JP2003016776A - メモリセル、記憶回路ブロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法 - Google Patents
メモリセル、記憶回路ブロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法Info
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Abstract
インに流す電流値の低減を図ったメモリセル、記憶回路
ブロック及びデータの書き込み方法を提供することにあ
る。更に、データの読み出し時にスイッチング素子など
の寄生抵抗を低減させるメモリセル、記憶回路ブロック
及びデータの読み出し方法を提供することにある。 【解決手段】 本発明のMRAM10は、メモリセル1
2において第1の配線構造18を隣り合うメモリセル1
2間で接続する第2のスイッチング素子と、第2の配線
構造体20と、を含むように構成した。また、第2の配
線構造体20とアースの間に第3のスイッチング素子を
設けた。
Description
時にビット・ラインに流す電流値の低減を図り、書き込
み回路の設計の自由度を増大させるメモリセル、記憶回
路ブロック及びデータの書き込み方法に関する。更に本
発明は、データの読み出し時にスイッチング素子などの
寄生抵抗を低減させるメモリセル、記憶回路ブロック及
びデータの読み出し方法に関する。
m Access Memory)チップと512ビットのMRAMチ
ップに用いられ、今後も使用されると目される典型的な
1T(Transistor)1MTJ(Magnetic Tunnel Juncti
on)型のメモリセル62を図5に示す。図中のMTJ素
子40は、少なくとも3層の薄いフィルム(磁化の向き
が固定された固定磁性層38、トンネル電流を流すトン
ネルバリアー36、磁界の向きによって磁化の向きを変
える自由強磁性層34の3層がこの順で重ね合わさって
おり、固定磁性層38と自由強磁性層34は逆の配置で
も良い)から成るデータ不揮発性の記憶素子である。
ト・ライン16は、データの書き込み動作及び読み出し
動作用として使用される。MX,V2,M2,V1,M
1,CAより成る第1の配線構造体18を介して、MT
J素子40の一方の磁性層(図5においては固定磁性層
38)とMOSFET24の拡散領域nが、電気的に接
続されている。M1,M2,M3,MXは金属線層を示
している。CA,V1及びV2は、絶縁層に穴(ビア・
ホール)を開け、この穴に導電体を埋め込んだものであ
る。
ックス状に配置された書き込みワード・ライン14とビ
ット・ライン16の交叉部に配置して、メモリセルアレ
イ61を構成することができる。図6に明示されている
ビット・ライン16、メモリセル62、書き込み回路6
4は、同一カラムアドレスの異なるデータビット(デー
タ入出力線)に対応するものであり、従って、これらの
ビット・ライン16には書き込み時に同時に電流が流れ
る。記憶回路ブロック60は、通常、他のカラムアドレ
スに属するメモリセル62、ビット・ライン16なども
含むが、書き込み対象でないカラムアドレスのビット・
ライン16には電流は流れない。なお、記憶回路ブロッ
ク60は、読み出し動作時に使われるビットスイッチな
ども含むが、図6には示されていない。読み出し時に
は、通常、書き込み回路64は、ビット・ライン16と
は電気的に切り離されるように制御される。
24のゲートである読み出しワード・ライン28に電圧
が印加され、MOSFET24がオンになる。MOSF
ET24がオンになると、ビット・ライン16からアー
スまでの電流経路がMTJ素子40を介して形成され
る。MTJ素子40の抵抗は、固定磁性層38の磁化の
向きに対する自由強磁性層32の磁化の向きによって異
なる。MTJ素子40の抵抗値によってMTJ素子40
を流れる電流の値が異なり、この電流あるいはそれを変
換した電圧がMTJ素子40に記憶されたデータとして
読み出される。
みワード・ライン14とビット・ライン16に流れる。
書き込みワード・ライン14とビット・ライン16とに
流れる電流(図6中IWL及びI)によって、それぞれ磁界
が生じる。この2つの磁界は合成され、合成された磁界
によって自由強磁性層34の磁化の向きを決めることが
できる。このように、書き込み電流が流された書き込み
ワード・ライン14とビット・ライン16の交叉部にあ
るメモリセル62が、書き込み動作で選択され、自由強
磁性層34の磁化の向きが決定される。図6に示すよう
に自由強磁性層34の磁化の向きは、ビット・ライン1
6に流れる書き込み電流Iの向きによって異なってい
る。図中の矢印は自由強磁性層34と固定磁気層38の
磁化の向きを示している。自由強磁性層34と固定磁気
層38の磁化の向きが同一であれば、データは「0」で
あり、反対向きであれば「1」である。2次元の選択が
必要ない場合には、書き込みワード・ライン14は必要
ない。
のに大きな電流を流しており、MRAMの大きな問題と
なっている。例えば上述の1KbitのMRAMは、1
0ナノ秒のサイクルタイムと2.5Vの電源電圧で書き
込み動作した場合、約40mWを消費する。言い換えれ
ば、主に書き込みワード・ライン14とビット・ライン
16のために平均16mAの電流が消費されることにな
る。
込み動作と同じ電圧条件とサイクルタイムで読み出し動
作を行った場合、わずか5mWしか必要としない。書き
込み電流の実際の持続期間は2.5ナノ秒程度である。
従って、書き込みワード・ライン14及びビット・ライ
ン16に方形パルス状の電流を流したと仮定した場合、
実際の書き込み電流は約64mAである。
の違いが読み出し信号を生み出している。MOSFET
24はMTJ素子40と直列に接続されているので、M
OSFET24の寄生抵抗が読み出し信号を減少させる
ことになる。MOSFET24がオン状態時のドレイン
・ソース間の抵抗は、キロΩの程度であり、MTJ素子
40の抵抗と同程度である。実際には、MTJ素子40
の抵抗は、寄生抵抗をある程度考慮して、大きめに設計
される。
モリセル62に書き込むための電流は、自由強磁性層3
4の磁化を切り換えるための磁界を生成するためにかな
り大きいものである。従って、ピーク電流は非常に大き
くなり、MRAM内の回路を誤作動させる大きなノイズ
を発生させ得る。図6に示すようにMRAMに従来の書
き込み回路64を使用した構造が使用される場合は、ワ
