JP2003086653A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ポッドに付帯されたタグに対して情報を確実
に読み書きする。 【解決手段】 ポッドオープナ２０のベース２１にはポ
ッドのキャップ１０ａと相似する四角形に形成されたウ
エハ出入口２２が開設されており、ベース２１のウエハ
出入口２２の下側には支持台２３が水平に固定され、支
持台２３の上には載置台２７が前後方向に往復移動され
るよう設置されている。載置台２７のベース２１と反対
側の端辺にはポッド１０の下端部に付帯されたタグ６２
に対して情報を電磁波を介し読み書きする情報読み書き
装置６０が設置されている。 【効果】 情報読み書き装置とポッドオープナの載置台
上のポッドに付帯されたタグとの位置関係を一定に維持
できるため、載置台が前後のいずれの位置にあっても情
報読み書き装置はタグに対して情報の読み書きできる。
バッチ式ＣＶＤ装置に必要な処理条件をポッドから入手
でき、処理結果をポッドに記録できる。

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、基板処理装置に関
し、特に、基板収納容器を開閉する技術に係り、例え
ば、半導体素子を含む半導体集積回路が作り込まれる半
導体ウエハ（以下、ウエハという。）に絶縁膜や金属膜
等のＣＶＤ膜を形成したり不純物を拡散したりするバッ
チ式縦形拡散・ＣＶＤ装置に利用して有効なものに関す
る。 【０００２】 【従来の技術】基板処理装置の一例であるバッチ式縦形
拡散・ＣＶＤ装置（以下、バッチ式ＣＶＤ装置とい
う。）においては、未処理のウエハがキャリア（基板収
納容器）に収納された状態でバッチ式ＣＶＤ装置の外部
から搬入される。従来のこの種のキャリアとして、互い
に対向する一対の面が開口された略立方体の箱形状に形
成されているカセットと、一つの面が開口された略立方
体の箱形状に形成され開口面にキャップが着脱自在に装
着されているＦＯＵＰ（front opening unified pod 。
以下、ポッドという。）とがある。 【０００３】ウエハのキャリアとしてポッドが使用され
る場合には、ウエハが密閉された状態で搬送されること
になるため、周囲の雰囲気にパーティクル等が存在して
いたとしてもウエハの清浄度は維持することができる。
したがって、バッチ式ＣＶＤ装置が設置されるクリーン
ルーム内の清浄度をあまり高く設定する必要がなくなる
ため、クリーンルームに要するコストを低減することが
できる。そこで、最近のバッチ式ＣＶＤ装置において
は、ウエハのキャリアとしてポッドが使用されて来てい
る。 【０００４】ウエハのキャリアとしてポッドを使用した
バッチ式ＣＶＤ装置においては、キャップを開閉するに
際して筐体内およびポッド内のウエハの清浄度を維持し
つつウエハをポッドに対して出し入れ可能とするポッド
開閉装置（以下、ポッドオープナという。）が、設置さ
れている。従来のこの種のポッドオープナとして、特開
平８−２７９５４６号公報に開示されているものがあ
る。すなわち、このポッドオープナはウエハローディン
グポートに対して移動するクロージャを備えており、ク
ロージャにはウエハローディングポートに載置されたポ
ッドのキャップを吸着する一対の吸着具と、一対の吸着
具の中心にそれぞれ突設されてキャップに没設された位
置決め穴にそれぞれ嵌入する一対のピンと、キャップの
錠前を解錠および施錠する一対のキーとが設置されてい
る。 【０００５】さらに、特開平９−３０６８７５号公報に
は、ポッドのキャップとポッドオープナとの間の雰囲気
をそれ以外の雰囲気から隔絶して排気しながら窒素ガス
を供給することにより、ウエハのポッドへの出し入れに
際しての汚染を防止するように工夫されたものが、開示
されている。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】ところで、バッチ式Ｃ
ＶＤ装置においては、ＩＣメモリーによって構成された
情報担持体をポッドに付帯させるとともに、この情報担
持体に対して情報を読み込みおよび書き込みする読み書
き装置をポッドオープナに設置することにより、ポッド
に収納されたウエハのロット番号やウエハ識別コード、
製品型番、過去の処理履歴、バッチ式ＣＶＤ装置がこれ
