JP2003065905A - 試料のサンプリング方法及び装置 - Google Patents
試料のサンプリング方法及び装置Info
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Abstract
る試料片のサンプリング作業を、大気中下で簡易な手法
により低コストで的確に行うことができ、しかも、TE
Mの高倍率観察を実現でき、試料片の追加工も可能にす
る。 【解決手段】試料基板の表面に集束イオンビームを照射
して微細な試料片を作製した後、試料基板38を大気中
の光学顕微鏡1下に搬送し、この光学顕微鏡下で、複数
の指片を有し少なくとも指片の一つが微細な3自由度動
作を行い得るマイクロマニピュレータ10を用いて、試
料片を試料基板38より摘出しかつ透過電子顕微鏡観察
用のグリッドに固定する。
Description
ハ,チップ等)の表面に集束イオンビーム(以下、FI
Bと略記する)を照射して作成されたμmオーダの微細
な試料片等を、マニピュレータを用いて試料基板から摘
まみ出して観察用のグリッドに固定するサンプリング方
法及び装置、さらに前記サンプリングに用いられる試料
に関する。特に、試料片を透過電子顕微鏡(以下、TE
Mと略記する)で観察するための前工程に好適な技術に
関する。
集積化に伴い、試料の分析や観察の対象物が走査電子顕
微鏡(以下、SEMと略記する)の分解能では観察でき
ないほどの極微細なものについても解析の必要性が生じ
ている。そのような極微細な観察装置としては、SEM
に代って観察分解能が高いTEMが有力である。
て、例えば、半導体ウエハ(試料基板)の表面に少なく
とも2つの異なる角度の方向から集束イオンビームを照
射(走査)して、TEM用電子線が透過可能な厚さの微
細な試料片(薄片)を作製し、この試料片を試料基板か
ら摘出(分離)し、この試料片をグリッドに固定するい
わゆるサンプリング作業が必要である。
は、電子線を透過可能にするため、厚さ0.1μm程度
の微細なものにする必要がある。この場合、最初から薄
膜加工する場合のほかに、最初は数μmの厚さにする場
合とがある。数μmの厚さに作製した場合には、その厚
さでTEM装置に搬送し、TEM装置で観察後に薄膜に
する領域を定めてから、再び、FIB装置で追加工して
0.1μm程度に仕上げる。長さ、幅は10〜数十μm
になっている。この微細な試料片をTEM装置で観察す
るためグリッドに固着してハンドリングする。
中で行う場合と大気中で行う場合がある。
例えば、特開平11−108810号公報、特開200
0−2630号公報に開示されるように、試料基板(F
IB装置で試料片を作成したもの)をFIB装置の真空
室で位置決めし、摘出対象となる試料片(薄片)にマニ
ピュレータのプローブの先端を接触させ、デポジション
用ガスを導入しつつ、FIBを試料基板の分離すべき部
分(試料片)とプローブの先端部を含む領域に局所的に
照射してデポジション膜(以下、デポ膜とする)を形成
し、このデポ膜により試料の分離すべき部分にプローブ
を接続する。次いで、試料基板の試料片支持部をFIB
照射によるスパッタ加工で切断することで、試料片を基
板から切り離し、試料片をプローブに委ねる。
ら分離した後に、試料ホルダをFIB照射領域に移動さ
せ(この時、プローブは後退させている)、その後、こ
の試料ホルダにプローブを接近させて試料片を試料ホル
ダに接触させ、ホルダ上で上記同様のデポ膜形成により
試料片を試料ホルダに接続する。次にプローブと試料片
との接続部にFIB照射することによりプローブを試料
片から切り離し、試料片を試料ホルダ側に自立させてい
る。最後に試料片を仕上げ加工してTEM観察に供して
いる。
では、試料基板から摘出した微細試料の移送,把持,試
料基板の微細部位へのプロービングに好適なものとし
て、プローブを複数用いたものや、積層型圧電素子とバ
イモルフ型圧電素子とを駆動源として組み合わせたマイ
クロピンセットによりμmレベルの微細な物体を摘むよ
うにしたものを提案している。
ては、FIB装置(真空中)で試料片を作成した後に、
試料片付きの試料基板(ウエハー)を真空外に取り出
し、大気中における光学顕微鏡下で摘出を行う方法があ
る。これは光学顕微鏡下で、ウエハー上に加工された試
料片をガラスキャピラリーの先端に静電気で付着させ摘
出して、カーボン膜付き(コロン状膜付き)メッシュ上
