JP2002532709A - 外部環境から隔離された２つのチャンバの密封装置間の連結度の検知装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は密封連結装置に関し、ここで、ＡおよびＢの各チャンバには、密封手段（１２，１４）の介在物を具えるフランジ（４，５）と協働するドア（２，３）に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部が設けられ、２つのドアの一方が対応するフランジ（４）に連結されており、両ドア（２，３）にはそれぞれのフランジ（４，５）にロック手段が設けられ、それらを連結する連結手段を連結して、密封手段（１２，１６および１３，１４）間の接触を介して、外部環境から隔離された内側空間Ｃを形成する。本発明は、検知装置が、固定チャンバ（Ａ）のフランジ（４）の外面に配された内側溝（３０）と外側溝（３５）の２つの溝と、溝（３５）に配された継ぎ手（３６）と、フランジ（４）に配され内側溝（３０）をパイプ取り付け具（３４）に連結するチャンネル（３１，３２，３３）のネットワークと、真空ポンプ（３８）であって吸入管（３７）がパイプ取り付け具に連結されているポンプと、溝（３０）につながる空気回路中の真空値を測定し、真空が適切な値に届かない場合に、警報手段（４７，４８）に作用するセンサー（４４）とを具えることを特徴とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 例えばチャンバの一つから他方のチャンバへ内容物を移動させる目的で、外部
媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結装置の要素間の連結が密封されて
いるか否かを検知する装置である。

【０００２】 この説明および添付の特許請求の範囲の解釈の目的のために、「密封する」ま
たは「密封された」の用語は、２つのタイプの媒体を分離する壁が、該壁を通っ
ての１つ以上の照合物質、例えばいわゆる汚染物質の移動を防止または制限する
ような特性を意味する。

【０００３】 「汚染している」または「汚染」の用語は、物質が任意の媒体の中で、除外さ
れ、または限られた量または濃度に留められねばならないという特性を意味する
。これは、例えば、生物学上またはその他の自然界の病原菌または汚染物質であ
ってもよく、また、流体媒体中の懸濁液の中にも配され得る単純な固体粒子、液
体粒子またはガス粒子であってもよい。

【０００４】 より詳しくは、本発明は、限定的ではないが、粒子によるものを含み、汚染が
外部媒体から回避または制限されることを要する医学的または生物学的なタイプ
での用途を参照しつつ以下に説明される。例として、以後「Ａ」と称するチャン
バの一つは、クリーンルームまたは滅菌室からなるので固定式であるが、置換え
可能なチャンバであってもよく、以後「Ｂ」と称する他のチャンバは、取外し可
能且つ移送可能な、例えば使い捨てチャンバであり、以下に説明される密封され
た連結装置が連結位置にあるときに、２つのチャンバの間に形成された通路、即
ち移送可能なチャンバから固定式チャンバまでの通路を通って、移送されるべき
一つ以上の対象物または装填物を含んでいる。例えば、クリーンルーム中で進行
している製造または生産のために必要とされる成分または製品を固定式チャンバ
に供給したり、その逆に、該クリーンルームから廃棄物または製品を排出する。

【０００５】 そのような状況は、核、電子、医薬および医療の分野においても発生する。

【０００６】 本発明の検知装置についての説明を行う前に、添付の図１乃至７を参照し、技
術状態に従い、２つのチャンバの密封連結のための装置について述べる必要があ
る。ここではそれぞれフランジ４および５の形態の固定フレームにより各々支持
されているドア２及び３の一時的な連結がチャンバＣを形成する。

【０００７】 これらのドアのうちの一つ、即ちドア２は、外部媒体から隔離された固定チャ
ンバ「Ａ」の開口部６に配され、一方、他のドア、即ちドア３は、やはり外部媒
体から隔離された他のチャンバ「Ｂ」の開口部に配されている。本発明は、限定
されないが、より詳しくは、この装置の、滅菌チャンバ「Ａ」と持ち運び可能な
チャンバ、即ち可動式チャンバ「Ｂ」との相互接続の用途に関する。例えば、該
可動式チャンバ「Ｂ」は、ドア３のフランジ５に固定された合成材料８で作られ
たケーシングによって形成された移送可能な容器からなる。

