JP2003053115A - 流体制御弁のろ過器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 流体制御弁の流路を通過する流体の中に含
まれる粒子をろ過し、流体制御機器の精度を向上させる
ろ過器を提供するものである。 【解決手段】 流体が流入又は流出される第１開口部及
び第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部との
間にある流体の流路と、前記流路に設けられるとともに
前記流路に連通する弁孔を有する弁座と、前記弁座に当
接又は離間して流路を開閉する弁体を有する流体制御弁
に使用する、流体の汚れを除去するためのろ過器で、前
記流路に対してろ過面を直角以外の角度を有して設置す
ることにより、開口ろ過面積を広くしたろ過器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、流体を制御する流
体制御弁、特に薬液弁に関連する流体の流体制御弁を通
過する流体の中に含まれる粒子等のろ過に用いられる、
ろ過器に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来より、汚れを有する流体をろ過する
ものとして、たとえば、図１５に示す特開平９−４２５
１４におけるフィルタがある。

【０００３】前記特開平９−４２５１４において、図示
しない電磁弁の流体の流入口に、図１５に示す平面円形
板状のフィルタ２１４は、平面円形部に多数のろ過孔２
１５を、又その外周部２１７に複数の取り付け用貫通孔
２１８を形成して、流路結合部２１１の外周壁２１２に
複数の円筒柱状突起部２１３を設けて、更にその流路部
分の内径が拡径されることにより流路面積に近いろ過面
積が確保されて、流路に直角に前記フィルタ２１４が取
り付けられる構造が示されている。この構成では、前記
フィルタ２１４は取り付け用貫通孔２１８が、前記円柱
状突起部２１３にはめ込まれることによって取り付けら
れる構造となっている。

【０００４】更に、この構造では、同号公開公報の段落
００１１から段落００１４に記載のように、流路結合部
２１１を流路径に近い大きさとすることができたので、
入力ポートの径が大きくでき、フィルタ２１４の開口総
面積即ち、ろ過面積は大きな断面積を有することが可能
で流体の流路内にあってろ過をしているとの記載があ
る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、 （１）従来のフィルタはそのろ過面積を確保するため
に、図１５の流路結合部２１１の流路部分の内径を拡径
するという流路側にまで構造の変更を求めていた。この
ことは取り付け流路には専用のフィルタが必要というこ
とで、当然に製品の在庫、生産設備、すなわち金型費等
の費用負担が大きくなっていた。

【０００６】（２）流路結合部２１１にフィルタ２１４
を取り付けるために流体の漏れを防ぐシール構造が新た
に必要となっていた。そのためにシール構造が複雑、多
数になり、信頼性の低下をも招きやすく、更にはコスト
高にもなっていた。

【０００７】（３）又、この方式のフィルタ２１４で
は、ろ過した不純物で汚れたフィルタ２１４を交換する
ときに、流路結合部２１１を外してからフィルタ２１４
を取り外さなくてはならず流路から流体が流れ出て、作
業者、作業場所によくない影響を与えることも考えられ
る。

【０００８】そこで本発明は、前記従来技術にかかる流
体制御弁のろ過器の問題点を、特にろ過面積に対する問
題点を解決するためになされたものであり、 （１）流体流路の断面積と同じか、大きなろ過面積を持
つろ過器を簡単な手段により提供することにある。 （２）ろ過器は既存の流路にそのまま取り付けられる、
構造とする。

【０００９】（３）そして前述したように、必要によっ
て、ろ過した不純物で汚れたろ過器自体を取り外す必要
が生じるために、ろ過器を流体制御弁から容易に取り外
し出来る構成のものを提供することにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】以下に、上記課題を解決
するための手段を必要によりその作用あるいは効果と共
に述べる。

【００１１】上記問題点を解決するため、請求項１に記
載の発明によれば、流体が流入又は流出される第１開口
部及び第２開口部と、前記第１開口部と前記第２開口部
との間にある流体の流路と、前記流路に設けられるとと
もに前記流路に連通する弁孔を有する弁座と、前記弁座
に当接又は離間して流路を開閉する弁体と、を有する流
体制御弁において、流体の汚れを除去するためのろ過器
であって、前記流路に対してろ過面が直角以外の角度を
有して設けられることを特徴としている。

