JP2003022032A

JP2003022032A - 機能素子基板の製造方法および機能性パネルの製造方法

Info

Publication number: JP2003022032A
Application number: JP2001206595A
Authority: JP
Inventors: Tomokazu Nakagawa; 智和中川; Yasunobu Tagusa; 康伸田草
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2001-07-06
Filing date: 2001-07-06
Publication date: 2003-01-24
Anticipated expiration: 2021-07-06
Also published as: JP4323115B2

Abstract

(57)【要約】【課題】信頼性と携帯性とを同時に備えた機能性パネ
ルおよびその機能性パネルを生産性良く製造する機能性
パネルの製造方法を提供する。【解決手段】ガラスから成る基板１上にバリア層２お
よび機能素子層３を形成した機能素子基板１０と、ガラ
スから成る基板１１上にバリア層１２およびカラーフィ
ルタ層１３を形成したカラーフィルタ層２０とを液晶層
２５を介して貼り合わせる。次に、基板１を薄層化し
て、柔軟性を有する帯状のベースシート６に貼り付け
る。そしてベースシート６を移動させながら、基板１１
の薄層化、基板２７の接続、カバーフィルム１６の貼り
付けおよびベースシート６の分断を連続して行う。ベー
スシート６を移動させながら各工程を連続して行うの
で、生産性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）などの機能素子を、柔軟性を有するシートに
貼り付ける機能素子基板の製造方法および機能性パネル
の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】機能素子としてＴＦＴ（Thin Film Tran
sistor）を用いて液晶ディスプレイなどを製造する場合
は、ＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などによ
ってガラスなどの透明基板上にＴＦＴを形成する。ＴＦ
Ｔを基板上に形成する工程は高温処理を伴うため、軟化
点および融点が高く耐熱性に優れる材料を基板に用いる
必要がある。そのため、現状では５００℃前後の耐熱性
を有する耐熱ガラスが基板として使用されている。

【０００３】機能素子が形成される基板は、機能素子基
板を製造するための条件を満たす必要がある。しかし機
能素子が形成される基板は、製品化された後の実使用の
際に有効な特性を持たない場合がある。

【０００４】たとえばガラス基板は、機能素子であるＴ
ＦＴを用いた液晶ディスプレイを製造する場合に適した
基板であるが、その反面、ガラス基板は重く、割れ易
く、変形に弱いという性質を持つ。現在需要が急増して
いる携帯電話または携帯端末などの携帯用電子機器製品
に用いられる液晶ディスプレイでは、安価で軽く、変形
に耐え、落下に対しても破損しない基板が必要である。
ところが、このような基板は製造工程で必要な耐熱性を
持たず、また基板搬送の際に基板の反りが大きいなどの
問題がある。すなわち、製造条件から基板に求められる
特性と製品化された後の基板に求められる特性との間に
隔たりがあり、両者の特性を同時に満足させる基板の選
択は極めて困難である。

【０００５】特開平１０−１２５９３１号公報に開示さ
れている薄膜素子の転写方法では、機能素子である薄膜
素子と製造時に使用する基板との間に分離層を形成し、
基板側からレーザ光を照射して分離層で剥離を生じさ
せ、薄膜素子を製造時に使用する基板から剥離させた
後、薄膜素子を製品で使用する基板に転写することで、
製造時に使用する基板と製品で使用する基板とを分けて
いる。

【０００６】特開平７−２０９６３３号公報に開示され
ている液晶表示素子の製造方法では、プラスチック基板
が熱変形を起こす温度よりも低い温度で処理する前半工
程をロールツーロール方式で流し、後半工程は枚葉式で
流すことによって、プラスチック基板を用いた液晶表示
素子を生産性良く製造し、かつその耐久性、信頼性を向
上させることができる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】特開平１０−１２５９
３１号公報に開示されている薄膜素子の転写方法では、
分離層にレーザ光を吸収させて薄膜素子と基板とを剥離
させるとき、熱が発生して薄膜素子が加熱されるため、
薄膜素子の性能が低下するという問題を有する。

【０００８】また特開平７−２０９６３３号公報には、
プラスチック基板を用いた液晶表示素子を生産性良く製
造する方法が開示されている。機能素子がないパネルを
製造する場合、この液晶表示素子の製造方法は有効であ
るが、機能素子を有するパネルを製造する場合、機能素
子を形成する最初の工程で高温処理を伴うので、この液
晶表示素子の製造方法は適さない。

