JP2002528021A - 圧電駆動装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、少なくとも一つの実質的に立方形である圧電素子と、振動平面（ｘ/ｙ平面）に前記圧電素子の振動を発生させる手段と具備する駆動装置に関し、衝突方向（ｘ方向）に衝突力を作用させるタペットが前記圧電素子の少なくとも一つの外部表面に設けられている。効率を向上させるために、単一の中央懸架要素が、衝突方向の圧電素子にプリストレス力を作用させる、圧電素子の中央の圧電素子内部に設けられる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】 本発明は、少なくとも一つの実質的に立方形である圧電素子と、振動平面（ｘ
ｙ平面）に前記圧電素子の振動を発生させる手段とを具備する駆動装置に関し、
その装置には、衝突方向（ｘ方向）に衝突力を印加させるために、圧電駆動素子
の少なくとも一つの外部表面にタペットを設けられている。

【０００２】 例えば、かかる駆動装置は、欧州特許第６３３６１６Ａ２号に記載されている
。上記公知の駆動装置は、ある力が衝突方法に伝送される手段であるタペット、
例えば、被駆動シャフトに矩形プレートを有する圧電素子を具備する。その圧電
素子は４つの電気的制御可能な電極を具備し、その電極により圧電素子が励起さ
れ、振動平面に振動を生じさせる。タペットは上記振動中にほぼ楕円曲線に移動
する。公知の圧電駆動装置では、ばね力によるタペットに対向して配設された圧
電素子の外部表面を押圧するテンション要素(tensioning element)が設けてある
。４つの締め付け要素がさらに設けられており、圧電素子の側面に作用し、２つ
の締め付け要素は剛体で構成されており、他の二つの締め付け要素は、圧電素子
の一つの横外部表面にばね力で押圧する。テンション要素は被駆動要素に対して
、例えば、被駆動シャフトに対して圧電素子のタペットを押圧する。ばね式締め
付け要素により、圧電素子と駆動筐体間にプリストレスを生じさせ、振動平面に
垂直な方向に比較的薄い構造である圧電素子を衝突方向に垂直若しくは平行であ
る軸の周りに回転させない、又はその位置を変化させないようにする。しかしな
がら、弾性締め付け要素により、常に、全締め付け要素と圧電素子間に摩擦力で
あり、振動結果を減少させ、よって、駆動出力を減少させる結果になる。プリテ
ンション（pretensioning force）は圧電素子の長手振動の波腹に導入されるの
で、圧電素子の振動は、さらに、衝突方向のテンション要素により印加されるプ
リテンションにより、かなり減衰する。

【０００３】 欧州特許第６３３６１６Ａ２号にて公知である駆動装置の実施態様では、３つ
の穴が圧電プレートの内部に存在し、３つの穴の締め付けレバーが利用され、機
械的締め付けのために存在する。加えて、衝突方向の垂直に、圧電素子の側表面
に作用する２つの締め付けばねと、タペットに対向する外部表面に、プリテンシ
ョン方向に作用する１つのプリテンションばねが存在する。上記実施態様は非常
に複雑で、高価であり、低効率でもある。

【０００４】 本発明の目的は、前段部で言及した種類の、高効率な駆動装置を提供すること
である。

【０００５】 本発明によれば、上記目的は、圧電素子の体積内に、圧電素子の中央に配設さ
せた中央懸架要素を設ける点と、前記中央懸架要素は衝突方向にプリテンション
を印加させるように設計させる点とにより、達成される。

【０００６】 圧電素子の長手振動(longitudinal oscillation)及び曲げ振動（flexural osc
illation）の双方で、圧電素子の中央にノードを有する。したがって、中央懸架
要素は長手振動だけでなく、曲げ振動にも反作用しない。中央懸架要素の衝突方
向にプリテンションを生じさせることにより、さらなる摩擦損失は生じない。中
央懸架要素は専ら中央に配設されているので、圧電素子の全体積は、活性共鳴体
体積として、上記中央の外で利用可能である。よって、本発明の駆動装置は高効
率である。

