JP2002507830A - エレクトロルミネッセントデバイス - Google Patents
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Abstract
Description
材料を使用するエレクトロルミネッセントデバイスに関する。
90/13148およびUS4,539,507に記載されており、それらの内容をここに参考とし て援用する。これらのデバイスの基本的構造は、2つの電極間に挟まれた、例え
ばポリ(p−フェニレンビニレン)「PPV」の膜である発光有機層である。一
方の電極(カソード)は負電荷キャリア(電子)を注入し、他方の電極(アノー
ド)は正電荷キャリア(正孔)を注入する。電子と正孔は、光子を発生する有機
層内で再結合する。PCT/WO90/13148において有機発光材料はポリマーである。US
4,539,507において、有機発光材料は、トリス−(8−ヒドロキシキノリン)ア ルミニウム「Alq3」などの小分子材料として知られる類のものである。実際的な
デバイスでは、一方の電極は典型的に透明であり、光子がデバイスから逃げられ
るようにしている。
般的に絶対的ではなく、説明のためのものであることに留意すべきであろう。I
TOの仕事関数は大きく変化しうる。文献にて引用される数値は4〜5.2eVの
範囲を示唆する。ここで使用する4.8eVの値は絶対的な値ではなく、説明のた
めのものである。出願人はケルビンプローブ測定を行い、それは4.8eVが合理
的な値であることを示唆した。しかし、実際の値はITO蒸着プロセスおよび履
歴に依存することが周知である。有機半導体について重要な特性は、電子エネル
ギーレベルの真空レベルに対して測定される結合エネルギーであり、特に「最高
占有分子軌道(「HOMO」)」および「最低非占有分子軌道(「LUMO」)
」レベルである。これらは光放射の測定、および特に酸化および還元についての
電気化学電位の測定から推定される。その分野では、そのようなエネルギーは界
面付近の局部的環境などの多数の因子により影響されることがよく理解されてい
るので、そのような値の使用は量的ではなく表示的である。
いくつかの重要な問題がある。その1つは、特に外部電力効率および外部量子効
率により測定した時に、デバイスを効率的にすることである。もう1つは、ピー
ク効率が得られる電圧を最適化する(例えば減少させる)ことである。もう1つ
は、デバイスの経時的電圧特性を安定化することである。
準位を示す。アノード1は透明なインジウム−錫酸化物(「ITO」)の層であ
り、仕事関数は4.8eVである。カソード2はCa:Al層(アルミニウムで覆
ったカルシウム層)であり、仕事関数(発光層との界面におけるカルシウムにつ
いて)は2.9eVである。電極の間には、5%ポリ−(2,7−(9,9−ジ−n−オク
チルフルオレン−3,6−ベンゾチアジアゾール)(「F8BT」)をドープしたポ
リ−(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレン)の発光層3があり、2.8eV付 近でLUMOエネルギー準位4を有し、5.8eV付近でHOMOエネルギー準位
5を有する。(以下、このドープした発光層混合物を参照するときに「5BTF
8」の語を使用する。)エミッタドープ剤のLUMOおよびHOMOエネルギー
準位はそれぞれ3.4および5.8eV付近である。図3は、その混合物のドープ
剤(F8BT)についてのHOMOおよびLUMOエネルギー準位を、混合物の
主成分(F8)に対応する領域に挿入された矩形により示すという規約を採用し
ている。この規約では、矩形の幅および横方向位置は特定の意味を有さず、混合
物が3つ以上の物質を含む場合は2つ以上の挿入された矩形が使用される。デバ
イス中に注入された正孔と電子は5BTF8層内で放射的に再結合する。デバイ
スの重要な特徴は、ポリ(スチレンスルフォン酸)をドープしたポリ(エチレン
ジオキシチオフェン)(「PEDOT:PSS」)の正孔運搬層6である。これ
は4.8eVをわずかに超える中間イオン化電位を提供し、それはITOから注入
された正孔がF8中のHOMOレベルに到達することを助ける。しかし、正孔運
搬層と発光層との間には依然として大きな障壁(約1.0eV)がある。例えば駆
動電圧を増加させ、高い内部界をつくり、または正孔の蓄積を起こすので、高い
障壁の存在は望ましくない。また、1つの観点は、界面での電荷蓄積は、それが
