JP2003036777A - 単一アンカーを備えるマイクロ電子機械システムスイッチ - Google Patents
単一アンカーを備えるマイクロ電子機械システムスイッチInfo
- Publication number
- JP2003036777A JP2003036777A JP2002134556A JP2002134556A JP2003036777A JP 2003036777 A JP2003036777 A JP 2003036777A JP 2002134556 A JP2002134556 A JP 2002134556A JP 2002134556 A JP2002134556 A JP 2002134556A JP 2003036777 A JP2003036777 A JP 2003036777A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- anchor
- signal transmission
- system switch
- motion plate
- plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H59/00—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays
- H01H59/0009—Electrostatic relays; Electro-adhesion relays making use of micromechanics
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01H—ELECTRIC SWITCHES; RELAYS; SELECTORS; EMERGENCY PROTECTIVE DEVICES
- H01H1/00—Contacts
- H01H1/12—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage
- H01H1/14—Contacts characterised by the manner in which co-operating contacts engage by abutting
- H01H1/20—Bridging contacts
Landscapes
- Micromachines (AREA)
- Waveguide Switches, Polarizers, And Phase Shifters (AREA)
- Push-Button Switches (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 単一アンカーを備えるMEMSスイッチを提供す
る。 【解決手段】 基板と、前記基板上に所定の間隔に離隔
して備えられた接地線と、前記接地線間に備えられてい
るが、所定の間隔に離隔された信号伝送線と、前記信号
伝送線間に備えられたアンカーと、前記アンカー、信号
伝送線及び接地線と非接触状態に備えられ、前記アンカ
ーを取囲む駆動電極と、前記駆動電極上に備えられ、前
記信号伝送線の一部とオーバーラップされ、かつ前記ア
ンカーと弾力的に連結された運動板とを備える。
る。 【解決手段】 基板と、前記基板上に所定の間隔に離隔
して備えられた接地線と、前記接地線間に備えられてい
るが、所定の間隔に離隔された信号伝送線と、前記信号
伝送線間に備えられたアンカーと、前記アンカー、信号
伝送線及び接地線と非接触状態に備えられ、前記アンカ
ーを取囲む駆動電極と、前記駆動電極上に備えられ、前
記信号伝送線の一部とオーバーラップされ、かつ前記ア
ンカーと弾力的に連結された運動板とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高周波マイクロ電子
機械システムスイッチ(Micro Electro Mechanical Syst
em；以下、MEMSスイッチと称する)に係り、特に単一ア
ンカーを備えるMEMSスイッチに関する。
機械システムスイッチ(Micro Electro Mechanical Syst
em；以下、MEMSスイッチと称する)に係り、特に単一ア
ンカーを備えるMEMSスイッチに関する。
【０００２】
【従来の技術】MEMSスイッチはマイクロ波やミリメータ
波を用いる無線通信システムにおいて信号の選別伝送(s
ignal routing)やインピーダンス整合回路(impedance m
atching networks)等に広く使われる応用素子である。
波を用いる無線通信システムにおいて信号の選別伝送(s
ignal routing)やインピーダンス整合回路(impedance m
atching networks)等に広く使われる応用素子である。
【０００３】既存のMMIC(Monolithic microwave integr
ated circuits)回路においてRFスイッチを具現するため
に主にGaAs FETやピンダイオード(pin diode)などを主
に用いたが、このような素子を用いてスイッチを具現し
た場合、オン状態で挿入損失が大きく、オフ状態で信号
分離特性が低下する問題が生じる。
