JP2002542032A - 一様な少量の微小粉末の製造のための方法および装置ならびにそのようにして製造された物品 - Google Patents

一様な少量の微小粉末の製造のための方法および装置ならびにそのようにして製造された物品

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JP2002542032A
JP2002542032A JP2000613576A JP2000613576A JP2002542032A JP 2002542032 A JP2002542032 A JP 2002542032A JP 2000613576 A JP2000613576 A JP 2000613576A JP 2000613576 A JP2000613576 A JP 2000613576A JP 2002542032 A JP2002542032 A JP 2002542032A
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リチャード・フォットランド
ジョン・ボワーズ
ウィリアム・ジェイムソン
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マイクロドース・テクノロジーズ・インコーポレーテッド
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Abstract

(57)【要約】 一様な微小粉末の一部が、静電引力によって基体（２７）上に堆積される。この場合、電界の電荷および帯電粒子の極性が、繰返し的に（交互的に）変更され、これにより、キャリア面上に粉末の堆積体が形成される。交互的に変化する電界を使用していることにより、粒子は、互いに逆の極性へと交互に帯電され、基体上に堆積する。すなわち、互いに隣接する層どうしが交互に逆の電荷を有しているようにして、粒子が堆積していく。これにより、誘電性基体上に電荷が蓄積させることがなく、さらなる帯電粒子が堆積することができる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、全体的に非電導性の基体上に、少量の質量（通常は、数分の１グラ
ム）を堆積させることに関するものである。このような方法の最も一般的な目標
の１つは、光学的コピー機や電子光学的電子プリンタの製造である。この場合、
帯電トナー粒子を、電界によって光学的受容体上の帯電領域へと移動させる。こ
れは、いわゆる静電堆積である。粉末薬剤のパッケージングに関して静電堆積が
提案されているけれども（Pletcher氏による米国特許明細書第５，６６９，９７
３号および米国特許明細書第５，７１４，００７号を参照されたい）、静電堆積
は、所定領域内に堆積させ得る質量に制限がある。
【０００２】
【従来の技術および発明が解決しようとする課題】
この制限は、静電堆積技術にとって本来的なものであり、光学的受容体上に配
置し得る電荷量と、トナー粒子の電荷質量比と、の組合せによって、決定される
。基体の所定面積内に堆積させ得る質量は、その面積内の電荷を、堆積させるべ
き粒子の電荷質量比で割ったものに、制限される。基体の所定面積内に堆積させ
得る電荷の最大量は、基体の電気的性質や、基体上の空気またはガスの電気的性
質および絶縁破壊特性や、基体を帯電させるのに使用した機構の性質、によって
決定される。同様に、粒子の電荷質量比の最小値（堆積させ得る最大質量を決定
する）は、帯電機構によって決定される。しかしながら、電荷質量比が減少した
ときには、電荷質量比の変動が、いくらかの粒子が所望電荷とは逆に帯電してし
まう程度にまでさえも、増大してしまう。この変動は、基体上への、制御された
質量の信頼性高い堆積を妨害する。さらに、電荷質量比の小さい粒子は、堆積の
全体的速度を制限してしまう。なぜなら、粒子速度を決定することとなる、粒子
が電界から受ける力が、粒子が付帯している電荷に比例するからである。これら
の理由により、電荷質量比の大きな粒子が、一般的に好ましい。
【０００３】 肺の薬剤搬送に際しては、乾燥粉末吸入器において、１５〜６０００μｇとい
う範囲でパッケージされた薬剤が、使用される。肺内に有効に吸入されるために
は、０．５〜６．０μｍという平均粒径が必要である。薬剤が±５％という精度
でもって計量されることが重要である。製造コストを最小化するためには、１時
間あたり数十万という量を製造することが、要求される。高速計量器は、通常、
約５，０００μｇを超える薬剤サイズに制限する。よって、計量すべき合計質量
を増大させるために、活性薬剤をラクトース粉末といったような賦形剤でもって
希釈することが必要とされる。この手法は、一様に混合するという制限と、外来
のものを吸引するという制限と、を受ける。よって、そのような薬剤粉末の静電
堆積が、大いに要望されている。
【０００４】 Pressman氏他に対して付与された米国特許明細書第３，９９７，３２３号号に
は、コロナ電極イオンソースと、このイオンソースからのイオンによって帯電さ
れる霧化液体インク粒子と、イオンソースと霧化インクとの間に介装され、プリ
ントすべきパターンに応じてイオン流を制御するための（よって、インク粒子の
帯電を制御するための）多層開口と、を備えてなる静電プリント装置が開示され
ている。帯電インク粒子は、プリント受容媒体に向けて加速される。この文献は
、エアロゾル内の乾燥粉末粒子と比較しての、液体インク粒子の使用の利点を開
示している。しかしながら、この議論から、欠点は別として、乾燥粉末粒子も使
用可能であることは、明らかである。さらに、粉末粒子を帯電させるに際してイ
オンソースを使用することによって得られる電荷質量比は、摩擦帯電を使用して
得られる（光学的コピー機においてよく使用され、Pletcher氏他による米国特許
明細書第５，７１４，００７号に開示されている）電荷質量比よりも、ずっと大
きいものである。よって、上記速度の問題が克服される。そのようなプリンタは
、既に市販されている。しかしながら、Pressman氏による手法を使用して誘電体
（すなわち、粉末付帯パッケージ）上に粉末を堆積させる装置は、また、上述の
ような、誘電体上に堆積させ得る粉末量に限界があるという問題を免れない。こ
れは、堆積プロセス時に、イオンと帯電粒子との双方からの電荷が、誘電体上に
集積し、最終的には、さらなる堆積を阻害するような電界を形成するからである
。換言すれば、誘電体パッケージング材料上に堆積させ得る材料の量は、パッケ
