JP2002537440A - ワイヤ式切断装置で使用する切断潤滑組成物 - Google Patents

ワイヤ式切断装置で使用する切断潤滑組成物

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JP2002537440A JP2000599841A JP2000599841A JP2002537440A JP 2002537440 A JP2002537440 A JP 2002537440A JP 2000599841 A JP2000599841 A JP 2000599841A JP 2000599841 A JP2000599841 A JP 2000599841A JP 2002537440 A JP2002537440 A JP 2002537440A
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ワード，アール，イー．
タン，フォン
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ピーピーティー リサーチ，インク．
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Abstract

(57)【要約】 【課題】硬質で脆い材料を切断する多ワイヤ鋸切断機に使用する潤滑組成物を提供すること。 【解決手段】硬質で脆い材料を切断するワイヤ鋸切断装置で使用するための、７０重量％までの研磨材料を含んだ潤滑組成物が開示されている。この組成物は高低分子量のポリアルキレングリコールと懸濁剤との混合物内に懸濁されている研磨材料を含んでいる。この組成物の粘度は約５０から７００ｃｐｓである。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本願発明は新規な切断潤滑組成物に関する。この組成物は、例えば、シリコン
半導体塊、ゲルマニウム、ヒ化ガリウム、ガラス、または花崗岩等の硬質で脆い
材料で成る加工対象物を切断して複数の薄いシート状、スライス状あるいはウェ
ハー状にする装置で使用される。
【０００２】
【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】
そのようなワイヤ式切断装置は普通は固定ピッチにて互いに平行に配線された
細いワイヤの列を含んでいる。加工対象物は、同一方向で互いに平行に延びてい
る０.２ｍｍ程の直径の細いワイヤに押しつけられ、対象物とワイヤとの間に研
削液が提供されてその対象物を切削作用によってウェハー状にカットする。すな
わち、研削液に含まれる研磨粒子はワイヤの切断部に移動して切断を助ける。こ
のような切断機は米国特許第３４７８７３２号、３５２５３２４号、５２６９２
７５号、５２７０２７１号に解説されており、それら特許内容を本願に援用する
。
【０００３】 そのような切断装置は撚合ループ形態で絡合した一連のワイヤを含むこともで
きる。この形態は花崗岩やシリコン塊の切断に利用できる。加工対象物は撚合ワ
イヤに押しつけられ、研磨剤に助けられて切断加工される。
【０００４】 最良の切断品質の達成は、研削液の品質及び切断ワイヤに対象物を押しつける
力等の要素にかかっている。
【０００５】 大量生産条件の下での切断品質の最良化を求めて努力が為されている。この“
最良切断品質”とは、半導体装置及び太陽電池に適した製品を生産できるような
凹凸を含まない平面を意味する。大量生産の場合、ワイヤの磨耗速度、切断効率
及び切断潤滑液のリサイクリングも重要な要素である。シトリコットの米国特許
第５０９９８２０号は、水中または油中にての炭化ケイ素粒子の懸濁液としての
研削液を開示している。しかし、この先行技術による懸濁液はワイヤに対して安
定した均質潤滑を提供しない。さらに、この組成物においては粒子の均質な懸濁
を維持するためには激しい攪拌を必要とし、懸濁液はすぐに沈殿する。