【００１２】この構成によれば、流路に対してろ過面が
直角以外の角度を有して設けられるのでろ過器のろ過断
面積は流路内径断面積より大きなろ過面積を得ることが
できる。この大きなろ過面積により、ろ過器の目詰まり
が起こりにくいので、流体の汚れを効率よくろ過するこ
とができる。

【００１３】請求項２に記載の発明によれば、流体が流
入又は流出される第１開口部及び第２開口部と、前記第
１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流路と、
前記流路に設けられるとともに前記流路に連通する弁孔
を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して流路を開
閉する弁体と、を有する流体制御弁において、流体の汚
れを除去するためのろ過器であって、前記流路に対して
ろ過面が略４５度の角度を有して設けられることを特徴
とする。

【００１４】この構成によれば、ろ過器は流路に対して
ろ過面が４０度から５０度の間で角度を有して設けられ
るのでろ過器のろ過面積は流路内径断面積より大きな開
口断面積を得ることができる。このことにより、ろ過器
の目詰まりが起こりにくいので、流体の汚れを効率よく
ろ過することができる。またこのときにはろ過器を流路
に直角に設けたときに比べて、流れに対するろ過器の抵
抗があまり変化しない。

【００１５】請求項３に記載の発明によれば、流体が流
入又は流出される第１開口部及び第２開口部と、前記第
１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流路と、
前記流路に設けられるとともに前記流路に連通する弁孔
を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前記流路
を開閉する弁体と、を有する流体制御弁において、流体
の汚れを除去するためのろ過器であって、前記流路に対
してろ過面が直角以外の角度を有して設けられることに
より、前記流路の断面積と同じ、又は、前記流路の断面
積より大きなろ過面積を有することを特徴とする。

【００１６】この構成によれば、ろ過器は流路に対して
ろ過面積が流路内径断面積より大きな開口面積を得るこ
とができるので、ろ過器の目詰まりが起こりにくく、流
体の汚れを効率よくろ過することができる。

【００１７】請求項４に記載の発明によれば、請求項１
から請求項３のうちいずれか一項に記載の発明におい
て、ろ過器は流路から取り外しでき、ろ過面が多孔状で
あることを特徴とする。

【００１８】この構成によれば、請求項１から請求項３
に記載の作用効果に加えて、ろ過器は流路から取り外す
ことができるので、ろ過器の目詰まりの時には、その必
要に応じて、ろ過器を流路から取り外してからろ過した
不純物を取り除くことができる。このことにより、保守
点検が容易にできる。

【００１９】請求項５に記載の発明によれば、請求項１
から請求項４に記載のうちいずれか一項に記載の発明の
ろ過器において、流路から取り外すための取っ手部を有
することを特徴とするろ過器であることを特徴とする。

【００２０】この構成によれば、請求項１から請求項４
に記載の作用効果に加えて、ろ過器は流路から取り外す
ための取っ手部を有するので、ろ過器の目詰まりの時に
は、その取っ手部を例えば、手でつまんで、あるいは工
具を用いてろ過器を流路から取り外してからろ過した不
純物を取り除くことができる。このことにより、保守点
検が容易にできる。

【００２１】請求項６に記載の発明によれば、請求項１
から請求項５に記載のうちいずれか一項に記載のろ過器
であって、テフロン樹脂でできているろ過面が多孔状で
あることを特徴とする。

【００２２】この構成によれば、請求項１から請求項５
に記載の作用効果に加えて、テフロン樹脂は耐薬品性が
高いので、例えば、半導体の製造用薬液流路にも使用で
きる。このことにより、多種の薬液にも使用できるろ過
器を得ることができる。又、ろ過器を容易にとり取り外
すことができるので、高価なテフロン樹脂材料の再利用
に便利である。