ード長がnビットであれば、書き込み電流Iはn倍に増
大し、この大きな電流で生成されたノイズは、書き込み
動作時に誤動作を起こしやすく、MRAMの書き込み動
作そのものが極めて困難になる可能性がある。
メモリセル62内の選択用MOSFET24と第1の配
線構造体18及びMOSFET24とアース間の配線の
寄生抵抗のために減少する。
は、データの書き込み時にビット・ラインに流す電流値
の低減を図り、書き込み回路の設計の自由度を増すこと
を狙ったメモリセル、記憶回路ブロック及びデータの書
き込み方法を提供することにある。更に本発明の目的
は、データの読み出し時にスイッチング素子などの寄生
抵抗を低減させるメモリセル、記憶回路ブロック及びデ
ータの読み出し方法を提供することにある。
旨は、第1のビット・ラインと、該第1のビット・ライ
ンに接続され、少なくとも該第1のビット・ラインに流
れる電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の
向きが決定される強磁性体の層を含む記憶素子と、第1
のスイッチング素子と、該第1のビット・ラインとで該
記憶素子を挟み、該記憶素子と該第1のスイッチング素
子とを接続する第1の配線構造体と、を含むメモリセル
であって、前記第1の配線構造体に接続された第2の配
線構造体と、メモリセルの外部回路とメモリセルとを接
続するための第2のスイッチング素子と、を含む。第1
の配線構造体と第2の配線構造体は、第2のスイッチン
グ素子がオンのとき、第2のビット・ラインとして働
く。外部回路は、他のメモリセルや書き込み電流を流す
書き込み回路を含む。
ラインと、少なくとも該第1のビット・ラインに流れる
電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の向き
が決定される強磁性体の層を含み、該強磁性体の層の磁
化の向きによって電気抵抗が変化する記憶素子と、第1
のスイッチング素子と、該ビット・ラインとで該記憶素
子を挟み、該記憶素子と該第1のスイッチング素子を接
続する第1の配線構造体と、を含むメモリセルであっ
て、前記第1の配線構造体に接続された第2の配線構造
体と、前記第1のスイッチング素子と並列になるように
前記第2の配線構造体に接続された第3のスイッチング
素子と、を含む。
の上記メモリセルを含む記憶回路ブロックであって、複
数のワード・ラインと複数の第1のビット・ラインとが
マトリックス状に配置され、その交叉部に上記のメモリ
セルが配置される。特別な場合として、ワード・ライン
または第1のビット・ラインが1本の場合を含む。即ち
記憶回路ブロックは、1列に並んだメモリセルのワード
・ライン同士または第1のビット・ライン同士を接続
し、メモリセルを1次元配列にした場合と、ワード・ラ
インと第1のビット・ラインがマトリックス状になっ
て、その交叉部にメモリセルを配置し、メモリセルを2
次元配列にした場合がある。
のビット・ラインが1本の場合の記憶回路ブロックは、
第1のビット・ラインまたは第2のビット・ラインに書
き込み電流を流す書き込み回路と、書き込み回路に接続
され、第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライ
ンを選択するスイッチと、を含む。
憶回路ブロックは、同一カラムアドレスに属し異なるデ
ータビットに対応するビット・ライン(第1のビット・
ラインと第2のビット・ライン)について、それぞれ選
択されたメモリセルに書き込むデータに応じて、第1の
ビット・ラインまたは第2のビット・ラインを選択し、
選択された第1のビット・ライン同士、第2のビット・
ライン同士、または第1のビット・ラインと第2のビッ
ト・ラインを直列に接続する第1のスイッチと、ビット
・ラインに電流を流す書き込み回路と、上記書き込み回
路を直列接続されたビット・ラインの一端に接続する第
2のスイッチと、上記書き込み回路に対応する回路と、
その回路を直列接続されたビット・ラインの他端に接続
する第3のスイッチと、を含む。
上記のメモリセルを含んだ記憶回路ブロックのデータの
書き込み方法であって、記憶するデータに従って、第1
のビット・ラインまたは第2のビット・ラインを選択す
るステップと、選択された第1のビット・ラインまたは
第2のビット・ラインに書き込み電流を流すステップ
と、を含むことにある。更に、ビット・ラインの書き込
み電流の向きを決めるステップを含めても良い。ただ
し、使用するビット・ライン(第1のビット・ラインま
たは第2のビット・ライン)とビット・ラインの書き込
み電流の向きは一方を決めれば、他方は、書き込むべき
データによって自動的に決まる。ここで、第2のビット
・ラインが選択された場合は、メモリセル内の第2のス
イッチング素子はオンにする。
の要旨は、複数のメモリセルを含んだ記憶回路ブロック
におけるデータの書き込み方法において、データを書き
込むべきメモリセルを選択するステップと、選択された
メモリセルに記憶させるデータにしたがって、第2のス
イッチを介して書き込み回路に接続される第1のビット
・ラインまたは第2のビット・ラインを選択するステッ
プと、選択されたメモリセルに記憶させるデータにした
がって、書き込み電流を流す第1のビット・ラインまた
は第2のビット・ラインを第1のスイッチによって選択
するステップと、書き込み回路に対応する回路に接続さ
れる第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライン
を第3のスイッチによって選択するステップと、直列接
続された第1のビット・ラインまたは第2のビット・ラ
インに書き込み回路から書き込み電流を流すステップ
と、を含む。更に、ビット・ラインの書き込み電流の向
きを決めるステップを含めても良い。ただし、使用する
ビット・ライン(第1のビット・ラインまたは第2のビ
ット・ライン)とビット・ラインの書き込み電流の向き
は一方を決めれば、他方は、書き込むべきデータによっ
て自動的に決まる。ここで、第2のビット・ラインが選
択された場合は、メモリセル内の第2のスイッチング素
子はオンにする。
は、複数のメモリセルを含んだ記憶回路ブロックにおけ
るデータの書き込み方法において、データを書き込むべ
きメモリセルを選択するステップと、選択されたメモリ
セルに記憶させるデータにしたがって、書き込み電流を
流す第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライン
を選択するステップと、選択するステップによって選択
