JP2003007084A - 高性能eDRAM用の新しいマイクロ・セル冗長性方式 - Google Patents

高性能eDRAM用の新しいマイクロ・セル冗長性方式

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Abstract

(57)【要約】 (修正有) 【課題】 SRAMキャッシュ・インターフェースを有
する高帯域幅埋込みDRAMの新しいマイクロセル冗長
性方式を提供すること。 【解決手段】 eDRAMを含むマイクロセル・アレイ
・ユニットのバンクごとに、少なくとも1つのマイクロ
セル・ユニットが、そのバンク内の欠陥を有するマイク
ロセルと置換するための冗長性として準備される。アレ
イ・テストの後に、バンク内の欠陥を有するマイクロセ
ルのすべてが、そのバンク用の冗長性マイクロセルと置
換される。ルックアップ・テーブルを実施するヒューズ
・バンク構造が、各冗長マイクロセル・アドレスおよび
それに対応する修復されたマイクロセル・アドレスを記
録するために確立される。同時複数バンク動作を可能に
するために、冗長マイクロセルによって、同一バンク内
の欠陥を有するマイクロセルだけを置換することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、全般的にはダイナ
ミック・ランダム・アクセス・メモリの構造およびシス
テムに関し、具体的には、マイクロセル冗長方式を含む
埋込みDRAM(eDRAM)マイクロセル・アレイ・
アーキテクチャに関する。
【0002】
【従来の技術】高データ帯域幅と広い内部バス幅を有す
る埋込みDRAMが、従来のSRAMキャッシュに代わ
るL2(レベル2)キャッシュ用に提案されてきた。各
DRAMメモリ・セルは、1つのトランジスタと1つの
キャパシタによって形成されるので、DRAMキャッシ
ュの物理サイズは、同一密度の6トランジスタSRAM
の物理サイズよりかなり小さい。性能要件を満たすため
に、L2キャッシュ用DRAMは、複数のブロック(本
明細書ではマイクロセルと呼称する)からなる。1ブロ
ックは、複数のワード線(通常は64本から128本)
および複数のビット線(通常は64本から128本)の
対によって形成される小さいDRAMアレイ・ユニット
である。マイクロセルのサイズは、通常の独立型DRA
Mのブロックよりはるかに小さい(たとえば、16倍か
ら256倍)。通常、eDRAMのバンクの1つのマイ
クロセルだけが、活動化される。時には、異なるバンク
のマイクロセルに、同時にアクセスすることができる。
そのようなeDRAMの読取速度および書込速度は、非
常に軽いワード線およびビット線の負荷に起因して、非
常に高速になる可能性がある。
【0003】キャッシュ用の大きいDRAMキャッシュ
・サイズを効率的に使用するために、eDRAMマイク
ロセルのサイズとほぼ同一のサイズの小さいSRAMア
レイが使用される。SRAMは、eDRAMと要求元プ
ロセッサの間に配置されるキャッシュ・インターフェー
スとして提供される。広い内部バス(64から102
4)が、eDRAM、SRAM、およびプロセッサの間
のデータ転送用に設けられる。具体的に言うと、eDR
AMのマイクロセルのワード線のセルに存在するデータ
は、対応する二次センス増幅器に送られる前に読み取ら
れ、一次センス増幅器のグループで増幅される。これら
のデータは、その後、SRAMに送られ、同一のワード
線位置のセルに保管される。それと同時に、TAGメモ
リに、データがキャッシュ内にあるマイクロセルのアド
レスが記録される。データは、最終的に、要求元プロセ
ッサに転送される。通常、高帯域幅eDRAM構成のた
めには、カラム・アドレスもカラム・デコードも不要で
ある。
【0004】高帯域幅設計の1つの課題は、欠陥を有す
る要素を修正するための効率的なロウおよびカラムの冗
長性方式を提供することが困難であることである。これ
は、カラム冗長性について特に困難である。というの
は、既存の手法のほとんどが、修復について障害を発生
したカラム要素を示すためにカラム・アドレスを必要と
するからである。従来のDRAMアレイでは、ビット線
対が、カラム・アドレスによって階層的にグループ化さ
れる。毎回、ビット線対のグループからの1つのデータ
だけが、ローカルおよびグローバルのデータ線を介する
外への転送のために選択される。したがって、通常のD
RAM用のほとんどの一般的な冗長性手法は、提供され
るカラム・アドレスを使用して、ビット線のグループ全
体について修復を提供することである。しかし、高帯域
幅eDRAMの場合、ビット線のすべての対からのデー
タを、すべて送出しなければならない。代替案では、e
DRAMからのすべてのデータ線を、同時にSRAMに
供給し、その後、SRAMからのすべてのデータ線を、
プロセッサに供給する。そのような1対1直接配線で
は、そのいずれかに障害が発生し、冗長性が提供されて
いない場合に、チップを破棄しなければならない。冗長
性ビット線が設けられる場合には、障害を発生したビッ
ト線を正しく置換し、再ルーティングし、したがってデ
ータが正しい順序で保たれるようにすることが、簡単で
ない。カラム・アドレスが使用可能でない時には、特に
困難である。
【0005】高データ帯域幅埋込みDRAMの欠陥を有
するメモリ・アレイを修復するための、マイクロセル冗
長性方式を提供することが非常に望ましい。
【0006】さらに、マイクロセル・アレイ自体が冗長
性置換のための単位として使用される、マイクロセル冗
