JP2003005802A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2003005802A5 JP2003005802A5 JP2002111055A JP2002111055A JP2003005802A5 JP 2003005802 A5 JP2003005802 A5 JP 2003005802A5 JP 2002111055 A JP2002111055 A JP 2002111055A JP 2002111055 A JP2002111055 A JP 2002111055A JP 2003005802 A5 JP2003005802 A5 JP 2003005802A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- control
- controller
- pid
- parameter value
- pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002111055A JP4046538B2 (ja) | 2001-04-17 | 2002-04-12 | 制御方法 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001-118680 | 2001-04-17 | ||
JP2001118680 | 2001-04-17 | ||
JP2002111055A JP4046538B2 (ja) | 2001-04-17 | 2002-04-12 | 制御方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003005802A JP2003005802A (ja) | 2003-01-08 |
JP2003005802A5 true JP2003005802A5 (ko) | 2005-06-30 |
JP4046538B2 JP4046538B2 (ja) | 2008-02-13 |
Family
ID=26613722
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002111055A Expired - Fee Related JP4046538B2 (ja) | 2001-04-17 | 2002-04-12 | 制御方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4046538B2 (ko) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007190594A (ja) * | 2006-01-20 | 2007-08-02 | Nippon Avionics Co Ltd | 溶接機およびその制御方法 |
JP4553266B2 (ja) * | 2007-04-13 | 2010-09-29 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、制御定数の自動調整方法及び記憶媒体 |
JP2011044446A (ja) * | 2009-08-19 | 2011-03-03 | Tokyo Electron Ltd | 圧力制御機器、圧力制御方法および基板処理装置 |
JP5632626B2 (ja) | 2010-03-04 | 2014-11-26 | 東京エレクトロン株式会社 | 自動整合装置及びプラズマ処理装置 |
CN104914717B (zh) * | 2015-04-13 | 2018-12-14 | 珠海格力电器股份有限公司 | 基于人工智能算法的自动寻优控制方法 |
JP6368686B2 (ja) | 2015-06-10 | 2018-08-01 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置、熱処理装置の調整方法、及び、プログラム |
JP6345320B1 (ja) | 2017-07-07 | 2018-06-20 | パーカー熱処理工業株式会社 | 表面硬化処理装置及び表面硬化処理方法 |
JP7014123B2 (ja) * | 2018-10-05 | 2022-02-01 | 株式会社島津製作所 | 推定装置およびバルブ制御装置 |
-
2002
- 2002-04-12 JP JP2002111055A patent/JP4046538B2/ja not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI394019B (zh) | 控制一設備中一製程的方法與系統 | |
JP2005526306A5 (ko) | ||
US9631831B2 (en) | Method for controlling the opening of an HVAC valve based on the energy-per-flow gradient | |
JP2009535716A5 (ko) | ||
EP1321836A1 (en) | Controller, temperature controller and heat processor using same | |
JPH07208343A (ja) | 液圧動力制御装置 | |
JPH07208344A (ja) | 液圧動力制御装置 | |
US9152134B2 (en) | Closed-loop control device | |
KR20160047430A (ko) | 유량 제어 장치 및 유량 제어 프로그램 | |
JP2003005802A5 (ko) | ||
CN105388764A (zh) | 基于动态矩阵前馈预测的电液伺服pid控制方法及系统 | |
CN110094838B (zh) | 一种基于空调系统的可变参数无模型自适应控制方法 | |
CN107102555B (zh) | 一种镇定一阶惯性加纯滞后系统的线性自抗扰控制器设计方法 | |
CN104668493B (zh) | 一种连铸机结晶器的复合振动控制系统的控制方法 | |
CN206301228U (zh) | 控制设备以及具有控制设备的调温设备 | |
KR102064644B1 (ko) | 적어도 하나의 템퍼링 원의 적어도 하나의 제어값을 제어하기 위한 폐쇄 루프 제어 장치 | |
EP3506043B1 (en) | Method for controlling a heating or cooling system | |
CN115609111B (zh) | 脉冲焊接电源温度自适应调节的控制方法及脉冲焊接电源 | |
US11841720B2 (en) | Flow rate controller, flow rate control method, and program recording medium for flow rate controller | |
CN113343365B (zh) | 基于双阀调节的空气容腔压力精准控制方法和系统 | |
CN107748511A (zh) | 基于四开关阀同开策略的气动位置控制系统及其控制方法 | |
JP2004340021A (ja) | スロットルバルブ制御装置 | |
JP2003256003A (ja) | 非線形分離制御方法および装置 | |
Vinodhini et al. | Design of fuzzy I-PD controller for level control of spherical tank system | |
KR950001442A (ko) | 적응제어력을 갖춘 비례-적분-미분 콘트롤러 |