JP2003028755A - 反射板検査装置および反射板検査方法 - Google Patents

反射板検査装置および反射板検査方法

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JP2003028755A
JP2003028755A JP2001210304A JP2001210304A JP2003028755A JP 2003028755 A JP2003028755 A JP 2003028755A JP 2001210304 A JP2001210304 A JP 2001210304A JP 2001210304 A JP2001210304 A JP 2001210304A JP 2003028755 A JP2003028755 A JP 2003028755A
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Seiji Nishiyama
誠司 西山
Hisahide Wakita
尚英 脇田
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】品質管理に優れ、非接触で効率よく行うことが
できる反射板の検査方法および検査装置をを提供する。 【解決手段】検査しようとする反射板に所定の入射角で
光を照射する光源と、この光のうち反射板より互いに異
なる反射角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複
数の受光手段と、光強度測定手段の測定した光の強度お
よび受光手段の検出した光の強度に基づいて反射板の反
射特性の良否を判定する判定手段とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、散乱性を有する反
射板の検査装置および検査方法に関するものであり、例
えば外光を反射して映像を表示する反射型液晶表示装置
に用いられる反射板の反射特性の測定に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶表示素子には、バックライトより照
射された光を用いて画像を表示する照射型と外光を反射
させて画像を表示する反射型がある。このうち反射型の
液晶表示素子には、画素電極が配された基板を反射板に
用いる内付け型と、パネル外に別途反射板を設ける外付
け型がある。反射板には、明るい表示や白表示時の白色
度を向上させるために、たとえば光反射面に凹凸を設け
ることによって光散乱性を付与している。たとえば、反
射板が内付けされたアクティブマトリクス型の液晶表示
素子の製造は、一般に以下の工程からなる。 1)アクティブマトリクス素子形成工程 2)反射板成膜工程 3)反射板検査工程 4)パネル組立工程 さらに、駆動回路実装工程を経ることで液晶表示装置が
得られる。すなわち、反射板が画素電極基板を兼ねた内
付け型の場合、あらかじめ画素電極等を形成した基板の
表面に凸部を形成し、さらにこれに反射膜を被覆して反
射板が得られる。反射板の検査はパネルの組立に先立っ
て行われる。
【0003】このような光散乱性を有する反射板の明る
さを示す指標として、拡散反射率が挙げられる。拡散反
射率を測定するための方法として、SCI(Specu
lar Compenent Include)型およ
びSCE(SpecularCompenent Ex
clude)型という測定系が挙げられる。SCI型お
よびSCE型は、ともにCIE(国際照明委員会) N
o.15、ASTM(アメリカ材料試験協会) E11
64、JIS(日本工業規格) Z8722、ISO(国
際標準化機構)/D/S/7724/1などの規格で定
められている。
【0004】図4および図5に、それぞれSCI型およ
びSCE型の測定装置の模式図を示す。SCI型および
SCE型では、ともに光源1から発した光は、積分球2
0の内壁面で拡散反射して均一な拡散光となった後、試
料である反射板2に入射する。測定用の受光器21は、
反射板2で反射した光のうち、図中破線で示す反射板2
の反射面の法線方向と平行な軸とのなす角θがたとえば
8度である方向に反射した光を受光する。照明光モニタ
用受光センサ(図示せず)は、積分球20の内壁面で拡
散された光を検出する。これらの測定用の受光器21が
