JP2003083923A - 欠陥検査方法およびその装置 - Google Patents
欠陥検査方法およびその装置Info
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Abstract
部欠陥を検出するとともに、欠陥部位に関わる情報を定
量的に検出することのできる欠陥検査方法およびその装
置を提供する。 【解決手段】欠陥制御装置10の加熱制御手段11によ
り、加熱装置17に周期的な熱波動を与える。加熱装置
17は、被検査体に加熱・加熱停止を繰り返す。温度計
測器19は、被検査体の表面温度を時系列で計測し、計
測データを欠陥検査制御装置10のデータ記録手段13
に出力する。出力を受けたデータ記録手段13が記録し
た計測データは、欠陥判断手段によって内部欠陥か否か
の判定を行い、その結果を、例えば画像データとして出
力する。前記熱波動の周期を変更して、計測を繰り返す
ことにより、被検査体における内部欠陥を定量的に検出
することができる。
Description
熱伝導性材料から構成された被検査体における内部欠陥
を検出する方法およびその装置に関するものである。
浮きや剥離などの内部欠陥を調べる方法として、サーモ
グラフィ法が知られている。この従来のサーモグラフィ
法では、コンクリート構造物などに熱負荷を与えたとき
に発生するコンクリート表面の局所的な温度変化領域を
赤外線サーモグラフィで計測し、計測データを画像とし
て出力して内部欠陥の検査を行う。すなわち、出力され
た画像は計測した赤外線強度の分布を表現しており、欠
陥部位と健全部位の赤外線強度のコントラスト差によっ
て内部欠陥の検出を行うことができる。
は、内部欠陥の有無しか検出できず、欠陥部位の深さ、
厚さまたは大きさ等のような、定量的な情報を得ること
ができない。また、断熱温度場計測のみに基づいて欠陥
の検出を行うため、ハニカム、人工き裂およびコールド
ジョイント等のように、断熱効果が小さい内部欠陥の検
出には適しておらす、精度の高い検出を行うことができ
ない。
になされたものであり、コンクリート構造物などの低熱
伝導性材料から構成された被検査体の内部欠陥を検出す
るとともに、その欠陥部位の深さや形状などの情報を定
量的かつ高精度に検出することのできる欠陥検査方法お
よびその装置を提供することを目的とする。
の発明にかかる欠陥検査方法においては、被検査体の表
面に対し計測領域全面にわたり同時に加熱を行い、少な
くとも前記加熱を停止した後の加熱停止期間において、
前記計測領域の各単位領域について、表面温度の時間変
化を計測し、各単位領域における表面温度の時間変化に
関する前記各単位領域間の相対的相違に基づいて、当該
被検査体における欠陥を見いだすことを特徴としてい
る。
検査体の表面反射熱を考慮した計測を行うことができ
る。すなわち、加熱停止期間である冷却過程において計
測を行うため、より正確な被検査体の表面温度を計測す
ることができる。これにより、各単位領域間の表面温度
の相対的相違を、被検査体における欠陥として正確に検
出することができる。
ては、被検査体は、低熱伝導性材料から構成されたもの
であることを特徴としている。
性の低い複合材料などの欠陥検査に適用することができ
る。また、低熱伝導性により温度変動が緩やかであるた
め、計測する回数を減らすことができる。例えば、連続
した複数の計測領域を計測する場合であっても、各計測
領域毎に順番に加熱と計測を行うことにより、計測効率
を向上させることができる。
ては、各単位領域における表面温度の時間変化に関する
前記各単位領域間の相対的相違に基づいて、当該被検査
体における欠陥の位置を特定することを特徴としてい
る。
表現することにより、正確な欠陥位置を特定することが
できる。
ては、各単位領域における表面温度の時間変化に関する
前記各単位領域間の相対的相違を、視覚的に認識可能な
画像として提示することを特徴としている。
成単位に対応させることにより、測定領域全体を画像デ
ータとして出力することができ、視覚的に欠陥位置の特
定を行うことができる。例えば、各単位領域間の相対的
相違は、画像データ上においてコントラスト差として表
現することができる。
ては、相対的相違は、各単位領域における表面温度の時
間変化による波形および所定の波形における特徴量の比