に移してTEM観察に供している。この大気中で行う方
法として特開平11−138469号「液圧遠隔操作型
マイクロマニピュレータ装置」がある。この方法は、試
料片を分離する場合、人がいると振動で薄片を付着させ
にくいので、マイクロツール(ガラスキャピラリー)先
端を遠隔で微動操作している。
を真空中で行う方法も大気中で行う方法も、いずれの場
合もその後にTEM装置で試料片を観察に供している。
合は、基板から摘出した試料片を、ホルダーの一辺(グ
リッド一辺)に張り出すように固定するので、イオンビ
ーム透過可能な状態で、その後にも、さらに試料片をF
IB装置で追加工し再びTEM装置で観察するという効
率の良い方法がとられる。
て真空中で行う必要があるといった制約があり、FIB
照射によるデポ膜作成、デポ膜除去といった工程を必要
とし、サンプリング装置が高価になる。
易で安価なサンプリングを実現できるが、カーボン膜付
きのメッシュに試料片(摘出片)を載置するため、イオ
ンビームが透過し難く試料片を追加工することができな
い。さらに、高倍率でTEM観察するとカーボン膜がダ
メージを受け試料片がメッシュ上より剥がれてしまうこ
とがあるので、高倍率のTEM観察には適していない。
気の付着力により引き離しが難しいなどの改善すべき点
があった。
後に行われる試料片のサンプリング作業を、制約の少な
い大気中下で簡易な手法により低コストで的確に行うこ
とができ、しかも、TEMの高倍率観察を実現でき、試
料片の追加工も可能にする試料のサンプリング方法及び
装置を提供することにある。
成するために、基本的には、次のようなサンプリング方
法及び装置を提案する。
ビームを照射して微細な試料片を作製した後、前記試料
基板を大気中の光学顕微鏡下に搬送し、この光学顕微鏡
下で、複数の指片を有し少なくとも指片の一つが微細な
3自由度動作を行い得るマイクロマニピュレータを用い
て、前記試料片を前記試料基板より摘出しかつ透過電子
顕微鏡観察用のグリッドに固定することを特徴とする。
と、大気中で使用する光学顕微鏡と、前記光学顕微鏡下
で操作される複数の指片により試料基板上に形成した微
細な試料片を摘まんで微小な回動,移動,開放動作を行
うマイクロマニピュレータと、前記マイクロマニピュレ
ータの駆動機構を電気的に制御する制御手段とを備え、
前記複数の指片のうち少なくとも1つの指片が微細な3
自由度動作を行う機構を有し、この複数の指片により、
前記試料片を前記試料基板から分離するために摘まみ上
げ、搬送し、且つ姿勢制御してグリッド上、又はグリッ
ド側面の適宜位置に載置し得るように構成したことを特
徴とする。
観ながらマイクロマニピュレータを操作して試料片を摘
まみ出すには、マイクロマニュピレータが複数の指片を
有すること、しかも、少なくとも指片の一つが微細な3
自由度動作が可能であれば、微細な試料片を摘み出し、
移動,微細な回転動作,開放動作を行い得るので、摘出
後に試料片を姿態を整えながらグリッドに固定し得ると
いった知見を得た。
ド近傍に移動され、姿勢制御されて、グリッド上、又は
グリッド側面に接触すれば、接触部を接着してグリッド
と試料片との接合が可能になる。
第2972865号「微少量液滴塗布法」があり、本発
明の試料片の固定にもこの接着法が利用可能である。
装置で観察し、より薄膜加工したい部分があれば、さら
にFIB装置に搬送して追加工し再びTEM観察を行う
ことができる。
84号公報、特開平9−267279号公報などのマイ
クロマニピュレータ、特開2000−2630号公報に
開示されたマイクロピンセットなどがあるが、いずれも
微小な薄片(試料片)をハンドリングするときの高度な
協調制御を行なうことに困難性があり、試料片を摘まみ
上げるときに必要な微小な相対運動を行うことが難し
い。
560262号)号公報において、指の機能を果たす箸
状(針状)の2本の指片(手先片)を備えた6自由度の
マイクロハンド機構(マニピュレータ)を提案してい
る。そして、マニピュレータを駆動させる機構(アクチ
ュエータ)は、12個配設することで提案されアクチュ
エータ自身が支柱としての役割をしている。この箸状の
指片を備えたマイクロハンド機構は、光学顕微鏡下では
数μm程度の微小物体を把持、持ち上げ、回転、移動、
開放することを実現している。
されているアクチュエータ自身が支柱としての役割をし