検出した光の強度を照明光モニタ用受光センサが検出し
た光の強度に基づいて標準化することにより反射率が求
められる。なお、図5に示すSCI型では反射板2で正
反射した光も受光器21で計測されるのに対して、図4
に示すSCE型では反射板2で正反射して受光器21に
入射する光は光トラップ23により除去される。
【0005】これら従来の測定系で反射率を測定する
と、以下のような問題点がある。SCE型やSCI型の
反射率測定では、測定装置と反射板が接する必要がある
ため、検査の際に反射板の表面に汚れが付着したり表面
に形成されている凹凸が静電破壊するおそれがある。ま
た、反射板の見え方すなわち明るさの主観評価は反射率
の視角依存性と強い相関があるが、SCE型やSCI型
の測定では、特定の反射角の光のみを検出することか
ら、得られた反射率の値が同じサンプル間でも実際の見
え方すなわち明るさの感じ方が異なる場合もある。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記問題点
を解決するためのものであり、品質管理に優れ、非接触
で効率よく行うことができる反射板の検査方法および検
査装置を提供することを目的とする。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明の反射板検査装置
は、検査しようとする反射板に所定の入射角で光を照射
する光源と、この光のうち反射板より互いに異なる反射
角で反射した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光
手段と、光強度測定手段の測定した光の強度および受光
手段の検出した光の強度に基づいて反射板の反射特性の
良否を判定する判定手段とを備える。本発明の反射板検
査方法は、検査しようとする反射板に所定の入射角で光
を照射するステップと、この光のうち前記反射板より互
いに異なる反射角で反射した複数の成分を同時にそれぞ
れ検出するステップと、検出した複数の成分の強度に基
づいて反射板の反射特性の良否を判定するステップとを
含む。複数の受光手段を設けることで、反射角が互いに
異なる複数の反射光成分の強度を同時に測定することが
できる。単一の反射角における反射光強度の測定と比べ
てより正確な検査が可能になる。また、同時に測定が可
能なことから、照射光強度が変動しても検査精度に及ぼ
す影響を小さくすることができる。
【0008】好ましくは、光源より照射された光の強度
を測定する光強度測定手段をさらに備え、判定手段が、
受光手段の検出した反射光の強度を光強度測定手段の検
出した入射光の強度を用いて規格化する演算部と、演算
部により規格化された反射光強度に基づいて反射板の反
射特性の良否を判定する判定部とを含む。すなわち、反
射光強度を、入射光の強度を用いて規格化することで光
源の照射光強度の変動による影響をより小さくすること
ができる。受光手段としては、CCD(電荷結合素子)
カメラ等が用いられる。また、たとえば、同一平面上に
フォトダイオード等の小型の受光手段を格子状に配列さ
せると、広い領域における反射光強度の分布を測定する
ことができる。また、より多くの成分の反射光について
の情報を得ることができ、より精度の高い良否判定が可
能になる。
【0009】本発明の他の反射板検査装置は、検査しよ
うとする反射板に所定の入射角で光を照射する光源と、
この光のうち反射板より所定の立体角の領域に反射した
成分を投影するスクリーンと、スクリーンに投影された
像を撮影する撮像素子と、撮像素子からの映像信号に基
づいて反射板の反射特性の良否を判定する判定手段を備
える。本発明の他の反射板検査方法は、検査しようとす
る反射板に所定の入射角で光を照射するステップと、こ
の光のうち反射板より所定の立体角の領域に反射した成
分を投影するステップと、スクリーンに投影された像を
撮影するステップと、撮影により得られた映像信号に基
づいて反射板の反射特性の良否を判定するステップとを
含む。反射光の投影像に基づいて反射板の反射特性を判
定することで、上記の格子状に配列した複数の受光手段
を用いる場合と同様に、より精度の高い良否判定が可能
になる。
【0010】ここで、白いスクリーンを用いると、反射
光の色付きの度合いについても検査することができる。