ポリマーと汚染物の間の化学反応を促進することがあり、接合の減少、または深
い局在化状態につながり、それは次に蓄積層により荷電されるので望ましくない
。電荷の「捕捉(trapping)」はデバイスを通じて同一の電流を通過させるため
により高いバイアスの要求を生じさせると考えられ、デバイスが使用される時に
時間の経過とともに比較的迅速な電圧増加につながる。
である。またITOのそのようなプラズマ処理を使用してITOの仕事関数を修
正し、潜在的に正孔注入障壁を減少させることも周知である(例えば、WO97/481
15を参照)。
B.StocktonとM.F.Rubnerの「共役ポリマーの分子レベル処理、4.水素結合相互
作用によるポリアニリンの層毎の操作」、Macromoecules、Vol.30, pp.2717-272
5,1997は水素結合相互作用によるポリマーの自己組立を記載する。Y.Shimazaki 、M.Mitsuishi、S.Ito、およびM.Yamamotoの「電荷伝達相互作用に基づく層毎に
蒸着された超薄膜の準備」、Langmuir、Vol.13, pp.1385-1387,1997は電荷伝達 相互作用によるポリマーの自己組立を記載する。A.C.FouおよびM.F.Rubnerの「 共役ポリマーの分子レベル処理。2.インサイチュー重合p型ドープ導電性ポリ
マーの層毎の操作」、Macromolecules、Vol.28, pp.7115-7120,1995はアクティ ブインサイチュー重合による超薄膜形成プロセスを記載する。M.Ando、Y.Watana
be、T.Iyoda、K.HondaおよびT.Shimidzuの「導電性ポリマーLangmuir-Blodgett 多層の合」”、Thin Solid Films, Vol.179, pp.225-231, 1989はLangmuir-Blod
gett蒸着プロセスを記載する。K.Kaneto、K.YoshinoおよびY.Inuishiの「電気化
学的重合により用意されたポリチオフェンの電気的および光学的特性」、Solid
State Communications, Vol.46, pp.389-391, 1983は導電性基板上の電気化学的
重合を記載する。これらの文献のいずれも、発光デバイスのための電荷運搬層の
傾斜(gradation)について記載していない。
願PCT/GB98/02671に記載されており、その内容をここに参考として援用する。本
出願で記載される手法を先行出願の手法と種々の方法で組み合わせることができ
ることが理解されるであろう。
1の電荷キャリア注入層を形成する工程と、第1の電荷キャリア注入層上に有機
電荷キャリアの運搬層を形成する工程であって、前記運搬層は当該運搬層の厚さ
にわたって変化する電気的および/または電子的性質を有する工程と、前記運搬
層上に有機発光層を形成する工程と、発光層上に、第2の極性の電荷キャリアを
注入するための第2の電荷キャリア注入層を形成する工程とを有するエレクトロ
ルミネッセントデバイスの製造方法が提供される。
理して運搬層の厚さにわたる電子的および/または光学的性質の変化を作り出す
工程とを含む。その代わりは、例えば自己組立または他の蒸着手法を使用するこ
とにより蒸着した時に、要求される性質を有するような方法で運搬層を蒸着する
ことである。他の層毎のポリマー蒸着手法は、静電、水素結合またはドナー−ア
クセプタ相互作用によるポリマー自己組立、Langmuir−Blodgett組立方法、およ
びインサイチュー重合化電気化学準備方法を含む。ポリマーの代わりに小分子材
料を使用するならば、層状構造の形成につながる小分子自己組立反応を使用する
ことができる。
たはエネルギーレベル分布を含み、それらは正孔や電子などの電荷キャリアの運
搬に適当に責任を有する。正孔の場合、それらは(例えば)HOMOレベル、価
電子帯、イオン化電位、アクセプタドーピングレベルまたはトラップまたは(例
えば)イオン化電位に近い他の状態とすることができる。電子の場合、それらは
(例えば)LUMOレベル、伝導帯、電子親和力、ドナー状態、トラップ、また
は(例えば)電子親和力に近い他の状態とすることができる。そのような他の性
質はバンドギャップまたは光学的ギャップである。これらの性質の1つ以上を運
搬層の厚さにわたって変化させることができる。エネルギーレベルは、第1の極
性の電荷キャリアを受け取り、または第2の極性の電荷キャリアを受け取るよう