【０００７】 本発明によれば、中央懸架要素により専ら圧電素子を支えることが可能であり
、さらなる締め付け要素を必要としない。かかる構造は、圧電素子が非常に大き
なサイズとして選択される際には、特に有利であり、中央懸架要素のための十分
な空間が利用可能である。中央の矩形穴が圧電素子に設けることが好ましく、矩
形ボルトが係合され、又は接着されて固定される。かかる矩形穴は、振動平面の
衝突方向に垂直若しくは平行である軸の周りに作用する高トルクに適応させるた
めには、特に適する 請求項２記載の本発明の好ましい実施態様では、圧電素子にて利用できる体積
が制限されている応用では、特に好ましい。非常に安定であるので高トルク値に
も耐えられる懸架用に提供される応用では、圧電素子の中心では十分な空間がし
ばしば利用できない。なぜならば、利用可能である動作圧電素子体積が減少し、
よって、駆動装置により提供される電力は不十分であることを意味しているから
である。したがって、請求項２によれば、さらに、圧電素子は、ｙ方向及び/又
はｚ方向に圧電素子の外部表面に作用する締め付け要素により保持される。特に
上記締め付け要素は、衝突方向に垂直若しくは平行である振動平面に延在する軸
の周りに圧電素子が回転する可能性を排除する。かかる配置にて、中央懸架要素
を比較的小さな構造にすることが可能となり、中央懸架要素は圧電素子の体積を
殆ど占有しない。高効率なすこぶる小さな駆動が、かかる配置を利用することに
より実現され得る。

【０００８】 請求項３に記載される本発明の好適な実施態様では、実際に、圧電素子は衝突
方向（ｘ方向）に垂直である（ｙ、ｚ）方向に締め付けられる。しかしながら、
この締め付けは、圧電素子にプリテンションの印加無しに、滑動が最も起こり得
る蓋然性を有して達成されることが好ましい。滑動が最も起こり得る蓋然性のあ
る締め付けでは、圧電素子と締め付け要素との間では全く摩擦力が生じない。よ
って、圧電素子の振動ストロークは増し、駆動装置の効率は改善される。

【０００９】 請求項４記載の本発明の好ましい実施態様により、駆動装置の高精度な位置決
めが可能となる。締め付け要素間に存在するあそびは、プリテンションによりか
なりの程度排除され、よって、装置の精度が向上する。しかしながら、プリテン
ションにより圧電素子と締め付け要素間に摩擦力が生じ、その摩擦力は振動スト
ロークを減少させ、よって、効率も幾分か減少させる。

【００１０】 請求項５記載の本発明の好ましい実施態様では、締め付け要素と圧電素子との
間で発生する摩擦力を減少させることを可能にする。なぜなら、圧電素子のみが
締め付けられている位置で衝突方向に移動するからである。

【００１１】 請求項６記載の本発明の好ましい実施態様により、高価でなく、しかも簡単な
方法で製造可能である。第一の組の一方の締め付け要素により、ｙ方向の位置に
ある圧電素子の運動を阻止し、第一の組の他方の締め付け要素により、反対の負
のｙ方向にある圧電素子の運動を阻止する。同様にして、圧電素子の運動は第二
の組によりｚ方向に制限される。

【００１２】 請求項７記載の本発明の好ましい実施態様では、高精度な調整とともに、駆動
装置の高効率をもたらす。締め付け要素と圧電素子との間の摩擦力は、単一の締
め付け要素のみがプリテンションを達成させるために設けられるという点で最小
化される。しかしながら、同時に、単一の締め付け要素により印加されるプリテ
ンションにより、高精度な調整が達成される。

【００１３】 請求項８記載の本発明の好ましい実施態様では、特に簡単に、しかも高価でな
い方法で製造可能である。圧電素子が振動中に弾性締め付け要素に衝突するとき
に、上記弾性締め付け要素は、圧電素子が電気的励起により他の組の締め付け要
素に接するまで、圧電素子を元の状態のままにさせる。弾性締め付け要素は、圧
電素子には全くプリテンションを作用させない。

【００１４】 請求項９及び１０記載の駆動装置の好ましい実施態様では、簡便で、しかもモ
ータの高価でない製造を可能にする。

【００１５】 請求項１１記載の駆動装置では、中央懸架要素と、ｙ方向に固定した締め付け
要素との間の距離は、摩耗によるタペットが減少した場合でも、衝突方向に一定
のままである。タペットの減少したサイズの場合でも、ｙ方向に固定している締
め付け要素が曲げ振動のノードにて、いつも正確に位置決めされていることを保
証する。締め付け要素と圧電素子との間の低摩擦は、長時間駆動動作の場合でも
、達成され、駆動の連続高効率は保護される。