黒いスクリーンを用いると、投影像のコントラストがよ
り明確になるため、精度の高い反射特性の判定が可能に
なる。これらの反射板検査装置においても、光源より照
射された光の強度を測定する光強度測定手段をさらに設
け、さらに判定手段に映像信号を前記光強度測定手段の
検出した入射光の強度を用いて規格化する演算部と、演
算部により規格化された映像信号に基づいて前記反射板
の反射特性の良否を判定する判定部とを設けることで、
照射光の強度の変動等に影響されずに正確な判定が可能
になる。撮像素子には、たとえばCCD、CMOSイメ
ージセンサ等の固体撮像素子を用いる。
【0011】本発明は、アクティブマトリクス型、例え
ばSTN(スーパーツイスティドネマティック)のよう
な単純マトリクス型等、いずれの構成の電極を有する液
晶表示装置に対しても適用可能である。また、反射板の
配置形態すなわち外付け型か内付け型かによらず適用可
能である。
【0012】
【発明の実施の形態】以下、本発明の好ましい実施の形
態を図面を用いて詳細に説明する。
【0013】《実施の形態1》本実施形態の反射板検査
装置を図1に示す。光源1は、検査対象である反射板2
に所定の入射角でたとえば8mmφで平行な白色光を照
射する。この照射光の進路と反射板2の表面の法線のな
す角度を−θ0とする。反射板2に入射した光は、反射
板2の表面において、その進路と反射板2の表面の法線
がなす角度がθ0である正反射方向を中心に散乱して反
射する。反射板2の表面の法線と所定の角度θ1、θ2
よびθ3をなす方向には、それぞれ反射光の強度を測定
するための受光手段として輝度計4が配される。たとえ
ばθ0を30°とし、θ1、θ2およびθ3をそれぞれ40
°、45°および50°とする。判定手段5は、輝度計
4からの信号に基づくそれぞれの反射角における光強度
を、光源1より照射された光の強度によって規格化す
る。判定手段5は、基準として反射板2に代えて完全拡
散板を用いたときの各反射角における輝度計4の出力値
の比率をあらかじめ記憶していて、それを規格化された
反射光強度の比率と比較し、反射板2の良否を判定す
る。完全拡散板としては、硫酸バリウム板や、測定ごと
に得られる値の同一性が保証された他のリファレンス板
を用いる。なお、輝度計の数は、2個以上であることが
求められるが、要求される測定精度に応じて決定すれば
よい。より多くの輝度計を配することにより、良否判定
の精度は向上する。また、その設置箇所すなわち測定し
ようとする光の反射角も、測定精度等に応じて決定され
る。
【0014】なお、図6に示すように、光源1から照射
された光を、所定の入射角−θ0(たとえば30°とす
る)で反射板2に入射させながら、可動式の受光器13
を用いて反射した光を測定することによっても、非接触
で複数の反射角に対する反射率をそれぞれ求めることが
できる。さらに反射率の視角依存性を考慮に入れた検査
も可能になる。しかしながら、この方法によるとひとつ
の反射板の検査に、受光器13を移動させるステップが
必要となり、本発明のように同時に測定する場合と比べ
て膨大な検査時間を要する。反射板の表面に画素電極を
備えた液晶表示装置の製造工程においては、この反射板
の検査の後に液晶パネルが組み立てられることから、反
射板の検査時間は液晶パネルや液晶表示装置の製造の生
産性に大きく影響する。また、それぞれの反射角に対す
る光の強度の測定は、所定時間間隔を隔てて行われるこ
とから、照射光強度の変動の影響を受けやすい。
【0015】一方、本実施の形態の反射板検査装置で
は、互いに異なる方向に反射した光の強度を同時に測定
することができるため、短時間で反射板の良否を判定す
ることができる。すなわち、より高いパネルや装置の生
産性が得られる。また、異なる反射角の光を同時に測定
することで、光源1からの照射光の強度の変動によらず
安定した判定が可能になる。また、上記のように反射光
強度を光源1より照射された光の強度によって規格化す
ることで、光源1より照射される光の強度の変動による
影響をより効果的に排除することができる。なお、光源
1は、その照射光の波長分散、径および平行性を問わな
いが、安定した測定のためには照射光強度の安定性が高
いものが望ましい。
【0016】《実施の形態2》本実施の形態では、実施
の形態1の反射板検査装置よりもより高精度の良否判定