にすることができる。
は正電荷キャリアの運搬層である。
ャリア注入層を形成する工程と、運搬層上に有機発光層を形成する工程であって
、発光層の電子的および/または光学的性質が発光層の厚さにわたって変化する
工程と、負電荷キャリアを注入するための第2の電荷キャリア注入層を発光層上
に形成する工程とを有するエレクトロルミネッセントデバイスの形成方法が提供
される。前記性質は適当には上に詳述した種類のものである。
層を処理してその厚さにわたって前記性質(例えばイオン化電位またはバンドギ
ャップ)の変化を作り出す工程と、を有する。
ましくは層の電子的特性を修正する作用剤に発光または運搬層をさらす工程を含
む。1つの可能性は、その作用剤を反応剤とし、それは適当には運搬層内の化学
反応を促進する。好ましくは、反応の条件は、反応の程度が発光または運搬層を
通じて変化し、イオン化電位の変化を提供するようなものである。好ましくは、
発光または運搬層の1つの主面が反応剤にさらされる。
ーピングを生じさせる)とすることができる。反応剤は例えば酸素などの酸化剤
とすることができる。反応剤は適当にはプラズマの形態とすることができる。1
つの好適な反応性酸化剤は酸素プラズマである。酸化、還元またはデドーピング
の程度は好ましくは運搬層または発光層の厚さを通じて変化し、適当には電子的
/光学的性質の変化につながる。プラズマは好ましくは冷却目的に適当である不
活性ガスも含む。
変化を作り出す工程は、好ましくは共役材料の共役の程度を減らす工程を含む。
質的に連続的に変化する。本発明の第1の観点によれば、第1の電荷キャリア注
入層から発光層へ向かう方法において、イオン化電位は好ましくは第1の電荷キ
ャリア注入層の伝導帯(フェルミ準位)を離れて発光層の適切なHOMOまたは
LUMOレベルへ向かうように変化する。本発明の第2の観点では、発光層の光
学的ギャップは好ましくは第1の電荷キャリア注入層から第2の電荷キャリア注
入層へ向かう方法において変化(最適には拡大)する。
注入層と、負電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア注入層と、電荷キャリ
ア注入層間に配置された有機発光層と、発光層と電荷キャリア注入層の一方との
間に配置され、運搬層の厚さにわたって変化する前記一方の電荷キャリア注入層
からの正電荷キャリアを受け取るエネルギーレベルを有する有機材料を含む有機
電荷キャリア運搬層とを備えるエレクトロルミネッセントデバイスが提供される
。
レベルは、発光層と他方の電荷キャリア注入層との間に配置された有機電荷キャ
リア運搬層により置換または捕捉することができ、運搬層の厚さにわたって変化
する前記他方の電荷キャリア注入層からの負電荷キャリアを受け取るためのエネ
ルギーレベルを有する有機材料を含む。
注入層と、負電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア注入層と、電荷キャリ
ア注入層間に配置された有機発光層とを有するエレクトロルミネッセントデバイ
スが提供され、前記有機発光層の光学的ギャップは発光層の厚さにわたって変化
する。
荷キャリア注入層と、第2の極性の電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア
注入層と、電荷キャリア注入層間に配置された少なくとも1つの有機層とを有す
るエレクトロルミネッセントデバイスの形成方法が提供され、その方法は有機層
を少なくとも部分的に酸化または還元する工程を含む。酸化は例えば酸素プラズ
マなどの反応性酸化剤へさらすことまたは光酸化によることができる。還元は例
えば反応性還元剤へさらすことによることができる。適当には、運搬層または発
光層の主面を反応性酸化剤または還元剤もしくは光酸化のために使用される光に
さらす。
、その層はその厚さにわたって変化する少なくとも1つの性質を有し、その方法
は、性質が異なる一連の2次層を形成する工程を含む。その性質は好ましくはイ
オン化電位、電子親和力またはバンドギャップ、もしくは一般的に先に詳述した
電子的および/または光学的性質である。化合物はポリマー、オリゴマー、また
は小分子化合物とすることができる。ポリマーが好ましい。2次層は前記異なる
性質を有するように蒸着され、または蒸着された後に前記性質を得る。2次層は
好ましくは自己組立タイプの方法、例えば静電、水素および/または共有結合効
