JP2002542917A - フィルターカートリッジの製造方法および検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 ネジ接続部を有するフィルターカートリッジ５０の漏れ検査を行うために、フィルターカートリッジ５０をプレート５に設けて密閉された漏れ検査室３，５に進入させる。このときネジ頭部１５をフィルターカートリッジ５０のネジ接合部に螺合し、その後カートリッジをプレート５に向けて移動させる。フィルターカートリッジの内部と試験室３，５の内部空間との間に圧力差を生じさせ、圧力差の挙動から漏れを評価する。このようにしてフィルターカートリッジ５０を実際の使用条件下で検査する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】

本発明は、請求項１のおいて書き部分に記載のフィルターカートリッジの製造
方法および請求項７のおいて書き部分に記載の検査装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】

フィルターカートリッジ、特にオイルフィルターカートリッジの製造は、本来
の溶媒濾過部材をフィルターケーシング内に格納し、このフィルターケーシング
の基底部にフィルター溶媒のためのネジ接合部を設けるという方法で行うことが
知られている。フィルターカートリッジは、使用時には、装置側に設けられた濾
過すべき溶媒のための供給管に螺合される。このとき基底部には、ネジ接合部を
囲む密閉領域が設けられ、この密閉領域は、前記のようにフィルターカートリッ
ジを螺合する際に、導管側の密閉領域に対して緊締される。

【０００３】 前記のようなフィルターカートリッジを製造する際の重要な工程は、フィルタ
ーカートリッジ、より正確にはフィルターケーシングが、密閉されているかどう
かを検査する最終的な工程である。

【０００４】 このような検査工程においては、検査すべきフィルターカートリッジが後から
どのように取り付けられ、使用されるかという点とは切り離して、密閉性の検査
が行われるのが常である。密閉性以外に、完成されたフィルターカートリッジを
後で使用できるかどうかという判断の主な基準になるのは、フィルターカートリ
ッジが使用に際して溶媒供給管にネジ留めされて固定されているときには、フィ
ルターケーシングにおけるネジ部分の形成具合と、得られる密閉性とである。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】

本発明の課題は、完成されたフィルターカートリッジを実際の使用に対応した
条件の下で確実に検査できる冒頭に述べた類の製造方法および検査装置を提供す
ることである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】

このような課題のために、冒頭に述べた類の本発明による方法は、以下の特徴
を有している。すなわち、フィルターケーシングとフィルターの組み立てに続い
て、強制的な回転によって自動的にネジ頭部をネジ接合部に螺合させ、ネジ頭部
が螺合されたフィルターカートリッジを密閉性検査室に進入させ、このとき、フ
ィルターケーシングの壁を介して圧力差を発生させ、フィルターケーシングの内
部、及び／又は、外部の圧力の挙動を観察することからフィルターケーシングに
漏れがあるかないかを推量するとともに、ネジ頭部が螺合される動きを観察する
ことからフィルターケーシングにおける形状規準値が満たされたか否かを推量す
る。 このような特徴により、前記の製造方法に基づいて、フィルターケーシングの
密閉性の検査と同時にネジ接合部の形成具合も検査される。

【０００７】 ネジ接合部のネジに対する規準値が満たされていない場合は、密閉性の検査、
すなわち圧力の挙動を観察することによっても、また、螺合時の動きにおける機
械的な運動の仕方を観察することによっても検知することができる。

【０００８】 さらに好適な実施の形態では、基底部の外側、かつネジ接合部の周囲に密閉部
を設け、フィルターケーシングを基底部で搬送プレートに載置し、ネジ頭部をこ
の搬送プレートを貫通させてネジ接合部に留め、その後、ネジ頭部を用いてフィ
ルターケーシングの基底部に設けられた密閉部を搬送プレートに対して緊締する
。

【０００９】 実際に使用される場合のように、前記の密閉領域をフィルターケーシングに設
けると、この密閉領域の部分の動作も検査される。

【００１０】 本発明による方法のさらなる好適な実施の形態では、ネジ頭部が螺合されて動
かされるとき、ならびに、場合により設けられる密閉領域と搬送プレートとが緊
締されるときに、搬送プレートが検査室カバーに向かって相対的に移動する。搬
送プレートは、検査室カバーとともに検査室を形成している。