ージング材料を横切って移動し得る電荷の量によって制限される。これは、誘電
体のキャパシタンスと、形成され得る最大電圧と、によって決定される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
上記欠点は、誘電性基体上に粒子を堆積させるために交流電界（あるいは、交
番電界、交互電界）を使用するという本発明によって克服される。より詳細には
、本発明は、エアロゾルから誘電性基体上に粒子を堆積させるための方法および
装置に関するものであって、エアロゾル粒子を帯電させ、帯電させたエアロゾル
粒子を、誘電性基体の近傍に配置された堆積領域内に導入し、堆積領域内に交流
電界を印加することにより、帯電した粒子をエアロゾルから分離させて、誘電性
基体上に堆積させ、これによって、堆積体を得る、というものである。交流電界
は、誘電性基体上への電荷の蓄積がさらなる粒子堆積を妨害することなくこれに
より比較的大きな質量の堆積体の静電堆積を可能とするようにして、帯電粒子お
よび／またはイオンを堆積させるための手段をなす。
【０００６】 本発明のある実施形態においては、粒子は、交流電界によって互いに逆の極性
へと交互に帯電され、基体上に堆積する。これにより、誘電性基体上への電荷蓄
積が防止される。
【０００７】 第２実施形態においては、粒子を帯電させるに際して双方の極性のイオンを供
給するためのイオンソースが、堆積領域内に設置される。イオンソースからは、
交流電界によって決定された極性のイオンが、抽出される。抽出されたイオンは
、粒子の帯電のために使用することができ、また、誘電性基体上の堆積粒子の放
電のために使用することができる。
【０００８】 第３実施形態においては、実質的にすべての粒子が、エアロゾルから分離され
る。この実施形態においては、堆積体の質量は、堆積領域内へと流入する質量流
通を測定し、所望の質量の堆積体が集積される堆積時間を制御することにより、
制御される。
【０００９】 さらに他の実施形態においては、堆積体の質量は、堆積領域内に流入する質量
流通と、堆積領域の直後における質量流通と、の双方を測定することにより決定
され、この差が、堆積した質量として決定される。
【００１０】
【発明の実施の形態】
本発明による上記の利点および他の利点は、添付図面を参照した以下の説明に
より、明らかとなるであろう。
【００１１】 本発明は、誘電性基体上に比較的多くの質量の材料を堆積させこれにより堆積
物品を得るための方法および装置を提供する。この制御を行うための装置全体が
、図１に示されている。この装置は、第１電極（５）と、ここでは堆積電極と称
される第２電極（３）と、この第２電極の近傍に配置されたまたはこの第２電極
に対して接触して配置された誘電性基体（１）と、を具備している。誘電性基体
（１）と第１電極（５）との間の容積は、エアロゾル粒子が導入される堆積領域
を形成している。エアロゾル粒子の導入は、図１において、水平方向の矢印によ
って示されている。図１において鉛直方向矢印で示されている交流電界（堆積電
界）が、第１電極（５）と第２電極（３）と図１に示す交流電圧源とによって、
堆積領域内に形成される。図１における交流電圧源は、バッテリ（９，１１）と
スイッチ（７）とを備えており、電圧の極性は、スイッチ（７）の位置によって
決定されるようになっている。しかしながら、本発明の範疇においては、交流電
圧を形成するための他の任意の適切な手段を使用することができる。堆積領域内
のエアロゾルからの帯電粒子は、基体（１）に対して静電的に引きつけられ、こ
れにより、図２に示すような堆積体（１５）が形成される。堆積体は、交流電界
の各サイクルに応じて堆積する一群をなす粒子によって、サイクルを行うたびに
積み重なっていくようにして、形成される。よって、静電界が使用された場合に
可能であるような質量よりも、より大きな質量でもって堆積体が形成される。堆
積体の形成プロセスは、交流電界の解除によって終了することができる。図３に
は、誘電性基体（１）上に堆積された、終了時点での堆積体が、図示されている
。
【００１２】 エアロゾル粒子は、乾燥粉末とすることも、液滴とすることも、できる。本発
明のある特別の実施形態においては、粒子は、例えばアルブテロールといったよ
うな薬剤とされる。薬剤粒子を堆積させることによって形成された薬剤堆積体は
、例えば、乾燥粉末吸入器において使用される１回分の薬剤を形成することがで
きる。本発明の第２の実施形態においては、粒子は、生物学的に活性な物質によ
ってコーティングされたキャリアとされる。生物学的に活性な物質によってコー
ティングされたキャリアの例は、ＤＮＡのフラグメント（生物学的に活性な物質
）によってコーティングされた金粒子（キャリア）である。このような粒子は、
遺伝子治療のために使用される。これらの例示は、本発明の応用を例示するため
のものであって、本発明の範囲を限定するためのものではない。
【００１３】 エアロゾルに使用するガスは、空気とすることができ、また、他の任意の適切
なガスや混合ガスとすることができる。粒子が曝される環境を正確に制御するこ
とが要望されているような応用においては、および／または、イオン放出特性（
後述）を制御することが要望されているような応用においては、純粋な窒素や、
例えば二酸化炭素といったような他のガスが少量混合されているほぼ純粋な窒素
、が好ましい。
【００１４】 エアロゾル形成機の基本構成要素としては、連続的に粒子を計量するための手
段と、エアロゾルを形成し得るよう粒子を分散させるための手段と、がある。多
数のエアロゾル形成機が、文献において既に開示されており、また、市販されて
いる。エアロゾルを形成し得るよう乾燥粉末を分散させるための最も一般的な方
法は、乾燥粉末を、高速空気流内に供給することである。その場合、剪断力によ
って、凝集した粒子どうしが個別粒子へと引き離される。ある一般的な粉末供給
方法においては、空気流がベンチュリを通って拡張する際に生成される吸引力が
使用され、これにより、ゆっくりと移動している基体から粒子が持ち上げられる
。その後、粉末粒子どうしは、ベンチュリを通る際に出くわす強力な剪断力によ
って、凝集状態から互いに引き離される。他の方法としては、比較的大きなボー
ルを有した流動床と、流動床に対して供給を行うチェイン粉末供給機と、を使用
する。計量ブレードを使用することによって計量ギヤ供給機内の隙間から粉末を
吸引し、高速空気流内へと供給すべく固まった粉末をかき集め、固まった粉末を
回転ブラシ内に投入し、そこで、粉末を高速空気流内へと供給する。クリプトン
