JP2003068202A

JP2003068202A - パネル保持装置

Info

Publication number: JP2003068202A
Application number: JP2001259332A
Authority: JP
Inventors: Kiyobumi Mizuta; 清文水田
Original assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Current assignee: Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd; Kansai Nippon Electric Co Ltd
Priority date: 2001-08-29
Filing date: 2001-08-29
Publication date: 2003-03-07

Abstract

(57)【要約】【課題】フッ酸洗浄工程でパネルとパネルカバーとの
隙間にフッ酸蒸気や液滴が侵入するのを防止し、また、
乾燥工程でパネルの温度分布を改善して塗布膜の乾燥む
らを防止したパネル保持装置を提供する。【解決手段】保持手段（４、５、６、７）でパネル２
２を保持すると共にパネルカバー８でパネル表面を覆っ
た状態で、パネルカバー８に形成した第１の開口９から
パネルカバー８とパネル２２との間隙へ加熱空気を注入
し、パネルカバー８の周縁部に形成した第２の開口１０
から加熱空気を排出するようにしたパネル保持装置１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明はカラー陰極線管用パ
ネルの洗浄工程、乾燥工程等で使用するパネル保持装置
に関する。

【０００２】

【従来の技術】コンピュータ端末ディスプレイ、ハイビ
ジョンなどの画像表示に好適するカラー陰極線管２１
は、図４に示すような構造を有する。すなわち、ガラス
製パネル２２とガラス製ファンネル２３とをフリットガ
ラス２４により一体に接合したバルブ２５を有し、パネ
ル２２の内側には、緑、青、赤に発光する蛍光体がドッ
ト状又はストライプ状に配設された蛍光面２６が塗布形
成され、この蛍光面２６の背後には、一定の間隔を保持
して多数の電子ビーム通過孔が形成されたシャドウマス
ク２７がマスクフレーム２８に溶接固定されてなるシャ
ドウマスク構体が、パネル２２の内壁に埋め込まれたパ
ネルピン２９で係止され固定されている。ファンネル２
３のコーン部３２からネック部３０にかけての内面に黒
鉛等の導電性材料からなる導電層３３が形成されてい
る。ファンネル２３のネック部３０内には３本の電子ビ
ームを放出する電子銃３１が配設され、加速電極と導通
するバルブスペーサ３４は弾性を有する金属で構成され
導電層３３に圧接されている。また、ファンネル２３の
ネック部３０からコーン部３２にかけての外側には、電
子ビームの方向を変えるための偏向ヨーク３５が配設さ
れている。そして、外部から導電層３３を介して加速電
極に高電圧を印加して電子ビームを加速すると共に、偏
向ヨーク３５で電子ビームの方向を制御し、シャドウマ
スク２７によって選択された緑、青、赤に対応する電子
ビームを蛍光面２６に照射して対応する蛍光体を発光さ
せ画像を表示している。

【０００３】蛍光面２６は、図５に示す工程に沿って形
成される。まず、パネル２２を十分に洗浄し乾燥する。
次いで、パネル２２の内面に感光性樹脂をスピンナーな
どで薄く均一に塗布し、乾燥して感光膜４２を形成する
（ａ）。次にマスク４３を介して緑（Ｇ）、青（Ｂ）、
赤（Ｒ）の各蛍光体が形成される位置を紫外線で順次露
光し、架橋反応を起こす（ｂ）。次にパネル２２を現像
して感光膜４２の未露光部分を除去し、感光膜４２の露
光部分を残して乾燥する（ｃ）。次にパネル２２を回転
しながら黒鉛塗布液を吹き付けてパネル２２の内面に黒
鉛４４を塗布する（ｄ）。次に感光膜４２を膨潤、剥離
して感光膜４２上の黒鉛４４を除去し、各蛍光体が形成
される位置にホールを有するブラックマトリクス膜（Ｂ
Ｍ膜）４５を形成し、さらに、パネル２２のスカート部
の端部（シール部等）に塗布された不要な黒鉛４４を洗
浄して除去する（ｅ）。次に、感光性樹脂と緑色蛍光体
４６（例えば、ＺｎＳ：Ｃｕ，Ａｌ）を混合したスラリ
ーを塗布し、乾燥後、露光、現像してＢＭ膜の緑色用ホ
ールに緑色蛍光体４６を充填形成する。以下青色蛍光体
４７（例えば、ＺｎＳ：Ａｇ）、赤色蛍光体４８（例え
ば、Ｙ_２Ｏ_２Ｓ：Ｅｕ^３+）について同様の工程を繰り
返してドット状またはストライプ状のカラー蛍光膜を形
成する（ｆ）。次に蛍光膜とＢＭ膜の上にフィルミング
液を塗布してフィルミング膜４９を形成する（ｇ）。次
にフィルミング膜４９上に鏡面状の金属膜としてアルミ
ニウム蒸着膜５０を形成する（ｈ）。最後にかかるパネ
ルを焼成してバインダ、フィルミング液等の有機成分を
除去して所望の蛍光面２６を得る。