【００１６】 請求項１２記載の本発明の好ましい実施態様では、圧電素子の制御電極に簡単
な電気接続を可能とする。

【００１７】 本発明による駆動装置の応用可能性は、読出し若しくは書込みユニットを駆動
させる駆動メカニズムにて、特に見出され、特に、ＣＤ若しくはＤＶＤ駆動メカ
ニズムのような光学駆動メカニズムにおいてその応用可能性があり、光学ユニッ
トは、最も小さな空間と低電力要件の蓋然性を伴い、可能な高速度で光学データ
キャリア上を、半径方向に可動することができる。電子顕微鏡の位置決めテーブ
ルの位置決めには、さらに有利な応用の蓋然性をもたらす。応用の蓋然性は、さ
らに、例えば、医療応用では、従来の電気モータにより発生する磁界が装置の動
作を妨害するか否かで発見され、かかる磁界は、例えば、電気シェーバの分野で
は他の理由のため不必要である。

【００１８】 図１乃至図８に線図で示す本発明の数多の実施態様は、以下の図面を参照して
詳細に説明される。

【００１９】 図１は、第一の外部表面２にあるタペット３を具備する圧電素子１のある電気
駆動装置の平面図を示す。圧電素子１は中央懸架要素５により、筐体４内に支え
られる。中央懸架要素５は、圧電素子１の矩形穴７に入る矩形ボルト６を具備す
る。そのボルト６は圧すり合わせジョイント（pressure fit joint）により、又
は接着物質により、穴７に固着される。プリテンショニングばね８はボルト６に
作用し、筐体４に対して、圧電素子１の衝突方向（ｘ方向）に圧電素子１にプリ
テンションを印加する。４つの矩形制御電極１０、１１、１２及び１３が圧電素
子１の上部側９に設けられ、９に平坦に位置する。共通の基準電極（図示せず）
が圧電素子１の反対の低部側に設けられる。制御電極１０、１１、１２及び１３
の下にある圧電素子１の分極方向は、いたるところで同じである。圧電素子１は
、詳細は示さないが、制御手段により制御電極１０、１１、１２及び１３を介し
て制御され、圧電素子１は振動平面（ｘ/ｙ平面）に振動し、その振動は２つの
相互に直交する振動（ｘ及びｙ方向）の重ね合わせから生じる。適当な制御及び
圧電素子１の形状の適当な選択により、２つの直交する振動の共鳴周波数を調節
させることが可能であり、２つの振動は十分な振幅と所望の位相位置を有して励
起され、タペット３は、ｘ/ｙ平面に位置する曲線で、例えば、ｘ軸に３０°の
角度を包囲する大きな軸のある楕円曲線Ｅで移動する。ｙ方向に駆動されるべき
要素１４は、可動されるべき前記要素１４に対する周期的衝突を介する楕円運動
の結果として、タペット３により可動される。

【００２０】 中央懸架要素５は、ボルト６及び穴７の矩形形状による大きな力及びトルクを
吸収することができる。中央懸架要素５により中央支持体は、その結果として、
支えることが可能となる。中央懸架要素５は、圧電素子１の長手振動と曲げ振動
の双方の振動ノードに位置する。圧電素子１は上記の結果として、中央懸架要素
５の領域で移動しないので、圧電素子１の振動ストロークは、中央懸架要素５に
より、又はプリテンショニングばね８により印加されるプリテンションにより、
衝突方向ｘには減少しない。摩擦損失は全く発生しない。したがって、図１に示
す駆動は高効率である。

