JP2003029074A - 2次元光ファイバ配列装置 - Google Patents

2次元光ファイバ配列装置

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JP2003029074A JP2002192122A JP2002192122A JP2003029074A JP 2003029074 A JP2003029074 A JP 2003029074A JP 2002192122 A JP2002192122 A JP 2002192122A JP 2002192122 A JP2002192122 A JP 2002192122A JP 2003029074 A JP2003029074 A JP 2003029074A
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hole
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Cristian A Bolle
エー ボレ クリスチャン
Paul Robert Kolodner
ロバート コロドナー ポール
Rene R Ruel
アール ルエル レネ
John David Weld
デイビット ウェルド ジョン
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 精密2次元光ファイバ配列を提供する。 【解決手段】 精密ファイバ配列は、ファイバー端部が
フェルールの一つ一つに挿入され接合される精密フェル
ールのグループを六角形のパッキングを有する配列とし
て堅く保持するために、チャックを用いて形成される。
接合は、一般にフェルールにファイバを接着することに
よって行われる。フェルールは、互いに接合されてもよ
い。一旦、フェルールが一緒に接合されると、チャック
を除去してもよい。ファイバの終端を研磨してもよい。
あるいは、劈開されたファイバの終端を用いてもよく、
さまざまな終端、たとえば、光学的平面と一緒に用いる
こともできる。フェルールは、先端および円錐状の入口
を備えていてもよい。チャックは、フェルールを直線方
向に保持してもよい。すべてのフェルールのファイバ終
端は、実質的に共面であってもよい。六角形構成にフェ
ルールを配置してもよい。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、光ファイバ配列の
技術および光ファイバ配列の製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】たとえば、あらゆる光スイッチと共に使
用するために、光ファイバのきわめて精密な2次元配列
を有することが望ましいことが多い。具体的に言えば、
光通信ネットワークで通常用いられているような単一モ
ード光ファイバの場合には、ファイバ配列における各フ
ァイバに関して、直径6〜9ミクロンのコアおよび直径
125ミクロンのクラッド層を有し、真位置から2ミク
ロン未満の位置公差、0.5°未満の角度公差であるよ
うなファイバが必要である。従来技術において、ファイ
バ配列は、孔が形成されるプレートを製作することによ
って製造され、個々のファイバ端部が各孔の中に挿入さ
れる。このプレートは、さまざまな材料から製造され得
るが、きわめて精密な配列が必要である場合にはシリコ
ンまたはセラミックから製造されることが好ましい。孔
は、プレートにエッチングまたは穴開けを施すか、機械
的な技術またはレーザを利用することによって形成され
る。個々のファイバの端部は、たとえば、少量の接着剤
を用いて所定の位置に固定される。その後、プレートの
前面から突出している残りのファイバが切断され、結果
として生じる端部は平らに研磨される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】残念なことに、プレー
トおよび孔に関する技術の制約のために、製造すること
ができるプレートは、通常相当薄い。このような薄いプ
レートは、各ファイバに関して相当短いガイドおよび保
持部しか提供することができないため、不都合なこと
に、生成されたファイバ配列の機械的特性は決して望ま
しいものではない。さらに不都合なことに、プレートは
特注でなければならず、通常特殊な道具および専門的技
術を必要とする。配列の組立も特殊技能および精密な設
備を必要とする。組立の終わりの研磨ステップは単純で
はなく、きわめて時間がかかる。
【0004】また、従来技術において、たとえばファイ
バケーブルにおいて、ファイバを束ねること、またはス
リーブの内部でファイバをグループ化することによっ
て、さまざまな用途のために、ファイバは束にグループ
化されてきた。しかし、このようなグループ化は、束か
らの出口におけるファイバの正確なアライメントおよび
ファイバの間隔を提供しない。また、最大間隔は、個々
のファイバの直径に制限されている。
【0005】IEEE Journal of Sel
ected Topics inQuantum El
ectronics,Vol.2,No.1,Apri
l1996掲載のMasayasu Yamaguch
i,TsuyoshiYamamoto,Katsuh
iko Hirabayashi,Shinji Ma
tsuo and Kunio Kobayuによる
「High−Density Digital Fre
e−Space Photonic−Switchin
g Fabrics Using Exciton A
bsorption Reflection−Swit
ch(EARS) Array and Microb
eam Optical Interconnecti
ons」では、ジルコニアプレートおよび黄銅フレーム
を用いて四角形のパッキングに配置された積層マイクロ
ガラスフェルールからなる2次元ファイバ配列について
記載している。不都合なことに、実現可能なファイバの
位置再現性、すなわち、所望の格子点からのファイバの
中心の平均変位は+3.1μmであり、ファイバの方位
誤差(misorientation)は平均4°であ
る。このようなファイバ配列は、ファイバの位置再現性