【０００９】また現状の液晶ディスプレイは、表示領域
を拡大するために、パネルを２枚並べてパッケージし、
蝶番などで結合させて使用している。このような液晶デ
ィスプレイは、２枚のパネルの間に表示不可能な領域が
存在し、連続した映像または文字を表示しにくいという
問題を有する。今後、携帯用電子機器製品の液晶ディス
プレイは、表示領域の拡大を図るために、大型の画面ま
たは複数の画面を使用して画像情報を表示する必要があ
る。また携帯用電子機器製品の液晶ディスプレイは、使
用しないときに、携帯しやすいように収納できる必要が
ある。

【００１０】本発明の目的は、信頼性と携帯性とを同時
に備えた機能性パネルおよびその機能性パネルを生産性
良く製造する機能性パネルの製造方法を提供することで
ある。

【００１１】また本発明の他の目的は、複数のパネルを
有する機能性パネルを効率良く製造する機能性パネルの
製造方法を提供することである。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、表面に機能素
子を形成した基板の裏面から厚さを減少させることで基
板を薄層化し、前記薄層化した基板に、柔軟性を有し、
薄層化した基板を補強する補強層を形成することを特徴
とする機能素子基板の製造方法である。

【００１３】基板がガラス基板の場合は、耐熱性を有し
機能素子を形成するのに適しているが重い。そこで、基
板を薄層化して軽量化すると、割れ易くなるなどの問題
を有する。そこで、本発明では、薄層化した基板に、た
とえばシートを貼り付けたり、高分子溶剤を塗布して硬
化させたりして、柔軟性を有する補強層を形成する。こ
のようにして、信頼性が高く、軽量で携帯性を備えた機
能素子基板を製造することができる。

【００１４】この補強層は、機能素子の形成に適してい
る必要はなく、製品に求められる性質に応じて選ぶこと
ができる。したがって、従来の製造工程をそのまま用い
て、製品に求められる性質を有する機能素子基板を製造
することができる。

【００１５】また本発明は、機能素子と基板との間に、
基板の薄層化時に機能素子を保護するバリア層を形成す
ることを特徴とする。

【００１６】本発明に従えば、機能素子と基板との間に
バリア層が形成されるので、基板を薄層化する際にバリ
ア層がストッパとしての役割を果たし、基板を均一に薄
くすることができる。

【００１７】また本発明に従えば、基板を薄層化する際
の条件の管理を容易にすることができる。

【００１８】また本発明は、前記バリア層は、金属の酸
化物から成ることを特徴とする。本発明に従えば、バリ
ア層は、ガラスと比べて硬く、耐薬品性を有する金属の
酸化物から成るので、基板を薄層化する際に機能素子を
保護できる。

【００１９】また本発明は、前記基板は、ガラスから成
ることを特徴とする。本発明に従えば、基板は耐熱性お
よび耐食性などを有するガラスから成るので、性能の良
い機能素子を基板に形成することができる。

【００２０】また本発明は、前記補強層は、有機高分子
から成ることを特徴とする。本発明に従えば、転写体は
有機高分子から成るので、耐衝撃性に優れ、軽量な機能
素子基板を製造することができる。

【００２１】また本発明は、機能素子が表面に形成され
た基板と他の基板とを貼り合わせて作製されたパネルの
少なくとも一方の基板を薄層化し、柔軟性を有し、薄層
化した基板を補強するための転写体に転写することを特
徴とする機能性パネルの製造方法である。

【００２２】本発明に従えば、パネルの少なくとも一方
の基板を薄層化し、柔軟性を有する転写体に転写するの
で、従来の製造工程をそのまま用いて、製品に求められ
る性質を有する機能性パネルを製造することができる。

【００２３】また本発明は、前記転写体は、帯状のシー
トであり、シートを送り出しながら順次パネルを貼り付
け、洗浄、基板実装、分断の少なくともいずれかの処理
を含む工程を、パネルを貼り付けたシートを送り出しな
がら、連続して行うことを特徴とする。