ated circuits)回路においてRFスイッチを具現するため
に主にGaAs FETやピンダイオード(pin diode)などを主
に用いたが、このような素子を用いてスイッチを具現し
た場合、オン状態で挿入損失が大きく、オフ状態で信号
分離特性が低下する問題が生じる。
【０００４】このような問題点を改善するために多様な
MEMSスイッチに関する研究が活発に進行されつつあり、
最近では移動通信端末機市場の爆発的な増加によってME
MSスイッチの重要性はさらに増加されている。これによ
り、多様な形態のMEMSスイッチが提示されている。
MEMSスイッチに関する研究が活発に進行されつつあり、
最近では移動通信端末機市場の爆発的な増加によってME
MSスイッチの重要性はさらに増加されている。これによ
り、多様な形態のMEMSスイッチが提示されている。
【０００５】図1は従来の技術によるMEMSスイッチの平
面図であり、これを参照すれば、振動板10が入出力伝送
線12、14及び接地線16上を横切る形に備えられており、
対称的に備えられたことが分かる。
面図であり、これを参照すれば、振動板10が入出力伝送
線12、14及び接地線16上を横切る形に備えられており、
対称的に備えられたことが分かる。
【０００６】図2を参照すれば、入出力伝送線12、14は
基板S上に所定間隔に離隔された状態で備えられてお
り、このような入出力伝送線12、14上に振動板10が備え
られたことが分かる。
基板S上に所定間隔に離隔された状態で備えられてお
り、このような入出力伝送線12、14上に振動板10が備え
られたことが分かる。
【０００７】図1において、18及び20は各々運動板10を
支持する第1及び第2アンカーを示す。第1及び第2アンカ
ー18、20は入出力伝送線12、14を中心に対称的な位置に
備えられている。また、第1及び第2アンカー18、20は対
称的に備えられた運動板10の両側にそれぞれ連結されて
いるが、第1及び第2バネ22、24を通じて連結されてい
る。こうして、第1及び第2アンカー18、20を支持点とし
て運動板10は駆動電極(図示せず)により入出力伝送線1
2、14と接触された後、駆動力が除去されつつ原位置に
戻る。
支持する第1及び第2アンカーを示す。第1及び第2アンカ
ー18、20は入出力伝送線12、14を中心に対称的な位置に
備えられている。また、第1及び第2アンカー18、20は対
称的に備えられた運動板10の両側にそれぞれ連結されて
いるが、第1及び第2バネ22、24を通じて連結されてい
る。こうして、第1及び第2アンカー18、20を支持点とし
て運動板10は駆動電極(図示せず)により入出力伝送線1
2、14と接触された後、駆動力が除去されつつ原位置に
戻る。
【０００８】一方、図1を3-3'方向に切断した図3を参照
すれば、第1及び第2アンカー18、20の間に入出力伝送線
12、14と接触されるように運動板10を駆動させる第1及
び第2駆動電極26、28が備えられている。第1及び第2駆
動電極26、28は所定間隔だけ離隔されている。
すれば、第1及び第2アンカー18、20の間に入出力伝送線
12、14と接触されるように運動板10を駆動させる第1及
び第2駆動電極26、28が備えられている。第1及び第2駆
動電極26、28は所定間隔だけ離隔されている。
【０００９】切断面に位置していないために図示されて
いないが、第1及び第2駆動電極26、28が所定間隔に離隔
された所に、即ち第1及び第2駆動電極26、28間に入出力
伝送線12、14及び接地線16が位置する。
いないが、第1及び第2駆動電極26、28が所定間隔に離隔
された所に、即ち第1及び第2駆動電極26、28間に入出力
伝送線12、14及び接地線16が位置する。
【００１０】前記従来の技術によるMEMSスイッチは、図
1及び図2から分かるように、運動板10が入出力伝送線1
2、14及び接地線16を横切るように備えられているため
に、運動板10の駆動過程で運動板10と接地線16との接触
により伝送信号が漏れる問題があり、運動板10の両側が
各々第1及び第2アンカー18、20に固定されているために
熱膨張により運動板10が上下方向に変形されてしまう問
題がある。このような変形が生じる場合、駆動電圧が上
昇され、スイッチがオンの時に電力損失を招く恐れがあ
る。
1及び図2から分かるように、運動板10が入出力伝送線1
2、14及び接地線16を横切るように備えられているため
に、運動板10の駆動過程で運動板10と接地線16との接触
により伝送信号が漏れる問題があり、運動板10の両側が
各々第1及び第2アンカー18、20に固定されているために
熱膨張により運動板10が上下方向に変形されてしまう問
題がある。このような変形が生じる場合、駆動電圧が上
昇され、スイッチがオンの時に電力損失を招く恐れがあ
る。
【００１１】
【発明が解決しようとする課題】本発明は前記問題点を
解決するために創案されたものであって、その技術的課
題は、伝送信号の漏れ及び振動板の変形による駆動電圧
の上昇とスイッチオン状態の電力損失を防止しうるMEMS
スイッチを提供する点にある。
解決するために創案されたものであって、その技術的課
題は、伝送信号の漏れ及び振動板の変形による駆動電圧