は+2μm以下であり、角度の方位誤差が平均で0.5
°以下であることを必要とするLucent Tech
nologiesのLambda Routerなどの
最新のMEMSに基づく光スイッチの厳密な必要条件を
満たしていない。
【0006】従来技術では、中空の円筒ビーズを必要と
し、突出するピンを有する雛型を用いて、六角形に配置
されることができ、それぞれのビーズに1つのピンがあ
るようにする考案がある。最初に雛型に対向するビーズ
の側面をアイロン掛けし、次に、雛型からビーズを除去
し、雛型に隣接していたビーズの側面をアイロン掛けす
ることによって、ビーズは結合される。このようなビー
ズは正確に隔離されていないか、または並べられておら
ず、アイロン掛け時に変形することになる。この考案
は、光ファイバに全く関係がない。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の原理によれば、
精密ファイバ整列は、六角形のパッキング構造物に配置
されたフェルールの精密整列を利用し、その一つ一つに
ファイバ端部を挿入し、たとえば接着などの接合を行う
ことによって形成されることができる。たとえば、Lu
cent Lambda Routerまたは他の検出
器またはソース配列で用いられるような対応するMEM
S装置のマイクロミラーの配列などの対象の配列は、六
角形のファイバ配列に対応するように六角形であるよう
に構成されなければならない。本発明の一実施形態にお
いて、精密フェルールのグループを配列としてしっかり
と保持するために、少なくとも最初はチャックが用いら
れる。その後、ファイバ端部がフェルールの一つ一つに
挿入されて接合される。フェルールはまた、互いに接合
されてもよい。そのような場合には、一旦、フェルール
が共に接合されれば、チャックを除去してもよい。光−
光スイッチングの場合には、ファイバ配列の位置調整に
有用であるように、光ファイバのこのような配列はきわ
めて高い公差で製造できる。さらに詳細には、ファイバ
位置再現性、すなわち所望の格子点からのファイバの中
心の平均変位が+2μm以下であり、角度の方位誤差が
平均で0.5°以下である。
【0008】ファイバの終端を研磨してもよい。あるい
は、予め劈開されたファイバの終端を用いてもよく、さ
まざまな終端、たとえば、フェルール配列のファイバの
終端に位置しているか、または隣接している光学的平面
または他の平面によって、連係される。
【0009】用いられるフェルールは、低コストである
従来の市販のセラミックフェルールであってもよい。こ
のようなフェルールは、きわめて厳密な公差で製造され
る。さらに詳細には、精密フェルールは、a)直径にお
いて、フェルールの所定の公称直径からきわめてわずか
な誤差しかないようにするために、実質的に均一に製造
されることができ、b)フェルールに貫通させる孔の直
径において、所定の公称直径からきわめてわずかな誤差
しかないようにし、その穴は実質的にフェルールの中心
に正確に来るようにし、c)このような従来技術の面板
配置を用いて実現されるものより優れた機械的な支持物
を実現するようにするために、従来技術の面板の厚さよ
り長くすることが十分に確立されている。本発明の精密
ファイバ配列は、多数のファイバを有し、厳密なLam
bda Routerの品質要件を満たす精密ファイバ
配列を廉価で製造することができるように、十分に拡大
できる。
【0010】本発明の一実施形態において、フェルール
は、少なくとも幾分先がとがっている一端部、すなわち
先端と、とがっている端部に対向する端部には孔への円
錐状の入口と、を有する。このような実施形態は、円錐
状の入口を経てファイバ端部を容易に挿入することがで
き、とがった先端は、必要なファイバ端部の研磨量を低
減することができる。
【0011】本発明の一態様によれば、チャックは直線
方向にフェルールを保持するか、または角度を持った方
向にフェルールを保持するようにも製造できよう。角度
を持った方向は、ファイバにおける後方反射を減少する
利点を提供する。すべてのフェルールのファイバの端面
が確実に実質的に共面にあるようにすることが望ましい
場合が多い。
【0012】
【発明の実施の形態】図1は、 本発明の原理に基づ
き、ファイバーが各々の中に挿入され、接合される精密
フェルールのグループを六角形の配列として堅く保持す
るために、チャックを用いることによって形成される精
密ファイバ配列の側面図を示している。「チャック」に
関して、本明細書では、配列の製造中または完成まで
の、少なくとも1つの時点で必要な間隔および六角形の
パッキングを有する所望の配列形状にフェルールを保持
することができる任意の装置を含むことを意図してい
る。さらに詳細には、その中に精密フェルール105が
挿入される六角形の孔103を有するチャック101
が、図1に示されている。孔107のそれぞれの中に、
光ファイバ111の1つのそれぞれの端部が挿入され
る。チャック101の面の中には、任意の取付け孔10
9がある。
【0013】チャック101は、少なくとも圧力を用い
て、最初は所定の位置にフェルール105を保持する。
チャック101内にフェルール105を組み立てる1つ
の方法は、チャック101の孔103の中にフェルール
105の大部分を挿入することである。次に、チャック
101は加熱され孔103の中に残りのフェルール10
5を挿入することができるほど十分に膨張する。次に、
残りのフェルール105が孔103の中に挿入された
後、チャック101は冷却される。冷却すると、チャッ
ク101は、フェルール105に必要な圧力を印加する
ほど十分に収縮する。チャック101を加熱する時に、
一般に、フェルール105も加熱され、大きさが膨張す
る。しかし、フェルール105は、たとえば、通常は金
属またはプラスチックであるチャック101と同様の温
度変化に対して膨張しにくいセラミックなどの材料から
製造される。したがって、残りのフェルールを挿入する
ことが可能になる。用いられるフェルールの外形寸法の
公差はきわめて高く、たとえば、2分の1ミクロン程度
である。孔103とフェルール配列との間の大きさの差