【０００６】 よって、優れた潤滑性と伝熱性とを備えたワイヤ式切断機用の新規な潤滑組成
物が求められている。また、加工対象物を組成物内の研磨粒子でさらに効率的に
切断させるように均質に研磨材料を加工対象物に提供する新規な切断潤滑組成物
も求められている。さらに、優れた潤滑性能と伝熱性能とを備え、切断部で発生
する摩擦熱を取り除き、ワイヤの使用寿命を引き延ばし、作業休止時間を回避さ
せる組成物が求められている。また、研磨粒子が安定して懸濁状態である組成物
が求められている。そのためには、長期に保管された結果の分離現象が、軽い攪
拌で元に戻るような組成物であってもよい。
【０００７】
【課題を解決するための手段】
一般的に本願発明は、半導体材料、磁性材料、セラミックス、花崗岩、太陽電
池部材等の硬質で脆い材料である加工対象物の切断に用いられる装置に使用され
る切断潤滑組成物に関する。さらに特定すれば、本願発明の潤滑組成物は、 a)約１から３５重量％の懸濁剤と、 b)約６５から９９重量％のポリアルキレングリコール類の組み合わせ物と、 を含んで成る。
【０００８】 このアルキレン基は２から５の炭素原子を含んでいる。それらグリコール類の
組み合わせ物は、約３００から６００の平均分子量を有した約６５から９９重量
％のグリコールと、約１０００から５０００の平均分子量を有した約１から３５
重量％のグリコールとを含んで成る。
【０００９】 その組成物の粘度は約５０から７００ｃｐｓであり、その潤滑組成物は水溶性
及び/又は水混性である。
【００１０】 好適にはそれらグリコール類はポリエチレングリコール、ポリプロピレングリ
コール、ポリイソブチレングリコール及びそれらのコグリコール類(coglycol)で
成る群から選択されたものである。
【００１１】 懸濁剤は極性溶剤、界面活性剤及びシックナー(thickener)等である。有用な
極性溶剤はアルコール、アミド、ラクタム、エステル、ケトン、グリコールエー
テル、塩基性アミン及びスルホキシドから選択される。適当な界面活性剤は陰イ
オン系、陽イオン系及び/又は非イオン系界面活性剤である。適当なシックナー
の例はカルボキシルメチルセルロース、メチルセルロース、ポリアクリル酸、デ
ンプン及び多糖類である。
【００１２】 好適な潤滑組成物は、 a)約５から１５重量％の懸濁剤と、 b)約１５から９５重量％のポリエチレングリコール類の組み合わせ物と、 を含んで成る。
【００１３】 その組み合わせ物は、平均分子量が約３００から５００である約８０から９２
重量％のポリエチレングリコールと、平均分子量が約１０００から２０００であ
る約１から６重量％のポリエチレングリコールとを含んで成る。
【００１４】 組成物の粘度は約５０から７００ｃｐｓである。
【００１５】 本願発明の最も好適な潤滑組成物は、 a)約６から１０重量％のＮ-メチルピロリドンと、 b)約９０から９４重量％のポリエチレングリコール類の組み合わせ物と、 を含んで成る。
【００１６】 このポリエチレングリコール類の組み合わせ物は、約４００の平均分子量を有
した約８７から９０重量％のポリエチレングリコールと、約１５００の平均分子
量を有した約３から５重量％のポリエチレングリコールとを含んで成る。組成物
の粘度は室温（２５℃）で約５０から５００ｃｐｓである。
【００１７】 本願発明の潤滑組成物は約１から７０重量％の研磨粒子をも含んでおり、硬質
で脆い材料である加工対象物の切断で使用するための切断潤滑組成物を提供する
。その研磨粒子は潤滑組成物によって懸濁状態に保たれ、ワイヤ表面に移動して
均質な切断エッジを提供する。
【００１８】 本願発明によれば、切断潤滑組成物は、 Ａ.約３０から９９重量％の潤滑組成物であって、 a.約１から２０重量％の懸濁剤と、 b.アルキレン基が２から５の炭素原子を有している約８０から９９重量％の
ポリアルキレングリコールの組み合わせ物であって、その組み合わせ物は約２０
０から６００の平均分子量を有した約８０から９２重量％のグリコールと、約１
０００から５０００の平均分子量を有した約１から３５重量％のグリコールとを