の上昇とスイッチオン状態の電力損失を防止しうるMEMS
スイッチを提供する点にある。
【００１２】
【課題を解決するための手段】前記技術的課題を達成す
るために本発明は、基板と、前記基板上に所定の間隔に
離隔して備えられた接地線と、前記接地線間に備えられ
ているが、所定の間隔に離隔された信号伝送線と、前記
信号伝送線間に備えられたアンカーと、前記アンカー、
信号伝送線及び接地線と非接触状態に備えられ、前記ア
ンカーを取囲む駆動電極と、前記駆動電極上に備えら
れ、前記信号伝送線の一部とオーバーラップされ、かつ
前記アンカーと弾力的に連結された運動板とを備えるこ
とを特徴とするMEMSスイッチを提供する。この際、前記
運動板はバネを通じて前記アンカーに弾力的に連結され
ている。前記運動板とアンカーは４つの板バネによって
連結されている。
るために本発明は、基板と、前記基板上に所定の間隔に
離隔して備えられた接地線と、前記接地線間に備えられ
ているが、所定の間隔に離隔された信号伝送線と、前記
信号伝送線間に備えられたアンカーと、前記アンカー、
信号伝送線及び接地線と非接触状態に備えられ、前記ア
ンカーを取囲む駆動電極と、前記駆動電極上に備えら
れ、前記信号伝送線の一部とオーバーラップされ、かつ
前記アンカーと弾力的に連結された運動板とを備えるこ
とを特徴とするMEMSスイッチを提供する。この際、前記
運動板はバネを通じて前記アンカーに弾力的に連結され
ている。前記運動板とアンカーは４つの板バネによって
連結されている。
【００１３】前記運動板の前記接地線に垂直な方向の幅
は前記信号伝送線の幅と同一であることが望ましい。前
記駆動電極は前記運動板と同一な幾何学的形態を有する
ことが望ましい。
は前記信号伝送線の幅と同一であることが望ましい。前
記駆動電極は前記運動板と同一な幾何学的形態を有する
ことが望ましい。
【００１４】前記４つの板バネのそれぞれの一端は前記
アンカーの４つの角部に連結されているが、角部を構成
する二面のうち何れか一面に連結されており、それぞれ
の他端は前記一端の連結面に沿って拡張されて前記一端
の連結面に隣接したアンカーの他面と対向する運動板の
内側角部に連結されている。
アンカーの４つの角部に連結されているが、角部を構成
する二面のうち何れか一面に連結されており、それぞれ
の他端は前記一端の連結面に沿って拡張されて前記一端
の連結面に隣接したアンカーの他面と対向する運動板の
内側角部に連結されている。
【００１５】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例による単一
アンカーを備えるMEMSスイッチを添付した図面に基づい
て詳細に説明する。図4を参照すれば、第1及び第2接地
線40、42は相互所定間隔だけ離隔されており、相互平行
に備えられている。このような第1及び第2接地線40、42
の間に第1及び第2信号伝送線44、46が備えられている。
第1及び第2信号伝送線44、46は第1及び第2接地線40、42
と非接触となっている。第1及び第2信号伝送線44、46は
各々入力及び出力信号伝送線を示す。第1及び第2信号伝
送線44、46は相互所定間隔だけ離隔されている。第1及
び第2信号伝送線44、46の間にアンカー48が備えられて
いる。アンカー48は単一アンカーであって、第1及び第2
信号伝送線44、46だけでなく第1及び第2接地線40、42と
も離隔されており、平面形態は四角形である。アンカー
48は多様な平面形態を有しうる。例えば、四角形の代わ
りに円形であっても、三角形、五角形または六角形のよ
うに多角形であっても良い。このようなアンカー48の回
りに運動板50が備えられている。運動板50はアンカー48
を取囲む所定の幅を有する四角形の帯である。運動板50
の形態はアンカー48の形によって変わる。例えば、アン
カー48の平面形態が四角形でない円形や、前記多角形で
あれば、運動板50の形も円形や多角形になる。
アンカーを備えるMEMSスイッチを添付した図面に基づい
て詳細に説明する。図4を参照すれば、第1及び第2接地
線40、42は相互所定間隔だけ離隔されており、相互平行
に備えられている。このような第1及び第2接地線40、42
の間に第1及び第2信号伝送線44、46が備えられている。
第1及び第2信号伝送線44、46は第1及び第2接地線40、42
と非接触となっている。第1及び第2信号伝送線44、46は
各々入力及び出力信号伝送線を示す。第1及び第2信号伝
送線44、46は相互所定間隔だけ離隔されている。第1及
び第2信号伝送線44、46の間にアンカー48が備えられて
いる。アンカー48は単一アンカーであって、第1及び第2
信号伝送線44、46だけでなく第1及び第2接地線40、42と
も離隔されており、平面形態は四角形である。アンカー
48は多様な平面形態を有しうる。例えば、四角形の代わ
りに円形であっても、三角形、五角形または六角形のよ
うに多角形であっても良い。このようなアンカー48の回
りに運動板50が備えられている。運動板50はアンカー48
を取囲む所定の幅を有する四角形の帯である。運動板50
の形態はアンカー48の形によって変わる。例えば、アン
カー48の平面形態が四角形でない円形や、前記多角形で
あれば、運動板50の形も円形や多角形になる。
