JP2003065705A

JP2003065705A - 変位量センサ

Info

Publication number: JP2003065705A
Application number: JP2001256105A
Authority: JP
Inventors: Akitoshi Mizutani; 彰利水谷; Masao Tokunaga; 政男徳永; Kenji Takeda; 武田　　憲司; Tsutomu Nakamura; 中村　　勉; Shigetoshi Fukaya; 深谷　　繁利; Hiroshi Takeyama; 博司竹山; Kimio Uchida; 公雄内田; Keiichi Yasuda; 恵一安田
Original assignee: Denso Corp; Nippon Soken Inc
Current assignee: Denso Corp; Soken Inc
Priority date: 2001-08-27
Filing date: 2001-08-27
Publication date: 2003-03-05

Abstract

(57)【要約】【課題】検出精度の高い変位量センサを提供する。【解決手段】第１ヨーク３０の円弧部３１と第２ヨー
ク４０の円弧部４１とは、被検出体である移動体ととも
に直線移動するシャフト７０と向き合う対向部２２を構
成している。ホールＩＣ６０は、磁路部３２からホール
ＩＣ６０を通り磁路部４２に流れる磁束がホールＩＣ６
０の検出面を垂直に貫通するように設置されている。対
向部２２とシャフト７０とが構成する可変抵抗手段はホ
ールＩＣ６０と並列に設置されている。シャフト７０が
移動体とともに矢印Ｙ方向に移動するにしたがい、対向
部２２とシャフト７０との間の間隔は小さくなり、対向
部２２とシャフト７０との間の磁気抵抗は小さくなる。
対向部２２とシャフト７０との間を磁束が流れやすくな
るので、ホールＩＣ６０を流れる磁束が減少し、ホール
ＩＣ６０が検出する磁束密度は小さくなる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、直線移動する移動
体の変位量を検出する変位量センサに関する。

【０００２】

【従来の技術】直線方向に移動する移動体の変位量を検
出する変位量センサとして、図１９に示すものが知られ
ている。永久磁石５００は変位量を検出される移動体と
ともに図１９の矢印Ｘ、Ｙに示すように、ホール素子を
有するホールＩＣ５０１の磁気検出面５０２に対し斜め
方向に移動する。移動体の変位量を検出するホールＩＣ
５０１は、図示しない支持部材に固定されている。移動
体とともに移動する永久磁石５００の位置により、永久
磁石５００に対するホールＩＣ５０１の位置が図１９の
下段に示すように変化する。永久磁石５００の位置によ
り、ホールＩＣ５０１が検出する磁束密度は図２０に示
すように変化する。図１９および図２０において、永久
磁石５００の中心が０位置にあるときをストローク量０
としている。ホールＩＣ５０１が検出する磁束密度によ
り、移動体の変位量であるストローク量を測定すること
ができる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図１９
に示すような変位量センサでは、永久磁石５００が発生
する磁束がホールＩＣ５０１との間を固定磁性部材を介
さず空気中を流れるので、永久磁石５００が発生する磁
束をホールＩＣ５０１に導く集磁力が小さく、ホールＩ
Ｃ５０１が検出する磁束密度の上限値と下限値の範囲が
小さい。したがって、永久磁石５００が異なる位置に変
位しているときにホールＩＣ５０１が検出する磁束密度
の差が小さいので、変位量センサの感度が低くなる。ま
た、変位量センサが周囲の磁気による影響を受けやす
く、Ｓ／Ｎ比が低下する。

【０００４】また、永久磁石５００が移動体と矢印Ｘ、
Ｙ方向に移動することにともない、ホールＩＣ５０１の
位置が永久磁石５００の極方向に変化するように永久磁
石５００を斜めに移動させるので、永久磁石５００の移
動面積が大きくなり、変位量センサが大型化する。さら
に、永久磁石５００が斜めに移動するので、永久磁石５
００の取付角度の誤差および移動中のがたつきにより変
位量センサの検出精度が変化する。また、ホールＩＣ５
０１の取付位置が永久磁石５００の移動範囲の中央に位
置しているので、ホールＩＣ５０１から検出信号を取り
出す配線が煩雑である。

【０００５】本発明の目的は、検出精度の高い変位量セ
ンサを提供することにある。本発明の他の目的は、小型
の変位量センサを提供することにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明の請求項１、８ま
たは１０記載の変位量センサによると、可変抵抗手段が
磁気検出素子と並列に設置されているので、可動磁性部
材の移動位置により可変抵抗手段の磁気抵抗が増加し可
変抵抗手段に磁束が流れにくくなると、磁気検出素子が
検出する磁束密度が増加する。また、可動磁性部材の移
動位置により可変抵抗手段の磁気抵抗が低下し可変抵抗
手段に磁束が流れやすくなると、磁気検出素子が検出す
る磁束密度が低下する。永久磁石が発生する磁束が周囲
に発散せず固定磁性部材を通り磁気検出素子に導かれる
ので、磁気検出素子が検出する磁束密度の上限値と下限
値の範囲が大きくなる。可動磁性部材が異なる位置に変
位しているときに磁気検出素子が検出する磁束密度の差
が大きくなるので、変位量センサの検出感度が上昇す
る。さらに、周囲の磁気の影響を受けにくいので、変位
量センサのＳ／Ｎ比が上昇する。また、固定磁性部材が
磁気検出素子に磁束を導くので、磁気検出素子を設置す
る位置は限定されず磁気検出素子の設置位置の自由度が
高い。検出信号を取り出しやすい位置に磁気検出素子を
設置できるので、配線が容易である。

【０００７】本発明の請求項２または１２記載の変位量
センサによると、可動磁性部材が直線移動する方向にし
たがい対向部と可動磁性部材とが形成する間隔は増加ま
たは減少し、可変抵抗手段の磁気抵抗が変化する。対向
部または可動磁性部材の形状を調整することにより、可
動磁性部材の移動方向にしたがい対向部と可動磁性部材
とが形成する間隔を増加または減少することは容易であ
る。また、対向部に対し移動軌跡と交差する方向に可動
磁性部材を変位させる必要がないので、可動磁性部材の
移動面積が小さい。したがって、変位量センサを小型化
できる。

