JP2003054985A - 電界放射型ディスプレイ用ガラス基板 - Google Patents

電界放射型ディスプレイ用ガラス基板

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JP2003054985A
JP2003054985A JP2001242706A JP2001242706A JP2003054985A JP 2003054985 A JP2003054985 A JP 2003054985A JP 2001242706 A JP2001242706 A JP 2001242706A JP 2001242706 A JP2001242706 A JP 2001242706A JP 2003054985 A JP2003054985 A JP 2003054985A
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Ken Choju
研 長壽
Shinkichi Miwa
晋吉 三和
Hiroki Yamazaki
博樹 山崎
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Nippon Electric Glass Co Ltd
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Nippon Electric Glass Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 良好な電子線放出特性が得られ、熱処理工程
において、熱収縮や割れが起こらない電界放射型ディス
プレイ用ガラス基板を提供する事である。 【構成】 本発明の電界放射型ディスプレイ用ガラス基
板は、実質的にアルカリ成分を含有せず、歪点が550
℃以上であり、30〜380℃までの平均熱膨張係数が
40〜60×10-7/℃であることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、電界放射型ディスプレ
イ用ガラス基板に関するものである。
【0002】
【従来の技術】電界放射型ディスプレイは、薄型軽量
で、低電力で表示が鮮明であり、画像の微細化が容易で
あるため高品位画像が実現でき、フルカラー化が可能で
あるなど、多くの利点を有するため、今後表示装置とし
て益々普及する傾向にある。
【0003】電界放射型ディスプレイは、透明電極や蛍
光体が形成された前面ガラス基板と、カソード電極、ゲ
ート電極、冷陰極(エミッタ)、絶縁膜等が形成された
背面ガラス基板とを対向させて、ガラス基板の周囲をフ
リットシールし、パネル内部を真空にすることで作製さ
れる。そして、冷陰極から放出される電子線を蛍光体に
あてることで発光させて映像を映し出す。
【0004】この種のガラス基板の表面には、透明電
極、絶縁膜等の様々な膜やエミッタ等が成膜され、しか
もフォトリソグラフィーエッチング(フォトエッチン
グ)によって種々の回路やパターンが形成される。これ
らの成膜、フォトエッチング工程において、ガラス基板
には、種々の熱処理や薬品処理が施される。それ故、電
界放射型ディスプレイに使用されるガラス基板には、耐
熱性や耐薬品性が求められる。
【0005】耐熱性や耐薬品性を有するガラス基板とし
て、ソーダガラスや高歪点ガラス、無アルカリガラスが
ある。これらのガラスは、プラズマディスプレイや液晶
ディスプレイのガラス基板として使用され、ディスプレ
イ用途としての実績もあり、安価に供給できることか
ら、電界放射型ディスプレイ用のガラス基板として使用
することが検討されている。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ソーダ
ガラスや高歪点ガラス、無アルカリガラスは何れも電界
放射型ディスプレイ用ガラス基板として開発されたもの
ではないため、電界放射型ディスプレイ用のガラス基板
として使用すると、様々な問題が発生する。
【0007】プラズマディスプレイに使用されているソ
ーダガラスや高歪点ガラスをガラス基板として使用した
場合、これらガラス中のアルカリ成分が電子源の寿命を
短くし、電子線を安定して効率よく長期間に亘って放出
させることができず、電子線放出特性を低下させるとい
う問題がある。また、ガラス基板は、隔壁及び誘電体と
熱膨張係数が整合するように設計されているため、熱膨
張係数が80×10-7/℃と大きく、熱処理工程で割れ
が生じやすい。また、ガラス基板がソーダ石灰ガラスの
