JP2003004651A

JP2003004651A - 欠陥検査装置

Info

Publication number: JP2003004651A
Application number: JP2001183362A
Authority: JP
Inventors: Tadashi Suga; 忠須賀; Shintaro Tashiro; 慎太郎田代
Original assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Current assignee: Mitsubishi Rayon Co Ltd
Priority date: 2001-06-18
Filing date: 2001-06-18
Publication date: 2003-01-08

Abstract

(57)【要約】【課題】ラインＣＣＤカメラに到達する光量の調整
を自動で行うことができ、円柱状または円筒状の検査対
象物の外壁面の検査を効率的に行うことができる欠陥検
査装置を提供する。【解決手段】円柱状または円筒状の検査対象物２の欠
陥を検出する欠陥検査装置１において、検査対象物２の
外壁面を照明するライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃ
と、検査対象物２を挟んでライン状照明装置３ａ、３
ｂ、３ｃに対面する反射板４ａ、４ｂ、４ｃと、検査対
象物２および反射板４ａ、４ｂ、４ｃからの反射光を撮
像する複数台のラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃ
と、ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃからの信号を
処理する画像処理装置６とを具備する欠陥検査装置１。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、連続的に走行する
円柱状または円筒状の検査対象物の外壁面に発生する異
物、黒点、キズなどの欠陥を検出するための欠陥検査装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】円柱状または円筒状の検査対象物の外壁
面に発生する異物、黒点、キズなどの欠陥を検出するた
めの欠陥検査装置として、図８に示す欠陥検査装置が、
特願２０００−１６０９０１号に本発明者等によって提
案されている。

【０００３】この欠陥検査装置２１は、検査対象物２の
外壁面を照明するリング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２
３ｃと、リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃの外
周に設けられ、出射方向を検査対象物２とする円弧状照
明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃと、リング状照明装置２
３ａ、２３ｂ、２３ｃによる検査対象物２からの反射光
と円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃからの光を撮
像する、検査対象物２の同心円状に複数台配置されたラ
インＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃと、ラインＣＣＤカ
メラ５ａ、５ｂ、５ｃの画像信号を処理する画像処理装
置６とを具備して構成されるものである。

【０００４】リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃ
は、リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃの中心部
を走行している検査対象物２を照明するものである。円
弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃは、リング状照明
装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃによる検査対象物２からの
反射光の不足および検査対象物２（反射物）のない空間
の光量を補っているものである。

【０００５】すなわち、円弧状照明装置２４ａ、２４
ｂ、２４ｃがない状態でリング状照明装置２３ａ、２３
ｂ、２３ｃによる検査対象物２からの反射光をラインＣ
ＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃで撮像した場合には、図９
の画像信号に示すように、検査対象物２のない空間は、
出力がほぼ０となり、検査対象物２のない空間を欠陥と
して誤検出してしまう。一方、円弧状照明装置２４ａ、
２４ｂ、２４ｃが設けられた状態でリング状照明装置２
３ａ、２３ｂ、２３ｃによる検査対象物２からの反射光
および円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃからの光
をラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃで撮像した場合
には、図１０の画像信号に示すように、出力は全体的に
フラットになり、欠陥を安定して検出することができ
る。

【０００６】ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃは、
照明された検査対象物２の幅方向を一次元的に撮像し、
検査対象物２からの光を電気信号に変換して画像処理装
置６に送信するものである。画像処理装置６は、ライン
ＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃからの画像信号をもとに
検査対象物２の欠陥を判別するものである。

