JP2002541447A - 化学センサ用の圧力作動較正システム - Google Patents

化学センサ用の圧力作動較正システム

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    • G01N33/0004—Gaseous mixtures, e.g. polluted air
    • G01N33/0006—Calibrating gas analysers

Abstract

(57)【要約】 漏れセンサをリモートで較正する装置を開示する。該漏れセンサ較正装置は、液状検量体を蓄えるリザーバと、該リザーバに連通する導管と、出口ノズルと、空気供給源と、バルブ機構とを備える。前記導管の一部は、前記測定量の検量体を蓄える計量室を規定し、前記出口ノズルは、前記計量室に連通している。前記空気供給源は、前記計量室に蓄えられた測定量の検量体に加圧すべくなしてある。前記バルブ機構は、前記計量室に蓄えられた測定量の検量体を前記出口ノズルを通じて大気へ排出すべくなしてある。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、化学センサ用の較正システムに関する。特に、本発明は、定量の検
量体を計量室から大気へ解放する圧力作動較正装置に関する。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
化学プラント、精製所、及び船荷ターミナルの如き工業上の製造、加工、及び
保管設備は、典型的には、設備を通じて原産物又は完成品を輸送する配管系の膨
大なネットワークを有している。このような配管系は、必然的に、設備を通じた
物質の流れを制御する多数のバルブを有している。
【０００３】 上述のプラントにおいて扱われる多くの製品は、有害な揮発性有機化合物（VO
C’s）である。残念ながら、設備を通じて物質の流れを制御するのに使用される
バルブは、概して「漏えい」排出と呼ばれる或る量の望ましくない漏れを経験す
る。漏えい排出は、環境保護局（EPA）により規制され、バルブの弁棒と本体と
の間のパッキン周囲で発生する。これらの漏えい排出は、EPAの排出規制に応じ
るために監視されなければならない。このことから、漏れ検出器が、バルブ近傍
に、通常は、漏れ易い弁棒又はその他の非点源に隣接して配されている。
【０００４】 正確な示度を得るために、漏れ検出器は、定期的に較正されなければならず、
これは、典型的には遠隔地から達成されなければならない。このような漏れ検出
器を較正する１つの方法は、該漏れ検出器に隣接して少量の検量体を排出するこ
とである。それから、検出器の示度は、経験的データ又はルックアップテーブル
に基づいた基準と比較され、それに応じて検出器が調整される。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
本発明の第１の観点によれば、漏れセンサ較正装置は、検量体を蓄えるリザー
バと、該リザーバに連通する導管と、出口ノズルと、空気供給源と、バルブ機構
とを備えている。前記導管の一部は、測定量の検量体を蓄える計量室を規定し、
前記出口ノズルは、前記計量室と連通している。前記空気供給源は、前記計量室
に蓄えられた測定量の検量体に加圧すべくなしてある。前記バルブ機構は、前記
計量室に蓄えられた測定量の検量体を前記出口ノズルを通じて排出すべくなして
ある。
【０００６】 さらに、本発明の好ましい実施の形態によれば、フロー絞り弁が、前記計量室
と前記リザーバとの間に配されている。該フロー絞り弁は、双安定チェックバル
ブであってよい。これに代えて、前記導管は、前記測定量の検量体よりも多い第
２の量の検量体を保持すべくなしてある部分を有していてもよい。該導管の部分
は、前記計量室と前記リザーバとの間に配され、従って、空気圧絞り弁を形成す
る。
【０００７】 前記バルブ機構は、好ましくは、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配され
た第１のリモート操作可能なバルブを有している。該バルブ機構は、好ましくは
、前記空気供給源と前記計量室との間に配された第２のリモート操作可能なバル
ブも有している。前記第１のバルブは、閉位置と開位置との間で切り替えが可能
