JP2003073826A - スパッタリング装置用電源装置及び電源装置 - Google Patents
スパッタリング装置用電源装置及び電源装置Info
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- JP2003073826A JP2003073826A JP2001256243A JP2001256243A JP2003073826A JP 2003073826 A JP2003073826 A JP 2003073826A JP 2001256243 A JP2001256243 A JP 2001256243A JP 2001256243 A JP2001256243 A JP 2001256243A JP 2003073826 A JP2003073826 A JP 2003073826A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 マスター・スレーブ接続しないで電源を複数
並列接続することができるスパッタリング装置用電源装
置を提供すること。 【解決手段】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
スパッタリング装置用電源装置において、アーク放電を
検出するアーク放電検出手段ｒ１，ｒ２と、直流電圧発
生部２２，２３，３４と、この直流電圧発生部と上記負
極出力端子との間に接続され、直流電圧発生部から負極
出力端子への電流を阻止する方向に接続されたダイオー
ドＤ１，Ｄ２と、アーク放電検出手段により起動される
アーク遮断手段Ｑ１、Ｃ１とを具備したことを特徴とす
る。
並列接続することができるスパッタリング装置用電源装
置を提供すること。 【解決手段】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
スパッタリング装置用電源装置において、アーク放電を
検出するアーク放電検出手段ｒ１，ｒ２と、直流電圧発
生部２２，２３，３４と、この直流電圧発生部と上記負
極出力端子との間に接続され、直流電圧発生部から負極
出力端子への電流を阻止する方向に接続されたダイオー
ドＤ１，Ｄ２と、アーク放電検出手段により起動される
アーク遮断手段Ｑ１、Ｃ１とを具備したことを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、スパッタリング用
の直流電圧を出力するスパッタリング装置用電源装置に
関する。
の直流電圧を出力するスパッタリング装置用電源装置に
関する。
【０００２】
【従来の技術】スパッタリング用電源装置は、インバー
タ出力を整流器で整流してＤＣ／ＤＣコンバータを構成
し、整流器から電流安定用のインダクタを介して一方の
出力線に負電圧を出力するように構成している。ここ
で、他方の出力線はアースに接続されている。
タ出力を整流器で整流してＤＣ／ＤＣコンバータを構成
し、整流器から電流安定用のインダクタを介して一方の
出力線に負電圧を出力するように構成している。ここ
で、他方の出力線はアースに接続されている。
【０００３】そして、２本の出力線のうち一方の出力線
がターゲットに接続され、他方の出力線がチャンバに接
続されている。
がターゲットに接続され、他方の出力線がチャンバに接
続されている。
【０００４】このようなスパッタリング用電源装置は、
出力電流が不足する場合には、複数の電源装置を複数台
並列に接続する。そして、複数台並列接続した場合に
は、１台をマスタ機能を有するマスタ機として機能さ
せ、他の電源装置をスレーブ機として動作させている。
ここで、マスタ機には、アーク放電を検出するアーク放
電検出手段を備えている。
出力電流が不足する場合には、複数の電源装置を複数台
並列に接続する。そして、複数台並列接続した場合に
は、１台をマスタ機能を有するマスタ機として機能さ
せ、他の電源装置をスレーブ機として動作させている。
ここで、マスタ機には、アーク放電を検出するアーク放
電検出手段を備えている。
【０００５】そして、マスタ機に設けられたアーク放電
検出手段によりチャンバ内でのアークが検出された場合