【００１６】一方、運動板50は第1及び第2信号伝送線4
4、46の一部とオーバーラップされているが、これは運
動板50の駆動時、第1及び第2信号伝送線44、46と接触さ
せるためである。運動板50の縦方向、即ち第1及び第2接
地線40、42に垂直な方向への全体幅は第1及び第2信号伝
送線44、46の幅Wと同一であることが望ましいが、第1及
び第2接地線40、42と接触されない範囲内で第1及び第2
信号伝送線44、46の幅Wより狭くても、広くても良い。
4、46の一部とオーバーラップされているが、これは運
動板50の駆動時、第1及び第2信号伝送線44、46と接触さ
せるためである。運動板50の縦方向、即ち第1及び第2接
地線40、42に垂直な方向への全体幅は第1及び第2信号伝
送線44、46の幅Wと同一であることが望ましいが、第1及
び第2接地線40、42と接触されない範囲内で第1及び第2
信号伝送線44、46の幅Wより狭くても、広くても良い。
【００１７】運動板50及びアンカー48は弾性的に連結さ
れている。アンカー48と運動板50とを弾力的に連結する
ための手段として、運動板50とアンカー48との間に４つ
の板バネ52が備えられている。４つの板バネ52により運
動板50とアンカー48は連結されている。４つの板バネ52
のそれぞれの一端はアンカー48の４つの角部に連結され
ているが、各角部をなす二面のうち何れか一面に連結さ
れている。そして、他端は前記一端が連結されたアンカ
ー48の面に沿って拡張されて前記一端が連結された面に
隣接したアンカー48の他面と対向する運動板50の内側面
に連結されている。即ち、板バネ52の連結形態はアンカ
ー48の角部をなす二面のうち一面とこれに対応する運動
板50の内面とを一対一に連結した後、アンカー48を逆時
計回り方向にまたは運動板50を時計回り方向に90°回転
させた形態と同一である。このような板バネ52が持つ弾
力(弾性力)により運動板50が昇降駆動されても運動板50
は原位置に戻る。
れている。アンカー48と運動板50とを弾力的に連結する
ための手段として、運動板50とアンカー48との間に４つ
の板バネ52が備えられている。４つの板バネ52により運
動板50とアンカー48は連結されている。４つの板バネ52
のそれぞれの一端はアンカー48の４つの角部に連結され
ているが、各角部をなす二面のうち何れか一面に連結さ
れている。そして、他端は前記一端が連結されたアンカ
ー48の面に沿って拡張されて前記一端が連結された面に
隣接したアンカー48の他面と対向する運動板50の内側面
に連結されている。即ち、板バネ52の連結形態はアンカ
ー48の角部をなす二面のうち一面とこれに対応する運動
板50の内面とを一対一に連結した後、アンカー48を逆時
計回り方向にまたは運動板50を時計回り方向に90°回転
させた形態と同一である。このような板バネ52が持つ弾
力(弾性力)により運動板50が昇降駆動されても運動板50
は原位置に戻る。
【００１８】一方、駆動電極54は運動板50を駆動させる
駆動電極であって、第1及び第2信号伝送線44、46、第1
及び第2接地線40、42と離隔されている。駆動電極54は
アンカー48を取囲む形に備えられている。しかし、アン
カー48及び駆動電極54は非接触状態である。駆動電極54
は運動板50を駆動させて第1及び第2信号伝送線44、46と
接触させるためのものである。したがって、駆動電極54
はできるだけ駆動力が運動板50の広い領域に及ぶ形に備
えられたことが望ましい。したがって、駆動電極54は運
動板50と同一な幾何学的形態を有することが望ましい
が、必要な場合に運動板50と異なる幾何学的形態を有し
ても良い。
駆動電極であって、第1及び第2信号伝送線44、46、第1
及び第2接地線40、42と離隔されている。駆動電極54は
アンカー48を取囲む形に備えられている。しかし、アン
カー48及び駆動電極54は非接触状態である。駆動電極54
は運動板50を駆動させて第1及び第2信号伝送線44、46と
接触させるためのものである。したがって、駆動電極54
はできるだけ駆動力が運動板50の広い領域に及ぶ形に備
えられたことが望ましい。したがって、駆動電極54は運
動板50と同一な幾何学的形態を有することが望ましい
が、必要な場合に運動板50と異なる幾何学的形態を有し
ても良い。
【００１９】このような駆動電極54、運動板50、第1及
び第2信号伝送線44、46、第1及び第2接地線40、42間の
位置関係は、図5及び図6を参照することによって明確に
なる。
び第2信号伝送線44、46、第1及び第2接地線40、42間の
位置関係は、図5及び図6を参照することによって明確に
なる。
【００２０】まず、図5を参照すれば、駆動電極54はア
ンカー48と第1及び第2信号伝送線44、46との間の基板60
上に備えられているが、前記のように両者と非接触とな
っていることが分かる。また、アンカー48は基板60上に
形成されたベース48aと、ベース48a上に備えられた支持
部48bとで構成されることが分かる。支持部48bは羽根状
である。図4と共に考慮すれば、支持部48bが板バネ52と
連結されることは容易に分かる。また、運動板50が駆動
電極54上に備えられる一方、一部が第1及び第2信号伝送