である。閉位置にある場合、前記第１のバルブは、前記計量室を前記出口ノズル
から隔離する。前記第２のバルブは、閉位置と開位置との間で切り替えが可能で
ある。閉位置にある場合、前記第２のバルブは、前記空気供給源を前記計量室か
ら隔離する。開位置と閉位置との間で切り替えが可能であるチェックバルブが、
前記計量室と前記リザーバとの間に配されてもよい。該チェックバルブは、前記
第２のバルブの開位置への動作に応じて、その閉位置への切り替えが可能となっ
ている。
【０００８】 前記第１及び第２のバルブは、好ましくは、電気的にリモートで操作可能であ
るバルブであり、該第１及び第２のバルブをリモートで操作するコントローラに
操作可能に接続される。好ましくは、該コントローラは、所定の第１時間間隔で
前記第１のバルブを開位置へ動作させ、所定の第２時間間隔で前記第２のバルブ
を開位置へ動作させるべくなしてある。更に好ましくは、前記第２時間間隔は、
前記第１時間間隔よりも小さく、該第１時間間隔の間に発生する。該第１時間間
隔は、約５０ミリ秒である一方、前記第２時間間隔は、約１０ミリ秒であってよ
い。必須条件として、前記コントローラは、前記第１及び第２時間間隔に先立つ
所定の第３時間間隔で前記第２のバルブを開位置へ動作させてもよい。この必須
条件は、前記計量室を効率的に補充する。
【０００９】 本発明の第２の観点によれば、定量の気化物質を周囲の大気へ解放する漏れセ
ンサ較正装置は、前記物質を蓄えるリザーバと、出口ノズルと、前記リザーバと
前記出口ノズルとの間を連通する導管と、圧力源と、該圧力源を前記計量室に連
通すべくなしてあるバルブ機構とを備えている。前記導管は、前記定量の物質を
蓄える計量室を規定する第１の部分を有し、更に前記計量室と前記リザーバとの
間に配された第２の部分を有している。前記導管の第２の部分は、前記定量のリ
ザーバへ戻る流れを妨げるべくなしてある。前記バルブ機構の作動により、前記
装置は、前記計量室に蓄えられた前記定量を前記出口ノズルを通じて大気へ排出
する。
【００１０】 本発明の更に別の観点によれば、漏れセンサ較正装置は、液状検量体を蓄える
リザーバと、該蓄積リザーバに連通する導管とを備えている。該導管は、出口ノ
ズルを終端とし、測定量の液状検量体を蓄える計量室を規定する中央部分を有し
ている。前記装置は、前記計量室に蓄えられた前記測定量に加圧する圧力源と、
前記計量室を周囲の大気から隔離するバルブ機構と、該バルブ機構に操作可能に
接続された制御系とを更に備えている。
【００１１】 さらに、好ましい実施の形態によれば、前記リザーバは、液状分析物を収容す
べくなしてあってもよく、前記計量室は、２マイクロリットルの範囲の体積を収
容するサイズであってもよい。前記リザーバは、気相の分析対象検量体をそこに
収容すべくなしてあってもよい。この場合には、前記計量室は、５００マイクロ
リットルの範囲の体積を収容するサイズであることが可能である。
【００１２】 本発明の更なる観点によれば、装置は、導管を通じて流れる液状物質を有する
プロセス系で使用するために提供され、測定量の液状物質をセンサに排出する。
該装置は、前記導管に連通し、その一部が前記測定量の液状物質を蓄える計量室
を規定するポートを備えている。出口ノズルは、前記計量室に連通し、空気供給
源は、前記計量室に蓄えられた測定量の液状物質に加圧する。バルブ機構は、前
記計量室に蓄えられた測定量の液状物質を前記出口ノズルを通じて大気へ排出す
べく提供及び構成されている。それによって、前記液状物質の構成物が前記セン
サにより判定される。
【００１３】 本発明の更なる利点及び特徴は、以下の記述を読むことによって当業者には明
白となるであろう。
【００１４】
【発明の実施の形態】
ここに記述される実施の形態は、開示された厳密な形態に本発明を限定するこ
とを意図するものではない。むしろ、本実施の形態は、当業者が本発明の教示に
従うことが可能なように選択され、また、記述されている。
【００１５】 さて、図１の図面を参照して、本発明の教示に従って構成された漏れセンサ較
正装置は、主として参照符号10により参照されている。較正装置10は、ガスセン
サアレイ（図示せず）に概ね近接して配される。該較正装置10は、代わりに、バ
ルブ、配管系、若しくはシール、又は任意の他の放出源（図示せず）の如き、漏