にはマスタ機においてアーク遮断動作が行われると共
に、スレーブ機においてもアーク遮断動作が行なわれ
る。
検出手段によりチャンバ内でのアークが検出された場合
にはマスタ機においてアーク遮断動作が行われると共
に、スレーブ機においてもアーク遮断動作が行なわれ
る。
【０００６】このアーク遮断動作方法としては、各電源
装置の２つの出力線間を短絡するかあるいはターゲット
に接続されている一方の出力線に正電圧を供給してい
る。
装置の２つの出力線間を短絡するかあるいはターゲット
に接続されている一方の出力線に正電圧を供給してい
る。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかし、このように電
源装置を複数台接続して、その１台をマスタ機として機
能させ、残りの電源装置をスレーブ機として機能させた
場合、電源装置が故障した場合に備えて、マスタ機とス
レーブ機として機能する予備の電源装置を少なくとも１
台ずつ常備しておかなければならなかった。このため、
２種類の予備の電源装置を用意するためにコストがかか
るという問題があった。
源装置を複数台接続して、その１台をマスタ機として機
能させ、残りの電源装置をスレーブ機として機能させた
場合、電源装置が故障した場合に備えて、マスタ機とス
レーブ機として機能する予備の電源装置を少なくとも１
台ずつ常備しておかなければならなかった。このため、
２種類の予備の電源装置を用意するためにコストがかか
るという問題があった。
【０００８】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、その目的はマスター・スレーブ接続しないで電源を
複数並列接続することができるスパッタリング装置用電
源装置を提供することにある。
で、その目的はマスター・スレーブ接続しないで電源を
複数並列接続することができるスパッタリング装置用電
源装置を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】請求項１記載のスパッタ
リング装置用電源装置は、負極出力端子及び正極出力端
子を有するスパッタリング装置用電源装置において、ア
ーク放電を検出するアーク放電検出手段と、直流電圧発
生部と、この直流電圧発生部と上記負極出力端子との間
に接続され、直流電圧発生部から負極出力端子への電流
を阻止する方向に接続されたダイオードと、上記アーク
放電検出手段により起動されるアーク遮断手段とを具備
したことを特徴とする。
リング装置用電源装置は、負極出力端子及び正極出力端
子を有するスパッタリング装置用電源装置において、ア
ーク放電を検出するアーク放電検出手段と、直流電圧発
生部と、この直流電圧発生部と上記負極出力端子との間
に接続され、直流電圧発生部から負極出力端子への電流
を阻止する方向に接続されたダイオードと、上記アーク
放電検出手段により起動されるアーク遮断手段とを具備
したことを特徴とする。
【００１０】請求項２記載のスパッタリング装置用電源
装置は、請求項１記載のアーク遮断手段は上記負極出力
端子に正電圧を発生させる逆電圧発生手段あるいは上記
負極出力端子に接地電位を発生させる手段であり、上記
ダイオードはこの逆電圧発生手段から逆電圧が出力され
ている間逆方向に電流を流すことを特徴とする。
装置は、請求項１記載のアーク遮断手段は上記負極出力
端子に正電圧を発生させる逆電圧発生手段あるいは上記
負極出力端子に接地電位を発生させる手段であり、上記
ダイオードはこの逆電圧発生手段から逆電圧が出力され
ている間逆方向に電流を流すことを特徴とする。
【００１１】請求項３記載の電源装置は、請求項１記載
のスパッタリング装置用電源装置が複数並列接続されて
いることを特徴とする。
のスパッタリング装置用電源装置が複数並列接続されて
いることを特徴とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して本発明の一
実施の形態について説明する。図１において、１１は上
位の制御装置である。この上位の制御装置１１は第１の
電源装置Ａ１内の電源１の制御装置２１に接続される。
実施の形態について説明する。図１において、１１は上