場合、歪点が低く、熱収縮が起こる。
【0008】一方、液晶ディスプレイに使用されている
無アルカリガラスをガラス基板として使用した場合、ア
ルカリを含まず、熱膨張係数も低いため、電子線放出特
性を維持でき、熱処理工程での割れの問題も解決でき
る。しかし、前面ガラス基板と背面ガラス基板とを封着
する際に用いるガラスフリットの熱膨張係数を無アルカ
リガラスの熱膨張係数まで低下させることは困難で、両
者の熱膨張係数の差が大きく異なり、良好にフリットシ
ールができず、長期に亘って気密性を維持することがで
きなくなり、パネル内部を真空に保つことができない。
その結果、電子線放出特性を維持することができないと
いう問題がある。
【0009】本発明の目的は、良好な電子線放出特性が
得られ、熱処理工程において、熱収縮や割れが起こらな
い電界放射型ディスプレイ用ガラス基板を提供する事で
ある。
【0010】
【課題を解決するための手段】本発明の電界放射型ディ
スプレイ用ガラス基板は、実質的にアルカリ成分を含有
せず、歪点が550℃以上であり、30〜380℃まで
の平均熱膨張係数が40〜60×10-7/℃であること
を特徴とする。
【0011】また、SiO2−Al23−RO系ガラス
(ROはMgO、CaO、SrO、BaOとする)であ
って、実質的にアルカリ成分を含有せず、質量百分率
で、Al23 1〜30%、MgO+CaO+SrO+
BaO 20〜45%であることを特徴とする。
【0012】
【作用】本発明の電界放射型ディスプレイ用ガラス基板
は、550℃以上の歪点を有するため、電界放射型ディ
スプレイを製造する熱処理工程で収縮は起こらない。
尚、ガラスの歪点を550℃以上にするためには、Si
2−Al23−RO系ガラスの場合、例えば、Al2
3を1%以上含有させればよい。Al23の含有量が1
%以上であれば、550℃以上の歪点を得やすくなる。
但し、含有量が30%を超えると、熔融し難くなる。
【0013】また、本発明のガラス基板は、実質的にア
ルカリ成分を含有していないため、電子線を効率よく長
期間に亘って放出させることができる。また、ガラス基
板の熱膨張係数を40〜60×10-7/℃にしているた
め、良好にフリットシールが行え、パネル内部を真空に
することができる。従って、電子線の放出特性を良好に
維持することができる。
【0014】ガラス基板の熱膨張係数が40×10-7
℃より小さいと、フリットガラスの熱膨張係数と整合性
が取れなくなり、良好にフリットシールが行えず、パネ
ル内部を真空に保つことができなくなる。その結果、電
子線放出特性を維持することができなくなり好ましくな
い。一方、60×10-7/℃より大きくなると、熱処理
工程で割れが生じやすくなり好ましくない。ガラス基板
の熱膨張係数の好ましい範囲は45〜59×10-7/℃
である。
【0015】尚、アルカリ成分を含まないSiO2−A
23−RO系ガラスの熱膨張係数を40〜60×10
-7/℃にするためには、例えば、MgO、CaO、Sr
O、BaOの合量を20〜45%にすればよい。これら
の成分の合量が20%より少ないと、熱膨張係数が40
×10-7/℃より低くなり、合量が45%より多くなる
と、熱膨張係数が60×10-7/℃より大きくなるばか
りか、ガラスが失透してディスプレイ用途に適さなくな
る。MgO、CaO、SrO、BaOの合量の好ましい
範囲は、21〜44%である。
【0016】また、電界放射型ディスプレイは、電子線
が蛍光体にあたり映像を映し出す際、パネル内部でX線
が発生する。X線によって、ガラスが着色して映し出さ
れた映像が見にくくなったり、また、ガラス基板のX線
遮蔽能力が小さいと、パネル外部にX線が漏洩して人体
に悪影響を与えるという問題が発生する可能性もある。
従って、電界放射型ディスプレイ用ガラス基板は、上記
特性に加え、X線によって着色を起こさないこと、高い
X線遮蔽能力を有することが望まれる。
【0017】パネル内部で発生するX線によってガラス
が着色することを抑え、しかも、X線がパネル外部に漏
洩することを抑えるためには、実質的にPbOを含有せ
ず、しかも、1.5Åの波長におけるX線吸収係数を1
25cm-1以上にすることが望ましい。尚、PbOを含
まないSiO2−Al23−RO系ガラスの1.5Åの
波長におけるX線吸収係数を125cm-1以上にするた
めには、例えば、X線吸収係数を高める成分であるSr
O、BaOを合量で5%以上含有させればよい。これら
成分の合量が5%以上であれば、125cm-1以上のX