長性置換方式を含むマイクロセル・アレイeDRAMア
ーキテクチャを提供することが、非常に望ましい。すな
わち、eDRAMのワード線、ビット線、またはセルの
いずれかが欠陥を有することがわかった場合に、マイク
ロセル全体が置換される。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、高デ
ータ帯域幅埋込みDRAMの欠陥を有するメモリ・アレ
イを修復するためのマイクロセル冗長性方式を提供する
ことである。
【0008】本発明のもう1つの目的は、マイクロセル
・アレイ自体が冗長性置換の単位として使用される、マ
イクロセル冗長性置換方式を含むマイクロセル・アレイ
eDRAMアーキテクチャを提供することである。
【0009】本発明のもう1つの目的は、柔軟性があり
信頼性があるeDRAMアレイ修復のためのマイクロセ
ル冗長性アーキテクチャを提供することである。
【0010】本発明のもう1つの目的は、マイクロセル
冗長性要素を効果的にテストするシステムおよび方法を
提供することである。
【0011】
【課題を解決するための手段】本発明の原理によれば、
マイクロセル・アレイの1つまたは複数のバンクを含
み、各マイクロセルに、データをストアするための複数
のDRAMメモリ要素が含まれる、埋込み半導体ダイナ
ミック・ランダム・アクセス・メモリ(eDRAM)メ
モリ・アーキテクチャについて、複数の冗長マイクロセ
ル・アレイであって、複数の冗長マイクロセルの1つま
たは複数が、マイクロセル・アレイ・バンクに関連す
る、複数の冗長マイクロセル・アレイと、欠陥を有する
と前に判定されたeDRAMマイクロセル・アレイを、
データをストアするための置換アレイとして実施された
対応する良好な冗長マイクロセル・アレイにマッピング
する機構と、データ読取動作およびデータ書込動作を容
易にする論理回路であって、論理回路が、欠陥を有する
と判定されたマイクロセル・アレイに関連する置換冗長
マイクロセル・アレイへの読取アクセスおよび書き込み
アクセスを可能にするためにマッピング機構を実施す
る、論理回路とを含むマイクロセル・アレイ冗長性シス
テムが提供される。
【0012】マイクロセル冗長性システムは、SRAM
キャッシュ・インターフェースを有する埋込みDRAM
キャッシュ用に実施することができる。メモリ・アレイ
・バンクごとに、少なくとも1つのマイクロセルが、バ
ンク内の欠陥を有するマイクロセルを置換するための冗
長性として用意される。アレイ・テストの後に、バンク
内の欠陥を有するマイクロセルが、そのバンク用の冗長
性マイクロセルと置換される。ルックアップ・テーブル
が、たとえばヒューズ・バンクによって、確立され、実
施され、このテーブルに各冗長マイクロセル・アドレス
とそれに対応する修復されたマイクロセル・アドレスが
記録される。マイクロセル冗長性の2つの実施形態が提
案され、好ましい実施形態では、同時複数バンク動作を
可能にするために、冗長マイクロセルを、同一バンク内
の欠陥を有するマイクロセルの置換だけに制限する。e
DRAMからデータを読み取る時またはeDRAMにデ
ータを書き込む時には、マイクロセル・アレイ・アドレ
スを検査して、それが元のマイクロセルか冗長マイクロ
セルかを判定しなければならない。
【0013】本発明のマイクロセル冗長性方式は、高性
能高帯域幅eDRAM応用例のための柔軟性があり信頼
性がある方法を提供する。
【0014】本発明の装置および方法のさらなる特徴、
態様、および長所は、以下の説明、請求項、および添付
図面に関してよりよく理解される。
【0015】
【発明の実施の形態】前に述べ、図1に示されているよ
うに、埋込みDRAM(eDRAM)60には、通常
は、MCA1、MCA2、MCA3などとして示された
複数のマイクロセルを含むDRAMアレイが含まれる。
各マイクロセルには、小さいアレイ・ユニットが含ま
れ、そのサイズは、独立型DRAMのサイズと比較して
非常に小さい。したがって、たとえばロウ冗長性および
カラム冗長性などの従来の冗長性方式を使用すること
は、効率を低下させる。そうではなく、本発明によれ
ば、マイクロセル自体が、冗長性置換の単位として使用
される。したがって、ワード線、ビット線、またはセル
に欠陥があることがわかった場合に、マイクロセル全体
が置換される。マイクロセルは、そのように小さいアレ
イなので、欠陥を有する要素を有する確率は、独立型D
RAMよりはるかに低い。したがって、各マイクロセル
に冗長性として使用される余分のロウおよびカラムを設
けることは、多すぎるか修復に十分でないのいずれかに
なる可能性があるので、効率的でない。たとえば、クラ
スタ型の欠陥が発生する場合には、修復用に設けられる
冗長性要素の数が不十分になる可能性がある。しかし、
スキャッタ型の欠陥がある場合には、マイクロセルごと
に設けられる冗長性が、未使用のまま残され、したがっ
て無駄になる可能性がある。
【0016】図1には、特に、本発明によるマイクロセ
ル冗長性を有する簡略化されたマイクロセル式のeDR
AM60のアーキテクチャが示されている。図1からわ
かるように、eDRAMアーキテクチャには、複数のス
タック式マイクロセル・ユニットMCA1、MCA2、
MCA3などが含まれ、各ユニットに、アレイと第1セ
ンス・アンプ・ブロック(図示せず)が含まれる。マイ
クロセル・ユニットは、各バンクに二次センス増幅器・
ブロック65が含まれる、マイクロセルのバンク6
1、632、…、63nを定義する一連のカラムとして
編成されることが好ましい。本発明によれば、アレイ内