された第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライ
ンに書き込み回路から書き込み電流を流すステップと、
を含む。更に、ビット・ラインの書き込み電流の向きを
決めるステップを含めても良い。ただし、使用するビッ
ト・ライン(第1のビット・ラインまたは第2のビット
・ライン)とビット・ラインの書き込み電流の向きは一
方を決めれば、他方は、書き込むべきデータによって自
動的に決まる。ここで、第2のビット・ラインが選択さ
れた場合は、メモリセル内の第2のスイッチング素子は
オンにする。
メモリセル内に第3のスイッチング素子を設けたメモリ
セルを用いたデータの読み出し方法であって、第1のス
イッチング素子と第3のスイッチング素子を同時にオン
にするステップと、第1のビット・ラインに読み出し電
流を流して記憶素子に記憶されているデータの信号を読
み出すステップと、を含む。
のワード・ラインと複数の第1のビット・ラインとがマ
トリックス状に配置され、その交叉部に上記の第3のス
イッチング素子を含んだメモリセルを有する記憶回路ブ
ロックにおけるデータの読み出し方法において、データ
の読み出しを行うメモリセルを選択するステップと、選
択された前記メモリセルの前記第1のスイッチング素子
と第3のスイッチング素子のそれぞれを同時にオンにす
るステップと、選択された前記メモリセルの前記第1の
ビット・ラインに読み出し電流を流して該記憶素子に記
憶されたデータを読み出すステップと、を含む。
ロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方
法の実施の形態について図面を基に説明する。
1のビット・ライン16と、第1のビット・ライン16
に接続され、少なくとも第1のビット・ライン16に流
れる電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の
向きが決定される強磁性体の層を含む記憶素子40と、
第1のスイッチング素子24と、第1のビット・ライン
16とで記憶素子40を挟む第1の配線構造体18を含
む。第1の配線構造体18は、第1のスイッチング素子
24の一端に接続されている。
子40を使用している。MTJ素子40は、磁化の向き
が固定された強磁性体の層である固定磁性層38、トン
ネル電流を流す絶縁体の層であるトンネルバリアー3
6、磁界の向きによって磁化の向きが変化する強磁性体
の層である自由強磁性層34よりなる。固定磁性層38
と自由強磁性層34とは互いに逆の配置にしても良い。
うに、MTJ素子40と第1のスイッチング素子24を
接続するための第1の配線構造体18を構成するMX層
の金属線を延長し、その延長部分である第2の配線構造
体20を設けている。言い換えると、第1の配線構造体
18とMTJ素子40との接合部付近において、第1の
配線構造体18に第2の配線構造体20を接続してい
る。
と外部回路とを接続する第2のスイッチング素子26を
設けている。外部回路が他のメモリセル12の場合、第
2のスイッチング素子は、隣り合うメモリセル12の第
1の配線構造体18同士、第2の配線構造体同士または
第1の配線構造体18と第2の配線構造体20を接続す
るために機能する。
グ素子24及び第2のスイッチング素子26はMOSF
ETを使用している。MOSFET以外のスイッチング
素子を使用することも可能である。第1の配線構造体1
8及び第2の配線構造体20は、金属線層M1,M2,
M3,MXと、それを接続するCA,V1,V2とで構
成される。CA,V1及びV2は、絶縁層に穴を開け、
この穴に導電体を埋め込んだものである。第1の配線構
造体18は第1のスイッチング素子24のドレイン領域
に接続される。以上よりメモリセル12は複数の層が積
層された構造である。
れぞれ第1のスイッチング素子24の他端(MOSFE
Tを使用した場合、ソース領域)とアースに接続され
る。
ッチング素子24と第2のスイッチング素子26は絶縁
領域32によって区切られている。第1および第2のス
イッチング素子24,26がMOSFETの場合、図中
PCはMOSFETのゲートである。第1のスイッチン
グ素子24のゲートは、読み出しワード・ライン28で
ある。
3で構成される。図1の第1の配線構造体18、第2の
配線構造体20及び第2のMOSFET26で構成され
る電気経路を第2のビット・ラインとする。第1のビッ
ト・ライン16はMTJ素子40の自由強磁性層34に
接続されている。第2のビット・ラインはMTJ素子4
0の固定磁性層38に接続されている。なお、固定磁性
層38に第1のビット・ライン16が接続され、自由強
磁性層34に第2のビット・ライン44が接続されても
良い。
ット・ライン)に流れて生成される磁界は、第1のビッ
ト・ライン16に流れる書き込み電流によって生成され
る磁界と同じくらいの磁界の強さである。第1のビット
・ライン16と第2のビット・ラインに流れる書き込み
電流の向きが同じ場合、それぞれの書き込み電流によっ
て、MTJ素子40の位置に生成される磁界の向きは逆
向きになる。従って、選択されたメモリセル12に書き
込まれるデータに基づいて、第1のビット・ライン18
または第2のビット・ラインの内の1本を選択的に使用
できる。即ち、第1のビット・ライン16と第2のビッ
ト・ラインを選択することによって、書き込み電流の向
きを変えられるので、メモリセルアレイ11や周辺回路
の設計の自由度が増す。
を構成することができる。記憶回路ブロックの構成は、
第1のビット・ライン16または第2のビット・ライン
に書き込み電流を流す書き込み回路と、この書き込み回
路に接続され、第1のビット・ライン16または第2の
ビット・ラインを選択するスイッチと、を含んで構成す
る。
ロックのデータの書き込み法について説明する。メモリ
セル12に書き込むデータの値に従って、書き込み電流
を流す第1のビット・ライン16または第2のビット・
ラインを選択する。書き込みワード・ライン14と選択
されたビット・ラインに書き込み電流を流すことによっ
て、それぞれに磁界が生じる。それぞれに生じた磁界が
合成され、合成された磁界の向きによってMTJ素子4
0の自由強磁性層34の磁化の向きが変えられる。この
ことによって、データの書き込みが終了する。
ト・ラインが選択された場合、第2のスイッチング素子
26をオンにする。また、ビット・ラインに流す書き込
み電流の向きを決めた後、それに応じて適切なビット・