【０００４】次に、工程（ａ）のパネルの洗浄工程につ
いて説明する。図６は従来のキャリアヘッドのパネル保
持装置５０の概略構成を示す一部断面視側面図である。
図６において、ヘッド基台５１は端部に固定爪５２を取
付けた固定ブラケット５３と、端部に可動爪５４を取付
けた可動ブラケット５５と、ヘッド基台５１の中央下部
に設置された下方に凹部を有するパネルカバー５６とを
備えている。可動ブラケット５５は軸５７の周りに回動
する。パネル２２は内面を下方にし、外面をパネルカバ
ー５６の周縁部５６Ａに接触した状態でスカート部２２
Ａを固定爪５２と可動爪５４とで挟持することにより保
持されている。パネルカバー５６の周縁部５６Ａはパネ
ルのガラスを損傷しないように軽く接触させた状態であ
る。

【０００５】パネル保持装置５０に保持されたパネル２
２の内面は、所定の洗浄プログラム（例えば、市水洗浄
⇒カセイソーダ洗浄⇒市水洗浄⇒フッ酸洗浄⇒市水洗浄
⇒純水洗浄）で、洗浄される。純水洗浄後、赤外線、エ
アブロー等で乾燥する。フッ酸洗浄は、パネル２２の内
面側に配設されたノズル５８からフッ酸洗浄液５９を噴
射して行う。なお、フード、洗浄液回収槽等の図示は省
略する。

【０００６】図５（ａ）〜（ｅ）に示したＢＭ膜形成工
程（洗浄後のパネルの乾燥も含む）における各乾燥工程
では、パネル２２を保持した状態で保持装置５０を軸の
周りに高速回転して乾燥する。その際パネル２２の内面
に対向配置したヒータ（図示しない）で強制乾燥させて
いる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のパネ
ル保持装置５０で保持されたパネル２２を洗浄する際、
特にフッ酸洗浄において次のような問題が起きた。すな
わち、パネルカバー５６の周縁部５６Ａがパネル２２の
外面に軽度に接触する構成であるから、隙間からフッ酸
蒸気や液滴が侵入してパネル２２の外面に付着し表示面
のガラスを腐蝕するという問題があった。また、装置が
新しい間はパネルカバー５６の周縁部５６Ａの接触部は
滑らかでパネル２２の外面との密着度が良いが、使用期
間が長くなると経時変化で表面が劣化して微小な隙間が
生じ密着度が低下する。このため、微小な隙間であって
もフッ酸蒸気や液滴が容易に侵入してパネル２２の外面
に付着し表示面のガラスを腐蝕するという問題があっ
た。

【０００８】また、パネルカバー５６の周縁部５６Ａと
パネル２２の外面との接触部では、パネル２２の温度が
上昇し難いため乾燥工程で塗布膜が乾燥し難くなり、乾
燥むらが生じるという問題もあった。また、パネル２２
のコーナー部では、高速回転による冷却効果で塗布膜が
乾燥し難くなり、乾燥不足になるという問題もあった。