線吸収係数を得やすくなる。但し、45%より多くなる
と、ガラスが失透してディスプレイ用途に適さなくなる
ばかりか、熱膨張係数が60×10-7/℃より大きくな
り、熱処理工程で割れが生じやすくなる。好ましい範囲
は12〜42%である。
【0018】更に、本発明ではガラスの液相粘度を10
4.0dPa・s以上にすることが望ましい。その理由
は、板ガラスの成型方法として知られているフロート
法、オーバーフロー法、ロールアウト法等の方法で、安
く大量に製造することができるためである。
【0019】先記した要求特性を満たすガラス組成の具
体的範囲を以下に示す。
【0020】その組成範囲は、実質的にアルカリ成分及
びPbOを含有せず、質量百分率で、SiO2 40〜
80%、Al23 1〜30%、B23 0〜20%、
MgO 0〜10%、CaO 0〜30%、SrO 1
〜30%、BaO 0〜30%、ZnO 0〜10%、
ZrO2 0〜10%、CeO2 0〜5%、SrO+B
aO 5〜45%、MgO+CaO+SrO+BaO
20〜45%である。
【0021】本発明においてガラスの組成を上記のよう
に限定した理由は、次のとおりである。
【0022】SiO2は、ガラスのネットワークフォー
マーとなる成分である。その含有量が40%以上であれ
ば、ガラスの耐熱性や化学的耐久性が向上する。SiO
2が多いとガラスの溶融温度が高くなる傾向にあるが、
含有量が80%以下であれば、ガラスの溶融温度が高く
なりすぎず、溶融しやすい。好ましい範囲は40〜75
%であり、より好ましくは40〜70%である。
【0023】Al23は、ガラスの歪点を上げ、耐熱性
を高める成分である。その含有量が1%以上であれば、
ガラスの歪点が上昇し、耐熱性が向上する。Al23
多くなると溶融温度が高くなる傾向にあるが、その含有
量が30%以下であれば、ガラスの溶融が容易である。
好ましい範囲は1〜20%であり、より好ましくは2〜
18%である。
【0024】B23は、融剤として作用し、溶融性を改
善する成分である。B23が多くなると歪点が低下して
耐熱性が低下する傾向にあるが、20%以下であれば、
ガラスの歪点を高く保ったまま、溶融温度を低下させる
ことができる。好ましい範囲は0〜18%であり、より
好ましくは0〜15%である。
【0025】MgOは、高温粘性を下げ、ガラスの溶融
性を改善する成分である。MgOが多くなるとガラスが
失透したり、化学的耐久性が低下する傾向にあるが、そ
の含有量が10%以下の時、ガラスの失透や化学的耐久
性の低下を起こすことなく、ガラスの溶融性を改善する
ことができる。好ましい範囲は0〜8%であり、より好
ましくは0〜7%である。
【0026】CaOは、MgOと同様に、高温粘性を下
げ、ガラスの溶融性を改善する効果がある。CaOが多
くなるとガラスが失透したり、化学的耐久性が低下する
傾向にあるが、その含有量が30%以下の時、ガラスの
失透や化学的耐久性の低下を起こすことなく、ガラスの
溶融性を改善することができる。好ましい範囲は0〜2
5%であり、より好ましくは0〜20%である。
【0027】SrOは、X線吸収係数を高めたり、ガラ
スの化学的耐久性や耐失透性を向上させる成分である。
その含有量が1%以上であれば、ガラスのX線吸収係数
を高めることができる。SrOが多くなると溶融性が悪
化しやすくなる傾向にあるが、その含有量が30%以下
であれば、溶融性を悪化させることなくX線吸収係数を
高めたり、ガラスの化学的耐久性や耐失透性を向上させ
ることができる。好ましい範囲は1〜25%であり、よ
り好ましくは2〜25%である。
【0028】BaOは、SrOと同様に、X線吸収係数
を高めたり、ガラスの化学的耐久性や耐失透性を向上さ
せる成分である。BaOが多くなると溶融性が悪化しや
すくなる傾向にあるが、その含有量が30%以下であれ
ば、溶融性を悪化させることなくX線吸収係数を高めた
り、ガラスの化学的耐久性や耐失透性を向上させること
ができる。好ましい範囲は0〜25%であり、より好ま
しくは1〜25%である。
【0029】ZnOは、歪点を低下させることなく、高
温粘性を下げ、ガラスの溶融性を改善する成分である。
ZnOが多くなるとガラスが失透しやすくなる傾向にあ
るが、その含有量が10%以下であれば、ガラスが失透
せず、溶融性を改善することができる。好ましい範囲は
0〜8%であり、より好ましくは0〜5%である。
【0030】ZrO2は、ガラスの化学的耐久性を向上
させる成分である。ZrO2が多くなるとガラス中にジ