【０００８】本発明の請求項３または１３記載の変位量
センサによると、対向部と向き合う可動磁性部材の移動
軌跡と直交する断面積は、可動磁性部材が直線移動する
方向にしたがい増加または減少し、可変抵抗手段の磁気
抵抗が変化する。可動磁性部材の端部形状をテーパ状に
する等により、直線移動する方向にしたがい可動磁性部
材の断面積を増加または減少することは容易である。ま
た、対向部に対し移動軌跡と交差する方向に可動磁性部
材を変位させる必要がないので、可動磁性部材の移動面
積が小さい。したがって、変位量センサを小型化でき
る。

【０００９】本発明の請求項４または１４記載の変位量
センサによると、対向部が可動磁性部材と形成する間隔
を可動磁性部材の移動位置に関わらず一定になるよう
に、例えば対向部と向き合う可動磁性部材の断面形状を
一定にすることは容易である。また、対向部に対し移動
軌跡と交差する方向に可動磁性部材を変位させる必要が
ないので、可動磁性部材の移動面積が小さい。したがっ
て、変位量センサを小型化できる。

【００１０】本発明の請求項５または６記載の変位量セ
ンサによると、永久磁石と対向部とは可動磁性部材の移
動軌跡と直交する同一平面上に位置している。永久磁石
と対向部とを可動磁性部材の移動方向の異なる位置に設
置する構成に比べ、変位量センサを小型化できる。

【００１１】本発明の請求項７記載の変位量センサによ
ると、第１仮想軸上において永久磁石同士が形成する間
隔は、第１仮想軸と直交する第２仮想軸上において対向
部と可動磁性部材とが形成する間隔よりも大きい。可動
磁性部材が移動し可動磁性部材と第２仮想軸上の対向部
との間隔、ならびに可動磁性部材と第１仮想軸上の永久
磁石との間隔が小さくなるとき、永久磁石が発生する磁
束は永久磁石から直接可動磁性部材に流れるよりも第２
仮想軸上の対向部を通ってから可動磁性部材に流れやす
い。したがって、可動磁性部材の移動にともない対向部
と可動磁性部材との間に形成される磁気抵抗の変化によ
り、可動磁性部材の変位量を高精度に検出できる。

【００１２】本発明の請求項９記載の変位量センサによ
ると、固定磁性部材は、それぞれ一体に形成された２個
の磁性部材により構成されているので、変位量センサの
組み付けが容易になる。本発明の請求項１１記載の変位
量センサによると、可変抵抗手段が磁気検出素子と直列
に設置されている。したがって、可動磁性部材の移動位
置により可変抵抗手段の磁気抵抗が増加し可変抵抗手段
に磁束が流れにくくなると、磁気検出素子が検出する磁
束密度が低下し、可動磁性部材の移動位置により可変抵
抗手段の磁気抵抗が低下し可変抵抗手段に磁束が流れや
すくなると、磁気検出素子が検出する磁束密度が増加す
る。永久磁石が発生する磁束が周囲に発散せず固定磁性
部材を通り磁気検出素子に導かれるので、磁気検出素子
が検出する磁束密度の上限値と下限値の範囲が大きくな
る。可動磁性部材が異なる位置に変位しているときに磁
気検出素子が検出する磁束密度の差が大きくなるので、
変位量センサの検出感度が上昇する。さらに、周囲の磁
気の影響を受けにくいので、変位量センサのＳ／Ｎ比が
上昇する。

【００１３】本発明の請求項１５記載の変位量センサに
よると、永久磁石、固定磁性部材および磁気検出素子を
樹脂モールドすることにより、永久磁石、固定磁性部材
および磁気検出素子を容易に支持できる。本発明の請求
項１６記載の変位量センサによると、内側カップと外周
側とで永久磁石、固定磁性部材および磁気検出素子を容
易に支持できる。

【００１４】本発明の請求項１７記載の変位量センサに
よると、可変抵抗手段が磁気検出素子と直列に設置され
ている。したがって、移動体および可動部材とともに移
動する永久磁石の移動位置により可変抵抗手段の磁気抵
抗が増加し可変抵抗手段に磁束が流れにくくなると、磁
気検出素子が検出する磁束密度が低下する。また、永久
磁石の移動位置により可変抵抗手段の磁気抵抗が低下し
可変抵抗手段に磁束が流れやすくなると、磁気検出素子
が検出する磁束密度が増加する。永久磁石が発生する磁
束が周囲に発散せず固定磁性部材を通り磁気検出素子に
導かれるので、磁気検出素子が検出する磁束密度の上限
値と下限値の範囲が大きくなる。永久磁石が異なる位置
に変位しているときに磁気検出素子が検出する磁束密度
の差が大きくなるので、変位量センサの検出感度が上昇
する。さらに、周囲の磁気の影響を受けにくいので、変
位量センサのＳ／Ｎ比が上昇する。

【００１５】本発明の請求項１８記載の変位量センサに
よると、永久磁石が直線移動する方向にしたがい対向部
と永久磁石とが形成する間隔が増加または減少し、可変
抵抗手段の磁気抵抗が変化する。対向部の形状を調整す
ることにより、可動磁性部材の移動にともない対向部と
永久磁石とが形成する間隔を増加または減少することは
容易である。また、対向部に対し移動軌跡と交差する方
向に永久磁石および可動部材を変位させる必要がないの
で、永久磁石および可動部材の移動面積が小さい。した
がって、変位量センサを小型化できる。

【００１６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を示す
複数の実施例を図に基づいて説明する。（第１実施例）本発明の第１実施例による変位量センサ
を図２に示す。変位量センサ１０は、図１に示すセンサ
本体２０を樹脂モールドしたものである。モールド樹脂
１１には、変位量センサ１０を固定するねじを通す貫通
孔１２が３箇所等角度間隔に形成されている。収容孔１
３は、変位量センサ１０が変位量を検出する被検出体で
ある移動体とともに直線方向に移動するシャフト７０を
矢印Ｘ、Ｙで示す直線方向に移動可能に収容する。