のマイクロセル・ユニットの各々のバンク631、6
2、…、63nごとに、少なくとも1つの冗長マイクロ
セル・ユニットMCRA1、MCRA2、…、MCRA
nが設けられる。この場合に、冗長マイクロセル・ユニ
ットMCRA1は、複数のマイクロセル、たとえば、実
施される製造プロセスに応じて8個から64個のマイク
ロセルを有する第1のバンク63 1の冗長要素として使
用される。
【0017】eDRAMアレイに対する読取動作または
書込動作について、ロウ・アドレス・ビット・フィール
ド(RA)15およびブロック・アドレス・ビット・フ
ィールド(またはマイクロ・セル・アドレス、MCA)
16を含む入力アドレス10が、まず、アドレス・バッ
ファ・レジスタ18に受け取られる。ロウ・アドレスR
Aは、ロウ・デコーダ17を介してTAGメモリ19を
デコードするのに使用される。ロウが選択された後に、
TAG内の有効ビットが検査される。ロウ・デコーダ1
7が、たとえば、有効ビットにハイがセットされている
(またはV=1)と判定する場合に、これは、SRAM
キャッシュ内の対応するロウが、有効なデータのセット
をストアされていることを示す。図1からわかるよう
に、ロウ・デコーダ17は、TAG19から、この有効
なデータが発したマイクロセル・アドレス21を判定す
る。そうではなく、たとえば、有効ビットにロウがセッ
トされている(またはV=0)場合には、これが、その
特定のロウに対応するSRAMに有効なデータがストア
されていないことを示す。
【0018】図1からわかるように、マルチプレクサ・
デバイス25が、入力アドレス10のRA15およびM
CAブロック・アドレス・ビット・フィールド16とT
AG(MCA TAG)19のマイクロセル・アドレス
21を、一致が存在するかどうかを判定するために比較
器デバイス30に伝える。入力アドレスとTAGアドレ
スが一致すると判定される場合には、これが、ターゲッ
トのデータがキャッシュにストアされていることを示
す。それに応答して、入力アドレス10のロウ・アドレ
スRA33を使用して、ロウ・デコーダ要素36を介し
てSRAMキャッシュ80のロウが選択される。その一
方で、入力アドレスとTAGアドレスが一致しない場
合、またはTAG19の有効ビットにロウがセットされ
ている、すなわち、V=0である場合には、データがS
RAMにないことを示す「ミス」信号“NO”が生成さ
れる。各動作は、読取であれ書込であれ、eDRAM6
0の特定のロウおよびマイクロセルに向けられなければ
ならないことを理解されたい。正しいマイクロセル位置
は、ここではMCAによって決定され、もしくは、本明
細書で詳細に説明するように、ヒューズ・バンク20か
ら生成されるMCRAnから決定される。
【0019】さらに具体的に言うと、図1に示され、図
2および3に関して本明細書で詳細に説明するように、
入力アドレス10からのMCA16が、ヒューズ・バン
ク20にストアされたMCAアドレスのそれぞれとの比
較のために、比較器デバイス50に入力される。ヒュー
ズ・バンク20に、各MCRA61および対応するMC
nを含むルックアップ・テーブルを定義するヒューズ
・プログラマブル・アレイが含まれることが好ましい。
アレイのテスト中に、マイクロセルの内部の要素が、欠
陥があると判断される場合に、置換用の冗長マイクロセ
ル・ユニットを割り当てられる。その瞬間に、マイクロ
セル(MCA)アドレスおよび冗長マイクロセル(MC
RA)アドレス32が、対としてヒューズ・バンク20
にプログラムされる。さらに、「V」として示される有
効ビット31に、ハイがセットされ(たとえばV=
1)、冗長要素が使用されていることが示される。ヒュ
ーズ・ラッチ回路ならびに比較方法の例が、本明細書に
完全に示されたかのように参照によってその内容および
開示を組み込まれる、本願の所有者が所有する米国特許
第5691946号明細書に記載されている。比較器デ
バイス50によって、MCAアドレス16に関する対応
するMCRA一致が存在すると判定される時には、冗長
マイクロセル・アドレス52が読み取られ、eDRAM
アレイ内のマイクロセルを突き止めるのに使用される。
しかし、一致が検出されないか、有効ビットに「ロウ」
がセットされ、有効なデータがないことが示される場合
には、入力アドレスからの元のMCAアドレス51が、
eDRAMのデコードに使用される。
【0020】図2に、本発明によるマイクロセル・ブロ
ック冗長性方式200の第1の実施形態を示す。この第
1の実施形態では、たとえば、2つの冗長マイクロセル
・ユニット(MCRA1およびMCRA2)210が、
2つのカラムに配置された16個のマイクロセル(MC
A1からMCA16)を含むバンク220内に設けられ
る。例として図2に示されているように、冗長マイクロ
セル・ユニットMCRA2は、欠陥を有するマイクロセ
ルMCA12 270と置換するのに使用され、その置
換が、矢印240によって示されている。同様に、例と
して図示されているように、冗長マイクロセル・ユニッ
トMCRA3が、MCA23と置換され、冗長マイクロ
セル・ユニットMCRA4が、MCA25と置換され、
矢印250によって示されるように、冗長マイクロセル
・ユニットMCRA8が、MCA55と置換される。こ
の第1の実施形態では、冗長マイクロセルが、それ自体
のバンク内の欠陥を有するマイクロセルだけを置換する
ことができる。その理由は、時々、複数のバンクがアク
ティブにされる場合があるが、クロスバンク置換が、そ
のような動作を妨げるからである。