【０００９】そこで、本発明は上記の問題に鑑みて提案
されたもので、その目的は、洗浄工程でパネルとパネル
カバーとの隙間にフッ酸蒸気や液滴が侵入するのを防止
し、また、乾燥工程ではパネルの温度分布を改善して乾
燥むらを防止したパネル保持装置を提供することであ
る。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明のパネル保持装置は、パネルを着脱自在に保
持する保持手段と、第１、第２の開口を備えたパネルカ
バーと、気体導入手段とを備えたパネル保持装置であっ
て、前記保持手段でパネルを保持すると共に前記パネル
カバーでパネル表面を覆った状態で、前記第１の開口か
ら気体を注入し、前記パネルカバーと前記パネルとの間
隙へ該気体を流し、前記第２の開口から該気体を吹出す
ようにしたことを特徴とする。この構成により、パネル
とパネルカバーとの隙間に外部より圧力の高い気流が存
在するので、洗浄工程などで隙間にフッ酸蒸気や液滴が
侵入するのを防止できる。

【００１１】また、本発明のパネル保持装置は、パネル
を着脱自在に保持する保持手段と、第１の開口を備えた
パネルカバーと、気体導入手段とを備えたパネル保持装
置であって、前記保持手段でパネルを保持すると共に前
記パネルカバーでパネル表面を覆い、前記パネルカバー
の周縁部をパネルに密着させた状態で、前記第１の開口
から気体を注入し、前記パネルカバーと前記パネルとの
間隙の気圧を外界よりも高くしたことを特徴とする。こ
の構成により、パネルとパネルカバーとの隙間が外界よ
りも陽圧になるので、洗浄工程などで隙間にフッ酸蒸気
や液滴が侵入するのを防止できる。

【００１２】また、本発明のパネル保持装置は、前記気
流導入手段と共に、パネルを加熱する手段又は保温する
手段を備えていることを特徴とする。この構成により、
洗浄工程でパネルとパネルカバーの隙間に気流が存在す
るので、この隙間にフッ酸蒸気や液滴が侵入するのを防
止できる。また、乾燥工程ではパネルの温度上昇し難い
箇所も容易に上昇でき乾燥むらを防止できる。

【００１３】また、本発明のパネル保持装置は、前記加
熱手段が加熱空気であることを特徴とする。この構成に
より、簡易な手段で効果的にフッ酸蒸気や液滴の侵入
と、乾燥むらとの両方を防止できる。

【００１４】また、本発明のパネル保持装置は、前記加
熱手段がパネルカバー（特に、カバー内に形成された溝
など）に配設されたヒータであることを特徴とする。こ
の構成では、ヒータは加熱能力が高く、必要な箇所に配
設できるので、パネルの温度上昇効果が大きく、乾燥む
らを確実に防止できる。

【００１５】

【発明の実施の形態】本発明のパネル保持装置の第１の
実施の形態について、図を参照して説明する。図１は、
本発明のパネル保持装置１の概略構成を示す断面図と側
面図である。図１において、キャリアヘッド基台（以
下、基台と称する。）２の略中央に基台２を貫通する気
体注入口３が形成されている。また、基台２の下面には
端部に固定爪４を取付けた固定ブラケット５と、端部に
可動爪６を取付けた可動ブラケット７とが所定間隔で固
定されている。可動ブラケット７は軸７Ａの周りに回動
する。

【００１６】基台２の下面中央に、本発明に特有のパネ
ルカバー８が設置されている。パネルカバー８はパネル
２２の表示面と略相似形状の下方に凹部を有する形状で
あり、特に、中央に気体を注入するための第１の開口９
が形成されている。第１の開口９は基台２の気体注入口
３と同位置に形成されている。さらに、パネルカバー８
の周縁部８Ａには気体を排出するための第２の開口１０
が周に沿って複数個形成されている。

【００１７】パネル２２は内面を下方にし、スカート部
２２Ａを固定爪４と可動爪６とで挟持することにより保
持されている。パネルカバー８の主要部とパネル２２の
表示面とは密着せず、気体を通過させるために所定間隔
に保たれている。パネルカバー８の周縁部８Ａは、Ｏリ
ング等のシール部材１１を介してパネル２２の周縁部に
密着している。なお、シール部材を除き直接接触させる
こともできる。