れを監視すべき系に概ね近接して配置される。前記装置10は、多量の分析物検量
体14を含んでおり、該分析物検量体14は、好ましくは、監視すべきバルブ又はそ
の他の系要素（図示せず）を通じて流れるのと同一の物質である。以下に更に詳
細に説明するように、分析物検量体14は、液相又は気相の何れかである。
【００１６】 上記装置10は、複数の交叉する導管又は孔18，20，及び22を有する本体又はハ
ウジング16を備えている。該ハウジング16は、好ましくは、ステンレス鋼又はそ
の他の適切な材料から製作される。孔18は、それぞれ第１及び第２の部分19，21
を有している。該孔18は、ハウジング16を実質的に通じて延び、リザーバ12と孔
20とに連通している。該孔20は、孔18へ延び、出口ノズル24に連通している。出
口ノズル24は、好ましくは、漏れを監視すべきバルブ（又はその他の系要素）（
図示せず）に近接して配される。孔26は、孔18及び20に接続し、計量室28を規定
している。該計量室28は、好ましくは、所定の容積のものである。例えば、分析
物検量体14が液相で利用される場合には、計量室28の容積は、２マイクロリット
ル（２×１０-6立方センチメートル）の範囲であることが可能である。比較とし
て、分析物検量体14が気相で利用される場合には、計量室28の容積は、５００マ
イクロリットル（５００×１０-6立方センチメートル）の範囲であることが可能
である。計量室28が所定の体積の検量体14を蓄える限り、その他の容積が考慮さ
れる。出口ノズル24から排出される望ましい量又は体積の検量体14は、選ばれた
検量体の種類、濃度、純度、及び相（つまり、液体又は気体）、並びに周囲環境
の温度、湿度等を含む多数の要因に基づいて選定され得、これらの全ては、当業
者には良く知られている。排出される望ましい量の検量体14は、計量室28の容積
を変更することによって増減することができる。
【００１７】 図１、図４、及び図５に示す如く、孔30は、孔22を計量室28に接続し、空気供
給入口32は、孔22と交叉している。該空気供給入口32は、圧縮空気源（図示せず
）に接続され、この目的については、以下に詳細に説明する。好ましくは、空気
は、約３ｐｓｉｇで供給源から供給されており、そこからの適切な偏差は、当業
者により予期されるように可能である。上記装置10は、バルブ機構34を備え、該
バルブ機構34は、以下に詳細に説明されるように、望ましい量の検量体14を出口
ノズル24を通じて計量室28から排出すべくなしてある。
【００１８】 計量室28は、図５に示す如く、入力端36と、出力端38と、中間部分40とを有し
ている。孔30は、中間部分40で計量室28と交叉している。図５Ａに示す如く、孔
26の入力端36は、代わりに、フレア形又は円錐形の部分37を有していてもよい。
【００１９】 図１に示す如く、チェックバルブ39は、計量室28の入力端36に概して隣接した
孔18の部分19に配されている。図６及び図７を参照して、チェックバルブ39は、
孔18の部分19に受容されるサイズのハウジング41を有している。該チェックバル
ブ39は、弁座45に受容されるサイズである板又は円盤43を有し、更に、図７に示
す如く円盤43を開位置へ通常付勢するバネ47を有している。図７に示されるよう
に、孔18の部分19は、環状座49を有し、チェックバルブ39を所定の位置に（例え
ば、図７で下から）押圧することを可能にしている。
【００２０】 バルブ機構34が以下に詳述する方法で作動される場合、円盤43に対する作動圧
の導入は、該円盤43を（図で）上方へ動作させ、円盤43は、弁座45に着座する。
これにより、検量体14のリザーバ12へ戻る流れが阻止される。従って、チェック
バルブ39は、バルブ機構34の動作に応じて自動的に動作され、更に、双安定チェ
ックバルブのような挙動をするであろう点に注意する。図７から注目されるよう
に、チェックバルブ39は、好ましくは、チャンバ35を規定すべく、孔26の入力端
36から僅かに離れて配される。リザーバ12の体積は、好ましくは、計量室28に蓄
えられた測定量が出口ノズル24を通じて排出された後での計量室28の急速な補充
を容易にするために、計量室28の体積よりもずっと大きい。好ましい実施の形態
においては、リザーバ12の体積は、計量室28の体積の約２０倍であることが可能
