JP2003086372A - 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 - Google Patents
有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法Info
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/10—OLED displays
- H10K59/12—Active-matrix OLED [AMOLED] displays
- H10K59/122—Pixel-defining structures or layers, e.g. banks
Abstract
(57)【要約】
【課題】 ポリパラフェニレンビニレンのような発光材
料をバンクで囲まれた画素領域に円滑に供給、塗布する
ことが可能な有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。 【解決手段】 透明な陽極を有する駆動基板上に主鎖に
シロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結合のシリ
コンの少なくとも一部にフルオロアルキル基が結合され
た構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを含む溶液を
塗布し、乾燥して感光性樹脂層を形成する工程と、感光性
樹脂層を露光、現像処理した後、ポストベークして有機
化合物層で表面が覆われた格子状のバンクを前記駆動基
板上に形成する工程と、格子状のバンクで区画された複
数の陽極上にインク状正孔輸送材料をインクジェットに
より供給し、正孔輸送層を形成する工程と、格子状のバン
クで区画された複数の正孔輸送層上にインク状発光材料
をインクジェットにより供給し、発光層を形成する工程
と、陰極を形成する工程とを含む。
料をバンクで囲まれた画素領域に円滑に供給、塗布する
ことが可能な有機ＥＬ素子の製造方法を提供する。 【解決手段】 透明な陽極を有する駆動基板上に主鎖に
シロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結合のシリ
コンの少なくとも一部にフルオロアルキル基が結合され
た構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを含む溶液を
塗布し、乾燥して感光性樹脂層を形成する工程と、感光性
樹脂層を露光、現像処理した後、ポストベークして有機
化合物層で表面が覆われた格子状のバンクを前記駆動基
板上に形成する工程と、格子状のバンクで区画された複
数の陽極上にインク状正孔輸送材料をインクジェットに
より供給し、正孔輸送層を形成する工程と、格子状のバン
クで区画された複数の正孔輸送層上にインク状発光材料
をインクジェットにより供給し、発光層を形成する工程
と、陰極を形成する工程とを含む。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ディスプレイ、表
示光源等に用いられる電気的発光素子である有機エレク
トロルミネッセンス（ＥＬ）素子の製造方法関する。
示光源等に用いられる電気的発光素子である有機エレク
トロルミネッセンス（ＥＬ）素子の製造方法関する。
【０００２】
【従来の技術】この種の有機ＥＬ素子は、透明な陽極が
形成された駆動基板と、この陽極上に複数の画素領域に
区画するように形成された格子状のバンクと、前記複数
の画素領域に露出された前記陽極上に形成された正孔輸
送層と、これら正孔輸送層上に前記バンクの上面より下
方に位置するように形成された有機化合物からなる発光
層と、この発光層を含む前記バンク上に形成された陰極
とを具備した構造を有する。
形成された駆動基板と、この陽極上に複数の画素領域に
区画するように形成された格子状のバンクと、前記複数
の画素領域に露出された前記陽極上に形成された正孔輸
送層と、これら正孔輸送層上に前記バンクの上面より下
方に位置するように形成された有機化合物からなる発光
層と、この発光層を含む前記バンク上に形成された陰極
とを具備した構造を有する。
【０００３】前述した従来の有機ＥＬ素子は、次のよう
な方法により製造されている。すなわち、駆動基板上に
感光性ポリイミドを塗布し、乾燥、露光、現像処理して格
子状のバンクを形成する。フッ素系ガスプラズマ処理を
施して堆積物である撥水撥油層を前記バンク上に形成す
る。つづいて、前記格子状のバンクで区画された複数の
画素領域に露出した前記陽極上にインク状の正孔輸送材
料をインクジェットにより供給した後、乾燥して正孔輸
送層を形成する。ひきつづき、前記格子状のバンクで区
画された複数の前記正孔輸送層上にインク状の発光材料
をインクジェットにより供給した後、乾燥して発光層を
形成する。この後、前記発光層を含む前記バンク上に陰
極を形成することにより前記構造の有機ＥＬ素子を製造
する。
な方法により製造されている。すなわち、駆動基板上に
感光性ポリイミドを塗布し、乾燥、露光、現像処理して格
子状のバンクを形成する。フッ素系ガスプラズマ処理を
施して堆積物である撥水撥油層を前記バンク上に形成す
る。つづいて、前記格子状のバンクで区画された複数の
画素領域に露出した前記陽極上にインク状の正孔輸送材
料をインクジェットにより供給した後、乾燥して正孔輸
送層を形成する。ひきつづき、前記格子状のバンクで区
画された複数の前記正孔輸送層上にインク状の発光材料