【００１１】 さらに、フィルターケーシングの内部に、ネジ頭部、及び／又は、ネジ頭部と
直に接触している領域を介して圧力を付与することが好ましい。本発明による方
法のさらなる好適な実施の形態では、たった一つの直線運動駆動部によって、ネ
ジ頭部の螺合時の運動、場合によって行われる密閉領域の搬送プレートに対する
緊締、そして、場合によって同時に行われる搬送プレートと検査室カバーとの相
対移動を実現する。

【００１２】 さらに、ネジ頭部の螺合時の運動、つまり、フィルターケーシングに設けられ
たネジ接合部が規準や規格に合っているかどうかを判断する目安として用いられ
、評価される運動をできるだけ簡単に検出できるようにするために、本発明によ
り、以下の点が提供される。すなわち、本発明において、搬送プレートは、支持
部に支持され、ネジ頭部は、−もっとも、すでにこのネジ頭部は、ネジの回転に
より螺合されたり引き出されたりする運動を実現するのに、支持プレートに対し
て移動可能とされているのだが−、このネジ頭部は、さらに弾性部材により付勢
された状態で支持プレートに対して直線的に移動可能に支持され、支持部に対す
るネジ頭部の位置が検出されるようになっている。例えばネジ頭部が所定の螺合
による移動に際して基準位置に到達しない場合、フィルターカートリッジケーシ
ングに設けられた連結部ネジが、例えば狭すぎる等、正しく設けられていないこ
とが推量される。

【００１３】 すでに述べた通り（請求項２）、本発明による方法の好適な実施の形態では、
ネジ頭部をフィルターケーシングのネジ接合部に螺合した後、ネジ頭部を引き戻
すことによって、ケーシングフィルターの底部に設けられた密閉部が緊締される
。フィルターケーシングに設けられたネジが広すぎたり、存在していなかったり
した場合には、上述したようなネジ頭部の引き出しまたは締め付けの際の好適な
位置検出によって、ネジ頭部がネジ接合部から容認できないほど遠く引き出され
ているのが検出される。

【００１４】 本発明による検査装置は、フレームに少なくとも一つの支持プレートを有し、
この支持プレートに揃えられるようにして、通常はその上方に、検査室カバーが
設けられる。このとき、プレートおよびカバーは、駆動されて直線的に互いに相
対移動可能とされており、これにより、これらのプレートおよびカバーが一緒に
なって、密閉した状態で閉鎖可能な検査室が形成される。さて、本発明によれば
、プレートに対して相対的に回転駆動されるとともに、駆動されて直線的に移動
可能なネジ頭部が設けられ、このようなネジ頭部は、支持プレートに設けられた
開口部を貫いて支持プレート面に対してほぼ垂直に移動可能とされている。

【００１５】 本発明による検査装置の好適な実施の形態は、請求項８から１６に記載されて
いる。

【００１６】

【発明の実施の形態】

以下に本発明を図に基づいて説明する。図は、本発明による製造方法を実施す
るための検査装置を示している。

【００１７】 図には、本発明による製造方法を説明するために、本発明による検査装置の主
な構成部材が示されている。

【００１８】 フレーム１には、検査室カバー３が支持されており、この検査室カバーが、支
持プレート５と共に開放可能かつ閉鎖可能な密閉された検査室を形成するように
なっている。支持プレート５には、カバー３に対向して収納室７が取り付けられ
、この収納室が、支持プレート５と共にフレーム１に対し、符号９によって示す
ように直線的に移動可能とされている。

【００１９】 収納室７内には、シリンダ１１が装置の軸Ａの方向に直線的に進退自在に支持
されている。シリンダ１１は、端部で伝達アンカー１３に載置されている。シリ
ンダ１１内には、ネジ頭部１５が、回転が拘束された状態で、バネ部材１７によ
って示されるように弾性力により付勢された状態で、装置の軸Ａの方向に直線的
に移動可能に支持されている。伝達アンカー１３は、装置の軸Ａの方向に直線的
に移動可能な状態で開口部１９を通り、収納室７から延出している。