ラインを選択することも可能である。
ロックを構成することも可能である。図2に示すように
本発明の記憶回路ブロック10のメモリアレイ11は、
複数のワード・ライン(書き込みワード・ライン14と
読み出しワード・ライン28)と複数のビット・ライン
(第1のビット・ライン16と第2のビット・ライン4
4)とがマトリックス状に構成されている。その交叉部
にメモリセル12が配置されている。言い換えると、同
じカラム・アドレスに属するメモリセル12が第1のビ
ット・ライン16で接続され、且つ第2のスイッチング
素子26を介して接続されている。同じロウ・アドレス
に属するメモリセル12は、ワード・ラインによって接
続されている。図中の矢印は、MTJ素子40の自由強
磁性層34と固定磁性層36の磁化の向きを示してい
る。特別な場合として、ワード・ラインまたはビット・
ラインが1本の場合でも良い。図2においては、同一カ
ラムアドレスに属するビット・ラインとメモリセル12
のみ明示しているが、記憶回路ブロック10は、他のカ
ラムアドレスに属するメモリセル12やビット・ライン
16を含んでも良い。
・ライン16同士、第2のビット・ライン44同士、ま
たは第1のビット・ライン16と第2のビット・ライン
44は、第1のスイッチ42b,42c,42dによっ
て互いに連続して直列接続される。直列接続された第1
のビット・ライン16と第2のビット・ライン44によ
って電流経路が形成されている。第2のビット・ライン
44が選択された場合は、メモリセル内の第2のスイッ
チング素子はオンとなるように制御するが、ライトサイ
クルでは選択または非選択にかかわらず、メモリセル内
の第2のスイッチング素子はオンにしても良い。ここ
で、第1のスイッチによって、互いに接続されるビット
・ラインは、通常、同じカラムアドレスの異なるデータ
ビット(データ入出力線)に対応するものである。
が第2のスイッチ42aを介して書き込み回路46に接
続される。また、電流経路の他端は、第3のスイッチ4
2eを介してアースなどの、書き込み回路46と対応し
て動作する回路に接続される。
めに、選択されたビット・ライン(第1のビット・ライ
ン16または第2のビット・ライン44)が接続され、
書き込み回路46からアースまで1本の電流経路が形成
される。即ち、選択されたビット・ラインは、スイッチ
42b,42c,42dによって電気的に直列に接続さ
れる。スイッチ42a,42b,42c,42d,42
eは、選択されたメモリセル12に書き込まれるデータ
に基づいて制御される。選択されなかった未使用のビッ
ト・ラインはオープンのままである。
第2のスイッチ42a及び第3のスイッチ42eは、M
OSFETで構成できる。
etic Random Access Memory)マクロ、MRAMチップ
及びロジックLSIチップに使用可能である。
ータの書き込み方法について説明する。データの書き込
みを行うメモリセル12を選択する。書き込み動作の際
には、第1のビット・ライン16または第2のビット・
ライン44の内の1本が、スイッチ42a,42b,4
2c,42d,42eによって選択される。この選択
は、メモリセル12に書き込まれるデータ値(「1」ま
たは「0」)に従って選択が行われ、データ値に合った
磁界の向きを生成する書き込み電流を通過させる。な
お、メモリセル12の選択を行う際、書き込みワード・
ライン14の選択も行われ、選択されたビット・ライン
に書き込み電流が流れると同時に、書き込みワード・ラ
イン14にも書き込み電流が流れる。選択されたビット
・ラインと書き込みワード・ライン14に流れる電流に
よって生成される合成磁界によって、メモリセル12に
データが書き込まれる。
ット・ラインが選択された場合、当然、第2のスイッチ
ング素子26をオンにする。また、書き込み電流の向き
を予め選択して、それに応じて適切なビット・ラインを
選ぶことも可能である。
ライン14にIWLの書き込み電流が流され、このワード
・ライン14に付随するメモリセル12が選択され、更
に各スイッチ42a,42b,42c,42d,42e
によってビット・ラインが選択されている。選択された
ビット・ライン(第1のビット・ライン16または第2
のビット・ライン44)とそのビット・ラインを流れる
書き込み電流の向きによって、図2に示すように書き込
まれるデータが異なっている。図2において、ビット・
ラインに流れる書き込み電流が上方から下方に流れる場
合、第1のビット・ライン16に書き込み電流が流れる
と「1」がメモリセル12に書き込まれ、第2のビット
・ライン44に書き込み電流が流れると「0」がメモリ
セル12に書き込まれる。なお、第2のビット・ライン
44に書き込み電流を流す場合、第2のスイッチング素
子26をオンにする。書き込み電流が下方から上方に流
れる場合、第1のビット・ライン16にライト電流が流
れると「0」がメモリセル12に書き込まれ、第2のビ
ット・ライン44に書き込み電流が流れると「1」がメ
モリセル12に書き込まれる。
ト・ラインによってMTJ素子40に書き込まれるデー
タが異なるのは、MTJ素子40に対する第1のビット
・ライン16及び第2のビット・ライン44の位置が、
MTJ素子40に対して正反対の位置にあり、MTJ素
子40に対して磁界の向きが、全く正反対になるからで
ある。
では各ビット・ライン16に電流が流れるため、書き込
むデータ長がnビットであれば、全書き込み電流はn×
Iであるが、本発明のMRAM10では第1のビット・
ライン16または第2のビット・ライン44を選択し
て、選択されたビット・ラインが1本に接続されるた
め、書き込み電流は、従来の1/nにあたるIに減少す
る。書き込み電流はパルス電流であるので、ノイズ・レ
ベルも第1近似で1/nに減少する。
セル12の第1のスイッチング素子24をオンにするこ
とによって、第1の配線構造体18が第1のスイッチン
グ素子24を介してアースに接続される。このとき第2
のスイッチング素子26はオフにし、隣接するメモリセ
ル12の第1の配線構造体18同士、第2の配線構造体
20同士、または第1の配線構造体18と第2の配線構
造体20は接続されない。また、従来と同様、各ビット
・ラインがビットスイッチを介してセンスアンプなどの
読み出し回路に接続される。このとき、ビット・ライン
同士や書き込み回路をつなぐスイッチ42a,42b,
42c,42d,42eは開放状態である。第1のスイ
ッチング素子24をオンにした状態で、第1のビット・
ライン18に電流を流してMTJ素子40に流れる電流