ているので、アクチュエータに電圧をかけたときに発熱
して熱膨張によるドリフトが針先に伝わり易く、本発明
が意図するような微細な試料片を摘まみ出すのには困難
性が伴う。さらに実用化するためには簡単な機構でかつ
小型化し、安価に提供できることが望まれる。
38177号公報において、微細作業では並進3自由度
が主たる動作になるという特性を利用して、簡単で高精
度な位置決めを行い得る3自由度マイクロマニピュレー
タを提案している。
ュレータのリンク機構を構成する柔軟構造物をどのよう
に製作して小型化するかと、その材質、及び駆動させる
機構としてのアクチュエータ配設や、用途,使用形態な
どの具体的提案はされておらず、また、この従来例が大
気中での光学顕微鏡下で試料片摘出のマイクロマニピュ
レータとして使用に適しているとの知見も得られていな
いものである。
施例を説明する。
料片)サンプリング装置の概略図、図2(a)は図1に
用いる2本指マイクロハンド機構すなわちマイクロマニ
ピュレータを矢印A方向からみた一部断面上面図、図2
(b)は図2(a)のB方向から見た図である。
ーなどの試料基板38を作業台4を介して載置するステ
ージ5と、大気中で使用する光学顕微鏡1と、光学顕微
鏡1下で操作される複数の指片を有するマイクロハンド
機構(マイクロマニュピレータ)10とを備える。
試料基板39上に形成した微細な試料片39(図7参
照)を摘まんで微小な回動,移動,開放動作を行い、そ
の駆動機構を電気的に制御する制御手段(例えばピエゾ
圧電素子)を備える。
うに、複数の指片13,14のうち少なくとも1つの指
片13が微細な3自由度動作を行う機構(3自由度モジ
ュール)11を有する。本実施例では、指片13,14
により箸に似せた動作を行わせることで、図7に示すよ
うに試料片39を試料基板38から分離するために摘ま
み上げ、搬送し、且つ姿勢制御してTEM観察用のグリ
ッド上、又はグリッド側面の適宜位置に載置し得るよう
に構成してある。
の対物鏡筒2の側方に支持部材8を介してスライド機構
9上に配置され、支持部材は試料38に対して斜め上方
位置から摘出に必要な微細動作を行い得るようにしてあ
る。スライド機構9は、X軸,Y軸,Z軸の3軸方向に
移動可能である。
で構成され、対物鏡筒2の上には光学顕微鏡を像を撮像
するためのテレビカメラ28が設置されている。光学顕
微鏡像はテレビカメラ28からの電気信号でモニター2
9に写しだされ観察できるようになっている。これらの
光学顕微鏡1、ステージ5、マイクロハンド機構10、
スライド機構9などは、一体的に組立てられてベース7
上に配置されている。
先立ち、図7によりFIBにより作製された試料片39
付きの半導体ウエハー38について説明する。
領域が、FIB装置(図示せず)で薄膜加工され、薄膜
加工された試料片(薄片39)は、切り離し前は、一端
がウエハー38に繋がり保持部40で保持されている。
エハー38の表面の一部を集束イオンビームにより溝加
工して、その溝41の中に形成される。溝41は、集束
イオンビームにより階段状に掘り下げられ、試料片39
を指片13,14により摘まみ上げるときに、溝壁が指
片の動作の妨げとならないように切り込み42を入れて
ある。
1〜3μm程度、幅が10〜20μm、長さ(図7では
深さ方向の寸法)10μm程度になっている。試料39
は、TEMで観察を目的とする部分39aとマイクロマ
ニピュレータにより摘まれる部分39bとを有し、マイ
クロマニピュレータにより摘まれる部分39bが観察を
目的とする部分39aよりも厚みを増している。例え
ば、摘まれる部分39bの厚みは3μm程度であり、観
察部分39aの厚みは0.1μm以下である。このよう
に厚みを変えることによって、試料の加工時間を短縮
し、ハンドリングを容易にし、観察部分の保護(傷防
止)を図ることができる。
ド機構(マニピュレータ)を図2〜図6を用いて説明す
る。なお、図3(a)(b)は、第1の指片13を動作
させる3自由度モジュール11を見方を変えて示す立体
図であり、そのリンク機構18は、回転対偶及び並進対
偶を実現する柔軟構造物からなる。ここでは、リンク機
構18、指片のホルダー(エンドエフェクタ)16及び
ベース部材15を一体成型してなる。ホルダー16に
は、指片(ニードル)取付孔17が設けてある。
3自由度モジュール11のベース部材15、リンク機構