はきわめて小さく、たとえば、2ミクロン未満である。
それでも、熱膨張から生じる大きさの差は、残りのフェ
ルールを挿入できるほど十分である。
【0014】ファイバ111の端部がフェルール105
に挿入された後、フェルール内のファイバを保持するた
めのほか、フェルールを互いに接着するため、およびフ
ェルールをチャック101に接着するために、接着剤を
用いてもよい。さらに、任意の歪み除去スリーブ113
が、チャック101に結合され、歪み除去スリーブ11
3の中を光ファイバ111が通過する。ファイバ111
は、歪み除去スリーブ113内部の接着剤で任意に覆わ
れ、ファイバを互いに結合し、歪み除去スリーブ113
に結合する。このような接着剤は、ファイバ111の歪
みを除去する。ファイバ111は接着剤に覆われていて
もよく、接着剤が乾いた後に、接着剤の成形のために用
いられる任意の型を除去してもよい。
【0015】光ファイバ111は、歪み除去スリーブ1
13から最も遠い孔107の端部で終端を成す。光ファ
イバ111は一般に、孔を通過してフェルール105の
うちの1つの端部と実質的に共面を成して終端するよう
に各々配置される。ファイバがフェルール端部と共面に
なるまでファイバを研磨することによって、すなわちフ
ァイバをフェルールまで研磨することによって、これを
実現することができる。一般に、フェルールの端部もま
た研磨される。実際には、一つの製造ステップの一部と
して、すべてのファイバは、一般に、研磨される。した
がって、ファイバはすべて、互いに共面を成し、チャッ
クの面と共面を成すようになるまで研磨される。
【0016】本発明の他の実施形態において、ファイバ
配列の面に関して、平面以外の形状を実現するために、
研磨を施すこともある。
【0017】あるいは、光ファイバ111の各々は、劈
開されたファイバ端部をフェルール孔に挿入し、ファイ
バ端部およびフェルール端部を整列するために、ファイ
バ終端に光学平面を用いることによって、フェルール1
05のうちの1つの端部と実質的に共面で終端するよう
に配置される。
【0018】研磨が用いられる場合と異なり、劈開され
たファイバが用いられる場合は、ファイバを互いに結合
するため、および任意の歪み除去スリーブ113を結合
するために用いられる大量の接着剤から劈開されたファ
イバ端部を保護する必要がある。このために、ファイバ
は、オプティカルフラットによって整列される場合に
は、ファイバを所定の位置に保持するためにごく少量の
接着剤しか用いない。ファイバがフェルールに挿入され
るときには、ファイバの劈開された端部から幾分離れた
位置に接着剤が配置される。一旦、すべてのファイバが
最初に所定の位置で接着されると、溶解性の保護層がフ
ァイバを保護するために前面から施される。その後、フ
ァイバを互いに結合するため、および任意の歪み除去ス
リーブ113に結合するために、接着剤が後部から塗布
される。接着剤が乾燥した後、溶解性の保護層は適切な
溶剤を用いて溶解される。
【0019】劈開されたファイバを用いることによっ
て、ファイバがフェルールの面から幾分突出するような
配置を可能にする。したがって、平面以外の形状が所望
である場合には、オプティカルフラットの代わりに、所
望の形状の逆の形状を用いることができる。さらに、研
磨または表面整列技術を用いるかどうかに関係なく、た
とえば除去可能な3次元外形を用いることによって、フ
ェルールの前面外形を整えることができるため、フェル
ールがチャック101によって保持される場合には、外
形の形状を維持する。
【0020】補強スリーブ113は、たとえば接着また
は他の機械的結合によって、チャック101に結合され
る別個の構成要素であってよく、または補強スリーブ1
13は、単一要素を形成するためにチャック101と一
体であってもよい。チャック101と別個である補強ス
リーブ113の利点は、チャック101をフェルール1
05の長さ程度の厚さにすることができるため、フェル
ール105の後部にアクセスしやすく、製造中、ファイ
バ111の端部を孔107に挿入することを容易にする
ことである。
【0021】任意の取付け孔109は、1)ファイバ配
列をハウジングに取付けるため、2)研磨中、ファイバ
配列を保持するため、または3)補強スリーブ113を
チャック101に取付けるためなどさまざまな目的に用
いられ得る。
【0022】光−光スイッチングのためのファイバ配列
の位置決めの際に有用であるようにするために、光ファ
イバのこのような配列は、きわめて高い公差で製造され
得る。さらに詳細には、ファイバ位置再現性、すなわち
所望の格子点からのファイバの中心の平均変位は+2μ
m以下であり、角度の方位誤差は平均0.5°以下であ
る。
【0023】たとえば、Lucent Lambda
Routerまたは他の検出器またはソース配列で用い
られるような対応するMEMS装置のマイクロミラーの
配列などの対象の配列は、六角形のファイバ配列に対応
するように六角形であるように構成されなければならな
いこと。
【0024】図2は、図1の精密ファイバ配列の正面図
を示している。図の性質のため、光ファイバ111は図
2では見ることができない。研磨またはオプティカルフ
ラットのいずれを用いる場合も、図2の精密ファイバ配
列の面は平面である。
【0025】図3は、図2の軸AAに沿って切った精密
ファイバ配列の断面図を示している。図3では、ファイ
バ111の端部は、孔107の中に見てとることができ
る。図3は、9つの孔および9本のファイバ111を示
していることを留意されたい。孔107に関して、任意
の円錐状の入口115が示されている。
【0026】図4は、 その中に挿入されるファイバ1
11のうちの1つのファイバーの一端部に関する代表的
な従来技術のセラミックフェルール105の一図を示し
ている。図4では、フェルール105において終端を成
すファイバ111のうちの1つの端部を円錐状の先端4
21に見ることができるようにフェルール105は向け
られている。先端は円錐であれば好都合ではあろうが、
必ずしも円錐である必要はない。
【0027】図5は、その中に挿入されるファイバ11
1のうちの1つのファイバーの一端部に関する図4の代