【００２０】 フレーム１には、さらに装置の軸Ａの方向に移動可能にスライダ２１が支持さ
れている。上記伝達アンカー１３は、開口部２３を通って、スライダ２１のチャ
ンバに達し、このスライダチャンバ内で回転可能、かつ、バネ２５が及ぶ範囲内
で、弾性力により付勢された状態で直線的に装置の軸Ａの方向に移動可能に支持
されている。プレート５に接続された収納室７およびスライダ２１のチャンバは
、２本のアームを有するレバー２７を介して運動が連結されている。レバー２７
の一方のアーム２７ａは、２８ａで示されるように、収納室７に揺動可能に軸受
けされ、中央軸受け２８ｂにおいて第２のレバー２７ｂが揺動可能に軸受けされ
ている。第２のレバー２７ｂは、２８ｃで示されるように、スライダ２１に揺動
可能に軸受けされている。２本のアームからなるレバー２７の中央連結部２８ｂ
は、フレーム１に対して固定されたガイドカム３１内に案内される。このガイド
カムは、装置の軸Ａの方向に対する横断方向の横断方向成分ｙによって、中央連
結部２８ｂに対する移動経路を規定している。

【００２１】 伝達アンカー１３には、変換ギア３３が設けられている。変換ギア３３は、特
に歯車といった、好ましくは受入車輪部３５によって図示されるような直線運動
受取部を入力側に有している。この歯車３５は、例えば、図において歯車３５と
フレーム１に設けられたラック３７との噛合によって示されるように、予め決め
られた部分に沿って伝達アンカー１３がフレーム１に対して行う直線運動を読み
取る。変換ギア３３は、入力側で把握した相対的な直線運動、基本的には、カバ
ー３とプレート５との直線的な相対運動を、出力側において、その運動の方向に
応じてアンカー１３の回転運動ωに変換し、この回転運動がネジ頭部１５に伝達
される。

【００２２】 収納室７には、圧縮空気導管３９が合流している。カバー３は、場合によって
は真空引き導管４１と連結され、このカバー３に、圧力変化算出ユニット４３が
接続されている。検査装置のために動作する唯一の駆動部として、例えば、空気
圧式のピストンとシリンダから成る装置といった直線運動駆動部４５が、フレー
ム１と支持プレート５との間、または、フレーム１と収納室７との間に好適に設
けられている。図を参照して構造が説明された上述の検査装置は、本発明による
製造方法において、以下のように作用する。

【００２３】 前もって組み立てられたフィルターカートリッジ５０は、ネジ頭部１５上、あ
るいは、ネジ頭部のためにプレート５に設けられた開口部上に、ネジ開口部５２
によって軸線を揃えた状態でケーシング底部５４に取り付けられる。フィルター
カートリッジは、この位置で、例えば吸引装置（図示せず）、あるいは、好まし
くは永久磁石および／または電磁石などの磁石４６といった保持装置によって保
持される。斯かる保持が行なわれるのは、カバー３と支持プレート５が相対的に
最大限に離れた場合である。

【００２４】 さて、このような状態で駆動部４５が作動される。検査すべきフィルターカー
トリッジ５０が取り付けられた支持プレート５、および検査室カバー３は、フレ
ーム１に沿って直線的に連動する。２本のアームを有するレバー２７を介して、
スライダ２１は、運動が連結された状態でこの直線運動に従う。ギア３３は、ラ
ック３７に噛合することにより作動し、ネジ頭部１５は、伝達アンカー１３によ
って回転運動させられる。ネジ頭部は、バネ２５の力に抗してフィルターカート
リッジ５０のネジ接合部に自動的に螺合される。プレート５、レバー２７、スラ
イダ２１が持ち上がる運動に際して、中央連結部２８ｂは、ガイド部３１内を案
内されて側方に離れるように動くため、スライダとプレート５との距離が短縮さ
れ、ネジ頭部１５がさらにねじ込まれるように動くことができるようになる。駆
動部４５によって引き起こされるプレート５とカバーとの接近運動の次の段階に
おいては、中央連結部２８ｂは、その横断方向（ｙ）外側に向かう動きから元に
戻るので、プレート５とスライダ２１との距離は、最大値に向かって再び拡大す
る。ネジ頭部１５がその間にネジ接合部５２に螺合されていることを考慮すると
、これにより、検査すべきフィルターカートリッジ５０に、ネジ頭部１５を介し
てＺ方向に引っ張り力が負荷されることになる。このフィルターカートリッジは
、ネジ接合部５２の周囲に拡がっている（図に示されない）フィルターカートリ
ッジの密閉領域によって、支持プレート５に対して密閉した状態で緊締される。
この状態で支持プレート５は、カバー３に対して密に緊締され、さらに、導管３
９から圧力が付与されることによって、場合によっては、導管４１を介して真空
引きされることによって、フィルターカートリッジ５０の壁を介して漏れ検査の
ための圧力差が加えられる。フィルターカートリッジ５０の外側、及び／又は、
内側の圧力変化を、周知の方法で追跡することによって漏れ検査が行われる。