18、ピエゾ圧電素子34の関係、及びベース部材15
と支持軸8の結合関係を示す図、図4(b)はベース部
材15を反リンク機構側からみた概略説明図である。本
実施例における指片13のマニピュレータの基本原理
は、先に提案した特開平10−138177号公報に記
載されたものと同一であるが、本実施例では、ウエハー
上の試料片を摘まみ上げるために、種々の独自の構造的
配慮がなされている。
ロハンド機構は、2本の針状指片13、14に箸の動き
に似せた動作を与えるものであり、指片の駆動機構につ
いては、第1の指片13には、後述する3自由度モジュ
ール11を用い、第2の指片14には、針先合わせ機構
12を用いている。
1を介して支持軸8とほぼ一直線上になるように取り付
けられ、さらに、第1の指片13と第2の指片14とに
微小な相対運動を生成せしめ、その開き角度20°で最
適な相対運動が得られるように配慮されている。
り付けるホルダー(エンドエフエクタ)16とこのホル
ダー16を支持するベース部材15と、前記ホルダー1
6、ベース部材15の間を連結する回転対偶要素及び並
進対偶要素を有する三つのリンク機構18と(図2では
作図の視覚的角度よりリンク機構18が2本表されてい
るが、このリンク機構18は図3に示すように3本あ
る)、リンク機構18に駆動力を与えるピエゾ圧電素子
34よりなる。
配置される。
ように筒形のベース部材15に保持されて一部がリンク
機構18側に突出し、この突出先端部が並進対偶要素の
うちベースに対向する面33(図4)に圧電力を加える
ように接している。
成を図5、図6を参照して説明する。光学顕微鏡下の微
細作業では、互いに直交する3軸方向の並進3自由度の
動作が主要である。このような観点から考察すると、リ
ンク要素として、図6に示すように、一対の対偶部材1
9の間を薄肉部(くびれ部)23で連結することにより
回転対偶Rを実現する柔軟構造物や、同図(b)に示す
ように、一対の対偶部材20の両端を一対の連結杵部2
1によりそれぞれの薄肉部(くびれ部)22を介して連
結して、並進対偶Pを実現する柔軟構造物(平行四辺形
リンク)を利用するのが有利であり、それらを利用して
3自由度の並進運動を実現する機構を構成するのが適切
である。
対偶Pを組み合せてリンク機構18を構成するものであ
り、図5(a)はリンク機構18の上面図、同(b)は
リンク機構18の正面図である。
対の対偶部材30の間を薄肉部32d連結することによ
り実現される二つの回転対偶Rと、一対の対偶部材30
の両端部間を一対の連結杵部31でそれぞれ薄肉部32
を介して連結することにより実現される二つの並進対偶
Pとを備えた柔軟構造物により構成されている。
ータ34は、例えばピエゾ圧電素子が用いられる。
わせて3個用意される。筒形ベース部材15には、軸方
向に向けてピエゾ圧電素子34を内挿するための孔84
が図3及び図4(b)に示すように120°間隔で配置
されている。
ード線引出し溝85が形成されている。圧電素子34
は、上記孔84に内挿され、その一部が既述したように
ベース部材15からベース部材15からリンク機構18
側に突出して、前記一対の並進対偶Pの間に形成した受
け面33により受け止められている。
ちベース寄り側のものを図3に示すようにその連結杵部
31を平行配置してその間にピエゾ圧電素子34の一部
が入るようにしてある。
伸縮度合いを制御信号に応じて個別に変化させることに
より、リンク機構18の接触部33を押して各対偶を駆
動させることができるようになっている。
5のRPRP機構を構成するリンク機構18の三つを、
ベース部材15とホルダ−16との間において、中心軸
線の周りに120°の間隔で対称型に配置する。
は、ベース部材15に一体化されており、このベース部
材15は可撓性の板25と板形状のベースプレート24
を挟んで、支持軸8先端にジョイント87を介して固着
されている。ジョイント87は、タップ状のものであ
り、図4に示すようにベース部材15の一端面中央の螺
子孔86に取り付けられ、支持軸8は、一端8´がジョ
イント87の取り付け孔87´に挿入されて止め螺子8
8の締め付け力により固着されている。
部分は、図2に示すように傾斜状に折り曲げられて斜板
によりばね板25´が形成されている。この斜板25´
には、雌螺子付きのスクリューガイド36が固定され、
このガイド36の雌螺子に支持軸35に設けた雄螺子3