【０００７】また、リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、
２３ｃ、円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃおよび
ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃは、リング状照明
装置、円弧状照明装置およびラインＣＣＤカメラを１セ
ットとして、各セットａ、ｂ、ｃを、検査対象物２の長
手方向に一定間隔をあけてずらして配置される。また、
ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃは、検査対象物２
を正面から見た際に、隣接するラインＣＣＤカメラ間の
角度θが円周等分となるように、すなわちラインＣＣＤ
カメラが３台の場合は、θが１２０度となるように配置
される。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】この欠陥検査装置２１
においては、照明装置としてリング状照明装置２３ａ、
２３ｂ、２３ｃおよび円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、
２４ｃの２種類を使用しており、リング状照明装置２３
ａ、２３ｂ、２３ｃによる検査対象物２からの反射光量
と円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃによる光量と
が一定範囲内に収まるように、ラインＣＣＤカメラ５
ａ、５ｂ、５ｃからの画像信号の出力波形を見ながら、
リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃおよび円弧状
照明装置２４ａ、２４ｂ、２４ｃの光量を手動で調整し
ている。

【０００９】しかしながら、これらの光量が一定範囲内
に収まるように行われるリング状照明装置２３ａ、２３
ｂ、２３ｃおよび円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２４
ｃの光量の調整は、検査対象物２からの反射光量がリン
グ状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃと円弧状照明装置
２４ａ、２４ｂ、２４ｃの両方の影響を受けるため、自
動的に行うことは難しく、手動で行う必要があった。す
なわち、リング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃのみ
で照明した時の検査対象物３からの反射光量が５００ｍ
Ｖであった場合には、検査対象物２がない空間の光量も
５００ｍＶになるように円弧状照明装置２４ａ、２４
ｂ、２４ｃの光量を調整する。しかし、このとき検査対
象物２からの光量は円弧状照明装置２４ａ、２４ｂ、２
４ｃの影響を受けて５００ｍＶ以上になってしまい、リ
ング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃの光量を下げる
必要がある。検査対象物２からの反射光量が５００ｍＶ
になるようにリング状照明装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃ
の光量を下げると、側面に近い部分の光量は５００ｍＶ
よりも下がってしまうことになる。このように検査範囲
の光量レベルをある一定範囲に収めるにはリング状照明
装置２３ａ、２３ｂ、２３ｃと円弧状照明装置２４ａ、
２４ｂ、２４ｃとの光量をバランス良く調整する必要が
あり、自動的に調整することは難しい。しかも、照明装
置の光量には経時変化があるため、リング状照明装置２
３ａ、２３ｂ、２３ｃおよび円弧状照明装置２４ａ、２
４ｂ、２４ｃの調整は頻繁に行う必要があった。

【００１０】よって、本発明の目的は、ラインＣＣＤカ
メラに到達する光量の調整を自動で行うことができ、円
柱状または円筒状の検査対象物の外壁面の検査を効率的
に行うことができる欠陥検査装置を提供することにあ
る。また、本発明の目的は、さらに、円柱状または円筒
状の検査対象物の外壁面の検査を精度よく行うことがで
きる欠陥検査装置を提供することにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】本発明の欠陥検査装置
は、円柱状または円筒状の検査対象物の欠陥を検出する
欠陥検査装置において、前記検査対象物の外壁面を照明
するライン状照明装置と、前記検査対象物を挟んで前記
ライン状照明装置に対面する反射板と、前記検査対象物
および前記反射板からの反射光を撮像する複数台のライ
ンＣＣＤカメラと、該ラインＣＣＤカメラからの信号を
処理する画像処理装置とを具備することを特徴とする。

【００１２】また、前記反射板は、前記ライン状照明装
置からの光を前記検査対象物に向けて反射する曲面形状
であることが望ましい。また、前記反射板は、前記ライ
ン状照明装置からの光を前記検査対象物に向けて反射す
るように傾斜面が形成されたものであることが望まし
い。また、本発明の欠陥検査装置は、ラインＣＣＤカメ
ラからの正常部分の信号の出力に応じてライン状照明装
置にかける電圧を調整することによって、前記ライン状
照明装置からの光量を自動的に調整する光量自動調整手
段を具備することが望ましい。

【００１３】

【発明の実施の形態】以下、本発明について詳細に説明
する。図１は、本発明の欠陥検査装置の一例を示す正面
図であり、図２は、ライン状照明装置、反射板およびラ
インＣＣＤカメラからなる１セットの側面図である。