【０００８】 この密封接合装置によれば、固定チャンバ「Ａ」は、概ね円形で軸１０の回り
に連結されたアーム９によって、例えば垂直に、フランジ４に関して支持された
ドア２によって閉鎖される。このドアは、フランジ４の支持面１１と互いに協働
し合う圧縮可能な環状シール１２のような密封手段を有している。

【０００９】 同様に、移送可能なチャンバ「Ｂ」は、概ね円形であるが、固定チャンバのド
ア２のためのフランジ４に形成された開口部４ａよりも小さい直径寸法であり、
この開口部を介して嵌合し得るドア３によって閉鎖される。ドア３は、該ドアの
フランジ５を密封する手段、即ちフランジによって支持され、ドア３（図２参照
）の支持面１５と互いに協働する圧縮可能な環状シール１４を有している。

【００１０】 ドア２および３の各々は、各ドアを閉鎖された位置においてフランジに対して
ロックする手段とも連携されている。図５および６に図示され下記に定義されて
いる実施形態においては、これらのロック手段は、フランジ４のベアリング内で
回転自在に取り付けられたシャフト５０、シャフトの、チャンバＡに配されたそ
の端部上にしっかりと留められた回転式掛金５１、およびシャフト５０の、チャ
ンバＡの外側に延在するその端部上にしっかりと留められたレバー５２とを具え
ている。回転式掛金５１はブレードの形状をしており、図５および６に示される
ように、ドア２をフランジ４の凹部内に押圧する位置、またはこのドアが動くの
を許容する、このドアの半径方向外側の位置のいずれかを占め得る。

【００１１】 シャフト５０は、一方において、該シャフト上にフランジ４の外側からレバー
５２に向かってしっかりと留められ、フランジ５をフランジ４に対してしっかり
と留めることが可能なもう一つの回転式掛金５３と、他方において、ドア３をそ
のフランジ５上にしっかりと留める手段と協働可能な２つの半径方向指状部材５
４および５５を担持している。図６は、これらの多様な構成要素５１，５３，５
４および５５がお互いに関して、およびレバー５２に関して角度的にずらされて
いることを示している。

【００１２】 ドア３をそのフランジ５にロックする手段は、２つの円柱状ピン５６，５７を
具えており、それぞれドア３の盲ボア５８と、第一のボアと同軸でフランジ５に
半径方向に形成されたボア５９とに前後にぴったりと嵌合している。ピンは、部
分的にしか係合されないため、ピン５７はフランジ５から突出し、ピン５６はド
ア３を受け入れているフランジ５の内側のボア５ａを横切ってドア３をフランジ
にロックする。容器が使い捨て容器の場合、図６に見られるような他のピン６０
がフランジのボア６１に、ドア３の盲ボア６２と整列して配される。最初は、ピ
ン６０は、図６に図示された位置にある。つまり、ピン６０は、一方の端部にお
いてフランジ５から半径方向へ延在する一方で、その反対側の端部は盲ボア６２
に入ることなくボア５ａと面一に存する。このピン６０と同軸ピン５６，５７は
、シャフト５０の回転軸を含む直径方向平面の各々の側で角度的にずれており、
このシャフトによって支持されている指状部材５４，５５の円形経路内に配され
ている。

【００１３】 かかる装置は、一般的には、フランジ４の周辺で角度をもって離間されている
同様の他の装置と連携されている。

【００１４】 最後に、取外し可能なチャンバ即ち容器Ｂのフランジ５を固定チャンバＡのフ
ランジ４に対して位置付けるのを容易にするために、図７に示されるように、フ
ランジ４は、外方に向いて突出しフランジ５の周辺に作られた円形の切欠き６４
と協働し得る数個の縦長の指状部材６３に固定されている。しかしながら、最も
確実な位置付けは、ドア３の凹部７５中へのドア２の中央ボス７１の係合により
保証される。各指状部材が、フランジ４の開口部に関する切欠き６５の半径方向
への位置付けをフランジを閉じる動きの最後で容易にするために、ドア２の周辺
に形成された切欠き６５と協働すべく、６３ａにおいて固定チャンバの内側に突
出されてもよい。