から処理しようとする処理の条件（レシピ）等の情報を
管理することが、提案されている。 【０００７】ところが、前記したバッチ式ＣＶＤ装置の
ポッドオープナにおいては、ポッドのキャップの開閉に
際して、ポッドオープナの載置台に載置されたポッドが
前後方向に移動されるため、情報担持体の読み書き装置
に対する相対位置が一定せず、情報の読み書きが困難に
なるという問題点がある。 【０００８】本発明の目的は、基板収納容器に付帯され
た情報担持体に対して情報を確実に読み書きすることが
できる基板処理装置を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】本発明に係る基板処理装
置は、基板収納容器を載置したまま移動させる載置台が
基板収納容器のキャップを開閉する開閉装置に設置され
ており、この載置台には前記基板収納容器に収納された
基板に関する情報を読み取りおよび書き込む情報読み書
き手段が設置されていることを特徴とする。 【００１０】前記した手段によれば、開閉装置の載置台
に設置された読み書き手段は基板収納容器との位置関係
を維持することができるため、基板収納容器に付帯され
た情報担持体に対して安定した情報の読み書きを確保す
ることができる。 【００１１】 【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施の形態を図
面に即して説明する。 【００１２】本実施の形態において、本発明に係る基板
処理装置は、図１に示されているようにバッチ式ＣＶＤ
装置すなわちバッチ式縦形拡散・ＣＶＤ装置として構成
されている。図１に示されているバッチ式ＣＶＤ装置１
は気密室構造に構築された筐体２を備えている。筐体２
内の一端部（以下、後端部とする。）の上部にはヒータ
ユニット３が垂直方向に据え付けられており、ヒータユ
ニット３の内部にはプロセスチューブ４が同心に配置さ
れている。プロセスチューブ４にはプロセスチューブ４
内に原料ガスやパージガス等を導入するためのガス導入
管５と、プロセスチューブ４内を真空排気するための排
気管６とが接続されている。筐体２の後端部の下部には
エレベータ７が設置されており、エレベータ７はプロセ
スチューブ４の真下に配置されたボート８を垂直方向に
昇降させるように構成されている。ボート８は多数枚の
ウエハ９を中心を揃えて水平に配置した状態で支持し
て、プロセスチューブ４の処理室に対して搬入搬出する
ように構成されている。 【００１３】筐体２の正面壁にはポッド出し入れ口（図
示せず）が開設されており、ポッド出し入れ口はフロン
トシャッタによって開閉されるようになっている。ポッ
ド出し入れ口にはポッド１０の位置合わせを実行するポ
ッドステージ１１が設置されており、ポッド１０はポッ
ド出し入れ口を通してポッドステージ１１に出し入れさ
れるようになっている。 【００１４】筐体２内の前後方向の中央部の上部には回
転式のポッド棚１２が設置されており、回転式のポッド
棚１２は合計八個のポッド１０を保管するように構成さ
れている。すなわち、回転式のポッド棚１２は略卍形状
に形成された棚板が上下二段に配置されて水平面内で回
転自在に支承されており、モータ等の間欠回転駆動装置
（図示せず）によってピッチ送り的に一方向に回転され
るようになっている。筐体２内のポッド棚１２の下側に
は基板としてのウエハ９を払い出す（ローディングす
る）ためのウエハローディングポート１３が設置されて
おり、ウエハローディングポート１３には後記するポッ
ドオープナ２０が設置されている。なお、便宜上、図１
においてはポッド棚は合計八個のポッドを保管するよう
に図示されているが、最大十六個のポッドを保管するよ
うに構成することができる。 【００１５】筐体２内のポッドステージ１１とポッド棚
１２およびウエハローディングポート１３との間にはポ
ッド搬送装置１４が設置されており、ポッド搬送装置１
４はポッド１０を、ポッドステージ１１とポッド棚１２
およびウエハローディングポート１３との間およびポッ
ド棚１２とウエハローディングポート１３との間で搬送
するように構成されている。また、ウエハローディング
ポート１３とボート８との間にはウエハ移載装置１５が
設置されており、ウエハ移載装置１５はウエハ９をウエ
ハローディングポート１３とボート８との間で搬送する
ように構成されている。 【００１６】図１〜図５に示されているように、ポッド