８５放射源をエアロゾル流内に導入して、粉末上のすべての残留電荷を平衡化さ
せることができる。放射源からのα粒子が、帯電粉末に対して引きつけられるイ
オンの二極性ソースをなし、その結果、弱く帯電した二極性粒子雲が形成される
。
【００１５】 非侵食性のエアロゾルの濃度（および、既知の粒径および密度比に対しての質
量密度）は、直角散乱や光学吸収や位相ドップラー風力測定やニアフォワード散
乱を使用することによって、光学的に決定することができる。少数の市販されて
いる器具を使用することにより、濃度と粒径分布との双方を同時に決定すること
ができる。
【００１６】 粒子は、堆積領域の内部でまたは外部で帯電することができる。粒子の１つの
帯電方法は、摩擦帯電である。摩擦帯電は、粒子が異種材料と接触させられたと
きに発生するものであり、粒子が乾燥粉末である場合に使用することができる。
摩擦帯電は、周知のものであり、光学的コピーや電子写真式電子プリントプロセ
スにおいてトナー粒子を帯電させるための手段として、広く使用されている。一
般的には、粒子の摩擦帯電は、堆積領域の外部で行われる。粒子の帯電を特徴づ
ける１つのパラメータは、粒子の電荷質量比である。このパラメータは、電界か
ら粒子に対して印加し得る力の大きさを決定し、したがって、堆積時に粒子が得
ることができる最大速度を決定するという点において、重要である。電荷質量比
は、得ることができる堆積速度の上限を規定する。１μｍ〜１０μｍという直径
の粒子を摩擦帯電させる場合には、１グラムあたり１μＣ〜５０μＣという電荷
質量比を得ることができる。このような電荷質量比は、Pletcher氏他による米国
特許明細書第５，７１４，００７号において、薬剤に関して開示されている。し
かしながら、他の粒子帯電方法においては、摩擦帯電の場合よりも、少なくとも
１０倍以上大きな電荷質量比を得ることができる。よって、堆積電界の影響を受
けたときの粒子の速度を最大化するために、また、堆積速度を最大化するために
、大きな電荷質量比が得られる方法を使用することが好ましい。
【００１７】 一般に、粒子に対して多量の電荷を付与するための方法においては、正極性お
よび負極性のうちの一方または双方の多量のイオンを生成するために、イオンソ
ースを使用する。負極性のイオンは、電子とすることができる。エアロゾルから
の粒子がイオンソースの前方（帯電領域）を通過したときには、ある極性のイオ
ンが、粒子を移動させている電界によって、イオンソースから飛び出すように加
速される。粒子に衝突したイオンは、粒子に対して付着する。イオンは、粒子に
対して付着した複数のイオンに基づく局所電界が、さらに付着しようとしてやっ
てくるイオンを反発し得るほど十分に大きくなるまで、粒子の対しての付着を継
続する。図５および図６は、帯電イオンの生成と、加速電界を生成するための手
段と、に関して、２つの手法を例示している。
【００１８】 図５においては、イオンは、コロナワイヤ（３５）を使用して生成される。イ
オンは、開放メッシュスクリーン（３９）と電極（２５）との間に形成された電
界によって、開放メッシュスクリーン（３９）を通して加速される。ハウジング
（３７）は、エアロゾル粒子のコロナキャビティ内への侵入を防止し得るよう、
わずかに加圧状態とすることができる。これに代えて、コロナソースは、コロナ
ワイヤ（３５）の各位置に配置された１つまたは複数のコロナポイントとするこ
とができる。エアロゾルは、チャネル（２３）を通って、帯電領域内へと入って
くる。粒子は、スクリーン（２９）の開口を通して移動してくるコロナ生成イオ
ンによって帯電する。このような粒子帯電方法は、公知である。この方法の変形
例は、Pressman氏他による米国特許明細書第３，９７７，３２３号に開示されて
いる。図５に示すように、電極（２５）は、上述した堆積電極であり、開放メッ
シュスクリーンは、上述した堆積領域の第１電極である。同様に、基体（３３）
は、上述した誘電性基体である。よって、この例示した構成においては、帯電領
域と堆積領域とは、同一であり、粒子は、帯電と堆積とを同時に受ける。粒子の
軌跡は、経路（４１）によって示されている。
【００１９】 イオンソースを使用した代替可能な粒子帯電方法においては、サイレント放電
（ＳＥＤ）式帯電器を使用する。この種のデバイスの構成および動作は、 D.Landheer 氏および E.B.Devitts 氏による Photographic Science and Engineering, 27, No. 5, 189-192, September/October, 1993、および、米国特
許明細書第４，３７９，９６９号、第４，５１４，７８１号、第４，７３４，７
２２号、第４，６２６，８７６号、および、第４，８７５，０６０号に開示され
ている。例示として図６に示す構成においては、円筒形ガラスコア（４３）が、
表面上に互いに等間隔で配置された４つのガラスコーティングタングステンワイ
ヤ（４５）を支持している。このアセンブリには、微細なワイヤ（４７）が、螺
旋状に密に巻回されている。米国マサチューセッツ州 Canton 所在の Delphax
Systems 社から市販されている典型的な生成ユニットは、１ｃｍ直径のパイレッ
クス（登録商標）ガラスロッドを備えており、このガラスロッドは、０．０１８
ｃｍ直径のタングステンワイヤからなる４つのガラスクラッドを支持している。
このアセンブリには、０．００５ｃｍ直径のタングステンワイヤが、１ｃｍあた
り約４０ターンというピッチで、螺旋状に巻回されている。いずれの時点におい
ても、１つのがラスコータングステンワイヤだけが、励起される。他の３本のワ
イヤは、予備であって、それまでの活性ワイヤが汚染されたときには、ガラスロ
ッドを回転させることにより、活性位置へと配置することができる。図６におい
ては、活性ワイヤは、チャネル（２３）に連通した開口に対して最も近接配置さ
れたワイヤである。タングステンワイヤコアと螺旋巻回タングステンワイヤとの
間に約１２０ＫＨｚという周波数でもって約２３００ＶＡＣｐｐという電位差が
印加されたときには、ガラスコーティングされたワイヤに隣接したところに、イ
オンおよび電子が、生成する。イオンおよび電子は、螺旋巻線（４７）と電極（
２５）との間に形成された電界によって、活性領域から引き抜かれる。図５の場
合と同様に、図６および図７に例示した構成においては、エアロゾル粒子は、帯
電と堆積とを同時に受ける。
【００２０】 粒子を帯電させるのに適切であるような他のイオンソースが存在する。例えば