【００２５】 このような検査が終了すると、駆動部４５を介して支持プレート５が戻され、
このときギア３３を介して方向転換されるので、ネジ頭部１５は、ネジ接合部か
ら取り出される。

【００２６】 本発明による方法および本発明による検査装置の主な特徴は、これらの方法お
よび装置によってフィルターカートリッジ５０の接続ネジが規定通りに製造され
ているかどうかを同時に確認できることである。上述のネジが小さく形成されす
ぎたり、あるいは全く設けられなかったりした場合、これにより、プレート５の
上昇時にネジ頭部１５をネジ込もうとする際、ネジ頭部が概ね底部５４の高さに
当接すると、ネジ頭部１５およびそれとともに伝達アンカー１３も、プレート５
がカバー３に向かって移動する際に上方の基準位置ＳＯＬＬに全く到達できず、
その代わり、バネ１７の力に抗して突き当てられる。

【００２７】 その一方で、ネジ頭部が、ネジに噛み合わないでも設けられた開口部に挿入さ
れたり、あるいは引き出されたりできるように、カートリッジ５０にネジ接合部
が形成されている場合、運動ガイド部３１を介してプレート５とスライダ２１と
の距離が再び増大する際に、つまり、本来ならばカートリッジ５０がプレート５
に対して緊締されるべき段階において、ネジ頭部１５は、バネ２５の力に抗して
規定に対応していない開口部から再び引き出され、伝達アンカー２７も基準位置
ＳＯＬＬに到達しない。以上の点から、フレーム１に対する伝達アンカー１３の
位置を簡単に検出することによって、検査すべきフィルターカートリッジにおい
て、接続状態が実際に使用できるように作られているかどうか検出できることが
わかる。さらに、漏れ検査の条件の下で、きちんとしていないネジ留めがなされ
ると、かなりの漏れとして表示される。図に示すように、フレーム１には、位置
検出装置５７が接続され、この位置検出装置５７によって、矢印５９で概略的に
示されるように、伝達アンカー１３の位置が監視される。

【００２８】 本発明による方法を用いると、以下のような主要な有利点が得られる。すなわ
ち、 ・ 実際の使用に対応したフィルターカートリッジの検査、および、 ・ 接続状態の検査、 ・ 接続の密閉度検査、 ・ 複雑な運動工程、すなわち検査室の閉鎖、接続部のネジ留め、実用におい
て密閉を確実なものとするカートリッジの外側の密閉部についても行われる密閉
部の検査といった工程に対する、極めて簡単な駆動状態（直線運動駆動部４５）
の実現、 ・ 固定されたフレーム部に対して或る部材の位置を検出することによる、接
続状態（ネジ接続）の極めて容易な検査である。

【００２９】 このようなフィルターカートリッジをインラインで検査するために、本発明に
よる設備には、図で説明された検査装置が、例えばメリーゴーランド式の回転体
にまとめるなどして多数設けられている。このとき、これらの検査装置は、周知
の適した搬送機構によって、順番により速く次々と検査すべきフィルターカート
リッジと一緒に送られる。