果を利用するLangmuir-Blodgett手法または自己組立手法などにより蒸着される 。別のルートは、二分子層などの蒸着において多層に位相分離する材料の混合を
使用することである。好ましいルートは高分子電解質自己組立法であり、それに
よると2次層が二分子層の形態で構成される。層は電荷運搬層とすることができ
る。層は発光デバイス、好ましくは発光のために有機材料を使用する発光デバイ
スなどの電子的デバイスの一部を構成することができる。
関数を有する。その層はITOとすることができる。他方の電荷キャリア注入層
(電子注入層)は好ましくは3.5eV未満の仕事関数を有する。その層は適当に
はカルシウム、リチウム、サマリウム、イッテルビウム、テルビウム、バリウム
、もしくはアルミニウムなどの別の金属を含みまたは含まないそれら金属の1つ
以上の合金とすることができる。電極層の少なくとも1つは適当には光透過性で
あり、好適にはデバイスからの発光周波数において適当には透明である。 ・運搬層は適当にはポリ(スチレンスルフォン酸)ドープしたポリ(エチレンジ
オキシチオフェン)および/またはポリ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレ
ン)−(1,4−フェニレン−(4−イミノ(ベンゾイックアシッド))−1,4−フェニ
レン−(4−イミノ(ベンゾイックアシッド))−1,4−フェニレン))(「BFA
」)(図3参照)および/または(ドープし、ドープせずまたは部分的にドープ
した)ポリアニリンおよび/またはPPVなどのポリマーの1つ以上を含むこと
ができる。 ・発光層は1つ以上の有機材料を含み、適当にはポリマーであり、好適には共役
または部分的共役ポリマーである。適当な材料は、PPV、ポリ(2−メトキシ −5−(2'−エチル)ヘキシルオキシフェニレン−ビニレン)(「MEH−PPV 」)、PPV誘導体(例えばジ−アルコキシまたはジ−アルキル誘導体)、ポリ
フルオレンおよび/またはポリフルオレンセグメントを含むコポリマー、PPV
および/または関連するコポリマー、ポリ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオ
レン)−(1,4−フェニレン−((4−二次ブチルフェニル)イミノ)−1,4−フェニレ ン))(「TFB」)(図3参照)、ポリ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレ
ン)−(1,4−フェニレン−((4−メチルフェニル)イミノ)−1,4−フェニレン−((4
−メチルフェニル)イミノ)−1,4−フェニレン))(「PFM」)(図3参照)、
ポリ(2,7−(9,9−ジ−n−オクチルフルオレン)−(1,4−フェニレン−((4−メト
キシフェニル)イミノ)−1,4−フェニレン−((4−メトキシフェニル)イミノ)−1,
4−フェニレン))(「PFMO」)(図3参照)、F8またはF8BTである。
代わりの材料は、例えばAlq3などの有機分子発光材料、または他の小さな昇華ま
たは溶液処理分子もしくは従来技術で既知の共役ポリマーエレクトロルミネッセ
ント材料を含む。
レベル分布)の変化、および/または(例えば)酸化により運搬層を変形する工
程の効果は、適当には電極と発光層の間で一方の極性の電荷キャリアの運搬を改
善することおよび/または発光層と電極との間で他方の極性の電荷キャリアの運
搬を妨げ、それによりデバイスの効率を改善することである。運搬層の少なくと
も1つのエネルギーレベルが、障壁を設け、例えばそのような電荷キャリアの発
光層から界面を通過する移動を禁止することにより一方の極性の電荷キャリアが
デバイスを通過することを禁止するようにすることが好ましく、対照的に他方の
極性の電荷キャリアがその境界を通過することが好ましくは有益である
バイスの物理的構造は図1に示すものと同様である。そのデバイスはガラス基板
上のITOのアノード層10を有する。ITOの上にはPEDOT:PSSの正
孔運搬層11がある。正孔運搬層上には、F8とF8BTの混合物を含む発光層
12がある。発光層上にはCa:Alのカソード層13がある。PEDOT:PSS 内の正電荷キャリア運搬に責任のあるエネルギー準位は、正孔運搬層11の厚さ
を通じて一定ではない。それはアノード10との界面付近の4.8eVの未処理P
EDOT:PSSレベルから、発光層12との界面における6.0eVまでの間で
あろう。出願人は、この処理がデバイスの性能を劇的に改善することを発見した