【００１４】この欠陥検査装置１は、連続的に走行する
円柱状または円筒状の検査対象物２の外壁面を照明する
ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃと、検査対象物２を
挟んでライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃに対面する反
射板４ａ、４ｂ、４ｃと、検査対象物２および反射板４
ａ、４ｂ、４ｃからの反射光を撮像するラインＣＣＤカ
メラ５ａ、５ｂ、５ｃと、ラインＣＣＤカメラ５ａ、５
ｂ、５ｃからの信号を処理する画像処理装置６と、ライ
ンＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃからの正常部分の信号
の出力に応じてライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃにか
ける電圧を調整する光量自動調整装置（光量自動調整手
段、図示略）を具備して構成されるものである。

【００１５】ここで、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３
ｃ、反射板４ａ、４ｂ、４ｃおよびラインＣＣＤカメラ
５ａ、５ｂ、５ｃは、ライン状照明装置、反射板および
ラインＣＣＤカメラを１セットとして、各セットａ、
ｂ、ｃを、検査対象物２の長手方向に一定間隔をあけて
ずらして配置される。また、ラインＣＣＤカメラ５ａ、
５ｂ、５ｃは、検査対象物２を正面から見た際に、隣接
するラインＣＣＤカメラ間の角度θが円周等分となるよ
うに、すなわちラインＣＣＤカメラが３台の場合は、θ
が１２０度となるように配置される。

【００１６】前記検査対象物２は、円柱状または円筒状
の長尺のものである。検査対象物２としては、例えば、
銅線などの金属線、樹脂チューブ、ゴムチューブなどが
挙げられる。

【００１７】前記ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃ
は、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃと反射板４ａ、
４ｂ、４ｃとの間を走行している検査対象物２をライン
ＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃ側から照明するものであ
る。なお、本発明においては、検査対象物２に代えて、
ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃ、反射板４ａ、４
ｂ、４ｃおよびラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃを
検査対象物２に沿って走行させることもできる。ライン
状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃとしては、例えば、蛍光
灯、ロッド照明、ライン状に配置された光ファイバ照明
などを用いることができる。図示例のライン状照明装置
３ａ、３ｂ、３ｃは、具体的には、検査対象物２に直交
する方向に、２本の蛍光管１０，１０を平行に並べたも
のである。

【００１８】前記反射板４ａ、４ｂ、４ｃは、ライン状
照明装置３ａ、３ｂ、３ｃによって照明された検査対象
物２からの反射光の不足および検査対象物２のない空間
の光量を補うためのものである。この反射板４ａ、４
ｂ、４ｃは、図３に示すように、検査対象物２に平行な
反射板の両縁を検査対象物２側に屈曲させることによ
り、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃに対して平行な
底面１１と、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃからの
光を検査対象物２に向けて反射する傾斜面１２、１３と
から構成されたものである。

【００１９】この傾斜面１２、１３からの反射光は、ラ
インＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃ側から見た検査対象
物２の両側面を照明する。検査対象物２の両側面では、
ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃからの光はラインＣ
ＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃの方向にはあまり反射され
ないため、検査対象物２からの反射光が不足し、欠陥と
して誤検出されるおそれがある。したがって、傾斜面１
２，１３からの反射光によって、検査対象物２の両側面
を照明し、検査対象物２の両側面からの反射光の不足を
補い、誤検出を抑止することができる。

【００２０】反射板４ａ、４ｂ、４ｃの材質は、検査対
象物２による反射光と同レベルの反射光を得ることがで
きるものであれば特に限定はされない。反射板４ａ、４
ｂ、４ｃの材質としては、例えば、紙、アルミニウム、
樹脂などが挙げられる。