をインクジェットにより供給した後、乾燥して発光層を
形成する。この後、前記発光層を含む前記バンク上に陰
極を形成することにより前記構造の有機ＥＬ素子を製造
する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
た有機ＥＬ素子の製造において、前記撥水撥油層が上面
に形成された前記バンクは代表的な発光材料であるポリ
（パラフェニレンビニレン）［ＰＰＶ］の誘導体に対し
て撥油性を示さず、吸着する。その結果、前記バンクで囲
まれた画素領域にインクジェットにより十分な量の発光
材料を塗布することができないため、発光層を形成する
ことが困難になる。
た有機ＥＬ素子の製造において、前記撥水撥油層が上面
に形成された前記バンクは代表的な発光材料であるポリ
（パラフェニレンビニレン）［ＰＰＶ］の誘導体に対し
て撥油性を示さず、吸着する。その結果、前記バンクで囲
まれた画素領域にインクジェットにより十分な量の発光
材料を塗布することができないため、発光層を形成する
ことが困難になる。
【０００５】なお、前記バンク上面にポリテトラフルオ
ロエチレンのようなフッ素樹脂を被覆しても、このフッ
素樹脂層はＰＰＶの誘導体に対して撥油性を示さず、吸
着するために同様な問題を生じる。
ロエチレンのようなフッ素樹脂を被覆しても、このフッ
素樹脂層はＰＰＶの誘導体に対して撥油性を示さず、吸
着するために同様な問題を生じる。
【０００６】本発明は、ポリパラフェニレンビニレンの
ような発光材料に対して良好な撥油性を示すバンクを有
し、前記バンクで囲まれた画素領域に発光材料をインク
ジェットにより円滑に供給、塗布することが可能な有機
ＥＬ素子の製造方法を提供しようとするものである。
ような発光材料に対して良好な撥油性を示すバンクを有
し、前記バンクで囲まれた画素領域に発光材料をインク
ジェットにより円滑に供給、塗布することが可能な有機
ＥＬ素子の製造方法を提供しようとするものである。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明に係る有機ＥＬ素
子の製造方法は、透明な陽極を有する駆動基板上に主鎖
にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結合のシ
リコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基が結合さ
れた構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを含む混合
物の溶液を塗布し、乾燥して前記有機化合物を含む感光
性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層を露光、
現像処理した後、ポストベークを行うことにより、前記
有機化合物の層で表面が覆われた格子状のバンクを前記
駆動基板上に形成する工程と、前記格子状のバンクで区
画された複数の画素領域に露出した前記陽極上にインク
状の正孔輸送材料をインクジェットにより供給した後、
乾燥して正孔輸送層を形成する工程と、前記格子状のバ
ンクで区画された複数の前記正孔輸送層上にインク状の
発光材料をインクジェットにより供給した後、乾燥して
上面が前記バンク上面より下方に位置する発光層を形成
する工程と、前記発光層を含む前記バンク上に陰極を形
成する工程とを含むことを特徴とするものである。
子の製造方法は、透明な陽極を有する駆動基板上に主鎖
にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結合のシ
リコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基が結合さ
れた構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを含む混合
物の溶液を塗布し、乾燥して前記有機化合物を含む感光
性樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層を露光、
現像処理した後、ポストベークを行うことにより、前記
有機化合物の層で表面が覆われた格子状のバンクを前記
駆動基板上に形成する工程と、前記格子状のバンクで区
画された複数の画素領域に露出した前記陽極上にインク
状の正孔輸送材料をインクジェットにより供給した後、
乾燥して正孔輸送層を形成する工程と、前記格子状のバ
ンクで区画された複数の前記正孔輸送層上にインク状の
発光材料をインクジェットにより供給した後、乾燥して
上面が前記バンク上面より下方に位置する発光層を形成
する工程と、前記発光層を含む前記バンク上に陰極を形
成する工程とを含むことを特徴とするものである。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。
【０００９】（第１工程）透明な陽極を有する駆動基板
上に主鎖にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン
結合のシリコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基
が結合された構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを
含む混合物の溶液を塗布し、乾燥して前記有機化合物を
含む感光性樹脂層を形成する。
上に主鎖にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン
結合のシリコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基
が結合された構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを
含む混合物の溶液を塗布し、乾燥して前記有機化合物を
含む感光性樹脂層を形成する。
【００１０】前記駆動基板は、例えばガラス板上に薄膜
トランジスタ（ＴＦＴ）が形成され、このＴＦＴのソー
ス電極またはドレイン電極の一方に例えばＩＴＯからな
り、画素領域に延出する透明な陽極が接続された構造を
有する。
トランジスタ（ＴＦＴ）が形成され、このＴＦＴのソー
ス電極またはドレイン電極の一方に例えばＩＴＯからな
り、画素領域に延出する透明な陽極が接続された構造を
有する。
【００１１】前記有機化合物としては、例えば主鎖にシ
ロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）を有し、かつこのシロキサン
結合のシリコン（Ｓｉ）の一部にパーフルオロアルキル
基［−（ＣＦ2）nＣＦ3］が結合された例えば信越化学
社製のＸ２４−７８９０を挙げることができる。
ロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）を有し、かつこのシロキサン
結合のシリコン（Ｓｉ）の一部にパーフルオロアルキル
基［−（ＣＦ2）nＣＦ3］が結合された例えば信越化学
社製のＸ２４−７８９０を挙げることができる。
【００１２】前記感光性樹脂としては、フッ素系感光性
樹脂（例えばＪＳＲ社製商品名：ＪＥＭ１００５−０）
またはシリコン系感光性樹脂を用いることができる。
樹脂（例えばＪＳＲ社製商品名：ＪＥＭ１００５−０）
またはシリコン系感光性樹脂を用いることができる。
【００１３】前記有機化合物と感光性樹脂との混合割合
の溶液は、例えば有機化合物：０．１〜２重量％、感光
性樹脂としてベースポリマー：１５〜２５重量％、架橋
剤：１〜１０重量％、感光剤：１〜１０重量％、さらに
メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）のような有機溶
媒：６５〜７５重量％の割合で混合されていることが好
ましい。
の溶液は、例えば有機化合物：０．１〜２重量％、感光
性樹脂としてベースポリマー：１５〜２５重量％、架橋
剤：１〜１０重量％、感光剤：１〜１０重量％、さらに
メチルイソブチルケトン（ＭＩＢＫ）のような有機溶
媒：６５〜７５重量％の割合で混合されていることが好
ましい。
【００１４】（第２工程）前記感光性樹脂層を露光処理
し、必要に応じてソフトベークし、現像処理してバンク
状とした後、ポストベークを行う。このポストベークに
より前記感光性樹脂層中の主鎖にシロキサン結合を有
し、かつこのシロキサン結合のシリコンの少なくとも一
部にフルオロアルキル基を結合した構造を有する有機化
合物が表面に析出するため、前記有機化合物の層で表面
が覆われた格子状のバンクが前記駆動基板上に形成され
る。
し、必要に応じてソフトベークし、現像処理してバンク
状とした後、ポストベークを行う。このポストベークに
より前記感光性樹脂層中の主鎖にシロキサン結合を有
し、かつこのシロキサン結合のシリコンの少なくとも一
部にフルオロアルキル基を結合した構造を有する有機化
合物が表面に析出するため、前記有機化合物の層で表面
が覆われた格子状のバンクが前記駆動基板上に形成され
る。
【００１５】前記ポストベークは、例えば窒素のような
不活性ガス雰囲気中にて、２００〜２３０℃の温度で行
うことが好ましい。
不活性ガス雰囲気中にて、２００〜２３０℃の温度で行
うことが好ましい。
【００１６】前記現像処理後でポストベーク前に紫外線
を全面に照射することを許容する。このような紫外線照
射により、前記駆動基板の画素領域に位置する陽極上の
残渣が除去され、かつ酸化されて後述するインク状の正
孔輸送材料に対する濡れ性が向上されるとともに、陽極
自体の耐久性が向上される。
を全面に照射することを許容する。このような紫外線照
射により、前記駆動基板の画素領域に位置する陽極上の
残渣が除去され、かつ酸化されて後述するインク状の正
孔輸送材料に対する濡れ性が向上されるとともに、陽極
自体の耐久性が向上される。
【００１７】（第３工程）前記格子状のバンクで区画さ
れた複数の画素領域に露出された前記陽極上にインク状
の正孔輸送材料をインクジェットにより供給した後、乾
燥して正孔輸送層を形成する。
れた複数の画素領域に露出された前記陽極上にインク状
の正孔輸送材料をインクジェットにより供給した後、乾
燥して正孔輸送層を形成する。
【００１８】前記正孔輸送材料としては、例えばポリエ
チレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）およびポリス
チレンスルホン酸（ＰＳＳ）を含むバイエルン社製商品
名；バイトロンＰを用いることかできる。
チレンジオキシチオフェン（ＰＥＤＯＴ）およびポリス
チレンスルホン酸（ＰＳＳ）を含むバイエルン社製商品
名；バイトロンＰを用いることかできる。
【００１９】（第４工程）前記格子状のバンクで区画さ
れた複数の前記正孔輸送層上にインク状の発光材料をイ
ンクジェットにより供給した後、乾燥して上面が前記バ
ンク上面より下方に位置する発光層を形成する。つづい
て、前記発光層を含む前記バンク上に陰極を形成した
後、前記駆動基板と封止ガラスとを周辺に配置した枠状