、Ｘ線や他のイオン化放射（例えば、放射線源からの放射）によってイオンを生
成することができる。粒子がイオンソースによって帯電を受けるに際して、正極
性イオンおよび負極性イオンのうちの一方または双方のイオンを利用可能とし得
るすべての手段は、本発明の範疇に含まれることが意図されている。
【００２１】 特に液滴に対して応用可能であるような、粒子を帯電させるための他の手段は
、Kelly 氏による米国特許明細書第４，２５５，７７７号に開示されている。こ
の手法では、帯電した液滴は、静電霧化デバイスによって形成される。Kelly 氏
により開示されたそのような粒子の電荷質量比は、イオンソースを使用して粒子
を帯電させた場合に得られる電荷質量比ほども大きくはないけれども、摩擦帯電
によって得られる電荷質量比と同程度であり、本発明のある種の応用においては
、好ましいものであり、いずれにしても、本発明において使用するのに適切なも
のである。
【００２２】 上述した構成は、構成を制限することを意図したものではない。それよりもむ
しろ、上述した構成は、本発明における可能な構成を例示することを意図したも
のである。したがって、例えば、イオンソースによる粒子の帯電に関して、粒子
が堆積領域内において帯電を受けることが例示されているけれども、イオンソー
スに基づいた、堆積領域の外部での粒子の帯電も、また、可能である。本説明に
よって可能とされるすべての可能なシステム構成の組合せは、本発明の範疇に属
するものである。
【００２３】 交流堆積電界は、好ましくは１Ｈｚ〜１０ＫＨｚの周波数を有しており、最も
好ましくは１０Ｈｚ〜１０００Ｈｚの周波数を有しており、電界の大きさは、１
ＫＶ／ｃｍ〜１０ＫＶ／ｃｍである。システム構成に応じて、他の周波数や電界
の大きさを使用することができる。例えば、一般に、空気や他のガスの絶縁破壊
電圧である３０ＫＶ／ｃｍまでは、より大きな堆積電界強度が可能である。しか
しながら、予期しないスパークを発生しかねないことから、比較的大きな堆積電
界強度は、好ましくない。比較的小さな電界強度は、印加電界によってエアロゾ
ル粒子の速度が減速されることにより、好ましくない。同様に、１Ｈｚ未満の交
流周波数は、誘電性基体上への電荷蓄積が第２サイクル以降の堆積電界の強度を
実質的に低減させることが予想されることにより、多くの応用において、一般的
に好ましくない。しかしながら、これに当てはまらないケースもあり得る。１０
ＫＨｚ以上の周波数は、帯電粒子が堆積領域内を移動して堆積を行うだけの十分
な時間がないと考えられることにより、一般的に好ましくない。しかしながら、
堆積領域が非常に小さいシステムにおいては、この点は、問題とはならない。
【００２４】 堆積電界の波形は、好ましくは、矩形である。しかしながら、一般的にはそう
ではないけれども、三角波や正弦波も堆積体の形成に有効であることがわかって
いる。波形は、好ましい電界方向という観点から定義される負荷サイクルを有し
ている。負荷サイクルとは、堆積電界が好ましい方向を向いている時間の比率の
ことである。好ましい電界方向とは、特定のシステム構成の特徴に応じて、堆積
電極に対して正の向きとも負の向きともすることができる。負荷サイクルは、好
ましくは、５０％よりも大きいものとすることができ、最も好ましくは、９０％
よりも大きいものとすることができる。好ましい電界の向きは、堆積速度を最大
化させる向きのことである。
【００２５】 上述したように、堆積電界は、第１電極と、堆積電極をなす第２電極と、の間
において、形成される。第１電極は、イオン放出器の一要素とすることもしない
こともできる。本発明におけるいくつかの構成においては、堆積領域内における
イオン放出器の使用は、堆積した帯電粒子の放電を補助することができるという
点において有利である。これにより、堆積した帯電粒子に基づいた、エアロゾル
から堆積しようとしてやってくる粒子を跳ね返してしまう向きの電界の蓄積を防
止することができる。これは、負荷サイクルが５０％以上である場合に、特に有
利である。当然のことながら、エアロゾル粒子を堆積領域内において帯電させる
場合には、イオン放出器を堆積領域内に設ける必要がある。しかしながら、堆積
体による粒子反発電界の形成を最小化し得るよう、堆積電界の交番と同期させる
ように、あるいは、同期させないように、粒子の帯電を制御することもできる。
【００２６】 誘電性基体は、堆積電極の近傍に配置され、好ましくは、堆積電極に対して接
触される。近傍に配置するという用語は、誘電性基体と堆積電極との間の隔離距
離が、誘電性基体の厚さよりも薄いことを意味している。このようにして、帯電
したエアロゾル粒子は、堆積電極との接触によって決定されたあるいは堆積電極
に対しての近傍配置によって決定された領域内において、誘電性基体上に着地す
るよう導かれる。よって、堆積体の位置およびサイズを制御することができる。
【００２７】 堆積体のための基体は、例えばビニルフィルムといったような誘電性材料とす
ることも、あるいは、例えばアルミニウム箔といったような電導性材料とするこ
とも、できる。上述したように、単一極性帯電粉末が誘電体表面上に堆積したと
きには、大きな電位差が形成され、この電位差は、堆積電界とは逆向きの電界を
生成する。これにより、堆積は、比較的小さな質量において自己制限を迎える。
単一極性粉末が電導性表面上に堆積したときには、同様にして表面電位が形成さ
れるものの、絶縁性基体の場合よりもその大きさが小さい。絶縁層上における堆
積体の表面電圧と、電導性層の表面上における堆積体の表面電圧と、の比は、大
まかには、誘電体の相対厚さと堆積した粉末の厚さとの和と、堆積した粉末層の
厚さと、の比に等しい。エアロゾル帯電と交流堆積電界とを使用することによっ
て二極性層を形成するために交流堆積を使用することにより、導体の表面上に、
より大きな質量を堆積させることができる。
【００２８】 誘電性基体は、任意の材料とすることができ、他の機能に関して適切な任意の
構造とすることができる。例えば、錠剤やカプセルやプラスチック製ブリスタパ
ッケージや金属箔製ブリスタパッケージといったようなパッケージング媒体とす
ることができる。誘電性基体は、また、例えばピルやカプセルといったような薬
剤キャリアとすることもできる。また、チョコレートといったような任意の食用
材料とすることもできる。これに代えて、誘電性基体は、さらなる処理のために
他の場所へと移送するための、堆積体の単なるキャリアとすることができる。
【００２９】 本発明においては、エアロゾルの流速が最大流速以下であれば、堆積領域を通