【００２１】前記ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃ
は、ＣＣＤ素子（図示略）が１次元に配置されたカメラ
であり、照明された検査対象物２の幅方向を１次元的に
撮像し、検査対象物２からの反射光および反射板４ａ、
４ｂ、４ｃからの反射光をＣＣＤ素子で取り込み、これ
を電気信号に変換して画像処理装置６に送信するもので
ある。前記画像処理装置６は、ラインＣＣＤカメラ５
ａ、５ｂ、５ｃからの画像信号をもとに検査対象物の欠
陥を判別するものである。画像処理装置６としては、欠
陥検査装置に用いられている公知の画像処理装置を用い
ることができる。前記光量自動調整装置は、ラインＣＣ
Ｄカメラからの正常部分の信号の出力に応じてライン状
照明装置にかける電圧を調整することによって、前記ラ
イン状照明装置からの光量を自動的に調整するものであ
る。

【００２２】次に、この欠陥検査装置１の動作について
説明する。ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃから照射
され検査対象物２で反射された反射光、ライン状照明装
置３ａ、３ｂ、３ｃから照射され反射板４ａ、４ｂ、４
ｃの底面１１で反射された反射光、およびライン状照明
装置３ａ、３ｂ、３ｃから照射され反射板４ａ、４ｂ、
４ｃの傾斜面１２、１３で反射され、さらに検査対象物
２で反射された反射光は、ラインＣＣＤカメラ５ａ、５
ｂ、５ｃで撮像され、画像信号に変換され、画像処理装
置６に送信される。

【００２３】検査対象物２の外壁面に、欠陥（異物、黒
点など）がある場合、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３
ｃから照射された光は、欠陥により反射率が低下し、そ
の部分のみラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃに到達
する光量が少なくなる。このため、画像処理装置６で、
画像信号の電圧値が予め設定された閾値よりも低くなる
部分を欠陥とすることにより、検査対象物２の欠陥が検
出される。なお、欠陥の種類によっては、画像信号の電
圧値が高くなる部分を欠陥とする場合もある。

【００２４】欠陥検査装置１を用いて検査対象物２を検
査する間、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃからの光
量は経時変化するため、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、
３ｃの光量調整は頻繁に行う必要がある。ライン状照明
装置３ａ、３ｂ、３ｃの光量調整は、ラインＣＣＤカメ
ラ５ａ、５ｂ、５ｃからの画像信号の正常部分の出力に
基づいて、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃや反射板
４ａ、４ｂ、４ｃと検査対象物２との距離を自動的に調
整したり、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃにかける
電圧を増減させて出射する光量を自動的に調整すること
によって行われる。特に、光量自動調整装置を用いて、
ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃにかける電圧を調整
する方法が、容易に自動調整を行えるため好ましい。

【００２５】このような欠陥検査装置１にあっては、ラ
イン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃから照射された光を、
検査対象物２を挟んでライン状照明装置３ａ、３ｂ、３
ｃに対面するように配置された反射板４ａ、４ｂ、４ｃ
で反射するようにしているので、照明装置としてライン
状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃのみを設置するだけでよ
く、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃや反射板４ａ、
４ｂ、４ｃと検査対象物２との距離を自動的に調整した
り、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃにかける電圧を
増減させて出射する光量を自動的に調整することによっ
て、ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃに到達する光
量の調整を自動で行うことが可能となる。これにより、
検査対象物２の外壁面の検査を効率的に行うことができ
る。

【００２６】また、反射板４ａ、４ｂ、４ｃが、ライン
状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃからの光を検査対象物２に
向けて反射するように傾斜面１２、１３が形成されたも
のであるので、傾斜面１２，１３からの反射光によっ
て、ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃ側から見た検
査対象物２の両側面を照明し、検査対象物２の両側面か
らの反射光の不足を補うことができ、検査対象物２の外
壁面の検査精度をさらに向上させることができる。ま
た、光量自動調整装置を用いることによって、光量の自
動調整を容易に行うことができる。