含んでいる組み合わせ物と、 を含んで成る潤滑組成物を含んでいる。
【００１９】 その潤滑組成物には約１から７０重量％の研磨粒子が加えられ、その粘度は約
５０から７００ｃｐｓである。
【００２０】 本願発明の主要な目的は、生産効率を高め、製品の品質を高めることができる
、硬質で脆い材料を切断する多ワイヤ鋸切断機に使用する潤滑組成物の提供であ
る。
【００２１】 本願発明の別目的は、切断ワイヤに研磨材料を均等に分配させる切断潤滑組成
物の提供である。
【００２２】 本願発明のさらに別目的は、優れた水溶性と水混性とを有し、毒性が非常に低
い潤滑組成物の提供である。
【００２３】 本願発明のさらに別目的は、ワイヤで発生する摩擦熱を伝達する優れた伝熱性
を備えており、切断ワイヤの使用寿命を延ばすことができる切断潤滑組成物の提
供である。
【００２４】 本願発明のまたさらに別な目的は、半導体や太陽電池に適した高品質の加工物
の提供である。
【００２５】 本願発明のその他の目的及びその理解は以下の説明で得られるであろう。
【００２６】
【発明の実施の形態】
本願発明によれば、新規な切断及び/又は潤滑組成物は、脆くて硬質な材料で
提供される塊体を分割する研削タイプ切断ユニットの効率及び生産性を高め、半
導体や太陽電池装置に対して高品質な部材を提供する。本願発明の潤滑組成物は
研磨粒子を懸濁状態に保ち、ワイヤと加工対象物との間に形成される楔形状部に
研磨粒子を均等に搬送させ、あるいは切断部の両側に研磨粒子を均等に提供し、
機械の精度と効率とを大きく改善させる。また、この潤滑組成物は切断ワイヤを
潤滑し、切断面で発生する摩擦熱を吸収する。これらの性能によってワイヤある
いは撚合線体の使用寿命は引き延ばされ、半導体や光電池装置には致命的である
対象物表面の乱れが回避される。
【００２７】 本願発明のワイヤ式切断装置で使用される潤滑組成物は、 a)約１から３５重量％の懸濁剤と、 b)ポリアルキレングリコールの組み合わせで成る約６５から９９重量％のグリ
コールベースと、 を含んで成る。
【００２８】 アルキレン置換基は２から５の炭素原子を有しており、その組成物の粘度は約
５０から７００ｃｐｓである。
【００２９】 そのグリコールベースは、約２００から６００、さらに好適には約４００の平
均分子量を有した約８０から１１の重量％のポリアルキレングリコールと、約１
０００から２０００、さらに好適には約１５００の平均分子量を有した約１から
２０重量％のポリアルキレングリコールとの組み合わせ物を含んで成る。好適に
は、そのグリコールベースは、約８５から９９重量％のＰＥＧ４００から６００
（平均分子量）と、約１から１５重量％のＰＥＧ１０００から２０００（平均分
子量）とを含んで成り、さらに好適には約８７から９９重量％のＰＥＧ４００（
平均分子量）と、約１から１３重量％のＰＥＧ１５００（平均分子量）とを含ん
で成る。
【００３０】 懸濁剤は極性溶剤、界面活性剤、シックナー、あるいはそれらの混合物から選
択される。
【００３１】 懸濁剤として有用な極性溶剤は、アルコール、アミド、ラクタム、エステル、
エーテル、ケトン、グリコールエーテル、塩基性アミンあるいはスルホキシドで
ある。例示的な極性溶剤は、ジメチルスルホキシド、ジメチルアセトアミド（Ｄ
ＭＡＣ）、Ｎ-メチルピロリドン、（ガンマ）ブチロラクトン、ジ（エチレング
リコール）エチルエーテル、ジ（プロピレングリコール）メチルエーテル、トリ
（プロピレングリコール）モノメチルエーテルジエタノールアミン、アミノエト
キシエタノール等々である。潤滑組成物に使用する極性溶剤の使用量は約１から
３５重量％であり、好適には約３から１０重量％である。
【００３２】 本願発明の組成物に使用できる界面活性剤は水溶性陰イオン系、非イオン系、
両性イオン系、双性イオン系または陽イオン系界面活性剤である。
【００３３】 適した陰イオン界面活性剤は、例えば、アルキル置換ベンゼンスルホン酸のア
ルカリ金属塩、長鎖脂肪族硫酸塩のアルカリ金属塩、アルコール及びアルカリフ