【００１５】 移動が行われない場合、ドア２および３の各々は、掛金５１とピン５６によっ
てそれぞれに対応するフランジ４および５に対してロックされている。一方のチ
ャンバの内容物が他方のチャンバに移動される必要がある場合、例えば、移送可
能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移送されなければならない
場合には、移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３のフランジ５が、図１に示される
ように、固定チャンバ「Ａ」のドア２のフランジ４に対して、指状部材６３によ
り事前に位置付けられ、その後、最終的にはボス７２と凹部７５との協働により
確実に位置付けられる個所にもたらされる。

【００１６】 図６の矢印７０の方向にレバー５２を回すと、同時に、フランジ５をフランジ
４にロックし、フランジ４からドア２をアンロックし、さらにピン５６，５７を
押し込む指状部材５５を介してドア３をフランジ５からアンロックする。つまり
、この押し込み動作は、フランジのボア５ａとのピン５６，５７の間の接触領域
を均しくし、それによってドア３を解放する。

【００１７】 この位置において、図３に示されるように、フランジ５に支持されている環状
シール１４は、フランジ４（図２）の円形支持面１３に対して密封接触状態にあ
り、かくて、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の間の接続領域の内側を外部媒
体から隔離している。同様に、他の環状シール１２は、ドア３、即ちより厳密に
は円形領域１６と密封接触状態にあり、これにより２つのドア２および３の間の
間隙、即ち空間「Ｃ」を隔離している。このために、ドアの表面１７および１８
は、これまでは外部媒体と接触していたが、今やこの空間Ｃの中に閉じ込められ
、それによって、これらの表面が２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」の密封連結
により形成された内部容量を引き続き汚染する可能性を防止する。汚染製品の移
動の場合には、この空間は、移動後に外側と再び接触するであろう２つの表面１
７および１８が外部媒体を汚染する可能性をも防止する。

【００１８】 以上から、２つのフランジ４および５とそれぞれに対応する２つのドア２およ
び３との間の密封手段は、２つの円形で且つ連続する、いわゆる密封の臨界線を
確定し、外部媒体の汚染または外部媒体による汚染、さらには、同様に空間「Ｃ
」の汚染または空間「Ｃ」による汚染を防止するために、その臨界線の無欠性は
完全に維持されなければならないことが明らかである。実際には、これらの線、
即ち内側の線Ｃ１および外側の線Ｃ２は、ほぼ合致する。

【００１９】 「臨界線」という用語は、当業者に周知のごとく、連通された２つのチャンバ
の外にある媒体による残滓汚染を伴う線を意味する。２つのチャンバが連結され
連通された後に、この線は、２つのチャンバの間に形成された通路に存する空気
または液体と接触するようになるか、または製品、即ち前記通路を通る製品と接
触するようになり、それらを汚染する。

【００２０】 このような処理の間、下記の補足的な連結手段と、この手段を具える２つのド
ア２および３の外面とが一緒に結合し、固定チャンバ「Ａ」のドア２の開閉動作
が移送可能なチャンバ「Ｂ」のドア３に伝達されるように、これらのドアを一緒
に固定する。

【００２１】 ２つのドア２および３が、それぞれのフランジ４，５からアンロックされた後
に、２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」は、ドア２を、図４に示されるように、
固定チャンバ「Ａ」の内側に向けて回転させることにより連通を図ることができ
る。この動作は、フランジ４の開口部４ａを露出させ、２つのドア２および３の
間の連結の故に、ドア３を動かし、ドア３はこの開口部４ａを貫通して固定チャ
ンバ「Ａ」に入る。

【００２２】 移送可能なチャンバ「Ｂ」の内容物が固定チャンバ「Ａ」に移動された後に、
ドアは閉鎖位置に戻される。

【００２３】 閉鎖体のロックは、このチャンバＢが使い捨てチャンバの場合には、レバー５
２をピン６０が指状部材５４によって押し込まれるまで矢印７０に対して反対方
向に回すことにより、さらには、ドア２が回転式掛金５１によってフランジ４へ
ロックされるのを許容するように、該レバーを図６に示されている中央位置まで
戻すことにより行われる。

【００２４】 この段階で、チャンバＡおよびＢは、再び気密的に閉鎖され、チャンバＢは、
臨界線の破壊を引き起こし、それまで隔離されていた面の外側と接触されること
により取り除かれ得る。