か端子電圧を検出し、これからMTJ素子40に記憶さ
れたデータが「0」であるか「1」であるか判定する。
これは、MTJ素子40の自由強磁性層34と固定磁性
層38との磁化の相対的向きによって、MTJ素子40
の抵抗値が異なる性質を利用している。
ットのビット・ライン(第1のビット・ライン16また
は第2のビット・ライン44)を1本に接続し、データ
を書き込むことができる。従来の記憶回路ブロック60
のデータの書き込み方法と比較して、1本の書き込みワ
ード・ライン14にデータワード内のnビットを付属さ
せた場合、書き込み電流は1/nに減少する。書き込み
電流はパルス電流である。パルス電流は、電流の変化
(dI/dt)が大きく、ノイズが発生しやすい。従っ
て、書き込み電流を減少することによって、ノイズ・レ
ベルも書き込み電流の減少にほぼ比例して減少する。
て、電源回路をより小さくシンプルにすることができ
る。これは、製品の小型及び薄型化に有効である。ま
た、メモリセル12は必ずしも図2のように接続する必
要はなく、選択されるビット・ラインと書き込み電流の
向きを、設計者が選択することができるので、回路設計
に融通性がある。
換えるために追加された第2のビット・ライン44に流
れる電流によって生成される磁界は、既存の第1のビッ
ト・ライン16に流れる電流によって生成される磁界と
同じくらいの強さである。第1のビット・ライン16ま
たは第2のビット・ライン44に流れる電流の向きによ
って磁界の向きが決まり、MTJ素子40に書き込むデ
ータが決定される。
3に示すように拡張することが容易である。図3でメモ
リセル52中には、データ読み出し時に別の電流経路を
形成する機構として、図1のメモリセル12の絶縁領域
32部分の代わりに第3のスイッチング素子54を設け
ている。第3のスイッチング素子54は第1のスイッチ
ング素子24と並列、且つ第2の配線構造体20に接続
されている。この第3のスイッチング素子54はMOS
FETを使用することができる。この場合のMOSFE
Tのゲート56は、読み出しワード・ライン28と共通
の節点になっている。
子24と第3のスイッチング素子54は、それぞれのゲ
ート28,56が接続されることによって、読み出しワ
ード・ラインとして電気的に1本化された構成になって
いる。データの読み出し動作時に2つのスイッチング素
子24,54をオンにすることによって、メモリセル5
2内のスイッチング素子などによる寄生抵抗がほぼ半分
に減少する。詳しく述べると、第1の配線構造体18や
第1のスイッチング素子24からなる電流経路がRの電
気抵抗を有し、第2の配線構造体20や第3のスイッチ
ング素子54からなる電流経路が同じRの抵抗を有する
と仮定すると、図4に示すように並列になっているの
で、合計の抵抗はR/2に減少する。MTJ素子40が同
じ抵抗Rを有し、各MTJ素子40の抵抗の磁化の向き
による違いが△Rで表される場合、読み出し信号は△R
/(2R)から、2△R/(3R)に、約33%増加
し、メモリセル52からのデータ読み出しのノイズ耐性
が増大する。この信号の増加をセンスアンプの簡単化や
読み出しの高速化に利用することができる。
ロックを構成することができる。その記憶回路ブロック
は、第1のビット・ライン16または第2のビット・ラ
インに書き込み電流を流す書き込み回路と、書き込み回
路に接続されて、第1のビット・ライン16または第2
のビット・ラインを選択するスイッチと、を含む。ま
た、第1のビット・ライン16は、ビットスイッチを介
してセンスアンプなどの読み出し回路に接続されるよう
に構成される。
データの読み出し方法について説明する。第1のスイッ
チング素子24と第3のスイッチング素子54を同時に
オンにする。このことによって、第1のビット・ライン
16からアースまでの電気経路が形成される。更に、第
1のビット・ライン16に読み出し電流を流すことによ
って、読み出し回路でMTJ素子40に記憶されている
データの信号を読み出すことができる。
データの書き込み方法は、図1のメモリセル12と同様
である。
ブロック10のメモリセル12と代えることができる。
図2と同様に、特別な場合として、ワード・ラインまた
はビット・ラインが1本の場合でも良い。また、第1の
ビット・ライン16は、ビットスイッチを介してセンス
アンプなどの読み出し回路に接続されるように構成され
る。
ックのデータの読み出し方法について説明する。基本的
には、図2の記憶回路ブロック10での読み出し動作と
同じであるが、異なるのは、データの読み出しをおこう
メモリセル52を選択した後、そのメモリセル52の第
1のスイッチング素子24と同時に第3のスイッチング
素子54をオンにする。図4に示すように第1のスイッ
チング素子24と第3のスイッチング素子54が並列に
接続されているため、MTJ素子40からアースまでの
電流経路は2本形成され、2本の電流経路が並列になっ
ている。
は2本形成され、2本の電流経路が並列になったことに
よって、メモリセル52内のスイッチング素子などによ
る寄生抵抗が半分に減少している。上記に示したよう
に、データ読み出しのノイズ耐性が増大し、この信号の
増加をセンスアンプの簡単化や読み出しの高速化に利用
することができる。
操作は、第1のスイッチング素子24と第3のスイッチ
ング素子54をオフにすることによって、図2に示した
記憶回路ブロック10と同じになり、図1に示したメモ
リセル12を使用した場合と同様の動作が可能になって
いる。MTJ素子40に比べてMOSFETの占有面積
は小さいので、MOSFET54を追加することによる
面積の増加は小さい。
26を絶縁領域にかえてリード時の寄生抵抗低下の効果
のみを得ることも可能である。
ブロック、データの読み出し方法及び書き込み方法の概
念は、記憶素子にGMR(Giant Magnetoresistive)素
子を使用したMRAMのメモリセルを始めとする他のM
RAMに適用され得る。
ような2次元配列のメモリセルアレイとして使用するだ
けでなく、メモリセルを1次元に配列し、ロジックLS
Iの1次元配列の記憶回路ブロック、例えば8ビットの
レジスタなどに使用することができる。
6または第2のビット・ライン44をスイッチ42a,
42b,42c,42d,42eを介して接続して電流
経路を形成せずに、第1のビット・ライン16と第2の
ビット・ライン44の両端または一端に、第1のビット
・ライン16または第2のビット・ライン44を選択す
るスイッチを介して書き込み回路46を設けることが可