5Aが螺子嵌合して支持軸35の直線運動(進退動作)
を可能にしている。
2に示すように第1の針状指片13に対して斜めの角度
で取り付けられている。板ばね25´は、その背面に板
ばねの傾き方向を微調整する複数の調整螺子(実施例で
は2本)37,37´が押し当てられている。
すように、ベースプレート24に上下2列の平行配置に
なるように取り付けられる。調整螺子37、37´を進
退調整することで、第2の指片14の先端に全方向の微
細な動きが与えられるようになっている。上記した並進
3自由度モジュール11と上記した針先合わせ機構12
により、第1の指片13と第2の指片14のそれぞれの
先端間に箸の動きに似せた微小な相対運動を生じさせる
ものである。針先合わせ機構12は、スクリューガイド
36及び支持軸35の螺子部35Aが、指片13、14
同士を粗動の針先き合わせ操作する機構(第1の針先合
わせ機構)をなし、板ばね25´、調整ねじ37、37
´が微細に針先合せを操作する機構(第2の針先合わせ
機構)をなしている。
テン)とガラス針などで、どちらもその先端は極細形状
となって尖端のテーパ角度はほぼ10°となっている。
人指し指に相当する指片13は薄片27がくっ付き難い
材質で、親指側に相当する指片14は薄片27がくっ付
き易い材質の異種材の組み合わせがよい。
ータ34としては、例えば、積層型のピエゾ圧電素子な
どを用いることができる。符号の26は、アクチュエー
タ34に電圧を供給するリード線である。アクチュエー
タ34として用いるピエゾ圧電素子は、応答が速く、微
小変位と高出力が得られものの、ヒステリシスが非常に
大きく、駆動電圧のみによるオープンループ制御では、
正確な位置決めを行うことが困難であるため、変位量を
測定してフィードバック制御することが望ましく、この
場合には、特に、コンパクトな変位測定手段とサーボ駆
動系が要求される。このような変位測定手段としては、
アクチュエータ34の伸縮方向に歪みゲージを直接貼り
付けて(図示は省略してある)、それら圧電素子のサー
ボ系としては、符号60に示すように計算機を用いたソ
フトウエアサーボや演算増幅器を用いたアナログサーボ
等を採用することができる。
されないリード線を介してアクチュエータ(圧電素子)
34に送られる。
ロハンド機構)10における制御動作を説明する。ま
ず、マニピュレータ10の2本指である第1の指片13
と第2の指片14との先端針先を目視で合わせた後、光
学顕微鏡で確認して先端の長さをほぼ一致させ、間隔を
50μm程度になるように合わせる。
の指片13と第2の指片14との先端同士の針先を合わ
せる。さらに、先端を接触させZ方向のずれをなくして
から間隔を5μm程度(薄片の大きさに合わせ所望の間
隔にする)にする。
ングする場合は、上述したように第1の指片13と第2
の指片14との先端針先を行い、指片13,14を上記
対象物に対して位置決めした後、アクチュエータ34に
よる三つのリンク機構18を制御し、指片13と指片1
4とに微小な相対運動を生成させる。即ち、三つのアク
チュエータ34を駆動してリンク機構18の接触部33
を押し、ホルダー16を所定量可動させ、指片13と指
片14とを対象物に対して把持操作(摘まみ上げ)等の
微細操作をするが、この微細操作は、歪ゲージからの各
アクチュエータ34の変位量を検出し、この変位量から
サーボ制御回路60が指片13の現位置を算出し、これ
をフィードバックして所定の位置決め指令値と比較し、
その偏差量がなくなるまでアクチュエータ34をサーボ
駆動することにより行う。
対して、三つのアクチュエータ34を駆動してリンク機
構18を所定量だけ伸縮させ、指片13及び指片14と
に微小な相対運動を生成させる。このようにリンク機構
18は広い動作領域内で微小な相対運動を生成して、図
7に示すように容易に対象物をハンドリング(摘まみ上
げ)して、所定の場所に搬送することができる。
に移動させ、姿勢(位置)制御されて、図8に示すよう
なTEM観察用のグリッド50の端面51に接触させ
る。そのあと、例えば、特許公報第2972865号
「微少量液滴塗布法」に示されるような接着剤52によ
りグリッド50と試料片39を一体化する。
のガラス繊維入りガラスに熱及び張力を加えて伸長する
ことにより外径2〜5μm、内径1〜3μmの微小ピペ
ット状ガラス針を作製し、微少量の液状体(接着剤)を