【００２５】 密封接合装置のより完全な説明のために、必要に応じて、例えば、ＩＤＣ Ｉ
ＳＯＬＡＴＥＵＲ ＤＥＮＯＭＩＮＡＴＥＵＲ ＣＯＭＭＵＮのフランス特許出
願公開公報第ＦＲ−Ａ−２，７２１，２８９号を参照できる。

【００２６】 外部媒体から隔離された２つのチャンバの密封連結方法は、全体的には十分満
足できるが、臨界線の無欠性の保証と、それによる固定チャンバＡの移送処理時
の汚染の不在に関する限りは改良し得る。

【００２７】 実際には、臨界線は、図４における２つのドア２および３の間の内側の線Ｃ１
に含まれるのか、図４における２つのフランジ４および５の間の外側の臨界線Ｃ
２に含まれるのかについて、例えば、外部粒子または密封の磨耗に起因する粒子
、不適当な密封圧縮、またはフランジ間にロック連結をもたらす手段または２つ
のドア間に連結をもたらす手段の誤った操作により、この臨界線は破壊されるか
もしれない。

【００２８】 この破壊が起きたことを示すものがない場合や、一回の片道の移送処理が両チ
ャンバ、特に固定チャンバＡ、または外部環境を汚染し得る場合には、この破壊
は、なおさら重大である。

【００２９】 密封手段からの漏れを検知する装置は、周知である。かくて、英国公開公報第
２，１７７，１６６号は、２つの空気的ネットワークを採用している。即ち、そ
のうちの一つは、２つの向かい合うシールの間で開口しており、他方は、２つの
並置されたシールの間のギャップに向かって開口している。検知は、空気圧をネ
ットワークに注入し、注入を停止し、所定の時間の経過後、残りの圧力を測定す
ることにより達成される。空気の流れは非滅菌粒子を非滅菌領域から滅菌領域に
送り、該滅菌領域の汚染の一因となるかもしれないので、そのような装置の滅菌
環境への適用は不可能である。

【００３０】 本発明の目的は、外部環境から隔離された２つのチャンバ間の密封連結装置の
フランジ間の連結が臨界領域の汚染を引き起こさずに密封されているか否かを検
知するための装置を提供することによって、これらの欠点および危険を回避する
ことである。

【００３１】 本発明による検知装置は、 −リング形の２つの溝であって、固定チャンバＡのフランジの外面に形成され、
移送可能なチャンバＢのフランジの端面の支持領域に現れ出る内側溝および外側
溝と、 −固定チャンバのフランジに形成され、内側溝を継ぎ手に連結するダクトのネッ
トワークと、 −チャンバの外側の真空ポンプであって、該ポンプの吸い込みは前記継ぎ手に連
結される一方で、その電力供給回路がこの回路を閉じる部材を具える真空ポンプ
と、 −溝につながる空気回路中の部分的な真空の強さを測定し、該部分的な真空が適
当な値に届かない場合に、警報手段を反応させるセンサーと、 −外側溝に配されたシールとを具える。

【００３２】 移送可能なチャンバＢのフランジ５が位置付けられ、固定チャンバＡのフラン
ジ４に対して押圧されるやいなや、真空ポンプのスイッチオンが直ぐに、フラン
ジの溝に部分的な真空を生じさせる。この部分的な真空は、２つのフランジの間
であって、且つ、外側の臨界線と外側の溝のシールの支持領域との間に延在する
。この部分的な真空は、反対側のフランジにより確実に作用する傾向があり、２
つのチャンバ間の移送準備の少なくとも操作の間、即ち、２つのフランジをお互
いにロックし、ドアをお互いに連結し、お互いに向かい合うドアをフランジから
アンロックし、２つのチャンバを連通させる操作の間に、このフランジが保持さ
れるのを確実にする。

【００３３】 先に説明された理由の一つのために、２つのフランジ間の部分的な真空を受け
ている領域の密封が不充分であった場合、センサーは、欠陥を検知し、警報手段
に作用し、オペレーターに対しドアを開放する前に操作を中断する必要がある、
またはこの操作を中断させる必要があることを知らせる。