表的な従来技術のフェルール105の別の図を示してい
る。図5(図4)において、フェルールは、孔107の
円錐状の入口523を識別することができるように向け
られている。
【0028】図6は、その中に挿入されるファイバ11
1のうちの1つのファイバーの端部に関する図4の代表
的な従来技術のフェルール105の軸BBに沿って切っ
た断面図を示している。断面図において、円錐状の先端
421および円錐状の入口523を見ることができる。
さらに、接着剤625が示されている。
【0029】図7は、本発明の原理に基づき、各々がそ
の中に挿入され、ファイバ111のうちの1つのファイ
バ端部に接合される精密フェルール105のグループを
配列として堅く保持するために、チャックを用いること
によって形成される精密ファイバ配列の別の実施形態の
正面図を示している。図7の精密ファイバ配列は、チャ
ック101の代わりにチャック701を用いている点以
外は、図2に示されているものと同一である。チャック
701は、ばねとして作用するフレキシブルビーム73
1を中に組込むように製造される。フェルール105の
配列よりちょうどわずかに小さくなるように、孔103
が切削される。フェルールを挿入することによって、ば
ねをわずかに変位させ、孔103を広げる。その結果、
ばねは、フェルールに対する一定の復元力を及ぼし、所
望の正確な間隔およびアライメントに関して、確実に結
合する。
【0030】本発明の一部の実施形態において、復元力
は20ポンド(7.4kg)程度である。しかし、必要
な復元力は、用いられる特定の設計および材料を考え
て、実装者によって決定される必要があると思われる。
当業者は、適切な量の力を容易に決定することができ
る。
【0031】フレキシブルビームは、チャック701を
貫通するスロット733を切削するために、放電式ミー
リング(EDM)を用いることによって形成できる。
【0032】任意に配列の性能を向上させるために、た
とえば、プラスチックまたはDuPontの登録商標で
あるMylarなどのポリエステルまたはポリイミドな
どの弾性材料の薄いシートを、孔103を構成する壁と
孔103の壁に隣接するフェルール105の一つ一つと
の間に挿入してもよい。このようにすることによって、
孔103を構成する壁にあるどのような凹凸をも平らに
するのに役立つ。
【0033】図8は、本発明の原理に基づき、各々の中
に挿入され、ファイバ111のファイバ端部に接合され
る精密フェルールのグループを配列として堅く保持する
ために、チャックを用いて形成する精密ファイバ配列の
別の実施形態の正面図を示している。図8の精密ファイ
バ配列は、チャック101の代わりにチャック801を
用いている点およびチャック801の周囲に締付けリン
グ841を加えてある以外は、図2に示されているもの
と同一である。スロット843が、チャック801に切
込まれている。しかし、スロット843は、貫通してい
ないため、チャック801の底部において、金属の完全
なリングのままである。このことは、図8には開示され
ていないが、図9に開示している。したがって、チャッ
ク801は、固体リングから上方に延びている6つの可
撓性の壁である。可撓性の壁の各々は、ばねとして作用
する。孔103は、フェルール105の配列と同一のサ
イズであるように切削される。フェルール配列を所定の
位置に維持するために、チャック801の可撓性の壁に
圧力を印加するために、締付けリング841が用いられ
る。
【0034】この場合も、任意に配列の性能を向上させ
るために、たとえば、プラスチックまたはDuPont
の登録商標であるMylarなどのポリエステルまたは
ポリイミドなどの弾性材料の薄いシートを、孔103を
構成する壁と孔103の壁に隣接するフェルール105
の一つ一つとの間に挿入してもよい。このようにするこ
とによって、孔103を構成する壁にあるどのような凹
凸も平らにするのに役立つ。
【0035】図10は、本発明の原理に基づき、各々の
中に挿入され、ファイバ111のファイバ端部に接合さ
れる精密フェルールのグループを配列として堅く保持す
るために、チャックを用いて形成する精密ファイバ配列
の別の実施形態の正面図を示している。図10の精密フ
ァイバ配列は、本発明の一態様に基づき、孔103の壁
が一定の角度で切削されている点を除き、図7に示され
ているものと同一である。一定の角度で壁を切削した結
果が、図11に示されている図10の軸C−Cに沿って
切った断面図に見てとることができる。壁が一定の角度
で切込まれているため、チャック1001の中に配置さ
れる場合に、すべてのフェルール105が同一の角度と
なり、フェルール105の中に挿入される場合に、ファ
イバ111も同一の角度となる。一旦、配列の面が研磨
されると、ファイバ111の端面は各々、同一の角度に
向けられる。ファイバとその端部における材料との間の
屈折率の差のために、ファイバ111の各々において、
後方反射、すなわちファイバの端部におけるファイバを
通って後方への光の反射が減少する。
【0036】また、この場合も、任意に配列の性能を向
上させるために、たとえば、プラスチックまたはDuP
ontの登録商標であるMylarなどのポリエステル
またはポリイミドなどの弾性材料の薄いシートを、孔1
03を構成する壁と孔103の壁に隣接するフェルール
105の一つ一つとの間に挿入してもよい。このように
することによって、孔103を構成する壁にあるどのよ
うな凹凸も平らにするのに役立つ。
【0037】図12は、本発明の原理に基づき、各々の
中に挿入され、ファイバに接合される精密フェルール1
05のグループを配列として堅く保持するために、チャ
ックを用いて形成する精密ファイバ配列の別の実施形態
の正面図を示している。図12の精密ファイバ配列は、
チャック701の代わりにチャック1201を用いてい
る点を除き、図7に示されているものと同一である。チ
ャック1201は、その中にばねとして作用するフレキ
シブルビーム731を組込むように製造されている点に
おいて、チャック701と同様の基本設計である。しか
し、チャック1201は、ばねが一方の側面にのみ形成
されている点で非対称である。さらに、チャック120