【００２４】本発明に従えば、パネルを貼り付けたシー
トを送り出しながら、各工程を連続して行うので、生産
性を向上させることができる。

【００２５】また本発明は、機能素子と基板との間に、
基板の薄層化時に機能素子を保護するバリア層を形成す
ることを特徴とする。

【００２６】本発明に従えば、機能素子と基板との間に
バリア層が形成されるので、基板を薄層化する際にバリ
ア層がストッパとしての役割を果たし、基板を均一に薄
くすることができる。

【００２７】また本発明に従えば、基板を薄層化する際
の条件の管理を容易にすることができる。

【００２８】また本発明は、前記バリア層は、金属の酸
化物から成ることを特徴とする。本発明に従えば、バリ
ア層は、ガラスと比べて硬く、耐薬品性を有する金属の
酸化物から成るので、基板を薄層化する際に機能素子を
保護できる。

【００２９】また本発明は、前記基板は、ガラスから成
ることを特徴とする。本発明に従えば、基板は耐熱性お
よび耐食性などを有するガラスから成るので、性能の良
い機能素子を基板に形成することができる。

【００３０】また本発明は、前記転写体は、有機高分子
から成ることを特徴とする。本発明に従えば、転写体は
有機高分子から成るので、耐衝撃性に優れ、軽量な機能
性パネルを製造することができる。

【００３１】また本発明は、シートに貼り付けられた隣
り合う２つ以上のパネルを残してシートを分断すること
で、複数のパネルが接続して一体化された機能性パネル
を製造することを特徴とする。

【００３２】本発明に従えば、２つ以上のパネルが一体
化されるので、各パネルがつながった状態の機能性パネ
ルを製造することができる。

【００３３】また本発明は、基板保護またはパネル端子
保護のために、紫外線の照射によって粘着力が変化する
保護フィルムを用いることを特徴とする。

【００３４】本発明に従えば、基板保護またはパネル端
子保護のために、紫外線の照射によって粘着力が変化す
る保護フィルムを用いるので、基板を薄層化したパネル
から保護フィルムを剥離する際、パネルに負担をかけず
に保護フィルムを剥離することができる。

【００３５】

【発明の実施の形態】図１は、本発明の一実施形態であ
る機能性パネルの製造方法を用いて液晶パネル３４を製
造する場合の工程図である。以下、この図１を参照し
て、液晶パネル３４の製造方法について説明する。

【００３６】（１）まずガラスから成る基板１上にタン
タルの薄膜をスパッタ法で形成する。このタンタルを陽
極酸化して酸化タンタルにし、バリア層２とする。バリ
ア層２の上に、ゲート電極配線、ゲート絶縁層形成、ア
モルファスシリコンの半導層形成またはソース電極配線
などを順次行いＴＦＴを形成した機能素子層３を形成す
る。このようにして機能素子基板１０が得られる。同様
にしてガラスから成る基板１１上にバリア層１２を形成
し、バリア層１２の上にカラーフィルタ層１３を形成す
る。このようにしてカラーフィルタ基板２０が得られ
る。

【００３７】（２）機能素子基板１０とカラーフィルタ
基板２０との間にプラスチックのビーズを散布して、機
能素子基板１０とカラーフィルタ基板２０とを貼り合わ
せる。このとき、機能素子層３およびカラーフィルタ層
１３が内側となるようにする。機能素子基板１０とカラ
ーフィルタ基板２０との間にプラスチックのビーズを散
布するのは、基板間隔を均一に５μｍにするためであ
る。機能素子基板１０とカラーフィルタ基板２０とを貼
り合わせた後、基板間に液晶を注入し、注入口を封止し
て液晶層２５を形成する。このようにしてパネル３０が
得られる。

【００３８】（３）次にパネル３０の基板１および基板
１１が同時に薄層化されるのを防ぐために、保護フィル
ムとして耐酸性を有するＵＶ（紫外線）シート２６をパ
ネル３０の基板１１上に貼り付ける。ＵＶシート２６
は、紫外線を照射することによって粘着力が低下するア
クリル系の接着材を使用したシートである。ＵＶシート
２６は、エッチングによって薄層化されたパネルに負担
をかけずに剥離することができる。またパネル３０の周
囲からエッチング液が滲入するのを防止するために、あ
るいはパネル３０の接続端子の浸食を防ぐために保護を
行う。接続端子の平坦な部分には、ＵＶシート２６と同
様のＵＶシート２９を貼り付ける。段差部分および周囲
には、アクリル系もしくはフッ素系のエッチングに耐え
られる樹脂２８を塗布し、硬化させる。ＵＶシート２６
の厚さが２００μｍ程度であれば、凹凸がある部分でも
カバー可能であるため、パネル３０の接続端子部分もＵ
Ｖシート２６で保護可能である。