【００２１】 図２Ａ及び図２Ｂは、本発明による駆動装置の別の実施例を示す。対応する要
素は、図１と同じ参照番号を有している。図２Ａの実施例では、圧電素子１は中
央懸架要素２０により、筐体４内に支えられる。中央懸架要素２０は、圧電素子
１の円形穴２２に固着された円形ボルト２１を具備する。上記中央懸架要素２０
を製造するのは、特に容易である。特に、円形ボルト２１及び円形穴２２は殆ど
同じ直径を有する。これは、ほんの僅かに動作する圧電体積が、中央懸架要素５
により失われることを意味している。これは、ほんの僅かな圧電体積が利用可能
である非常に小さな駆動によって、特に望ましいことである。プリテンショニン
グばね２３は円形ボルト２１に作用し、筐体４に対して衝突方向（ｘ方向）に圧
電素子１にプリテンションを印加する。中央懸架要素２０による懸架を支えるた
めに、図２Ａの駆動装置は、筐体４に固着され、ｙ方向に圧電素子１の移動を制
限させる第一の剛体締め付け要素２４を具備する。第一の剛体締め付け要素２４
に対向して、ｙ方向に圧電素子１にプリテンションを作用させる第二の弾性締め
付け要素２５が存在する。第一の剛体締め付け要素２４は外部表面２６に作用し
、第二の弾性締め付け要素２５は、圧電素子１の反対の外部表面２７に作用する
。

【００２２】 図２Ｂは、図２Ａの配置の側面図を示す。弾性締め付け要素２８及び弾性締め
付け要素２９は、ｚ方向に圧電要素１の振動を制限させるために設けられる。弾
性締め付け要素２８は、上外部表面３０に作用するように設けられ、弾性締め付
け要素２９は圧電素子１の下外部表面３１に作用するように設けられるが、双方
とも圧電素子１にプリテンションを作用させない。弾性締め付け要素２８及び２
９は、大きな力を吸収するように設計されていない。圧電素子１がその振動中に
弾性締め付け要素２８及び２９に衝突する際に、前記締め付け要素は、ｚ方向に
圧電素子１に弾性的に作用し、圧電素子１は制限内にとどまらせる。それから、
圧電素子１は、印加されるように、締め付け要素２４、２５に押圧され、電気的
励起によりｙ方向に作用し、締め付け要素２４、２５は大きな力を吸収するよう
に設計される。

【００２３】 図２Ｃ及び図２Ｄは、圧電素子１の長手方向ｘに電気駆動装置の動作中、ｘ及
びｙ方向それぞれに、圧電素子１の２つの相互に垂直な振動の振幅の勾配を示す
。図２Ｃは、長手振動の勾配を示し、図２Ｄは、曲げ振動に勾配を示す。上記２
つの相互に直交する振動の重ね合わせにより、移動するタペット３に沿った、前
述した楕円曲線になる。締め付け要素２４、２５、２８及び２９は曲げ振動の振
動ノードＡに全て配設され、つまり、ｙ方向の振動はゼロ点であるｘ方向の位置
に配設される。上記締め付け要素で発生する摩擦損失は、曲げ振動の振動ノード
Ａの締め付け要素の位置決めにより、最小に減少させる。

【００２４】 図２Ａ及び図２Ｂに示す駆動装置は、一方で、圧電素子１には殆ど空間が利用
できなく、他方で、高精度調整が要求される応用に、特に適する。高精度調整は
,締め付け要素２４、２５、２８及び２９間の遊びを排除させる弾性締め付け要
素２５により達成される。締め付け要素２４、２５、２８及び２９は中央懸架要
素２０を支え、中央懸架要素２０は非常に薄い構造になり、殆ど圧電素子の体積
を占有しない。締め付け要素２４、２５、２８及び２９は、ｙ方向に延在する軸
、及びｘ方向に延在する軸の周りのに、圧電素子１が回転することを、特に防止
する。

【００２５】 図３は、本発明による駆動装置の別の実施例の平面図を示す。図３の実施例は
、実質的には図２Ａ及び図２Ｂに相当する。したがって、同じ参照番号が利用さ
れる。図２Ａ及び図２Ｂの実施例間のほんの僅かな差異は、図３の実施例では、
弾性締め付け要素２５に代わりに、剛体締め付け要素３２を具備していることで
ある。よって、図３の実施例の圧電素子１は、ｙ方向に作用する剛体締め付け要
素２４及び２５により、並びにｚ方向に作用する弾性締め付け要素２８及び２９
（図３には図示せず）により、衝突方向（ｘ方向）に垂直な方向（ｙ、ｚ）にプ
リテンショニング無しに、保持される。駆動装置の動作中、圧電素子１は締め付
け要素２４、３２、２８及び２９に対して、ｘ方向に移動する。ｘ方向の上記移
動は、締め付け要素の構造により提供される滑動の蓋然性のため、図３に示す装
置の締め付け要素２４、３２、２８及び２９の位置で邪魔されない。これは、図
２Ａ及び図２Ｂの駆動装置と比較して、駆動装置の効率を向上させる。しかしな
がら、締め付け要素２４、３２、２８及び２９間の遊びは、おまけに、考慮すべ
き低精度調整を意味する。