ルコン等のブツが析出する傾向にあるが、その含有量が
10%以下であれば、ブツを析出させずにガラスの化学
的耐久性を向上させることができる。好ましい範囲は0
〜8%であり、より好ましくは0〜6%である。
【0031】CeO2は、X線によるガラスの着色を抑
制する成分である。CeO2が多くなると、透過率が低
下しやすくなるが、5%までの添加であれば問題はな
い。好ましい範囲は0.01〜5%であり、より好まし
くは0.1〜5%である。
【0032】Li2O、Na2O、K2O等のアルカリ成
分は、電子源の寿命を短くするため、導入すべきではな
い。
【0033】PbOがガラス中に含まれていると、パネ
ル内部で発生するX線によってガラスが著しく着色する
ため、導入すべきではない。
【0034】また、本発明においては、上記の成分以外
にも、特性を損なわない範囲で他の成分を添加させるこ
とも可能であり、例えば清澄剤として、As23、Sb
23、SnO2、F2、Cl2、SO3等を各々3%まで、
ガラスの化学的耐久性を向上させるために、Nb23
23、La23を各々5%まで、ガラスの耐失透性を
高めるために、P25を5%まで添加することが可能で
ある。
【0035】
【実施例】以下、本発明を実施例に基づいて説明する。
【0036】表1〜3は本発明の実施例(試料No.1
〜10)を、表4は比較例(試料No.11〜13)を
それぞれ示している。
【0037】
【表1】
【0038】
【表2】
【0039】
【表3】
【0040】
【表4】
【0041】表中の各試料は、次のようにして作製し
た。
【0042】まず、表の組成となるようにガラス原料を
調合し、白金ポットを用いて1550℃で24時間溶融
した。その後、溶融ガラスをカーボン板の上に流し出し
て板状に成形し、徐冷後、板厚が2mmになるように両
面研磨して、得られた板ガラスを200mm角の大きさ
に切断加工することでガラス試料を作製した。
【0043】このようにして作製した各試料について、
密度、歪点、熱膨張係数、X線吸収係数、X線着色量、
耐HCl性、耐バッファードフッ酸性及び液相粘度につ
いて評価した。結果を表に示す。
【0044】密度については、周知のアルキメデス法に
よって測定した。
【0045】歪点は、ASTM C336−71の方法
に基づいて測定し、この値が高いほど、耐熱性が良いこ
とを示す。
【0046】熱膨張係数は、ディラトメーターを用い
て、30〜380℃における平均熱膨張係数を測定した
ものである。
【0047】X線吸収係数は、ガラス組成と密度に基づ
いて、1.5Åの波長に対する吸収係数を計算して求め
たものである。
【0048】X線着色量については、各試料を肉厚が2
mmとなるように両面を光学研磨した後、波長400n
mにおける可視光透過率を測定した。次いで、この試料
に30kv、15mAのRh管から発生させたX線を1
5分間照射した。その後、再度400nmにおける可視
光透過率を測定し、X線照射前後の透過率差(ΔT%)
を求め、これをX線着色量とした。このX線着色量が大
きい程、電界放射型ディスプレイの輝度が劣化しやすく
なる。
【0049】耐HCl性は、各試料を80℃に保持され
た10質量%塩酸水溶液に3時間浸漬した後、それらの
表面状態を目視で観察することによって評価した。ま
た、耐バッファードフッ酸性は、各試料を20℃に保持
された38.7質量%弗化アンモニウム、1.6質量%
フッ酸からなるバッファードフッ酸に10分間浸漬した
後、それらの表面状態を目視で観察することによって評
価した。ガラス基板の表面に全く変化のないものは○、
変色したものは×で示した。
【0050】液相粘度については、各試料をそれぞれ3
00〜500μmの大きさに粉砕し、これを白金製のボ
ートに入れて1000〜1250℃の温度勾配炉に移し
て24時間保持した。その後、白金製のボートからガラ
スを取り出し、偏光顕微鏡で観察し、結晶の析出し始め
た温度を測定した。結晶の析出し始めた温度に相当する
ガラスの粘度を液相粘度とした。尚、液相温度の値は大
きい方が成型しやすく、具体的には104.5dPa・s
以上であることが好ましい。
【0051】表から明らかなように、実施例である試料
No.1〜No.10の各試料は、歪点が645℃以上
であり、熱膨張係数も46〜59×10-7/℃であるた
め、耐熱性に優れ、フリットシールも良好に行うことが
できる。また、PbOを含有していないため、X線着色
量は35%以下と低く、しかも、X線吸収係数も127
cm-1以上と高いため、パネル内部で発生するX線を遮