。
り、その上面に約100nmの厚さの二酸化シリコンのバリア層がある。ITOの
アノードは従来のDCまたはRFスパッタリング技術により二酸化シリコン上に
蒸着される。完成したITO層は約1500ナの厚さであり、約15オーム/平方の
面積抵抗と約85%の透明度を有する。ITOの代替物は、フルオレンドープし
た酸化錫、アルミニウムドープした酸化亜鉛などの導電性材料、金、合金などの
金属、ドープしたポリチオフェン(例えばPEDOT:PSS)またはドープし
たポリアニリンなどの導電性ポリマー、もしくはそれらの組み合わせである。効
果的なアノードを提供するために、その材料は好ましくは高い仕事関数の材料で
あり、約4.0または4.5eVより高い仕事関数を有する。放出された光がアノ
ードを通過して伝達されるべきデバイスにおいては、アノードは少なくとも部分
的に透明または光透過性であるべきである。
技術によりパターン化し、その後清掃することができる。
OT:PSS混合物(EP0686662およびBayer AG’s Provisional Product Infor
mation Sheet for Trial Product AL 4071を参照)はさらにPSSで希釈され、
PEDOTとPSSが1:2の固体含量比および1%の総固体含量を実現する。
混合物はスピンコーティングによりITO層上に蒸着され、次に加熱により乾燥
される−例えば空気中または純度99.999%の窒素流内で110℃または200℃
で、次に、PEDOT:PSS層を反応剤にさらす。その詳細は後述する。完成
したPEDOT:PSS層の厚さは約50nmである。
8BTの比は0.95:0.05wt/wt)、得られた混合物が、次に溶媒としてのキシレン
を混合した1.6w/v%濃度溶液からPEDOT:PSS層上にスピンコートされ
る。完成した発光層の厚さは約95nmである。表1は共役有機ポリマー材料F8
およびF8BTの材料の性質を与える。光ルミネッセンス効率は、「相互貫入ポ
リマー網からの効率的フォトダイオード」、J J M Halls et al., Nature, Vol.
376, 10 August 1995, pp498-500およびUS 5,670,791の手法を使用して測定され
た。HOMO位置は電気化学的測定により推定された。光学的ギャップはUV/
可視吸光度スペクトルから決定された。LUMO位置はHOMO位置および光学
的ギャップから推定された。
いて200nmのAlの層を形成する。窒素などの不活性環境においてデバイスを
ガラス/エポキシカプセル剤中に密閉により入れる。
層を蒸着および乾燥した後、酸素プラズマの形態の反応性酸素にさらす。酸素プ
ラズマは、以下のプロセス条件下でCambridge Fluid Systems MRC100(2.45GHz )などの標準的商業的マイクロ波マルチモードプラズマ反応器により生成される
: チャンバ圧力: 2mbar アルゴン流: 5l/min 酸素流: 2l/min 電力: 0.044W/cm2 イオン密度: 1012/cm2 電子温度: 1〜2eV イオンフレックス:4×1015〜4×1016ion/cm2/sec
発光層との界面を形成すべきであるのはPEDOT:PSSの主面である。した
がって、プラズマの酸化効果は表面で最大であり、励起酸素の貫通が浅くなりが
ちであり、イオンエネルギーに依存するので、PEDOT:PSS層の深さに応
じて減少する。プラズマは、PEDOT:PSSが、少なくとも層の深い部分に
おいて(すなわち、ITOに近い)酸素と完全に反応しない十分な時間にわたっ
てデバイスに適用される。これは図4aに示す効果を作りだし、PEDOT:P
SSのエネルギーレベルは、デバイスが外部バイアス下にない時に、アノードと
の界面付近の通常レベルから発光層の近くである発光層付近の界面のHOMOレ
ベルに近い減少したレベルへ、層の厚さを通じて円滑かつ継続的に変化する。代
替的な解釈が図4bに示され、PEDOTの発光層との界面に近い特別な捕捉状
態の広い分布を示す。
源を使用して、監視されたイオンフラックスおよび選択された基に対するイオン
比は通常のドープされたPEDOT仕事関数(Wf)から表面の仕事関数(Wf S )への遷移領域の形状および範囲の選択を容易にすることができる。遷移領域を
制御して有効表面仕事関数を発光ポリマーのHOMO位置に調整することができ
る。さらに、基本的に薄いバリア層が要求されるならば、プラズマを修正し、基