過する実質的にすべてのエアロゾル粒子を堆積できることがわかっている。この
最大流速は、主に、堆積電界の強度や、帯電粒子の電荷質量比や、帯電粒子の直
径、によって決定される。実質的にすべてのエアロゾル粒子を堆積させ得ること
が、堆積体を静電的に形成するような従来技術によるシステムを使用した場合よ
りもずっと大きいような、大きな質量の堆積体に関して、実証されている。例え
ば、我々は、６ｍｍ直径のブリスタパックのブリスタ内に、数ミリグラムのラク
トース粉末を堆積させた。本発明の格別の利点は、従来技術によるシステムとは
違って、帯電粒子の電荷質量比に関連した制限がないことであり、また、基体上
に堆積させる電荷の量にも制限がないこと、である。交流堆積電界の使用は、電
荷がイオンまたは帯電粒子のどちらによって運ばれるかにかかわらず、基体およ
び堆積体の組合せに関するどちらの極性の電荷の堆積も可能とする。したがって
、堆積する正味の電荷は、必要であれば、中性化することができる。このように
することで、堆積体の質量に関する制限が、電気的性質に起因するものではなく
、機械的性質に起因するものとなった。
【００３０】 堆積領域を通過する実質的にすべてのエアロゾル粒子を堆積させ得ることは、
堆積体の質量を制御するための新規な方法をもたらす。この方法においては、堆
積領域内に流入しまた堆積領域から出ていくエアロゾル粒子の質量流通が、堆積
領域の上流側と下流側との双方にそれぞれ配置されたセンサ（６０，６２）によ
って、経時的に測定される。測定結果は、所望量の制御を維持し得るよう必要に
応じて、製造制御記録や流速調整等のために記録される。上述したように、エア
ロゾルの流速を測定するには、様々な公知手段が存在する。これに加えて、これ
ら手段は、質量流速の測定を可能とする。質量流速を経時的に集計することによ
り、合計質量が得られる。よって、堆積体の質量は、制御領域内に流入するエア
ロゾル粒子の質量流通を測定することにより、制御することができる。所望の堆
積体質量が得られた時点で、交流電界を解除する。全エアロゾルの一部が、堆積
領域の通過時に堆積されないという場合には、第２の測定器具を、堆積領域の直
後に配置することができる。２つの測定結果の差は、エアロゾルが堆積領域を通
過した際にエアロゾルから堆積した合計質量を示している。堆積体は、上述した
交流堆積電界の存在を解除することにより、制御することができる。堆積領域内
において実質的にすべてのエアロゾル粒子が堆積するという場合においてさえも
、第２測定器具の存在は、堆積した実際の質量の確認をもたらす。これは、例え
ば１回分の薬剤といったように、堆積される質量の信頼性が商業面において重要
である応用においては、特に重要である。本発明によって形成される堆積体の質
量は、静電的に堆積体を形成するような従来方法において形成され得る堆積体の
質量よりも、大きなものである。他方、機械的に重量を測定したり機械的に質量
制御を行うような従来方法を使用して形成されたものよりも、本発明においては
、質量を、もっと微小に制御することができる。このように、本発明は、要望さ
れていた要求を満たす独自の手段を提供する。
【００３１】 本発明の詳細につき、図４を参照してさらに説明する。エアロゾル生成器（１
７）は、空気による粒子分散を形成する。形成された分散粒子は、封止チャネル
（１９）を通って移送され、エアロゾル濃度観測ステーション（２１）へと到達
する。その後、チャネル（２３）を通って、エアロゾルが移送される。帯電デバ
イス（３１）のところにおいては、帯電デバイスが、粉末を帯電させる。帯電デ
バイス（３１）と堆積電極（２５）との間には、静電界が形成されている。堆積
電極（２５）は、図１における電極（３）に対応している。誘電性基体（２７）
は、ここではブリスタパックポケットとして図示されており、この中に、静電界
によって偏向された帯電粒子が収集される。第２濃度観測ステーション（２９）
が使用されることにより、どれくらいの量の粒子がエアロゾルから分離したかが
決定される。実質的にすべての粒子が空気流から分離される場合には、第２濃度
観測ステーションは、不要とすることができる。その後、空気流は、コレクタ（
３０）へと移送される。このコレクタは、フィルタまたは静電除塵器またはこれ
らの双方を備えることができる。これに代えて、エアロゾル生成器へと再循環さ
せることもできる。
【００３２】 ［実験例］ 充填デバイスが、図６に概略的に示すようにして設置された。チャネルは、６
．３５ｍｍ（１／４インチ）厚さのポリカーボネートシートから形成された。チ
ャネル幅は、４０ｍｍとされ、チャネル高さは、６ｍｍとされた。０．１５ｍｍ
（６ミリインチ）厚さのポリ塩化ビニルから形成されるとともに深さが４ｍｍで
直径が６ｍｍとされたたブリスタパックポケットが、４ｍｍ直径とされた円形電
極（２５）上に支持された。
【００３３】 ガラスコアロッド（４３）と螺旋ワイヤ電極（４７）とコアロッドの周縁回り
に互いに等間隔で配置された４つのガラスコーティングワイヤ（４５）とを有し
てなる帯電ソースが、米国マサチューセッツ州 Canton 所在の Delphax Systems
社から入手された。Delphax 社製品の使用者は、Delphax 社製高速プリンタドラ
ム上における潜像の放電（消去）に際してこのようなロッドを使用する。
【００３４】 螺旋巻線（４７）は、接地電位に維持され、ガラスコーティングタングステン
ワイヤ（４５）は、１２０ｋＨｚの交流でピーク間電圧で２３００ボルトという
電圧で励起された。Trek社製の高電圧アンプを使用することにより、３５Ｈｚと
いう周波数でもって堆積電極（２５）の矩形波スイッチングがもたらされた。出
力電圧は、＋５ｋＶと−５ｋＶとの間でスイッチングされた。負荷サイクルは、
１０％の矩形波期間において負電荷が抽出されかつ９０％の負荷サイクルにおい
て正電荷の抽出が起こるように、設定された。
【００３５】 約３〜約７μｍという範囲の粒径を有したラクトース粉末を備えてなるエアロ
ゾルが、窒素ガス流内に混合された。ラクトースは、米国マサチューセッツ州
Waltham 所在の BGI Inc. 社によって製造された Wright Dust Feed 霧化器内に
おける加圧窒素の乱流作用によって、霧化された。エアロゾル濃度は、約１μｇ
／ｃｍ3 であり、チャネル流通速度は、３０ｃｍ／ｓｅｃに調節された。
【００３６】 エアロゾル流通時に２分間にわたって、帯電堆積電圧が印加された。粉末質量
が、ブリスタパックポケットの底部上に形成された。粉末質量は、１ｍｇである