のシール材を介して貼り合せることにより有機ＥＬ素子
を製造する。
れた複数の前記正孔輸送層上にインク状の発光材料をイ
ンクジェットにより供給した後、乾燥して上面が前記バ
ンク上面より下方に位置する発光層を形成する。つづい
て、前記発光層を含む前記バンク上に陰極を形成した
後、前記駆動基板と封止ガラスとを周辺に配置した枠状
のシール材を介して貼り合せることにより有機ＥＬ素子
を製造する。
【００２０】前記発光材料としては、例えばポリ（パラ
フェニレンビニレン）［ＰＰＶ］の誘導体からなる緑色
発光材料、ポリ（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］から
なる赤色発光材料、青色発光材料を用いることができ
る。
フェニレンビニレン）［ＰＰＶ］の誘導体からなる緑色
発光材料、ポリ（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］から
なる赤色発光材料、青色発光材料を用いることができ
る。
【００２１】以上説明した本発明は、透明な陽極を有す
る駆動基板上に主鎖にシロキサン結合を有し、かつこの
シロキサン結合のシリコンの少なくとも一部にフルオロ
アルキル基を結合した構造を有し、優れた撥水撥油性を
示す有機化合物層で表面が覆われた感光性樹脂からなる
格子状のバンクを形成する。このようなバンクで区画さ
れた複数の画素領域に露出した前記陽極上に正孔輸送層
を形成した後、インク状の発光材料、例えばＰＰＶの誘導
体からなる緑色発光材料等をインクジェットにより前記
正孔輸送層上に供給して塗布する際、前記バンクは優れ
た撥水撥油性を示す有機化合物層で表面が覆われている
ため、前記インク状のＰＰＶの誘導体からなる緑色発光
材料がそのバンク上部で吸着されるのを阻止できる。そ
の結果、前記発光材料をインクジェットにより前記バン
クで囲まれた正孔輸送層上に円滑に供給、塗布できるた
め、目的とする厚さを有する発光層を形成することがで
き、発光性能の優れた有機ＥＬ素子を製造することがで
きる。
る駆動基板上に主鎖にシロキサン結合を有し、かつこの
シロキサン結合のシリコンの少なくとも一部にフルオロ
アルキル基を結合した構造を有し、優れた撥水撥油性を
示す有機化合物層で表面が覆われた感光性樹脂からなる
格子状のバンクを形成する。このようなバンクで区画さ
れた複数の画素領域に露出した前記陽極上に正孔輸送層
を形成した後、インク状の発光材料、例えばＰＰＶの誘導
体からなる緑色発光材料等をインクジェットにより前記
正孔輸送層上に供給して塗布する際、前記バンクは優れ
た撥水撥油性を示す有機化合物層で表面が覆われている
ため、前記インク状のＰＰＶの誘導体からなる緑色発光
材料がそのバンク上部で吸着されるのを阻止できる。そ
の結果、前記発光材料をインクジェットにより前記バン
クで囲まれた正孔輸送層上に円滑に供給、塗布できるた
め、目的とする厚さを有する発光層を形成することがで
き、発光性能の優れた有機ＥＬ素子を製造することがで
きる。
【００２２】また、前記バンクは表面に優れた撥水撥油
性を示す有機化合物層が形成されているため、前記バン
クの形成過程等で水分を吸着したとしても、その水分が
その後に形成された発光層に拡散するのを前記有機化合
物層で阻止することができる。その結果、発光層が水分
により劣化されるのを防止することができる。
性を示す有機化合物層が形成されているため、前記バン
クの形成過程等で水分を吸着したとしても、その水分が
その後に形成された発光層に拡散するのを前記有機化合
物層で阻止することができる。その結果、発光層が水分
により劣化されるのを防止することができる。
【００２３】さらに、感光性樹脂としてフッ素系感光性
樹脂を用いればバンクの形成過程等で水分を吸着するの
を防止できるため、その後に形成される発光層の水分劣
化をより効果的に防止することができる。
樹脂を用いればバンクの形成過程等で水分を吸着するの
を防止できるため、その後に形成される発光層の水分劣
化をより効果的に防止することができる。
【００２４】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照して詳細
に説明する。
に説明する。
【００２５】（実施例１）まず、ガラス板１上に多結晶
シリコンを堆積した後、パターニングして複数の島状の
活性層２を形成した。これら活性層２を含む前記ガラス
板上に例えば酸化シリコンからなるゲート絶縁膜３を堆
積した後、ＭｏＴａ膜を堆積し、パターニングすること
により前記活性層２のチャンネル領域に対応する前記ゲ
ート絶縁膜３上にゲート電極４を形成した。これらゲー
ト電極４をマスクとして前記活性層２に砒素のようなｎ
型不純物をイオン注入し、活性化することにより互いに
電気的に分離されたｎ+型領域を前記活性層２に形成し
た。つづいて、前記ゲート電極４を含む全面にＣＶＤ法
により酸化シリコンからなる層間絶縁膜５を堆積した
後、全面にＩＴＯ膜を堆積し、パターニングすることによ
り矩形状をなし、かつ一端が後述する方法で形成される
ドレイン電極と接続され透明な陽極６を形成した。ひき
つづき、前記活性層２の各ｎ+型領域に対応する前記ゲ
ート絶縁膜３および層間絶縁膜５を選択的にエッチング
してコンタクトホール７，８を開口した。全面にＡｌ膜
を堆積し、パターンニグすることにより前記コンタクト
ホール７を通して前記活性層２のｎ+型領域に接続され
たソース電極９および前記コンタクトホール８を通して
前記活性層２のｎ+型領域に接続され、かつ前記陽極６の