オープナ２０は筐体２内においてウエハローディングポ
ート１３とウエハ移載装置１５とを仕切るように垂直に
立脚された側壁をなすベース２１を備えており、ベース
２１にはポッド１０のキャップ１０ａと若干大きめに相
似する四角形に形成されたウエハ出入口２２が開設され
ている。 【００１７】図１および図２に示されているように、ベ
ース２１のウエハローディングポート１３側の主面（以
下、正面とする。）２１ａにおけるウエハ出入口２２の
下側には支持台２３が水平に固定されており、支持台２
３の平面視の形状は一部が切り欠かれた略正方形の枠形
状に形成されている。支持台２３の上面には一対のガイ
ドレール２４、２４がベース２１の正面と平行方向（以
下、左右方向とする。）に配置されて、ベース２１の正
面と直角方向（以下、前後方向とする。）に延在するよ
うに敷設されており、左右のガイドレール２４、２４に
は載置台２７が複数個のガイドブロック２５を介して前
後方向に摺動自在に支承されている。載置台２７は支持
台２３の上面に据え付けられたエアシリンダ装置２６に
よって前後方向に往復移動されるようになっている。 【００１８】図２に示されているように、載置台２７は
一部が切り欠かれた略正方形の枠形状に形成されてお
り、載置台２７の上面には位置決めピン２８が三本、正
三角形の頂点に配置されて垂直に突設されている。三本
の位置決めピン２８はポッド１０が載置台２７の上に載
置された状態において、ポッド１０の下面に没設された
三箇所の位置決め凹部（図示せず）に嵌入するようにな
っている。支持台２３のベース２１側の端部の中央には
ポッド押さえ具２９が設置されている。ポッド押さえ具
２９はアングル形状に形成されて支持台２３の上面に横
部片が水平になるように立設されたブラケット２９ａ
と、このブラケット２９ａの横部片の先端部に回転自在
に水平に軸支されたローラ２９ｂとを備えており、ロー
ラ２９ｂがポッド１０の底部のＬ形状の凹部に挿入する
ことにより、ポッド１０を載置台２７に押さえ付けるよ
うに構成されている。 【００１９】図３に示されているように、ベース２１の
ウエハ移載装置１５側の主面（以下、背面とする。）２
１ｂにおけるウエハ出入口２２の下側には、ガイドレー
ル３０が左右方向に水平に敷設されており、ガイドレー
ル３０には左右方向移動台３１が左右方向に往復移動し
得るように摺動自在に支承されている。左右方向移動台
３１にはエアシリンダ装置３２が左右方向に水平に据え
付けられており、エアシリンダ装置３２のピストンロッ
ド３２ａの先端はベース２１に固定されている。すなわ
ち、左右方向移動台３１はエアシリンダ装置３２の伸縮
作動によって左右方向に往復駆動されるようになってい
る。 【００２０】左右方向移動台３１の上面には一対のガイ
ドレール３３、３３が左右に配されて前後方向に延在す
るように敷設されており、両ガイドレール３３、３３に
は前後方向移動台３４が前後方向に往復移動し得るよう
に摺動自在に支承されている。前後方向移動台３４には
ガイド孔３５が左右方向に延在するように開設されてい
る。左右方向移動台３１にはロータリーアクチュエータ
３６が垂直方向上向きに据え付けられており、ロータリ
ーアクチュエータ３６の出力軸にはアーム３７の一端が
固定されている。アーム３７の自由端部にはガイドロー
ラ３８が突設されており、ガイドローラ３８は前後方向
移動台３４のガイド孔３５に摺動自在に嵌入されてい
る。すなわち、前後方向移動台３４はロータリーアクチ
ュエータ３６の往復回動によって前後方向に往復駆動さ
れるように構成されている。 【００２１】前後方向移動台３４の上面にはブラケット
３９が垂直に立脚されており、ブラケット３９の正面に
はウエハ出入口２２に若干大きめに相似する長方形の平
盤形状に形成されたクロージャ４０が垂直に固定されて
いる。つまり、クロージャ４０は前後方向移動台３４に
よって前後方向に往復移動されるようになっているとと
もに、左右方向移動台３１によって左右方向に往復移動
されるようになっている。そして、クロージャ４０は前
進移動してそのベース側を向いた主面（以下、正面とす
る。）４０ａがベース２１の背面２１ｂに当接すること
により、ウエハ出入口２２を閉塞し得るようになってい
る。 【００２２】クロージャ４０の上下方向の中心線上には