【００２３】請求項７に記載の発明によれば、流体が流
入又は流出される第１開口部及び第２開口部と、前記第
１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流路と、
前記流路に設けられるとともに前記流路に連通する弁孔
を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前記流路
を開閉する弁体と、を有する流体制御弁において、流体
の汚れを除去するためのろ過器であって、前記流路の直
線状部分に、前記流路に対してろ過面が直角以外の角度
を有して設けられることにより前記流路の断面積より大
きなろ過面積を有し、ろ過面が多孔状のろ過器であっ
て、流路から取り外すための取り外し部を有することを
特徴とする。

【００２４】この構成によれば、流路の内周に対してろ
過面が直角以外の角度を有して設けられるのでろ過器の
ろ過面積は流路内径断面積より大きな開口断面積を得る
ことができる。この大きな開口面積のために、ろ過器の
目詰まりが起こりにくいので、流体の汚れを効率よくろ
過することができる。

【００２５】又、長期間使用の後に目詰まりが発生した
ときには、ろ過器の取っ手部を例えば、手でつまんで、
ろ過器を流路から取り外してからろ過した不純物を取り
除くことができる。このことにより、目詰まりが起こり
にくく、保守点検が容易にできる。

【００２６】請求項８に記載の発明によれば、流体が流
入又は流出される第１開口部及び第２開口部と、前記第
１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流路と、
前記流路に設けられるとともに前記流路に連通する弁孔
を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前記流路
を開閉する弁体と、流体の汚れを除去するために、前記
流路の直線状部分に、前記流路に対してろ過面が直角以
外の角度を有して設けられるとともに、前記流路の断面
積より大きなろ過面積を有し、ろ過面が多孔状であっ
て、流路から取り外すための取っ手部を有することを特
徴とするろ過器、を有する流体制御弁。

【００２７】この構成によれば、流路の内周に対してろ
過面が直角以外の角度を有して設けられるのでろ過器の
ろ過断面積は流路内径断面積より大きな開口面積を得る
ことができる。この大きな開口面積のために、ろ過器の
目詰まりが起こりにくいので、流体の汚れを効率よくろ
過するろ過器を有する流体制御弁を得ることができる。

【００２８】又、長期間使用の後に目詰まりが発生した
ときには、ろ過器の取っ手部を例えば、手でつまんでろ
過器を流路から取り外してから、ろ過した不純物を取り
除くことができる。このことにより、目詰まりが起こり
にくく、保守点検が容易にできる、流体制御弁を得るこ
とができる。

【００２９】

【発明の実施の形態】次に、本発明にかかる流体制御弁
のろ過器の具体化した各実施形態について各図を参照し
て以下に説明する。

【００３０】（第１の実施形態）まず、本発明にかかる
流体制御弁のろ過器の具体化した第１の実施形態につい
て図１から図４を参照にして説明する。

【００３１】最初に、図１の流体制御弁１００について
述べる。流体制御弁１００では、カバー１及びシリンダ
チューブ２からなる駆動部３と、流路１１が形成された
ボディ４が、一体的に構成されている。

【００３２】カバー1には、調整ボルト５が進退可能に
螺合されており、この調整ボルト５はロックナット６に
よりカバー１に位置決め固定されるようになっている。
そして調整ボルト５の下方には、シリンダチューブ２内
を図示しない加圧空気源から供給される空気圧により摺
動するピストン７が配設されている。このピストン７の
下端部には、ダイアフラム弁体８が連結されている。こ
のダイアフラム弁体８は、シリンダチューブ２とボディ
４に挟持され、後述する流路としての連通流路１０１、
１０２を密に閉止している。

【００３３】一方、ボディ４は第１開口部９と第２開口
部１０が対向側面に形成されている。そして、ボディ４
の中央部には、第１開口部９に連通する流路１１を備え
る弁座部１２が設けられ、その弁座部１２の周囲には第
２開口部１０に連通する流路１０１、１０２が形成され
ている。この連通流路１０１、１０２には第２開口部１
０から弁座部１２に左右両側に形成され、その底面１０
１ａ、１０２ａは、第１開口部９側につながる流路１１
を回避するために、第２開口部１０から第１開口部９側
に向かって同一角度で斜め上がりに形成されている。