【００１８】第２の開口１０の形状は図１に示すような
円形の他に、図２に示すように、矩形１０ａ、半円形の
切り欠き１０ｂ、長い矩形の切り欠き１０ｃなど、気流
を排出できればどのような形状でもよい。変形例とし
て、パネルカバーの周縁部８Ａとパネル２２の周縁部と
を接触させず、微小間隔あけてもよい。この微小間隔は
周方向に連続した開口といえる。

【００１９】さて、上記構成のパネル保持装置１に保持
されたパネル２２を洗浄する工程について説明する。ま
ず、気体発生装置（図示しない）を用いて所定圧力の乾
燥空気を基台２の気体注入口３に導入し、パネルカバー
８に形成された第１の開口９に注入する。注入された乾
燥空気はパネルカバー８とパネル２２との隙間を通って
パネルカバーの周縁部８Ａに形成された複数の第２の開
口１０から外部へ排出される。乾燥空気を連続して注入
排出しながら、フッ酸洗浄を行う。空気圧は大気圧より
もやや高く設定されているので、パネルカバー８とパネ
ル２２との隙間にフッ酸蒸気やフッ酸液滴が混入するこ
とはない。したがって、パネル２２の表面の腐蝕を完全
に防止することができる。洗浄プログラムは、例えば、
市水洗浄⇒カセイソーダ洗浄⇒市水洗浄⇒フッ酸洗浄⇒
市水洗浄⇒純水洗浄であり、種々の洗浄液を用いるの
で、これらの洗浄中は乾燥空気を継続して注入すること
が望ましい。少なくともフッ酸洗浄中は継続して注入す
る。純水洗浄後のパネル２２は、パネル２２の内面側に
対向配置したヒータ（図示しない）で乾燥する。

【００２０】次に、第１の実施の形態の変形例について
説明する。この例では、パネルカバー８に第１の開口９
のみ形成し、第２の開口１０を形成しない。図示はしな
いが、第２の開口１０を省いた図１に相当する。パネル
カバー８の周縁部８Ａをパネル２２の周縁部外面に密着
した状態で、所定圧力の乾燥（又は加熱）空気を第１の
開口９に注入する。空気の出口が無いのでパネルカバー
８とパネル２２との隙間の空気圧は外界よりも高くなり
陽圧になる。このため、フッ酸洗浄工程でパネルカバー
８とパネル２２との隙間にフッ酸蒸気やフッ酸液滴が混
入することはない。したがって、パネル２２の表面の腐
蝕を完全に防止することができる。

【００２１】次に、本発明のパネル保持装置の第２の実
施の形態について説明する。この実施の形態の特徴は、
乾燥工程での塗布膜の乾燥むらを解消するために、パネ
ルを加熱する手段又は保温する手段をパネルの表示面側
に配設したことである。具体的な加熱手段は温風であ
る。すなわち、乾燥空気を注入する第１の実施の形態、
同変形例において、特に、乾燥空気を加熱装置（図示し
ない）で所定温度に加熱してから注入することにより、
パネル２２の温度を速やかに上昇させ塗布膜の乾燥むら
を改善することができる。パネル２２を効率良く加熱す
るためには、乾燥工程だけでなく洗浄工程においても加
熱空気を注入することが望ましい。また、保温効果を上
げるために、シリコンゴム、ガラスウール等の保温材を
パネルカバーとパネルとの間に適宜介在させてもよい。
このように、加熱空気を注入するという簡易な手段で、
フッ酸蒸気や液滴の侵入防止と、乾燥むら防止の両方を
効果的に達成できる。

【００２２】次に、本発明のパネル保持装置の第３の実
施の形態について、図を参照して説明する。図３は、本
発明のパネル保持装置２０の概略構成を示す一部断面視
側面図である。第３の実施の形態の特徴は、乾燥工程で
の塗布膜の乾燥むらを解消するための強力な加熱手段と
して、図３に示すように、パネルカバー８にヒータ１２
を配設するものである。他の構成は図１に示した第１の
実施の形態と同様であるから、重複する説明を省略す
る。ヒータ１２は、特に温度の上がり難い箇所（例え
ば、パネル周縁部）の近傍に配設することが望ましい。
ヒータ１２の配設方法は、パネルカバー８の内面に溝８
Ｂを形成し、該溝８Ｂ内に埋設する。溝に埋設すること
で気流によるヒータの冷却を緩和できる。溝８Ｂの形態
は、渦巻き状、蛇行状、直線状など必要に応じて選択す
る。ヒータ１２としては、ニクロム線等の抵抗線を絶縁
体で被覆したもの（シースヒータ）、可撓性ゴムの中に
シースヒ−タ等を埋めたもの（ラバーヒータ）、短冊状
のセラミックヒータ、赤外線ランプ等種々のものが使用
できる。変形例として、ヒータ１２をパネルカバー８に
内蔵させてもよい。また、保温効果を上げるために、シ
リコンゴム、ガラスウール等の保温材をパネルカバー８
とパネル２２との間に適宜介在させてもよい。また、加
熱空気の注入と併用するとさらに効果がある。