一端に接続されたドレイン電極１０を形成した。この
後、全面にＳｉＮからなるパッシベーション膜を堆積し
た後、このパッシベーション膜をパターニングして格子
状のパッシベーション膜１１を形成した（図１の（ａ）
図示）。この工程により前記格子状のパッシベーション
膜１１で囲まれた複数の矩形状の画素領域が形成される
とともに、それら画素領域に前記陽極６が露出された。
また、このような工程により駆動基板１２が作製され
た。
シリコンを堆積した後、パターニングして複数の島状の
活性層２を形成した。これら活性層２を含む前記ガラス
板上に例えば酸化シリコンからなるゲート絶縁膜３を堆
積した後、ＭｏＴａ膜を堆積し、パターニングすること
により前記活性層２のチャンネル領域に対応する前記ゲ
ート絶縁膜３上にゲート電極４を形成した。これらゲー
ト電極４をマスクとして前記活性層２に砒素のようなｎ
型不純物をイオン注入し、活性化することにより互いに
電気的に分離されたｎ+型領域を前記活性層２に形成し
た。つづいて、前記ゲート電極４を含む全面にＣＶＤ法
により酸化シリコンからなる層間絶縁膜５を堆積した
後、全面にＩＴＯ膜を堆積し、パターニングすることによ
り矩形状をなし、かつ一端が後述する方法で形成される
ドレイン電極と接続され透明な陽極６を形成した。ひき
つづき、前記活性層２の各ｎ+型領域に対応する前記ゲ
ート絶縁膜３および層間絶縁膜５を選択的にエッチング
してコンタクトホール７，８を開口した。全面にＡｌ膜
を堆積し、パターンニグすることにより前記コンタクト
ホール７を通して前記活性層２のｎ+型領域に接続され
たソース電極９および前記コンタクトホール８を通して
前記活性層２のｎ+型領域に接続され、かつ前記陽極６の
一端に接続されたドレイン電極１０を形成した。この
後、全面にＳｉＮからなるパッシベーション膜を堆積し
た後、このパッシベーション膜をパターニングして格子
状のパッシベーション膜１１を形成した（図１の（ａ）
図示）。この工程により前記格子状のパッシベーション
膜１１で囲まれた複数の矩形状の画素領域が形成される
とともに、それら画素領域に前記陽極６が露出された。
また、このような工程により駆動基板１２が作製され
た。
【００２６】次いで、フッ素系感光性樹脂（ＪＳＲ社製
商品名：ＪＥＭ１００５−０）と主鎖にシロキサン結合
（Ｓｉ−Ｏ）を有し、かつこのシロキサン結合のシリコ
ン（Ｓｉ）の一部にパーフルオロアルキル基［−（ＣＦ
2）nＣＦ3］が結合された構造の有機化合物（信越化学
社製商品名：Ｘ２４−７８９０）とを重量で３０：１の
割合で有機溶剤であるメチルイソブチルケトン（ＭＩＢ
Ｋ）に溶解して濃度が２５重量％の溶液を調製した。こ
の溶液を前記駆動基板１２の全面に厚さ１．５μｍに塗
布した後、１００℃、２分間のソフトベークを行うことに
より図１の（ｂ）に示すように感光性樹脂層１３を形成
した。つづいて、この感光性樹脂層１４にｉ線を２００
ｍＪの条件で露光し、１００℃で２分間ベークした後、
０．５％濃度のトリメチルアンモニウムヒドロキシド
（ＴＭＡＨ）水溶液で２分間現像することにより、前記
駆動基板１２のパッシベーション膜１１上に格子状のバ
ンク１４を形成した。ひきつづき、全面に波長１７２ｎ
ｍの紫外線を２分間照射し、窒素雰囲気中、２２０℃で６
０分間ポストベークした。この紫外線照射により前記駆
動基板１２の画素領域に露出した陽極６上の残渣が除去
されるとともに、酸化されてその陽極６表面の濡れ性が
向上された。また、前記ポストベークによりバンク１４
を構成する信越化学社製商品名：Ｘ２４−７８９０から
なる有機化合物が表面に析出するため、バンク１４表面
が優れた撥水撥油性を示す前記有機化合物層（図示せ
ず）で覆われた（図１の（ｃ）図示）。
商品名：ＪＥＭ１００５−０）と主鎖にシロキサン結合
（Ｓｉ−Ｏ）を有し、かつこのシロキサン結合のシリコ
ン（Ｓｉ）の一部にパーフルオロアルキル基［−（ＣＦ
2）nＣＦ3］が結合された構造の有機化合物（信越化学
社製商品名：Ｘ２４−７８９０）とを重量で３０：１の
割合で有機溶剤であるメチルイソブチルケトン（ＭＩＢ
Ｋ）に溶解して濃度が２５重量％の溶液を調製した。こ
の溶液を前記駆動基板１２の全面に厚さ１．５μｍに塗
布した後、１００℃、２分間のソフトベークを行うことに
より図１の（ｂ）に示すように感光性樹脂層１３を形成
した。つづいて、この感光性樹脂層１４にｉ線を２００
ｍＪの条件で露光し、１００℃で２分間ベークした後、
０．５％濃度のトリメチルアンモニウムヒドロキシド
（ＴＭＡＨ）水溶液で２分間現像することにより、前記
駆動基板１２のパッシベーション膜１１上に格子状のバ
ンク１４を形成した。ひきつづき、全面に波長１７２ｎ
ｍの紫外線を２分間照射し、窒素雰囲気中、２２０℃で６
０分間ポストベークした。この紫外線照射により前記駆
動基板１２の画素領域に露出した陽極６上の残渣が除去
されるとともに、酸化されてその陽極６表面の濡れ性が
向上された。また、前記ポストベークによりバンク１４
を構成する信越化学社製商品名：Ｘ２４−７８９０から
なる有機化合物が表面に析出するため、バンク１４表面
が優れた撥水撥油性を示す前記有機化合物層（図示せ
ず）で覆われた（図１の（ｃ）図示）。
【００２７】次いで、ポリエチレンジオキシチオフェン
（ＰＥＤＯＴ）およびポリスチレンスルホン酸（ＰＳ
Ｓ）を含む正孔輸送材料（バイエルン社製商品名；バイ
トロンＰ）をインクジェット法により前記格子状のバン
ク１４が形成された駆動基板１２上に供給した。このと
き、前記インク状正孔輸送材料は前記格子状のバンク１