一対の解錠軸４１、４１が左右対称形に配置されて前後
方向に挿通されて回転自在に支承されている。両解錠軸
４１、４１におけるクロージャ４０のベース２１と反対
側の主面（以下、背面とする。）４０ｂの端部には、一
対のプーリー４２、４２が固定されており、両プーリー
４２、４２間には連結片４４を有するベルト４３が巻き
掛けられている。クロージャ４０の背面４０ｂにおける
一方のプーリー４２の上側にはエアシリンダ装置４５が
水平に据え付けられており、エアシリンダ装置４５のピ
ストンロッドの先端はベルト４３の連結片４４に連結さ
れている。すなわち、両解錠軸４１、４１はエアシリン
ダ装置４５の伸縮作動によって往復回動されるようにな
っている。図２に示されているように、両解錠軸４１、
４１のクロージャ４０の正面側の端部にはキャップ１０
ａの錠前（図示せず）に係合する係合部４１ａが直交し
て突設されている。 【００２３】図２に示されているように、クロージャ４
０の正面にはキャップ１０ａの表面に真空吸着する吸着
具（吸盤）４６が四個、雄ねじ部材を兼ねる吸込口部材
４７によって固定されており、四個の吸着具４６はそれ
らを結んだ四本の線分によって形成される四角形の重心
とキャップ１０ａの重心とが可及的に一致するように、
クロージャ４０の四箇所にそれぞれ配置されている。ま
た、偶数個である四個の吸着具４６はキャップ１０ａの
中心を通る水平線および垂直線に対して線対称形になる
ように配置されている。吸着具４６を固定する雄ねじ部
材を兼ねる吸込口部材４７は中空の雄ねじ部材によって
構成され、その露出側端面は吸着具４６の吸着面よりも
内側（背面側）に位置されており、キャップ１０ａに没
設された位置決め穴（図示せず）に嵌入しないように設
定されている。すなわち、本実施の形態においては、キ
ャップ１０ａの位置決め穴に嵌入してキャップ１０ａを
機械的に支持するための支持ピンは廃止されている。吸
込口部材４７の背面側端は給排気路（図示せず）に接続
されている。 【００２４】図２に示されているように、ベース２１の
正面２１ａにおけるウエハ出入口２２の右脇にはロータ
リーアクチュエータ５０が回転軸５０ａが垂直方向にな
るように据え付けられており、回転軸５０ａには略Ｃ字
形状に形成されたアーム５１の一端が水平面内で一体回
動するように固定されている。アーム５１はベース２１
に開設された挿通孔５２を挿通されており、アーム５１
のベース２１の背面側の先端部にはマッピング装置５３
が固定されている。 【００２５】なお、図示は省略するが、ベース２１の背
面２１ｂには第一のカバーがガイドレール３０、左右方
向移動台３１、エアシリンダ装置３２等を被覆するよう
に取り付けられており、クロージャ４０の背面には第二
のカバーがガイドレール３３、前後方向移動台３４、ガ
イド孔３５、ロータリーアクチュエータ３６、ガイドロ
ーラ３８、ブラケット３９、プーリー４２、ベルト４
３、連結片４４、エアシリンダ装置４５等を被覆するよ
うに取り付けられている。 【００２６】また、図４および図５に示されているよう
に、ベース２１の正面におけるウエハ出入口２２の周り
には、ポッド１０の押し付け時にポッド１０のウエハ出
し入れ口およびベース２１のウエハ出入口２２をシール
するパッキン５４が敷設されている。クロージャ４０の
正面における外周縁近傍には、クロージャ４０の押し付
け時にベース２１のウエハ出入口２２をシールするため
のパッキン５５が敷設されている。クロージャ４０の正
面における外周縁のパッキン５５の内側には、キャップ
１０ａに付着した異物がウエハ移載装置１５の設置室側
へ侵入するのを防止するためのパッキン５６が敷設され
ている。 【００２７】本実施の形態においては、図２、図４およ
び図５に示されているように、ポッドオープナ２０の載
置台２７のベース２１と反対側の端辺には、ポッド１０
に収納されたウエハ９の情報を読み取りおよび書き込む
ための情報読み書き装置６０がブラケット６１によって
設置されている。例えば、情報読み書き装置６０はタグ
リーダライタによって構成されており、ポッド１０のキ
ャップ１０ａと反対側端面の下端部に付帯されたタグま
たはＩＣタグ（ＩＣメモリの一種）と呼ばれる情報担持
体（以下、タグという。）６２に書き込まれた情報を電
磁波を介して読み取ったり、タグ６２に情報を電磁波を
介して書き込んだりするように構成されている。情報読