ェノールから誘導されたアルカリ金属エーテル硫酸塩、アルカリ金属スルホ琥珀
酸塩、アルカリ金属サルコシネート、及びアルカリ金属タウリドである。適した
陽イオン界面活性剤は４基臭化アンモニウムと塩化アンモニウムであり、例えば
、セトリミドまたは塩化ベンズアルコニウムのごとき長鎖アルキル基を含んだも
のである。適した両性イオン界面活性剤はいわゆる“ベタイン”型及びイミダゾ
リン型の界面活性剤である。
【００３４】 好適な陰イオン界面活性剤は、１２から２５の炭素原子を有したＮ，Ｎ-ジメ
チル-１-酸化テトラデカンアミンやＮ，Ｎ-ジメチル-１-酸化オクタデカンアミ
ン等のアルキルジメチルアミン酸化物、ソジウムラウロイルサルコシネート、ヘ
キサデシルジフェニルエーテルジスルホン酸のアルカリ金属塩、ドデシルジフェ
ニルエーテルジスルホン酸及びデシルジフェニルエーテルジスルホン酸のごとき
ジフェニルエーテルスルホネート、好適にはＣ10-Ｃ18アルキルベンゼンスルホ
ネートである。商業的に入手可能な陰イオン界面活性剤は、デソトまたはステフ
ァンコーポレーションが市販するＣ10-Ｃ13線状ソジウムアルキルベンゼンスル
ホネート（Ｃ11.7線状アルキルベンゼンスルホネート）である。パイロットコー
ポレーションのカルソフトＦ９０ （Ｃ10-Ｃ13ソジウム線状アルキルアリルスルホネート）、ウィトココーポレー
ションのウィトコネート（１.７％の遊離油と３.０％のＳＯ4を含んだ Ｃ12ソジウムアルキルアリルスルホネート）、アルブライト＆ウィルソン社のナ
ンサＨＳ８０ＰＦ及びステパンコーポレーションのステパン剤Ｓ-１５０９-６５
（Ｃ13カルシウムドデシルベンゼンスルホネート）も利用が可能である。
【００３５】 本願発明に利用できる非イオン系界面活性剤は３種の基本タイプであるアルカ
リ酸化濃縮物、アミド及び半極性非イオン系のものである。
【００３６】 そのアルカリ酸化濃縮物はアルカリ酸化物の有機疎水性化合物との濃縮で製造
される化合物として広く定義されており、脂肪族あるいはアルキル系芳香族でよ
い。いかなる疎水性基とでも濃縮される親水性またはポリオキシアルキレン基の
長さは簡単に調整が可能であり、親水性と疎水性要素の望むバランスがとれてい
る水溶性化合物が容易に得られる。
【００３７】 そのようなアルカリ酸化濃縮物の例を挙げる。
【００３８】 １．酸化エチレンでの脂肪族アルコールの濃縮生成物。脂肪族アルコールのア
ルキル鎖は直鎖でも枝鎖でも構わず、一般的に約８から２２の炭素原子を含んで
いる。そのようなエトキシル化アルコール(ethoxylated alcohol)の例には、約
６モルの酸化エチレンの１モルのトリデカノールでの濃縮物、１モルのミリスチ
ルアルコールに対して約１０モルの酸化エチレンで濃縮されたミリスチルアルコ
ール、ココナツ脂肪アルコールでの酸化エチレンの濃縮生成物（ココナツアルコ
ールは１０から１４の炭素原子であるアルキル鎖を有した脂肪アルコールの混合
物であり、その濃縮物は、１モルのアルコールに対して約６モルの酸化エチレン
、約９モルの酸化エチレンの前記ココナツアルコールでの濃縮生成物とを含んで
いる）がある。商業的に入手できるこのタイプの非イオン界面活性剤には、ユニ
オンカーバイド社のタージトール１５-Ｓ-９、シェルケミカルカンパニのネオド
ール２３-６.５及びプロクター＆ギャンブル社のキョロＥＯＢがある。
【００３９】 ２．酸化プロピレンのプロピレングリコールとの濃縮で得られる疎水性ベース
での酸化エチレンの濃縮生成物。この化合物の疎水性部分は約１５００から１８
００の分子量を有しており、もちろん非水溶性である。この疎水性部分のポリオ
キシエチレンモイエティの追加は分子の水溶性を高める。このタイプの化合物の
例には、ワイアンドットケミカルズコーポレーションから商業的に入手できるプ
ルロニック界面活性剤がある。
【００４０】 ３．酸化プロピレンとエチレンジアミンとの反応で得られる反応物での酸化エ
チレンの濃縮生成物。この生成物の疎水性ベースはエチレンジアミンと過剰酸化