【００２７】なお、本発明の欠陥検査装置における反射
板の形状は、図示例のように傾斜面１２、１３が形成さ
れた反射板４ａ、４ｂ、４ｃに限定はされず、平面状
や、ライン状照明装置からの光を検査対象物に向けて反
射する曲面形状であっても構わない。ただし、ラインＣ
ＣＤカメラ側から見た検査対象物の両側面を照明し、検
査対象物からの反射光の不足を補うことを考慮した場
合、反射板は、傾斜面が形成された反射板、曲面形状の
反射板など、検査対象物の周囲を包み込む形の反射板が
好ましい。

【００２８】また、傾斜面が形成された反射板について
も、図示例のように傾斜面が２面形成されたものに限定
はされず、検査対象物の両側面を照明し、検査対象物か
らの反射光の不足を補うことができるものであれば、傾
斜面の傾斜角度が段階的に変化するように３面以上の傾
斜面が形成された反射板であっても構わない。

【００２９】また、本発明の欠陥検査装置におけるライ
ンＣＣＤカメラの数は、図示例の３台に限定はされず、
検査対象物の外壁面全体を検査できるように、２台以上
設置されていればよい。ただし、精度よく欠陥を検出す
るためには、ラインＣＣＤカメラは３台以上設置されて
いることが好ましい。

【００３０】また、本発明における光量自動調整手段
は、本形態例のような独立した光量自動調整装置に限定
はされず、例えば、画像処理装置に、ラインＣＣＤカメ
ラからの正常部分の信号の出力に応じてライン状照明装
置にかける電圧を調整することによって、前記ライン状
照明装置からの光量を自動的に調整する機能を追加した
形態であっても構わない。

【００３１】

【実施例】以下、実施例を挙げて本発明をさらに具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるも
のではない。［実施例１］円柱状または円筒状の検査対象物２として
銅線、ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃとして平行に
２本配置した蛍光管１０、１０、反射板４ａ、４ｂ、４
ｃとして傾斜面１２、１３が形成された反射板を用いた
ときの実施例を以下に示す。

【００３２】検査対象物２としては、φ２ｍｍの銅線を
用いた。ライン状照明装置３ａ、３ｂ、３ｃとしては、
三菱レイヨン株式会社製の蛍光灯照明装置を使用した。
蛍光管１０は、直径１５．５ｍｍ、蛍光管長２８７ｍｍ
のものである。

【００３３】反射板４ａ、４ｂ、４ｃとしては、銅色に
塗装したアルミ板を使用した。この反射板４ａ、４ｂ、
４ｃの底面１１の長さＡは３０ｍｍ、傾斜面１２，１３
の長さＢは２０ｍｍ、傾斜面１２，１３の傾き角度Ｃは
４５度、反射板の幅は２０ｍｍである。

【００３４】ラインＣＣＤカメラ５ａ、５ｂ、５ｃとし
ては、三菱レイヨン株式会社製ラインＣＣＤカメラ（型
名：ＳＣＤ−２０４８Ｂ−２０）を使用した。このライ
ンＣＣＤカメラは、ＣＣＤ素子数２０４８素子、駆動周
波数２０ＭＨｚで動作するものである。走行方向の分解
能を２０μｍ／スキャンとするため、走査周期は０．１
２ｍｓとした。

【００３５】画像処理装置６としては、三菱レイヨン株
式会社製画像処理装置（型名：ＬＳＣ−３００）を使用
した。この画像処理装置６は、ラインＣＣＤカメラ５
ａ、５ｂ、５ｃの画像信号を予め設定した閾値で２値化
し、欠陥を判定するものである。ラインＣＣＤカメラ５
ａ、５ｂ、５ｃのＣＣＤ素子位置と検査対象物２（銅
線）の中心軸との距離Ｌ１は約２０３ｍｍ、ライン状照
明装置３ａ、３ｂ、３ｃ下端と検査対象物２の中心軸と
の距離Ｌ２は２１ｍｍ、反射板４ａ、４ｂ、４ｃの底面
１１と検査対象物２の中心軸との距離は６ｍｍである。