位の制御装置である。この上位の制御装置１１は第１の
電源装置Ａ１内の電源１の制御装置２１に接続される。
【００１３】２００Ｖの交流電源Ｐは第１の電源装置Ａ
１内の整流器２２に出力される。この整流器２２におい
て、交流電源Ｐから出力される交流電圧が整流される。
この整流器２２の出力は第１のインバータ２３及び第２
のインバータ２４に出力される。電源１の制御装置２１
は第１のインバータ２３に指令信号ａを出力する。この
第１のインバータ２３は電源１の制御装置２１からの指
令信号ａに応じた周波数信号を整流器２５に出力する。
ここで、整流器２２、第１のインバータ２３、整流器２
５等により直流電圧発生部が構成される。
１内の整流器２２に出力される。この整流器２２におい
て、交流電源Ｐから出力される交流電圧が整流される。
この整流器２２の出力は第１のインバータ２３及び第２
のインバータ２４に出力される。電源１の制御装置２１
は第１のインバータ２３に指令信号ａを出力する。この
第１のインバータ２３は電源１の制御装置２１からの指
令信号ａに応じた周波数信号を整流器２５に出力する。
ここで、整流器２２、第１のインバータ２３、整流器２
５等により直流電圧発生部が構成される。
【００１４】この整流器２５の一方の出力はチョークコ
イルＬ１、逆極性に直列接続されたダイオードＤ１、Ｄ
２を介して出力端子Ｏ１に接続される。このダイオード
Ｄ１、Ｄ２は、逆回復時間（リカバータイム）が長い品
種を選択して複数直列接続されている。チャンバ３０内
でスパッタ放電が発生している最中は、ダイオードＤ
１、Ｄ２の順方向に電流が流れている。しかし、チェン
バ３０内でアーク放電が発生すると、後述するように急
峻に正の逆電圧をダイオードＤ１の陰極側に印加するた
め、ダイオードＤ１、Ｄ２の逆回復時間だけ逆方向（つ
まり、ダイオードＤ１、Ｄ２のカソードからアノード方
向）に電流が流れる。この逆回復時間だけ逆電圧が印加
されて、遮断電流が流れる。
イルＬ１、逆極性に直列接続されたダイオードＤ１、Ｄ
２を介して出力端子Ｏ１に接続される。このダイオード
Ｄ１、Ｄ２は、逆回復時間（リカバータイム）が長い品
種を選択して複数直列接続されている。チャンバ３０内
でスパッタ放電が発生している最中は、ダイオードＤ
１、Ｄ２の順方向に電流が流れている。しかし、チェン
バ３０内でアーク放電が発生すると、後述するように急
峻に正の逆電圧をダイオードＤ１の陰極側に印加するた
め、ダイオードＤ１、Ｄ２の逆回復時間だけ逆方向（つ
まり、ダイオードＤ１、Ｄ２のカソードからアノード方
向）に電流が流れる。この逆回復時間だけ逆電圧が印加
されて、遮断電流が流れる。
【００１５】整流器２５の他方の出力は出力端子Ｏ２に
接続される。
接続される。
【００１６】チョークコイルＬ１とダイオードＤ１との
間と接地ラインｃとの間には、コンデンサＱ１と平滑用
コンデンサＣ１とが直列接続される。第２のインバータ
２４の一方の出力は順方向に接続されたダイオードＤ３
を介してトランジスタＱ１とコンデンサＣ１との接続点
に接続される。第２のインバータ２４の他方の出力は接
地ラインｃに接続される。ここで、コンデンサＣ１及び
トランジスタＱ１等によりアーク遮断手段が構成され
る。
間と接地ラインｃとの間には、コンデンサＱ１と平滑用
コンデンサＣ１とが直列接続される。第２のインバータ
２４の一方の出力は順方向に接続されたダイオードＤ３
を介してトランジスタＱ１とコンデンサＣ１との接続点
に接続される。第２のインバータ２４の他方の出力は接
地ラインｃに接続される。ここで、コンデンサＣ１及び
トランジスタＱ１等によりアーク遮断手段が構成され
る。
【００１７】トランジスタＱ１のベースにはコントロー
ラ２６からの制御信号が入力される。ダイオードＤ２と
出力端子Ｏ１との間とコンデンサＣ１の接地ラインｃと
の接続点と出力端子Ｏ２との間には、抵抗ｒ１とｒ２と
の直列接続体が接続されている。この抵抗ｒ１とｒ２と
の接続点の電位を検出することによりアーク放電を検出
している（アーク放電検出手段）。
ラ２６からの制御信号が入力される。ダイオードＤ２と
出力端子Ｏ１との間とコンデンサＣ１の接地ラインｃと
の接続点と出力端子Ｏ２との間には、抵抗ｒ１とｒ２と