４上面に吸着されることなく、そのバンク１４で区画さ
れた複数の画素領域に露出された前記陽極６上に供給さ
れて塗布膜がそれぞれ形成された。つづいて、この塗布
膜を２００℃で１５分間乾燥することにより図２の
（ｄ）に示すように前記陽極６上に正孔輸送層１５を形
成した。
（ＰＥＤＯＴ）およびポリスチレンスルホン酸（ＰＳ
Ｓ）を含む正孔輸送材料（バイエルン社製商品名；バイ
トロンＰ）をインクジェット法により前記格子状のバン
ク１４が形成された駆動基板１２上に供給した。このと
き、前記インク状正孔輸送材料は前記格子状のバンク１
４上面に吸着されることなく、そのバンク１４で区画さ
れた複数の画素領域に露出された前記陽極６上に供給さ
れて塗布膜がそれぞれ形成された。つづいて、この塗布
膜を２００℃で１５分間乾燥することにより図２の
（ｄ）に示すように前記陽極６上に正孔輸送層１５を形
成した。
【００２８】次いで、ポリ（パラフェニレンビニレン）
［ＰＰＶ］の誘導体をキシレンのような芳香族系溶媒に
溶解してインク状緑色発光材料を調製した。また、ポリ
（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］をキシレンのような
芳香族系溶媒に溶解してインク状赤色発光材料を調製し
た。さらに、ポリ（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］を
キシレンのような芳香族系溶媒に溶解してインク状青色
発光材料を調製した。つづいて、インク状赤色発光材
料、インク状緑色発光材料およびインク状青色発光材料
をそれぞれインクジェット法により前記格子状のバンク
１４で区画された複数の画素領域に露出された前記正孔
輸送層１５上に例えば赤色発光層（Ｒ），緑色発光層
（Ｇ），青色発光層（Ｂ）の配列になるように供給し
た。このとき、前記バンク１４は優れた撥水撥油性を示
す有機化合物層で表面が覆われているため、前記インク
状赤色発光材料、インク状緑色発光材料およびインク状
青色発光材料（特にＰＰＶ誘導体が溶解されたインク状
緑色発光材料）がそのバンク１４上部で吸着されるのを
阻止され、前記バンク１４で囲まれた正孔輸送層１５上
にそれぞれ円滑に供給、塗布された。その後乾燥するこ
とにより、図２の（ｅ）に示すように上面が前記バンク
１４上面より下方に位置する赤色発光層１６，緑色発光
層１７および青色発光層１８を前記各正孔輸送層１５上
にそれぞれ形成した。
［ＰＰＶ］の誘導体をキシレンのような芳香族系溶媒に
溶解してインク状緑色発光材料を調製した。また、ポリ
（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］をキシレンのような
芳香族系溶媒に溶解してインク状赤色発光材料を調製し
た。さらに、ポリ（ジアルキルフルオレン）［ＰＦ］を
キシレンのような芳香族系溶媒に溶解してインク状青色
発光材料を調製した。つづいて、インク状赤色発光材
料、インク状緑色発光材料およびインク状青色発光材料
をそれぞれインクジェット法により前記格子状のバンク
１４で区画された複数の画素領域に露出された前記正孔
輸送層１５上に例えば赤色発光層（Ｒ），緑色発光層
（Ｇ），青色発光層（Ｂ）の配列になるように供給し
た。このとき、前記バンク１４は優れた撥水撥油性を示
す有機化合物層で表面が覆われているため、前記インク
状赤色発光材料、インク状緑色発光材料およびインク状
青色発光材料（特にＰＰＶ誘導体が溶解されたインク状
緑色発光材料）がそのバンク１４上部で吸着されるのを
阻止され、前記バンク１４で囲まれた正孔輸送層１５上
にそれぞれ円滑に供給、塗布された。その後乾燥するこ
とにより、図２の（ｅ）に示すように上面が前記バンク
１４上面より下方に位置する赤色発光層１６，緑色発光
層１７および青色発光層１８を前記各正孔輸送層１５上
にそれぞれ形成した。
【００２９】次いで、図２の（ｆ）に示すように前記発
光層１６，１７，１８を含む前記バンク１４上にバリウ
ムまたはカルシウムの層１９を蒸着により形成した後、
Ａｌ膜またはＡｇ膜を堆積することにより陰極２０を形
成した。この後、前記駆動基板１２に封止ガラス（図示
せず）を所望の隙間をあけて対向配置し、これら部材間
の周辺に配置した枠状のシール材を介して貼り合せるこ
とによりフルカラー有機ＥＬ素子を製造した。
光層１６，１７，１８を含む前記バンク１４上にバリウ
ムまたはカルシウムの層１９を蒸着により形成した後、
Ａｌ膜またはＡｇ膜を堆積することにより陰極２０を形
成した。この後、前記駆動基板１２に封止ガラス（図示
せず）を所望の隙間をあけて対向配置し、これら部材間
の周辺に配置した枠状のシール材を介して貼り合せるこ
とによりフルカラー有機ＥＬ素子を製造した。
【００３０】このような実施例１によれば、赤色発光層
１６，緑色発光層１７および青色発光層１８を形成する
工程においてインク状赤色発光材料、インク状緑色発光
材料およびインク状青色発光材料をインクジェットによ
りバンク１４で囲まれた正孔輸送層１５上に円滑に供
給、塗布できるため、目的とする厚さを有する発光層１
６，１７，１８を形成することができ、発光性能の優れ
たフルカラー有機ＥＬ素子を製造できた。
１６，緑色発光層１７および青色発光層１８を形成する
工程においてインク状赤色発光材料、インク状緑色発光
材料およびインク状青色発光材料をインクジェットによ
りバンク１４で囲まれた正孔輸送層１５上に円滑に供
給、塗布できるため、目的とする厚さを有する発光層１