が可能な反射板検査装置について説明する。本実施の形
態の反射板検査装置の構成の概略を図2に示す。この検
査装置1では、実施の形態1の反射板検査装置における
輝度計4に代えて、同一平面上に多数の電荷結合素子7
が格子状に配置された光検出手段6を用いている。この
ような光検出手段6を用いることで、電荷結合素子7が
配された領域に入射する反射光を検出することができ
る。したがって、反射角がθ1、θ2およびθ3(たとえ
ば、それぞれ40°、45°および50°)の光を電荷
結合素子7a、7bおよび7cでそれぞれ検出するとと
もに、それ以外の反射光についても他の電荷結合素子7
によって測定が可能になる。たとえば、正反射方向(θ
0=30°)を軸とした所定の立体角範囲の反射光成分
の強度を測定することができる。これにより、より精度
の高い検査が可能になる。なお、電荷結合素子7に代え
て、たとえばフォトダイオードやフォトトランジスタな
どの他の光応答性半導体素子を用いてもよい。
【0017】《実施の形態3》本実施の形態では、上記
実施の形態2の検査装置と同様に、広い領域の反射光を
測定することができる他の検査装置について説明する。
本実施の形態の反射板検査装置を図3に示す。この検査
装置では、光源1から照射され、反射板2で反射した光
をスクリーン8に投影させ、その像を用いて反射板2の
反射特性の良否を判定する。たとえば、光源1は、反射
板1にφ8mmの平行光を−30度の入射角θ0で照射
し、スクリーン8上の領域8a、8bおよび8cには、
それぞれ反射板2より40度、45度および50度の反
射角で反射した光が入射する。CCDカメラ、CMOS
イメージセンサ等の撮像素子9は、この投影像を撮影
し、映像信号に変換する。
【0018】判定手段5は、撮像素子9からの映像信号
に基づいて反射板2の良否を判定する。たとえば、判定
手段5は、撮像素子9からの画像信号のうち、領域8
a、8bおよび8cに対応する画素または複数の画素か
らなる領域における輝度信号を光源1より照射された光
の強度により規格化し、これと基準としての完全拡散板
を用いたときの輝度信号との差に基づいて反射板の良否
を判定する。なお、光を透過させないスクリーンを用い
る場合には図3に示すようにスクリーン8の反射光が入
射する側の面を撮影するように撮像素子9を配するが、
リアプロジェクション用のスクリーンを用いる場合に
は、スクリーン8の他面を撮影するように撮像素子9を
スクリーン8の後方に配する。
【0019】撮像素子9の出力した映像信号のうち領域
8a、8bおよび8cに対応する映像信号を比較するこ
とで、実施の形態1および2と同様に非接触で正確な判
定が可能になる。もちろん、判定に用いる反射光成分の
数は、上記のように3個に限定されず、求められる測定
精度に応じて決定される。すなわち反射光成分が複数個
あればよい。なお、スクリーンに投影された像の全体に
対応する映像の輝度分布等から反射板の良否を判定する
こともできる。
【0020】
【発明の効果】以上で説明したように、本発明による
と、品質管理に優れ、非接触で効率よく行うことができ
る反射板の検査方法および検査装置を提供することがで
きる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施の形態の反射板検査装置の構成
を示す概略図である。
【図2】本発明の他の実施の形態の反射板検査装置の構
成を示す概略図である。
【図3】本発明のさらに他の実施の形態の反射板検査装
置の構成を示す概略図である。
【図4】SCE型反射板検査装置の構成を示す概略図で
ある。
【図5】SCI型反射板検査装置の構成を示す概略図で
ある。
【図6】比較例の反射板検査装置の構成を示す概略図で
ある。
【符号の説明】
1 光源 2 反射板 4 輝度計 5 判定手段 6 光検出手段 7、7a、7b、7c 電荷結合素子 8 スクリーン 8a、8b、8c 領域 9 撮像素子 13、21 受光器 20 積分球 23 光トラップ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G051 AA61 AB07 AB20 BB01 CA03 CA07 CB01 CC20 EB01 2G086 EE10 EE12 2H088 FA11 FA30 HA21 MA20 2H091 FA14Y FC30 GA02 GA13 LA30 5C054 CA04 CC05 EA05 FC04 FC15 HA05