の直列接続体が接続されている。この抵抗ｒ１とｒ２と
の接続点の電位を検出することによりアーク放電を検出
している（アーク放電検出手段）。
【００１８】この抵抗ｒ１とｒ２との接続点の電位ｂは
コントローラ２６に出力される。
コントローラ２６に出力される。
【００１９】第２の電源装置Ａ２内の構成は、前述した
第１の電源装置Ａ１と同一であるので、詳細な構成につ
いては省略する。なお、電源２の制御装置については、
符号３１を付しておく。
第１の電源装置Ａ１と同一であるので、詳細な構成につ
いては省略する。なお、電源２の制御装置については、
符号３１を付しておく。
【００２０】第１の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ１は同軸
ケーブル２７を介してターゲット２８に接続される。さ
らに、第２の電源装置Ａ２の出力端子Ｏ１は同軸ケーブ
ル２９を介してターゲット２８に接続される。
ケーブル２７を介してターゲット２８に接続される。さ
らに、第２の電源装置Ａ２の出力端子Ｏ１は同軸ケーブ
ル２９を介してターゲット２８に接続される。
【００２１】さらに、第１の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ
２は同軸ケーブル２７の接地ラインを介して接地され
る。
２は同軸ケーブル２７の接地ラインを介して接地され
る。
【００２２】さらに、第２の電源装置Ａ２の出力端子Ｏ
２は同軸ケーブル２９の接地ラインを介して接地され
る。
２は同軸ケーブル２９の接地ラインを介して接地され
る。
【００２３】ここで、３０はチャンバである。このチャ
ンバ３０は接地されている。
ンバ３０は接地されている。
【００２４】次に、上記のように構成された本発明の一
実施の形態について説明する。まず、上位の制御装置１
１からの指令が電源１の制御装置２１及び電源２の制御
装置３１に出力される。電源１の制御装置２１は第１の
インバータ２３に指令信号ａを出力すると共に、電源２
の制御装置２１は第１のイバータ２３に指令信号ａを出
力する。
実施の形態について説明する。まず、上位の制御装置１
１からの指令が電源１の制御装置２１及び電源２の制御
装置３１に出力される。電源１の制御装置２１は第１の
インバータ２３に指令信号ａを出力すると共に、電源２
の制御装置２１は第１のイバータ２３に指令信号ａを出
力する。
【００２５】以下、第１の電源装置Ａ１の動作を説明す
る。交流電源Ｐは整流器２２で整流されたのち、第１の
インバータ２３において指令信号に応じた周波数信号に
変換される。そして、この周波数信号は整流器２５にお
いて直流電圧に変換される。この直流電圧としては例え
ば８００Ｖの電圧が出力される。
る。交流電源Ｐは整流器２２で整流されたのち、第１の
インバータ２３において指令信号に応じた周波数信号に
変換される。そして、この周波数信号は整流器２５にお
いて直流電圧に変換される。この直流電圧としては例え
ば８００Ｖの電圧が出力される。
【００２６】さらに、整流器２２に入力された交流電源
Ｐは直流電圧に変換された後、第２のインバータ２４に
出力される。この第２のインバータ２４から出力される
周波数信号は、コンデンサＣ１に出力される。つまり、
このコンデンサＣ１に逆電圧発生用の電圧が図示の極性
で充電される。
Ｐは直流電圧に変換された後、第２のインバータ２４に
出力される。この第２のインバータ２４から出力される
周波数信号は、コンデンサＣ１に出力される。つまり、
このコンデンサＣ１に逆電圧発生用の電圧が図示の極性
で充電される。
【００２７】ところで、出力端子Ｏ１からターゲット２
８に−８００Ｖの電位が供給されると、チャンバ３０内
にスパッタ放電が発生する。この結果、チャンバ３０内
のディスク（図示しない）に成膜される。
８に−８００Ｖの電位が供給されると、チャンバ３０内
にスパッタ放電が発生する。この結果、チャンバ３０内
のディスク（図示しない）に成膜される。
【００２８】第１の電源装置Ａ１は、出力端子Ｏ１と出
力端子Ｏ２との電位差Ｖを検出することにより、チャン
バ３０内でスパッタ放電が発生しているかを判定してい
る。スパッタ放電は３００Ｖ以上であり、アーク放電は