線44、46上に拡張されていることが分かる。このよう
に、運動板50の一部と第1及び第2信号伝送線44、46の一
部とがオーバーラップされているので、駆動電極54によ
り運動板50が駆動される場合に運動板50と第1及び第2信
号伝送線44、46とが接触されるということがわかる。
ンカー48と第1及び第2信号伝送線44、46との間の基板60
上に備えられているが、前記のように両者と非接触とな
っていることが分かる。また、アンカー48は基板60上に
形成されたベース48aと、ベース48a上に備えられた支持
部48bとで構成されることが分かる。支持部48bは羽根状
である。図4と共に考慮すれば、支持部48bが板バネ52と
連結されることは容易に分かる。また、運動板50が駆動
電極54上に備えられる一方、一部が第1及び第2信号伝送
線44、46上に拡張されていることが分かる。このよう
に、運動板50の一部と第1及び第2信号伝送線44、46の一
部とがオーバーラップされているので、駆動電極54によ
り運動板50が駆動される場合に運動板50と第1及び第2信
号伝送線44、46とが接触されるということがわかる。
【００２１】引続き、図6を参照すれば、駆動電極54が
第1及び第2接地線40、42と非接触となるという点と、運
動板50が第1及び第2接地線40、42とオーバーラップされ
ないという点とが分かる。
第1及び第2接地線40、42と非接触となるという点と、運
動板50が第1及び第2接地線40、42とオーバーラップされ
ないという点とが分かる。
【００２２】前記説明に多くの事項が具体的に記載され
ているが、これらは発明の範囲を限定するものではな
く、望ましい実施例の例示として解釈せねばならない。
例えば、当業者であれば、本発明の単一アンカーを備え
るMEMSスイッチから異なる形態のMEMSスイッチを具現で
きる。即ち、板バネ数を減らすか、連結形態を異ならせ
るか、または運動板や板バネの材質を変えたMEMSスイッ
チを考慮しうる。また、信号伝送に障害にならない範囲
内で第1及び第2信号伝送線44、46と運動板50とのオーバ
ーラップ領域を最小化しうる。
ているが、これらは発明の範囲を限定するものではな
く、望ましい実施例の例示として解釈せねばならない。
例えば、当業者であれば、本発明の単一アンカーを備え
るMEMSスイッチから異なる形態のMEMSスイッチを具現で
きる。即ち、板バネ数を減らすか、連結形態を異ならせ
るか、または運動板や板バネの材質を変えたMEMSスイッ
チを考慮しうる。また、信号伝送に障害にならない範囲
内で第1及び第2信号伝送線44、46と運動板50とのオーバ
ーラップ領域を最小化しうる。
【００２３】
【発明の効果】前述したように、本発明は運動板が接地
線間に備えられており、接地線と非接触状態で駆動可能
な形に備えられている。したがって、接地線と運動板と
の接触や接地線が中間で切れたり、狭くなることによる
伝送信号の損失を改善しうる。また、運動板が入出力信
号伝送線と接地線との中心部に非接触とされた単一アン
カーにより支持されるために、外部から熱が加えられて
構造物が熱膨脹しても、基板に垂直な方向に運動板が変
形されることを防止しうる。したがって、駆動電圧の上
昇と、スイッチオン状態の電力の損失を防止しうる。
線間に備えられており、接地線と非接触状態で駆動可能
な形に備えられている。したがって、接地線と運動板と
の接触や接地線が中間で切れたり、狭くなることによる
伝送信号の損失を改善しうる。また、運動板が入出力信
号伝送線と接地線との中心部に非接触とされた単一アン
カーにより支持されるために、外部から熱が加えられて
構造物が熱膨脹しても、基板に垂直な方向に運動板が変
形されることを防止しうる。したがって、駆動電圧の上
昇と、スイッチオン状態の電力の損失を防止しうる。
【図１】 従来の技術によるMEMSスイッチの平面図であ
る。
る。
【図２】 図１を２−２’方向に切断した断面図であ
る。
る。
【図３】 図１を３−３’方向に切断した断面図であ
る。
る。
【図４】 本発明の実施例による単一アンカーを備える
MEMSスイッチの平面図である。
MEMSスイッチの平面図である。
【図５】 図４を５−５’方向に切断した断面図であ
る。
る。
【図６】 図４を６−６’方向に切断した断面図であ
る。
る。
４０・４２ 第１及び第２接地線
４４・４６ 第１及び第２信号伝送線
４８ アンカー
５０ 運動板
Claims (8)
- 【請求項１】 基板と、 前記基板上に所定の間隔に離隔して備えられた接地線
と、 前記接地線間に備えられているが、所定の間隔に離隔さ
れた信号伝送線と、 前記信号伝送線間に備えられたアンカーと、 前記アンカー、信号伝送線及び接地線と非接触状態に備
えられ、前記アンカーを取囲む駆動電極と、 前記駆動電極上に備えられ、前記信号伝送線の一部とオ
ーバーラップされ、かつ前記アンカーと弾力的に連結さ
れた運動板とを備えることを特徴とするマイクロ電子機
械システムスイッチ。 - 【請求項２】 前記運動板はバネを通じて前記アンカー
に連結されたことを特徴とする請求項１に記載のマイク
ロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項３】 前記運動板は前記アンカーを取囲む形に