【００２６】 図４は、図示してない圧電素子１を懸架し、保持するように設計されたフレー
ム４０の斜視図である。例えば、図３に示すように、懸架及び圧電素子１の締め
付けは、フレーム４０により、特に好適な方法で実現される。フレーム４０は、
４つのビーム４１ａ，４１ｂ，４１ｃ及び４１ｄのある矩形基本フレーム部４１
を具備する。図３の丸いボルト２１はビーム４１ａの中心に固着される。第一の
剛体締め付け要素２４及び第二の剛体締め付け要素３２は両側のコーナに固着さ
れる。弾性締め付け要素２８は第一の締め付け要素２４から横に突出し、弾性締
め付け要素２９は第二の剛体要素３２から横に突出している。弾性締め付け要素
２８及び２９はばね式突出として構成され、大きな力を吸収するように設計され
ていない。むしろ、弾性締め付け要素２８及び２９は、圧電素子１が電気制御の
影響下で剛体締め付け要素２４及び３２に接するまで、ｚ方向に圧電素子１の移
動の場合に、ｚ方向に圧電素子１を幾分抑える働きを有する。剛体締め付け要素
２４及び３２は大きな力に適応させるように設計される。丸いボルト２１は、図
３の丸い穴２２に固着されるために設ける。フレーム４０は、ｘ方向に移動でき
る可能性を有して駆動装置の筐体４に支えられ、目的はｙ方向に設けるべき案内
（図示せず）を提供する。フレーム４０はプリテンショニングばね２３により、
ｘ方向に筐体４に対してプリテンションされる。さらに、図１及び図２に示す実
施例は、同等な方法で設置フレームにより実現される。

【００２７】 図５は、フレーム４０にて懸架され、しかも保持された圧電素子１とともに、
図４の設置フレーム４０の斜視図である。フレーム４０の丸いボルト２１は圧電
素子１の丸い穴２２に固着される。圧電素子１は剛体締め付け要素２４及び３２
により、ｙ方向に保持される。ｚ方向では、圧電素子１は弾性締め付け要素２８
及び２９により締め付けられる。締め付け要素２４、３２、２８及び２９は、遊
び位置で圧電素子１と接触しないような大きさである。圧電素子１の微小な振動
中に、剛体締め付け要素２４及び３２と、圧電素子１との間には実質的に摩擦は
存在しない。なぜならば、剛体締め付け要素２４及び３２は圧電素子の曲げ振動
にノードに存在しているからである。したがって、圧電素子１の微小な振動中に
、圧電素子１と締め付け要素２４、３２、２８及び２９との間には実質的な摩擦
力は発生しない。フレーム４０での圧電素子の保持及び懸架は、丸いボルト２１
と剛体締め付け要素２４及び３２との間の距離Ｄは絶えず一定のままであり、さ
らに、タペット３が摩耗した際でも一定のままであるという有利な効果をもたら
す。剛体締め付け要素２４及び３２は、タペット３が摩耗した場合でも、圧電素
子１の曲げ振動の振動ノードにいつも存在してことが保証される。よって、剛体
締め付け要素２４及び３２と圧電素子１との間では摩擦力は発生しない電気駆動
装置の全体の動作寿命を確かなものにする。これは、連続的高効率を保証する。

【００２８】 ＣＤ駆動メカニズムにおける本発明による駆動装置の応用を、図６に示す。読
出し/書込みヘッド５３、５４を備えたアーム５２は、ＣＤ５１上を半径方向に
可動し、かかる駆動メカニズムでは、モータ５０により駆動される。上記アーム
５２は回転軸５６の周りに回転可能であるシフト５５に配設され、シャフトは本
発明による駆動装置により駆動される。圧電素子１は、シフト５５に対してプリ
テンションさせた筐体４内に収納させる目的である。力がタペット３を介してシ
フトに伝送され、よって、シャフトは圧電素子１の制御に左右され、両回転方向
に回転可能であり、その結果、上記アーム５２はＣＤ５１にわたって、所望の方
向に移動する。