１５０Ｖ以下であるため、第１の電源装置Ａ１は、出力
端子Ｏ１と出力端子Ｏ２との電位差Ｖが１５０Ｖ以下に
下がると、チャンバ３０内でアーク放電が発生している
と判定される。この電位差Ｖは抵抗ｒ１とｒ２との接続
点の電位ｂを検出することにより行われる。
力端子Ｏ２との電位差Ｖを検出することにより、チャン
バ３０内でスパッタ放電が発生しているかを判定してい
る。スパッタ放電は３００Ｖ以上であり、アーク放電は
１５０Ｖ以下であるため、第１の電源装置Ａ１は、出力
端子Ｏ１と出力端子Ｏ２との電位差Ｖが１５０Ｖ以下に
下がると、チャンバ３０内でアーク放電が発生している
と判定される。この電位差Ｖは抵抗ｒ１とｒ２との接続
点の電位ｂを検出することにより行われる。
【００２９】出力端子Ｏ１と出力端子Ｏ２との電位差Ｖ
が１５０Ｖ以下に下がると、コントローラ２６によりト
ランジスタＱ１が２〜１０μＳ間だけ導通制御される。
このため、第１の電源装置Ａ１から出力端子Ｏ１を介し
て正の電圧が出力されるため、アーク放電が消弧され
る。ここで、急峻に正の逆電圧をダイオードＤ１の陰極
側に印加するため、ダイオードＤ１、Ｄ２の逆回復時間
だけ逆方向（つまり、ダイオードＤ１、Ｄ２のカソード
からアノード方向）に電流が流れる。この逆回復時間だ
け逆電圧が印加されて、遮断電流が流れる。
が１５０Ｖ以下に下がると、コントローラ２６によりト
ランジスタＱ１が２〜１０μＳ間だけ導通制御される。
このため、第１の電源装置Ａ１から出力端子Ｏ１を介し
て正の電圧が出力されるため、アーク放電が消弧され
る。ここで、急峻に正の逆電圧をダイオードＤ１の陰極
側に印加するため、ダイオードＤ１、Ｄ２の逆回復時間
だけ逆方向（つまり、ダイオードＤ１、Ｄ２のカソード
からアノード方向）に電流が流れる。この逆回復時間だ
け逆電圧が印加されて、遮断電流が流れる。
【００３０】以上述べた動作は、第１の電源装置Ａ１の
アーク放電検出手段によりチャンバ３０内のアークが検
出された場合について説明したが、第２の電源装置Ａ２
内の動作及びアーク放電検出時の処理は前述した第１の
電源装置Ａ１と同様であるので、ここでは省略する。
アーク放電検出手段によりチャンバ３０内のアークが検
出された場合について説明したが、第２の電源装置Ａ２
内の動作及びアーク放電検出時の処理は前述した第１の
電源装置Ａ１と同様であるので、ここでは省略する。
【００３１】また、第１の電源装置Ａ１及び第２の電源
装置Ａ２がそれぞれアーク放電検出手段を備え、各アー
ク放電検出手段によりチャンバ３０内のアーク放電が検
出されると、正の電圧をそれぞれターゲット２８に印加
するようにしている。
装置Ａ２がそれぞれアーク放電検出手段を備え、各アー
ク放電検出手段によりチャンバ３０内のアーク放電が検
出されると、正の電圧をそれぞれターゲット２８に印加
するようにしている。
【００３２】従って、第１の電源装置Ａ１のアーク放電
検出手段によりアーク放電が検出され、第２の電源装置
Ａ２のアーク放電検出手段によりアーク放電が検出され
ない場合には、第１の電源装置Ａ１のトランジスタＱ１
が導通され、第２の電源装置Ａ２のトランジスタＱ１は
非導通されたままである。第１の電源装置Ａ１の出力端
子Ｏ１の直前に逆極性にダイオードＤ１及びＤ２が接続
されているため、第１の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ１か
ら第２の電源装置Ａ２の出力端子Ｏ１を介して電流が流
入して第１の電源装置Ａ１を破壊することを未然に防止
することができる。
検出手段によりアーク放電が検出され、第２の電源装置
Ａ２のアーク放電検出手段によりアーク放電が検出され
ない場合には、第１の電源装置Ａ１のトランジスタＱ１
が導通され、第２の電源装置Ａ２のトランジスタＱ１は
非導通されたままである。第１の電源装置Ａ１の出力端
子Ｏ１の直前に逆極性にダイオードＤ１及びＤ２が接続
されているため、第１の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ１か
ら第２の電源装置Ａ２の出力端子Ｏ１を介して電流が流
入して第１の電源装置Ａ１を破壊することを未然に防止
することができる。