Claims (14)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 検査しようとする反射板に所定の入射角
    で光を照射する光源と、 前記光のうち前記反射板より互いに異なる反射角で反射
    した複数の成分をそれぞれ検出する複数の受光手段と、 光強度測定手段の測定した光の強度および前記受光手段
    の検出した光の強度に基づいて前記反射板の反射特性の
    良否を判定する判定手段とを具備する反射板検査装置。
  2. 【請求項2】 前記光源より照射された光の強度を測定
    する光強度測定手段をさらに具備し、前記判定手段が、
    前記受光手段の検出した反射光の強度を前記光強度測定
    手段の検出した入射光の強度を用いて規格化する演算部
    と、前記演算部により規格化された反射光強度に基づい
    て前記反射板の反射特性の良否を判定する判定部とを含
    む請求項1記載の反射板検査装置。
  3. 【請求項3】 前記複数の受光手段が、同一平面上に、
    格子状に配列された請求項1記載の反射板検査装置。
  4. 【請求項4】 検査しようとする反射板に所定の入射角
    で光を照射する光源と、 前記光のうち前記反射板より所定の立体角の領域に反射
    した成分を投影するスクリーンと、 前記スクリーンに投影された像を撮影する撮像素子と、 前記撮像素子からの映像信号に基づいて前記反射板の反
    射特性の良否を判定する判定手段を具備する反射板検査
    装置。
  5. 【請求項5】 前記光源より照射された光の強度を測定
    する光強度測定手段をさらに具備し、前記判定手段が、
    前記映像信号を前記光強度測定手段の検出した入射光の
    強度を用いて規格化する演算部と、前記演算部により規
    格化された映像信号に基づいて前記反射板の反射特性の
    良否を判定する判定部とを含む請求項4記載の反射板検
    査装置。
  6. 【請求項6】 前記スクリーンが白色である請求項5記
    載の反射板検査装置。
  7. 【請求項7】 前記スクリーンが黒色である請求項5記
    載の反射板検査装置。
  8. 【請求項8】 前記撮像素子が固体撮像素子である請求
    項5記載の反射板検査装置。
  9. 【請求項9】 前記固体撮像素子が電荷結合素子である
    請求項8記載の反射板検査装置。
  10. 【請求項10】 前記固体撮像素子がCMOSイメージ
    センサである請求項9記載の反射板検査装置。
  11. 【請求項11】 検査しようとする反射板に所定の入射
    角で光を照射するステップと、 前記光のうち前記反射板より互いに異なる反射角で反射
    した複数の成分を同時にそれぞれ検出するステップと、
    検出した前記複数の成分の強度に基づいて前記反射板の
    反射特性の良否を判定するステップとを含む反射板検査
    方法。
  12. 【請求項12】 前記反射板に向けて照射される光の強
    度を測定するステップをさらに含み、前記反射板の反射
    特性の良否を判定するステップにおいて、前記複数の成
    分の強度を前記反射板に向けて照射される光の強度によ
    り規格化する請求項11記載の反射板検査方法。
  13. 【請求項13】 検査しようとする反射板に所定の入射
    角で光を照射するステップと、 前記光のうち前記反射板より所定の立体角の領域に反射
    した成分を投影するステップと、 前記スクリーンに投影された像を撮影するステップと、
    撮影により得られた映像信号に基づいて前記反射板の反
    射特性の良否を判定するステップとを含む反射板検査方
    法。
  14. 【請求項14】 前記反射板に向けて照射される光の強
    度を測定するステップをさらに含み、前記反射板の反射
    特性の良否を判定するステップにおいて、前記映像信号
    を前記反射板に向けて照射される光の強度により規格化
    する請求項13記載の反射板検査方法。
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