素子ピ
ース５Ｂ等を用いることができる）を立てた状態で密に
配列して端面を揃えることによって、表裏両端面がほぼ
同一平面となるようにして圧電素子集合体３０を形成す
る。ここで、圧電素子集合体３０の形状としては、四角
形状としたものが示されているが、例えば六角形、八角
形等、円に近い形状とすることもできる。なお、各圧電
素子ピース５は相互に接着等を行わない。
【００２２】次に、図８（Ｂ）に示したように、圧電素
子集合体３０の表面側において、円環状の圧電素子１１
Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電素子ピース５以外の
不要な圧電素子ピース５の表面にマスキングシート３１
を貼り付ける。ここで、マスキングシート３１は圧電素
子集合体３０への当接面には接着剤を塗布しておく。こ
れによって、マスキングシート３１は不要な圧電素子ピ
ース５の表面に接着される。従って、圧電素子集合体３
０のうち、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する
圧電素子ピース５がマスキングシート３１で覆われず露
出した状態となっている。
子集合体３０の表面側において、円環状の圧電素子１１
Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する圧電素子ピース５以外の
不要な圧電素子ピース５の表面にマスキングシート３１
を貼り付ける。ここで、マスキングシート３１は圧電素
子集合体３０への当接面には接着剤を塗布しておく。こ
れによって、マスキングシート３１は不要な圧電素子ピ
ース５の表面に接着される。従って、圧電素子集合体３
０のうち、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌを構成する
圧電素子ピース５がマスキングシート３１で覆われず露
出した状態となっている。
【００２３】そして、図８（Ｃ）に示したように、マス
キングシート３１を貼着した圧電素子集合体３０の表面
に表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌとなる導電部材３
２を形成する。この導電部材３２は、蒸着、吹き付けや
印刷、塗布等により形成することができる。ここで、マ
スキングシート３１を貼着した部位には導電部材３２を
設ける必要はないが、この工程の簡略化のためには、圧
電素子集合体３０の全体にわたって導電部材３２を貼り
付けるようにするのが望ましい。ここで、導電部材３２
は表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌを構成するもので
あるが、さらにこの導電部材３２は、相互に固着されて
いない各圧電素子ピース５の表面と接着して、圧電素子
１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの円環形状を保形するための機
能も発揮する。従って、導電部材３２の素材としては強
い接着機能を持ったものを用いるのが望ましい。
キングシート３１を貼着した圧電素子集合体３０の表面
に表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌとなる導電部材３
２を形成する。この導電部材３２は、蒸着、吹き付けや
印刷、塗布等により形成することができる。ここで、マ
スキングシート３１を貼着した部位には導電部材３２を
設ける必要はないが、この工程の簡略化のためには、圧
電素子集合体３０の全体にわたって導電部材３２を貼り
付けるようにするのが望ましい。ここで、導電部材３２
は表面側電極１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌを構成するもので
あるが、さらにこの導電部材３２は、相互に固着されて
いない各圧電素子ピース５の表面と接着して、圧電素子
１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの円環形状を保形するための機
能も発揮する。従って、導電部材３２の素材としては強
い接着機能を持ったものを用いるのが望ましい。
【００２４】その後に、図８（Ｄ）に示したように、マ
スキングシート３１を除去する。圧電素子１１Ｓ，１１
Ｍ，１１Ｌを構成しない不要の圧電素子ピース５は、マ
スキングシート３１に接着されているので、マスキング
シート３１を取り外すと、これら不要の圧電素子ピース
５も同時に除去できる。これによって、同心円形状とな
った３重の円環状の圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌが
形成され、かつこれら各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１
Ｌには導電部材３２からなる表面側電極１４Ｓ，１４
Ｍ，１４Ｌが積層された状態となる。
スキングシート３１を除去する。圧電素子１１Ｓ，１１
Ｍ，１１Ｌを構成しない不要の圧電素子ピース５は、マ
スキングシート３１に接着されているので、マスキング
シート３１を取り外すと、これら不要の圧電素子ピース
５も同時に除去できる。これによって、同心円形状とな
った３重の円環状の圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌが
形成され、かつこれら各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１
Ｌには導電部材３２からなる表面側電極１４Ｓ，１４
Ｍ，１４Ｌが積層された状態となる。
【００２５】以上のようにして形成された圧電素子１１
Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌはばらばらの状態となっている。し
かしながら、各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに共通
となる裏面側電極１３を貼り付けることによって、相互
の位置関係を固定することができる。従って、裏面側電
極１３は円形シート形状となし、かつ導電性接着剤を塗
布したものを用いるのが望ましい。このままであっても
良いが、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの位置関係を
さらに安定させるためには、圧電素子１１Ｓの内側と、
圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ間及び圧電素子１１Ｍ，１１Ｌ
間の空間部分にはシリコン樹脂等を充填して樹脂充填部
１２を形成する。
Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌはばらばらの状態となっている。し