み書き装置６０はバッチ式ＣＶＤ装置１のコントローラ
（図示せず）および半導体装置の生産を総合的に制御す
るホストコンピュータ（図示せず）に接続されている。
ちなみに、タグ６２に書き込まれた情報としては、例え
ば、ポッド１０に収納されたウエハ９のロット番号やウ
エハ識別コード、製品型番、過去の処理履歴、バッチ式
ＣＶＤ装置１がこれから処理しようとする処理の条件
（レシピ）等があり、タグ６２に書き込む情報として
は、バッチ式ＣＶＤ装置１の実際の処理条件やエラー情
報等がある。 【００２８】次に、前記構成に係るバッチ式ＣＶＤ装置
の作用を説明する。 【００２９】図１に示されているように、筐体２内のポ
ッドステージ１１にポッド出し入れ口から搬入されたポ
ッド１０は、ポッド搬送装置１４によって指定されたポ
ッド棚１２に適宜に搬送されて一時的に保管される。 【００３０】ポッド棚１２に一時的に保管されたポッド
１０はポッド搬送装置１４によって適宜にピックアップ
されて一方のウエハローディングポート１３に搬送さ
れ、図４および図５に示されているように、ポッドオー
プナ２０の載置台２７に移載される。この際、ポッド１
０の下面に没設された位置決め凹部が載置台２７の三本
の位置決めピン２８とそれぞれ嵌合されることにより、
ポッド１０と載置台２７との位置合わせが実行される。 【００３１】このようにしてポッド１０が載置台２７に
載置されると、載置台２７に設置された情報読み書き装
置６０はポッド１０にタグ６２に真下から正対した状態
になるため、タグ６２に対して情報をいつでも読み書き
可能な状態になる。そこで、ポッドオープナ２０の開閉
作動が開始される前に、タグ６２の情報は情報読み書き
装置６０によって読み取ることが合理的である。例え
ば、タグ６２の情報を読み取る際には、情報読み書き装
置６０はタグ６２に書き込まれた情報を電磁波を介して
読み取る。情報読み書き装置６０は読み取った情報をバ
ッチ式ＣＶＤ装置１のコントローラおよびホストコンピ
ュータに送信する。 【００３２】ポッド１０が載置台２７に載置されて位置
合わせされると、載置台２７がエアシリンダ装置２６に
よってベース２１の方向に押されて移動し、図６および
図７に示されているように、載置台２７に位置決めされ
たポッド１０の開口側端面がベース２１の正面２１ａに
おけるウエハ出入口２２の開口縁辺部のパッキン５４に
押し付けられる。ポッド１０がベース２１の方向に移動
すると、ポッド押さえ具２９のローラ２９ｂがポッド１
０の底部のＬ形状の凹部１０ｂに挿入することにより、
ポッド１０を載置台２７に押さえ付ける。 【００３３】図６および図７に示されているように、ポ
ッド１０がベース２１の方向に移動すると、ウエハ出入
口２２に挿入されたクロージャ４０の四個の吸着具４６
がポッド１０のキャップ１０ａに相対的に押し付けられ
る。続いて、四個の吸着具４６の吸込口部材４７に負圧
が図示しない給排気路を通じてそれぞれ供給され、四個
の吸着具４６がキャップ１０ａの背面にそれぞれ同時に
吸着した状態になる。また、クロージャ４０の一対の解
錠軸４１、４１がキャップ１０ａの鍵穴に相対的にそれ
ぞれ挿入する。 【００３４】この状態で、一対の解錠軸４１、４１がエ
アシリンダ装置４５によって回動されると、両解錠軸４
１、４１はキャップ１０ａ側の錠前に係合した係合部４
１ａによってキャップ１０ａの錠前の施錠を同時に解除
する。 【００３５】次いで、前後方向移動台３４がロータリー
アクチュエータ３６の作動によってベース２１から離れ
る方向に移動され、続いて、左右方向移動台３１がエア
シリンダ装置３２の作動によってウエハ出入口２２から
離れる方向に移動されることにより、キャップ１０ａを
吸着具４６によって真空吸着保持したクロージャ４０が
ベース２１の背面２１ｂにおける待避位置に移動され
る。このクロージャ４０の移動により、キャップ１０ａ
がポッド１０の開口部から抜き出されて外されるため、
図８で参照されるように、ポッド１０のウエハ出し入れ
口が開放される。 【００３６】このクロージャ４０によるキャップ１０ａ
の開放に際して、四個の吸着具４６はキャップ１０ａに
同時に吸着してキャップ１０ａを強力に保持するため、
前後方向移動台３４によるクロージャ４０のベース２１
から離れる方向への移動によってキャップ１０ａを放す
ことなく確実に抜き出すことができる。また、四個の吸