プロピレンとの反応生成物で成り、約２５００から約３０００の分子量を有して
いる。このベースは酸化エチレンで、約４０重量％から約８０重量％のポリオキ
シエチレンを含み、約５０００から約１１０００の分子量を有するように濃縮さ
れる。このタイプの非イオン界面活性剤の例にはワイアンドットケミカルズコー
ポレーションから商業的に入手できるテトロニック化合物がある。
【００４１】 アミドタイプの非イオン界面活性剤の例には、約８から約１８の炭素原子のア
シルモイエティを有した脂肪酸のアンモニア、モノエタノール及びジエタノール
アミドがある。これらアシルモイエティは通常は、例えばココナツオイル、パー
ムオイル、大豆オイル及び獣脂等の天然グリセリドから得られるが、例えば、石
油の酸化あるいはフィッシャ・トロプシュ法による一酸化炭素の水素添加によっ
て合成することもできる。
【００４２】 半極性タイプの非イオン界面活性剤の例には酸化アミン、酸化ホスフィン及び
スルホキシドがある。これらの材料は１９７４年６月２５日にベリーに対して発
行された米国特許第３８１９５２８号に開示されている。この特許を本願に援用
する。
【００４３】 本願発明の実施に使用が可能な両性電解界面活性剤は、約８から約１８の炭素
原子の長鎖を有した脂肪族アミンと、例えばカルボキシル、スルホ及びスルファ
トである陰イオン水溶基の誘導体として一般的に記述することができる。この定
義に当てはまる化合物の例にはソジウム-３-ドデシルアミノ-プロピオネート、
ソジウム-３-ドデシルアミノプロパンスルホネート及びドデシルジメチルアンモ
ニウムヘキサノエートがある。
【００４４】 本願発明の実施に活用できる双生イオン界面活性剤は、脂肪族第四級アンモニ
ウムとホスホニウム並びに第三級スルホニウム化合物の内部中和誘導体として一
般的に定義される。その脂肪族基は直鎖でも枝鎖でも構わず、脂肪族置換基の１
つは約８から約１８の炭素原子を含んでおり、さらに１つは、例えば、カルボキ
シル、スルホ、スルファト、ホスファトあるいはホスフォノである陰イオン水溶
解基を含んでいる。
【００４５】 本願発明に利用できる陽イオン界面活性剤は、塩化ステアリルジメチルベンジ
ルアンモニウム、塩化ココナツジメチルベンジルアンモニウム、塩化セチルピリ
ジニウム、塩化セチルトリメチルアンモニウム等である。
【００４６】 特に好適な界面活性剤は、それぞれ約１から約６の炭素原子を有した１または
２のアルキル基を有したソジウム及びポタシウムアルキルナフタレンスルホネー
トと、ＲＳＯ3Ｍであるパラフィンスルホネート（Ｒは約８から約２２の炭素原
子（好適には約１２）を有した第一級または第ニ級アルキル基：Ｍはアルカリ金
属）である。
【００４７】 本願発明に利用できるコグリコールはアルドリッヒケミカルカンパニが商業的
に販売している。
【００４８】 好適にはシックナーも潤滑組成物に配合され、幅広い温度範囲にわたる拡散の
ため及び研削組成物に利用されるときに研磨粒子の分離を低減させるために潤滑
剤の一定の粘性と安定性とを維持する。典型的なシックナーには多糖類、多糖類
誘導体、アルキルセルロース、ポリアクリス酸、ポリアクリル酸のアルカリ金属
塩等がある。さらに適したものの例には、キサンタンガム、ラムサンガム、ヒド
ロキシメチルセルロース、カルボキシルメチルセルロース、デンプン、およびソ
ジウムポリアクリレートがある。
【００４９】 本願発明に従って切断潤滑組成物を製造するためには、研磨粒子が潤滑組成物
に加えられ、研磨粒子が懸濁状態となるまで激しく攪拌される。
【００５０】 ワイヤ式切断機のための切断潤滑組成物を提供するために前述の潤滑組成物に
使用される好適な研磨粒子材料は、アルミナ粉末、ダイアモンド、シリカ、タン
グステンカーバイド、シリコンカーバイド、ボロンカーバイド、あるいは他の適
した硬質研磨材料である。特に好適な研磨粒子材料の１つはシリコンカーバイド
である。一般的に、粒子サイズは１から５００ミクロンであり、好適には１０か