較に基づいて決定されることを特徴としている。
含まれていても、所定の波形を参照することにより、高
精度な欠陥検出を行うことができる。例えば、コンクリ
ート構造物のような被検査体の場合、すす、遊離石灰な
どのコンクリート表面の汚れ、日射または反射などによ
って外乱データが生じるおそれがあり、所定の波形と比
較することで外乱か否かの判断を行うことができる。
ては、特徴量の比較は、各単位領域における表面温度の
時間変化による波形と所定の波形との両波形の相関を示
す特定値、または、両波形の位相の差に基づいて行うこ
とを特徴としている。
陥に関する情報をその比較結果の度合いに応じた定量的
な値として取得することができる。すなわち、波形の示
す様々な指標を特徴量として利用することにより正確な
欠陥検査を行うことができる。
ては、加熱と加熱停止を所定期間で行うとともに、前記
所定期間を変更して計測し、各単位領域間の相対的な温
度変化の相違が顕著となった所定期間に基づいて欠陥の
深さを推定することを特徴としている。
度よく推定することができる。また、前記所定期間を変
更して計測を繰り返すことにより、内部欠陥の深さをよ
り正確に推定することができる。さらに、内部欠陥の大
きさや厚さも同時に推定することができる。
ては、予め欠陥の深さと所定期間とを対応付けたテーブ
ルに基づいて、欠陥の深さを推定することを特徴として
いる。
のより正確な深さを推定することができる。これによ
り、計測回数の削減を図ることができ検査効率を向上さ
せることができる。
おいては、被検査体の表面に対し計測領域全面にわたり
同時に加熱を行う加熱装置に対して加熱開始指令を行う
加熱制御手段と、加熱停止後における温度計測器からの
データを入力して各単位領域の温度データとして記録す
るデータ記録手段と、記録された温度データに基づい
て、各単位領域における表面温度の時間変化に関する前
記各単位領域間の相対的相違を検出して、被検査体にお
ける欠陥を判断する欠陥判断手段と、を備えたことを特
徴としている。
検査体の表面反射熱を考慮した計測を行うことができ
る。すなわち、加熱停止期間である冷却過程において計
測を行うため、より正確な被検査体の表面温度を計測す
ることができる。これにより、被検査体の欠陥を正確に
検出することができる。
いては、被検査体の表面に対し計測領域全面にわたり同
時に加熱を行う加熱装置に対して加熱開始指令を行う加
熱制御手段と、加熱停止後における温度計測器からのデ
ータを入力して各単位領域の温度データとして記録する
データ記録手段と、を備えたことを特徴としている。
検査体の表面反射熱を考慮した計測を行うことができ
る。すなわち、加熱停止期間である冷却過程において計
測を行うため、より正確に被検査体の表面温度を計測す
ることができる。
ては、被検査体の表面の加熱停止後において記録された
計測領域の各単位領域の温度データに基づいて、各単位
領域における表面温度の時間変化に関する前記各単位領
域間の相対的相違を検出し被検査体における欠陥を判断
する欠陥判断手段、を備えたことを特徴としている。
データに基づいて、欠陥を正確に検出することができ
る。
ついて図面を参照して説明する。
内部には波動状の熱移動が生じ、物体の表面温度も一定
の周期・振幅で変動する。もし、物体中に欠陥が存在す
れば、波動状に変動する表面温度分布にも欠陥の影響が
表れる。本実施形態においては、このような一定周期の
表面温度変動を時系列で計測し、計測データと所定の波
形との相関処理に基づいて欠陥の同定を行う方法につい
て説明する。
計測データと与えた熱負荷と同周期の参照波形とを同期
させることによって行い、各単位領域における参照波形
との位相の遅れ値の差(位相差)を相関データとして出
力する。すなわち、位相差が生じている単位領域が、内
部欠陥の存在する部位を表している。したがって、前記
相関データを視覚的に認識しやすい画像データに変換
し、内部欠陥の存在する部位を画像データ上にコントラ
スト差として表示させることで欠陥検査を行うことがで
きる。
を機能ブロック図で示す。この図において、欠陥検査制
御装置10は、加熱装置17に対して加熱・加熱停止を
制御する加熱制御手段11と、温度計測器19が計測し
た被検査体の表面温度の計測データを入力して記録する
データ記録手段13と、データ記録手段13に記録され