【００３６】図４は、ライン状照明装置３ａおよび反射
板４ａを使用して、検査対象物２（銅線）の正常部をラ
インＣＣＤカメラ５ａで撮像したときの画像信号の出力
波形である。幅Ｄ１が検査対象物２（銅線部分）の出力
波形（φ２ｍｍに相当する）である。検査対象物２（銅
線）の正常部では、ラインＣＣＤカメラ５ａの出力は４
００から７００ｍＶの範囲であり、その差は３００ｍＶ
であった。この出力の中間値を基準値とした場合、基準
値は５５０ｍＶとなる。ゆえに基準値の５５０ｍＶに対
して、欠陥による出力が±１５０ｍＶ以上変化したと
き、正常部の誤検出なく欠陥を検出することが可能であ
る。したがって、閾値は、４００ｍＶおよび７００ｍＶ
に設定された。

【００３７】また、本実施例においては、光量の自動調
整は、次のようにして行った。出力レベルの参照範囲Ｓ
を２５μｓとし、光量が光量調整範囲Ｖ（５００から６
００ｍＶの範囲）となるように設定し、光量自動調整装
置にて、ラインＣＣＤカメラの出力レベルが光量調整範
囲に収まっているかの確認を行い、光量調整範囲よりも
出力レベルが高ければ、照明に対するＤＡ出力を下げて
照明を暗くし、光量調整範囲よりも出力レベルが低けれ
ば照明に対するＤＡ出力を上げて照明を明るくすること
によって、光量の自動調整を行った。

【００３８】図５は、実施例１において欠陥（異物）を
有する検査対象物２を検査したときのラインＣＣＤカメ
ラ５ａの出力波形と閾値波形である。図５に示すよう
に、閾値（下限）の４００ｍＶよりも低い出力が、欠陥
として検出される。

【００３９】［実施例２］図６は、ライン状照明装置３
ａおよび、反射板４ａの代わりに平面反射板を使用し
て、検査対象物２（銅線）の正常部をラインＣＣＤカメ
ラ５ａで撮像したときの画像信号の出力波形である。幅
Ｄ２が検査対象物２（銅線部分）の出力波形（φ２ｍｍ
に相当する）である。検査対象物２（銅線）の正常部で
は、ラインＣＣＤカメラ５ａの出力は、検査対象物２
（銅線）の両側面付近で大きく下がっているため、２０
０から７００ｍＶとなり、その差は５００ｍＶであっ
た。この出力の中間値を基準値とした場合、基準値は４
５０ｍＶとなる。ゆえに基準値の４５０ｍＶに対して、
欠陥による出力が±２５０ｍＶ以上変化したとき、正常
部の誤検出なく欠陥を検出することが可能である。した
がって、閾値は、２００ｍＶおよび７００ｍＶに設定さ
れた。また、本実施例において、光量の自動調整は実施
例１と同様にして行った。

【００４０】図７は、実施例２において欠陥（異物）を
有する検査対象物２を検査したときのラインＣＣＤカメ
ラ５ａの出力波形と閾値波形である。図７に示すよう
に、検査対象物２（銅線）の両側面付近で大きく下がっ
た部分のため、閾値（下限）２００ｍＶよりも高い出力
は、欠陥として検出されず、実施例１よりも欠陥検出精
度が落ちていることがわかる。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の欠陥検査
装置は、円柱状または円筒状の検査対象物の欠陥を検出
する欠陥検査装置において、前記検査対象物の外壁面を
照明するライン状照明装置と、前記検査対象物を挟んで
前記ライン状照明装置に対面する反射板と、前記検査対
象物および前記反射板からの反射光を撮像する複数台の
ラインＣＣＤカメラと、該ラインＣＣＤカメラからの信
号を処理する画像処理装置とを具備するものであるの
で、ラインＣＣＤカメラに到達する光量の調整を自動で
行うことができ、円柱状または円筒状の検査対象物の外
壁面の検査を効率的に行うことができる。