６，１７，１８を形成することができ、発光性能の優れ
たフルカラー有機ＥＬ素子を製造できた。
【００３１】また、得られたフルカラー有機ＥＬ素子は
その製造後において、前記バンク１４から前記発光層１
６，１７，１８への水分拡散に起因する発光層の経時的
劣化が認められなかった。これは、前記バンク１４表面
が主鎖にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結
合のシリコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基を
結合した構造を有し、優れた撥水撥油性を示す有機化合
物層で覆われているためである。
その製造後において、前記バンク１４から前記発光層１
６，１７，１８への水分拡散に起因する発光層の経時的
劣化が認められなかった。これは、前記バンク１４表面
が主鎖にシロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結
合のシリコンの少なくとも一部にフルオロアルキル基を
結合した構造を有し、優れた撥水撥油性を示す有機化合
物層で覆われているためである。
【００３２】なお、実施例１では感光性樹脂としてフッ
素系感光性樹脂を用いたが、シリコン系感光性樹脂を用
いても実施例１と同様な優れた発光特性を有するフルカ
ラー有機ＥＬを製造することができる。
素系感光性樹脂を用いたが、シリコン系感光性樹脂を用
いても実施例１と同様な優れた発光特性を有するフルカ
ラー有機ＥＬを製造することができる。
【００３３】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、ポ
リパラフェニレンビニレンのような発光材料に対して良
好な撥油性を示すバンクを有し、インクジェットにより
前記発光材料を前記バンクで囲まれた画素領域に円滑に
供給、塗布することができるため、発光特性の優れたディ
スプレイ、表示光源等に有用な有機ＥＬ素子の製造方法
を提供することができる。
リパラフェニレンビニレンのような発光材料に対して良
好な撥油性を示すバンクを有し、インクジェットにより
前記発光材料を前記バンクで囲まれた画素領域に円滑に
供給、塗布することができるため、発光特性の優れたディ
スプレイ、表示光源等に有用な有機ＥＬ素子の製造方法
を提供することができる。
【図１】本発明の実施例１におけるフルカラー有機ＥＬ
素子の製造工程を示す断面図。
素子の製造工程を示す断面図。
【図２】本発明の実施例１におけるフルカラー有機ＥＬ
素子の製造工程を示す断面図。
素子の製造工程を示す断面図。
１…ガラス板、
２…活性層、
４…ゲート電極、
６…陽極、
１１…パッシベーション膜、
１２…駆動基板、
１４…バンク、
１５…正孔輸送層、
１６，１７，１８…発光層、
２０…陰極。
フロントページの続き
(51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考）
Ｈ０５Ｂ 33/14 Ｈ０５Ｂ 33/14 Ａ
33/22 33/22 Ｚ
(72)発明者 戸野谷 純一
神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株
式会社東芝生産技術センター内
(72)発明者 斉藤 誠
神奈川県横浜市磯子区新磯子町33番地 株
式会社東芝生産技術センター内
Ｆターム(参考） 3K007 AB04 AB11 AB17 AB18 BA06
BB07 CA01 CB01 DA01 DB03
EB00 FA01
5C094 AA08 AA31 AA43 AA48 BA03
BA12 BA27 CA19 CA24 DA09
DA13 DB01 DB04 EA04 EA05
EB02 FA01 FA02 FB01 FB15
FB20 GB10
5G435 AA04 AA14 AA17 BB05 CC09
CC12 EE37 HH01 HH14 HH20
KK05
Claims (4)
- 【請求項１】 透明な陽極を有する駆動基板上に主鎖に
シロキサン結合を有し、かつこのシロキサン結合のシリ
コンの少なくとも一部にフルオロアルキル基が結合され
た構造を有する有機化合物と感光性樹脂とを含む混合物
の溶液を塗布し、乾燥して前記有機化合物を含む感光性
樹脂層を形成する工程と、前記感光性樹脂層を露光、現
像処理した後、ポストベークを行うことにより、前記有
機化合物の層で表面が覆われた格子状のバンクを前記駆
動基板上に形成する工程と、前記格子状のバンクで区画
された複数の画素領域に露出した前記陽極上にインク状
の正孔輸送材料をインクジェットにより供給した後、乾
燥して正孔輸送層を形成する工程と、前記格子状のバン
クで区画された複数の前記正孔輸送層上にインク状の発
光材料をインクジェットにより供給した後、乾燥して上
面が前記バンク上面より下方に位置する発光層を形成す
る工程と、 前記発光層を含む前記バンク上に陰極を形成する工程と
を含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス
素子の製造方法。 - 【請求項２】 前記感光性樹脂は、フッ素系感光性樹脂
であることを特徴とする請求項１記載の有機エレクトロ
ルミネッセンス素子の製造方法。 - 【請求項３】 前記感光性樹脂は、シリコン系感光性樹
脂であることを特徴とする請求項１記載の有機エレクト
ロルミネッセンス素子の製造方法。 - 【請求項４】 前記現像処理後で前記ポストベーク前に
紫外線を照射することを特徴とする請求項１記載の有機