である。
【００２１】 図１、図２、及び図３を再び参照して、バルブ機構34は、孔18の部分21に配さ
れた第１のバルブ42を有している。該バルブ42は、計量室28の出口端38を閉じる
べくなされた先端44を有している。また、バルブ機構34は、孔22に配された第２
のバルブ46を有し、孔30の入口端を閉じるべくなされた先端48を有している。バ
ルブ42及び46の各々は、閉位置と開位置との間で切り替え可能である。バルブ42
が閉位置にある場合には、該バルブ42は、計量室28を出口ノズル24から隔離する
。バルブ42が開位置にある場合には、計量室28は、出口ノズル24に連通する。第
２のバルブ46が閉位置にある場合には、該バルブ46は、空気入口32を計量室28か
ら隔離する。バルブ46が開位置にある場合には、空気入口32は、計量室28に連通
する。好ましくは、バルブ42及び46の各々は、リモートで操作可能である、電気
的に作動するマイクロバルブである。更に好ましくは、バルブ42，46の各々は、
共通の制御系からリモートで操作可能である。
【００２２】 図２及び図３を参照して、バルブ42が示されている。バルブ46の構造及び動作
は実質的に同一であると理解されるであろう。しかしながら、バルブ42の構造及
び動作のみが詳細に記述される。バルブ42は、本体54と、電磁式ボビン56と、一
対の軟磁極片58，60と、希土類永久磁石62と、絶縁体64と、アーマチュア66とを
有している。バルブ本体54と、磁極片58，60と、アーマチュア66とは、好ましく
は、１７−４ステンレス鋼を使用して製作される一方、絶縁体64は、好ましくは
、３１６ステンレス鋼から製作される。磁石62は、好ましくは、ニッケル鉄ホウ
素（Nickel Iron Boron）から製作される。バルブ42及び46は、好ましくは、電
気的に操作可能なバルブであり、１０ミリ秒で２５０ｍＡを流す６ボルト作動エ
ネルギを有する。その他の適切なバルブで代用してもよい。
【００２３】 さて、図１及び図４を参照して、テフロン（登録商標）製の挿入物68は、孔18
，20，及び22の交叉で使用されてもよい。テフロン（登録商標）製の挿入物68が
、好ましくは、公知の技術を使用して圧縮成形し、そこに計量室28と孔30とを規
定するようにする。別体の挿入物68の使用は、第１のセットの公差にハウジング
16を製作することを許容することによって製造工程を大幅に簡易化するが、挿入
物68は、より厳密な第２のセットの交差に製作される。また、当該挿入物68は、
それぞれバルブ42及び46の先端44及び48でより良いシール性を提供する。
【００２４】 作動にあっては、上記装置10が非作動である場合、バルブ42及び46は両方とも
閉じており、リザーバ12内の検量体14は、チェックバルブ39が開位置にあること
により、計量室28内へ自由に流れる。上記装置10を作動することが望まれる場合
には、制御系は、まず、好ましくは５０ミリ秒の間、バルブ46を開く。バルブ46
が開いている間、制御系は、次に、バルブ42を開き、圧縮空気が空気入口32を通
じて空気源から流れるのを許容する。結果としての圧力増加は、チェックバルブ
39をその閉位置に即座に切り替えさせる。入って来る空気は、計量室28に蓄えら
れた測定量の検量体14を入れ替えるべく作用し、該測定量を出口ノズル24から排
出させる。作動圧力の導入に基づいてその閉位置に動作するチェックバルブ39に
より、計量室28からリザーバ12への検量体14の如何なる流れも阻止され、計量室
28内の検量体14は、出口ノズル24から排出される。望ましい１０ミリ秒の間隔の
後で、バルブ42は閉じられる。その少し後で、バルブ46が閉じられる。作動圧力
の閉鎖に伴い、チェックバルブ39は、バネ47の力により補助されて通常の開位置
へ戻り、検量体14は、リザーバ12から計量室28へ自由に流れる。
【００２５】 その過程において、排出された検量体14は、プロセス系のバルブ（図示せず）
の周囲からの既知の量の大気と、該バルブからの漏えい排出を測定又は予測する
目的で混ざる。漏れセンサ（図示せず）は、得られたセンサの示度を経験的デー
タと比較することによって、又はその他の公知の方法を使用することによって、
較正されることができる。液相の検量体14を使用することが有利であり得ること