能である。図1のメモリセル12を図3のメモリセル5
2に置き換えた場合も同様である。一端に書き込み回路
を設けた場合、他端にそれと対応する回路を接続する。
最も簡単な場合は、アースに接続することになる。
データを書き込むメモリセルを選択する。選択されたメ
モリセル12,52へ書き込むデータに従って、第1の
ビット・ライン16または第2のビット・ライン44を
選択する。選択されたビット・ラインに書き込み電流を
流すことによって、メモリセル12,52にデータを書
き込む。なお、メモリセル12,52を選択したことに
よって、書き込み電流を流す書き込みワード・ライン1
4も選択し、ビット・ラインに書き込み電流を流すと同
時に、書き込みワード・ライン14にも書き込み電流を
流す。当然、第2のビット・ライン44が選択された場
合、第2のスイッチング素子26をオンにする。また、
書き込み電流を流す向きを先ず選択し、それに応じて第
1のビット・ライン16か第2のビット・ライン44を
選択することも可能である。
で、書き込みに関わる回路の設計の自由度が大きくな
り、それによって、チップ面積を小さくできる可能性が
開ける。また、メモリセルを上下に重ねた場合などに、
干渉の起こりにくい方のビット・ラインを選択できるな
どの利点が生まれる。
ック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法
について説明したが、本発明はこれらに限定されるもの
ではない。本発明はその趣旨を逸脱しない範囲で当業者
の知識に基づき種々なる改良,修正,変形を加えた態様
で実施できるものである。
時にデータを書き込む際に、第1のビット・ラインと第
2のビット・ラインを直列に接続することができるた
め、書き込み電流を従来のメモリセルと比較して低減す
ることができた。従って、ノイズが減り、また、電流駆
動回路を小型化できる。ノイズが減ることにより回路動
作が安定になる。
インのいずれかを選択することにより、書き込み電流の
向きを選択することができるので、書き込み回路の設計
や配置の自由度が増す。
3のスイッチング素子を設けた場合、読み出し動作時に
メモリセル内のスイッチング素子などによる寄生抵抗を
削減することが可能である。
る回路構成を示す図である。
ある。
回路構成を示す図である。
Claims (40)
- 【請求項1】 第1のビット・ラインと、前記第1のビ
ット・ラインに接続され、少なくとも該第1のビット・
ラインに流れる電流によって生成される磁界の向きに応
じて磁化の向きが決定される強磁性体の層を含む記憶素
子と、第1のスイッチング素子と、前記第1のビット・
ラインとで前記記憶素子を挟み、該記憶素子と該第1の
スイッチング素子とを接続する第1の配線構造体と、前
記第1の配線構造体に接続された第2の配線構造体と、
前記第1の配線構造体または前記第2の配線構造体をメ
モリセルの外部回路と接続するための第2のスイッチン
グ素子と、を含むメモリセル。 - 【請求項2】 前記第2のスイッチング素子が、隣り合
うメモリセルの前記第1の配線構造体同士、前記第2の
配線構造体同士、または該第1の配線構造体と該第2の
配線構造体を接続する請求項1に記載のメモリセル。 - 【請求項3】 前記記憶素子がMTJ(Magnetic Tunne
l Junction)素子である請求項1または2に記載のメモ
リセル。 - 【請求項4】 前記第1の配線構造体、前記第2の配線
構造体及び前記第2のスイッチング素子が第2のビット
・ラインの一部である請求項1乃至3に記載のメモリセ
ル。 - 【請求項5】 前記第1及び第2のスイッチング素子が
それぞれ第1及び第2のMOSFETである請求項1乃
至4に記載のメモリセル。 - 【請求項6】 メモリセル内において、第1のMOSF
ETと第2のMOSFETが絶縁領域で分離されている
請求項5に記載のメモリセル。 - 【請求項7】 請求項4乃至6に記載のメモリセルと、
前記第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライン
に書き込み電流を流す書き込み回路と、前記書き込み回
路に接続され、前記第1のビット・ラインまたは第2の
ビット・ラインを選択するスイッチと、を含む記憶回路
ブロック。 - 【請求項8】 請求項4乃至6に記載のメモリセルを複
数個含む記憶回路ブロックであって、隣り合うメモリセ
ルが前記第1のビット・ラインで接続され、且つ前記第
2のスイッチング素子を介して接続されている記憶回路
ブロック。 - 【請求項9】 ワード・ラインと、第1のビット・ライ
ンと、複数の前記ワード・ラインと複数の前記第1のビ
ット・ラインとがマトリックス状に配置され、その交叉
部に配置された請求項4乃至6に記載のメモリセルと、
を含む記憶回路ブロック。 - 【請求項10】 前記第1のビット・ラインまたは第2
のビット・ラインを選択するための第1のスイッチと、
前記第1のスイッチによって同一カラムアドレスに属す
る前記第1のビット・ライン同士、前記第2のビット・
ライン同士、または該第1のビット・ラインと該第2の
ビット・ラインとが直列接続されて形成される電流経路
と、前記電流経路に書き込み電流を流すための書き込み
回路と、前記書き込み回路と対応して動作する回路と、
前記電流経路の一端と前記書き込み回路とを接続する第
2のスイッチと、前記電流経路の他端と前記書き込み回
路と対応して動作する回路とを接続する第3のスイッチ
と、を含む請求項9に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項11】 前記書き込み回路に対応する回路がア
ースである請求項10に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項12】 前記第1のスイッチ、第2のスイッチ
及び第3のスイッチがMOSFETで構成される請求項
10または11に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項13】 前記第1のビット・ラインと前記第2
のビット・ラインの両端または一端に接続された該第1
のビット・ラインと第2のビット・ラインを選択するス
イッチと、該スイッチに接続された書き込み回路と、を
含む請求項8または9に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項14】 第1のビット・ラインと、少なくとも