1の壁の厚さは、周囲全体で均等ではない。
【0038】孔103は、フェルール105の配列より
わずかに小さくなるように切削される。フェルールを挿
入することによって、ばねをわずかに変位させ、孔10
3を広げる。その結果、ばねは、フェルールに対する一
定の復元力を及ぼし、確実に結合する。チャック701
と比較して、削減された数のばねは、フェルール105
を所定の位置に適切かつ正確に保持するために依然とし
て全く十分である。このような非対称設計を用いること
の利点は、一方の側面を他方の側面より狭く製造するこ
とができるため、光学ビームによって遮られることがな
いことである。そうでない場合には、追加されるチャッ
ク材料によって遮断されることもある。
【0039】図7の実施形態と同様に、任意に配列の性
能を向上させるために、たとえば、プラスチックまたは
DuPontの登録商標であるMylarなどのポリエ
ステルまたはポリイミドなどの弾性材料の薄いシート
を、孔103を構成する壁と孔103の壁に隣接するフ
ェルール105の一つ一つとの間に挿入してもよい。こ
のようにすることによって、孔103を構成する壁にあ
るどのような凹凸も平らにするのに役立つ。
【0040】光ファイバを収容する代わりに、一部のフ
ェルール105は、収容するアライメント部材専用であ
ってもよい。アライメント部材は、ピン、ファイバ、ワ
イヤなどであろうし、別の構成要素または、たとえばレ
ンズ配列、検出器の配列、マイクロマシンの配列などの
配列をファイバ配列と整列するために用いられる。この
ために、各アライメント部材は、別の配列の対応する孔
に伸長することができるようにするために、配列の面か
ら突出しなければならない。このようなアライメント配
置の断面が、図13に示されており、別の配列1357
のアライメント孔1355と係合するために伸長してい
るアライメント部材1353を示している。
【0041】同様に、1つ以上のフェルール105は、
ファイバを含まなくてもよい。このようなフェルール
は、別の構成要素または配列を整列するためにある種の
アライメント部材を受容するために用いられてもよい。
さらに、フェルールは円形である必要はなく、2つ以上
の孔を備えていてもよい。
【0042】大半の実施形態では、チャックは円形であ
るように示されているが、これは必ずしも必要ではな
い。チャックには所望の任意の他の形状を用いてもよ
い。さらに、チャックの内部の孔は六角形であるように
示されているが、フェルールの六角形のパッキングが維
持される限りは、所望の任意の他の形状を用いてもよい
ことを当業者は容易に理解できる。
【0043】当業者は、本発明の原理を適用することに
よって、本明細書で明確に示されているもの以外のばね
設計を用いてもよいことを容易に理解できる。
【0044】フェルールが接着剤を用いて互いに接合さ
れる場合でも、チャックは最終的な配列の一部として残
ったままの状態で示されていることを留意されたい。た
だし、フェルールが結合される場合には、その後で、チ
ャックを除去してもよい。
【0045】以上の説明は、本発明の一実施例に関する
もので、この技術分野の当業者であれば、本発明の種々
の変形例を考え得るが、それらはいずれも本発明の技術
的範囲に包含される。尚、特許請求の範囲に記載した参
照番号がある場合は、発明の容易な理解のためで、その
技術的範囲を制限するよう解釈されるべきではない。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の原理に基づき、ファイバーが各フェ
ルールの中に挿入され、接合される精密フェルールのグ
ループを配列として堅く保持するために、チャックを用
いて形成する精密ファイバ配列の側面図を示す。
【図2】 図1の精密ファイバ配列の正面図を示す。
【図3】 図2の軸AAに沿って切った精密ファイバ配
列の断面図を示す。
【図4】 ファイバー端部がその中に挿入される一般的
な従来技術のフェルールの一図を示す。
【図5】 ファイバーの一端部がその中に挿入される図
4の一般的な従来技術のフェルールの別の図を示す。
【図6】 ファイバーの一端部がその中に挿入される図
4の一般的な従来技術のフェルールの軸BBに沿って切
った断面図を示す。
【図7】 本発明の原理に基づき、ファイバーの一端部
が各フェルールの中に挿入され、接合される精密フェル
ールのグループを配列として堅く保持するために、チャ
ックを用いて形成する精密ファイバ配列の別の実施形態
の正面図を示す。
【図8】 本発明の原理に基づき、ファイバーの端部が
各フェルールの中に挿入され、接合される精密フェルー
ルのグループを配列として堅く保持するために、チャッ
クを用いて形成する精密ファイバ配列の別の実施形態の
正面図を示す。
【図9】 図8に示される本発明の実施形態の別の図を
示す。
【図10】 本発明の原理に基づき、ファイバーの端部
が各フェルールの中に挿入され、接合される精密フェル
ールのグループを配列として堅く保持するために、チャ
ックを用いて形成する精密ファイバ配列の別の実施形態
の正面図を示す。
【図11】 図10の軸C−Cに沿って切った図10に
示される本発明の実施形態の断面図を示す。
【図12】 本発明の原理に基づき、ファイバーが各フ
ェルールの中に挿入され、接合される精密フェルールの
グループを配列として堅く保持するために、チャックを
用いて形成する精密ファイバ配列の非対称な実施形態の
正面図を示す。
【図13】 本発明の態様に基づき、精密ファイバ配列
のアライメント孔と整合するように伸長しているアライ
メント部材を示す。
【符号の説明】
101 チャック 103 六角形の孔 105 フェルール 107 孔 109 取付け孔 111 光ファイバ 113 歪み除去スリーブまたは補強スリーブ 115 円錐状の入口 421 円錐状の先端 523 円錐状の入口 625 接着剤 701 チャック 731 フレキシブルビーム 733 スロット 801 チャック 841 締付けリング 843 スロット 1001 チャック 1201 チャック 1353 アライメント部材 1355 アライメント孔 1357 別の配列