た計測データを読み出して所定の参照波形との特徴量の
比較を行い内部欠陥を判断する欠陥判断手段15を備え
ている。
を示す。被検査体20は、内部欠陥の検査を行うコンク
リート壁を示している。被検査体20に対向して、この
被検査体20に熱負荷を与えるヒーター21を設置す
る。なお、ヒーター21は、被検査体20に対して均質
な熱負荷を与えるため、熱負荷の出力を調整することの
できるリレー装置25に接続されている。リレー装置2
5を設けることにより、ヒーター21の中心部における
照射量を調整し、被検査体20の中心部が周辺部に比べ
て高温にならないようにしている。
びコンピュータ装置29に接続されており、コンピュー
タ装置29から受けた加熱開始指令に基づいて、リレー
装置25を制御するための信号を発生する。
て設置されるとともに、コンピュータ装置29に接続さ
れており、被検査体1の表面温度を時系列で計測し、こ
の計測データをコンピュータ装置29に出力する。
装置29は、データ記録手段13によって計測データを
記録し、欠陥判断手段15によって被検査体20の内部
欠陥を判断して画像出力を行う。
0は、コンピュータ装置29および信号発生装置27に
よって実現される。加熱装置17は、ヒーター17およ
びリレー装置25によって実現される。温度計測器19
は、赤外線カメラ23によって実現される。
構成図 図3に、コンピュータ装置29のハードウェア構成図を
示す。この装置は、CPU30、メモリ31、ディスプ
レイ33、ハードディスク35(記憶装置)、キーボー
ド/マウス37、通信回路39、を備えている。
ための回路である。ハードディスク35には、欠陥判断
のためのプログラム、参照波形および画像表示のための
プログラムなどが記録されている。
チャート 図4に、欠陥検査を行う場合の欠陥検査制御装置10に
おけるフローチャートを示す。まず、欠陥検査制御装置
10において、コンピュータ装置29のCPU30は、
信号発生装置27に対して、予め設定された加熱条件を
出力する(ステップS401)。ここで加熱条件とは、
被検査体20に熱負荷を与える時間およびその繰り返し
回数を与えるものである。なお、振幅は一定値とし、デ
ューティサイクルは50%としている。
に与えられた後、波形信号に変換されてリレー装置25
に出力される。リレー装置25は、入力した波形信号に
基づいてヒーター21を作動させる。これにより、所定
の加熱条件で被検査体20に熱負荷を与える。
つ、赤外線カメラ23を用いて、特に加熱停止期間にお
ける被検査体20の表面温度を計測する。
に出力する加熱制御のための信号40および、この信号
40に基づいて加熱された被検査体20の表面における
温度変動曲線41の関係を示す。すなわち、図4aに示
す計測期間45における温度変動データを計測する。
タ装置29に出力され、ハードディスク35等に記録さ
れる(ステップS402)。この計測処理を所定時間毎
に繰り返すことにより、加熱停止期間における、計測時
刻毎の表面温度変動の計測データを取得する。なお、計
測データは、被検査体20における測定領域の各単位領
域毎の表面温度データである。
行った後、計測を終了する(ステップS403)。な
お、本実施形態においては、加熱・加熱停止を行う繰り
返し回数を1回としている。
のCPU30は、計測データの解析処理を行う(ステッ
プS404)。
である。ここで、被検査体20における測定領域の各単
位領域毎の表面温度データをKで表し、時刻t、単位領
域iにおける温度をKtiとする。CPU30は、このK
tiを各領域毎にハードディスク35から呼び出し、メモ
リ31に記憶する(ステップS501)。
tをハードディスク35から呼び出す(ステップS50
2)。なお、前記参照波形Rtは、被検査体20に与え
られた熱負荷と同じ周期を持ったアナログ信号である。
照波形Rtとの位相差Ptiを算出する(ステップS50
3)。以下に、位相差Ptiの算出過程を示す。
に変換した後、同じ周波数をもつsin波およびcos
波のデジタルデータSin(t)およびCos(t)を生成
する。
tiによって決定されるデジタル信号V(t)と、参照波形
Sin(t)およびCos(t)の間で、次式の演算処理を
行う。
動振幅を表し、ΔVcosは、参照波形と90度位相がず
れたcos波に同期する赤外線強度の変動振幅を表す。