のみが表面にあたるようにプラズマを修正することが、薄く高度に非共役なポリ
マー層を形成するという望ましい効果を有する。
れた。
ては、PEDOT:PSS層を200℃のN2環境内でオーブンで1時間硬化さ せ、次に酸素プラズマに1分間さらした。デバイスCおよびDは対照として用意
された。デバイスCについては、PEDOT:PSS層を200℃のN2環境内 でオーブンで1時間硬化させ、プラズマにはさらさなかった。デバイスDについ
ては、PEDOT:PSS層を空気中で200℃の加熱板上で1時間硬化させ、
プラズマにはさらさなかった。
〜Dの性能をそれぞれ示している。各図の上側のパネルは、印加電圧に対する輝
度および印加電圧に対するデバイスを通じた電流密度を示す。各図の下側パネル
は、印加電圧に対するデバイスの発光効率(電力効率)をルーメン/ワットで示
すとともに、印加電圧に対するデバイスの外部効率をカンデラ/アンペアで示す
。
電力効率(lm/W)の3倍の増加と、ピーク外部効率(Cd/A)の大きな増加を生じ
させる。ピーク効率が得られる電圧はおよそ半分となっている。
(定電流駆動のデバイス)。
は、おそらくリング開口および/またはカルボニル基の生成によるPEDOT:
PSS層の酸化であり、それらはPEDOT内の共役を減少させ、そのバンドギ
ャップを広げる(Rothberg et al.の「フェニレンビニレンポリマーの光物理学 」、Synthetic Metals 80 (1996) 41-58を参照)。別の考えうるメカニズムは、
酸素プラズマがPEDOTをデドープ(de-dope)可能であり、そうしておそら くその仕事関数を増加させるというものである。いずれの場合も、PEDOT:
PSSのHOMOレベルは図4aに示されるように2つの界面付近で発光層のそ
れに近づくように変化することができると考えられる。駆動電圧の増加のキーフ
ァクターが大きな内部障壁の存在であり、よっておそらく電圧低下および/また
は電荷蓄積であると仮定すると、時間の経過とともに減少する電圧は、ドープ値
4.8eVから表面値へのHOMOレベル推移がPEDOT:PSS層の厚さを通
じて本質的に緩やかであることを示唆している。
できる(図10参照)。蒸着後に発光層を(例えば)酸素プラズマにさらすこと
により、放射性材料(例えばPPV)のHOMO層を、カソードとの界面を形成
する面付近で減少させることができる。これは放射性材料からカソードへの正孔
の通過を禁止し、デバイスの効率を改善する。別のオプションはPPVを光酸化
させてカルボニル基をつくることである(上述のRothberg et al.およびHarriso
n et al.の「Singlet Intrachain Exciton Generation and Decay in Poly(p-ph
enylenevinylene)」, Physical Review Letters, Vol. 77, No.9, pp1881-4, 22
August 1996を参照)。上述の光ギャップを促進する光酸化により、酸化工程の
ために使用された光の波長および/または入射角を吸収深さについて選択してイ
オン化電位の望ましい深さプロファイルを達成することができる。これは、その
プロセスが酸素の拡散速度により制限されないからである。しかし、最適波長は
層の光学的吸収のピークに近くすることができる(PPVについては青)。PP
Vの光酸化の連鎖分離はEAよりもIPにおいてより大きな変化を強制し、PPV
の光学的ギャップを広げる。(PPVが正孔注入層として使用され5BTF8が
発光層として使用されている場合を示す図11を参照)。
。例えば、アノードの代替的材料は酸化錫(「TO」)およびフッ化TOを含み
、発光層の代替的材料はTFB、PFMO、PFM、PPVおよびMEH−PP
Vを含み、カソードの代替的材料はLi、Ba、Mg、Ca、Ce、Cs、Eu、Rb、K、Sm、N
a、Sm、Sr、Tb、およびYb、上記金属の2つ以上の合金、上記金属の1つ以上の フッ化物、炭化物、酸化物または窒化物(例えば、CsF、LiF)、およびAl、Zr、
Si、Sb、Sn、Zn、Mn、Ti、Cu、Co、W、Pb、In、またはAg(例えばLiAg)などの 金属の1つ以上と上記金属の1つ以上の合金を含む。カソードは透明にすること
ができる。正孔運搬層を省略することができ、またより多数の正孔運搬層を設け
ることができる。カソードと発光層との間に1つ以上の電子運搬層を設けること