【００３３】また、第１の電源装置Ａ１のアーク放電検
出手段によりアーク放電が検出された場合に、逆電圧が
出力端子Ｏ１に出力されると、第２の電源装置Ａ２のア
ーク放電検出手段により同軸ケーブル２９を介して第１
の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ１の電位が上昇したことが
検知される。従って、第２の電源装置Ａ２のアーク放電
検出手段により第１の電源装置Ａ１でアーク遮断動作が
行なわれたことを検出することができる。その結果、第
２の電源装置Ａ２も第１の電源装置Ａ１と同様にアーク
遮断動作を行なうことができる。従って、第１の電源装
置Ａ１と第２の電源装置Ａ２においてアーク遮断に関し
て同期をとることができる。
出手段によりアーク放電が検出された場合に、逆電圧が
出力端子Ｏ１に出力されると、第２の電源装置Ａ２のア
ーク放電検出手段により同軸ケーブル２９を介して第１
の電源装置Ａ１の出力端子Ｏ１の電位が上昇したことが
検知される。従って、第２の電源装置Ａ２のアーク放電
検出手段により第１の電源装置Ａ１でアーク遮断動作が
行なわれたことを検出することができる。その結果、第
２の電源装置Ａ２も第１の電源装置Ａ１と同様にアーク
遮断動作を行なうことができる。従って、第１の電源装
置Ａ１と第２の電源装置Ａ２においてアーク遮断に関し
て同期をとることができる。
【００３４】さらに、第１の電源装置Ａ１及び第２の電
源装置Ａ２がそれぞれアーク放電検出手段を備え、各ア
ーク放電検出手段によりチャンバ３０内のアーク放電が
検出されると、正の電圧をそれぞれターゲット２８に印
加するように構成したので、例えば、第１の電源装置Ａ
１が故障した場合には、第１の電源装置Ａ１と同じ構成
を有する他の電源装置を接続すれば、直ぐに復旧するこ
とができる。
源装置Ａ２がそれぞれアーク放電検出手段を備え、各ア
ーク放電検出手段によりチャンバ３０内のアーク放電が
検出されると、正の電圧をそれぞれターゲット２８に印
加するように構成したので、例えば、第１の電源装置Ａ
１が故障した場合には、第１の電源装置Ａ１と同じ構成
を有する他の電源装置を接続すれば、直ぐに復旧するこ
とができる。
【００３５】さらに、本実施の形態では、第１の電源装
置Ａ１及び第２の電源装置Ａ２を並列接続した場合につ
いて説明したが、容量を増加させたい場合には、第３の
電源装置、第４の電源装置を並列接続すれば良い。
置Ａ１及び第２の電源装置Ａ２を並列接続した場合につ
いて説明したが、容量を増加させたい場合には、第３の
電源装置、第４の電源装置を並列接続すれば良い。
【００３６】さらに、上記実施の形態では、アーク放電
検出手段によりアーク放電が検出された場合には、トラ
ンジスタＱ１を導通させて、コンデンサＣ１に充電され
ている正の逆電圧を印加するようにしたが、コンデンサ
Ｃ１を設けずに、アーク放電検出手段によりアーク放電
が検出された場合には接地電位を出力端子Ｏ１に供給し
てアーク放電を消弧させるようにしても良い。
検出手段によりアーク放電が検出された場合には、トラ
ンジスタＱ１を導通させて、コンデンサＣ１に充電され
ている正の逆電圧を印加するようにしたが、コンデンサ
Ｃ１を設けずに、アーク放電検出手段によりアーク放電
が検出された場合には接地電位を出力端子Ｏ１に供給し
てアーク放電を消弧させるようにしても良い。
【００３７】以上のように、各電源装置はマスター・ス
レーブ接続しなくても、チャンバ３０内でのアーク放電
の監視及びアーク遮断動作を行なうことができるので、
予備の電源装置としては１種類の電源装置を常備させて
おけば良く、予備の電源装置を常備させるためのコスト
の削減を図ることができる。
レーブ接続しなくても、チャンバ３０内でのアーク放電
の監視及びアーク遮断動作を行なうことができるので、
予備の電源装置としては１種類の電源装置を常備させて
おけば良く、予備の電源装置を常備させるためのコスト
の削減を図ることができる。
【００３８】
【発明の効果】以上詳述したように本発明によれば、マ
スター・スレーブ接続しないで電源を複数並列接続する
ことができるスパッタリング装置用電源装置を提供する
ことができる。