【００２９】 図７は、圧電駆動装置６５を有するＣＤ駆動メカニズムのさらなる実施例を示
す。読出し/書込みヘッドはレンズ６０の下に隠れている。全体の読出し/書込み
ユニットは、カートリッジ６１上に設けられ、圧電駆動装置６５により、ＣＤ５
１上半径方向に、２つの案内６２、６３に沿って直線的に移動する。この場合、
圧電駆動素子６５は、ＣＤ駆動メカニズムの筐体内に固定させて導入されており
、タペット３のあるカートリッジ６１に当たっている。

【００３０】 さらなる実施例を図８に示し、圧電駆動ユニット６５はカートリッジ６１に設
置される。タペット３は駆動メカニズム筐体６４の部分に衝突し、圧電駆動装置
６５及びカートリッジ６１は一緒に移動する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 中央に配設された単一の中央懸架要素により、筐体内に支えられた立方形圧電
素子のある駆動装置を示す図である。

【図２】 図２Ａは、中央懸架要素と、圧電素子の外部表面に作用する締め付け要素とに
より、筐体内に支えられた圧電素子のある駆動装置の実施例を示す平面図である
。 図２Ｂは、図２Ａの駆動装置の側面図である。 図２Ｃは、圧電素子の長手振動の勾配を示す図である。 図２Ｄは、圧電素子の曲げ振動の勾配を示す図である。

【図３】 締め付け要素が圧電素子にプリテンショニング無しで作用する、図２の駆動装
置の実施例の平面図である。

【図４】 筐体内の圧電素子の懸架及び締め付け用に設計されたフレームの斜視図である
。

【図５】 フレームから懸架された圧電素子を示すとともに、図４のフレームに斜視図で
ある。

【図６】 本発明による駆動装置のあるＣＤ駆動メカニズムの実施例を示す図である。

【図７】 本発明による駆動装置のあるＣＤ駆動メカニズムのさらに別の実施例を示す図
である。

【図８】 本発明による駆動装置のあるＣＤ駆動メカニズムの第三の実施例を示す図であ
る。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁷ 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 41/08 Ｕ (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＡＥ，ＡＬ，Ａ Ｍ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＲ，ＣＵ，ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ， ＤＭ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，ＧＥ，ＧＨ，Ｇ Ｍ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ，ＪＰ，ＫＥ ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ，ＬＲ，ＬＳ， ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，ＭＮ，ＭＷ，Ｍ Ｘ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ，ＳＤ，ＳＥ ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ，ＴＲ，ＴＴ， ＴＺ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，ＺＡ，Ｚ Ｗ (71)出願人 Ｇｒｏｅｎｅｗｏｕｄｓｅｗｅｇ １， 5621 ＢＡ Ｅｉｎｄｈｏｖｅｎ， Ｔｈ ｅ Ｎｅｔｈｅｒｌａｎｄｓ Ｆターム(参考） 3C056 HA00 HA04 HA24 HC09 5D068 AA02 BB01 CC01 CC11 GG24 5H680 AA06 BB13 BC00 CC02 DD01 DD15 DD53 DD92 EE07 FF04 FF08 GG18