【００３９】（４）このようにして準備したパネル３１
を、フッ酸の水溶液から成るエッチング液を用いてエッ
チングする。バリア層２である酸化タンタルは上記のエ
ッチング液に溶解しない。したがって、バリア層２、機
能素子層３、液晶層２５、カラーフィルタ層１３、バリ
ア層１２、基板１１、ＵＶシート２６および薄くなった
基板１ａで構成された層が残る。すなわち薄層化された
パネル３２が残る。基板１は部分的に完全除去してもよ
い。次に薄層化されたパネル３２からＵＶシート２６お
よびＵＶシート２９を剥離して純水でリンスし、乾燥さ
せる。

【００４０】この後、柔軟性を有する帯状のベースシー
ト６にパネルを貼り付けてロールツーロール方式で液晶
パネル３４を製造する。

【００４１】図２は、液晶パネル３４の製造工程の中
で、ロールツーロール方式による工程を示す概略図であ
る。図２は概略図であるため、各ベースシート駆動ロー
ラ５７のサイズは小さいが、実際のベースシート駆動ロ
ーラ５７は、パネルに負担をかけない形状にする必要が
ある。たとえばベースシート駆動ローラ５７自体に柔軟
性を持たせて、パネルが接触してもなじむようにする。
あるいは、ベースシート６が折れ曲がる所で、ベースシ
ート６が、直角に折れ曲がらず、緩やかに曲がるように
する。たとえば、ベースシート６が４５度以下の角度で
折れ曲がるようにする。

【００４２】（５）樹脂から成る接着層５によって、基
板１の薄層化が完了したパネルをベースシート６に貼り
付ける。このとき、薄くなった基板１ａ側をベースシー
ト６に貼り付ける。ベースシート６は、搬送に用いるだ
けではなく、最終的に製品の一部にする。そのために図
２に示すように、画像認識装置５０を使用して、パネル
のアライメントマークとベースシート６のアライメント
マークとを位置合わせして、パネルとベースシート６と
を貼り合わせる。貼り合わせ完了後、ベースシート６を
移動させながら、端子保護用テープ貼り付けローラ５１
によって、端子保護用テープであるＵＶシート２９を貼
り付ける。

【００４３】（６）ベースシート６がさらに移動する
と、パネルがエッチング槽５２に入り、フッ酸の水溶液
から成るエッチング液を用いて基板１１のエッチングが
行われる。その後、ベースシート６がさらに移動する
と、パネルが洗浄槽５３に入り、ＵＶシート２９が剥離
され、パネルの周囲に塗布して硬化された樹脂が剥離剤
で取り除かれ、純水でリンスされて、乾燥される。

【００４４】このようにして、ベースシート６に貼り付
けられた薄くなった基板１ａ、バリア層２、機能素子層
３、液晶層２５、カラーフィルタ層１３、バリア層１２
で構成された層および薄くなった基板１１ａが残る。す
なわち、薄層化されたパネル３３が残る。基板１１は部
分的に完全除去してもよい。

【００４５】（７）パネルを薄型化した後、ベースシー
ト６がさらに移動すると、実装工程へ進む。実装工程で
は、図２に示す基板接続機５４で、フレキシブル基板ま
たはＴＡＢ（Tape Automated Bonding）テープなどの基
板２７をパネル３３に接続する。

【００４６】（８）カバーフィルム貼り付けローラ５５
で、接着用の樹脂から成る接着層１５によって、基板２
７を接続したパネル３３の薄くなった基板１１ａ上にカ
バーフィルム１６を貼り付ける。カバーフィルム１６と
して、偏光板、拡散板、レンズシートまたはプリズムシ
ートなどを適用することによって、部材の低減ができ、
コストダウンにも効果がある。次に、分断工程に進む。
パネル分断機５６で、ベースシート６を切断する。この
ようにして、液晶パネル３４が得られる。