なお,Nは信号処理における取り込みフレーム数であ
る。
に一致している場合には、ΔVcosは0となる。熱拡散
などの影響により、表面温度変動が、変動熱負荷の位相
からずれる場合には、ΔVcosの成分が表れる。この場
合には、次式により温度変動振幅の絶対値ΔVおよび位
相遅れθを求めることができる。
波形Rtとの位相差Pt iと定義する。
差を求めるため、iに1を加算してi+1とする(ステ
ップS504)。さらに、iが全領域数Iを越えるまで
(ステップS505,YES)、ステップS501〜5
04の処理を繰り返し位相差Ptiを求める(ステップS
505,NO)。
して時刻をt+Δtとし(ステップS506)、所定の
解析時間Tを越えるまで(ステップS507,YE
S)、ステップS501〜506を繰り返す(ステップ
S507,NO)。
が、赤外線カメラ23内の赤外線センサの各ピクセル毎
つまり全領域数I回、赤外線カメラ23が計測した取り
込みフレーム数N回行われる。
おける位相差PTiを各領域について呼び出した後、こ
れに基づいて計測領域全体の画像データを生成し(ステ
ップS405)、ディスプレイ33に出力を行う(ステ
ップS406)。すなわち、CPU30は、入力した位
相差を所定の表示色に対応させて画像データを生成し、
これを表示する。
テムを適用して、人工欠陥を有するコンクリート試験体
にかかる欠陥検査を行った場合の画像データの表示の例
を示す。なお、この画像は、図6(B)に示す人工欠陥
1〜6を有するコンクリート試験体を計測したものであ
る。前記人工欠陥1〜6は、それぞれ深さと厚さが異な
る欠陥をコンクリート中に埋め込まれて作製されてい
る。
にコントラスト差として表示されている部分が、人工欠
陥4〜6にそれぞれ対応している。なお、人工欠陥1〜
3は、左側の列60に表示されているが、そのコントラ
ストはあまり鮮明ではない。
動の加熱条件の一つである加熱期間が、深さ20mmの
人工欠陥4〜6を検出するのに適していたと考えられ
る。
域における計測データと参照波形との位相差をグラフで
示した例である。赤外線カメラ23が計測した計測領域
のフレームにおける各単位領域iにおける位相差P
tiは、欠陥部の温度変動曲線71に近似した参照波形R
71と、健全部の温度変動曲線73に近似した参照波形R
73との位相差で表現することができる。
期間と欠陥の深さによって決定されていると考えられる
ことから、被検査体20の欠陥に応じた加熱期間を設定
する必要がある。
加熱期間と欠陥の深さによって決定されており、検査を
行う欠陥の深さに応じて最適な加熱期間を設定する必要
がある。図8は、最適な加熱期間を求めることを目的と
して、加熱条件の一つである加熱期間を変更して前記人
工欠陥(図6B)を繰り返し計測した場合の画像であ
る。
mの欠陥4〜6を示すコントラスト差は、期間Tが10
〜30分において鮮明に表示されており、特に、期間T
が20分のときに最も鮮明にコントラスト差が表示され
ている。
30mmの欠陥1〜3を示すコントラスト差は、期間T
が20〜40分において鮮明に表示されており、特に、
期間Tが30分のときに最も鮮明にコントラスト差が表
示されている。
深さの関係テーブルの例を図9に示す。図9に示すよう
に、各欠陥深さ毎において位相差が最も大きくなるとき
の加熱期間が、最適な加熱期間であると考えられる。例
えば、欠陥深さ「10mm」のときの最大位相差は
「2.0°」であることより、この欠陥深さを検査する
時の最適な加熱期間は、「10分」である。すなわち、
前記最適な加熱期間が、[特許請求の範囲]において示
した「相違が顕著となった所定期間」に該当する。
ことにより、被検査体20において検査を行う欠陥深さ
に応じて、加熱期間を設定することができる。これによ
り、計測回数の低減を図ることができ検査効率の向上が
望める。
さの関係テーブルを使用して、検査効率を高めた欠陥検
査方法について説明する。
ート試験体にかかる欠陥検出を行ったが、本実施形態に
おいては、実際に経年劣化による内部欠陥を有するコン
クリート構造物について、本発明による欠陥検査システ
ムを適用した場合について説明する。
は、前記コンクリート試験体と同条件の材料・環境で作
製されたものとし、図9に示した、欠陥の深さと加熱期
間の関係を表した参照テーブルを使用するものとする。