は、当業者には理解されるであろう。上記装置10内で気化検量体14を使用する場
合には、バルブ42，46の各々での漏れの可能性は、特に、上記装置10が高温環境
下で使用される場合には、大幅に小さくされる。気化検量体14が使用される場合
には、出口ノズル24から排出された検量体14の混入量を計算するために、周囲温
度及び検量体14の蒸気圧を考慮して、漏れセンサ（図示せず）が較正され得る。
【００２６】 上述したのと同一の原理を利用して、工業プロセス系（図示せず）における管
路又はその他の運搬路を通じて流れる物質の構成物質又は純度を定期的に試験す
るために、当該装置10が使用されてもよいことは、当業者には理解されるであろ
う。このような用途においては、リザーバ12は、管路又は配管系を通じて流れる
物質に一定流量で連通し、出口ノズル24は、適切なセンサに近接して配される。
【００２７】 さて、図８を参照して、第２の好ましい実施の形態が示され、ここでは、上述
した実施の形態と同一又は同様である全ての要素は、同一の参照文字を保持する
が、100だけ増加している。漏れセンサ較正装置110は、多量の分析物検量体114
を収容するリザーバ112を備えている。該装置110は、複数の交叉する導管又は孔
118，120，及び122を有する本体又はハウジング116を備えている。孔118は、そ
れぞれ第１及び第２の部分119，121を有し、実質的にハウジング116を通じて延
びている。孔120は、孔118に延び、出口ノズル124に連通している。孔126は、孔
118及び120を接続し、計量室128を規定している。計量室128は、所定の体積の検
量体114を蓄え、所定の又は望ましい量は、計量室128の内容積により定められる
。
【００２８】 孔130は、孔122を計量室128と接続し、空気供給入口132は、孔122と交叉する
。空気供給入口132は、圧縮空気源に接続され、圧縮空気は、約３ｐｓｉｇで供
給源から供給される。上記装置110は、孔118の部分121に配された第１のバルブ1
42を有するバルブ機構134を備え、該バルブ機構134は、更に、計量室128の出口
端138を閉じるべくなされた先端144を有している。また、バルブ機構134は、孔1
22に配された第２のバルブ146を備え、孔130の入口端150を閉じるべくなされた
先端148を有している。バルブ機構134は、上記第１の好ましい実施の形態に関し
て上述されたものと同様の方法で動作可能である。
【００２９】 計量室128は、入力端136と、出力端138と、中間部分140とを有している。孔13
0は、中間部分140で計量室128と交叉している。孔118は、部分139を有し、該部
分139は、計量室128の入力端136に隣接して配されている。部分139は、計量室12
8の直径よりも大きい直径を有し、該部分139が、空気圧的制約として作用する。
孔118は、異なる直径の２つの部分を有するように示されているが、該孔118は、
これに代えて、計量室128の入力端136に近接する部分139の断面積が、計量室128
の断面積よりも極めて大きい限り、均一な直径であってもよい。この断面積の相
違は、計量室128の入力端136に近接する孔118の部分139に配された検量体114の
体積が、計量室128に蓄えられた検量体114の体積よりも極めて大きいことを確実
にする。このように、バルブ機構134の動作、及び計量室128に蓄えられた検量体
114への作動圧の導入に応じて、検量体114は、最も小さい空気圧抵抗の経路を辿
り、従って出口ノズル124から排出される。
【００３０】 上述した何れの実施の形態において、リザーバは、代わりに、液状物質のプロ
セス流れを収容する配管系であってもよく、また、既知の量の液状物質を検出装
置に排出することによってプロセス流れの純度又は構成物質を定期的にサンプリ
ングするために採用してもよい。
【００３１】 さらに、上記の記載は本発明を上述の内容に限定するものではないことは理解
されるであろう。様々な改変及び置換が請求の範囲の精神及び範疇から逸脱しな
い限りなされ得ることは予期される。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の教示に従って構成された漏れセンサ較正装置の部分断面
概略図である。
【図２】 本発明の教示に従って構成された装置で使用されるリモート操作