【００１７】図１に示すように、センサ本体２０は、固
定磁性部材２１と、２個の永久磁石５０と、ホール素子
を有するホールＩＣ６０とを有している。固定磁性部材
２１は、第１ヨーク３０および第２ヨーク４０を有して
いる。第１磁性部材としての第１ヨーク３０は、円弧部
３１および磁路部３２を有し、Ｔ字状に一体に形成され
ている。第２磁性部材としての第２ヨーク４０は、円弧
部４１および磁路部４２を有し、Ｔ字状に一体に形成さ
れている。第１ヨーク３０の円弧部３１および第２ヨー
ク４０の円弧部４１は楕円状の対向部２２を構成してい
る。楕円状の対向部２２は、第１仮想軸７５上に位置す
る永久磁石５０同士の間隔が、第１仮想軸７５と直交す
る第２仮想軸７６上の円弧部３１と円弧部４１との間隔
よりも長くなっている。第１ヨーク３０の磁路部３２と
第２ヨーク４０の磁路部４２とは、それぞれ第２仮想軸
７６上の円弧部３１と円弧部４１とから可動磁性部材で
あるシャフト７０の一方の直線移動方向に延びている。

【００１８】永久磁石５０は、円弧部３１の両端部と円
弧部４１の両端部との間に挟持されている。永久磁石５
０の円弧部３１側がＮ極であり、円弧部４１側がＳ極で
ある。ホールＩＣ６０は、反円弧部側の磁路部３２と磁
路部４２との間に設置されている。ホールＩＣ６０は、
磁路部３２からホールＩＣ６０を通り磁路部４２に流れ
る磁束がホールＩＣ６０の検出面を垂直に貫通するよう
に設置されている。ホールＩＣ６０は、ホール素子と、
ホール素子の検出信号を制御する制御回路とを有してい
る。第１実施例では、ホール素子とホール素子の検出信
号を制御する制御回路とを有するホールＩＣ６０を特許
請求の範囲に記載した磁気検出素子として用いている。
これに対し、ホール素子を制御回路と分離し、磁気検出
素子としてホール素子だけを反円弧部側の磁路部３２と
磁路部４２との間に設置してもよい。磁気検出素子とし
てＭＲＥ素子を用いてもよい。

【００１９】シャフト７０のセンサ本体２０側の先端部
７１は、矢印Ｙ方向のセンサ本体２０側に向かうにした
がい縮径し、テーパ状に形成されている。対向部２２と
シャフト７０との間に形成される空間のシャフト７０の
移動軌跡と直交する断面形状は、第１仮想軸７５および
第２仮想軸７６を対称軸として線対称である。また前述
したように、楕円状の対向部２２は第１仮想軸７５上に
位置する永久磁石５０同士の間隔が、第２仮想軸７６上
に位置する円弧部３１と円弧部４１との間隔よりも大き
いので、永久磁石５０とシャフト７０との間隔ｄ１は、
第２仮想軸７６上に位置する円弧部３１および円弧部４
１とシャフト７０との間隔ｄ２よりも大きい。

【００２０】次に、変位量センサ１０の作動について説
明する。固定磁性部材２１と永久磁石５０とホールＩＣ
６０とシャフト７０とが形成する磁気回路を図５に示
す。対向部２２とシャフト７０とが構成する可変抵抗手
段６５はホールＩＣ６０と並列に設置されている。６１
は、ホールＩＣ６０が有する固定の磁気抵抗である。可
変抵抗手段６５の磁気抵抗は、シャフト７０の直線移動
方向にしたがい増減する。

【００２１】図３に示す状態において、対向部２２とシ
ャフト７０との間の間隔は大きい。つまり対向部２２と
シャフト７０との間の磁気抵抗が大きいので、２個の永
久磁石５０が発生する磁束は、対向部２２とシャフト７
０との間を流れず、各永久磁石５０のＮ極側から円弧部
３１、磁路部３２、ホールＩＣ６０、磁路部４２、円弧
部４１を通り各永久磁石５０のＳ極に戻る。

【００２２】ここで、シャフト７０の変位量であるスト
ローク量を、図４に示す変位位置を基準位置の０とし、
図４に示す位置から図３に示す最大変位位置に向かうに
したがい大きくなると規定する。この規定に基づくと、
図３に示す位置にシャフト７０がありストローク量が最
大のとき、対向部２２とシャフト７０との間の磁気抵抗
は最大になり、永久磁石５０が発生する磁束は対向部２
２とシャフト７０との間を流れずホールＩＣ６０に導か
れる。したがって、図６に示すようにホールＩＣ６０が
検出する磁束密度は最大である。

【００２３】シャフト７０が移動体とともに直線移動し
図３に示す位置から図４に示す位置に移動しストローク
量が小さくなるにしたがい、対向部２２とシャフト７０
との間の間隔は小さくなる。つまり対向部２２とシャフ
ト７０との間の磁気抵抗が小さくなり対向部２２とシャ
フト７０との間を磁束が流れやすくなるので、ホールＩ
Ｃ６０を流れる磁束が減少し、図６に示すようにホール
ＩＣ６０が検出する磁束密度は小さくなる。このよう
に、シャフト７０のストローク量によりホールＩＣ６０
が検出する磁束密度が異なるので、ホールＩＣ６０が検
出する磁束密度によりシャフト７０および移動体の変位
量を測定できる。

【００２４】第１実施例ではセンサ本体２０を樹脂モー
ルドして、固定磁性部材２１と、２個の永久磁石５０
と、ホールＩＣ６０とを支持した。樹脂モールド以外
に、センサ本体の２０の内周側に内側カップを設置し、
センサ本体２０の外周側に外側カップを設置し、内側カ
ップと外側カップとで挟持することにより、固定磁性部
材２１と、２個の永久磁石５０と、ホールＩＣ６０とを
支持することも可能である。内側カップおよび外側カッ
プは非磁性材で形成される。

【００２５】（第２実施例）本発明の第２実施例を図７
に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分に同一符号
を付す。センサ本体８０は、ホールＩＣ６０と、永久磁
石８５と、第１ヨーク９０と、第２ヨーク９５とを有し
ている。永久磁石８５は楕円状に形成されている。第１
ヨーク９０および第２ヨーク９５は、固定磁性部材を構
成し、永久磁石８５の短径上で永久磁石８５と磁気的に
接続している。永久磁石８５は、第１ヨーク９０側がＮ
極であり、第２ヨーク９５側がＳ極である。永久磁石８
５とシャフト７０とは可変抵抗手段を構成している。永
久磁石８５とシャフト７０とが構成する可変抵抗手段
は、第１実施例と同様にホールＩＣ６０と並列に設置さ
れている。

【００２６】図７の（Ｂ）に示す状態において、永久磁
石８５とシャフト７０との間の間隔は大きい。つまり磁
気抵抗が大きいので、永久磁石８５が発生する磁束は、
永久磁石８５のＮ極側から第１ヨーク９０、ホールＩＣ
６０、第２ヨーク９５を通り永久磁石８５のＳ極に戻
る。このとき、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は最
大である。