かしながら、各圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌに共通
となる裏面側電極１３を貼り付けることによって、相互
の位置関係を固定することができる。従って、裏面側電
極１３は円形シート形状となし、かつ導電性接着剤を塗
布したものを用いるのが望ましい。このままであっても
良いが、圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌの位置関係を
さらに安定させるためには、圧電素子１１Ｓの内側と、
圧電素子１１Ｓ，１１Ｍ間及び圧電素子１１Ｍ，１１Ｌ
間の空間部分にはシリコン樹脂等を充填して樹脂充填部
１２を形成する。
【００２６】ここで、マスキングシートの形状を適宜設
定することによって、任意の形状の超音波振動子を形成
することができる。例えば、円形または楕円形に打ち抜
いたマスキングシートを用いれば、円形，楕円形の超音
波振動子を形成できる。要するに、マスキングシート等
の粘着面を有する部材を所望の形状にカットして、圧電
素子集合体に貼り付けた状態から、この部材を圧電素子
集合体から分離して、圧電素子集合体から不要な圧電素
子ピースを除去することによって、所望の形状をした超
音波振動子を形成することができる。
定することによって、任意の形状の超音波振動子を形成
することができる。例えば、円形または楕円形に打ち抜
いたマスキングシートを用いれば、円形，楕円形の超音
波振動子を形成できる。要するに、マスキングシート等
の粘着面を有する部材を所望の形状にカットして、圧電
素子集合体に貼り付けた状態から、この部材を圧電素子
集合体から分離して、圧電素子集合体から不要な圧電素
子ピースを除去することによって、所望の形状をした超
音波振動子を形成することができる。
【００２７】
【発明の効果】本発明は以上のように構成したので、所
望の形状をした超音波振動子を容易に形成できる等の効
果を奏する。
望の形状をした超音波振動子を容易に形成できる等の効
果を奏する。
【図１】本発明による超音波振動子の一例として、円環
状に形成した超音波振動子の平面図である。
状に形成した超音波振動子の平面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ断面図である。
【図３】図１の超音波振動子を構成する圧電素子の外観
斜視図である。
斜視図である。
【図４】他の形状の圧電素子ピースを示す斜視図であ
る。
る。
【図５】本発明による超音波振動子の一例として、アニ
ュラアレイ式の超音波プローブとして構成される超音波
振動子の平面図である。
ュラアレイ式の超音波プローブとして構成される超音波
振動子の平面図である。
【図６】アニュラアレイ式の超音波プローブの断面図で
ある。
ある。
【図７】アニュラアレイ式の超音波プローブの作動説明
図である。
図である。
【図８】アニュラアレイ式の超音波プローブにおける超
音波振動子を形成するための工程説明図である。
音波振動子を形成するための工程説明図である。
１，１１Ｓ，１１Ｍ，１１Ｌ 圧電素子
２，１４Ｓ，１４Ｍ，１４Ｌ 表面側電極
３，１３ 裏面側電極
４，１５Ｓ，１５Ｍ，１５Ｌ 超音波振動子
５，５Ａ，５Ｂ 圧電素子ピース
１２ 樹脂充填部
３０ 圧電素子集合体
３１ マスキングシート
３２ 導電部材
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０１Ｌ 41/22 Ｈ０１Ｌ 41/18 １０１Ｂ
Ｈ０４Ｒ 31/00 ３３０ 41/22 Ｚ
Ｆターム(参考） 4C301 EE20 GB05 GB14 GB16 GB18
GB33 GB37
4C601 EE30 GB01 GB02 GB03 GB04
GB14 GB19 GB41 GB42 GB45
5D019 AA21 BB02 BB20 FF04 HH03
5D107 AA03 AA12 AA16 BB07 CC01
CC10 CC12 FF01
Claims (8)
- 【請求項１】 円柱または多角柱状をした圧電素子ピー
スをそれらの表裏両端面がほぼ一定の平面となるように
して束ね、少なくともその外周が曲線形状となった振動
子構成体と、 この振動子構成体の表裏両面に積層させ、全ての圧電素
子ピースを覆うように形成した表面側及び裏面側の各電
極と、 前記表面側電極及び裏面側電極にそれぞれ接続した配線
とから構成したことを特徴とする超音波振動子。 - 【請求項２】 前記圧電素子ピースは、円柱状、四角柱
状、六角柱状のものであることを特徴とする請求項１記
載の超音波振動子。 - 【請求項３】 前記振動子構成体は、円形、楕円形、円
環状のいずれかの形状としたことを特徴とする請求項１
記載の超音波振動子。 - 【請求項４】 前記振動子構成体は同心円形状に配列さ
れた複数の円環状振動子構成体から構成され、最内側の
円環状振動子構成体の内部と、各円環状振動子構成体間
との空間に接着機能を有する樹脂充填部が形成されてい
ることを特徴とする請求項１記載の超音波振動子。 - 【請求項５】 円柱または多角柱状の形状を有する圧電
素子ピースをそれらの表裏両端面がほぼ一定の平面とな
るようにして多数束ねて、圧電素子集合体を形成する工
程と、 前記圧電素子集合体の表面に、所望のパターンを有する
表面側電極を積層・固着する工程と、 前記振動子組立体を形成する圧電素子ピースのうち、電
極が形成されている部位以外の不要な圧電素子ピースを
取り除くことにより所定の形状となった振動子構成体を
形成する工程と、 前記振動子構成体の裏面側に裏面側電極を形成する工程
とからなることを特徴とする超音波振動子の製造方法。 - 【請求項６】 前記圧電素子集合体に、前記表面側電極
の積層前に、この電極が形成されない不要部分にマスキ
ングを行い、このマスキングされた部分にも電極を積層
させることを特徴とする請求項５記載の超音波振動子の
製造方法。 - 【請求項７】 前記マスキングは粘着性のあるマスキン
グシートを用いて行い、さらに前記電極を積層させた後
に、不要な圧電素子ピースをマスキングシートに粘着さ
せた状態で取り除くことを特徴とする請求項６記載の超
音波振動子の製造方法。 - 【請求項８】 前記電極は蒸着、成膜、塗布により形成
することを特徴とする請求項５記載の超音波振動子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001278050A JP2003087897A (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | 超音波振動子及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001278050A JP2003087897A (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | 超音波振動子及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003087897A true JP2003087897A (ja) | 2003-03-20 |