の検査範囲におけるコンクリートの厚さや鉄筋かぶりの
厚さを調べ、欠陥検査を行う最大深さを決定する。な
お、鉄筋かぶりの厚さを調べる際には、超音波、マイク
ロ波レーダまたは電磁誘導などを利用した検査装置を使
用すればよい。
数を決定し、図9の参照テーブルから前記最大深さに対
応する加熱期間を決定して計測を行う。例えば、本実施
形態においては、調査の結果、最大深さは30mmと考
えられるので参照テーブルにより、加熱期間を10〜3
0分とし、計測回数を1回とした。
よる欠陥検査システムを適用することによって得られた
画像データを表示したものである。なお、図10(A)
〜(C)は、それぞれ加熱期間を10〜30分と変更し
て計測しており、それぞれの画像において画像中央部に
欠陥が存在していることが明瞭に表示されている。
よび前記参照テーブルにより、この欠陥に関する定量的
な情報を推定することができる。
輪郭部101が全体に対するコントラスト差として鮮明
に表示されている。したがって、参照テーブルによりこ
の範囲の欠陥深さは、10mm前後であると推定でき
る。すなわち、表面から10mm前後において欠陥が存
在している。
輪郭部103を示すコントラスト差が、図10(A)と
比較すると、中心に向かって拡大するように表示されて
いる。したがって、参照テーブルによりこの範囲の欠陥
深さは20mm前後であり、この範囲における欠陥は1
0mmの範囲の欠陥よりも空洞部がより大きいものであ
ると推定することができる。
輪郭部105を示すコントラスト差が、図10(B)と
比較すると、さらに中心に向かって拡大するように表示
されている。したがって、参照テーブルによりこの範囲
の欠陥深さは30mm前後であり、この範囲における欠
陥は20mmの範囲の欠陥よりも空洞部がより大きいも
のであると推定することができる。
ト構造物の表面から深さ10mm〜30mmの位置に存
在し、表面から内部への垂直方向に向かって先細りした
形状の浮きであることが推定できる。
ト構造物の内部欠陥部分を、採取したときの例を示す。
図11(A)に示すように、この内部欠陥部分は、図1
0に示した画像における内部欠陥のコントラスト差の輪
郭部とほぼ同形状の輪郭を有している。また、図11
(B)は、この内部欠陥部の側面を示しており、その厚
みは20〜30mmであった。
ステムを用いてコンクリート構造物の欠陥検査を行うこ
とで、その内部欠陥にかかる深さを同定するとともに、
その大きさや厚さなどの内部欠陥の定量的な情報を推定
することが可能となる。これにより、欠陥検査における
検査効率を高めることができ、欠陥の事故確率に応じて
効果的な対策を講じるリスクベースメンテナンスが可能
となる。
チャート 図12に、2−2.に示した欠陥深さの推定方法を利用
して内部欠陥を自動推定する欠陥検査制御装置10にお
けるフローチャートを示す。
ュータ装置29において、検出する欠陥の最大深さを入
力する(ステップS1201)。なお、この時入力する
最大深さは、2−2.に示すように、コンクリート構造
物の事前調査によって決定すればよい。
測する回数および加熱条件の範囲を入力する(ステップ
S1202)。なお、この加熱条件の範囲は、前記最大
深さに応じてCPU30が自動的に判断するようにして
もよい。
ータ装置29のCPU30は、信号発生装置27に対し
て加熱条件を出力する(ステップS1203)。ここで
加熱条件とは、被検査体20に熱負荷を与える時間およ
びその繰り返し回数を与えるものである。なお、振幅は
一定値とし、デューティサイクルは50%としている。
られた後、波形信号に変換されてリレー装置25に出力
される。リレー装置25は、入力した波形信号に基づい
てヒーター21を作動させる。これにより、所定の加熱
条件で被検査体20に熱負荷を与える。
つ、赤外線カメラ23を用いて、特に加熱停止期間にお
ける被検査体20の表面温度を計測する。この計測デー
タは、接続されたコンピュータ装置29に出力され、ハ
ードディスク35等に記録される(ステップS120
4)。この計測処理を所定時間毎に繰り返すことによ
り、加熱停止期間における、計測時刻毎の表面温度の計
測データを取得する。なお、計測データは、被検査体2
0であるコンクリート構造物における測定領域の各単位
領域毎の表面温度データである。
行った後、計測を終了し、設定された範囲において加熱