スター・スレーブ接続しないで電源を複数並列接続する
ことができるスパッタリング装置用電源装置を提供する
ことができる。
【図１】本発明の一実施の形態に係るスパッタリング装
置用電源装置のブロック図。
置用電源装置のブロック図。
１１…上位の制御装置、
２１…電源１の制御装置、
２２…整流器、
２３…第１のインバータ、
２４…第２のインバータ、
２５…整流器、
２６…コントローラ、
２７，２９…同軸ケーブル、
２８…ターゲット、
３０…チャンバ。
フロントページの続き
Ｆターム(参考） 4K029 CA05 DC34
5H410 BB04 CC03 CC09 DD02 EA10
FF03 KK05 LL04 LL06 LL13
LL20
Claims (3)
- 【請求項１】 負極出力端子及び正極出力端子を有する
スパッタリング装置用電源装置において、 アーク放電を検出するアーク放電検出手段と、 直流電圧発生部と、 この直流電圧発生部と上記負極出力端子との間に接続さ
れ、直流電圧発生部から負極出力端子への電流を阻止す
る方向に接続されたダイオードと、 上記アーク放電検出手段により起動されるアーク遮断手
段とを具備したことを特徴とするスパッタリング装置用
電源装置。 - 【請求項２】 上記アーク遮断手段は上記負極出力端子
に正電圧を発生させる逆電圧発生手段あるいは上記負極
出力端子に接地電位を発生させる手段であり、上記ダイ
オードはこの逆電圧発生手段から逆電圧が出力されてい
る間だけ負極出力端子方向に電流を流すことを特徴とす
る請求項１記載のスパッタリング装置用電源装置。 - 【請求項３】 請求項１記載のスパッタリング装置用電
源装置が複数並列接続されていることを特徴とする電源
装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001256243A JP3616045B2 (ja) | 2001-08-27 | 2001-08-27 | スパッタリング装置用電源装置及び電源装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001256243A JP3616045B2 (ja) | 2001-08-27 | 2001-08-27 | スパッタリング装置用電源装置及び電源装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003073826A true JP2003073826A (ja) | 2003-03-12 |
| JP3616045B2 JP3616045B2 (ja) | 2005-02-02 |
Family
ID=19084083
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001256243A Expired - Lifetime JP3616045B2 (ja) | 2001-08-27 | 2001-08-27 | スパッタリング装置用電源装置及び電源装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3616045B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109873487A (zh) * | 2019-02-15 | 2019-06-11 | 南京航空航天大学 | 一种用于三相三电平vienna整流器的主从备份方法 |
-
2001
- 2001-08-27 JP JP2001256243A patent/JP3616045B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109873487A (zh) * | 2019-02-15 | 2019-06-11 | 南京航空航天大学 | 一种用于三相三电平vienna整流器的主从备份方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3616045B2 (ja) | 2005-02-02 |
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