【００３４】そのために、連通流路１０１、１０２は、
弁座部１２を挟んで、対称形状となっている。そして、
弁座部１２の上側端部には、弁座１３が形成されてい
る。この弁座１３に第１開口部９から、流路１１へと続
く弁孔１３ａが形成されている。即ち、第１開口部９は
流路１１、弁座１３の弁孔１３ａ、連通流路１０１、１
０２を介して、第２開口部１０に連通している。

【００３５】そこで、図１の流体制御弁１００におい
て、「第１開口部９を流入口、第２開口部１０を流出口
として使用する場合」には、調整ボルト５を所定位置に
移動させてからロックナット６を締めて、その位置を固
定することにより、第１開口部９から第２開口部１０に
供給する流体の流量を調整し、流体を第１開口部９から
流路１１まで流入させる。

【００３６】そして、図示しない加圧空気源からの加圧
空気によりピストン７が駆動部３内を上昇し、ダイアフ
ラム弁体８が弁座１３から所定距離離間されると、第１
開口部９から流路１１にまで流入した流体が、弁座１３
の弁孔１３ａから連通流路１０１、１０２に流出し、第
２開口部１０側に設定流量で供給される。

【００３７】このときに、第１開口部９側には、図２と
図３及び図４に示すろ過器１５１が装着されている。該
ろ過器１５１は、第１開口部９の内径に押し込み挿入す
るだけで、ろ過器外周の突起部１５４が弾性変形をして
内径に固定される。

【００３８】このために、第１開口部９から流入する流
体はその汚れを、前記ろ過器１５１によりろ過されて、
流路１１へと供給される。

【００３９】また、逆に、図１の流体制御弁１００にお
いて、「第２開口部１０を流入口、第１開口部９を流出
口として使用する場合」にも、調整ボルト５で所定位置
に移動させてからロックナット６を締めて、その位置を
固定することにより、第２開口部１０から第１開口部９
に供給する流体の流量を調整し、流体を第２開口部１０
から連通流路１０１、１０２まで流入させるのである。

【００４０】そして、ピストン７が駆動部３内を上昇
し、ダイアフラム弁体８が弁座１３から所定距離離間さ
れると、第２開口部１０から連通流路１０１、１０２に
流入した流体が、弁座１３の弁孔１３ａから流路１１に
流出していき、第１開口部９側に設定流量で供給され
る。

【００４１】このときに、図１の流体制御弁１００の第
２開口部１０側には、ろ過器１５１が第２開口部１０に
装着された状態である、ろ過器１５１ａが示されてい
る。

【００４２】該ろ過器１５１ａ（１５１）は、第２開口
部１０の内周に挿入するだけで、ろ過器１５１ａの外周
の突起部１５４の先端外径寸法は第２開口部の内径より
少し、たとえば０.３ｍｍから０.６ｍｍくらい寸法が大
きくできているために、突起部１５４の先端が弾性変形
することにより固定される。

【００４３】このために、第２開口部１０から流入する
流体は、前記ろ過器１５１ａによりその汚れをろ過され
て、連通流路１０１、１０２へと供給される。

【００４４】従って、図１の流体制御弁１００は、ダイ
アフラム弁体８と弁座１３との離間距離を調整すること
により、第１開口部９から第２開口部１０に、又は、第
２開口部１０から第１開口部９に供給する流体の流量を
制御することが出来る。

【００４５】ろ過器１５１の内容を図２と図３及び図４
で詳述すると、該ろ過器１５１は円筒状の外周部１５２
を有しその外周部１５２の最外周部には突起部１５４が
所定の間隔で複数個設けられており、この突起部１５４
が弾性変形することにより前述の様に第１開口部、ある
いは第２開口部付近の流路１１に取り付け設置できる。
又、内周部１５５には平面状のろ過面１５６が流体の流
れる方向に対して直角ではなく略４５度、即ち４０度か
ら５０度の間の角度で設けられている。

【００４６】前記ろ過面１５６の中央には取り外し用の
円柱状の取っ手部１５３が設けられている。この取っ手
部１５３は例えば手でつまむこともできるし、ピンセッ
ト、ラジオペンチ等の工具を用いても取り外しすること
ができる。