【００４７】本実施形態では、基板上にＴＦＴを形成し
た液晶パネルを製造する際に、耐熱性および耐食性など
の特性が優れる耐熱ガラスから成る基板などを用いて機
能素子の形成および加工を行い、有機高分子などの耐衝
撃性に優れ、軽量な基板に転写するので、優れた信頼性
と携帯性とを同時に備えた液晶パネルを製造することが
できる。この液晶パネルは、軽く、変形に耐え、落下に
対しても破損しない信頼性の高い機能性パネルであるの
で、携帯モバイルまたは携帯電話などの情報携帯端末デ
ィスプレイとして利用できる。

【００４８】また本実施形態では、ロールツーロール方
式でエッチング工程、実装工程および分断工程を連続し
て行うので、工程から工程へのパネルの排出、移動およ
び供給の作業がなくなり、かつカセットなどの移送手段
を必要としない。さらに本実施形態では、搬送用ベース
シートを最終形状のパネルシートにするので、搬送のた
めだけのシートを必要としない。

【００４９】厚さが０．５ｍｍ以下のガラスはかなりも
ろいが、薄層化したガラスと樹脂層とを層構成すること
によって、寸法安定性、耐熱性および曲げ剛性に富む基
板ができる。ガラス基板などを１００μｍ以下の厚さに
し、それに樹脂などの柔軟性を有する基板を貼り合わせ
て補強することによって、次のような効果が得られる。
カードタイプの電卓またはテレビなどの製品をポケット
などに入れて何らかの外圧がかかっても、曲げが生じて
製品が割れることがない。大型スクリーンまたは車のダ
ッシュボードなどの湾曲して固定される製品を作ること
ができる。ロールツーロール方式で生産する際に、割れ
が少なく生産性が向上する。

【００５０】ガラスから成る基板上に形成したバリア層
は、基板を薄層化する際にストッパとしての役割を果た
し、基板を均一に薄くすることを可能にする。金属の酸
化物から成るバリア層は、ガラスと比べて硬く、耐薬品
性を有し、機能素子を保護できる。バリア層としては、
酸化タンタルの他に、チタンまたはタングステンなどの
金属の酸化物を用いることができる。何層か積層した層
を、バリア層としてもよい。あるいは、複数の金属の酸
化物を組み合わせて、バリア層としてもよい。

【００５１】基板の厚さを減少させる方法としては、エ
ッチング以外にも、機械的に基板を研磨して削り取る方
法、機械研磨とエッチングとを併用して機械的および化
学的に基板を研磨する方法、ブラスト処理によって基板
を削り取る方法などが適用できる。またバリア層を設け
ず、エッチング液の温度および濃度、撹拌方法などを厳
密に管理することによって、基板のエッチング速度を制
御して、基板の薄層化を行ってもよい。パネルが有する
２つの基板のうち、一方の基板は薄層化せず、もう一方
の基板だけ薄層化してもよい。

【００５２】本実施形態では片面からのみ薄型化したパ
ネルをベースシートに貼り付けるが、パネルを両面から
薄型化した後、パネルの両面に有機高分子を貼り付け、
機能性パネルを製造することも可能である。また本実施
形態ではパネルをベースシートに貼り付けるが、スピン
コータまたはスロットコータなどを用いて、柔軟性を有
する有機高分子などの溶剤を塗布し、硬化させることも
可能である。

【００５３】柔軟性を有するベースシートとして、各種
樹脂の他に、アルミまたは銅などの金属膜、あるいは金
属と樹脂との多層膜であってもよい。ベースシートは、
剛性または冷却性を向上したり、電磁波をシールドする
などの目的で選択してもよい。

【００５４】以上のようにして、従来の製造方法をその
まま利用して、軽く、変形に耐え、さらに落下に対して
も破損しないという製品に求められる性質を有する機能
性パネルを製造する。本実施形態の機能性パネルの製造
方法は、液晶パネルだけでなく、他の平面表示装置また
は薄膜集積回路装置などの製造も可能である。