ガラス針の先端からガラス繊維の毛細管現象を利用して
導入し、それを根本から圧力を加えることによって、希
望する箇所に塗布するというものである。
に相当する指片13は試料片39がくっ付き難い材質
で、親指側に相当する指片14は試料片39がくっ付き
易い材質の異種材の組み合わせになっているとサンプリ
ングの微細操作がやり易くなり、作業性を高めることが
できる。指片13としては、静電気が帯電しにくい材質
のもので例えば、金属材やガラスに金属膜を施したもの
があり、指片14としてはガラス材がある。
EM観察および追加加工時のFIB装置で共用できる。
て摘まみ上げるために使用するマニピュレータに、3自
由度モジュールを使用し、また、各リンク機構18を駆
動するピエゾ素子34は、リンク18一つ当たり一つで
済むので、リード線26の本数を大幅に削減することが
できる。
のを使用した場合には、アクチュエータ用のピエゾ素子
が12個用いるが、本実施形態の3自由度では、ピエゾ
素子34は3個と大幅に削減させる。また、図示してい
ないが、マニピュレータのリンク位置を検出する歪ゲー
ジは、6自由度には、24個、本実施形態の場合は、6
個、また、リード線は、ピエゾ素子は、ピエゾ素子1つ
当たりにつき2本であり、歪ゲージ1つ当たりにつき3
本である。リード線26の数は、6自由度の場合には、
96本となり、これに対して、本実施形態の場合には、
リード線は1/4と大幅に減少することが、実装性に優
れている。 上記したように3自由度モジュールによれば、マニピ
ュレータの構成を簡略化し、また、歪ゲージやピエゾ圧
電素子も大幅に減少できるので、小型化に貢献すること
ができる。 箸状の2本の指片の先端として、長さ、間隔の合せと
位置調整が容易に行える。2本の指片の強度はアクチ
ュエータを支柱とせず、ピエゾ素子の強度に頼らない構
造で取り付けられ、剛性が強く振動が伝わりにくい。 ピエゾ素子に電圧を掛けたときピエゾ素子自身が発熱
し熱膨張するが、この発熱が筒形のベース部材に流れ熱
的に早く安定し熱膨張を抑えるので、熱ドリフトが針先
に伝わりにくい。
された試料片をウエハーから分離して摘まみ上げると
き、分離する瞬間のテンションによって針先から飛び跳
ねることが起きない。針先が振動、及び熱ドリフトの影
響を受け難いので安定した摘まみ上げが可能となり、摘
まみ上げたままでグリット位置まで搬送が行える。ま
た、グリッドへの試料片の接着は、姿態制御を行いなが
らできるので、的確なサンプリングを保証する。
技術がレベルアップされ、薄片を分離摘まみ上げするほ
かに、マイクロエレクトニクス、バイオテクノロジー、
医療の分野により貢献することが可能となる。
3自由度モジュール11を1個使用する構造としたが、
第2の指片14側も含め2個使用する構造としても同様
の操作が行える。また、マニピュレータ10と支持軸8
の間にもう1個追加して、すなわち、直列に2個接続す
る構造としてもよく、この場合は動作領域が大きくとる
ことができ、より広い作業空間にある対象物に対して位
置決めが可能となる。
よる試料片作成後に行われる試料片のサンプリング作業
を、制約の少ない大気中下で簡易な手法により低コスト
で的確に行うことができ、しかも、TEMの高倍率観察
を実現でき、試料片の追加工も可能にする。このことに
よりスループットが改善されて、半導体デバイスが高集
積度化しても不良解析、信頼性向上、歩留まり向上が図
られるとともに新構造、新材料適用のデバイスの開発を
行うことができる。
タの概略図。
を矢印A方向からみた一部断面上面図、(b)は同図
(a)のB方向から見た図。
方を変えて示す立体図。
ータ11のベース部材15、リンク機構18、ピエゾ圧
電素子34の関係、及びベース部材15と支持軸8の結
合関係を示す図、(b)は、ベース部材15を反リンク
機構側からみた概略説明図。
面図及び正面図。
図。
視図。
試料片をグリッドに接着する状態を示す一部切り欠き斜
視図、(b)はそのA方向矢視図である。
機構(マイクロマニピュレータ)、13,14…指片、
38…試料基板、39…試料片、41…溝、42…切り
込み、50…グリッド、52…接着剤。
Claims (9)
- 【請求項1】 試料基板の表面に集束イオンビームを照
射して微細な試料片を作製した後、前記試料基板を大気
中の光学顕微鏡下に搬送し、この光学顕微鏡下で、複数
の指片を有し少なくとも指片の一つが微細な3自由度動