備えられていることを特徴とする請求項１に記載のマイ
クロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項４】 前記運動板及びアンカーは、４つの板状
バネによって連結されていることを特徴とする請求項２
に記載のマイクロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項５】 前記運動板の前記接地線に垂直な方向の
幅は前記信号伝送線の幅と同一であることを特徴とする
請求項１に記載のマイクロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項６】 前記駆動電極は前記運動板と同一な幾何
学的形態を有することを特徴とする請求項１に記載のマ
イクロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項７】 前記４つの板バネのそれぞれの一端は前
記アンカーの４つの角部に連結されているが、角部を構
成する二面のうち何れか一面に連結されており、それぞ
れの他端は前記一端の連結面に沿って拡張されて前記一
端の連結面に隣接したアンカーの他面と対向する運動板
の内側面に連結されていることを特徴とする請求項４に
記載のマイクロ電子機械システムスイッチ。 - 【請求項８】 前記アンカーは前記基板上に形成された
ベース及び前記ベース上に備えられた支持部より構成さ
れたことを特徴とする請求項１に記載のマイクロ電子機
械システムスイッチ。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| KR10-2001-0025568A KR100519749B1 (ko) | 2001-05-10 | 2001-05-10 | 단일 앵커를 구비하는 마이크로 전자 기계시스템(ｍｅｍｓ) 스위치 |
| KR2001-025568 | 2001-05-10 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003036777A true JP2003036777A (ja) | 2003-02-07 |
| JP3986881B2 JP3986881B2 (ja) | 2007-10-03 |
Family
ID=19709302
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2002134556A Expired - Fee Related JP3986881B2 (ja) | 2001-05-10 | 2002-05-09 | 単一アンカーを備えるマイクロ電子機械システムスイッチ |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6628183B2 (ja) |
| EP (1) | EP1256970B1 (ja) |
| JP (1) | JP3986881B2 (ja) |
| KR (1) | KR100519749B1 (ja) |
| CN (1) | CN1211274C (ja) |
| DE (1) | DE60200732T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294591A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-10-26 | Omron Corp | 静電マイクロ接点開閉器およびその製造方法、ならびに静電マイクロ接点開閉器を用いた装置 |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100554468B1 (ko) | 2003-12-26 | 2006-03-03 | 한국전자통신연구원 | 자기유지 중앙지지대를 갖는 미세 전자기계적 스위치 및그의 제조방법 |
| US7373717B2 (en) | 2004-03-16 | 2008-05-20 | Electronics And Telecommunications Research Institute | Method of manufacturing a self-sustaining center-anchor microelectromechanical switch |
| US7102472B1 (en) * | 2004-05-06 | 2006-09-05 | Northrop Grumman Corporation | MEMS device |
| US7503989B2 (en) * | 2004-12-17 | 2009-03-17 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Methods and systems for aligning and coupling devices |
| US7521784B2 (en) * | 2004-12-17 | 2009-04-21 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | System for coupling wire to semiconductor region |