【００２７】シャフト７０が移動体とともに直線移動し
図７に示す位置から矢印Ｙ方向に移動し先端部７１が永
久磁石８５内を通過するにしたがい、永久磁石８５とシ
ャフト７０との間の間隔は小さくなる。つまり永久磁石
８５とシャフト７０との間の磁気抵抗が小さくなり永久
磁石８５とシャフト７０との間を磁束が流れやすくなる
ので、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は小さくな
る。したがって、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度に
より、シャフト７０および移動体の変位量を測定でき
る。

【００２８】（第３実施例）本発明の第３実施例を図８
および図９に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分
に同一符号を付す。センサ本体１００は、ホールＩＣ６
０と、磁性材で形成された有底円筒部材１０１と、永久
磁石１１０、１１５と、第１ヨーク１２０と、第２ヨー
ク１３０とを有している。有底円筒部材１０１、第１ヨ
ーク１２０および第２ヨーク１３０は固定磁性部材を構
成している。有底円筒部材１０１の径方向反対側の内壁
に円弧状の永久磁石１１０、１１５が取り付けられてい
る。永久磁石１１０の外周側はＳ極であり、内周側はＮ
極である。永久磁石１１５の外周側はＮ極であり、内周
側はＳ極である。

【００２９】第１ヨーク１２０は円弧部１２１および磁
路部１２２を有し、第２ヨーク１３０は円弧部１３１お
よび磁路部１３２を有している。円弧部１２１は永久磁
石１１０の内周側に取り付けられ、円弧部１３１は永久
磁石１１５の内周側に取り付けられている。円弧部１２
１、１３１と反対側の磁路部１２２と磁路部１３２の端
部の間にホールＩＣ６０が設置されている。

【００３０】可動磁性部材としてのシャフト１４０は同
一径の円柱であり、移動体とともに直線移動する。円弧
部１２１、１３１とシャフト１４０とが構成する可変抵
抗手段は、第１実施例と同様にホールＩＣ６０と並列に
設置されている。円弧部１２１、１３１とシャフト１４
０とがシャフト１４０の移動軌跡と直交する方向に形成
する間隔はシャフト１４０の移動位置に関わらず一定で
ある。シャフト１４０の移動軌跡と直交する方向で円弧
部１２１、１３１とシャフト１４０とが向き合う対向面
積はシャフト１４０の変位量にしたがい増減する。

【００３１】図９の（Ａ）に示す状態において、シャフ
ト１４０の移動軌跡と直交する方向で円弧部１２１、１
３１とシャフト１４０とが向き合う対向面積は０であ
る。つまり円弧部１２１、１３１とシャフト１４０との
間の磁気抵抗が大きいので、永久磁石１１０、１１５が
発生する磁束は、永久磁石１１０、１１５、第１ヨーク
１２０、ホールＩＣ６０、第２ヨーク１３０および有底
円筒部材１０１で形成される磁気回路を通る。このと
き、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は最大である。

【００３２】シャフト１４０が移動体とともに直線移動
し図９の（Ａ）に示す位置から図９の（Ｂ）に示す位置
に移動するにしたがい、円弧部１２１、１３１とシャフ
ト１４０とが向き合う対向面積は大きくなる。つまり円
弧部１２１、１３１とシャフト１４０との間の磁気抵抗
が小さくなり円弧部１２１、１３１とシャフト１４０と
の間を磁束が流れやすくなるので、ホールＩＣ６０が検
出する磁束密度は小さくなる。したがって、ホールＩＣ
６０が検出する磁束密度により、シャフト１４０および
移動体の変位量を測定できる。

【００３３】（第４実施例）本発明の第４実施例を図１
０および図１１に示す。第１実施例と実質的に同一構成
部分に同一符号を付す。センサ本体１５０は、ホールＩ
Ｃ６０と、円上に径方向反対側に設置されている円弧状
の永久磁石１６０、１６５と、永久磁石１６０と永久磁
石１６５とを円状に接続する２個の円弧磁性部材１７０
と、永久磁石１６０、１６５と磁気的に接続しホールＩ
Ｃ６０に磁束を導く第１ヨーク１８０および第２ヨーク
１８５とを有している。円弧磁性部材１７０、第１ヨー
ク１８０および第２ヨーク１８５は固定磁性部材を構成
している。永久磁石１６０、１６５とシャフト７０とが
構成する可変抵抗手段は、第１実施例と同様にホールＩ
Ｃ６０と並列に設置されている。

【００３４】図１１の（Ａ）に示す状態において、永久
磁石１６０および永久磁石１６５とシャフト７０との間
の間隔は大きい。つまり永久磁石１６０および永久磁石
１６５とシャフト７０との間の磁気抵抗が大きいので、
永久磁石１６０、１６５が発生する磁束は、円弧磁性部
材１７０、第１ヨーク１８０、第２ヨーク１８５および
ホールＩＣ６０で構成される磁気回路を流れる。このと
き、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は最大である。

【００３５】シャフト７０が移動体とともに直線移動し
図１０の（Ａ）に示す位置から図１０の（Ｂ）に示す位
置に移動するにしたがい、永久磁石１６０および永久磁
石１６５ととシャフト７０との間の間隔は小さくなる。
つまり永久磁石１６０および永久磁石１６５とシャフト
７０との間の磁気抵抗が小さくなり永久磁石１６０、１
６５とシャフト７０との間を磁束が流れやすくなるの
で、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は小さくなる。
したがって、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度によ
り、シャフト７０および移動体の変位量を測定できる。

【００３６】（第５実施例）本発明の第５実施例を図１
２に示す。図１２の（Ｃ）においてシャフト２４０は省
略されている。を第１実施例と実質的に同一構成部分に
同一符号を付す。センサ本体２００は、永久磁石５０
と、ホールＩＣ６０と、第１ヨーク２１０と、第２ヨー
ク２１５と、環状ヨーク２２０と、第３ヨーク２２５
と、第４ヨーク２３０とを有している。第１ヨーク２１
０、第２ヨーク２１５、環状ヨーク２２０、第３ヨーク
２２５および第４ヨーク２３０は固定磁性部材を構成し
ている。永久磁石５０およびホールＩＣ６０は、シャフ
ト２４０の移動方向においてそれぞれ固定磁性部材の両
端に設置されている。対向部である環状ヨーク２２０と
可動磁性部材としてのシャフト２４０とが構成する可変
抵抗手段は、シャフト２４０の移動方向において、永久
磁石５０とホールＩＣ６０との間に位置している。環状
ヨーク２２０とシャフト２４０とが構成する可変抵抗手
段は第１実施例と同様にホールＩＣ６０と並列に設置さ
れている。