【００５５】図３は、本発明の他の実施形態である機能
性パネル６０の製造工程を示す概略図である。

【００５６】まず、図１の（１）〜（６）の工程に従
い、パネル片面のエッチング、ベースシート６への貼り
付け、残りの面のエッチング、洗浄、乾燥などを行う。
パネルの薄型化が完了した後、隣り合わせになる２枚の
パネル４０，４１を１組にして、ゲート端子同士を結線
４２する。次に、２枚のパネル４０，４１の共通になっ
たゲート端子にゲート基板４３を接続し、ソース基板４
４，４５は各々のパネルに接続する。ゲート基板４３は
２枚のパネル４０，４１の駆動を行う。次に、接着用の
樹脂から成る接着層によって、カバーフィルム１６を貼
り合わせる。その後、検査工程で通電テストまたは表示
品位テストなどを行い、２枚１組で分断する。以上によ
って、機能性パネル６０が完成する。

【００５７】図４は、このようにして製造された機能性
パネル６０を備える２画面一体型表示装置７０を示す図
である。

【００５８】従来の２画面一体型表示装置は、ケーシン
グした２枚のパネルモジュールを、蝶番などでドッキン
グさせて使用している。そのため従来の２画面一体型表
示装置は、ケースの額縁部または蝶番部が存在してしま
い、２枚のパネルの間に表示不可能な領域が存在し、連
続した映像または文字を表示しにくい。これに対し、柔
軟性を有するシートを用いた２画面一体型表示装置７０
は、２枚のパネルを１枚のシートで製作するため、図４
に示すように、額縁部分および蝶番などの可動部品を必
要としない。柔軟性を有するシートを用いた２画面一体
型表示装置７０は、２枚のパネルの間には結線のみが存
在し、２枚のパネルがつながっている状態とすることが
できる。また柔軟性を有するシートを用いた２画面一体
型表示装置７０は、２枚のパネルの間で折り曲げること
が容易にできるので、画像を表示させるときは広げて使
用し、画像を表示させる必要がないときは折り畳んでポ
ケットに入れて携帯することが可能である。

【００５９】ロールツーロール方式で生産することによ
って、２画面一体型とするのみでなく、３画面または４
画面などの複数画面一体型表示装置を製造することも可
能である。図５は、４画面一体型マルチスクリーン７１
を示す図である。連続した複数のパネルを結線して共通
回路にすれば、複数のパネルを一括して制御することも
可能である。このようにして、大型の湾曲したマルチス
クリーンを実現できる。また湾曲した小型画面の製品を
製造することも可能である。

【００６０】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、特に転写
体を選ばず、様々な転写体に機能素子を転写することが
可能である。たとえば、機能素子を直接形成することが
できない、あるいは、機能素子を直接形成することが困
難な基板に、機能素子を転写することによって、従来得
られなかった特徴を備えた機能デバイスを形成すること
ができる。特に、透明基板上にＴＦＴを形成した液晶パ
ネルを製造する際に、耐熱性および耐食性などの特性が
優れる耐熱ガラスなどの基板を用いて、機能性薄膜の形
成および加工を行い、有機高分子などの耐衝撃性に優
れ、軽量な基板に機能性薄膜を転写するよって、優れた
信頼性と携帯性とを同時に備えた液晶ディスプレイを容
易に製造することができる。このような利点は、液晶デ
ィスプレイの製造だけでなく、他の平面表示装置または
薄膜集積回路装置などの製造においても、同様に享受さ
れる。

【００６１】また柔軟性を有する転写体を使用すること
によって、たとえば、２画面または３画面などの複数の
画面を一体型で製造し、画面毎に折り畳めるようにすれ
ば、携帯時は畳んでおいて、使用時は、大型画面にする
ことが可能である。将来的には、電子ペーパーの実現が
可能になる。また２画面を一体形成することによって、
１つのゲート基板で２画面の制御が可能になり、部材コ
スト軽減につながる。

【００６２】ロールツーロール方式で機能性パネルを生
産すれば、エッチング工程、実装工程または検査工程な
どの各工程が連続で作業可能となる。ロールツーロール
方式で機能性パネルを生産すれば、工程から工程へのパ
ネルの排出、移送または供給の作業がなくなり、カセッ
トなどの移送手段を必要としないため、設備投資削減ま
たはコストダウンにも効果がある。

【００６３】ロールツーロール方式で機能性パネルを生
産する際に、搬送用のシートを最終形状のパネルシート
にするので、搬送のためだけのシートを必要としない。
搬送完了後にシートを切断してパネルを単体化するの
で、作業効率が上がり、またコストダウンができる。