【００３０】 上述したようなフィルターカートリッジの取り付け工程、および、密閉された
検査室３，５におけるフィルターカートリッジの漏れ検査に関して、当業者には
、多くの異なる方法が周知となっており、これらの方法は、全て本願によって補
足することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による製造方法を実施するための検査装置を示す図である
。

【符号の説明】

１・・・フレーム ３・・・カバー ５・・・支持プレート（プレート） １３・・・伝達アンカー １５・・・ネジ頭部 １７，２５・・・バネ（弾性部材） １９・・・開口部 ２１・・・スライダ ２７・・・レバー ２７・・・ジョイントレバー ２７ａ・・・アーム ２８ｂ・・・中央連結部 ３１・・・運動制御カム ３３・・・ギア（回転駆動部、変換ギア） ４５・・・駆動部 ５０・・・フィルターカートリッジ ５２・・・ネジ接合部 ５４・・・ケーシング底部（基底部） ５７・・・位置検出装置

【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書

【提出日】平成１２年１２月５日（２０００．１２．５）

【手続補正１】

【補正対象書類名】明細書

【補正対象項目名】特許請求の範囲

【補正方法】変更

【補正の内容】

【特許請求の範囲】

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ， ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，Ｇ Ｂ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ， ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，Ｍ Ｇ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ， ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，Ｖ Ｎ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フィルターがフィルターケーシングに収納され、該フィルタ
   ーケーシングの基底部には、濾過すべき溶媒のためのネジ接合部（５２）が設け
   られて成るフィルターカートリッジ（５０）、特にオイルフィルターカートリッ
   ジの製造方法において、 前記ネジ接合部（５２）に自動的にネジ頭部（１５）を螺合させ、螺合された
   前記ネジ頭部（１５）とともに前記フィルターカートリッジ（５０）を密閉度検
   査室（３，５）に進入させ、前記フィルターケーシングの壁を介して圧力差を生
   じさせ、前記フィルターケーシングの内部、及び／又は、外部における圧力の挙
   動を観察することによって前記フィルターケーシングに漏れがあるかないかを推
   量し、かつ、前記ネジ頭部（１５）の螺合時の運動を観察することから前記フィ
   ルターケーシングにおいて形状規準値が満たされているかどうかを推量すること
   を特徴とするフィルターカートリッジの製造方法。
2. 【請求項２】 前記基底部（５４）の外側かつ前記ネジ接合部（５２）の周
   囲に密閉部を設ける請求項１に記載の方法において、 前記基底部（５４）で前記フィルターケーシングをプレート（５）に載置し、
   該プレートを貫通させて前記ネジ頭部（１５）を前記ネジ接合部（５２）に螺合
   させ、前記ネジ頭部（１５）によって、前記密閉部を前記プレート（５）に対し
   て緊締することを特徴とする方法。
3. 【請求項３】 前記螺合時の運動および場合によって設けられる密閉部とプ
   レートとの緊締が行われる間に、前記プレート（５）を検査室カバーに近づけ、
   前記プレート（５）が前記検査室カバーと共に前記検査室を形成するようにする
   ことを特徴とする請求項１または、２のいずれか１項に記載の方法。
4. 【請求項４】 前記フィルターケーシングの内部に、前記ネジ頭部（１５）
   、及び／又は、前記プレート（５）の前記ネジ頭部に隣接する領域を介して圧力
   を供給することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載の方法。
5. 【請求項５】 前記ネジ頭部（１５）の螺合時の運動と、場合によって設け
   られる密閉部の緊締と、場合によって同時に行われるプレート（５）および検査
   室カバー（３）の相対移動とを、直線運動駆動部（４５）によって実現すること
   を特徴とする請求項１から４のいずれか１項に記載の方法。