【００３７】環状ヨーク２２０の内周壁２２１と、内周
面２２１と向き合うシャフト２４０の先端部２４１と
は、ほぼ同じ傾斜角度を有するテーパ状に形成されてい
る。シャフト２４０の変位量により、内周壁２２１と先
端部２４１との間隔が変化し、ホールＩＣ６０が検出す
る磁束密度が増減する。

【００３８】（第６実施例）本発明の第６実施例を図１
３に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分に同一符
号を付す。センサ本体２５０は、２個の永久磁石５０
と、ホールＩＣ６０と、固定磁性部材２５１とを有して
いる。固定磁性部材２５１は、第１ヨーク２６０、第２
ヨーク２７０および第３ヨーク２８０を有している。第
１ヨーク２６０は、円弧部２６１および磁路部２６２を
有し、Ｔ字状に一体に形成されている。第２ヨーク２７
０は、円弧部２７１および磁路部２７２を有し、Ｔ字状
に一体に形成されている。第３ヨーク２８０は板状であ
る。第２ヨーク２７０の磁路部２７２と第３ヨーク２８
０との間にホールＩＣ６０が設置されている。第１ヨー
ク２６０の磁路部２６２および第３ヨーク２８０は対向
部を構成している。永久磁石５０は、円弧部２６１の両
端部と円弧部２７１の両端部との間に挟持されている。
永久磁石５０の円弧部２６１側がＮ極であり、円弧部２
７１側がＳ極である。

【００３９】可動磁性部材としてのシャフト１４０は同
一径の円柱であり、移動体とともに直線移動する。磁路
部２６２および第３ヨーク２８０とシャフト１４０とが
構成する可変抵抗手段２９５は、図１４に示すようにホ
ールＩＣ６０と直列に設置されている。磁路部２６２お
よび第３ヨーク２８０とシャフト１４０とがシャフト１
４０の移動軌跡と直交する方向に形成する間隔はシャフ
ト１４０の移動位置に関わらず一定である。シャフト１
４０の移動軌跡と直交する方向で磁路部２６２および第
３ヨーク２８０とシャフト１４０とが向き合う対向面積
はシャフト１４０の変位量にしたがい増減する。

【００４０】ここで、シャフト１４０の変位量であるス
トローク量を、図１３の（Ｂ）に示す２点鎖線の変位位
置を基準位置の０とし、図１３の（Ｂ）の２点鎖線で示
す位置から図１３の（Ｂ）の実線で示す最大変位位置に
向かうにしたがい大きくなると規定する。この規定に基
づくと、図１３の（Ｂ）の２点鎖線で示す位置にシャフ
ト１４０がありストローク量が０のとき、磁路部２６２
および第３ヨーク２８０とシャフト１４０とが構成する
可変抵抗手段２９５の磁気抵抗は最小になり、永久磁石
５０が発生する磁束は可変抵抗手段２９５とともにホー
ルＩＣ６０を流れる。したがって、図１５に示すように
ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は最大である。

【００４１】図１３の（Ｂ）の実線で示す状態におい
て、シャフト１４０の移動軌跡と直交する方向で磁路部
２６２および第３ヨーク２８０とシャフト１４０とが向
き合う対向面積は０である。つまり磁路部２６２および
第３ヨーク２８０とシャフト１４０との間の磁気抵抗が
大きいので、永久磁石５０が発生する磁束はホールＩＣ
６０を流れない。したがって、ホールＩＣ６０が検出す
る磁束密度は最低である。

【００４２】シャフト１４０が移動体とともに直線移動
し図１３の（Ｂ）に示す実線の位置から矢印Ｙ方向の２
点鎖線で示す基準位置に移動するにしたがい、磁路部２
６２および第３ヨーク２８０とシャフト１４０とが向き
合う対向面積は大きくなる。つまり可変抵抗手段２９５
の磁気抵抗が小さくなり磁路部２６２および第３ヨーク
２８０とシャフト１４０との間を磁束が流れやすくなる
ので、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は大きくな
る。このように、シャフト１４０のストローク量により
ホールＩＣ６０が検出する磁束密度が異なるので、ホー
ルＩＣ６０が検出する磁束密度によりシャフト１４０お
よび移動体の変位量を測定できる。

【００４３】（第７実施例）本発明の第７実施例を図１
６に示す。第１実施例と実質的に同一構成部分に同一符
号を付す。センサ本体３００は、永久磁石５０と、ホー
ルＩＣ６０と、第１ヨーク３１０と、第２ヨーク３２０
と、第３ヨーク３３０とを有している。

【００４４】第１ヨーク３１０は、円弧部３１１および
磁路部３１２を有し、Ｔ字状に一体に形成されている。
第２ヨーク３２０は板状である。第１ヨーク３１０の磁
路部３１２と第２ヨーク３２０との間に永久磁石５０が
設置されている。第３ヨーク３３０は円弧部３３１およ
び磁路部３３２を有し、Ｔ字状に一体に形成されてい
る。第２ヨーク３２０と第３ヨーク３３０の磁路部３３
２との間にホールＩＣ６０が設置されている。第１ヨー
ク３１０の円弧部３１１および第３ヨーク３３０の円弧
部３３１は対向部を構成している。永久磁石５０の第１
ヨーク３１０の磁路部３１２側がＮ極であり、第２ヨー
ク３２０側がＳ極である。

【００４５】円弧部３１１、３３１とシャフト７０とが
構成する可変抵抗手段は、第６実施例と同様にホールＩ
Ｃ６０と直列に設置されている。図１６の（Ｂ）の実線
で示す状態において、円弧部３１１、３３１とシャフト
７０の先端部７１との間の間隔は大きい。つまり磁気抵
抗が大きいので、円弧部３１１、３３１とシャフト７０
との間を磁束が殆ど流れない。このとき、ホールＩＣ６
０が検出する磁束密度は最低である。