着具４６はそれらを結んだ四本の線分によって形成され
る四角形の重心とキャップ１０ａの重心とが可及的に一
致するようにクロージャ４０の四箇所にそれぞれ配置さ
れているとともに、四個の吸着具４６はキャップ１０ａ
の中心を通る水平線および垂直線に対して線対称形にな
るように配置されていることにより、キャップ１０ａを
傾けることなく垂直の姿勢を維持するため、キャップ１
０ａをポッド１０のウエハ出し入れ口から真っ直ぐに抜
き出すことができるととも、キャップ１０ａを予め設定
された軌道から外すことなく待避位置に適正に搬送する
ことができる。なお、四個の吸着具４６は線対称形に配
置するに限らず、点対称形や四角形および平行四辺形に
なるように配置してもよい。 【００３７】ちなみに、四個の吸着具４６は一つの垂直
面を構成してキャップ１０ａに同時に吸着するため、キ
ャップ１０ａの垂直姿勢を確実に維持することができ
る。すなわち、クロージャ４０に水平に突設されてキャ
ップ１０ａに没設された位置決め穴に水平に嵌入するこ
とによってキャップ１０ａを支持して垂直姿勢を維持す
る支持ピンの補助が無くても、四個の吸着具４６はキャ
ップ１０ａの垂直姿勢を充分に維持することができる。 【００３８】以上のようにしてポッド１０のウエハ出し
入れ口が開放されると、図８に示されているように、マ
ッピング装置５３がロータリーアクチュエータ５０の作
動によって移動されて、ポッド１０の開口に挿入され
る。ポッド１０の開口に挿入されたマッピング装置５３
はポッド１０に収納された複数枚のウエハ９を検出する
ことによってマッピングする。ここで、マッピングとは
ポッド１０の中のウエハ９の所在位置（どのスリットに
ウエハ９があるのか。）を確認する作業のことである。
指定されたマッピング作業が終了すると、マッピング装
置５３はロータリーアクチュエータ５０の作動によって
元の待機位置に戻される。 【００３９】マッピング装置５３が待機位置に戻ると、
ウエハローディングポート１３で開放されたポッド１０
の複数枚のウエハ９はウエハ移載装置１５によって順次
引き出されてボート８に装填（チャージング）されて行
く。 【００４０】ウエハローディングポート１３に対するウ
エハ移載装置１５の移載作業が繰り返されることによっ
て、複数枚のウエハ９がポッド１０からボート８に移載
されて行く。この際、ボート８がバッチ処理するウエハ
９の枚数（例えば、二十五枚〜百五十枚）は一台のポッ
ド１０に収納されたウエハ９の枚数（例えば、二十五
枚）以上であるため、複数台のポッド１０がウエハロー
ディングポート１３にポッド搬送装置１４によって交互
に繰り返し供給されて開閉されることになる。 【００４１】予め指定された複数枚のウエハ９がポッド
１０からボート８に移載されると、ボート８はエレベー
タ７によって上昇されてプロセスチューブ４の処理室に
搬入（ボートローディング）される。ボート８が上限に
達すると、ボート８を保持したシールキャップの上面の
周辺部がプロセスチューブ４をシール状態に閉塞するた
め、処理室は気密に閉じられた状態になる。 【００４２】プロセスチューブ４の処理室が気密に閉じ
られた状態で、所定の真空度に排気管６によって真空排
気され、ヒータユニット３によって所定の温度に加熱さ
れ、所定の原料ガスがガス導入管５によって所定の流量
だけ供給される。これにより、所定の膜がウエハ９に形
成される。 【００４３】予め設定された処理時間が経過すると、ボ
ート８がエレベータ７によって下降されることにより、
処理済みウエハ９を保持したボート８が元の待機位置に
搬出（ボートアンローディング）される。なお、ボート
８のプロセスチューブ４の処理室への搬入搬出作業およ
び処理作業の間にウエハローディングポート１３におい
てはポッド１０の搬入搬出作業や準備作業が同時進行さ
れている。 【００４４】待機位置に搬出されたボート８の処理済み
ウエハ９はウエハ移載装置１５によって脱装（ディスチ
ャージング）され、ウエハローディングポート１３に予
め搬送されてキャップ１０ａを外されて開放された空の
ポッド１０に収納される。 【００４５】次いで、クロージャ４０に保持されて待避
されるキャップ１０ａがウエハ出入口２２の位置に左右
方向移動台３１によって戻され、前後方向移動台３４に
よってウエハ出入口２２に挿入されてポッド１０のウエ