可能なマイクロバルブの斜視図である。
【図３】 図２に示されたマイクロバルブの分解斜視図である。
【図４】 そこに計量室を規定しているテフロン（登録商標）製の挿入物の
拡大平面図である。
【図５】 図４の線５−５に沿ったテフロン（登録商標）製の挿入物の拡大
断面図である。
【図５Ａ】 図５と同様の拡大断面図であるが、その入力側で円錐部分を有
するテフロン（登録商標）製の挿入物を示している。
【図６】 本発明で使用すべくなされたチェックバルブの拡大斜視図である
。
【図７】 計量室と検量体のリザーバとに対するチェックバルブの位置を示
す断片概略図である。
【図８】 図１と同様の部分断面概略図であるが、本発明の第２の好ましい
実施の形態に従って組み立てられている。
【符号の説明】
10，110 漏れセンサ較正装置 12，112 リザーバ 14，114 検量体 16，116 ハウジング（本体） 18，20，22，118，120，122 孔（導管） 19，119 第１の部分 21，121 第２の部分 24，124 出口ノズル 26，30，126，130 孔 28，128 計量室 32，132 空気供給入口（空気入口） 34，134 バルブ機構 35 チャンバ 36，136 入力端 37 フレア形又は円錐形の部分 38，138 出力端（出口端） 39 チェックバルブ 40，140 中間部分 41 ハウジング 42，142 第１のバルブ 43 板又は円盤 44，48，144，148 先端 45 弁座 46，146 第２のバルブ 47 バネ 49 環状座 54 バルブ本体 56 電磁式ボビン 58，60 軟磁極片 62 希土類永久磁石 64 絶縁体 66 アーマチュア 68 挿入物 139 部分 150 入口端
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＧ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ， ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，Ｃ Ｎ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＤＺ，ＥＥ ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ， ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，Ｋ Ｐ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ ，ＬＶ，ＭＡ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ， ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，Ｓ Ｇ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ

Claims (28)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 検量体を蓄えるリザーバと、 該リザーバに連通し、その一部が測定量の検量体を蓄える計量室を規定する導
    管と、 前記計量室に連通する出口ノズルと、 前記計量室に蓄えられた測定量の検量体に加圧すべくなしてある空気供給源と
    、 前記計量室に蓄えられた測定量の検量体を前記出口ノズルを通じて大気へ排出
    すべくなしてあるバルブ機構と を備えることを特徴とする漏れセンサ較正装置。
  2. 【請求項２】 前記計量室と前記リザーバとの間に配されたフロー絞り弁を
    備えることを特徴とする請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
  3. 【請求項３】 前記フロー絞り弁は、チェックバルブであることを特徴とす
    る請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
  4. 【請求項４】 前記導管は、第２の量の検量体を保持すべくなしてある部分
    を有し、該第２の量の検量体は、前記測定量の検量体よりも多く、前記導管の部