【００４６】シャフト７０が移動体とともに直線移動し
図１６の（Ｂ）の２点鎖線で示す矢印Ｙ方向に移動する
にしたがい、円弧部３１１、３３１とシャフト７０の先
端部７１との間の間隔は小さくなる。つまり円弧部３１
１、３３１とシャフト７０との間の磁気抵抗が小さくな
り円弧部３１１、３３１とシャフト７０との間を磁束が
流れやすくなるので、ホールＩＣ６０が検出する磁束密
度は大きくなる。したがって、ホールＩＣ６０が検出す
る磁束密度により、シャフト７０および移動体の変位量
を測定できる。

【００４７】（第８実施例）本発明の第８実施例を図１
７に示す。図１７の（Ｂ）において、永久磁石３８０お
よびシャフト３９０は省略されている。第１実施例と実
質的に同一構成部分に同一符号を付す。センサ本体３５
０は、ホールＩＣ６０と、第１ヨーク３６０と、第２ヨ
ーク３７０とを有している。ホールＩＣ６０は第１ヨー
ク３６０と第２ヨーク３７０との間に設置されている。
第１ヨーク３６０および第２ヨーク３７０はほぼ同形で
板状に形成されている。永久磁石３８０と向き合う第１
ヨーク３６０の対向面３６１と第２ヨーク３７０の対向
面３７１との間隔は、永久磁石３８０の一方の移動方向
である矢印Ｙ方向に向けて次第に小さくなっている。永
久磁石３８０は、移動体と矢印Ｘ、Ｙ方向に移動する可
動部材としてのシャフト３９０の先端に取り付けられて
いる。シャフト３９０は非磁性材で形成されている。永
久磁石３８０の第１ヨーク３６０側がＮ極であり、第２
ヨーク３７０側がＳ極である。第１ヨーク３６０、第２
ヨーク３７０および永久磁石３８０が構成している可変
抵抗手段は、第６実施例と同様にホールＩＣ６０と直列
に設置されている。

【００４８】永久磁石３８０がシャフト３９０および移
動体とともに図１７の（Ａ）に示す矢印Ｙ方向に移動す
るにしたがい、対向面３６１、３７１と永久磁石３８０
との間の間隔は小さくなる。つまり第１ヨーク３６０お
よび第２ヨーク３７０と永久磁石３８０との間の磁気抵
抗が小さくなり第１ヨーク３６０および第２ヨーク３７
０と永久磁石３８０との間を磁束が流れやすくなるの
で、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度は大きくなる。
したがって、ホールＩＣ６０が検出する磁束密度によ
り、移動体の変位量を測定できる。

【００４９】（第９実施例）本発明の第９実施例を図１
８に示す。図１８の（Ｂ）において、シャフト４５０は
省略されている。第１実施例と実質的に同一構成部分に
同一符号を付す。センサ本体４００は、ホールＩＣ６０
と、第１ヨーク４１０と、第２ヨーク４２０と、第３ヨ
ーク４３０と、永久磁石４４０とを有している。永久磁
石４４０は第１ヨーク４１０と第２ヨーク４２０との間
に設置されている。ホールＩＣ６０は第２ヨーク４２０
と第３ヨーク４３０との間に設置されている。可動磁性
部材としてのシャフト４５０と向き合う第１ヨーク４１
０の対向面４１１と第３ヨーク４３０の対向面４３１と
の間隔は、シャフト４５０の一方の移動方向である矢印
Ｙ方向に向けて次第に小さくなっている。移動体ととも
に矢印Ｘ、Ｙ方向に移動するシャフト４５０の先端部４
５１は、矢印Ｙ方向に向かうにしたがい縮径している。
第１ヨーク４１０、第３ヨーク４３０およびシャフト４
５０が構成している可変抵抗手段は、第６実施例と同様
にホールＩＣ６０と直列に設置されている。

【００５０】シャフト４５０が移動体とともに矢印Ｙ方
向に移動するにしたがい、対向面４１１、４２１とシャ
フト４５０の先端部４５１との間の間隔は小さくなる。
つまり第１ヨーク４１０および第３ヨーク４３０とシャ
フト４５０との間の磁気抵抗が小さくなり第１ヨーク４
１０および第３ヨーク４３０とシャフト４５０との間を
磁束が流れやすくなるので、ホールＩＣ６０が検出する
磁束密度は大きくなる。したがって、ホールＩＣ６０が
検出する磁束密度により、移動体の変位量を測定でき
る。

【００５１】以上説明した上記複数の実施例では、永久
磁石が発生する磁束を発散させず固定磁性部材を通して
ホールＩＣ６０に導くので、ホールＩＣ６０が検出する
磁束密度の上限値と下限値との下限値の範囲が大きくな
る。移動体とともに直線移動し可変抵抗手段を構成する
シャフトまたは永久磁石が異なる位置に変位していると
きにホールＩＣ６０が検出する磁束密度の差が大きくな
るので、変位量センサの検出感度が上昇する。さらに、
固定磁性部材がホールＩＣ６０に磁束を導くので、ホー
ルＩＣ６０の設置位置の自由度が高い。したがって、検
出信号を取り出しやすい位置にホールＩＣ６０を設置で
きるので、配線が容易である。また、周囲の磁気の影響
を受けにくいので、変位量センサのＳ／Ｎ比が上昇す
る。

【００５２】また、移動体とともに移動するシャフトま
たは永久磁石と対向部との間隔または対向面積を移動体
の変位量にしたがって増減することにより可変抵抗手段
の磁気抵抗を移動体の移動方句にしたがって増減するこ
とは、シャフトまたは永久磁石の移動軌跡の幅を大きく
することなく実現できるので、シャフトまたは永久磁石
の移動面積を低減できる。したがって、変位量センサが
小型化できる。

【００５３】また、シャフトまたは永久磁石と対向部と
の間隔または対向面積を移動体の変位量にしたがって増
減することは、シャフトまたは対向部の形状を加工する
ことにより実現できる。このようなシャフトまたは対向
部の加工は容易である。上記複数の実施例のうち第１実
施例以外の実施例においても、センサ本体を樹脂モール
ドしてセンサ本体を構成する部材を支持してもよいし、
可能であるなら非磁性材で形成した内側カップと外側カ
ップとでセンサ本体を構成する部材を支持してもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１実施例による変位量センサ本体を
示しており、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、
（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図であり、（Ｃ）は（Ｂ）
のＣ方向矢視図であり、（Ｄ）は（Ｂ）のＤ方向矢視図
である。