【００２３】

【発明の効果】以上に説明したように、本発明のパネル
保持装置は、パネルを着脱自在に保持する保持手段と、
第１、第２の開口を備えたパネルカバーと、気体導入手
段とを備えたパネル保持装置であって、前記保持手段で
パネルを保持すると共に前記パネルカバーでパネル表面
を覆った状態で、前記第１の開口から前記パネルカバー
と前記パネルとの間隙へ該気体を導入し、前記第２の開
口から該気体を吹出すようにしたことを特徴とする。こ
の構成により、パネルとパネルカバーとの隙間に外部よ
り圧力の高い気流が存在するので、洗浄工程で隙間にフ
ッ酸蒸気や液滴が侵入するのを防止できる。また、前記
第２の開口を形成せず、空気の流出を抑制してパネルと
パネルカバーとの隙間を陽圧にすることにより、同様の
効果を得ることができる。

【００２４】また、前記気体を加熱空気にしたり、パネ
ルカバーにヒータを配設することにより、パネルの温度
上昇し難い箇所を加熱し、温度分布を改善して乾燥工程
での塗布膜の乾燥むらを防止できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のパネル保持装置の第１の実施の形態
を示す断面図と側面図

【図２】パネルカバーに形成した第２の開口の他の形
状を説明する図

【図３】本発明のパネル保持装置の第３の実施の形態
を示す一部断面視側面図

【図４】従来のカラー陰極線管の構造を示す図

【図５】従来のカラー陰極線管の蛍光面形成工程を説
明する図

【図６】従来のパネル保持装置の一部断面視側面図

【符号の説明】

１、２０パネル保持装置２キャリアヘッド基台３気体注入口４固定爪５固定ブラケット６可動爪７可動ブラケット８パネルカバー８Ａパネルカバーの周縁部８Ｂ溝９第１の開口１０、１０ａ、１０ｂ、１０ｃ第２の開口１１シール部材１２ヒータ２２パネル２２Ａパネルのスカート部

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】パネルを着脱自在に保持する保持手段と、
第１、第２の開口を備えたパネルカバーと、気体導入手
段とを備えたパネル保持装置であって、前記保持手段で
パネルを保持すると共に前記パネルカバーでパネル表面
を覆った状態で、前記第１の開口へ気体を注入し、前記
パネルカバーと前記パネルとの間隙へ該気体を流し、前
記第２の開口から前記気体を吹出すようにしたパネル保
持装置。
【請求項２】パネルを着脱自在に保持する保持手段と、
第１の開口を備えたパネルカバーと、気体導入手段とを
備えたパネル保持装置であって、前記保持手段でパネル
を保持すると共に前記パネルカバーでパネル表面を覆
い、前記パネルカバーの周縁部を前記パネルに密着させ
た状態で、前記第１の開口から気体を注入し、前記パネ
ルカバーと前記パネルとの間隙の気圧を外界よりも高く
したパネル保持装置。
【請求項３】パネルを加熱する手段又は保温する手段を
備えていることを特徴とする請求項１又は請求項２に記
載のパネル保持装置。
【請求項４】パネルを加熱する手段が加熱空気であるこ
とを特徴とする請求項３に記載のパネル保持装置。
【請求項５】パネルを加熱する手段がパネルカバーに配
設されたヒータであることを特徴とする請求項３に記載
のパネル保持装置。
【請求項６】パネルカバーに形成された溝にヒータが埋
設されたことを特徴とする請求項５に記載のパネル保持
装置。