ら１００ミクロンであり、さらに好適には１０から……（次のページは出願時に
欠落）。 ……………………………………………………………………………………… ３７.０グラム（９２.５％）のＰＥＧベースに３.００グラム（７.５％）のＮ
-メチルピロリドンが加えられて潤滑組成物が得られた。平均粘度は室温にてブ
ルックフィールドＬＶＴ粘度測定器＃２スピンドルで測定され、約３００ｃｐｓ
であった。
【００５１】 粘度を約５０から７００ｃｐｓに保つため、界面活性剤及び/又はシックナー
を加えることができる。 例２ ビーカに入った例１の潤滑ベース組成物に、平均粒子サイズ約１０から３０ミ
クロンである７.０６グラム（１５％）のシリコンカーバイドが加えられた。攪
拌棒が混合物に入れられ、全てのシリコンカーバイド粒子が懸濁するまで５分以
上激しく攪拌された。
【００５２】 例１と例２の手順は反復され、例３から例２４の切断潤滑組成物が得られた。
それらの組成は表Ｉに示されている。 表Ｉ ％ＰＥＧ ％ＰＥＧ 懸濁剤 シリコンカーバイド 例 ４００ １５００ ％ 全体の重量比 溶剤 （７.５％） 3 88.8 3.70 ＮＭＰ 15 4 88.8 3.70 ＮＭＰ 50 5 88.8 3.70 ＧＢＬ 15 6 88.8 3.70 ＤＥＧＥＥ 15 7 88.8 3.70 ＤＰＧＭＥ 15 8 88.8 3.70 ＴＰＧＥＥ 15 9 88.8 3.70 ＤＭＡＣ 15 10 88.8 3.70 ＤＭＳＯ 15 11 90.65 1.85 ＮＭＰ 15 12 89.73 2.77 ＮＭＰ 15 13 88.8 3.70 ＮＭＰ 15 14 88.8 3.70 ＮＭＰ 15 15 88.8 3.70 ＮＭＰ 15 16 88.8 3.70 ＤＥＡ 15 シックナー％ Ｔ-５０００ 17 95.86 1.50 1.67 15 18 96.00 1.50 2.50 15 界面活性剤％ 19 98.5 1.50 ORCO-B-1 1.0 50 20 98.5 1.00 FC-170 0.5 20 21 97.5 2.00 FC-170 0.5 20 22 95.06 1.94 A 3.0 15 23 95.06 1.94 B 3.0 15 24 95.06 1.94 C 3.0 15 25 95.06 1.94 D 3.0 15 溶剤 界面活性剤 NMP= メチルヒ゜ロリト゛ン A=AMAK 1225 & 1689 (5:1) DMSO= シ゛メチルスルホキシト゛ B=AMAK 1225 & 1449 (5:1) DMAC= シ゛メチルアセタミト゛ C=AMAK 1689 GBL= カ゛ンマフ゛チロラクトン D=AMAK 1449 DEGEE=シ゛(エチレンク゛リコール)エチルエーテル DPGME=シ゛(フ゜ロヒ゜レンク゛リコール)メチルエーテル TPGEE=トリ(フ゜ロヒ゜レンク゛リコール)モノエチルエーテル DEA= シ゛エタノールアミン AMAK=アクソ゛ノーヘ゛ル会社 ORCO FC-170=３Ｍ会社 T 5000=ローム＆ハース会社 表ＩＩは本願発明の潤滑組成物の様々なＰＥＧベース混合物の粘度測定値であ
る。全ての潤滑組成物（シリコンカーバイドを含まず）は７.５重量％のＮ-メチ
ルピロリドンを含んでいる。潤滑剤に対して、平均粒子サイズ約１５ミクロンで
ある１５重量％シリコンカーバイドが加えられた。粘度測定値は表に示される温
度でブルックフィールドＬＶＴ粘度測定器＃２スピンドルで得られた。 表ＩＩ 分子量 粘度 ％ＰＥＧ 追加ＰＥＧ ％追加ＰＥＧ (cps)室温 例 ４００ 26 96.30 1500 3.70 629 27 97.24 1500 2.76 499 28 97.46 1500 2.54 495 29 97.69 1500 2.31 456 粘度 ２５℃ 30 96.30 1450 3.70 243 31 97.22 1450 2.78 208 32 97.69 1450 2.31 104 33 98.15 1450 1.85 76 34 98.61 1450 1.39 74 35 99.07 1450 0.93 70 36 96.30 1500 3.70 480 37 97.22 1500 2.78 346 38 97.46 1500 2.54 214 39 97.69 1500 2.31 263 40 98.38 2000 1.62 213 41 98.61 2000 1.39 193 42 99.91 2000 0.93 137 43 99.54 2000 0.46 63 表ＩＩの組成は記載粘度範囲内で高微粒子含有能力を示している。よって、比