期間を変更して(ステップS1210)、ステップS1
203から同様の処理を繰り返す(ステップS120
5,NO)。なお、本実施形態においては、加熱・加熱
停止を行う繰り返し回数を1回としている。
すると(ステップS1205,YES)、CPU30
は、計測した各加熱期間において、計測データの解析処
理を行う(ステップS1206)。なお、ステップS1
206に示す計測データの解析処理は、第1の実施形態
の図4に示した処理と同様である。
を終えたCPU30は、時刻Tにおける位相差PTiを
各領域について呼び出し、これに基づいて欠陥の有無を
判断する。さらに、CPU30は、欠陥であると判断し
た領域の位相差を示す相関データに基づいて、当該欠陥
の存在する深さを判定する(ステップS1207)。す
なわち、各領域の位相差と、加熱期間と欠陥深さの関係
を示した参照テーブル120とを参照して、欠陥を示し
ていると判断した領域の深さを判定する。
データを生成し(ステップS1208)、図10に示す
画像データをディスプレイ33に出力する(ステップS
1209)。なお、本実施形態においては、各画面にお
いて欠陥部分の深さの値が同時に表示されているものと
する(図示せず)。
た欠陥深さを利用して、図13に示すような、欠陥形状
の推定画面を同時に表示してもよい。これにより、欠陥
部位における定量的な情報を画像データとして表示さ
せ、欠陥検査における検査結果の確認が容易となり、特
別な判断知識を有していない者であっても内部欠陥を見
いだすことができる。なお、図13においては、欠陥部
位を二次元的に表現しているが、三次元形状として表現
してもよい。これにより、より詳細な欠陥に関する情報
を取得することができる。
ト材料を使用しているが、例えば、CFRPなどの低熱
伝導性材料から構成された複合材料における欠陥検査に
も本発明は適用可能である。
を行う繰り返し回数を1回としているが、被検査体の性
質によっては複数回繰り返してもよい。なお、この場
合、被測定物表面における熱源の反射が影響しなけれ
ば、加熱・加熱停止期間の両期間における温度変動を連
続して計測すればよい。
る際の特徴量として、計測データから得られる波形と所
定の参照波形との位相差を用いたが、他の指標を特徴量
として用いてもよい。例えば、計測データの時間変化に
おける温度勾配データ、当該温度勾配データの時間変化
データ、計測データについてフーリエ解析を行った場合
の周波数成分データ、計測データ波形のピーク値または
当該ピーク値への到達時間などを特徴量としてもよい。
に、各計測データと所定の参照波形との相関処理によっ
て計測データ同士を間接的に比較しているが、各計測デ
ータを直接的に比較してもよい。例えば、各計測データ
のピーク値を比較すること等がこれに該当する。
深さの関係テーブルを使用して欠陥部位にかかる定量的
な情報を取得しているが、さらに欠陥厚さを加えた関係
テーブルを使用してもよい。この場合、より精度の高い
欠陥検出が可能となる。
置10をコンピュータ装置29および信号発生装置27
から構成したが、当該欠陥検査制御装置10を、加熱制
御手段11およびデータ記録手段13を実現するデータ
収集装置と欠陥判断手段15を実現する欠陥判断装置と
を、それぞれ別の装置から構成してもよい。例えば、通
信回線を利用してこれらの装置を接続することで、欠陥
検査における遠隔操作が可能となる。
の機能ブロック図を示す図である。
を実現する装置の構成図を示す例である。
のハードウェア構成図を示す例である。
す図である。
おける温度変動曲線との関係を示す図である。
を示す図である。
きの画像データの表示画面の例(A)である。
波形との位相差をグラフで示した例である。
の画像データの表示画面の例である。
示した参照テーブルの例である。
リート構造物を計測したときの画像データの表示画面の
である。
を、採取したときの例である。
けるフローチャートを示す図である。
欠陥の形状を推定した画面の例である。
Claims (11)
- 【請求項1】被検査体の表面に対し計測領域全面にわた
り同時に加熱を行い、 少なくとも前記加熱を停止した後の加熱停止期間におい
て、 前記計測領域の各単位領域について、表面温度の時間変
化を計測し、 各単位領域における表面温度の時間変化に関する前記各