6. 【請求項６】 前記プレート（５）を支持部（１）に支持させ、前記ネジ頭
   部（１５）を前記プレート（５）に対して弾性力により付勢して直線的に移動可
   能に支持させ、前記ネジ頭部（１５）の前記支持部（１）に対する位置を検出部
   （５７）により検出することを特徴とする請求項項１から５のいずれか１項に記
   載の方法。
7. 【請求項７】 フィルターカートリッジ、特にオイルフィルターカートリッ
   ジのための検査装置であって、 フレーム（１）に設けられた、フィルターカートリッジ（５０）のための少な
   くとも１つのプレート（５）を有し、 前記プレート（５）に揃えられた検査室カバー（３）を有し、前記プレート（
   ５）とカバー（３）は、駆動により直線的に相対移動可能とされ、これらが共に
   密閉的に閉鎖可能な検査室を形成する検査装置において、 前記プレート（５）に対して相対的に回転駆動されるとともに駆動されて直線
   移動可能なネジ頭部（１５）がさらに設けられ、前記ネジ頭部は、プレート開口
   部を通って前記プレート面に対してほぼ垂直に移動可能であることを特徴とする
   検査装置。
8. 【請求項８】 前記ネジ頭部（１５）が前記プレート（５）および前記プレ
   ートの直線運動に対して弾性部材（１７，２５）により付勢された状態で支持さ
   れていることを特徴とする請求項７に記載の装置。
9. 【請求項９】 前記プレート（５）、及び／又は、前記カバー（３）は、駆
   動されて一方向に直線的に移動可能とされ、これらに軸線が揃えられて、スライ
   ダが前記フレーム（１）に直線移動可能に支持され、前記ネジ頭部（１５）は、
   伝達アンカー（１３）を介して前記スライダに回転移動可能、かつ前記ネジ頭部
   の直線運動に連動するように支持され、前記スライダの移動は、プレート（５）
   とカバー（３）の前記相対移動に連結されていることを特徴とする請求項７また
   は８のいずれか１項に記載の装置。
10. 【請求項１０】 プレート（５）とスライダ（２１）との間、または、カバ
    ー（３）とスライダ（２１）との間で、運動が連結され、或る設定されたプレー
    ト（５）およびカバー（３）の相対的な直線運動の行程において、前記スライダ
    （２１）がまず前記プレート（５）に接近し、その後前記スライダ（２１）から
    離れるように形成されていることを特徴とする請求項９に記載の装置。
11. 【請求項１１】 専ら前記プレート（５）と前記スライダ（２１）との間の
    連動は、２本のアームを有するジョイントレバー（２７）によって形成され、該
    ジョイントレバーの中央連結部（２８ｂ）は、プレートおよびカバーの直線運動
    方向を横切る方向の横断方向成分（ｙ）を有する運動制御カム（３１）に沿って
    案内されるように構成されていることを特徴とする請求項９または１０のいずれ
    か１項に記載の装置。
12. 【請求項１２】 前記ネジ頭部（１５）のための回転駆動部（３３）が設け
    られ、該回転駆動部は、前記カバー（３）に対する前記ネジ頭部の直線運動を前
    記ネジ頭部（１５）の回転運動に変換するように構成されていることを特徴とす
    る請求項７から１１のいずれか１項に記載の装置。
13. 【請求項１３】 前記ネジ頭部（１５）が変換ギア（３３）と作動結合し、
    該変換ギアは、入力側でプレート（５）とカバー（３）の直線相対運動を受け取
    り、出力側で前記ネジ頭部（１５）の回転運動（ω）に変換するように構成され
    ていることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
14. 【請求項１４】 前記ネジ頭部（１５）は、交換可能なネジ頭部であること
    を特徴とする請求項７から１３のいずれか１項に記載の装置。
15. 【請求項１５】 ネジ頭部とカバー（３）の相対的な位置のための位置検出
    装置（５７）が設けられていることを特徴とする請求項７から１４のいずれか１
    項に記載の装置。
16. 【請求項１６】 プレート（５）とネジ頭部（１５）との連動は、 プレート（５）とカバー（３）とが接近すると、前記ネジ頭部が回転しながら
    前記プレート（５）を貫通し、続いて前記プレート（５）に向かって戻され、 プレート（５）とカバー（３）とが離間すると、前記ネジ頭部（１５）が逆回
    転され、前記プレート（５）に向かって戻されることで行われるように構成され
    ていることを特徴とする請求項７から１５のいずれか１項に記載の装置。
17. 【請求項１７】 請求項７から１６のいずれか１項に記載の検査装置を複数
    有する検査設備。