【図２】第１実施例の変位量センサ本体を樹脂モールド
した変位量センサを示しており、（Ａ）はシャフト側か
ら見た図であり、（Ｂ）は（Ａ）のＢ−Ｂ線断面図であ
る。

【図３】シャフトの最大変位位置における磁束の流れを
示す説明図である。

【図４】シャフトの基準位置における磁束の流れを示す
説明図である。

【図５】第１実施例の変位量センサを示す磁気回路図で
ある。

【図６】シャフトのストローク量とホールＩＣが検出す
る磁束密度との関係を示す特性図である。

【図７】本発明の第２実施例によるセンサ本体を示して
おり、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ方向矢視図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ方向
矢視図であり、（Ｄ）は（Ｂ）のＤ方向矢視図である。

【図８】本発明の第３実施例によるセンサ本体を示して
おり、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、（Ｂ）は
（Ａ）のＢ方向矢視図である。

【図９】シャフトの変位位置を示す図８のIX−IX線断面
図である。

【図１０】本発明の第４実施例によるセンサ本体を示し
ており、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、（Ｂ）
は（Ａ）のＢ方向矢視図である。

【図１１】シャフトの変位位置を示す図１０のXI−XI線
断面図である。

【図１２】本発明の第５実施例によるセンサ本体を示し
ており、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、（Ｂ）
は（Ａ）のＢ方向矢視図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ方
向矢視図である。

【図１３】本発明の第６実施例によるセンサ本体を示し
ており、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、（Ｂ）
は（Ａ）のＢ方向矢視図であり、（Ｃ）は（Ｂ）のＣ方
向矢視図であり、（Ｄ）は（Ｂ）のＤ方向矢視図であ
る。

【図１４】第６実施例の変位量センサを示す磁気回路図
である。

【図１５】シャフトのストローク量とホールＩＣが検出
する磁束密度との関係を示す特性図である。

【図１６】本発明の第７実施例による変位量センサ本体
を示しており、（Ａ）はシャフト側から見た図であり、
（Ｂ）は（Ａ）のＢ方向矢視図である。

【図１７】本発明の第８実施例による変位量センサ本体
を示しており、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）は（Ａ）
のＢ方向矢視図である。

【図１８】本発明の第９実施例による変位量センサ本体
を示しており、（Ａ）は側面図であり、（Ｂ）は（Ａ）
のＢ方向矢視図である。

【図１９】従来例による変位量センサを示す説明図であ
る。

【図２０】永久磁石のストローク量とホール素子が検出
する磁束密度との関係を示す特性図である。

【符号の説明】

１０変位量センサ１１モールド樹脂２０、８０、１００、１５０、２００、２５０、３０
０、３５０、４００センサ本体２１固定磁性部材２２対向部（可変抵抗手段）３０、９０第１ヨーク（第１磁性部材、固定磁性部
材）３１円弧部（対向部）３２磁路部４０、９５第２ヨーク（第２磁性部材、固定磁性部
材）４１円弧部（対向部）４２磁路部５０、８５、１１０、１１５、１６０、１６５、３８
０、４４０永久磁石６０ホールＩＣ（磁気検出素子）６５、２９５可変抵抗手段７０、１４０、２４０、４５０シャフト（可動磁性
部材、可変抵抗手段）１０１有底円筒部材（固定磁性部材）１２０、１８０、２１０、２６０、３１０、３６０、４
１０第１ヨーク（固定磁性部材）１２１円弧部（対向部、可変抵抗手段）１２２磁路部１３０、１８５、２１５、２７０、３２０、３７０、４
２０第２ヨーク（固定磁性部材）１３１円弧部（対向部、可変抵抗手段）１３２磁路部１７０円弧部（固定磁性部材）２２０環状ヨーク（対向部）２２５、３３０、４３０第３ヨーク（固定磁性部
材）２３０第４ヨーク（固定磁性部材）２６２磁路部（対向部、可変抵抗手段）２８０第３ヨーク（対向部、可変抵抗手段）３１１、３３１円弧部（対向部、可変抵抗手段）３６１、３７１、４１１、４３１対向面（対向部）３９０シャフト（可動部材、可変抵抗手段）

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者徳永政男愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所 (72)発明者武田憲司愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所 (72)発明者中村勉愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所 (72)発明者深谷繁利愛知県西尾市下羽角町岩谷14番地株式会社日本自動車部品総合研究所 (72)発明者竹山博司愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者内田公雄愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内 (72)発明者安田恵一愛知県刈谷市昭和町１丁目１番地株式会社デンソー内Ｆターム(参考） 2F063 AA02 CA34 DA05 GA53 GA54 KA01 2F077 CC02 JJ07 JJ22 VV02