エレクトロルミネッセンス素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273977A JP2003086372A (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001273977A JP2003086372A (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003086372A true JP2003086372A (ja) | 2003-03-20 |
Family
ID=19099104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001273977A Pending JP2003086372A (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 有機エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2003086372A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008244447A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-10-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 絶縁膜の作製方法及び半導体装置の作製方法 |
| EP2077698A4 (en) * | 2007-05-31 | 2009-09-09 | Panasonic Corp | ORGANIC EL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| US7990047B2 (en) | 2005-10-28 | 2011-08-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
-
2001
- 2001-09-10 JP JP2001273977A patent/JP2003086372A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7990047B2 (en) | 2005-10-28 | 2011-08-02 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Organic light emitting diode display and method of manufacturing the same |
| JP2008244447A (ja) * | 2007-02-26 | 2008-10-09 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 絶縁膜の作製方法及び半導体装置の作製方法 |
| EP2077698A4 (en) * | 2007-05-31 | 2009-09-09 | Panasonic Corp | ORGANIC EL DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREFOR |
| EP2141964A1 (en) * | 2007-05-31 | 2010-01-06 | Panasonic Corporation | Organic EL element and manufacturing method thereof |
| US7710029B2 (en) | 2007-05-31 | 2010-05-04 | Panasonic Corporation | Organic EL element including banks containing fluorine resin and manufacturing method thereof |
| US7781963B2 (en) | 2007-05-31 | 2010-08-24 | Panasonic Corporation | Organic EL display panel with banks containing fluorine resin and manufacturing method thereof |
| US8008860B2 (en) | 2007-05-31 | 2011-08-30 | Panasonic Corporation | Organic EL element with forward tapered bank containing fluorine resin |
| US8217573B2 (en) | 2007-05-31 | 2012-07-10 | Panasonic Corporation | Organic EL element having forward tapered banks containing fluorine resin and manufacturing method thereof |
| US8330359B2 (en) | 2007-05-31 | 2012-12-11 | Panasonic Corporation | Organic EL element and manufacturing method thereof |
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