前記第1のビット・ラインに流れる電流によって生成さ
れる磁界の向きに応じて磁化の向きが決定される強磁性
体の層を含み、該強磁性体の層の磁化の向きによって電
気抵抗が変化する記憶素子と、第1のスイッチング素子
と、前記第1のビット・ラインとで前記記憶素子を挟
み、該記憶素子と該第1のスイッチング素子を接続する
第1の配線構造体と、前記第1の配線構造体に接続され
た第2の配線構造体と、前記第1のスイッチング素子と
並列に接続され、且つ前記第2の配線構造体に接続され
た第3のスイッチング素子と、を設けたメモリセル。 - 【請求項15】 前記記憶素子がMTJ(Magnetic Tun
nel Junction)素子である請求項14に記載のメモリセ
ル。 - 【請求項16】 前記第1の配線構造体または前記第2
の配線構造体をメモリセルの外部回路と接続するための
第2のスイッチング素子を含む請求項14または15に
記載のメモリセル。 - 【請求項17】 隣り合うメモリセルの前記第1の配線
構造体同士、前記第2の配線構造体同士、または該第1
の配線構造体と第2の配線構造体を前記第2のスイッチ
ング素子が接続する請求項16に記載のメモリセル。 - 【請求項18】 前記第1の配線構造体、前記第2の配
線構造体及び前記第2のスイッチング素子が第2のビッ
ト・ラインの一部である請求項16または17に記載の
メモリセル。 - 【請求項19】 前記第1、及び第3のスイッチング素
子がそれぞれ第1、及び第3のMOSFETである請求
項14乃至18に記載のメモリセル。 - 【請求項20】 前記第2のスイッチング素子が第2の
MOSFETである請求項16乃至19に記載のメモリ
セル。 - 【請求項21】 請求項18乃至20に記載のメモリセ
ルと、前記第1のビット・ラインまたは第2のビット・
ラインに書き込み電流を流す書き込み回路と、前記書き
込み回路に接続され、前記第1のビット・ラインまたは
第2のビット・ラインを選択するスイッチと、を含む記
憶回路ブロック。 - 【請求項22】 請求項16乃至20に記載のメモリセ
ルを複数個含む記憶回路ブロックであって、隣り合うメ
モリセルが前記第1のビット・ラインで接続され、且つ
前記第2のスイッチング素子を介して接続されている記
憶回路ブロック。 - 【請求項23】 ワード・ラインと、第1のビット・ラ
インと、複数の前記ワード・ラインと複数の前記第1の
ビット・ラインとがマトリックス状に配置され、その交
叉部に配置された請求項18乃至20のメモリセルと、
を含む記憶回路ブロック。 - 【請求項24】 前記第1のビット・ラインまたは第2
のビット・ラインを選択するための第1のスイッチと、
前記第1のスイッチによって同一カラムアドレスに属す
る前記第1のビット・ライン同士、前記第2のビット・
ライン同士、または該第1のビット・ラインと該第2の
ビット・ラインとが直列接続されて形成される電流経路
と、前記電流経路に書き込み電流を流すための書き込み
回路と、前記書き込み回路に対応して動作する回路と、
前記電流経路の一端と前記書き込み回路とを接続する第
2のスイッチと、前記電流経路の他端と前記書き込み回
路と対応して動作する回路とを接続する第3のスイッチ
と、を含む請求項23に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項25】 前記書き込み回路に対応する回路がア
ースである請求項24に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項26】 前記第1のスイッチ、第2のスイッチ
及び第3のスイッチがMOSFETで構成される請求項
24または25に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項27】 前記第1のビット・ラインと前記第2
のビット・ラインの両端または一端に接続されたスイッ
チと、該スイッチに接続された書き込み回路と、を設け
た請求項22または23に記載の記憶回路ブロック。 - 【請求項28】 請求項14乃至20に記載のメモリセ
ルと、前記記憶素子に記憶されたデータを読み出すため
の読み出し回路と、前記第1のビット・ラインと前記読
み出し回路とを接続するビットスイッチと、を含む記憶
回路ブロック。 - 【請求項29】 縦横または一列に配置された複数個の
請求項14乃至20に記載のメモリセルと、前記記憶素
子に記憶されたデータを読み出すための読み出し回路
と、前記第1のビット・ラインと前記読み出し回路とを
接続するビットスイッチと、を含む記憶回路ブロック。 - 【請求項30】 請求項1乃至6または請求項18乃至
20に記載のメモリセルを含む記憶回路ブロックのデー
タの書き込み方法であって、第1のビット・ラインまた
は第2のビット・ラインを選択するステップと、選択し
た前記第1のビット・ラインまたは前記第2のビット・
ラインに書き込み電流を流すステップと、を含むデータ
の書き込み方法。 - 【請求項31】 前記選択するステップで、前記第2の
ビット・ラインが選択された場合、前記第2のスイッチ
ング素子をオンにするステップを含む請求項30に記載
のデータの書き込み方法。 - 【請求項32】 前記書き込み電流を流す向きを選択す
るステップを含む請求項30または31に記載のデータ
の書き込み方法。 - 【請求項33】 複数のワード・ラインと複数の第1の
ビット・ラインとがマトリックス状に配置され、その交
叉部において少なくとも第1のビット・ラインに流れる
電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の向き
が決定される強磁性体の層を含む記憶素子、第1のスイ
ッチング素子、該ビット・ラインとで該記憶素子を挟
み、該記憶素子と該第1のスイッチング素子を接続する
第1の配線構造体、及び該第1の配線構造体に接続され
た第2の配線構造体を含んだメモリセルと、隣り合うメ
モリセルの前記第1の配線構造体同士、前記第2の配線
構造体同士または該第1の配線構造体と第2の配線構造
体を接続する第2のスイッチング素子と、該第1の配線
構造体、第2の配線構造体及び第2のスイッチング素子
で第2のビット・ラインを形成し、該第1のビット・ラ
インまたは第2のビット・ラインを選択し、同一カラム
アドレスに属する該第1のビット・ライン同士、該第2
のビット・ライン同士または該第1のビット・ラインと
第2のビット・ラインとを直列接続する第1のスイッチ
と、前記第1のスイッチによって同一カラムアドレスに