【００４７】ろ過器１５１のろ過面１５６は、流路の流
体流れ方向から見ると図３と図４で示すように、縦多孔
状（網目状）になっている。ろ過面１５６はろ過面の直
角方向即ち正面から見れば、外形全体は図３のごとく楕
円形である。

【００４８】次に、本第２の実施形態について、図５と
図６によりその具体的内容を説明する。図５で示すろ過
器１８１の右方にスリット部１８２とその端部がある。
このスリット部１８２の先端部を取り付け部の流路１１
の内径に対してわずかに、例えば、０．５ｍｍ拡径させ
ておき、拡径した部分のその寸法の弾性変形力で流路１
１に固定する。

【００４９】図６は本第２の実施形態のろ過器１８１の
ろ過面１８４であり、流路の流体流れ方向から見ると円
形格子放射状となっている。ろ過面１８４はろ過面直角
方向から見れば、外形全体は楕円形である。

【００５０】次に、本第３の実施形態におけるろ過器１
９２について、図７で見るとろ過面１８４のみの図示で
あるが、流路方向から見ると格子多孔状となっている。
ろ過面１８４はろ過面直角方向から見れば、外形全体は
楕円形である。

【００５１】次に、本第４の実施形態のろ過器１９３に
ついて、図８は正面断面図で、図９はろ過面１８４であ
り、外周部１８５は全部分が外周部を有するのではな
く、取り付けに必要な部分のみ外周部１８５があるのみ
である。

【００５２】このことにより、全体に外周部１８５があ
る場合に比べて、同等のろ過面積を確保しつつ、外周部
１８５がない分だけ大きな流量が確保出来る。ろ過面１
８４を図９の流路方向から見ると多孔状（網目状）とな
っている。ろ過面１８４はろ過面直角方向から見れば、
外形全体は楕円形である。

【００５３】第５の実施形態は図１０に示す正面断面図
のろ過器１９４と図１１のろ過面１８４で示される。本
第５実施形態においても、外周部１８５は全外周ではな
く取り付けに必要な部分のみ外周部１８５があり、取っ
手部１８３が設けられている。

【００５４】ろ過面１８４は、図１１に示すように、２
本の縦長の窓である。ろ過面１８４を図１１の流路方向
から見ると格子多孔状となっている。ろ過面１８４はろ
過面直角方向から見れば、外形全体は楕円形である。

【００５５】本第５の実施形態のろ過器１９４の取り付
けは、図１における第１の実施形態と同様に取り付ける
ことができる。

【００５６】図１２に示される第６実施形態では、ろ過
器１７０の内周には円錐状で多孔状（網目状）の円錐ろ
過面１７１があり、その円錐状のろ過面１７１中心に
は、円柱状の取っ手部１７３が設けられている。

【００５７】この円錐ろ過面１７１では、第１から第５
までの実施形態の平面状のろ過面１５６、１８４より短
い、ほぼ半分の流路長さにおいて同等のろ過開口面積を
得ることができる。

【００５８】本第６の実施形態のろ過器１７０の取り付
けは、図１における、第１の実施形態のろ過器１５１と
同様に取り付けることが出来る。

【００５９】次に、図１３に示す、第７の実施形態で
は、流体制御弁１１０の縦断面図と図１４のろ過器１６
０の全体の斜視図で示される。

【００６０】第７の実施形態は、図１に示した第１の実
施形態とは、ろ過器１６０の形状とその設置位置が異な
る。

【００６１】本第７の実施形態では、弁座１３の周囲に
ろ過器１６０が設置されていて、流出入する流体のろ過
を行う。

【００６２】本発明における第７実施形態のろ過器１６
０は外周部１６１と内周部１６２と、その間に円錐状
（斜め状）の円錐ろ過面１６３を有している。外周部１
６１には流体制御弁１１０の弁座部１３の部分の連通流
路１０１、１０２にはめ込まれる取り付け用突起部１５
４を有している。又、この取り付け突起部１５４は、必
要により内周部１６２に設けてもよいし、取り付け強度
の必要により外周部１６１と内周部１６２の両方に設け
てもよい。