    分は、前記計量室と前記リザーバとの間に配されていることを特徴とする請求項
    １記載の漏れセンサ較正装置。
  5. 【請求項５】 前記バルブ機構は、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配
    され、リモートで操作可能である第１のバルブを備えることを特徴とする請求項
    １記載の漏れセンサ較正装置。
  6. 【請求項６】 前記バルブ機構は、前記空気供給源と前記計量室との間に配
    され、リモートで操作可能である第２のバルブを備えることを特徴とする請求項
    ５記載の漏れセンサ較正装置。
  7. 【請求項７】 前記バルブ機構は、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配
    され、閉位置と開位置との間で切り替え可能であり、該閉位置において前記計量
    室を前記出口ノズルから隔離する第１のバルブと、前記空気供給源と前記計量室
    との間に配され、閉位置と開位置との間で切り替え可能であり、該閉位置におい
    て前記空気供給源を前記計量室から隔離する第２のバルブとを更に備えることを
    特徴とする請求項１記載の漏れセンサ較正装置。
  8. 【請求項８】 前記第１及び第２のバルブをリモートで操作するコントロー
    ラを更に備え、該第１及び第２のバルブは、電気的にリモートで操作可能である
    バルブであることを特徴とする請求項７記載の漏れセンサ較正装置。
  9. 【請求項９】 前記コントローラは、所定の第１時間間隔で前記第１のバル
    ブを開位置へ動作させ、所定の第２時間間隔で前記第２のバルブを開位置へ動作
    させ、該第２時間間隔は、前記第１時間間隔よりも小さく、該第１時間間隔の間
    に発生することを特徴とする請求項８記載の漏れセンサ較正装置。
  10. 【請求項１０】 前記第１時間間隔は、５０ミリ秒であり、前記第２時間間
    隔は、１０ミリ秒であることを特徴とする請求項９記載の漏れセンサ較正装置。
  11. 【請求項１１】 前記コントローラは、所定の第３時間間隔で前記第２のバ
    ルブを開位置へ動作させ、該第３時間間隔は、前記第１及び第２時間間隔に先立
    って発生することを特徴とする請求項９記載の漏れセンサ較正装置。
  12. 【請求項１２】 前記計量室と前記リザーバとの間に配され、開位置と閉位
    置との間で切り替え可能であるチェックバルブを備え、該チェックバルブは、前
    記第２のバルブの開位置への動作に応じて、閉位置へ切り替えられることを特徴
    とする請求項７記載の漏れセンサ較正装置。
  13. 【請求項１３】 定量の液状物質を周囲の大気へ解放する漏れセンサ較正装
    置であって、 前記液状物質を蓄えるリザーバと、 出口ノズルと、 前記リザーバと前記出口ノズルとの間を連通する一方、前記定量の液状物質を
    蓄える計量室を規定する第１の部分と、前記計量室と前記リザーバとの間に配さ
    れ、前記リザーバへの前記定量の流れを妨げるべくなしてある第２の部分とを有
    する導管と、 圧力源と、 該圧力源を前記計量室に連通し、これによってそこに蓄えられた前記定量を前
    記出口ノズルを通じて大気へ排出すべくなしてあるバルブ系と を備えることを特徴とする漏れセンサ較正装置。
  14. 【請求項１４】 前記バルブ系は、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配
    され、リモートで操作可能である第１のバルブを備えることを特徴とする請求項
    １３記載の漏れセンサ較正装置。
  15. 【請求項１５】 前記バルブ系は、前記圧力源と前記計量室との間に配され
    、リモートで操作可能である第２のバルブを備えることを特徴とする請求項１３
    記載の漏れセンサ較正装置。
  16. 【請求項１６】 前記バルブ系は、前記計量室と前記出口ノズルとの間に配
    され、閉位置と開位置との間で切り替え可能であり、該閉位置において前記計量
    室を前記出口ノズルから隔離する第１のバルブと、前記圧力源と前記計量室との
    間に配され、閉位置と開位置との間で切り替え可能であり、該閉位置において前