【0021】図3に、本発明によるマイクロセル・ブロ
ック冗長性方式300の第2の実施形態を示す。この第
2の実施形態では、たとえば、1バンク内のすべてのマ
イクロセルが、1つのカラム340内で形成されるが、
複数の冗長マイクロセル(MCRAn)320を、バン
クごとに設けることができる。たとえば、図3に示され
ているように、冗長マイクロセルMCRA1が、マイク
ロセルMCA3の置換に使用され310、冗長マイクロ
セルMCRA1が、マイクロセルMCA7の置換に使用
される315。この実施形態では、2ロウの冗長マイク
ロセル320が、eDRAMアレイ350の対応するカ
ラム340の置換に使用される。SSA1からSSA8
を含む二次センス増幅器・グループが、eDRAMアレ
イ350の最下部に配置されて図示されている。
【0022】図4に、図2に示された第1の実施形態に
よるマイクロセル・ブロック冗長性方式200に対応す
る例のヒューズ・バンク20を示す。図4からわかるよ
うに、ヒューズ・バンク20には、各冗長性マイクロセ
ル・アドレス282および対応する置換されたマイクロ
セルのアドレス284を示すルックアップ・テーブルが
含まれる。図4のヒューズ・バンク20によるルックア
ップ・テーブルを確立する他のタイプのプログラム可能
な手段を実施することが、当業者の範囲内であることを
理解されたい。たとえば、小さいフラッシュ・メモリ・
アレイまたはマスク・プログラマブル読取専用メモリの
すべてを、同一の目的に使用することができる。
【0023】さらに、従来のBIST(組込み自己検
査)方法を、たとえば、通常のマイクロセルと冗長マイ
クロセルの両方を含めて、セル1つずつの順次式の、マ
イクロセルのアレイ・テストに適用できることが企図さ
れている。BIST技法は、参考文献、N.サカシタ
(N. Sakashita)著、表題「A 1.6 GB/sec Data Rate 1
GB Synchronous DRAM with Hierarchical Square-Shap
ed Memory Block and Distributed Bank Architectur
e」、I.E.E.E. Journal of Solid State Circuits, Vo
l. 31, No. 11、1996年11月、PP. 1645-1655、お
よびドライベルビス(J. Dreibelbis)著、表題「Proce
ssor-Based Built-In Self Test for 埋込みDRA
M」、I.E.E.E. Journal of Solid State Circuits, Vo
l. 33, No. 11、1998年11月、pp. 1731-1739に記
載されており、このそれぞれの内容および開示が、本明
細書に完全に示されたかのように参照によって組み込ま
れる。欠陥があるとわかったマイクロセル内のすべての
要素が、ワード線、ビット線、または単一セルのどれで
あるかに無関係に、そのセルが欠陥としてマークされ
る。テストが終了した後に、図4に示されたものなどの
対応するヒューズ・バンクが、マイクロセル置換情報を
用いてプログラムされる。パワーオン中に、ヒューズ・
ラッチ回路(図示せず)が、セットされ、アドレス比較
の準備ができる。以下の例では、冗長セルMCRA1が
使用されず、冗長セルMCRA2が普通のセルMCA1
2の置換に使用され、冗長セルMCRA3が普通のセル
MCA23の置換に使用され、以下、図4の通りであ
る。この例によれば、比較は、8つの有効なMCAアド
レスのうちの5つが入力MCAアドレスと比較される形
で実行される。それらのいずれかが一致する場合に、選
択されたMCAが、欠陥を有するMCAであり、テーブ
ルからの対応する冗長性MCRAアドレスが、eDRA
Mのデコードに使用される。したがって、マイクロセル
冗長性のテスト・アルゴリズムは、比較的単純であり、
実施が簡単である。
【0024】図5は、本発明によるマイクロセル冗長性
を実施するeDRAM60の読取動作を示す流れ図40
0である。最初のステップ402に示されているよう
に、読取コマンドが発行される時に、必ず、ロウ・アド
レス・フィールド(RA)およびマイクロセル・アドレ
ス・フィールド(MCA)の両方を含む入力アドレス
が、プロセッサによって供給される。ステップ405に
示されているように、ストアされたTAG情報から、ロ
ウ・アドレス(RA)情報を使用して、SRAMにスト
アされたデータのマイクロセル・アドレスを見つける。
次に、ステップ408で、入力アドレスからのMCAを
TAGにストアされたMCAと比較する。MCAの入力
アドレスが、TAGにストアされたMCAと同一または
一致すると判定される場合には、ステップ411および
412に示されているように、RAを使用して、キャッ
シュ内のロウを選択し、データを読み取り、キャッシュ
・プロセッサに転送する。その一方で、入力アドレスか
らのMCAとTAGにストアされたMCAが一致しない
場合には、データが、SRAMキャッシュ内に存在せ
ず、eDRAMから読み取られなければならない。した
がって、ステップ414に示されているように、RAと
MCAを使用して、eDRAMをデコードし、正しいデ
ータが存在するブロックのロウを得る。その結果、ステ
ップ417に示されているように、ヒューズ・バンク構
造(図4)が、対応するMCAについてMCRAおよび
Vの情報が存在する場所を判定するために実施される。
すなわち、ステップ420で、入力アドレスに対応する
MCAが、欠陥を有するアレイであるか否かが、ヒュー