【００６３】以上、本発明に係る流体制御弁のろ過器の
各実施形態について説明したが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、その主旨を逸脱しない範囲で以下の
様に実施してもよい。

【００６４】（１）例えば、図１の第１実施形態に、図
１４のろ過器１６０を、例えば流体の流入と流出の関係
で必要により同時に設置すれば流体の汚れをよりよくろ
過することが出来るので、薄膜部を有するダイアフラム
の耐久性を向上することが出来る。

【００６５】（２）ろ過器のろ過面を台形状、四角錐
状、三角錐状、断面円弧状や半球状にしてもよい。

【００６６】（３）ろ過面又はろ過面１５６、１８４、
円錐ろ過面１６３、１７１の粗さ、細かさは流体の汚れ
除去の必要に応じて適切なものを選定すればよい。

【００６７】尚、念のために付け加えると、流路に対し
てろ過面が図２に示す様にθの角度を有した場合のろ過
面積は、図３に示す如くａ＊ｂ＊π＝楕円の面積の式を
用いて概略計算すると、楕円の短径部となる流路の径が
２＊ａで、楕円の長径部は２＊ｂで、２＊ｂ＝２＊ａ／
Ｓｉｎθで表される。

【００６８】従って、楕円の面積即ち、ろ過面の面積は
ａ＊ａ／Ｓｉｎθ＊πで表される。Ｓｉｎθはθ＝０度
から９０度の範囲であるから、θが０度でＳｉｎθ＝
０、θが９０度でＳｉｎθ＝１となる。このことによ
り、流路に対してろ過面が図２の様に９０度より小さい
θの角度を有した場合には円形断面積＝流路面積＝ａ＊
ａ＊πより広いろ過面積を得ることがわかる。

【００６９】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の効果とし
ては以下のことを挙げることができる。 （１）流体制御弁において、流路断面積より大きなろ過
面積を有し、現状の流路に取り付けられるという、優れ
た異物除去機能を持つろ過器を得ることができる。

【００７０】（２）流体制御弁において、ろ過器を取り
付ける為の変更をしなくてもよい現状の流路に取り付け
られ、取り付け、取り外しの容易な、優れた異物除去機
能を持つろ過器を得ることができる。

【００７１】（３）流体制御弁において、本ろ過器は把
持部を有するので、手、工具等によって容易に流路から
取り外すことができるので、交換が容易な優れた異物除
去機能を持つろ過器を得ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明における第１の実施形態のろ過器を有す
る流体制御弁の縦断面図である