【００３４】 かくて、連結操作を行う度に、外側の臨界線の無欠性がチェックされ、さらに
、２つのフランジ間の保護領域の密封が事前にチェックされ、それによって、チ
ャンバＡおよびＢを汚染する外部環境の危険を回避する。

【００３５】 本発明の一実施形態において、固定チャンバのフランジに形成されたダクトの
ネットワークに部分的な真空を運ぶパイプは、多方向電動バルブの介在物を具え
る圧縮空気源にも連結されている。該電動バルブは、部分的な真空源およびセン
サーを備える分岐パイプからパイプを隔離することができ、且つ同時に、このパ
イプを内側の溝にこれらのフランジが分離するのを助けるための圧縮空気の流れ
を送るべく圧縮空気源と連通させることを可能にしている。

【００３６】 この単純且つ廉価な構成によって、２つのチャンバのドアを分離する操作を簡
単にし、誤った操作がなされた場合に、チャンバのフランジを分離するためのレ
バーとして使用される工具によるシールへのいかなる損傷をも回避できる。

【００３７】 本発明は、図１ないし７において技術状態による接合装置を示し、および図８
ないし１１において本発明による装置の一実施形態を示している添付の概略図を
参照して、以降に続く説明の助けにより、より良く理解されるであろう。

【００３８】 以降に続く説明において、本発明と先に説明した技術状態に共通の要素は、同
じ参照番号を有し、新規の要素は３０から４９および７０以降の番号によって参
照されている。

【００３９】 図８および９に示されるとおり、固定チャンバＡのフランジ４は、内側の溝３
０を有する。該溝は、リングの形態、例えば、円形で、移送可能なチャンバＢの
フランジ５の端面５ｂが当接するその面１３から現れ出ている。この溝３０は、
フランジ４中に作られているダクト３１と連通し、継ぎ手３４用のねじ山を切ら
れたボア３３に延在している他のダクト３２が該フランジ中に現れる。

【００４０】 フランジ４且つ溝３０の周囲に作られた外側溝３５は、空気の漏れを制限する
べくフランジ５と接触可能なシール３６、例えばＯ−リング用のハウジングとし
て作用する。このシール３６がフランジ５の端面５ｂに対して当接するという事
実が、２つのフランジ４および５の間の領域Ｅの外側の限界を確定し、該領域の
密封がチェックされ、該領域の内側の境界は、外側の臨界線Ｃ２によって限定さ
れる。

【００４１】 図９は、継ぎ手３４が、パイプ３７によって、例えば電動真空ポンプのような
、好ましくは２つのチャンバＡおよびＢの外部に取り付けられた真空ポンプ３８
に連結されているのを示している。

【００４２】 このポンプ用の電力供給回路４０は、手動または自動的に作動されるスイッチ
、または遮断機４２のような閉鎖部材を具える。このスイッチは、好ましくは２
つのチャンバＡおよびＢの外側に配され、例えば、フランジのロックを制御する
手段に近接して固定チャンバ「Ａ」の外面に配されている。

【００４３】 パイプ３７は、枝管４３を介して、真空ゲージまたはその他のタイプのセンサ
ー４４にも連結され、センサー４４は空気回路中の部分的な真空の強さを測定し
、空気的手段または電気的手段を介して、制御ユニット４５を反応させる。セン
サー４４は、部分的な真空を測定するための機械式または電気式の装置とも連結
されてもよい。

【００４４】 制御ユニット４５は、電気回路によって警報器４７に、または、チャンバを解
放する操作を中止する、例えば、電気機械的または電子的手段のような手段４８
の何れかに連結されている。

【００４５】 移送可能なチャンバＢが固定チャンバＡのフランジ４に対して位置付けられる
とき、スイッチ４２の手作業による始動、または、例えば、フランジのロックお
よびドアのアンロックを制御するレバー５２のうちの一つを回すことによる自動
始動が、真空ポンプ３８をスイッチオンにする。

【００４６】 真空ポンプ３８は、部分的な真空を発生し、該部分的な真空は、溝３０を介し
て、領域Ｅに延び、部分的な真空の強さに応じた力でフランジ５をフランジ４に
対して強く保持する。