ハ出し入れ口に嵌入される。この際も、前述と同様に、
四個の吸着具４６がキャップ１０ａを適正に保持するた
め、クロージャ４０はキャップ１０ａを安定して搬送
し、ポッド１０のウエハ出し入れ口に適正に嵌入させ
る。 【００４６】キャップ１０ａがポッド１０に所定の位置
まで嵌入されると、クロージャ４０の一対の解錠軸４
１、４１がエアシリンダ装置４５によって同時に回動さ
れ、キャップ１０ａの錠前が両解錠軸４１、４１に係合
した係合部４１ａによって施錠される。施錠が確認され
ると、情報読み書き装置６０はバッチ式ＣＶＤ装置１の
コントローラおよびホストコンピュータから送信されて
来る処理に関する情報をタグ６２に電磁波を介して書き
込む。この際、情報読み書き装置６０が載置台２７に設
置されていることにより、ポッド１０に付帯されたタグ
６２の真下において正対した状態になっているため、ポ
ッド１０がウエハ出入口２２に押し付けられたままの状
態であっても、情報読み書き装置６０はタグ６２に情報
を適正に書き込むことができる。 【００４７】続いて、四個の吸着具４６の吸込口部材４
７に正圧が図示しない給排気路を通じてそれぞれ供給さ
れ、四個の吸着具４６によるキャップ１０ａの吸着が解
除される。次いで、載置台２７がエアシリンダ装置２６
によってベース２１から離れる方向に移動され、ポッド
１０の開口側端面がベース２１の正面２１ａのパッキン
５４から離座される。ポッド１０がベース２１から離れ
る方向に移動すると、両解錠軸４１、４１はキャップ１
０ａの鍵穴から引き抜かれる。 【００４８】その後、処理済みのウエハ９が収納された
ポッド１０はポッド棚１２にポッド搬送装置１４によっ
て搬送されて一時的に保管される。 【００４９】以上の処理済みウエハ９のボート８からポ
ッド１０への移載作業の際も、ボート８がバッチ処理し
たウエハ９の枚数は一台の空のポッド１０に収納するウ
エハ９の枚数以上であるため、複数台のポッド１０がウ
エハローディングポート１３にポッド搬送装置１４によ
って繰り返し供給されて開閉されることになる。 【００５０】処理済みウエハ９を収納したポッド１０は
ポッド棚１２からポッドステージ１１へポッド搬送装置
１４によって搬送される。ポッドステージ１１に移載さ
れたポッド１０はポッド出し入れ口から筐体２の外部に
搬出されて、次工程へ搬送される。そして、新規のウエ
ハ９を収納したポッド１０が筐体２内のポッドステージ
１１にポッド出し入れ口から搬入される。 【００５１】なお、新旧ポッド１０のポッドステージ１
１への搬入搬出作業およびポッドステージ１１とポッド
棚１２との間の入替え作業はプロセスチューブ４におけ
るボート８の搬入搬出作業や成膜処理の間に同時進行さ
れるため、バッチ式ＣＶＤ装置１の全体としての作業時
間が延長されるのを防止することができる。 【００５２】以降、前述した作用が繰り返されてウエハ
９がバッチ式ＣＶＤ装置１によってバッチ処理されて行
く。 【００５３】前記実施の形態によれば、次の効果が得ら
れる。 【００５４】(1) ポッドオープナに情報読み書き装置を
設置することにより、ポッドオープナの載置台に載置さ
れたポッドのタグに対して読み書きすることができるた
め、バッチ式ＣＶＤ装置において必要な処理条件等の情
報をポッドから入手することができるとともに、バッチ
式ＣＶＤ装置のエラー等の実際の処理結果を履歴として
ポッドに記録することができる。 【００５５】(2) ポッドオープナの載置台に情報読み書
き装置を設置することにより、情報読み書き装置とポッ
ドオープナの載置台の上のポッドに付帯されたタグとの
位置関係を一定に維持することができるため、載置台が
前後のいずれの位置にあっても情報読み書き装置はタグ
に対して情報の読み書きを実行することができる。 【００５６】(3) 情報読み書き装置をポッドオープナの
載置台に設置することにより、情報読み書き装置の位置
を載置台の前後移動に追従させる移動装置を省略するこ
とができるため、バッチ式ＣＶＤ装置の製造コストおよ
びランニングコストを低減することができる。 【００５７】(4) バッチ式ＣＶＤ装置がユーザーに納入
された後に情報読み書き装置の読み書きのタイミングを
変更する必要が発生した場合であっても、情報読み書き
装置とポッドオープナの載置台との位置関係を一定に維
持することができるため、ソフトウエアの変更で済み、