ズ・バンク比較構造(図1)によって決定されるMCA
/MCRA一致によって判定される。ステップ420
で、たとえばV=0であると判定される場合に、MCA
は、元のマイクロセルであり、ステップ423および4
25に示されているように、eDRAMからのデータ
が、冗長ブロックに行かずに直接にSRAMに転送され
る。しかし、ステップ420で、V=1であると判定さ
れる場合には、eDRAMの元のマイクロセルが、欠陥
を有するマイクロセルであり、ステップ427に示され
ているように、冗長マイクロセル(MCRA)によって
置換されている。その結果、冗長マイクロセルのアドレ
スが、ヒューズ・バンクから取り出され、ステップ42
5でデータが正しく転送される。
【0025】図6は、本発明によるマイクロセル冗長性
を実施するeDRAM60の書込動作を示す流れ図50
0である。図6に示されているように、ステップ503
で、RAとMCAの両方を含む入力アドレスと、対応す
る書き込まれるデータの両方が、プロセッサによって供
給される。その後、ステップ506および509で、T
AGのアドレスRAからのMCAに対する入力アドレス
からのMCAの比較を行って、キャッシュ・ヒットまた
はキャッシュ・ミスのどちらがあるかを判断する。ステ
ップ509の判定で、キャッシュ・ヒットが発生する場
合には、ステップ512で、入力アドレスからのRAを
使用してSRAMキャッシュにデータを書き込む。ステ
ップ509で、キャッシュ・ミスが発生すると判定され
る場合には、ステップ529に示されているように、入
力データを、まず、バッファ・レジスタ(図示せず)に
パーキング(park)する。この時点で、新しいデータを
キャッシュ内の同一のロウ位置にストアする前に、キャ
ッシュ内の古いデータを「リタイヤ(retire)」させる
か、eDRAMに書き戻さなければならない。これを達
成するために、ステップ515に示されているように、
TAGからのMCAを使用して、ヒューズ・バンクを使
用して対応するMCRAがあるかどうかを検査する。ス
テップ520で、たとえばV=0であると判定される場
合には、これは、そのマイクロセルについて冗長マイク
ロセルが使用されていないことを示す。したがって、ス
テップ523および525で実行されるように、アドレ
スRAおよびTAGからのMRAを使用して、古いデー
タをキャッシュのRA位置からeDRAMに書き戻す。
しかし、ステップ520で、V=1と判定される場合に
は、古いデータのマイクロセルが、実際には冗長マイク
ロセルであり、ステップ527に示されているように、
冗長マイクロセル(MCRA)アドレスが、eDRAM
へのデータの書き戻しに使用される。言い換えると、ス
テップ525で、キャッシュ内の古いデータが、冗長マ
イクロセルに書き戻される。キャッシュ内の古いデータ
が「リタイヤ」された後に、ステップ530に示される
ように、新しいデータがバッファからキャッシュに書き
込まれ、TAG内の情報が更新される。
【0026】本発明を、その例示的実施形態および好ま
しい実施形態に関して図示し、説明してきたが、形態お
よび詳細における前述および他の変更を、本発明の趣旨
および範囲から逸脱せずに行うことができることを当業
者は諒解するであろう。本発明の趣旨および範囲は、請
求項の範囲のみによって制限される。
【0027】まとめとして、本発明の構成に関して以下
の事項を開示する。
【0028】(1)マイクロセル・アレイの1つまたは
複数のバンクを含み、各マイクロセルに、データをスト
アするための複数のDRAMメモリ要素が含まれる、埋
込み半導体ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ
(eDRAM)メモリ・アーキテクチャにおいて、複数
の冗長マイクロセル・アレイであって、前記複数の冗長
マイクロセルの1つまたは複数が、マイクロセル・アレ
イ・バンクに関連する、複数の冗長マイクロセル・アレ
イと、欠陥を有すると前に判定されたeDRAMマイク
ロセル・アレイを、データをストアするための置換アレ
イとして実施された対応する良好な冗長マイクロセル・
アレイにマッピングする機構と、データ読取動作および
データ書込動作を容易にする論理回路であって、前記論
理回路が、欠陥を有すると判定されたマイクロセル・ア
レイに関連する置換冗長マイクロセル・アレイへの読取
アクセスおよび書き込みアクセスを可能にするために前
記マッピング機構を実施する論理回路とを含むマイクロ
セル・アレイ冗長性システム。 (2)前記マッピング機構が、対応する欠陥を有するマ
イクロセル・アレイのアドレスに基づいて良好な冗長メ
モリ・セルを関連付けるルックアップ・テーブルを含
む、上記(1)に記載のマイクロセル・アレイ冗長性シ
ステム。 (3)前記論理回路が、比較器機構を含み、前記比較器
機構が、現在の読取動作または書込動作の対象であるタ
ーゲット・マイクロセル・アレイ位置の入力アドレス
を、欠陥を有するマイクロセル・アレイのアドレスのリ
ストと比較し、欠陥を有する場合に、前記ターゲット・
マイクロセル・アレイにマッピングされた冗長マイクロ
セル・アレイに対応するアドレスでの前記読取動作また
は書込動作を可能にする、上記(1)に記載のマイクロ
セル・アレイ冗長性システム。 (4)前記マッピング機構が、前記現在の入力アドレス
・アレイに関連する元のマイクロセルが欠陥を有するか
どうかを示すビット・フラグを実施し、前記論理回路
が、前記ビット・フラグの状況を判定し、前記ビット・
フラグが欠陥なしを示す時に、データ読取動作に関して