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (71)出願人 596077259 600 Mountain Avenue, Murray Hill, New Je rsey 07974−0636U.S.A. (72)発明者 ナゲッシュ アール バサバンハリー アメリカ合衆国、08558 ニュージャージ ー州、スキルマン、ローリー コート 21 (72)発明者 クリスチャン エー ボレ アメリカ合衆国、08807 ニュージャージ ー州、ブリッジウォーター、フットヒル ロード 708 (72)発明者 ポール ロバート コロドナー アメリカ合衆国、07030 ニュージャージ ー州、ホーボーケン、ブルームフィールド ストリート 1025 (72)発明者 レネ アール ルエル アメリカ合衆国、08807 ニュージャージ ー州、ブリッジウォーター、ドッグウッド ドライブ 1310 (72)発明者 ジョン デイビット ウェルド アメリカ合衆国、07852 ニュージャージ ー州、レッジウッド、エリオット コート 8 Fターム(参考) 2H036 JA04 LA11 QA13 QA22 QA26

Claims (17)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 六角形のパッキングを具備する配列を形
    成する各々が貫通する穴を有する複数の精密フェルール
    と、 それぞれの前記フェルールの穴の中で接合されている少
    なくとも二本の光ファイバーとを有する2次元光ファイ
    バ配列装置。
  2. 【請求項2】 前記精密フェルールが、接着剤およびチ
    ャックからなる群のうちの少なくとも1つの手段によっ
    て結合されることを特徴する請求項1に記載の装置。
  3. 【請求項3】 前記フェルールの前記孔が、 a)3μm未満の正確な位置からの平均偏差と、 b)3μm未満の集団変位と、 c)3.9°以下の平均角度変位の方位誤差と、からな
    る一連の特性から少なくとも1つの特性を有するように
    配置されることを特徴する請求項1に記載の装置。
  4. 【請求項4】 前記フェルールが、前記フェルールが前
    記チャックの面に垂直であることと、 前記フェルールが前記チャックの面に対して一定の角度
    で配置されることと、からなる一連の配置のうちの1つ
    の配置であるように配置されることを特徴する請求項1
    に記載の装置。
  5. 【請求項5】 前記フェルールの少なくとも1つが、円
    錐状の先端を有する端部を備えていることを特徴する請
    求項1に記載の装置。
  6. 【請求項6】 前記フェルールの少なくとも1つの孔
    が、少なくとも1つの円錐状の入口を有することを特徴
    する請求項1に記載の装置。
  7. 【請求項7】 前記ファイバの少なくとも2つの部分集
    合のそれぞれが、前記ファイバがその中に挿入される前
    記フェルールの1つの一端部と同一面である終端を有
    し、前記部分集合のファイバのすべての前記終端が共面
    をなすことを特徴する請求項1に記載の装置。
  8. 【請求項8】 前記ファイバの少なくとも1つが、前記
    ファイバの前記部分集合の前記終端と共面ではない終端
    を有することを特徴する請求項7に記載の装置。
  9. 【請求項9】 前記チャックと前記チャックに隣接する
    前記フェルールとの間に組込まれる非剛性材料の層をさ
    らに含み、前記材料が前記チャックおよび前記フェルー
    ルに対して非剛性であることを特徴する請求項2に記載
    の装置。
  10. 【請求項10】 前記チャックに結合されるか、または
    前記チャックと一体化される補強スリーブをさらに含む
    ことを特徴する請求項2に記載の装置。
  11. 【請求項11】 前記ファイバの前記端部の突出する前
    記装置の面が、研磨されていることを特徴する請求項1
    に記載の装置。
  12. 【請求項12】 前記ファイバが、劈開されたファイバ
    であることを特徴する請求項1に記載の装置。
  13. 【請求項13】 前記チャックが、前記装置が結合され
    る別の装置に前記装置を取り付けるように適合される取
    付け孔をその中に有することを特徴する請求項1に記載
    の装置。
  14. 【請求項14】 精密ファイバ配列の製造方法におい
    て、(A)チャックに、六角形のパッキングに配置さ
    れ、各々がその中を通過する少なくとも1つの孔を有す
    る複数のフェルールを固定するステップと、(B)前記
    複数のフェルールの各々の保持部にそれぞれの光ファイ
    バ端部を挿入するステップと、(C)前記複数のフェル
    ールの個々の1つに前記光ファイバ端部の各々を接合す
    るステップとからなる精密ファイバ配列の製造方法。
  15. 【請求項15】 その中を貫通する少なくとも1つの孔
    を有する少なくとも1つの追加フェルールをさらに含
    み、前記少なくとも1つの追加フェルールの前記孔がそ
    こに接合される光ファイバ端部を持たず、そこに接合さ
    れる光ファイバ端部を持たない前記フェルールの前記孔
    は、前記装置が結合される別の装置に前記装置を整列さ
    せるために適合していることを特徴する請求項1に記載
    の装置。
  16. 【請求項16】 その中を貫通する少なくとも1つの孔
    を有する少なくとも1つの追加フェルールをさらに含
    み、前記少なくとも1つの追加フェルールの前記孔がそ
    こに接合され、そこから突出しているアライメント部材
    を有し、前記装置が結合される別の装置に前記装置を整
    列させるために適合していることを特徴する請求項1に
    記載の装置。
  17. 【請求項17】 その中を貫通する少なくとも1つの孔
    を有する少なくとも1つの追加フェルールをさらに含
    み、前記少なくとも1つの追加フェルールの前記孔がア
    ライメント部材を受容するように適合され、それによっ
    て、前記装置が結合される別の装置に前記装置が整列さ