【図２】本発明の第１の実施形態のろ過器の正面断面図
である

【図３】本発明の第１の実施形態のろ過器のろ過面の正
面図である

【図４】本発明の第１の実施形態のろ過器の流路よりみ
たろ過面である

【図５】本発明の第２の実施形態のろ過器の正面図であ
る

【図６】本発明の第２の実施形態のろ過器の流路よりみ
たろ過面である

【図７】本発明の第３の実施形態のろ過器の流路よりみ
たろ過面である

【図８】本発明の第４の実施形態のろ過器の正面断面図
である

【図９】本発明の第４の実施形態のろ過器の流路よりみ
たろ過面である

【図１０】本発明の第５の実施形態のろ過器の正面断面
図である

【図１１】本発明の第５の実施形態のろ過器の流路より
みたろ過面である

【図１２】本発明の第６の実施形態のろ過器の正面断面
図である

【図１３】本発明における第７の実施形態のろ過器を有
する流体制御弁の縦断面図である

【図１４】本発明の第７の実施形態のろ過器の全体の斜
視図である

【図１５】従来技術としてのろ過器とその取り付け部で
ある

【符号の説明】

１…カバー、２…シリンダチューブ、３…駆動部、４…
ボディ、５…調整ボルト、６…ロックナット、７…ピス
トン、８…ダイアフラム弁体、９…第1開口部、１０…
第２開口部、１１…流路、１２…弁座部、１３…弁座、
１３ａ…弁孔、１００…流体制御弁、１０１…流路とし
ての連通流路、１０１ａ…底面、１０２…流路としての
連通流路、１０２ａ…底面、１１０…流体制御弁、１５
１…本発明のろ過器、１５１ａ…本発明のろ過器を別の
場所に取り付けた場合、１５２…ろ過器外周部、１５
３、１７３、１８３…ろ過器の取っ手部、１５４…取り
付け用突起部、１５５…ろ過器内側、１５６、１８４…
ろ過器のろ過面、１６０…別実施例のろ過器、１６１、
１８５…ろ過器外周部、１６２…ろ過器内周部、１６３
…円錐状のろ過面、１７０…円錐状のろ過面を有するろ
過器断面、１７１…円錐ろ過面、１８２…スリット部、
１８１、１９１、１９２、１９３、１９４…ろ過器、ａ
…ろ過面としての楕円短径部半径、ｂ…ろ過面としての
楕円長径部半径

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 流体が流入又は流出される第１開口部及
   び第２開口部と、 前記第１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流
   路と、前記流路に設けられるとともに前記流路に連通す
   る弁孔を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前
   記流路を開閉する弁体と、を有する流体制御弁におい
   て、 流体の汚れを除去するためのろ過器であって、 前記流路に対してろ過面が直角以外の角度を有して設け
   られることを特徴とするろ過器。
2. 【請求項２】 流体が流入又は流出される第１開口部及
   び第２開口部と、 前記第１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流
   路と、前記流路に設けられるとともに前記流路に連通す
   る弁孔を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前
   記流路を開閉する弁体と、を有する流体制御弁におい
   て、 流体の汚れを除去するためのろ過器であって、 前記流路に対してろ過面が略４５度の角度を有して設け
   られることを特徴とするろ過器。
3. 【請求項３】 流体が流入又は流出される第１開口部及
   び第２開口部と、 前記第１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流
   路と、前記流路に設けられるとともに前記流路に連通す
   る弁孔を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前
   記流路を開閉する弁体と、を有する流体制御弁におい
   て、 流体の汚れを除去するためのろ過器であって、 前記流路に対してろ過面が直角以外の角度を有して設け
   られることにより、 前記流路の断面積と同じ、又は、前記流路の断面積より
   大きなろ過面積を有することを特徴とするろ過器。
4. 【請求項４】 請求項１から請求項３に記載のろ過器で
   あって、 前記流路から取り外しできることを特徴とするろ過器。
5. 【請求項５】 請求項１から請求項４に記載のろ過器で
   あって、 前記流路から取り外すための取っ手部を有することを特
   徴とするろ過器。
6. 【請求項６】 請求項１から請求項５に記載のろ過器で
   あって、 テフロン（登録商標）樹脂でできていることを特徴とす
   るろ過面が多孔状のろ過器。
7. 【請求項７】 流体が流入又は流出される第１開口部及
   び第２開口部と、 前記第１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流
   路と、前記流路に設けられるとともに前記流路に連通す
   る弁孔を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前
   記流路を開閉する弁体と、を有する流体制御弁におい
   て、 流体の汚れを除去するためのろ過器であって、 前記流路の直線状部分に、前記流路に対してろ過面が直
   角以外の角度を有して設けられることにより、前記流路
   の断面積より大きなろ過面積を有し、ろ過面が多孔状で
   あって、流路から取り外すための取っ手部を有すること
   を特徴とする、ろ過器。
8. 【請求項８】 流体が流入又は流出される第１開口部及
   び第２開口部と、 前記第１開口部と前記第２開口部との間にある流体の流
   路と、前記流路に設けられるとともに前記流路に連通す
   る弁孔を有する弁座と、前記弁座に当接又は離間して前
   記流路を開閉する弁体と、 流体の汚れを除去するために、前記流路の直線状部分に
   前記流路に対してろ過面が直角以外の角度を有して設け
   られるとともに、前記流路の断面積より大きなろ過面積
   を有し、ろ過面が多孔状であって、流路から取り外すた
   めの取っ手部を有することを特徴とするろ過器、を有す
   る流体制御弁。