Claims (16)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 少なくとも一つの実質的に立方形の圧電素子（１）と、振動
   平面（ｘ/ｙ平面）に前記圧電素子（１）の振動を発生させる手段とを有し、衝
   突方向（ｘ方向）に衝突力を印加させるために、タペット（３）が前記圧電素子
   （１）の少なくとも一つの外部表面（２）に設けられた駆動装置であって、 前記圧電素子（１）の中心に配設された中央懸架要素（５、２０）を前記圧電
   素子（１）の体積内に専ら設け、前記中央懸架要素（５）は衝突方向にプリテン
   ションを印加するように設計されることを特徴とする駆動装置。
2. 【請求項２】 前記圧電素子（１）は前記外部表面（２、２７、３０、３１
   ）に作用するように設計された締め付け要素（２４、２５、２８、２９）により
   、衝突方向（ｘ方向）に垂直な方向（ｙ、ｚ）に保持されることを特徴とする請
   求項１記載の駆動装置。
3. 【請求項３】 前記圧電素子（１）は締め付け要素（２４、２５、２８、２
   ９）によるプリテンショニング無しに、衝突方向（ｘ方向）に垂直な方向（ｙ、
   ｚ）に保持されることを特徴とする請求項２記載の駆動装置。
4. 【請求項４】 前記圧電素子（１）はプリテンションにより締め付け要素（
   ２４、２５、２８、２９）間に保持されることを特徴とする請求項２記載の駆動
   装置。
5. 【請求項５】 前記締め付け要素（２４、２５、２８、２９）は前記圧電素
   子（１）の曲げ振動の夫々の振動ノード（Ａ）に位置することを特徴とする請求
   項２記載の駆動装置。
6. 【請求項６】 第一の組の締め付け要素（２４、２５）は前記圧電素子（１
   ）の移動をｙ方向に制限するために前記圧電素子（１）の外部表面（２６、２７
   ）に隣接して設けられ、第二の組の締め付け要素（２８、２９）は前記圧電素子
   （１）の移動をｚ方向に制限するために設けられることを特徴とする請求項２記
   載の駆動装置。
7. 【請求項７】 衝突方向（ｘ方向）に垂直な方向（ｙ、ｚ）に作用する締め
   付け要素（２４、２５、２８、２９）のたった一つの締め付け要素が設けられ、
   プリテンションを印加することを特徴とする請求項４記載の駆動装置。
8. 【請求項８】 一方の組の締め付け要素（２８、２９）は弾性構造であり、
   他方の組の一方の締め付け要素（２４）は剛体構造であり、他方の組の他方の締
   め付け要素（２５）はプリテンションを印加させるために構成されていることを
   特徴とする請求項６記載の駆動装置。
9. 【請求項９】 前記懸架要素（５）及び締め付け要素（２４、２５、２８、
   ２９）は一体型フレーム（４０）として構成されることを特徴とする請求項２記
   載の駆動装置。
10. 【請求項１０】 穴（７、２２）は前記圧電素子（１）の中央に設けられ、
    固着ピン（６、２１）が穴（７、２２）に配設され、衝突方向のプリテンション
    は前記固着ピン（６、２１）に印加されることを特徴とする請求項１記載の駆動
    装置。
11. 【請求項１１】 前記フレーム（４０）は、ｙ方向に固定されており、曲げ
    振動のノードに位置する２つの相互に対向する締め付け装置（２４、３２）を具
    備し、前記固着ピン（２１）は衝突方向（ｘ方向）及びｙ方向の双方の方向に、
    前記圧電素子（１）の前記穴（２２）に強固に固着されることを特徴とする請求
    項９記載の駆動装置。
12. 【請求項１２】 前記圧電素子（１）は振動平面（ｘ/ｙ平面）に平行に延
    在する外部表面に４つの制御電極（１０、１１、１２、１３）を具備し、前記制
    御電極（１０、１１、１２、１３）用の４つの接触要素は、前記圧電素子（１）
    の衝突方向（ｘ）にて発生する曲げ振動の振動ノードに、又は前記圧電素子（１
    ）の外部表面（２、２７、２６）間のほぼ中央に配設されることを特徴とする請
    求項１記載の駆動装置。
13. 【請求項１３】 衝突方向（ｘ）に垂直な方向（ｙ）に要素を、又は振動平
    面（ｘ/ｙ平面）に垂直に移動する回転軸の周りに回転可能である要素を駆動さ
    せる目的のための、請求項１記載の駆動装置の使用。
14. 【請求項１４】 特に、ＣＤ又はＤＶＤのような光学データキャリアに保存
    された情報の読出し及び/又は前記光学データキャリアへの情報の書込みを行い
    、読出し及び/又は書込みユニットを有する電子的装置であって、 前記装置は前記読出し及び/又は書き込みユニットを駆動させるために、請求
    項１記載の電気的駆動装置を具備することを特徴とする装置。
15. 【請求項１５】 回転するシェーバヘッドを有する電気シェーバであって、 前記シェーバヘッドを駆動させるために、請求項１記載の電気的駆動装置を具
    備することを特徴とする電気シェーバ。
16. 【請求項１６】 調査中の対象物を位置決めするための可調整位置決めテー
    ブルを有する電子顕微鏡であって、 前記位置決めてテーブルを調整するために、請求項１記載の駆動装置を設ける
    ことを特徴とする電子顕微鏡。