作を行い得るマイクロマニピュレータを用いて、前記試
料片を前記試料基板より摘出しかつ透過電子顕微鏡観察
用のグリッドに固定することを特徴とする試料のサンプ
リング方法。 - 【請求項2】 前記試料片は、前記試料基板の表面の一
部を前記集束イオンビームにより溝加工してその溝の中
に形成され、前記溝には、前記試料片を前記指片により
摘まみ上げるときに、溝壁が前記指片の動作の妨げとな
らないように切り込みを入れてある請求項1記載の試料
のサンプリング方法。 - 【請求項3】 試料基板を載置するステージと、大気中
で使用する光学顕微鏡と、前記光学顕微鏡下で操作され
る複数の指片により試料基板上に形成した微細な試料片
を摘まんで微小な回動,移動,開放動作を行うマイクロ
マニピュレータと、前記マイクロマニピュレータの駆動
機構を電気的に制御する制御手段とを備え、 前記複数の指片のうち少なくとも1つの指片が微細な3
自由度動作を行う機構を有し、この複数の指片により、
前記試料片を前記試料基板から分離するために摘まみ上
げ、搬送し、且つ姿勢制御してグリッド上、又はグリッ
ド側面の適宜位置に載置し得るように構成したことを特
徴とする試料のサンプリング装置。 - 【請求項4】 前記制御手段は遠隔操作により前記マイ
クロマニピュレータを制御し、拡大観察像を表示するモ
ニターで観察しながら前記マイクロマニピュレータを微
細操作するようにしてある請求項3記載の試料のサンプ
リング装置。 - 【請求項5】 前記試料片をグリッド上に載置後に微量
液滴を塗布して接着固定する接着手段を有する請求項3
又は4記載の試料のサンプリング装置。 - 【請求項6】 前記グリッドは、前記試料片を透過電子
顕微鏡で観察するために用いられる請求項5記載の試料
のサンプリング装置。 - 【請求項7】 前記マイクロマニピュレータは2本の針
状指片よりなり、一方の針状指片が並進3自由度モジュ
ールに支持され、他方の針状指片が傾きを有する板ばね
に支持されている請求項3ないし6のいずれか1項記載
の試料のサンプリング装置。 - 【請求項8】 前記2本の針状指片は異種材の組み合せ
で構成した請求項7記載の試料のサンプリング装置。 - 【請求項9】 マイクロマニピュレータで摘まれる微細
な試料であって、透過電子顕微鏡で観察を目的とする部
分と前記マイクロマニピュレータにより摘まれる部分と
を有し、前記マイクロマニピュレータにより摘まれる部
分が前記観察を目的とする部分よりも厚みを増している
ことを特徴とする試料。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10344643A1 (de) * | 2003-09-17 | 2005-04-21 | Zeiss Carl Nts Gmbh | Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter |
US7375325B2 (en) | 2003-09-17 | 2008-05-20 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method for preparing a sample for electron microscopic examinations, and sample supports and transport holders used therefor |
DE102008013753A1 (de) | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Sii Nanotechnology Inc. | Probenverschiebungsverfahren in Ladungsteilchenstrahlgerät und Ladungsteilchenstrahlgerät sowie Probe für Transmissionselektronenmikroskop |
JP2008229776A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Nsk Ltd | マニピュレータ |
JP2009133833A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法及び透過電子顕微鏡用試料片 |