    れることを特徴する請求項1に記載の装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6827500B2 (en) * 2001-06-29 2004-12-07 Lucent Technologies Inc. Precision two dimensional optical fiber array
JP2008544292A (ja) * 2005-06-28 2008-12-04 キンヌネン,パーヴォ 液間界面を形成するための、特にその表面張力を測定するための方法及び装置
JP2017009859A (ja) * 2015-06-24 2017-01-12 ウシオ電機株式会社 光ファイババンドル構造体とその組立て方法および光源装置

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7460755B2 (en) * 2003-01-17 2008-12-02 Hrl Laboratories, Llc Method and apparatus for combining laser light
US7457326B2 (en) * 2003-01-17 2008-11-25 Hrl Laboratories, Llc Method and apparatus for coherently combining multiple laser oscillators
US7274717B1 (en) 2004-07-15 2007-09-25 Hrl Laboratories, Llc Dark fiber laser array coupler
US7342947B1 (en) 2004-07-15 2008-03-11 Hrl Laboratories, Llc Dark fiber laser array coupler
US7242835B2 (en) * 2005-07-18 2007-07-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Optical fiber clad-protective terminations
US7419308B2 (en) 2006-09-15 2008-09-02 The Boeing Company Fiber bundle termination with reduced fiber-to-fiber pitch
CN100422775C (zh) * 2006-09-29 2008-10-01 上海智源光电子有限公司 多光纤端口平台
CN101191971B (zh) * 2006-11-20 2010-12-15 中国科学院西安光学精密机械研究所 大功率多路高斯激光光束光纤分光方法及其设备
US8641710B2 (en) * 2007-11-12 2014-02-04 Intermountain Invention Management, Llc Magnetically coupling devices for mapping and/or ablating
US7738751B1 (en) 2008-05-06 2010-06-15 Hrl Laboratories, Llc All-fiber laser coupler with high stability
US8038354B2 (en) * 2009-01-14 2011-10-18 Commscope, Inc. Of North Carolina High density optical connector
US20120014645A1 (en) * 2010-07-14 2012-01-19 Tyco Electronics Corporation Single lens, multi-fiber optical connection method and apparatus
US8280205B2 (en) 2010-07-23 2012-10-02 Tyco Electronics Corporation Fiber optic connector and alignment mechanism for single lens multi-fiber connector
US8915654B2 (en) * 2012-10-16 2014-12-23 Verizon Patent And Licensing Inc. Optical multi-port connectors
CN103971598B (zh) * 2013-02-05 2017-04-12 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 图像补偿装置及其制造方法
US9473239B2 (en) * 2013-08-22 2016-10-18 Corning Cable Systems Llc Systems and methods for aligning an optical interface assembly with an integrated circuit
CN103984067B (zh) * 2014-06-03 2016-08-17 苏州洛合镭信光电科技有限公司 实现多通道光分束的光器件
US9945985B2 (en) 2015-02-05 2018-04-17 Coractive High-Tech, Inc. Method for making an optical element having a textured surface and an optical element having a textured surface
US9753233B2 (en) * 2015-03-27 2017-09-05 Alcatel-Lucent Usa Inc. Method and apparatus for making an optical fiber array
CN109856723B (zh) * 2018-11-30 2020-06-16 广州宏晟光电科技股份有限公司 一种大尺寸光学纤维面板的分散排列方法