【００４７】 強い部分的な真空によれば、図５および６に見られる回転ラッチ５３の代替と
して、空気的保持が２つのフランジを互いにロックし得ることが強調されねばな
らない。

【００４８】 誤った位置付け、または磨耗または望ましくない存在物による漏れの何れかの
結果として、ポンプ３８から空間Ｅにかけて延びる空気回路中においてセンサー
４４によって測定された部分的な真空の強さが、外側の臨界線Ｃ２を保護するこ
の領域Ｅ中の望ましい密封度に対応し、且つこの臨界線Ｃ２の密封にも対応する
基準値に届かない場合、センサー４４は、ユニット４５に作用し、オペレーター
が２つのチャンバ「Ａ」および「Ｂ」を連通させる操作を続けてはならないこと
を彼に知らせるべく警報器４７を始動させる。

【００４９】 センサー４４はまた、例えば固定チャンバＡのドア２をロックすることにより
、これを連通させるのを防止するような電気的、電子的または電子機械的な手段
に反応し得る。

【００５０】 このセンサー４４は、従って、仮に汚染させているのがこれらのチャンバであ
った場合、これらのチャンバまたは外部媒体が最初の状態に保たれることを保証
する。この臨界線Ｃ２の無欠性および保護領域Ｅの密封のチェックは、チャンバ
「Ａ」および「Ｂ」の密封連結処理の安全性を著しく高めるので、殊に有効であ
る。

【００５１】 内部空間「Ｃ」中の真空を利用することの他の利点は、フィルターまたはその
他の汚染除去部材の必要がある場合に、汚染された表面、即ち外面は滅菌領域と
比較して部分的な真空状態にあり、その場合、汚染要素は空気の流れにより滅菌
領域ではなく真空ポンプに向かって、さらにその真空ポンプから前記滅菌領域の
外に向かって引かれるという事実を背景に、この空間「Ｅ」中のシールの不慮の
破壊が起きた場合の滅菌領域の汚染の危機を軽減することである。

【００５２】 センサー４４は、２つのチャンバＡおよびＢを連結する場合にも使用され得る
。特に、溝３０につながる空気回路中に部分的な真空を創り出すことが存する自
己検査中に、この回路がふさがれていないか、または前記センサーが正しく作動
しているかをチェックするためにも使用される。

【００５３】 図８および９において、例えば、固定チャンバ「Ａ」のドア２の中央ボス７１
の内側に配された磁石７２を具える磁気的手段によって、２つのドア２および３
の間の連結がもたらされる。この磁石は、前述の中央ボスの反対側のドア３に作
られた凹部７５の溝７４内に保持された鉄製材料７３で作成された小さな金属プ
レートと協働するよう意図されている。

【００５４】 この連結は、ドア間で作用するが前述の手段に類似する空気的手段によっても
もたらされ得る。

【００５５】 図９に図示された実施の形態において、部分的な真空を継ぎ手３４に送るパイ
プ３７は、多方向電動操作バルブ８１の介在物とともに、圧縮空気源８０または
空気ポンプ７７にも連結される。該バルブの電気回路７８は、接点、スイッチ、
または一時的に閉鎖する他の手段７９を具えている。

【００５６】 ドア２，３が再び閉鎖された後に、接点７９の手動または自動の動作が、電動
操作バルブ８１の電力供給回路を閉じ、同時に、真空ポンプ３８から延在する回
路およびセンサー４４を含む枝管を隔離し、さらにパイプ３７を圧縮空気源と連
通させる。この圧縮空気の流れは、２つのフランジ４および５の間の領域Ｅに向
かって広がり、それらを分離し易くする。

【００５７】 この動作は、２つのドア２および３の間の磁気またはその他の連結力が移送可
能なチャンバＢを固定チャンバＡから分離するのを困難にしている場合に殊に有
効である。何故ならば、これは、この分離を行うための工具の必要性と、それに
伴うシール３６およびシール１２および１４までをも損傷する危険性とを回避す
るからである。

【図面の簡単な説明】

【図１】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、２つのチャンバのドアがお互いに向かい合って位置されていると
きである。