迅速に対応することができ、バッチ式ＣＶＤ装置の稼働
時間を高めることができる。 【００５８】なお、本発明は前記実施の形態に限定され
るものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変
更が可能であることはいうまでもない。 【００５９】ウエハローディングポートは一段設定する
に限らず、上下二段や上中下三段のように二段以上設定
してもよい。 【００６０】マッピング装置をポッドに対して進退させ
る構造としてはロータリーアクチュエータを使用した構
成を採用するに限らず、ＸＹ軸ロボット等を使用した構
成を採用してもよい。また、マッピング装置は省略して
もよい。 【００６１】基板はウエハに限らず、ホトマスクやプリ
ント配線基板、液晶パネル、コンパクトディスク、光デ
ィスクおよび磁気ディスク等であってもよい。 【００６２】前記実施の形態ではバッチ式縦形拡散・Ｃ
ＶＤ装置の場合について説明したが、本発明はこれに限
らず、基板処理装置全般に適用することができる。 【００６３】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
基板収納容器に取り付けられた情報担持体に対して情報
を確実に読み書きすることができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】本発明の一実施の形態であるバッチ式ＣＶＤ装
置を示している一部省略斜視図である。 【図２】ポッドオープナを示す正面側から見た斜視図で
ある。 【図３】ポッドオープナを示す背面側から見た斜視図で
ある。 【図４】ポッドオープナのポッドの載置状態を示す一部
切断平面図である。 【図５】その一部切断側面図である。 【図６】ポッドオープナのポッドの開閉作動を示す平面
断面図である。 【図７】その側面断面図である。 【図８】マッピング時を示す平面断面図である。 【符号の説明】 １…バッチ式ＣＶＤ装置（基板処理装置）、２…筐体、
３…ヒータユニット、４…プロセスチューブ、５…ガス
導入管、６…排気管、７…エレベータ、８…ボート、９
…ウエハ（基板）、１０…ポッド（基板収納容器）、１
０ａ…キャップ、、１０ｂ…凹部、１１…ポッドステー
ジ、１２…ポッド棚、１３…ウエハローディングポー
ト、１４…ポッド搬送装置、１５…ウエハ移載装置、２
０…ポッドオープナ（開閉装置）、２１…ベース、２１
ａ…正面、２１ｂ…背面、２２…ウエハ出入口、２３…
支持台、２４…ガイドレール、２５…ガイドブロック、
２６…エアシリンダ装置、２７…載置台、２８…位置決
めピン、２９…ポッド押さえ具、２９ａ…ブラケット、
２９ｂ…ローラ、３０…ガイドレール、３１…左右方向
移動台、３２…エアシリンダ装置、３２ａ…ピストンロ
ッド、３３…ガイドレール、３４…前後方向移動台、３
５…ガイド孔、３６…ロータリーアクチュエータ、３７
…アーム、３８…ガイドローラ、３９…ブラケット、４
０…クロージャ、４０ａ…正面、４０ｂ…背面、４１…
解錠軸、４１ａ…係合部、４２…プーリー、４３…ベル
ト、４４…連結片、４５…エアシリンダ装置、４６…吸
着具、４７…吸込口部材、５０…ロータリーアクチュエ
ータ、５０ａ…回転軸、５１…アーム、５２…挿通孔、
５３…マッピング装置、５４、５５、５６…パッキン、
６０…情報読み書き装置、６１…ブラケット、６２…タ
グ（情報担持体）、６３…ブラケット。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 5F031 CA01 CA02 CA04 CA05 DA08 DA17 EA14 EA16 FA01 FA03 FA07 FA09 FA11 GA03 GA25 GA35 GA38 GA49 JA01 JA13 JA23 JA49 KA20 LA13 LA15 MA15 MA17 MA28 NA10 PA23

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 【請求項１】 基板収納容器を載置したまま移動させる
   載置台が基板収納容器のキャップを開閉する開閉装置に
   設置されており、この載置台には前記基板収納容器に収
   納された基板に関する情報を読み取りおよび書き込む情
   報読み書き手段が設置されていることを特徴とする基板
   処理装置。