較的に安定した懸濁を提供する。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｃ１０Ｍ 125/02 Ｃ１０Ｍ 125/02 125/08 125/08 125/10 125/10 125/26 125/26 129/06 129/06 129/16 129/16 129/24 129/24 129/70 129/70 133/06 133/06 133/16 133/16 133/44 133/44 135/08 135/08 145/14 145/14 145/40 145/40 // Ｃ１０Ｎ 10:06 Ｃ１０Ｎ 10:06 10:12 10:12 20:04 20:04 20:06 20:06 Ｚ 30:00 30:00 Ａ 40:00 40:00 Ｚ 40:22 40:22 Ｆターム(参考） 3C047 FF06 FF09 GG00 3C058 AA05 AA07 AA09 CA04 CB01 CB10 DA02 DA03 4H104 BB02C BB08C BB12C BB31C BB42A BB43A BB44C BE11C BE29C BG05C CB07C CB13A CB19C EA03C EA08C EB04 LA11 PA22 PA50 RA01

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ワイヤ式切断装置にて使用する潤滑組成物であって、 a)約１から３５重量％の懸濁剤と、 b)約６５から９９重量％のポリアルキレングリコール類の組み合わせであっ
    て、そのアルキレン置換基は２から５の炭素原子を有しており、該組み合わせは
    、平均分子量が約２００から６００である約８０から９２重量％のグリコールと
    、平均分子量が約１０００から５０００である約１から３５重量％のグリコール
    とで成り、約５０から７００ｃｐｓであるポリアルキレングルコール類と、 を含んで成ることを特徴とする潤滑組成物。
  2. 【請求項２】懸濁剤は極性溶剤、界面活性剤あるいはシックナーまたはそれら
    の混合物から選択されることを特徴とする請求項１記載の組成物。
  3. 【請求項３】極性溶剤はアルコール、アミド、ラクタム、エステル、エーテル
    、ケトン、ラクトン、グリコールエーテル、塩基性アミンあるいはスルホキシド
    またはそれらの混合物であることを特徴とする請求項２記載の組成物。
  4. 【請求項４】ラクタムはＮ-メチルピロリドンであることを特徴とする請求項
    ３記載の組成物。
  5. 【請求項５】グリコールエーテルはジ（メチレングリコール）、エチルエーテ
    ル、ジ（プロピレングリコール）メチルエーテルまたはトリ（プロピレングリコ
    ール）モノメチルエーテルであることを特徴とする請求項３記載の組成物。
  6. 【請求項６】ヅルホキシドはジメチルスルホキシドであることを特徴とする請
    求項３記載の組成物。
  7. 【請求項７】極性溶剤は１０重量％まで存在することを特徴とする請求項６記
    載の組成物。
  8. 【請求項８】界面活性剤は陰イオン、陽イオンあるいは非イオン界面活性剤で
    あることを特徴とする請求項２記載の組成物。
  9. 【請求項９】界面活性剤は約０.１から１０重量％で存在することを特徴とす
    る請求項８記載の組成物。