蔽することができる。耐HCl性、耐バッファードフッ
酸性も良く、耐薬品性にも優れていた。更に、液相粘度
も104.0dPa・s以上であり、フロート法、オーバ
ーフロー法、ロールアウト法等の方法を用いることで、
安く大量に製造することができる。
【0052】これに対し、比較例である試料No.11
は、熱膨張係数が39×10-7/℃と低いため、フリッ
トシールを良好に行うことができない。また、試料N
o.12は、MgO、CaO、SrO、BaOの合量が
45.8%であるため、熱膨張係数が70×10-7/℃
と大きく、熱工程において割れが生じやすくなる。ま
た、試料No.13は、歪点が547℃と低く、耐熱性
が劣っていた。
【0053】
【発明の効果】以上のように、本発明の電界放射型ディ
スプレイ用ガラス基板は、パネル内部を真空に保ち、電
子線放出特性を維持することができ、熱収縮や割れがな
い電界放射型ディスプレイに使用されるガラス基板とし
て好適である。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) H01J 29/86 H01J 29/86 Z 31/12 31/12 C Fターム(参考) 4G062 AA01 BB01 DA05 DA06 DA07 DB03 DB04 DC01 DC02 DC03 DC04 DD01 DE01 DE02 DE03 DF01 EA01 EB01 EC01 ED01 ED02 ED03 EE01 EE02 EE03 EE04 EF03 EF04 EG01 EG02 EG03 EG04 FA01 FA10 FB01 FC01 FC02 FC03 FD01 FE01 FE02 FE03 FF01 FG01 FG02 FG03 FH01 FJ01 FJ02 FJ03 FK01 FK02 FK03 FL01 FL02 FL03 GA01 GA10 GB01 GB02 GB03 GC01 GD01 GE01 GE02 GE03 HH01 HH03 HH05 HH07 HH09 HH11 HH13 HH15 HH17 HH20 JJ01 JJ03 JJ04 JJ05 JJ06 JJ07 JJ10 KK01 KK03 KK05 KK07 KK10 MM27 NN14 NN29 5C032 AA01 BB02 BB20 5C036 EE14 EE17 EF01 EF06 EF09 EG02 EH11 EH21

Claims (6)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 実質的にアルカリ成分を含有せず、歪点
    が550℃以上であり、30〜380℃までの平均熱膨
    張係数が40〜60×10-7/℃であることを特徴とす
    る電界放射型ディスプレイ用ガラス基板。
  2. 【請求項2】 実質的にPbOを含有せず、1.5Åの
    波長におけるX線吸収係数が125cm-1以上であるこ
    とを特徴とする請求項1記載の電界放射型ディスプレイ
    用ガラス基板。
  3. 【請求項3】 SiO2−Al23−RO系ガラス(R
    OはMgO、CaO、SrO、BaOとする)であっ
    て、実質的にアルカリ成分を含有せず、質量百分率で、
    Al23 1〜30%、MgO+CaO+SrO+Ba
    O 20〜45%であることを特徴とする電界放射型デ
    ィスプレイ用ガラス基板。
  4. 【請求項4】 実質的にPbOを含有せず、質量百分率
    で、SrO+BaO5〜45%であることを特徴とする
    請求項3記載の電界放射型ディスプレイ用ガラス基板。
  5. 【請求項5】 質量百分率で、SiO2 40〜80
    %、Al23 1〜30%、B23 0〜20%、Mg
    O 0〜10%、CaO 0〜30%、SrO1〜30
    %、BaO 0〜30%、ZnO 0〜10%、ZrO
    2 0〜10%、CeO2 0〜5%、SrO+BaO
    5〜45%、MgO+CaO+SrO+BaO 20〜
    45%であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか
    に記載の電界放射型ディスプレイ用ガラス基板。
  6. 【請求項6】 液相粘度が104.0dPa・s以上であ
    ることを特徴とする請求項1〜5記載の電界放射型ディ
    スプレイ用ガラス基板。
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