と測定された。ブリスタパックの壁やチャネルの底部上には、一切、粉末が堆積
しなかった。
【００３７】 その後の実験により、０．５分間〜５分間という堆積時間については、堆積す
る質量が、堆積時間に比例することがわかった。
【００３８】 本発明においては、２つまたはそれ以上の堆積領域をエアロゾル経路に沿って
設置することにより、単一のエアロゾルソースから複数の堆積領域へとエアロゾ
ルを分配することによって、複数の堆積領域の動作を多重化することもできる。
その場合、各堆積領域への交流堆積電圧の印加は、選択的に行うことができる。
交流堆積電圧が存在していない堆積領域を通過するエアロゾル粒子は、その堆積
領域を単に通過するだけであり、その後、エアロゾル粒子は、次なる堆積領域へ
と流入する。
【００３９】 本発明におけるいくつかの特徴点を含有した様々な実施形態について例示し詳
細に説明してきたけれども、これら特徴点をさらに含有した多くの他の変形例を
、本発明の精神および範囲を逸脱することなく、構成することができる。例えば
、エアロゾル粒子は、生物学的活性剤によってコーティングされた生体適合性金
属粒子を含有した不活性基体とすることができるキャリア粒子を含有することが
できる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明に基づいて製造された堆積装置を概略的に示す断面図であ
る。
【図２】 図１の堆積装置における電圧の差を示す図である。
【図３】 本発明に基づいて製造された物品を示す図である。
【図４】 本発明の様々な好ましい実施形態を概略的に示す図である。
【図５】 本発明の様々な好ましい実施形態を概略的に示す図である。
【図６】 本発明の様々な好ましい実施形態を概略的に示す図である。
【図７】 本発明の様々な好ましい実施形態を概略的に示す図である。
【符号の説明】
１ 誘電性基体（基体） ３ 第２電極（堆積電極） ５ 第１電極 ７ スイッチ ９ バッテリ １１ バッテリ １５ 堆積体 １７ エアロゾル生成器 ２１ エアロゾル濃度観測ステーション ２３ チャネル ２５ 電極（堆積電極） ２７ 誘電性基体 ２９ 第２濃度観測ステーション ３１ 帯電デバイス ３３ 基体 ３５ コロナワイヤ ３９ 開放メッシュスクリーン（第１電極） ６０ センサ ６２ センサ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ， ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，Ｋ Ｐ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ， ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，Ｓ Ｇ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ (72)発明者 ジョン・ボワーズ アメリカ合衆国・ニュージャージー・ 08510・クラークスバーグ・ブルックサイ ド・ロード・93 (72)発明者 ウィリアム・ジェイムソン アメリカ合衆国・ニュージャージー・ 08550・ウエスト・ウィンザー・エンディ コット・レーン・14 Ｆターム(参考） 4D075 AA09 AA25 AA72 BB81Y DA11 DA17 DA23 DB01 DB31 DC15 EA02 4F034 AA01 BA31 BA36 BB04 BB16 BB28 CA11 CA21 CA24 DA05 DA17 DA26

Claims (72)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 エアロゾルから誘電性基体上に粒子を堆積させるための方法
    であって、 前記エアロゾル粒子を帯電させ、 前記帯電させたエアロゾル粒子を、前記誘電性基体の近傍に配置された堆積領
    域内に導入し、 前記堆積領域内に交流電界を印加することにより、前記帯電した粒子を前記エ
    アロゾルから分離させて、前記誘電性基体上に堆積させ、これによって、堆積体
    を得る、 ことを特徴とする方法。
  2. 【請求項２】 請求項１記載の方法において、 前記堆積体が、静電界を使用して形成し得る堆積体よりも、より大きな質量を
    有していることを特徴とする方法。
  3. 【請求項３】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、帯電させることを特徴とする方法。
  4. 【請求項４】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、乾燥粉末粒子を備えたものとすることを特徴とする方
    法。
  5. 【請求項５】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、液滴を備えたものとすることを特徴とする方法。
  6. 【請求項６】 請求項４記載の方法において、 前記乾燥粉末粒子を、摩擦電気によって帯電させることを特徴とする方法。
  7. 【請求項７】 請求項５記載の方法において、 前記液滴を、液滴形成時に電荷注入器によって帯電させることを特徴とする方
    法。
  8. 【請求項８】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、薬剤を備えたものとすることを特徴とする方法。
  9. 【請求項９】 請求項４記載の方法において、 前記乾燥粉末粒子を、生物学的活性剤によってコーティングされたキャリア粒
    子を備えたものとすることを特徴とする方法。
  10. 【請求項１０】 請求項３記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、摩擦電気を使用した場合に得られる電荷質量比よりも
    大きな電荷質量比を有したものとすることを特徴とする方法。
  11. 【請求項１１】 請求項１０記載の方法において、 前記帯電させたエアロゾル粒子が、摩擦電気によって帯電させた場合に得られ
    る速度よりも大きな速度を、得ることができ、 これにより、前記堆積体が、より迅速に形成されるようになっていることを特
    徴とする方法。
  12. 【請求項１２】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、前記堆積領域内において帯電させることを特徴とする
    方法。