| US7429864B2 (en) * | 2004-12-17 | 2008-09-30 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Systems and methods for rectifying and detecting signals |
| US7391090B2 (en) * | 2004-12-17 | 2008-06-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Systems and methods for electrically coupling wires and conductors |
| JP4966562B2 (ja) * | 2006-02-28 | 2012-07-04 | 富士フイルム株式会社 | 微小電気機械式素子、微小電気機械式素子アレイ、光変調素子、微小電気機械式光変調素子、微小電気機械式光変調素子アレイ、及びこれらを用いた画像形成装置 |
| KR100738114B1 (ko) * | 2006-05-18 | 2007-07-12 | 삼성전자주식회사 | 액츄에이터 및 이차원 스캐너 |
| JP6433349B2 (ja) * | 2015-03-19 | 2018-12-05 | 三菱電機株式会社 | 半導体圧力センサおよびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4305033A1 (de) * | 1992-02-21 | 1993-10-28 | Siemens Ag | Mikromechanisches Relais mit Hybridantrieb |
| US5619061A (en) * | 1993-07-27 | 1997-04-08 | Texas Instruments Incorporated | Micromechanical microwave switching |
| DE69828430T2 (de) * | 1997-10-21 | 2005-12-15 | Omron Corp. | Elektrostatisches mikrorelais |
| JP3796988B2 (ja) * | 1998-11-26 | 2006-07-12 | オムロン株式会社 | 静電マイクロリレー |
| US6147856A (en) * | 1999-03-31 | 2000-11-14 | International Business Machine Corporation | Variable capacitor with wobble motor disc selector |
| US6549394B1 (en) * | 2002-03-22 | 2003-04-15 | Agilent Technologies, Inc. | Micromachined parallel-plate variable capacitor with plate suspension |
-
2001
- 2001-05-10 KR KR10-2001-0025568A patent/KR100519749B1/ko active IP Right Grant
-
2002
- 2002-05-09 DE DE60200732T patent/DE60200732T2/de not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-09 EP EP02253241A patent/EP1256970B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2002-05-09 JP JP2002134556A patent/JP3986881B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-10 CN CNB021246815A patent/CN1211274C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-05-10 US US10/141,920 patent/US6628183B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006294591A (ja) * | 2005-03-14 | 2006-10-26 | Omron Corp | 静電マイクロ接点開閉器およびその製造方法、ならびに静電マイクロ接点開閉器を用いた装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| EP1256970A1 (en) | 2002-11-13 |
| KR20020085988A (ko) | 2002-11-18 |
| US20020167380A1 (en) | 2002-11-14 |
| DE60200732T2 (de) | 2005-07-21 |
| CN1211274C (zh) | 2005-07-20 |