前記元のマイクロセル・アレイ内のデータのアクセスを
可能にする、上記(3)に記載のマイクロセル・アレイ
冗長性システム。 (5)「n」個の複数のマイクロセル・アレイと、
「m」個の複数の冗長マイクロセル・アレイとを含み、
n>mである、上記(1)に記載のマイクロセル・アレ
イ冗長性システム。 (6)n/mの比が、約10から20の範囲である、上
記(5)に記載のマイクロセル・アレイ冗長性システ
ム。 (7)各前記マイクロセル・メモリ・アレイが、複数の
ワード線および複数のビット線から形成される、上記
(1)に記載のマイクロセル・アレイ冗長性システム。 (8)前記ワード線の数が、約64から512の範囲で
あり、前記ビット線の数が、約64から512の範囲で
ある、上記(7)に記載のマイクロセル・アレイ冗長性
システム。 (9)前記「n」個の複数のマイクロセル・アレイが、
アレイの1つまたは複数のバンクとして編成され、各バ
ンクが、それに関連する1つまたは複数の冗長マイクロ
セル・アレイを有する、上記(1)に記載のマイクロセ
ル・アレイ冗長性システム。 (10)前記ルックアップ・テーブルが、ヒューズ・バ
ンク構造として実施される、上記(1)に記載のマイク
ロセル・アレイ冗長性システム。 (11)前記eDRAMメモリが、SRAMキャッシュ
・インターフェースを有する高帯域幅キャッシュ・メモ
リである、上記(1)に記載のマイクロセル・アレイ冗
長性システム。 (12)マイクロセル・アレイの1つまたは複数のバン
クを含み、各マイクロセル・アレイに、データをストア
するための複数のDRAMメモリ要素が含まれる、埋込
み半導体ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ
(eDRAM)で冗長性を実施する方法であって、 a)複数の冗長マイクロセル・アレイを設けるステップ
であって、前記複数の冗長マイクロセルが、マイクロセ
ル・アレイのバンクに関連するステップと、 b)欠陥を有すると前に判定されたマイクロセル・アレ
イとの置換冗長マイクロセル・アレイのマッピングを提
供するステップと、 c)欠陥を有すると判定されたターゲット・マイクロセ
ル・アレイでのデータ読取動作またはデータ書込動作
を、前記欠陥を有するターゲット・マイクロセル・アレ
イに関連する冗長マイクロセル・アレイに対応するアド
レス位置で実行できるようにするステップとを含む冗長
性を実施する方法。 (13)前記できるようにするステップc)が、現在の
データ読取動作またはデータ書込動作の対象のターゲッ
トeDRAM位置の入力アドレスを、欠陥を有するマイ
クロセル・アレイに対応するアドレスのリストと比較す
るステップと、前記入力アドレスと一致するアドレスを
有する欠陥を有するターゲット・マイクロセル・アレイ
に関連する冗長マイクロセル・アレイに対応する前記ア
ドレス位置を判定するステップとを含む、上記(12)
に記載の冗長性を実施する方法。 (14)前記マッピングするステップb)が、現在の入
力アドレス・アレイに関連する元のマイクロセル・アレ
イが欠陥を有するかどうかを示すビット・フラグを実施
するステップを含み、前記比較するステップが、さら
に、前記ビット・フラグの状況を判定するステップと、
前記ビット・フラグが、欠陥なしを示す時に、データ読
取動作に関して前記元のマイクロセル・アレイのデータ
にアクセスするステップとを含む、上記(13)に記載
の冗長性を実施する方法。 (15)SRAMキャッシュ・インターフェースを有す
る埋込みDRAM(eDRAM)キャッシュのマイクロ
セル冗長性方式であって、前記eDRAMキャッシュ
が、メモリ・アレイ・ユニットの1つまたは複数のバン
クを含み、バンク内の欠陥を有するマイクロセルを置換
するための冗長メモリ・アレイ・ユニットとして実施さ
れる少なくとも1つのメモリ・アレイ・ユニットと、欠
陥を有すると前に判定されたメモリ・アレイ・ユニット
のアドレス位置を、置換として実施された冗長メモリ・
アレイ・ユニットの対応するアドレス位置と共に記録す
る機構と、マイクロプロセッサ要求に応答して、データ
が、元のメモリ・アレイ・ユニットおよび対応する冗長
メモリ・アレイ・ユニットのどちらに対して読み書きさ
れるかを判定する機構とを含む埋込みDRAM(eDR
AM)キャッシュのマイクロセル冗長性方式。 (16)さらに、前記キャッシュ内の欠陥を有するメモ
リ・アレイ・ユニットを判定するアレイ・テスト装置を
含む、上記(15)に記載の埋込みDRAM(eDRA
M)キャッシュのマイクロセル冗長性方式。 (17)前記記録機構が、前記アレイ・テストに応答し
て、各冗長メモリ・アレイ・ユニット・アドレスおよび
それに対応する欠陥を有するメモリ・アレイ・ユニット
を記録するために確立されるルックアップ・テーブルを
実施するヒューズ・バンク構造を含む、上記(16)に
記載の埋込みDRAM(eDRAM)キャッシュのマイ
クロセル冗長性方式。 (18)冗長メモリ・アレイ・ユニットが、これによっ
てキャッシュ読取動作およびキャッシュ書込動作に関す
る同時複数バンク動作を可能にするために、同一バンク
内の欠陥を有するメモリ・アレイ・ユニットを置換す
る、上記(16)に記載の埋込みDRAM(eDRA
M)キャッシュのマイクロセル冗長性方式。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるマイクロセル冗長性を有する、単
純化されたマイクロセルeDRAMアーキテクチャを示
す図である。
【図2】本発明によるマイクロセル・ブロック冗長性方
式200の第1の実施形態を示す図である。
【図3】本発明によるマイクロセル・ブロック冗長性方
式300の第2の実施形態を示す図である。
【図4】図2に示された第1の実施形態によるマイクロ
セル・ブロック冗長性方式200に対応する例のヒュー
ズ・バンク20を示す図である。
【図5】本発明によるマイクロセル冗長性を実施するe
DRAM60の読取動作を示す流れ図400である。
【図6】本発明によるマイクロセル冗長性を実施するe
DRAM60の書込動作を示す流れ図500である。
【符号の説明】
10 入力アドレス 15 ロウ・アドレス・ビット・フィールド(RA) 16 ブロック・アドレス・ビット・フィールド(また
はマイクロ・セル・アドレス、MCA) 17 ロウ・デコーダ 18 アドレス・バッファ・レジスタ 19 TAGメモリ 20 ヒューズ・バンク 21 マイクロセル・アドレス 25 マルチプレクサ・デバイス 30 比較器デバイス 31 有効ビット 32 冗長マイクロセル(MCRA)アドレス 33 ロウ・アドレス(RA) 36 ロウ・デコーダ要素 50 比較器デバイス 51 元のMCAアドレス 52 冗長マイクロセル・アドレス 60 eDRAM 61 MCRA 631 バンク 632 バンク 63n バンク 65 二次センス増幅器・ブロック 80 SRAMキャッシュ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) G06F 12/16 310 G06F 12/16 310E 310P G11C 11/401 G11C 11/34 371D (72)発明者 ルイス・エル・シュー アメリカ合衆国12524 ニューヨーク州フ ィシュキル クロスビー・コート 7 (72)発明者 リコン・ワン アメリカ合衆国07645 ニュージャージー 州モントベール モーガン・コート 2 Fターム(参考) 5B005 JJ01 MM01 VV21 WW02 WW14 5B018 GA04 KA13 MA03 5L106 AA01 AA15 CC04 CC16 5M024 AA49 AA91 BB30 DD73 DD80 HH10 JJ20 JJ22 KK32 KK35 MM10 MM20 PP01 PP10

Claims (18)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】マイクロセル・アレイの1つまたは複数の
    バンクを含み、各マイクロセルに、データをストアする
    ための複数のDRAMメモリ要素が含まれる、埋込み半
    導体ダイナミック・ランダム・アクセス・メモリ(eD
    RAM)メモリ・アーキテクチャにおいて、 複数の冗長マイクロセル・アレイであって、前記複数の
    冗長マイクロセルの1つまたは複数が、マイクロセル・
    アレイ・バンクに関連する、複数の冗長マイクロセル・
    アレイと、 欠陥を有すると前に判定されたeDRAMマイクロセル
    ・アレイを、データをストアするための置換アレイとし
    て実施された対応する良好な冗長マイクロセル・アレイ
    にマッピングする機構と、 データ読取動作およびデータ書込動作を容易にする論理
    回路であって、前記論理回路が、欠陥を有すると判定さ
    れたマイクロセル・アレイに関連する置換冗長マイクロ
    セル・アレイへの読取アクセスおよび書き込みアクセス
    を可能にするために前記マッピング機構を実施する論理
    回路とを含むマイクロセル・アレイ冗長性システム。
  2. 【請求項2】前記マッピング機構が、対応する欠陥を有
    するマイクロセル・アレイのアドレスに基づいて良好な
    冗長メモリ・セルを関連付けるルックアップ・テーブル
    を含む、請求項1に記載のマイクロセル・アレイ冗長性
    システム。
  3. 【請求項3】前記論理回路が、比較器機構を含み、前記
    比較器機構が、現在の読取動作または書込動作の対象で
    あるターゲット・マイクロセル・アレイ位置の入力アド
    レスを、欠陥を有するマイクロセル・アレイのアドレス
    のリストと比較し、欠陥を有する場合に、前記ターゲッ
    ト・マイクロセル・アレイにマッピングされた冗長マイ
    クロセル・アレイに対応するアドレスでの前記読取動作
    または書込動作を可能にする、請求項1に記載のマイク
    ロセル・アレイ冗長性システム。
  4. 【請求項4】前記マッピング機構が、前記現在の入力ア
    ドレス・アレイに関連する元のマイクロセルが欠陥を有
    するかどうかを示すビット・フラグを実施し、前記論理
    回路が、前記ビット・フラグの状況を判定し、前記ビッ
    ト・フラグが欠陥なしを示す時に、データ読取動作に関
    して前記元のマイクロセル・アレイ内のデータのアクセ
    スを可能にする、請求項3に記載のマイクロセル・アレ
    イ冗長性システム。
  5. 【請求項5】「n」個の複数のマイクロセル・アレイ
    と、「m」個の複数の冗長マイクロセル・アレイとを含
    み、n>mである、請求項1に記載のマイクロセル・ア
    レイ冗長性システム。
  6. 【請求項6】n/mの比が、約10から20の範囲であ
    る、請求項5に記載のマイクロセル・アレイ冗長性シス
    テム。
  7. 【請求項7】各前記マイクロセル・メモリ・アレイが、
    複数のワード線および複数のビット線から形成される、
    請求項1に記載のマイクロセル・アレイ冗長性システ
    ム。
  8. 【請求項8】前記ワード線の数が、約64から512の
    範囲であり、前記ビット線の数が、約64から512の
    範囲である、請求項7に記載のマイクロセル・アレイ冗
    長性システム。
  9. 【請求項9】前記「n」個の複数のマイクロセル・アレ
    イが、アレイの1つまたは複数のバンクとして編成さ
    れ、各バンクが、それに関連する1つまたは複数の冗長
    マイクロセル・アレイを有する、請求項1に記載のマイ
    クロセル・アレイ冗長性システム。
  10. 【請求項10】前記ルックアップ・テーブルが、ヒュー
    ズ・バンク構造として実施される、請求項1に記載のマ
    イクロセル・アレイ冗長性システム。
  11. 【請求項11】前記eDRAMメモリが、SRAMキャ
    ッシュ・インターフェースを有する高帯域幅キャッシュ
    ・メモリである、請求項1に記載のマイクロセル・アレ
    イ冗長性システム。
  12. 【請求項12】マイクロセル・アレイの1つまたは複数
    のバンクを含み、各マイクロセル・アレイに、データを
    ストアするための複数のDRAMメモリ要素が含まれ
    る、埋込み半導体ダイナミック・ランダム・アクセス・
    メモリ(eDRAM)で冗長性を実施する方法であっ
    て、 a)複数の冗長マイクロセル・アレイを設けるステップ
    であって、前記複数の冗長マイクロセルが、マイクロセ
    ル・アレイのバンクに関連するステップと、 b)欠陥を有すると前に判定されたマイクロセル・アレ
    イとの置換冗長マイクロセル・アレイのマッピングを提
    供するステップと、 c)欠陥を有すると判定されたターゲット・マイクロセ
    ル・アレイでのデータ読取動作またはデータ書込動作
    を、前記欠陥を有するターゲット・マイクロセル・アレ
    イに関連する冗長マイクロセル・アレイに対応するアド
    レス位置で実行できるようにするステップとを含む冗長
    性を実施する方法。
  13. 【請求項13】前記できるようにするステップc)が、 現在のデータ読取動作またはデータ書込動作の対象のタ
    ーゲットeDRAM位置の入力アドレスを、欠陥を有す
    るマイクロセル・アレイに対応するアドレスのリストと
    比較するステップと、 前記入力アドレスと一致するアドレスを有する欠陥を有
    するターゲット・マイクロセル・アレイに関連する冗長
    マイクロセル・アレイに対応する前記アドレス位置を判
    定するステップとを含む、請求項12に記載の冗長性を
    実施する方法。
  14. 【請求項14】前記マッピングするステップb)が、現
    在の入力アドレス・アレイに関連する元のマイクロセル
    ・アレイが欠陥を有するかどうかを示すビット・フラグ
    を実施するステップを含み、前記比較するステップが、
    さらに、 前記ビット・フラグの状況を判定するステップと、 前記ビット・フラグが、欠陥なしを示す時に、データ読
    取動作に関して前記元のマイクロセル・アレイのデータ
    にアクセスするステップとを含む、請求項13に記載の
    冗長性を実施する方法。
  15. 【請求項15】SRAMキャッシュ・インターフェース
    を有する埋込みDRAM(eDRAM)キャッシュのマ
    イクロセル冗長性方式であって、前記eDRAMキャッ
    シュが、メモリ・アレイ・ユニットの1つまたは複数の
    バンクを含み、 バンク内の欠陥を有するマイクロセルを置換するための
    冗長メモリ・アレイ・ユニットとして実施される少なく
    とも1つのメモリ・アレイ・ユニットと、 欠陥を有すると前に判定されたメモリ・アレイ・ユニッ
    トのアドレス位置を、置換として実施された冗長メモリ
    ・アレイ・ユニットの対応するアドレス位置と共に記録
    する機構と、 マイクロプロセッサ要求に応答して、データが、元のメ
    モリ・アレイ・ユニットおよび対応する冗長メモリ・ア
    レイ・ユニットのどちらに対して読み書きされるかを判
    定する機構とを含む埋込みDRAM(eDRAM)キャ
    ッシュのマイクロセル冗長性方式。
  16. 【請求項16】さらに、前記キャッシュ内の欠陥を有す
    るメモリ・アレイ・ユニットを判定するアレイ・テスト
    装置を含む、請求項15に記載の埋込みDRAM(eD
    RAM)キャッシュのマイクロセル冗長性方式。
  17. 【請求項17】前記記録機構が、前記アレイ・テストに
    応答して、各冗長メモリ・アレイ・ユニット・アドレス
    およびそれに対応する欠陥を有するメモリ・アレイ・ユ
    ニットを記録するために確立されるルックアップ・テー
    ブルを実施するヒューズ・バンク構造を含む、請求項1
    6に記載の埋込みDRAM(eDRAM)キャッシュの
    マイクロセル冗長性方式。
  18. 【請求項18】冗長メモリ・アレイ・ユニットが、これ
    によってキャッシュ読取動作およびキャッシュ書込動作
    に関する同時複数バンク動作を可能にするために、同一
    バンク内の欠陥を有するメモリ・アレイ・ユニットを置
    換する、請求項16に記載の埋込みDRAM(eDRA
    M)キャッシュのマイクロセル冗長性方式。
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