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】直線移動する移動体の変位量を検出する
変位量センサであって、移動体とともに直線移動する可動磁性部材と、永久磁石と、磁気検出素子と、前記永久磁石および前記磁気検出素子と磁気回路を形成
する固定磁性部材とを備え、前記固定磁性部材と前記可動磁性部材とは、前記可動磁
性部材が直線移動する方向にしたがい前記固定磁性部材
と前記可動磁性部材との間の磁気抵抗が増加または減少
する可変抵抗手段を前記磁気検出素子と並列に形成して
いることを特徴とする変位量センサ。
【請求項２】前記固定磁性部材は前記可動磁性部材と
向き合い前記可動磁性部材と前記可変抵抗手段を形成す
る対向部を有し、前記可動磁性部材が直線移動する方向
にしたがい前記対向部と前記可動磁性部材とが形成する
間隔が増加または減少することを特徴とする請求項１記
載の変位量センサ。
【請求項３】前記可動磁性部材は前記対向部の内側を
移動し、前記可動磁性部材が直線移動する方向にしたが
い、前記対向部と向き合う前記可動磁性部材の移動軌跡
と直交する断面積が増加または減少することを特徴とす
る請求項２記載の変位量センサ。
【請求項４】前記固定磁性部材は前記可動磁性部材の
移動軌跡と直交する向きで前記可動磁性部材と向き合い
前記可動磁性部材と前記可変抵抗手段を形成する対向部
を有し、前記可動磁性部材は前記対向部の内周側を移動
し、前記対向部と前記可動磁性部材とが形成する間隔
は、前記可動磁性部材の変位量に関わらずほぼ一定であ
り、前記可動磁性部材が直線移動する方向にしたがい前
記対向部と前記可動磁性部材とが向き合う対向面積が増
加または減少することを特徴とする請求項１記載の変位
量センサ。
【請求項５】前記永久磁石と前記対向部とは、前記可
動磁性部材の移動軌跡と直交する同一平面上に位置して
いることを特徴とする請求項２、３または４記載の変位
量センサ。
【請求項６】前記対向部は環状であり、前記対向部の
ほぼ径方向反対側にそれぞれ永久磁石を設置し、前記固
定磁性部材は、両永久磁石のほぼ中間に位置する前記対
向部からそれぞれ前記可動磁性部材の一方の移動方向に
延び、前記磁気検出素子と磁気的に接続する磁路部を有
していることを特徴とする請求項５記載の変位量セン
サ。
【請求項７】前記対向部と前記可動磁性部材との間に
形成される空間の前記可動磁性部材の移動軌跡と直交す
る断面の形状は、前記永久磁石同士を通る第１仮想軸
と、前記第１仮想軸と直交する第２仮想軸とをそれぞれ
対称軸として線対称であり、前記第１仮想軸上において
前記永久磁石と前記可動磁性部材とが形成する間隔は、
前記第２仮想軸上において前記対向部と前記可動磁性部
材とが形成する間隔よりも大きいことを特徴とする請求
項６記載の変位量センサ。
【請求項８】前記永久磁石と前記磁気検出素子とは前
記可動磁性部材の移動方向両端の前記固定磁性部材に設
置され、前記対向部は前記永久磁石と前記磁気検出素子
との間に位置していることを特徴とする請求項２、３ま
たは４記載の変位量センサ。
【請求項９】前記固定磁性部材は、前記永久磁石と前
記磁気検出素子との間をそれぞれ磁気的に接続する第１
磁性部材および第２磁性部材を有し、前記第１磁性部材
および前記第２磁性部材はそれぞれ一体に形成されてい
ることを特徴とする請求項１から８のいずれか一項記載
の変位量センサ。
【請求項１０】直線移動する移動体の変位量を検出す
る変位量センサであって、移動体とともに移動する可動磁性部材と、環状の永久磁石と、磁気検出素子と、前記永久磁石および前記磁気検出素子と磁気回路を形成
する固定磁性部材とを備え、前記可動磁性部材は前記永久磁石の内側を移動し、前記
固定磁性部材は、前記永久磁石のほぼ径方向反対側から
それぞれ前記可動磁性部材の一方の移動方向に延び前記
磁気検出素子と磁気的に接続している磁路部を有し、前
記永久磁石と前記可動磁性部材とは、前記可動磁性部材
が直線移動する方向にしたがい前記永久磁石と前記可動
磁性部材との間の磁気抵抗が増加または減少する可変抵
抗手段を前記磁気検出素子と並列に形成していることを
特徴とする変位量センサ。
【請求項１１】直線移動する移動体の変位量を検出す
る変位量センサであって、移動体とともに移動する可動磁性部材と、永久磁石と、磁気検出素子と、前記永久磁石および前記磁気検出素子と磁気回路を形成
する固定磁性部材とを備え、前記固定磁性部材と前記可動磁性部材とは、前記可動磁
性部材が直線移動する方向にしたがい前記固定磁性部材
と前記可動磁性部材との間の磁気抵抗が増加または減少
する可変抵抗手段を前記磁気検出素子と直列に形成して
いることを特徴とする変位量センサ。
【請求項１２】前記固定磁性部材は前記可動磁性部材
と向き合い前記可動磁性部材と前記可変抵抗手段を形成
する対向部を有し、前記可動磁性部材が直線移動する方
向にしたがい前記対向部と前記可動磁性部材とが形成す
る間隔が増加または減少することを特徴とする請求項１
１記載の変位量センサ。
【請求項１３】前記可動磁性部材は前記対向部の内
側を移動し、前記可動磁性部材が直線移動する方向にし
たがい、前記対向部と向き合う前記可動磁性部材の移動
軌跡と直交する断面積が増加または減少することを特徴
とする請求項１２記載の変位量センサ。
【請求項１４】前記固定磁性部材は前記可動磁性部材
の移動軌跡と直交する向きで前記可動磁性部材と向き合
い前記可動磁性部材と前記可変抵抗手段を形成する対向
部を有し、前記可動磁性部材は前記対向部の内周側を移
動し、前記対向部と前記可動磁性部材とが形成する間隔
は、前記可動磁性部材の変位量に関わらずほぼ一定であ
り、前記可動磁性部材が直線移動する方向にしたがい前
記対向部と前記可動磁性部材とが向き合う対向面積が増
加または減少することを特徴とする請求項１１記載の変
位量センサ。
【請求項１５】前記永久磁石、前記固定磁性部材およ
び前記磁気検出素子を樹脂モールドしていることを特徴
とする請求項１から１４のいずれか一項記載の変位量セ
ンサ。
【請求項１６】前記永久磁石、前記固定磁性部材およ
び前記磁気検出素子の内周側に位置する内側カップと外
周側に位置する外側カップとを備え、前記両カップで前
記永久磁石、前記固定磁性部材および前記磁気検出素子
を支持していることを特徴とする請求項１から１４のい
ずれか一項記載の変位量センサ。
【請求項１７】直線移動する移動体の変位量を検出す
る変位量センサであって、移動体とともに移動する可動部材と、前記可動部材に設置されている永久磁石と、磁気検出素子と、前記磁気検出素子と磁気回路を形成する固定磁性部材と
を備え、前記永久磁石と前記固定磁性部材とは、前記永久磁石が
直線移動する方向にしたがい前記固定磁性部材と前記永
久磁石との間の磁気抵抗が増加または減少する可変抵抗
手段を前記磁気検出素子と直列に形成していることを特
徴とする変位量センサ。
【請求項１８】前記固定磁性部材は前記永久磁石と向
き合い前記永久磁石と前記可変抵抗手段を形成する対向
部を有し、前記永久磁石が直線移動する方向にしたがい
前記対向部と前記永久磁石とが形成する間隔が増加また
は減少することを特徴とする請求項１７記載の変位量セ
ンサ。
【請求項１９】前記磁気検出素子はホール素子である
ことを特徴とする請求項１から１８のいずれか一項記載
の変位量センサ。