  10. 【請求項１０】シックナーは多糖類、アルキルセルロース、カルボキシルメチル
    セルロース、デンプン及びポリアクリス酸から選択されることを特徴とする請求
    項２記載の組成物。
  11. 【請求項１１】シックナーは約１０重量％まで存在することを特徴とする請求項
    ２記載の組成物。
  12. 【請求項１２】ポリアルキレングリコールはポリエチレングリコール、ポリプロ
    ピレングリコール、ポリイソブチレングリコール及びそれらのコグリコールで成
    る群から選択されることを特徴とする請求項１記載の組成物。
  13. 【請求項１３】ポリアルキレングルコールはポリエチレングリコールであること
    を特徴とする請求項１２記載の組成物。
  14. 【請求項１４】潤滑組成物であって、 a)約０から１０重量％の非イオン界面活性剤と、 b)約１から２０重量％のＮ-メチルピロリドンと、 c)約８０から９９重量％のポリエチレングリコールの組み合わせと、 を含んで成り、該ポリエチレングリコールは、約３００から５００の平均分子量
    である約８７から９０重量％のポリエチレングリコールと、約１４００から１６
    ００の平均分子量である約２から５重量％のポリエチレングリコールとで成り、
    約５０から７００ｃｐｓの粘度を有していることを特徴とする潤滑組成物。
  15. 【請求項１５】ポリエチレングリコールの組み合わせは約９５重量％のポリエチ
    レングリコール４００と約５重量％のポリエチレングリコール１５００とで成る
    ことを特徴とする請求項１２記載の組成物。
  16. 【請求項１６】切断潤滑組成物であって、 Ａ．約３０から９９重量％の潤滑剤であって、 a.約１から２０重量％の懸濁剤と、 b.約８０から９９重量％のポリアルキレングリコールの組み合わせであっ
    て、そのアルキレン基は２から５の炭素原子を有しており、該組み合わせは平均
    分子量が２００から６００である約８０から９２重量％のグリコールと、平均分
    子量が約１０００から５０００である約１から３５重量％のグリコールとで成る
    組み合わせと、 を含んで成る潤滑剤と、 Ｂ．約１から７０重量％の研磨微粒材料と、 を含んで成り、約５０から７００ｃｐｓの粘度を有していることを特徴とする切
    断潤滑組成物。
  17. 【請求項１７】組み合わせは約９５重量％のポリエチレングリコール４００と約
    ５重量％のポリエチレングリコール１５００とで成ることを特徴とする請求項１
    ３記載の組成物。
  18. 【請求項１８】研磨材料はアルミナ、ダイヤモンド、シリカ、炭化ホウ素、シリ
    コンカーバイドあるいはタングステンカーバイドであることを特徴とする請求項
    １６記載の組成物。
  19. 【請求項１９】研磨材料はシリコンカーバイドであることを特徴とする請求項１
    ８記載の組成物。
  20. 【請求項２０】研磨材料は１から５００ミクロンの粒度を有していることを特徴
    とする請求項１８記載の組成物。
  21. 【請求項２１】約１から５０重量％の研磨微粒材料を含んでいることを特徴とす
    る請求項１６記載の組成物。
  22. 【請求項２２】切断潤滑組成物であって、 a)約１５重量％のシリコンカーバイドと、 b)約６.５重量％のＮ-メチルピロリドンと、 c)約７８.５重量％のポリエチレングリコールの組み合わせと、 を含んで成り、 該組み合わせは約８６.５から９１.５重量％のポリエチレングリコール４００
    と、約８.５から１３.５重量％のポリエチレングリコール１５００とで成り、室
    温にて約６００から６５０の粘度を有していることを特徴とする切断潤滑組成物
    。
  23. 【請求項２３】硬質で脆い材料のワイヤ切断方法であって、請求項１４の切断潤
    滑組成物を用いて該材料を切断することを特徴とする方法。
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