属する前記第1のビット・ライン同士、前記第2のビッ
ト・ライン同士、または該第1のビット・ラインと該第
2のビット・ラインとが直列接続されて形成される電流
経路と、前記電流経路に書き込み電流を流すための書き
込み回路と、前記書き込み回路に対応して動作する回路
と、前記電流経路の一端と前記書き込み回路とを接続す
る第2のスイッチと、前記電流経路の他端と前記書き込
み回路と対応して動作する回路とを接続する第3のスイ
ッチと、を含んだ記憶回路ブロックを使用したデータの
書き込み方法において、データを書き込むメモリセルを
選択するステップと、選択された前記メモリセルに記憶
させるデータにしたがって、前記第2のスイッチを介し
て書き込み回路に接続される第1のビット・ラインまた
は第2のビット・ラインを選択するステップと、選択さ
れたメモリセルに記憶させるデータにしたがって、書き
込み電流を流す該第1のビット・ラインまたは第2のビ
ット・ラインを前記第1のスイッチによって選択するス
テップと、前記書き込み回路に対応する回路に接続され
る前記第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライ
ンを前記第3のスイッチによって選択するステップと、
直列接続された前記第1のビット・ラインまたは第2の
ビット・ラインに前記書き込み回路から書き込み電流を
流すステップと、を含むデータの書き込み方法。 - 【請求項34】 前記第2のスイッチを介して書き込み
回路に接続される第1のビット・ラインまたは第2のビ
ット・ラインを選択するステップ、前記書き込み電流を
流す該第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライ
ンを前記第1のスイッチによって選択するステップ、及
び/または前記書き込み回路に対応する回路に接続され
る前記第1のビット・ラインまたは第2のビット・ライ
ンを前記第3のスイッチによって選択するステップによ
って、前記第2のビット・ラインが選択された場合、前
記第2のスイッチング素子をオンにするステップを含む
請求項33に記載のデータの書き込み方法。 - 【請求項35】 前記書き込み電流の向きを選択するス
テップを含む請求項33または34に記載のデータの書
き込み方法。 - 【請求項36】 ワード・ライン、第1のビット・ライ
ン、少なくとも第1のビット・ラインに流れる電流によ
って生成される磁界の向きに応じて磁化の向きが決定さ
れる強磁性体の層を含む記憶素子、第1のスイッチング
素子、該ビット・ラインとで該記憶素子を挟み、該記憶
素子と該第1のスイッチング素子を接続する第1の配線
構造体、及び該第1の配線構造体に接続された第2の配
線構造体を含んだ複数個のメモリセルと、隣り合うメモ
リセルの前記第1の配線構造体同士、前記第2の配線構
造体同士または該第1の配線構造体と第2の配線構造体
を接続する第2のスイッチング素子と、該第1の配線構
造体、第2の配線構造体及び第2のスイッチング素子で
第2のビット・ラインを形成し、該第1のビット・ライ
ンと該第2のビット・ラインの両端または一端にスイッ
チを介して接続された書き込み回路と、を含んだ記憶回
路ブロックを使用したデータの書き込み方法において、
データを書き込むメモリセルを選択するステップと、選
択された前記メモリセルに記憶させるデータにしたがっ
て、書き込み電流を流す第1のビット・ラインまたは第
2のビット・ラインを選択するステップと、前記選択す
るステップによって選択された第1のビット・ラインま
たは第2のビット・ラインに前記書き込み回路から書き
込み電流を流すステップと、を含むデータの書き込み方
法。 - 【請求項37】 前記書き込み電流を流す第1のビット
・ラインまたは第2のビット・ラインを選択するステッ
プにおいて、該第2のビット・ラインが選択された場
合、前記第2のスイッチング素子をオンにする請求項3
6に記載のデータの書き込み方法。 - 【請求項38】 前記書き込み電流の向きを選択するス
テップを含む請求項36または37に記載のデータの書
き込み方法。 - 【請求項39】 請求項14乃至20に記載のメモリセ
ルを使用したデータの読み出し方法であって、前記第1
のスイッチング素子と第3のスイッチング素子を同時に
オンにするステップと、前記第1のビット・ラインに読
み出し電流を流して前記記憶素子に記憶されているデー
タの信号を取り出すステップと、を含むデータの読み出
し方法。 - 【請求項40】 複数のワード・ラインと複数の第1の
ビット・ラインとがマトリックス状に配置され、その交
叉部において少なくとも第1のビット・ラインに流れる
電流によって生成される磁界の向きに応じて磁化の向き
が決定される強磁性体の層を含み、該強磁性体の層の磁
化の向きによって電気抵抗が変化する記憶素子と、第1
のスイッチング素子と、該ビット・ラインとで該記憶素
子を挟み、該記憶素子と該第1のスイッチング素子を接
続する第1の配線構造体と、該第1の配線構造体に接続
された第2の配線構造体と、第1のスイッチング素子と
並列に接続され、第2の配線構造体に接続された第3の
スイッチング素子と、を含んだメモリセルを有する記憶
回路ブロックを使用したデータの読み出し方法におい
て、データの読み出しを行うメモリセルを選択するステ
ップと、選択された前記メモリセルの前記第1のスイッ
チング素子と第3のスイッチング素子のそれぞれを同時
にオンにするステップと、選択された前記メモリセルの
前記第1のビット・ラインに読み出し電流を流して該記
憶素子に記憶されたデータを読み出すステップと、を含
むデータの読み出し方法。
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JP2001193984A JP3844117B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | メモリセル、記憶回路ブロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法 |
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JP2001193984A JP3844117B2 (ja) | 2001-06-27 | 2001-06-27 | メモリセル、記憶回路ブロック、データの書き込み方法及びデータの読み出し方法 |
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