| DE60200732D1 (de) | 2004-08-19 |
| CN1385357A (zh) | 2002-12-18 |
| JP3986881B2 (ja) | 2007-10-03 |
| KR100519749B1 (ko) | 2005-10-07 |
| US6628183B2 (en) | 2003-09-30 |
| EP1256970B1 (en) | 2004-07-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3918559B2 (ja) | 静電型リレー及び当該リレーを用いた通信用機器 | |
| US6426687B1 (en) | RF MEMS switch | |
| KR100556562B1 (ko) | Ｒｆ-ｍｅｍｓ 스위치 | |
| KR100726436B1 (ko) | 정전기력 및 압전력에 의해 구동되는 멤스 스위치 | |
| JP3651671B2 (ja) | マイクロメカニカルスイッチ及びその製造方法 | |
| KR100726434B1 (ko) | 수직 콤 액츄에이터 알에프 멤스 스위치 | |
| JP2003036777A (ja) | 単一アンカーを備えるマイクロ電子機械システムスイッチ | |
| US7548144B2 (en) | MEMS switch and method of fabricating the same | |
| KR100633101B1 (ko) | 비대칭 스프링 강성을 갖는 ｒｆ 멤스 스위치 | |
| US7164334B2 (en) | Electrostatic actuator, microswitch, micro optical switch, electronic device, and method of manufacturing electrostatic actuator | |
| CN109155221B (zh) | 一种具有集成传输线的mems膜 | |
| JP2004074341A (ja) | 半導体装置 | |
| KR100378360B1 (ko) | 수평 동작형 ＭＥＭｓ 스위치 | |
| US6624367B1 (en) | Micromachine switch | |
| KR20020078703A (ko) | Ｒｆ 차단 레지스터를 이용한 ｍｅｍｓ 스위치 | |
| JP2004319215A (ja) | 静電駆動素子 | |
| KR101024324B1 (ko) | Ｒｆ ｍｅｍｓ 스위치 | |
| KR100493532B1 (ko) | 정전식 양방향 미세기전 액추에이터 | |
| KR20020074331A (ko) | Ｒｆ 차단 레지스터를 이용한 ｍｅｍｓ 스위치 | |
| JP2011253752A (ja) | Ｍｅｍｓスイッチ | |
| KR20030039103A (ko) | 커패시턴스에 의해 알에프신호를 스위칭하는 멤스스위칭소자 | |
| CN112768261A (zh) | 射频mems开关器件及其制作方法 | |
| JP2012212578A (ja) | スイッチ | |
| JP2005197265A (ja) | 接点支持機構、接点開閉器、計測装置及び無線機 | |
| JP2008204768A (ja) | マイクロリレー、無線通信機、計測器、携帯情報端末 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20050222 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070612 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070711 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 3986881 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100720 Year of fee payment: 3 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110720 Year of fee payment: 4 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110720 Year of fee payment: 4 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120720 Year of fee payment: 5 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120720 Year of fee payment: 5 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130720 Year of fee payment: 6 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |