JP2003005838A - Method for servo control - Google Patents

Method for servo control

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JP2003005838A
JP2003005838A JP2002105411A JP2002105411A JP2003005838A JP 2003005838 A JP2003005838 A JP 2003005838A JP 2002105411 A JP2002105411 A JP 2002105411A JP 2002105411 A JP2002105411 A JP 2002105411A JP 2003005838 A JP2003005838 A JP 2003005838A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve contour motion accuracy by correcting an error due to elastic displacement and suppressing a synchronization error even in interpolation of a plurality of axes in a hybrid control method including a scale feedback and a full closed-loop control method. SOLUTION: A transfer function is calculated in each axis in accordance with the set value of a first-order lag time constant of feedback compensation by a machine position detection value and change of an angular velocity, and feedforward quantity is set so as to make the tranfer functions of respective axes to be mutually equal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001 】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、多軸同時制御を
行うサーボ制御方法に関し、特に、輪郭制御を行うNC
工作機械、ロボット等のサーボ制御方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a servo control method for performing simultaneous multi-axis control, and more particularly to an NC for contour control.
The present invention relates to a servo control method for machine tools, robots and the like.

【0002 】[0002]

【従来の技術】最近の工作機械では、加工能率を向上さ
せるため、高速・高加減速に機械を駆動し、更に高精度
な輪郭制御精度が要求される。輪郭制御とは、直線補
間、円弧補間等によって2軸あるいはそれを超える多軸
の運動を同時に関連付けることによって工具の通路をた
えず、制御することである。
2. Description of the Related Art In recent machine tools, in order to improve the machining efficiency, it is required to drive the machine at high speed and with high acceleration / deceleration, and to have higher precision contour control accuracy. The contour control is to continuously control the tool path by simultaneously associating the movements of two or more axes by linear interpolation, circular interpolation, or the like.

【0003 】高速、高加減速時の問題点は、 高加減速による慣性力の影響で、例えば、ボールねじ
が伸ばされて(弾性変形によって)指令位置より伸び
る。 高速運転により、半径減少量が増える。
A problem at the time of high speed and high acceleration / deceleration is the influence of the inertial force due to the high acceleration / deceleration, and for example, the ball screw is stretched (because of elastic deformation) to extend beyond the commanded position. High-speed operation increases the radius reduction amount.

【0004 】通常、立型の機械では、サドル上にテ
ーブルが載る構造であるため、質量の比は2倍以上にな
る。横形の機械においても、コラム駆動などの場合、主
軸とコラムの質量比は2倍以上になってしまう。この状
態で、2軸を同時に動かすと、慣性力による誤差は2倍
以上になり、円弧補間では楕円誤差を生じてしまう。 高速では、粘性摩擦が増え、過渡状態で速度が追従で
きなくなる。このため、位相ずれが生じ、円弧補間の軸
が傾く誤差になる。
Normally, in a vertical machine, the table is placed on the saddle, so that the mass ratio becomes twice or more. Even in a horizontal machine, when the column is driven, the mass ratio between the spindle and the column is more than double. If the two axes are moved simultaneously in this state, the error due to inertial force will be more than doubled, and an elliptic error will occur in circular interpolation. At high speed, viscous friction increases and the speed cannot follow in a transient state. Therefore, a phase shift occurs, which causes an error that the axis of circular interpolation is tilted.

【0005 】これまでの対策としては、 速度に対しては速度フィードフォワードによって速度
の追従誤差を補正し、加速度も同様に加速度フィードフ
ォワードによって追従性を向上させている。 リニアスケールによって機械の位置誤差を検出して補
正する。などがある。
As a measure taken so far, a velocity tracking error is corrected by velocity feedforward for velocity, and acceleration tracking is also improved by acceleration feedforward. The linear scale detects and corrects the position error of the machine. and so on.

【0006 】機械の弾性変形量を補正する技術として
は、セミクローズドループ制御方式において、機械の慣
性力による弾性たわみを加速度フィードフォワードによ
って、補正するもの(特開平7−78031号公報)、
機械の慣性力による弾性たわみを剛性を予測してフィー
ドフォワードによって補正するもの(特開平4−271
290号公報)、セミクローズドループ制御方式におい
て、機械の弾性たわみを負荷重量、粘性抵抗を考慮し
て、フィードフォワードにより補正するもの(特開20
00−172341号公報)、機械の弾性たわみを負荷
重量、粘性抵抗を考慮して、フィードフォワードにより
補正するもの(特開平11−184529号公報)が知
られている。
As a technique for correcting the amount of elastic deformation of a machine, in a semi-closed loop control system, elastic deflection due to the inertial force of the machine is corrected by acceleration feed forward (Japanese Patent Laid-Open No. 7-78031),
A device that predicts the rigidity of an elastic deflection due to the inertial force of a machine and corrects it by feedforward (JP-A-4-271)
290), in a semi-closed loop control system, in which elastic deflection of a machine is corrected by feedforward in consideration of load weight and viscous resistance (Japanese Patent Application Laid-Open No. 20-200200).
No. 00-172341), there is known one in which the elastic deflection of a machine is corrected by feedforward in consideration of load weight and viscous resistance (Japanese Patent Laid-Open No. 11-84529).

【0007 】[0007]

【発明が解決しようとする課題】対策をセミクローズ
ドルーブ制御で実施した場合、ボールねじのリード誤差
や、熱変位による誤差などを補正することができないた
め、高精度な送り駆動ができない。対策を行なった場
合、フルクローズドループ制御では、最小でもサンプリ
ングタイム分の遅れが生じ、これが追従誤差となり、完
全には補正できない。更に、安定性の問題で、負荷の大
きい機械では、ゲインが上がらないため、輪郭精度が低
下する。また、対策をハイブリッド制御で行なった場
合には、ハイブリッド時定数分の遅れが生じ、やはり、
補正でききれない。このため、すべての場合で、円弧補
間では斜めの楕円誤差になる。
When the countermeasure is implemented by the semi-closed drove control, it is impossible to correct the lead error of the ball screw, the error due to the thermal displacement, etc., so that the feed drive cannot be performed with high accuracy. If a measure is taken, the full closed loop control causes a delay of at least the sampling time, which becomes a tracking error and cannot be completely corrected. Further, due to the problem of stability, in a machine with a heavy load, the gain does not increase, so that the contour accuracy decreases. Also, if the measures are taken with hybrid control, a delay of the hybrid time constant will occur, and again,
It cannot be corrected. For this reason, in all cases, circular interpolation results in a diagonal elliptical error.

【0008 】上述したいずれのものも、エンコーダフ
ィードバックにスケールフィードバックを一次遅れ要素
として加えたハイブリッド制御方式については述べられ
ていない。
[0008] None of the above mentioned hybrid control systems in which scale feedback is added to encoder feedback as a first-order lag element.

【0009 】ハイブリッド制御方式で、上述の方法で
機械の弾性変形量を補正した場合、スケールフィードバ
ックにより、機械的な特性の違いが伝達関数に反映され
るため、複数軸の補間においては、これらが輪郭運動誤
差となり、機械の運動精度を低下させている。
In the hybrid control method, when the elastic deformation amount of the machine is corrected by the above-described method, the difference in mechanical characteristics is reflected in the transfer function by the scale feedback. This results in contour motion error, which reduces the motion accuracy of the machine.

【0010 】しかしながら、従来のようなセミクロー
ズドループ制御方式では、ボールねじのリード誤差や熱
変位などのメカニカルな誤差を抑えることができないた
め、ハイブリッド制御やフルクローズドループ制御が、
今後、主流になると考えられる。
However, since the conventional semi-closed loop control system cannot suppress mechanical errors such as lead error and thermal displacement of the ball screw, hybrid control and full closed loop control are
It is expected to become mainstream in the future.

【0011 】ハイブリッド制御方式の制御系を図9に
示されている近似ブロック線図を参照して説明する。図
9において、11はサーボモータ系を、12は送りねじ
やテーブル等の負荷を含む機械系を、13はローパスフ
ィルタを、14は前置補償部を各々示している。また、
ωoは位置ループゲイン、ωhは一次遅れ周波数、s:ラ
プラス変換演算子、Gm(s)は機械系の伝達関数であ
る。
The control system of the hybrid control system will be described with reference to the approximate block diagram shown in FIG. In FIG. 9, 11 is a servo motor system, 12 is a mechanical system including loads such as a feed screw and a table, 13 is a low-pass filter, and 14 is a front compensator. Also,
ω o is a position loop gain, ω h is a first-order lag frequency, s is a Laplace transform operator, and Gm (s) is a transfer function of a mechanical system.

【0012 】機械系の伝達関数Gm(s)は次式によ
り表される。 Gm(s)=s+2ζωn・s+ωn ただし、 ζ:減衰比 ωn:固有角振動数 である。
The transfer function Gm (s) of the mechanical system is expressed by the following equation. Gm (s) = s 2 + 2ζωn · s + ωn 2 where ζ: damping ratio ωn: natural angular frequency.

【0013 】この場合の全体の伝達関数Gh(s)は、The overall transfer function Gh (s) in this case is

【数1】 となる。s=jωを代入して、これを解く。[Equation 1] Becomes Solve this by substituting s = jω.

【0014 】ここで、[0014] where

【数2】 とする。[Equation 2] And

【0015 】ただし、 A=ωhωoωn B=ωoωnω C=ω−{2ζωn(ωh+ωo)+ωn}ω+ωh
ωoωn D=−(ωh+ωo+2ζωn)}ω+(ωh+ωo)ωn
ω]
However, A = ω h ω o ωn 2 B = ω o ωn 2 ω C = ω 4 − {2ζωn (ω h + ω o ) + ωn 2 } ω 2 + ω h
ω o ω n 2 D =-(ω h + ω o +2 ζω n)} ω 3 + (ω h + ω o ) ω n
2 ω]

【0016 】ここで、ゲイン|Gh(jω)|は、Here, the gain | Gh (jω) |

【数3】 で、位相∠Gh(jω)は[Equation 3] And the phase ∠Gh (jω) is

【数4】 である。[Equation 4] Is.

【0017 】固有角振動数ωnは、ωn=√(k/
M)、減衰比ζは、ζ=c/2√(kM)であるから、
ハイブリッド制御の場合のゲインGh(jω)と位相∠
Gh(jω)は、質量M、ばね定数k、粘性減衰係数
c、角速度ω、一次遅れ周波数(ハイブリッド周波数)
ωh、および位置ループゲインωoの関数である。
The natural angular frequency ωn is ωn = √ (k /
M) and the damping ratio ζ are ζ = c / 2√ (kM),
Gain Gh (jω) and phase ∠ in the case of hybrid control
Gh (jω) is mass M, spring constant k, viscous damping coefficient c, angular velocity ω, first-order lag frequency (hybrid frequency)
is a function of ω h and the position loop gain ω o .

【0018 】通常、ハイブリッド制御系では、ハイブ
リッド周波数ωh、位置ループゲインωoは、全軸同じ値
を設定し、ゲインずれなどが起こらないようにする。し
かし、ほとんどの場合、質量M、ばね定数k、粘性減衰
係数cは、機械系で、各軸毎異なり、換言すれば、各軸
毎に各軸の弾性変位量が異なり、これらの機械的な特徴
による相違点が各軸のゲインと位相にずれを生じさせ
る。このように、軸間で、ゲインや位相にずれを生じた
場合には、2軸同時制御を行う円弧補間運動では、経路
誤差が生じ、真円が、図10に示されているように、斜
めの楕円になる。
Generally, in a hybrid control system, the hybrid frequency ω h and the position loop gain ω o are set to the same values for all axes to prevent gain deviation and the like. However, in most cases, the mass M, the spring constant k, and the viscous damping coefficient c are different for each axis in the mechanical system, in other words, the elastic displacement amount of each axis is different for each axis, and these mechanical values are different. Differences due to characteristics cause a shift in the gain and phase of each axis. As described above, when a gain or a phase shift occurs between the axes, a path error occurs in the circular interpolation motion in which the two axes are simultaneously controlled, and the perfect circle is as shown in FIG. It becomes an oblique ellipse.

【0019 】X軸、Y軸のそれぞれのゲインと位相
は、図11(a)、(b)、図12(a)、(b)に例
示されているようになる。この例では、X軸は固有振動
数が低いため、機械の共振点でゲインのピークが立ち、
この付近のゲインに大きな差があることがわかる。ま
た、共振点付近で位相差も大きくなっている。このた
め、斜めの楕円の運動軌跡になる。
The respective gains and phases of the X axis and the Y axis are as illustrated in FIGS. 11 (a), (b), 12 (a), and (b). In this example, since the X-axis has a low natural frequency, the gain peaks at the resonance point of the machine,
It can be seen that there is a large difference in the gain around this. Also, the phase difference is large near the resonance point. Therefore, the movement locus becomes an oblique ellipse.

【0020 】つぎに、フルクローズドループ制御方式
の制御系を図13に示されている近似ブロック線図を参
照して説明する。この場合も、機械系の伝達関数Gm
(s)は、Gm(s)=s2+2ζωn・s+ωn2、であ
り、全体の伝達関数Gfull(s)は、
Next, a control system of the full closed loop control system will be described with reference to the approximate block diagram shown in FIG. Also in this case, the transfer function Gm of the mechanical system
(S) is Gm (s) = s2 + 2ζωn · s + ωn2, and the overall transfer function G full (s) is

【数5】 となる。s=jωを代入して、これを解く。[Equation 5] Becomes Solve this by substituting s = jω.

【0021 】ここで、[0021] where

【数6】 とする。[Equation 6] And

【0022 】ただし、 A=ωoωn=0 C=−2ζωnω+ωoωn=−ω+ωnωHowever, A f = ω o ωn 2 B f = 0 C f = −2ζωn ω 2 + ω o ωn 2 D f = −ω 3 + ωn 2 ω

【0023 】ここで、ゲイン|Gfull(jω)|
は、
Here, the gain | G full (jω) |
Is

【数7】 で、位相∠Gfull(jω)は[Equation 7] And the phase ∠G full (jω) is

【数8】 である。[Equation 8] Is.

【0024 】固有角振動数ωnは、ωn=√(k/
M)、減衰比ζは、ζ=c/2√(kM)であるから、
フルクローズドループドループ制御の場合には、ゲイン
full(jω)と位相∠Gfull(jω)は、質
量M、ばね定数k、粘性減衰係数c、角速度ω、および
位置ループゲインωoの関数である。
The natural angular frequency ωn is ωn = √ (k /
M) and the damping ratio ζ are ζ = c / 2√ (kM),
In the case of full closed loop droop control, the gain G full (jω) and the phase ∠G full (jω) are functions of the mass M, the spring constant k, the viscous damping coefficient c, the angular velocity ω, and the position loop gain ω o . is there.

【0025 】位置ループゲインωoは、通常、全軸同じ
値を設定し、ゲインずれなどが起こらないようにする
が、ほとんどの場合、質量M、ばね定数k、粘性減衰係
数cは各軸毎異なる。
The position loop gain ω o is usually set to the same value for all axes to prevent gain deviation, but in most cases, the mass M, spring constant k, and viscous damping coefficient c are set for each axis. different.

【0026 】従って理想的には、機械的な誤差を補正
できるフルクローズドループ制御の場合も、位置ループ
の1サイクル分の遅れが生じるため、これらの機械的な
特徴による相違点が各軸のゲインと位相にずれを生じさ
せる。このように、軸間で、ゲインや位相にずれを生じ
た場合には、2軸の円弧補間運動をさせると、前述の1
0に示したように斜めの楕円になる。
Therefore, ideally, even in the case of the fully closed loop control capable of compensating the mechanical error, a delay of one cycle of the position loop occurs, and therefore the difference due to these mechanical characteristics is the gain of each axis. And cause a phase shift. In this way, when a gain or a phase shift occurs between the axes, if the biaxial circular interpolation motion is performed, the above-mentioned 1
It becomes an oblique ellipse as shown in 0.

【0027 】この発明は、上述の如き問題点を解消す
るためになされたもので、機械位置検出値によるフィー
ドバック補償であるスケールフィードバックを含めたハ
イブリッド制御方式やフルクローズドループ制御方式に
おいて、弾性変位による誤差を補正し、複数軸の補間に
おいても同期誤差を抑え、輪郭運動精度を向上するサー
ボ制御方法を提供することを目的としている。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems, and in a hybrid control system or a fully closed loop control system including scale feedback which is feedback compensation based on a detected value of a machine position, elastic displacement is caused. An object of the present invention is to provide a servo control method that corrects an error, suppresses a synchronization error even in interpolation of a plurality of axes, and improves contour motion accuracy.

【0028 】[0028]

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明によるサーボ制御方法は、多軸同時制御
において、機械位置検出値によるフィードバック補償の
一次遅れ時定数の設定値と角策度の変化に応じた伝達関
数を各軸毎に演算し、各軸の伝達関数が互いに同じにな
るようにフィードフォワード量を設定する。
In order to achieve the above-mentioned object, a servo control method according to the present invention, in multi-axis simultaneous control, sets a first-order lag time constant of feedback compensation based on a detected value of a machine position and a square measure. The transfer function according to the change of the degree is calculated for each axis, and the feedforward amount is set so that the transfer functions of the respective axes are the same.

【0029 】また、この発明によるサーボ制御方法
は、負荷質量の変化を検出し、これによる慣性力の変化
量を演算し、慣性力の変化量を加味して各軸毎の前記伝
達関数を算出する。
Further, in the servo control method according to the present invention, the change in the load mass is detected, the change amount of the inertial force due to this is calculated, and the transfer function for each axis is calculated in consideration of the change amount of the inertial force. To do.

【0030 】また、この発明によるサーボ制御方法
は、負荷質量の機械位置に応じて各軸の剛性の変化量を
演算し、剛性の変化量を加味して各軸毎の前記伝達関数
を算出する。
Further, in the servo control method according to the present invention, the amount of change in rigidity of each axis is calculated in accordance with the mechanical position of the load mass, and the amount of change in rigidity is added to calculate the transfer function for each axis. .

【0031 】また、この発明によるサーボ制御方法
は、送り速度による粘性減衰係数、摩擦力の変化を考慮
して各軸毎の前記伝達関数を算出する。
Further, in the servo control method according to the present invention, the transfer function for each axis is calculated in consideration of changes in the viscous damping coefficient and frictional force depending on the feed rate.

【0032 】また、この発明によるサーボ制御方法
は、軸間の熱変位量の差を弾性変位量に加算する。
Further, in the servo control method according to the present invention, the difference in the thermal displacement amount between the axes is added to the elastic displacement amount.

【0033 】[0033]

【発明の実施の形態】以下に添付の図を参照してこの発
明の実施の形態を詳細に説明する。なお、以下に説明す
るこの発明の実施の形態において、上述の従来例と同一
構成の部分は、上述の従来例に付した符号と同一の符号
を付してある。図1はこの発明によるサーボ制御方法の
一つの実施の形態を示している。図1において、11は
サーボモータ系を、12は送りねじやテーブル等の負荷
を含む機械系を、13はローパスフィルタを、15は速
度フィードフォワード部を、16は加速度フィードフォ
ワード部を、17は軸間のゲインの比の補正値Kの演算
部を、18はフィードフォワード補正部を各々示してい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described in detail below with reference to the accompanying drawings. In the embodiments of the present invention described below, parts having the same configurations as those of the above-described conventional example are denoted by the same reference numerals as those of the above-described conventional example. FIG. 1 shows one embodiment of a servo control method according to the present invention. In FIG. 1, 11 is a servo motor system, 12 is a mechanical system including loads such as a feed screw and a table, 13 is a low-pass filter, 15 is a speed feedforward section, 16 is an acceleration feedforward section, and 17 is Reference numeral 18 denotes a calculation unit for the correction value K of the gain ratio between the axes, and 18 denotes a feedforward correction unit.

【0034 】演算部17は、位置ループゲインωo、一
次遅れ周波数ωh、加減速時定数Tと、角速度ωによ
る2軸の伝達関数の比に関する情報(角速度ω1、傾き
a1、角速度ω2、傾きa2…)をNCパラメータとして
入力し、質量M、ばね定数k、粘性減衰係数c、ボール
ねじ取付け間距離L、λ(λ=ボールねじ断面積S・ヤ
ング率E)、摩擦力F、摩擦トルクTv、固有振動数
fをメカニカルパラメータ(機械的なパラメータ)とし
て入力し、軸間のゲインの比の補正値Kの演算する。
The calculation unit 17 has information on the position loop gain ω o , the first-order lag frequency ω h , the acceleration / deceleration time constant T a, and the ratio of the biaxial transfer function depending on the angular velocity ω (angular velocity ω1, inclination a1, angular velocity ω2, Inclination a2 ...) is input as an NC parameter, mass M, spring constant k, viscous damping coefficient c, ball screw mounting distance L, λ (λ = ball screw cross-sectional area S / Young's modulus E), frictional force F d , The friction torque Tv and the natural frequency f are input as mechanical parameters (mechanical parameters), and the correction value K of the gain ratio between the axes is calculated.

【0035 】フィードフォワード補正部18は、補正
値Kによって速度フィードフォワードKsと加速度フ
ィードフォワードKを補正する。
The feedforward correction unit 18 corrects the velocity feedforward K v s and the acceleration feedforward K a s 2 with the correction value K.

【0036 】角速度ωとX軸、Y軸のゲインの比(|
Gx|/|Gy|)との関係は、図2に示されているよ
うになり、また、実機試験の結果、角速度ωとX軸、Y
軸の最適な速度フィードフォワードの比(FFx/FF
y)との関係は図3に示されているようになり、フィー
ドフォワードの比(FFx/FFy)は、ゲインの比
(|Gx|/|Gy|)と角速度ωの関係とほぼ同じに
なることが確かめられている。
The ratio of the angular velocity ω to the X-axis and Y-axis gains (|
Gx | / | Gy |) is as shown in FIG. 2, and as a result of the actual machine test, the angular velocity ω and the X-axis, Y
Optimal speed feedforward ratio of the axis (FFx / FF
The relationship with y) is as shown in FIG. 3, and the feedforward ratio (FFx / FFy) is almost the same as the relationship between the gain ratio (| Gx | / | Gy |) and the angular velocity ω. It is confirmed.

【0037 】そこで、角速度ωによる各軸のゲインの
比を求め、これをフィードフォワード設定値に掛け合わ
せれば、ハイブリッド制御の場合も、斜めの楕円になる
ような経路誤差を生じることなく、弾性変位を補正でき
ることがわかる。
Therefore, if the gain ratio of each axis due to the angular velocity ω is obtained and is multiplied by the feedforward set value, even in the hybrid control, the elastic displacement is generated without causing a path error such as an oblique ellipse. It turns out that can be corrected.

【0038 】次に、質量M、ばね定数k、粘性減衰係
数cの機械的なパラメータの算出方法について説明す
る。これらの機械的なパラメータの算出に際しては、パ
ラメータ算出の対象機械の制御方式をセミクローズドル
ープ制御方式にする。セミクローズドループ制御方式の
場合の指令からモータ位置までの伝達関数Gs(s)
は、
Next, a method of calculating the mechanical parameters of the mass M, the spring constant k, and the viscous damping coefficient c will be described. In the calculation of these mechanical parameters, the control system of the target machine for parameter calculation is the semi-closed loop control system. Transfer function Gs (s) from command to motor position in case of semi-closed loop control system
Is

【数9】 となる。[Equation 9] Becomes

【0039 】上式の絶対値を求めると、When the absolute value of the above equation is calculated,

【数10】 となり、これはωoの関数であるから、この場合の伝達
関数(制御)は機械的な影響を受けない。
[Equation 10] Since this is a function of ω o , the transfer function (control) in this case is not mechanically affected.

【0040 】ここでは、一例として、XY軸平面の場
合について説明する。XY軸の円弧補間運動を2周以上
指令する。この際、各軸の指令値(実際にはサーボモー
タの回転角から算出した位置)と機械の位置を検出す
る。また、半径減少量の影響をなくすため、前置補償を
設定する。
Here, the case of the XY axis plane will be described as an example. The circular interpolation motion of the XY axes is commanded for two or more rounds. At this time, the command value of each axis (actually the position calculated from the rotation angle of the servo motor) and the position of the machine are detected. In addition, pre-compensation is set to eliminate the effect of the radius reduction amount.

【0041 】ここで、x、y各軸の指令x、yは、 x=Rcosωt y=Rsinωt となる(図4参照)。ただし、R:円弧半径、ω:角速
度、t:時間を示す。
Here, the commands x * and y * for the x and y axes are as follows: x * = Rcosωt y * = Rsinωt (see FIG. 4). However, R: arc radius, ω: angular velocity, t: time.

【0042 】また、指令速度vと加速度αは、それぞ
れ、 v=−Rωsinωt v=Rωcosωt α=−Rωcosωt α=−Rωsinωt となる。
The command velocity v and the acceleration α are as follows: v x = -Rωsinωt v y = Rω cosωt α x = -Rω 2 cosωt α y = -Rω 2 sinωt.

【0043 】運動方程式から弾性変位σを計算する
と、
When the elastic displacement σ is calculated from the equation of motion,

【数11】 となる。[Equation 11] Becomes

【0044 】ωt=2nπのとき(nは整数、ただ
し、移動開始点と終了点は他の影響を受ける可能性があ
るため除く)、 v=0 v=Rω α=−Rω α=0 となるから、
When ωt = 2nπ (n is an integer, except for the movement start point and the end point, which may be influenced by other factors), v x = 0 v y = Rω α x = −Rω 2 α Since y = 0,

【数12】 なる。[Equation 12] Become.

【0045 】弾性変位σはモータ位置と機械位置の差
として実測でき、質量Mは設計値あるいはトルクから算
出可能で、円弧半径R、角速度ωはプログラムから、読
み込むことができる。
The elastic displacement σ can be measured as a difference between the motor position and the machine position, the mass M can be calculated from a design value or torque, and the arc radius R and the angular velocity ω can be read from a program.

【0046 】故に、Therefore,

【数13】 となり、剛性が求まる。[Equation 13] And rigidity is obtained.

【0047 】また、ωt=π/2のとき、 v=−Rω v=0 α=0 α=−Rω となり、When ωt = π / 2, v x = −Rω v y = 0 α x = 0 α y = −Rω 2

【数14】 となるから、[Equation 14] Therefore,

【数15】 となり、剛性が求まる。[Equation 15] And rigidity is obtained.

【0048 】円弧半径Rが小さい場合には、k
k’、k=k’と、みなせるから、
When the arc radius R is small, k x =
k 'x, k y = k ' and y, because regarded,

【数16】 となり、粘性減衰係数が求まる。[Equation 16] And the viscous damping coefficient is obtained.

【0049 】以上、セミクローズドループ制御方式で
円弧補間運転させ、サーボモータから算出した位置と機
械位置を比較することで、各軸の剛性と粘性減衰係数を
求める方法を示した。
The method of obtaining the rigidity and viscous damping coefficient of each axis by performing the circular interpolation operation in the semi-closed loop control system and comparing the position calculated from the servo motor with the machine position has been described above.

【0050 】この他にも、ロストモーションの実測や
静剛性試験、摩擦測定などから、軸方向剛性や摩擦力、
粘性減衰係数を求めることもできる。
In addition to the above, from the actual measurement of lost motion, static rigidity test, friction measurement, etc., axial rigidity and friction force,
The viscous damping coefficient can also be obtained.

【0051 】ここでは、k=k’、k=k’
とし、軸方向剛性kが機械位置によって変化しないとみ
なして計算を行なったが、ボールねじ駆動などを使う場
合には、ねじ軸の軸方向剛性は荷重の作用する位置(機
械位置)で剛性が異なる。
Here, k x = k ′ x , k y = k ′ y
The calculation was performed by assuming that the axial rigidity k does not change depending on the machine position.However, when using a ball screw drive, the axial rigidity of the screw shaft is the same at the position where the load acts (machine position). different.

【0052 】これらは円弧補間の開始位置を変えれ
ば、前述の方法で実測し、演算可能である。しかし、こ
れでは測定の数が増えるため、ボールねじ軸の剛性を荷
重作用位置による関数で求め、荷重作用位置による剛性
変化を予め演算することによって、ほぼ厳密な解を求
め、測定を最小限にすることができる。
These can be measured and calculated by the above-mentioned method if the start position of circular interpolation is changed. However, since this increases the number of measurements, the rigidity of the ball screw shaft is obtained as a function of the load acting position, and the rigidity change due to the load acting position is calculated in advance to obtain an almost exact solution and minimize the measurement. can do.

【0053 】ボールねじ駆動の場合、軸方向総合剛性
は、
In the case of ball screw drive, the total axial rigidity is

【数17】 となる。ただし、 k:ボールねじ軸剛性 k:その他の総合剛性 である。[Equation 17] Becomes However, k b : Ball screw shaft rigidity k T : Other total rigidity.

【0054 】ボールねじ取付けが両端固定の場合のボ
ールねじ軸剛性kは、
[0054] Ball screw shaft stiffness k b when the ball screw mounting both ends fixed,

【数18】 となる。ただし、 λ=SE(S:ボールねじ断面積、E:ヤング率、定
数) L:ボールねじ取付け間距離 l:荷重作用位置 を示す。
[Equation 18] Becomes However, λ = SE (S: cross-sectional area of ball screw, E: Young's modulus, constant) L: distance between ball screw attachments 1: indicates load acting position.

【0055 】その他の総合剛性kには、ボールねじ
ナットの剛性、ボールねじ支持ベアリングの剛性、ナッ
トおよびベアリング取付け部の剛性などが含まれる。円
弧半径が大きい場合には、粘性減衰係数の計算も補正し
た剛性kを用いる。
The other total rigidity k T includes the rigidity of the ball screw nut, the rigidity of the ball screw supporting bearing, the rigidity of the nut and the bearing mounting portion, and the like. When the radius of the arc is large, the stiffness k corrected for the calculation of the viscous damping coefficient is used.

【0056 】これまで、粘性減衰係数cがほぼ一定と
みなされる場合について述べているが、すべり案内のよ
うに、ストライベック曲線に沿って摺動速度により、摩
擦力が異なる場合や、潤滑剤の動粘度が高く、摩擦力が
速度に比例しない場合などには、送り速度と摩擦力の関
係を実測して粘性減衰係数と送り速度の関係を求める方
法がある。なお、クーロン摩擦は、軸反転時の象限突起
補正によるトルクのフィードフォワード制御で補償され
る。
Up to now, the case where the viscous damping coefficient c is considered to be almost constant has been described. However, as in the case of a slide guide, when the frictional force varies depending on the sliding speed along the Stribeck curve, or when the lubricant When the kinematic viscosity is high and the friction force is not proportional to the speed, there is a method of actually measuring the relationship between the feed speed and the friction force to obtain the relationship between the viscous damping coefficient and the feed speed. The Coulomb friction is compensated by the torque feedforward control by the quadrant projection correction at the time of axis reversal.

【0057 】動粘度の相違による送り速度と摩擦力の
関係の一例が図5に示されている。速度と摩擦力の関係
を実測する方法の一例として、1軸直線補間時の定常状
態(加速していない)の送り軸トルクを各送り速度で検
出し、記録する方法があり、送り速度による摩擦の違い
を記録するメモリを有していればよい。
An example of the relationship between the feed rate and the frictional force due to the difference in kinematic viscosity is shown in FIG. As an example of the method of measuring the relationship between speed and frictional force, there is a method of detecting and recording the steady-state (non-accelerated) feed axis torque at the time of uniaxial linear interpolation at each feed rate. It suffices to have a memory for recording the difference between.

【0058 】前述の方法である条件の粘性減衰係数c
を求める。任意の送り速度の粘性減衰係数は、
The viscous damping coefficient c under the condition of the above method
Ask for 0 . The viscous damping coefficient for any feed rate is

【数19】 で求めることができる。ただし、Tv、Tvは任意の
送り速度での摩擦トルクである。
[Formula 19] Can be found at. However, Tv n and Tv 0 are friction torques at arbitrary feed rates.

【0059 】ここで、ボールねじ駆動の場合、摩擦ト
ルクTと摩擦力Fの関係は、
Here, in the case of ball screw driving, the relationship between the friction torque T and the friction force F d is

【数20】 となる。ただし、P:ボールねじのリードであり、送り
速度によるトルクの変化率は摩擦の変化率に相当する。
[Equation 20] Becomes However, P is the lead of the ball screw, and the rate of change in torque with the feed rate corresponds to the rate of change in friction.

【0060 】また、移動質量の変化を検出し、これに
よる慣性力の変化を演算して補正することができる。つ
ぎに、移動質量が変化した場合の質量変化の検出方法に
ついて説明する。負荷質量をワークテーブル等に載せる
前と載せた後で、同じ送り速度で1軸の直線補間運動を
指令し、定常状態のトルクをそれぞれ測定する。この時
のトルクの増加量から、慣性モーメントを近似し、これ
から負荷質量を推定することができる。
Further, a change in the moving mass can be detected, and a change in the inertial force due to the change can be calculated and corrected. Next, a method of detecting a mass change when the moving mass changes will be described. Before and after the load mass is placed on the work table, etc., linear interpolation motion of one axis is commanded at the same feed rate, and the steady-state torque is measured. The moment of inertia can be approximated from the amount of increase in torque at this time, and the load mass can be estimated from this.

【0061 】速度制御の開ループ伝達関数が測定でき
る場合など、機械の軸方向の固有振動数が検出できる場
合には、固有振動数の変化から、質量の変化を求めるこ
とができる。固有振動数fは、
When the natural frequency in the axial direction of the machine can be detected, such as when the open-loop transfer function of speed control can be measured, the change in mass can be obtained from the change in natural frequency. The natural frequency f is

【数21】 より、[Equation 21] Than,

【数22】 となるから、質量の変化は固有振動数の変化の2乗に反
比例する。
[Equation 22] Therefore, the change in mass is inversely proportional to the square of the change in natural frequency.

【0062 】つぎに、2軸の慣性力による弾性変位の
差を測定する方法について説明する。ここでは、2軸の
慣性力による弾性変位の差を実測で求める一例を述べ
る。2軸の45度方向直線補間運動の指令を行ない、加
減速中の誤差Δσを検出する。実測結果の一例を図6に
示す。これが2軸の慣性力による弾性変位の差になる。
Next, a method of measuring the difference in elastic displacement due to the biaxial inertial force will be described. Here, an example in which the difference in elastic displacement due to the biaxial inertial force is obtained by actual measurement will be described. A command for linear interpolation motion of 45 degrees in two axes is issued to detect an error Δσ during acceleration / deceleration. An example of the measurement result is shown in FIG. This is the difference in elastic displacement due to the biaxial inertial force.

【0063 】摩擦が2軸ともほぼ同じと考えると、各
軸の弾性変位は、
Assuming that friction is almost the same in both axes, the elastic displacement of each axis is

【数23】 となり、Δσ=σ−σである。予め、質量がわかっ
ていれば、加速度を2通り以上の条件で、この測定を行
なえば、各軸の剛性が計算できる。
[Equation 23] And Δσ = σ x −σ y . If the mass is known in advance, the rigidity of each axis can be calculated by performing this measurement under the condition of two or more accelerations.

【0064 】機械に備え付けの位置検出器(スケール
など)にアッベの誤差がある場合や、構造体のたわみが
含まれる場合がある。アッベの誤差がある場合には、機
械の位置検出はスケールで行なわず、2軸の平面スケー
ルを用いて前述の円弧補間精度測定を行ない、指令値と
比較する。構造体のたわみが大きい場合には、数箇所測
定を行ない、測定位置とたわみの関係を求めてもよい。
また、構造体のたわみは構造解析により予め、計算し、
その計算値を補正に加えてもよい。
There may be a case where the position detector (scale or the like) provided in the machine has an Abbe error, or the structure may include a deflection. If there is an Abbe error, the position of the machine is not detected by the scale, and the above-mentioned circular interpolation accuracy measurement is performed using a biaxial plane scale and compared with the command value. When the deflection of the structure is large, it is possible to measure at several points and obtain the relationship between the measurement position and the deflection.
In addition, the deflection of the structure is calculated in advance by structural analysis,
The calculated value may be added to the correction.

【0065 】つぎに、2軸の伝達関数の違いを補正す
る方法について説明する。2軸の伝達関数の比と角速度
の関係は図2に示されているようになるが、この値を厳
密に解くのは非常に労力を要する。そこで、この曲線を
もとに近似を行なってもよい。
Next, a method of correcting the difference between the biaxial transfer functions will be described. The relationship between the ratio of the transfer functions of the two axes and the angular velocity is as shown in FIG. 2, but it is very laborious to exactly solve this value. Therefore, approximation may be performed based on this curve.

【0066 】例1:ハイブリッドの伝達関数は1次遅
れ要素を含む。このため、指数関数で近似を行なう。 例2:角速度が低い場合には、ゲインずれは少なく、ほ
ぼ1とみなせる。そこで、ある角速度まではこの補正
による係数は1とする。ゲインの変化が大きくなる角
速度からの曲線を複数の直線で線形近似する。例2の補
正のパターンを図7に示す。
Example 1: The transfer function of a hybrid contains a first-order lag element. Therefore, the approximation is performed with an exponential function. Example 2: When the angular velocity is low, the gain deviation is small and can be regarded as almost 1. Therefore, the coefficient by this correction is set to 1 up to a certain angular velocity. The curve from the angular velocity at which the gain change becomes large is linearly approximated by a plurality of straight lines. The correction pattern of Example 2 is shown in FIG.

【0067 】これにより、複雑な演算を簡便化し、N
Cの演算処理を軽減できる。なお、図7において、実線
は厳密解、点線は補正線を各々示している。図7は、角
速度ω1=18、傾きa1=0、角速度ω2=45、傾き
a2=0.0009、角速度ω3=∞、傾きa3=0.0
002の3直線で近似した例である。
This simplifies a complicated operation, and N
The calculation processing of C can be reduced. In FIG. 7, the solid line shows the exact solution and the dotted line shows the correction line. In FIG. 7, the angular velocity ω1 = 18, the inclination a1 = 0, the angular velocity ω2 = 45, the inclination a2 = 0.0009, the angular velocity ω3 = ∞, and the inclination a3 = 0.0.
This is an example approximated by three straight lines of 002.

【0068 】図8はこの発明によるサーボ制御方法の
実施の形態を粘性摩擦が条件により異なる場合について
示している。なお、図8において、図1に対応する部分
は、図1に付した符号と同一の符号を付けて、その説明
を省略する。
FIG. 8 shows an embodiment of the servo control method according to the present invention in the case where viscous friction varies depending on conditions. In addition, in FIG. 8, portions corresponding to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals as those in FIG. 1, and description thereof will be omitted.

【0069 】補正値演算部17は、上述した実施の形
態と同様に、NCパラメータとメカニカルパラメータを
入力し、速度フィードフォワードの補正係数K1と加速
度フィードフォワードの補正係数K2を各々演算する。
The correction value calculation unit 17 inputs the NC parameter and the mechanical parameter and calculates the correction coefficient K1 for the velocity feedforward and the correction coefficient K2 for the acceleration feedforward, respectively, as in the above-described embodiment.

【0070 】速度フィードフォワード補正部19は補
正値K1によって速度フィードフォワードKsを補正
し、加速度フィードフォワード補正部20は補正値K2
によって加速度フィードフォワードKを補正す
る。
[0070] Speed feed forward correction unit 19 the speed feedforward K v s is corrected by the correction value K1, the acceleration feedforward correction unit 20 correction value K2
Correcting the acceleration feedforward K a s 2 by.

【0071 】このように、粘性摩擦が条件により異な
る場合には、速度フィードフォワードKsの補正と、
加速度フィードフォワードKの補正を、個別の補
正値K1、K2によって行うことができる。
As described above, when the viscous friction varies depending on the conditions, the velocity feedforward K vs is corrected,
The correction of the acceleration feedforward K a s 2, can be carried out by individual correction values K1, K2.

【0072 】なお、何れの実施の形態においても、熱
伝導が非常に異なる軸に対しては、熱補正係数を摩擦に
掛け、熱変位量の差を弾性変位量に加算する熱変化補正
を行うこともできる。
In any of the embodiments, the heat change correction is performed by multiplying the friction by the heat correction coefficient and adding the difference in the thermal displacement amount to the elastic displacement amount for the axes having very different heat conductions. You can also

【0073 】また、この本発明によるサーボ制御方法
は、ハイブリッド制御方式の以外に、フルクローズドル
ープ制御方式のものにも同様に適用することができる。
Further, the servo control method according to the present invention can be applied to not only the hybrid control method but also the full closed loop control method.

【0074 】[0074]

【発明の効果】以上の説明から理解される如く、この発
明によるサーボ制御方法によれば、複数軸をハイブリッ
ド制御やフルクローズドループ制御した場合に生じる各
軸毎に機械的な相違によるゲインずれを補正し、輪郭運
動誤差を向上させることができる。特に、高速円弧補間
運転やオービットボーリングの際の斜めの楕円誤差や、
過渡状態の輪郭運動誤差の軽減に効果がある。
As can be understood from the above description, according to the servo control method of the present invention, a gain deviation due to a mechanical difference between axes caused by hybrid control or full closed loop control of a plurality of axes occurs. It is possible to correct and improve the contour movement error. In particular, diagonal elliptical error during high-speed circular interpolation operation or orbit boring,
It is effective in reducing the contour motion error in the transient state.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明によるサーボ制御方法の実施の形態を
示すブロック線図である。
FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of a servo control method according to the present invention.

【図2】角速度と2軸間のゲインの比の関係を示すグラ
フである。
FIG. 2 is a graph showing a relationship between an angular velocity and a gain ratio between two axes.

【図3】2軸の補正値の比と角速度の関係の実測値を示
すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing an actually measured value of a relationship between a ratio of correction values of two axes and an angular velocity.

【図4】円弧補間運動を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing circular interpolation motion.

【図5】摩擦力と送り速度の関係(動粘度の比較)を示
すグラフである。
FIG. 5 is a graph showing the relationship between frictional force and feed rate (comparison of kinematic viscosity).

【図6】2軸の慣性力による弾性変位の差の実測値を示
すグラフである。
FIG. 6 is a graph showing measured values of differences in elastic displacement due to biaxial inertial forces.

【図7】ゲインの比と角速度の関係を近似した補正直線
の例を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing an example of a correction straight line that approximates the relationship between the gain ratio and the angular velocity.

【図8】この発明によるサーボ制御方法の他の実施の形
態実施の形態を示すブロック線図である。
FIG. 8 is a block diagram showing another embodiment of the servo control method according to the present invention.

【図9】ハイブリッド制御方式の近似的なブロック線図
である。
FIG. 9 is an approximate block diagram of a hybrid control system.

【図10】斜めの楕円誤差の例を示す説明図である。FIG. 10 is an explanatory diagram showing an example of an oblique ellipse error.

【図11】(a)、(b)は2軸のゲイン特性を示すグ
ラフである。
FIG. 11A and FIG. 11B are graphs showing biaxial gain characteristics.

【図12】(a)、(b)は2軸の位相特性を示すグラ
フである。
12A and 12B are graphs showing biaxial phase characteristics.

【図13】フルクローズドループ制御方式の近似的なブ
ロック線図である。
FIG. 13 is an approximate block diagram of a full closed loop control system.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 サーボモータ系 12 機械系 13 ローパスフィルタ 15 速度フィードフォワード部 16 加速度フィードフォワード部 17 補正値演算部 18 フィードフォワード補正部 19 速度フィードフォワード補正部 20 加速度フィードフォワード補正部 11 Servo motor system 12 Mechanical system 13 Low-pass filter 15 Speed feed forward section 16 Acceleration feed forward section 17 Correction value calculation unit 18 Feedforward correction unit 19 Velocity feedforward correction unit 20 Acceleration feedforward correction unit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 3C001 KA05 TA01 TA04 TD01 5H269 BB03 CC01 DD01 EE01 EE03 EE05 FF06 GG01 GG09 JJ01 5H303 AA01 AA10 BB02 BB07 CC01 CC07 CC08 DD01 DD25 EE03 EE07 FF03 KK23 KK25 KK29 MM05    ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continued front page    F-term (reference) 3C001 KA05 TA01 TA04 TD01                 5H269 BB03 CC01 DD01 EE01 EE03                       EE05 FF06 GG01 GG09 JJ01                 5H303 AA01 AA10 BB02 BB07 CC01                       CC07 CC08 DD01 DD25 EE03                       EE07 FF03 KK23 KK25 KK29                       MM05

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 多軸同時制御において、機械位置検出値
によるフィードバック補償の一次遅れ時定数の設定値と
角速度の変化に応じた伝達関数を各軸毎に演算し、各軸
の伝達関数が互いに同じになるようにフィードフォワー
ド量を設定することを特徴とするサーボ制御方法。
1. In multi-axis simultaneous control, a transfer function is calculated for each axis according to a set value of a first-order lag time constant for feedback compensation based on a detected value of a machine position and a change in angular velocity, and the transfer functions of the respective axes are mutually calculated. A servo control method characterized in that the feedforward amount is set to be the same.
【請求項2】 負荷質量の変化を検出し、これによる慣
性力の変化量を演算し、慣性力の変化量を加味して各軸
毎の前記伝達関数を算出することを特徴とする請求項1
に記載のサーボ制御方法。
2. A transfer function for each axis is calculated by detecting a change in the load mass, calculating a change amount of the inertial force due to the change, and taking the change amount of the inertial force into consideration. 1
The servo control method described in.
【請求項3】 負荷質量の機械位置に応じて各軸の剛性
の変化量を演算し、剛性の変化量を加味して各軸毎の前
記伝達関数を算出することを特徴とする請求項1または
2に記載のサーボ制御方法。
3. The transfer function for each axis is calculated by calculating the amount of change in rigidity of each axis according to the mechanical position of the load mass and adding the amount of change in rigidity. Alternatively, the servo control method described in 2.
【請求項4】 送り速度による粘性減衰係数、摩擦力の
変化を考慮して各軸毎の前記伝達関数を算出することを
特徴とする請求項1〜3の何れか1項に記載のサーボ制
御方法。
4. The servo control according to claim 1, wherein the transfer function is calculated for each axis in consideration of changes in a viscous damping coefficient and a frictional force depending on a feed speed. Method.
【請求項5】 軸間の熱変位量の差を弾性変位量に加算
することを特徴とする請求項1〜4の何れか1項に記載
のサーボ制御方法。
5. The servo control method according to claim 1, wherein a difference in thermal displacement between the axes is added to the elastic displacement.
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