【図２】 ２つのドア間の密封手段の一実施形態を、拡大寸法で示した部分断面図である
。

【図３】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、これらのドアがお互いにロックされた後である。

【図４】 外部媒体から隔離された２つのチャンバ間の密封連結のための装置の直径方向
断面図であり、これらの２つのドアが開放された後である。

【図５】 フランジをお互いにロックする手段と各ドアをそのフランジにロックする手段
の一実施形態を、拡大寸法で示した、図６の線Ｖ−Ｖによる部分断面図である。

【図６】 図５の線ＶＩ−ＶＩによる部分断面図である。

【図７】 取外し可能なチャンバを固定チャンバ上に位置付ける手段の一実施形態を、拡
大寸法で示した部分断面図である。

【図８】 ２つのドアが位置付けの最終段階にあるときの本発明の検知装置の一実施形態
を具えた密封連結装置の直径断面図である。

【図９】 密封検知装置の要素を図８に類似するが拡大寸法で示した断面図である。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＴＺ，ＵＧ，ＺＷ )，ＥＡ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ， ＴＪ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ， ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，Ｃ Ｒ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ， ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，Ｋ Ｚ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＡ ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ， ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，Ｓ Ｋ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ，ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，ＺＷ 【要約の続き】 （４４）とを具えることを特徴とする。

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 外部媒体から隔離された２つのチャンバＡおよびＢの密封連
   結装置の要素間の一時的な連結が密封されているか否かを検知する装置であって
   、 第一に、固定されているまたは変位可能であるＡおよび移動可能または移送可
   能であるＢの各チャンバは、固定フレームを形成するフランジ（４，５）と協働
   するドア（２，３）に備えられた少なくとも一つのアクセス用開口部を有し、該
   ドアは、密封手段（１２，１４）の介在物を具え、２つのドア（２，３）のうち
   の一方がフランジ（４，５）に連結されており、 第二に、２つのドア（２，３）は、対応するそれぞれのフランジ（４，５）へ
   のロック手段と補助連結手段を有し、該補助連結手段は、一つのチャンバの内容
   物が他のチャンバに移動される前であって、フランジ（４，５）が密封すべくお
   互いにロックされている間に、２つのドア（２，３）が連結されるのを許容し、
   それによって、密封手段（１２，１６および１３，１４）の接触を介して、現在
   接触している面（１７，１８）を外部媒体から隔離する内部空間「Ｃ」を形成し
   、 第三に、フランジ（４，５）の相互ロックを制御する外部手段と、対応するフ
   ランジからのドア（２，３）のアンロックを制御する外部手段とが設けられた装
   置であって、 ―リング形の２つの溝であって、固定チャンバ（Ａ）のフランジ（４）の外面に
   形成され、移送可能なチャンバ（Ｂ）のフランジ（５）の端面（５ｂ）の支持領
   域に現れ出る内側溝（３０）および外側溝（３５）と、 ―固定チャンバ（Ａ）のフランジ（４）に形成され、内側溝（３０）を継ぎ手（
   ３４）に連結するダクト（３１，３２，３３）のネットワークと、 ―チャンバ（Ａ，Ｂ）の外側の真空ポンプ（３８）であって、該ポンプの吸い込
   み（３７）は前記継ぎ手に連結される一方で、その電力供給（４０）回路がこの
   回路を閉じる部材（４２）を具える真空ポンプと、 ―溝（３０）につながる空気回路中の部分的な真空の強さを測定し、該部分的な
   真空が適当な値に届かない場合に、警報手段（４７，４８）を反応させるセンサ
   ー（４４）と、 ―溝（３５）に配されたシール（３６）と を具えることを特徴とする検知装置。
2. 【請求項２】 部分的な真空を固定チャンバ（Ａ）のフランジ（４）に形成
   されたダクトのネットワークに送るパイプ（３７）は、多方向電動バルブ（８１
   ）の介在物を具える圧縮空気源（８０または７７）にも連結され、該バルブは、
   部分的な真空源（３８）とセンサー（４４）を具える枝管（４３）とからパイプ
   （３７）を隔離可能であると同時に、このパイプ（３７）を、圧縮空気の流れを
   内側溝（３０）に送り込み、チャンバＡおよびＢのフランジ（４および５）が離
   れるのを促進するように、圧縮空気源（８０または７７）と連通させ得ることを
   特徴とする請求項１に記載の検知装置。