  13. 【請求項１３】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、前記堆積領域の外部において帯電させることを特徴と
    する方法。
  14. 【請求項１４】 請求項１記載の方法において、 前記交流電界を、１ＫＶ／ｃｍ〜３０ＫＶ／ｃｍという範囲の大きさを有した
    ものとすることを特徴とする方法。
  15. 【請求項１５】 請求項１記載の方法において、 前記交流電界の周波数を、１Ｈｚ〜１００ＫＨｚという範囲とすることを特徴
    とする方法。
  16. 【請求項１６】 請求項１記載の方法において、 前記交流電界の負荷サイクルを、実質的に５０％とは異なるものとすることを
    特徴とする方法。
  17. 【請求項１７】 請求項１６記載の方法において、 前記負荷サイクルを、９０％とすることを特徴とする方法。
  18. 【請求項１８】 請求項１記載の方法において、 前記交流電界を、前記堆積領域のうちの前記誘電性基体とは反対側の端部にお
    いて前記誘電性基体を向いて配置された第１電極と、前記堆積体が形成される面
    とは反対側の面において前記誘電性基体に対して当接している第２電極と、の間
    に形成することを特徴とする方法。
  19. 【請求項１９】 請求項１８記載の方法において、 前記第１電極を、イオン放出器の一構成要素とすることを特徴とする方法。
  20. 【請求項２０】 請求項１９記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、堆積後に放電させることを特徴とする方法。
  21. 【請求項２１】 請求項１８記載の方法において、 前記第２電極と前記誘電性基体との接触領域によって、前記堆積体の配置を決
    定することを特徴とする方法。
  22. 【請求項２２】 請求項１記載の方法において、 実質的にすべての前記エアロゾル粒子を、前記エアロゾルから分離させて前記
    堆積体を形成することを特徴とする方法。
  23. 【請求項２３】 請求項１記載の方法において、 前記エアロゾルのガスを、所定のものとすることを特徴とする方法。
  24. 【請求項２４】 請求項１記載の方法において、 前記誘電性基体を、パッケージング媒体とすることを特徴とする方法。
  25. 【請求項２５】 請求項２４記載の方法において、 前記パッケージング媒体を、ブリスタパックまたは錠剤またはカプセルまたは
    チューブとすることを特徴とする方法。
  26. 【請求項２６】 請求項２５記載の方法において、 前記ブリスタパックを、プラスチック製のブリスタパッケージまたは金属箔製
    のブリスタパッケージとすることを特徴とする方法。
  27. 【請求項２７】 請求項１記載の方法において、 前記誘電性基体を、薬剤キャリアとすることを特徴とする方法。
  28. 【請求項２８】 請求項１記載の方法において、 前記誘電性基体を、前記堆積領域から、さらなる処理のための他の場所へと、
    前記堆積体を搬送するためのキャリアとすることを特徴とする方法。
  29. 【請求項２９】 請求項１記載の方法において、 前記誘電性基体を、食用のものとすることを特徴とする方法。
  30. 【請求項３０】 請求項３記載の方法において、 前記イオン放出器を、コロナワイヤまたはコロナポイントとすることを特徴と
    する方法。
  31. 【請求項３１】 請求項３記載の方法において、 前記イオン放出器を、サイレント電気放電デバイスとすることを特徴とする方
    法。
  32. 【請求項３２】 請求項３記載の方法において、 前記イオン放出器を、イオン化放射源とすることを特徴とする方法。
  33. 【請求項３３】 請求項１２記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、イオン放出器によって帯電させることを特徴とする方
    法。
  34. 【請求項３４】 請求項２２記載の方法において、 前記堆積体の質量を、堆積期間にわたっての前記エアロゾル粒子の質量を集計
    することによって制御することを特徴とする方法。
  35. 【請求項３５】 請求項３４記載の方法において、 前記堆積期間を、前記エアロゾル粒子の測定質量によって決定することを特徴
    とする方法。
  36. 【請求項３６】 請求項２２記載の方法において、 複数の堆積領域を使用することにより、単一のエアロゾル粒子発生源から、複
    数の堆積体を形成し、この場合、複数の堆積領域どうしの交流堆積電界の印加を
    個別的に行うことを特徴とする方法。
  37. 【請求項３７】 基体上に堆積させた、所定量に制御された粉末であって、 前記粉末からなる複数の層を備えてなり、 互いに隣接している層どうしが、逆の電荷を有していることを特徴とする所定
    量に制御された粉末。
  38. 【請求項３８】 請求項３７記載の所定量に制御された粉末において、 前記粉末が、薬剤とされていることを特徴とする所定量に制御された粉末。
  39. 【請求項３９】 請求項３７記載の所定量に制御された粉末において、 前記基体が、パッケージング媒体とされていることを特徴とする所定量に制御
    された粉末。
  40. 【請求項４０】 請求項３９記載の所定量に制御された粉末において、 前記パッケージング媒体が、ブリスタパックまたは錠剤またはカプセルまたは
    チューブであることを特徴とする所定量に制御された粉末。
  41. 【請求項４１】 請求項４０記載の所定量に制御された粉末において、 前記ブリスタパックが、プラスチック製のブリスタパッケージまたは金属箔製
    のブリスタパッケージであることを特徴とする所定量に制御された粉末。
  42. 【請求項４２】 材料源からの所定量に制御された粒状材料を、基体上に堆
    積させるための装置であって、 前記基体が配置される堆積領域よりも上流側に位置するとともに、前記材料か
    らなる粒子に対して所定の静電帯電を印加するための電荷生成器と、 前記材料に対しておよび前記基体に対して印加される電荷の極性を繰返し的に
    変化させるためのコントローラと、 を具備することを特徴とする装置。
  43. 【請求項４３】 請求項４２記載の装置において、 前記コントローラが、スイッチング発振器を備えていることを特徴とする装置
    。
  44. 【請求項４４】 請求項４２記載の装置において、 前記コントローラが、時間によって電荷の極性を変化させるためのクロックを