JP2010190808A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 |
CN112198174A (zh) * | 2020-08-25 | 2021-01-08 | 华东师范大学 | 一种透射电子显微镜的装样装置 |
-
2001
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Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE10344643A1 (de) * | 2003-09-17 | 2005-04-21 | Zeiss Carl Nts Gmbh | Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungenm, sowie dabei verwendete Probenträger und Transporthalter |
DE10344643B4 (de) * | 2003-09-17 | 2006-03-02 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Verfahren zur Präparation einer Probe für elektronenmikroskopische Untersuchungen, sowie dabei verwendete Probenträger |
US7375325B2 (en) | 2003-09-17 | 2008-05-20 | Carl Zeiss Nts Gmbh | Method for preparing a sample for electron microscopic examinations, and sample supports and transport holders used therefor |
DE102008013753A1 (de) | 2007-03-13 | 2008-09-18 | Sii Nanotechnology Inc. | Probenverschiebungsverfahren in Ladungsteilchenstrahlgerät und Ladungsteilchenstrahlgerät sowie Probe für Transmissionselektronenmikroskop |
US7872231B2 (en) | 2007-03-13 | 2011-01-18 | Sll NanoTechnology Inc. | Sample relocation method in charged particle beam apparatus and charged particle beam apparatus as well as sample for transmission electron microscope |
JP2008229776A (ja) * | 2007-03-20 | 2008-10-02 | Nsk Ltd | マニピュレータ |
JP2009133833A (ja) * | 2007-11-06 | 2009-06-18 | Sii Nanotechnology Inc | 透過電子顕微鏡用試料作製方法及び透過電子顕微鏡用試料片 |
JP2010190808A (ja) * | 2009-02-20 | 2010-09-02 | Sii Nanotechnology Inc | 集束イオンビーム装置、及びそれを用いた試料の加工方法 |
US8581206B2 (en) | 2009-02-20 | 2013-11-12 | Sii Nanotechnology Inc. | Focused ion beam system and sample processing method using the same |
CN112198174A (zh) * | 2020-08-25 | 2021-01-08 | 华东师范大学 | 一种透射电子显微镜的装样装置 |
CN112198174B (zh) * | 2020-08-25 | 2023-01-13 | 华东师范大学 | 一种透射电子显微镜的装样装置 |
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