US11446776B2 (en) * 2020-08-27 2022-09-20 Northrop Grumman Systems Corporation Method for assembling a hollow core optical fiber array launcher
CN113433626B (zh) * 2021-07-06 2022-06-07 东莞市凯航科技有限公司 一种可辅助对接的mpo插芯
DE102022129645A1 (de) 2022-11-09 2024-05-16 FiberBridge Photonics GmbH Glasfaseroptisches Bauteil

Family Cites Families (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE68920448T2 (de) 1988-02-10 1995-05-18 Kanegafuchi Chemical Ind Photodetektorenanordnung und Lesegerät.
US5566262A (en) * 1993-05-14 1996-10-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Optical fiber array and a method of producing the same
US5346583A (en) * 1993-09-02 1994-09-13 At&T Bell Laboratories Optical fiber alignment techniques
US5550942A (en) * 1994-07-18 1996-08-27 Sheem; Sang K. Micromachined holes for optical fiber connection
US5394493A (en) * 1994-08-08 1995-02-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Fiber-optic bundle and collimator assembly
US5521996A (en) 1994-11-25 1996-05-28 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Electrical and fiber-optic connector
US5675680A (en) 1994-11-25 1997-10-07 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy Fiber-optic connector
US6328482B1 (en) * 1998-06-08 2001-12-11 Benjamin Bin Jian Multilayer optical fiber coupler
US6078714A (en) * 1998-07-30 2000-06-20 The Boeing Company Fiber optic bundle interface cooling system
ATE338273T1 (de) * 1999-05-20 2006-09-15 Illumina Inc Vorrichtung zur halterung und präsentation von mindestens einer mikrokugelmatrix zu lösungen und/oder zu optischen abbildungssystemen
US6478606B1 (en) * 2000-01-11 2002-11-12 Mcnerney Gerald Twist-on connector with a heat-shrinkable skirt
US6595698B2 (en) * 2000-06-13 2003-07-22 Siwave, Inc. High density fiber terminator/connector
US6587618B2 (en) * 2001-03-16 2003-07-01 Corning Incorporated Collimator array and method and system for aligning optical fibers to a lens array
US6827500B2 (en) * 2001-06-29 2004-12-07 Lucent Technologies Inc. Precision two dimensional optical fiber array
US6655852B2 (en) * 2001-07-26 2003-12-02 Lucent Technologies Inc. Precision two dimensional optical fiber array

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US6827500B2 (en) * 2001-06-29 2004-12-07 Lucent Technologies Inc. Precision two dimensional optical fiber array
JP2008544292A (ja) * 2005-06-28 2008-12-04 キンヌネン,パーヴォ 液間界面を形成するための、特にその表面張力を測定するための方法及び装置
JP2017009859A (ja) * 2015-06-24 2017-01-12 ウシオ電機株式会社 光ファイババンドル構造体とその組立て方法および光源装置

Also Published As

Publication number Publication date
CA2384044A1 (en) 2002-12-29
US6827500B2 (en) 2004-12-07
CN1393717A (zh) 2003-01-29
US20030002818A1 (en) 2003-01-02
EP1271192A1 (en) 2003-01-02

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