ができ、それはカソードから発光層への電子の移動を容易にし、および/または
カソードへの正孔の通過をブロックするように作用する。
むことができる。正孔運搬層は材料の混合物とすることができる。例えば、それ
は適当に可溶化されたPFM類似のポリマーを混合したBFAとすることができ
る。
化水素、(気体または溶液中に含まれた形態の)オゾン、他の漂白溶液およびH 2 、HCF3などの他の気体、ならびにCF4またはCCl4などの他の塩素および/または
フッ素を含む気体へさらすことを含む。アンモニアなどのPEDOTへのPSS
の影響を減少させる処理を考慮することもできる。
層の表面処理の別の結果が観察されると考えられる。表面の処理は、処理された
層の表面特性、例えばその表面自由エネルギーまたは表面の構造的形態を変化さ
せうる。この変化はその表面ついての後に蒸着される混合物の成分の親和力に影
響し、その表面上へのそれらの成分の蒸着中または蒸着後に1つの以上の成分が
1つ以上の他の成分と比較して、選択的にその表面へ誘引されまたはその表面か
ら遠ざけられるという結果を生じる。よって、表面処理を使用して次の層内の成
分分布に影響を与えることができる。この効果を利用し、完成後のデバイスにお
いて処理が施された表面を有する層と直接に電気的に相互作用することが意図さ
れる混合物の1つ以上の成分の処理表面へ相対的な誘因を生じさせることが一般
的に望ましい。この効果の例は、成分の混合物を含む発光層がPEDOT層上に
蒸着されるデバイスに使用することができる。完成したデバイス中でPEDOT
が正孔運搬層として作用すべきならば、PEDOT層に近い発光層の領域中の混
合物の正孔受容成分の濃度を増加させることが有益である。混合物の成分は異な
る表面相互作用を有することが多いため、多くの場合、発光層がPEDOT層上
に蒸着されるならば、PEDOT層の表面の変形(例えばその表面自由エネルギ
ーの増加または減少)は成分のうちの望ましい1つがPEDOT表面に優先的に
誘引されることを助長する。同様に、発光層が別の材料(正孔運搬材料を意図す
る必要はなく、例えば電子運搬材料を意図していてもよい)の層上に蒸着される
ならば、発光材料の望ましい成分をその層に誘引するために同一の効果を使用す
ることができる。また、その効果を利用して、複合的な正孔および/または電子
の運搬層などの非発光層中の成分分布に影響を与えることもできる。この効果を
発生させるための利用可能な処理はプラズマ処理および他の酸化処理および溶媒
処理を含む。
いる)の製作を記載し、そのデバイスは、発光材料50としての5BTF8(図
3も参照)と、カルシウム−アルミニウムカソード51と、ITOアノード53
に隣接するPEDOT:PSSおよびPPVに基づく中間層と、を含む。PED
OT:PSS52とITO53の間にSilyl結合層54(図13も参照)がある 。そのデバイスはガラス基板55上に形成され、動作時にはアノードとカソード
の間に電圧が印加されると、一般的に矢印56で示すようにガラスを通じて光が
放射される。
方の極性の実効電荷を保持する1つの電解質と他方の極性の実効電荷を保持する
別の電解質の連続的吸収(蒸着)により、超薄く連続的な絶縁保護ポリマー多層
膜(好ましくは適切に処理された基板上の)を形成するための一般的に多様な方
法として特に魅力的である。多層膜は工程のサイクルを繰り返すことにより形成
できる。各組立サイクルは、基板を2つの高分子電解質溶液の各々に順に浸して
溶液から一対の連続的な2次層を蒸着することと、その間の広範囲の水洗工程か
らなる。各組立サイクルはそうして多層膜の1つの二分子層を組み立てる。
記載された。例えば、G.Decher, J.D.Hong J.Schmitt, “自己組立プロセスによ
る超薄い多層膜の作成。3.荷電面上の陰イオンおよび陽イオン高分子電解質の
連続的交互吸収”, Thin Solid Films, Vol. 210/211, pp 831-835, 1992を参照
。それは次にBubnerと協同作業者によりポリマーLED中の全体発光層の製作に使 用された。例えば、O.Onitsuka. A.C.Fou, M.Ferreira, B.R.HsiehおよびM.F.Ru
bnerの「ポリ(p−フェニレンビニレン)の組立ヘテロ構造に基づく発光ダイオ ードの促進」,Journal of Applied Physics, Vol. 80, pp.4067-4071, 1996;A.