    備えていることを特徴とする装置。
  45. 【請求項４５】 請求項４２記載の装置において、 前記コントローラが、前記粉末と前記基体とに対して印加される極性を同期さ
    せてスイッチングし得るよう構成されていることを特徴とする装置。
  46. 【請求項４６】 請求項４２記載の装置において、 前記堆積領域内に流入する質量流通を測定するためのセンサと、 前記堆積領域から流出する質量流通を測定するためのセンサと、 を備えていることを特徴とする装置。
  47. 【請求項４７】 エアロゾルから基体上に粒子を堆積させるための方法であ
    って、 前記エアロゾルを、堆積領域を通って移動させ、 前記粒子を電気的に帯電させるための帯電手段を準備し、 前記基体と前記エアロゾル粒子との間に交流電界を印加することにより、前記
    粒子を、前記基体の表面上に堆積させることを特徴とする方法。
  48. 【請求項４８】 請求項４７記載の方法において、 前記粒子を、固体とすることを特徴とする方法。
  49. 【請求項４９】 請求項４７記載の方法において、 前記粒子を、液体とすることを特徴とする方法。
  50. 【請求項５０】 請求項４７記載の方法において、 前記粒子を、生物学的活性剤によってコーティングされたキャリア粒子を備え
    たものとすることを特徴とする方法。
  51. 【請求項５１】 請求項４７記載の方法において、 前記粒子を、薬剤とすることを特徴とする方法。
  52. 【請求項５２】 請求項４７記載の方法において、 前記エアロゾルのキャリアガスを、窒素ガスすることを特徴とする方法。
  53. 【請求項５３】 請求項４７記載の方法において、 前記基体を、ブリスタパックとすることを特徴とする方法。
  54. 【請求項５４】 請求項４７記載の方法において、 前記基体を、電気絶縁性材料から形成することを特徴とする方法。
  55. 【請求項５５】 請求項４７記載の方法において、 前記基体を、導電性材料から形成することを特徴とする方法。
  56. 【請求項５６】 請求項４７記載の方法において、 前記帯電手段を、コロナワイヤを有したものとすることを特徴とする方法。
  57. 【請求項５７】 請求項４７記載の方法において、 前記帯電手段を、コロナ放出ポイントを有したものとすることを特徴とする方
    法。
  58. 【請求項５８】 請求項１記載の方法において、 前記帯電手段を、固体誘電性部材とこの固体誘電性部材の一側面に実質的に接
    触した第１電極と前記固体誘電性部材の他方の側面に実質的に接触するとともに
    エッジ面が前記第１電極を向いて配置されこれによりエッジ面と前記固体誘電性
    部材との間の接合部分に空気領域を形成している第２電極とを有してなる帯電ソ
    ースと、前記第１電極と前記第２電極との間に、十分な大きさの交流電圧を印加
    することにより前記誘電性部材と前記第２電極の前記エッジ面との間の空気領域
    においてイオン生成電気放電を引き起こすための交流電圧印加手段と、を備えた
    ものとすることを特徴とする方法。
  59. 【請求項５９】 請求項４７記載の方法において、 前記帯電手段を、前記エアロゾル粒子の摩擦帯電を引き起こすものとすること
    を特徴とする方法。
  60. 【請求項６０】 請求項４７記載の方法において、 前記帯電手段を、前記エアロゾル粒子の誘導帯電を引き起こすものとすること
    を特徴とする方法。
  61. 【請求項６１】 請求項４７記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、前記堆積領域の外部において帯電させることを特徴と
    する方法。
  62. 【請求項６２】 請求項４７記載の方法において、 前記エアロゾル粒子を、前記堆積領域内において帯電させることを特徴とする
    方法。
  63. 【請求項６３】 請求項４７記載の方法において、 前記交流電界を、１ＫＶ／ｃｍ〜３０ＫＶ／ｃｍという範囲の大きさを有した
    ものとすることを特徴とする方法。
  64. 【請求項６４】 請求項４７記載の方法において、 前記交流電界の周波数を、１Ｈｚ〜１００ＫＨｚという範囲とすることを特徴
    とする方法。
  65. 【請求項６５】 請求項４７記載の方法において、 前記交流電界の負荷サイクルを、前記粒子体積の効率が最大となるように調節
    することを特徴とする方法。
  66. 【請求項６６】 請求項４７記載の方法において、 前記交流電界を、前記堆積領域のうちの前記基体とは反対側の端部において前
    記基体を向いて配置された第１電極と、前記基体に隣接して配置された第２電極
    と、の間に形成することを特徴とする方法。
  67. 【請求項６７】 請求項４７記載の方法において、 堆積材料がなすパターンを、前記交流電界の形状により規定することを特徴と
    する方法。
  68. 【請求項６８】 請求項４７記載の方法において、 堆積材料がなすパターンを、前記帯電手段に隣接して配置された電導性マスク
    により規定することを特徴とする方法。
  69. 【請求項６９】 請求項４７記載の方法において、 前記エアロゾル粒子の質量流通を観測することにより、堆積粒子の質量を制御
    することを特徴とする方法。
  70. 【請求項７０】 請求項４７記載の方法において、 複数の堆積領域を使用することにより、単一のエアロゾル粒子発生源から、複
    数の堆積体を形成し、この場合、複数の堆積領域どうしの交流堆積電界の印加を
    個別的に行うことを特徴とする方法。
  71. 【請求項７１】 １回分の薬剤粉末パッケージであって、 静電手段を使用して、互いに隣接する層どうしが交互に逆の電荷を有している
    ようにして、粉末を堆積させてなることを特徴とするパッケージ。
  72. 【請求項７２】 請求項７１記載のパッケージにおいて、 前記静電手段が、前記エアロゾルを、堆積領域を通って移動させ、 前記薬剤粉末を電気的に帯電させるための帯電手段を具備し、 前記パッケージと前記エアロゾル粒子との間に交流電界を印加するようになっ
    ていることを特徴とするパッケージ。
JP2000613576A 1999-04-27 2000-04-25 一様な少量の微小粉末の製造のための方法および装置ならびにそのようにして製造された物品 Withdrawn JP2002542032A (ja)

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