    記圧力源を前記計量室から隔離する第２のバルブとを更に備えることを特徴とす
    る請求項１５記載の漏れセンサ較正装置。
  17. 【請求項１７】 前記第１及び第２のバルブをリモートで操作するコントロ
    ーラを更に備え、該第１及び第２のバルブは、電気的にリモートで操作可能であ
    るバルブであることを特徴とする請求項１６記載の漏れセンサ較正装置。
  18. 【請求項１８】 前記コントローラは、所定の第１時間間隔で前記第１のバ
    ルブを開位置に維持すべくプログラムされ、また、所定の第２時間間隔で前記第
    ２のバルブを開位置に維持すべくプログラムされ、該第２時間間隔は、前記第１
    時間間隔よりも小さく、該第１時間間隔の間に発生することを特徴とする請求項
    １７記載の漏れセンサ較正装置。
  19. 【請求項１９】 前記第１時間間隔は、５０ミリ秒であり、前記第２時間間
    隔は、１０ミリ秒であることを特徴とする請求項１８記載の漏れセンサ較正装置
    。
  20. 【請求項２０】 前記コントローラは、所定の第３時間間隔で前記第２のバ
    ルブを開位置に維持すべくプログラムされ、該第３時間間隔は、前記第１及び第
    ２時間間隔に先立って発生することを特徴とする請求項１９記載の漏れセンサ較
    正装置。
  21. 【請求項２１】 前記リザーバは、液状検量体を収容すべくなしてあり、前
    記計量室の容積は、約２×１０-6リットルであることを特徴とする請求項１３記
    載の漏れセンサ較正装置。
  22. 【請求項２２】 前記リザーバは、気化検量体を収容すべくなしてあり、前
    記計量室の容積は、約５００×１０-6リットルであることを特徴とする請求項１
    ３記載の漏れセンサ較正装置。
  23. 【請求項２３】 前記導管の第２の部分に配され、開位置と閉位置との間で
    切り替え可能であるチェックバルブを備え、該チェックバルブは、前記バルブ系
    の作動に応じて、開位置へ切り替えられることを特徴とする請求項１３記載の漏
    れセンサ較正装置。
  24. 【請求項２４】 液状検量体を蓄えるリザーバと、 該蓄積リザーバに連通し、出口ノズルで終端となり、測定量の液状検量体を蓄
    える計量室を規定する中央部分を有する導管と、 前記計量室に蓄えられた前記測定量に加圧する圧力源と、 前記計量室を周囲の大気から隔離するバルブ系と、 該バルブ系に操作可能に接続された制御系と を備えることを特徴とする漏れセンサ較正装置。
  25. 【請求項２５】 前記バルブ系は、前記計量室を大気から隔離する第１のバ
    ルブと、前記圧力源を前記計量室から隔離する第２のバルブとを備えることを特
    徴とする請求項２４記載の漏れセンサ較正装置。
  26. 【請求項２６】 前記第１のバルブは、前記計量室と前記出口ノズルとの間
    に配され、前記計量室を大気から隔離する閉位置と開位置との間で切り替え可能
    であり、前記第２のバルブは、前記圧力源と前記計量室との間に配され、前記圧
    力源を前記計量室から隔離する閉位置と開位置との間で切り替え可能であること
    を特徴とする請求項２５記載の漏れセンサ較正装置。
  27. 【請求項２７】 前記リザーバと前記計量室との間の前記導管に配されたチ
    ェックバルブを更に備え、該チェックバルブは、前記測定量が前記リザーバへ流
    れるのを防ぐために、前記圧力源に応答することを特徴とする請求項２４記載の
    漏れセンサ較正装置。
  28. 【請求項２８】 導管を通じて流れる液状物質を有するプロセス系で使用す
    るために、測定量の液状物質をセンサに排出する装置であって、 該導管に連通し、その一部が前記測定量の液状物質を蓄える計量室を規定する
    ポートと、 前記計量室に連通する出口ノズルと、 前記計量室に蓄えられた測定量の液状物質に加圧すべくなしてある空気供給源
    と、 前記計量室に蓄えられた測定量の液状物質を前記出口ノズルを通じて大気へ排
    出すべくなしてあるバルブ機構と を備え、 それによって、前記液状物質の構成物が前記センサにより判定される ことを特徴とする装置。
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