【００４２】また、前記反射板が、前記ライン状照明装
置からの光を前記検査対象物に向けて反射する曲面形状
のものであれば、さらに、円柱状または円筒状の検査対
象物の外壁面の検査を精度よく行うことができる。ま
た、前記反射板が、前記ライン状照明装置からの光を前
記検査対象物に向けて反射するように傾斜面が形成され
たものであれば、さらに、円柱状または円筒状の検査対
象物の外壁面の検査を精度よく行うことができる。

【００４３】また、本発明の欠陥検査装置が、ラインＣ
ＣＤカメラからの正常部分の信号の出力に応じてライン
状照明装置にかける電圧を調整することによって、前記
ライン状照明装置からの光量を自動的に調整する光量自
動調整手段を具備するものであれば、光量の自動調整を
容易に行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の欠陥検査装置の一例を示す正面図で
ある。

【図２】本発明の欠陥検査装置における、ライン状照
明装置、反射板およびラインＣＣＤカメラからなる１セ
ットの側面図である。

【図３】本発明の欠陥検査装置における反射板の一例
を示す側面図である。

【図４】傾斜面が形成された反射板を使用して銅線の
正常部をラインＣＣＤカメラで撮像したときの画像信号
の出力波形である。

【図５】傾斜面が形成された反射板を使用して欠陥の
ある銅線をラインＣＣＤカメラで撮像したときの画像信
号の出力波形である。

【図６】平面反射板を使用して銅線の正常部をライン
ＣＣＤカメラで撮像したときの画像信号の出力波形であ
る。

【図７】平面反射板を使用して欠陥のある銅線をライ
ンＣＣＤカメラで撮像したときの画像信号の出力波形で
ある。

【図８】従来の欠陥検査装置の一例を示す正面図であ
る。

【図９】従来の欠陥検査装置において、円弧状照明装
置がない状態で反射光をラインＣＣＤカメラで撮像した
画像信号の出力波形である。

【図１０】従来の欠陥検査装置において、円弧状照明
装置がある状態で反射光をラインＣＣＤカメラで撮像し
た画像信号の出力波形である。

【符号の説明】

１欠陥検査装置２検査対象物３ａライン状照明装置３ｂライン状照明装置３ｃライン状照明装置４ａ反射板４ｂ反射板４ｃ反射板５ａラインＣＣＤカメラ５ｂラインＣＣＤカメラ５ｃラインＣＣＤカメラ６画像処理装置１２傾斜面１３傾斜面

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続きＦターム(参考） 2F065 AA49 BB06 BB08 DD00 GG16 JJ02 JJ25 LL12 NN02 QQ04 QQ08 2G051 AA44 AB01 AB07 BA02 BB02 BB11 BC01 CA03 CA08 CB01 DA06 EA11 EA12 EB01

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】円柱状または円筒状の検査対象物の欠陥
を検出する欠陥検査装置において、前記検査対象物の外壁面を照明するライン状照明装置
と、前記検査対象物を挟んで前記ライン状照明装置に対面す
る反射板と、前記検査対象物および前記反射板からの反射光を撮像す
る複数台のラインＣＣＤカメラと、該ラインＣＣＤカメラからの信号を処理する画像処理装
置とを具備することを特徴とする欠陥検査装置。
【請求項２】前記反射板が、前記ライン状照明装置か
らの光を前記検査対象物に向けて反射する曲面形状であ
ることを特徴とする請求項１記載の欠陥検査装置。
【請求項３】前記反射板が、前記ライン状照明装置か
らの光を前記検査対象物に向けて反射するように傾斜面
が形成されたものであることを特徴とする請求項１記載
の欠陥検査装置。
【請求項４】ラインＣＣＤカメラからの正常部分の信
号の出力に応じてライン状照明装置にかける電圧を調整
することによって、前記ライン状照明装置からの光量を
自動的に調整する光量自動調整手段を具備することを特
徴とする請求項１ないし３のいずれか一項に記載の欠陥
検査装置。