【００６４】また本発明によれば、携帯モバイルまたは
携帯電話などの情報携帯端末ディスプレイとして、軽く
変形に耐え、落下に対しても破損しない信頼性の高いデ
ィスプレイを製造することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である機能性パネルの製造
方法を用いて液晶パネル３４を製造する場合の工程図で
ある。

【図２】液晶パネル３４の製造工程の中で、ロールツー
ロール方式による工程を示す概略図である。

【図３】機能性パネル６０の製造工程を示す概略図であ
る。

【図４】機能性パネル６０を備える２画面一体型表示装
置７０を示す図である。

【図５】４画面一体型マルチスクリーン７１を示す図で
ある。

【符号の説明】

１，１１基板１ａ，１１ａ薄くなった基板２，１２バリア層３機能素子層１３カラーフィルタ層１０機能素子基板２０カラーフィルタ基板５，１５接着層６ベースシート２５液晶層２６，２９ＵＶシート２７基板２８樹脂３０，３１，３２，３３パネル３４液晶パネル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号ＦＩテーマコート゛(参考）Ｇ０２Ｆ 1/1345 Ｇ０２Ｆ 1/1345 ５Ｇ４３５ 1/1368 1/1368 Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３８Ｇ０９Ｆ 9/00 ３３８３４２３４２Ｚ 9/35 9/35 Ｆターム(参考） 2H088 FA27 FA28 FA30 HA01 HA05 MA20 2H090 HC09 JA07 JA13 JB02 JC01 JC11 JD13 LA04 2H092 MA17 MA35 MA37 NA17 NA27 4K044 AA12 BA12 BA18 CA07 CA13 CA14 5C094 AA15 AA43 BA43 DA02 DA14 EB01 FA04 5G435 AA17 AA18 BB12 EE35 KK05 KK09 KK10

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に機能素子を形成した基板の裏面か
ら厚さを減少させることで基板を薄層化し、前記薄層化
した基板に、柔軟性を有し、薄層化した基板を補強する
補強層を形成することを特徴とする機能素子基板の製造
方法。
【請求項２】機能素子と基板との間に、基板の薄層化
時に機能素子を保護するバリア層を形成することを特徴
とする請求項１記載の機能素子基板の製造方法。
【請求項３】前記バリア層は、金属の酸化物から成る
ことを特徴とする請求項２記載の機能素子基板の製造方
法。
【請求項４】前記基板は、ガラスから成ることを特徴
とする請求項１〜３のいずれか１つに記載の機能素子基
板の製造方法。
【請求項５】前記補強層は、有機高分子から成ること
を特徴とする請求項１〜４のいずれか１つに記載の機能
素子基板の製造方法。
【請求項６】機能素子が表面に形成された基板と他の
基板とを貼り合わせて作製されたパネルの少なくとも一
方の基板を薄層化し、柔軟性を有し、薄層化した基板を
補強するための転写体に転写することを特徴とする機能
性パネルの製造方法。
【請求項７】前記転写体は、帯状のシートであり、シ
ートを送り出しながら順次パネルを貼り付け、洗浄、基
板実装、分断の少なくともいずれかの処理を含む工程
を、パネルを貼り付けたシートを送り出しながら、連続
して行うことを特徴とする請求項６記載の機能性パネル
の製造方法。
【請求項８】機能素子と基板との間に、基板の薄層化
時に機能素子を保護するバリア層を形成することを特徴
とする請求項６または７記載の機能性パネルの製造方
法。
【請求項９】前記バリア層は、金属の酸化物から成る
ことを特徴とする請求項８記載の機能性パネルの製造方
法。
【請求項１０】前記基板は、ガラスから成ることを特
徴とする請求項６〜９のいずれか１つに記載の機能性パ
ネルの製造方法。
【請求項１１】前記転写体は、有機高分子から成るこ
とを特徴とする請求項６〜１０のいずれか１つに記載の
機能性パネルの製造方法。
【請求項１２】シートに貼り付けられた隣り合う２つ
以上のパネルを残してシートを分断することで、複数の
パネルが接続して一体化された機能性パネルを製造する
ことを特徴とする請求項６〜１１のいずれか１つに記載
の機能性パネルの製造方法。
【請求項１３】基板保護またはパネル端子保護のため
に、紫外線の照射によって粘着力が変化する保護フィル
ムを用いることを特徴とする請求項６〜１２のいずれか
１つに記載の機能性パネルの製造方法。