単位領域間の相対的相違に基づいて、当該被検査体にお
ける欠陥を見いだすことを特徴とする欠陥検査方法。 - 【請求項2】請求項1の欠陥検査方法において、 前記被検査体は、低熱伝導性材料から構成されたもので
あることを特徴とするもの。 - 【請求項3】請求項1または2の欠陥検査方法におい
て、 各単位領域における表面温度の時間変化に関する前記各
単位領域間の相対的相違に基づいて、当該被検査体にお
ける欠陥の位置を特定することを特徴とするもの。 - 【請求項4】請求項1〜3のいずれかの欠陥検査方法に
おいて、 各単位領域における表面温度の時間変化に関する前記各
単位領域間の相対的相違を、視覚的に認識可能な画像と
して提示することを特徴とするもの。 - 【請求項5】請求項4の欠陥検査方法において、 前記相対的相違は、各単位領域における表面温度の時間
変化による波形および所定の波形における特徴量の比較
に基づいて決定されることを特徴とするもの。 - 【請求項6】請求項5の欠陥検査方法において、 前記特徴量の比較は、各単位領域における表面温度の時
間変化による波形と所定の波形との両波形の相関を示す
特定値、または、両波形の位相の差に基づいて行うこと
を特徴とするもの。 - 【請求項7】請求項1〜6のいずれかの欠陥検査方法に
おいて、 加熱と加熱停止を所定期間で行うとともに、前記所定期
間を変更して計測し、各単位領域間の相対的な温度変化
の相違が顕著となった所定期間に基づいて欠陥の深さを
推定することを特徴とするもの。 - 【請求項8】請求項7の欠陥検査方法において、 さらに、予め欠陥の深さと所定期間とを対応付けたテー
ブルに基づいて、欠陥の深さを推定することを特徴とす
るもの。 - 【請求項9】被検査体の表面に対し計測領域全面にわた
り同時に加熱を行う加熱装置に対して加熱開始指令を行
う加熱制御手段と、 加熱停止後における温度計測器からのデータを入力して
各単位領域の温度データとして記録するデータ記録手段
と、 記録された温度データに基づいて、各単位領域における
表面温度の時間変化に関する前記各単位領域間の相対的
相違を検出して、被検査体における欠陥を判断する欠陥
判断手段と、 を備えたことを特徴とする欠陥検査制御装置。 - 【請求項10】被検査体の表面に対し計測領域全面にわ
たり同時に加熱を行う加熱装置に対して加熱開始指令を
行う加熱制御手段と、 加熱停止後における温度計測器からのデータを入力して
各単位領域の温度データとして記録するデータ記録手段
と、 を備えたことを特徴とする欠陥検査のためのデータ収集
装置。 - 【請求項11】被検査体の表面の加熱停止後において記
録された計測領域の各単位領域の温度データに基づい
て、各単位領域における表面温度の時間変化に関する前
記各単位領域間の相対的相違を検出し被検査体における
欠陥を判断する欠陥判断手段、 を備えたことを特徴とする欠陥検査のための欠陥判断装
置。
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---|---|---|---|
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005106824A (ja) * | 2003-09-30 | 2005-04-21 | General Electric Co <Ge> | 内部特徴を再構成する方法及び装置 |
JP2011099687A (ja) * | 2009-11-04 | 2011-05-19 | Daiwa Odakyu Construction Co Ltd | 赤外線法によるコンクリート表層部の変状部検出方法 |
JP2012088226A (ja) * | 2010-10-21 | 2012-05-10 | Jtekt Corp | 非破壊検査方法及び非破壊検査装置 |
JP2016169987A (ja) * | 2015-03-11 | 2016-09-23 | 清水建設株式会社 | 加熱試験装置および加熱試験方法 |
-
2001
- 2001-09-14 JP JP2001280154A patent/JP4517044B2/ja not_active Expired - Fee Related
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