Family
ID=19102480
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001278050A Pending JP2003087897A (ja) | 2001-09-13 | 2001-09-13 | 超音波振動子及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003087897A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011504134A (ja) * | 2007-11-06 | 2011-02-03 | アクリオン テクノロジーズ インク | 基板を処理するための複合トランスデューサー装置及びシステム、及びそれを造る方法 |
| JP2011519211A (ja) * | 2008-04-18 | 2011-06-30 | パンフォニクス オーワイ | アクチュエーターの音場を指向させる |
| JP2020018288A (ja) * | 2018-07-20 | 2020-02-06 | 株式会社リコー | 液滴形成装置、液滴形成方法、及び分注装置 |
| KR20210009977A (ko) * | 2019-07-18 | 2021-01-27 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
-
2001
- 2001-09-13 JP JP2001278050A patent/JP2003087897A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011504134A (ja) * | 2007-11-06 | 2011-02-03 | アクリオン テクノロジーズ インク | 基板を処理するための複合トランスデューサー装置及びシステム、及びそれを造る方法 |
| JP2011519211A (ja) * | 2008-04-18 | 2011-06-30 | パンフォニクス オーワイ | アクチュエーターの音場を指向させる |
| JP2020018288A (ja) * | 2018-07-20 | 2020-02-06 | 株式会社リコー | 液滴形成装置、液滴形成方法、及び分注装置 |
| JP7268392B2 (ja) | 2018-07-20 | 2023-05-08 | 株式会社リコー | 液滴形成装置、液滴形成方法、及び分注装置 |
| KR20210009977A (ko) * | 2019-07-18 | 2021-01-27 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
| KR102232292B1 (ko) * | 2019-07-18 | 2021-03-24 | 한국세라믹기술원 | 다중주파수를 갖는 단일 압전소자를 적용한 초음파 센서 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5735512B2 (ja) | 大きな視野を持つ超音波プローブ及びこのような超音波プローブを製造する方法 | |
| US5651365A (en) | Phased array transducer design and method for manufacture thereof | |
| US5706820A (en) | Ultrasonic transducer with reduced elevation sidelobes and method for the manufacture thereof | |
| JP3210671B2 (ja) | 超音波変換器アレーとその製造方法 | |
| EP0641606B1 (en) | Broadband phased array transducer design with frequency controlled two dimension capability and methods for manufacture thereof | |
| JP4795683B2 (ja) | マイクロマシン加工した湾曲超音波トランスジューサ・アレイ並びに関連する製造方法 | |
| JP5836537B2 (ja) | ユニモルフ型超音波探触子 | |
| EP0631272B1 (en) | Ultrasonic transducer | |
| KR100916029B1 (ko) | 초음파 프로브와 그 제조 방법 | |
| US9839411B2 (en) | Ultrasound diagnostic apparatus probe having laminated piezoelectric layers oriented at different angles | |
| JP2002336248A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2007251505A (ja) | 超音波探触子、アレイ探触子および超音波探触子の製造方法 | |
| JP2003087897A (ja) | 超音波振動子及びその製造方法 | |
| JP2004023781A (ja) | 超音波探触子 | |
| JP3572984B2 (ja) | 超音波トランスデューサ | |
| JPH05228142A (ja) | 超音波探触子及び超音波診断装置 | |
| JPH03270282A (ja) | 複合圧電体 | |
| JPH03133300A (ja) | 複合圧電型超音波探触子 | |
| JP3916365B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| JP2935551B2 (ja) | 超音波探触子 | |
| Kang et al. | Design of flexural ultrasonic phased array for fluid-coupled applications | |
| JPH0520079Y2 (ja) | ||
| JPH08275944A (ja) | 配列型の超音波探触子 | |
| JPS59178378A (ja) | 超音波探触子 | |
| JPH02271845A (ja) | 超音波診断装置 |