C.Fou, O.Onitsuka, M.FerreiraおよびM.F.Rubnerの「自己組立ポリ(フェニレ ンビニレン)多層ヘテロ構造の中間層相互作用:発光および光整流ダイオードの
含意」, Materials Research Society Symposium and Proceedings, Vol.369, p
p.575-580, 1995;および、A.C.Fou, O.Onitsuka, M.Ferreira., F.Rubnerおよ びB.R.Hsiehの「多層ポリ(フェニレンビニレン)の自己組立に基づく発光ダイ オードの製造および性質」, Journal of Applied Physics, Vol. 79, pp.7501-7
509, 1996を参照。これらのレポートの最後では、著者等は、カルシウムカソー ドを蒸着する前に膜を絶縁性ポリメタクリレート/ポリアリルアンモニウムペア
により終了した時にはLED性能の弱い促進を発見した。また、彼らはITOア
ノードと接触するポリスチレンスルフォン酸/PPVブロックおよびカルシウム
カソードと接触するポリメタクリレート/PPVブロックとともに製作される2
ブロック複合発光層の改善を報告した。別の適当な文献は、T.Ostergard, J.Pal
oheimo. A.J.PalおよびH.Stubbの「ポリ(3−ヘキシルチオフェン)のLangmuir
-Blodgett発光ダイオード:構造に関する電気光学的特性」,Synthetic Metals,
Vol.88, pp.171-177, 1997であり、これはLangmuir-Blodgett蒸着による2構造 発光ポリマー層の製造を記載する。
的な促進を提供する。第1に、本プロセスは全体的な発光層ではなく、中間層の
製作を許容する。これは、以前は不可能であったある程度の独立制御を可能とす
る。第2に、本プロセスは成長方向における中間層の組成/性質の傾斜付けに向
けられており、この傾斜を特別に設計してLED性能の大きな改善を達成するこ
とができる。
による表面シリル化(silylation)により作られる。高分子電解質の自己組立は
層状のフローキャビネット内でダストの無い状態で実行される。商業的に入手可
能なpドープPEDOT:PSS(Bayer AGから入手可能)が多価負イオンとし
て作用する。この材料は密に関連するPEDOTとPSSのポリマー対を含み、
負に荷電したスルフォン酸塩基(PSS上)と正に荷電したチオフェン環(PE
DOT上)の比が約3であり、よってポリマー対は総体的に負に荷電される。そ
の自己組立パートナーとして、ポリ(p−キシリレンテトラヒドロリオフェニウ
ム塩化物)(PPV−THT)が使用される。このポリマーは上昇した温度でテ
トラヒドロチオフェンと塩酸を除去して共役p−フェニレンビニレン(PPV)
配列を与え、その配列は電荷運搬(ここでは正孔運搬)と蒸着層を通じた一方向
への注入を有益に支持するが、層および/または近接層との一方または双方の界
面を通じて対向する方法への電子の漏れを妨げる。次にそのデバイスをスピンコ
ーティングにより860Åの厚さの5BTF8発光ポリマー層を蒸着し、次に加熱 蒸発により厚さ2000Åのカルシウムカソードと1000Åのアルミニウムキャップ層
を蒸着することにより完成させる。
イスIは対照デバイスであり、スピンコーティングによりITO基板上に直接的
に蒸着された厚さ320ÅのPEDOT:PSSの正孔運搬層と、PEDOT:
PSS上にスピン(spun)させた発光層を有する。デバイスIIは、シリル化さ
れたITO基板上に高分子電解質自己組立により蒸着されたPEDOT:PSS
/PVVの6個の二分子層を含む。次に、5BTF8がスピンコーティングによ
りこの膜上に蒸着される。中間層内のPEDOTは実質的には完全にドープされ
ている(すなわち、高い導電性を有する)。デバイスIIIはVPEDOT:P SS/PVVの6個の二分子層膜を含むが、組立中にPEDOTドーピングレベ
ルが進歩的に減少されているので最終二分子層中のPEDOTは本質的にドープ
されていない(すなわち、導電性が低い)。デバイスIVは、PEDOT:PS
S/PVV膜上にキャップ層としてポリスチレンスルフォン酸/PPVの付加的
二分子層が作られている以外はデバイスIIIと同様の方法で作られている。デ
バイスVは、PEDOTが実質的にドープされていないこと以外はデバイスII
と同様に作られている。
より容易に調整することができ、ヒドラジンはpドープPEDOTを減少させ、
副産物としてインノキュアス(innocuous)窒素を形成する。こうして、ドーピ ングレベルが減少している(または一般的に徐々に変化している)PEDOTを
中間膜内へ組み立てることができる。成長する中間層を通じた平行荷電およびイ
オン運搬によるドーピングレベルの起こりうる混乱を抑制するために、一貫して
基本的溶液媒体を利用する。この媒体において、より多数の可動性H+イオンの 代わりにNH4 +イオンが電荷を中性に維持する。
ニウム官能基を有するITO面を作るために採用されている。
真空中で焼いて(165-70℃、150分)物理吸着水を除去し、グローブバッグ内で 乾燥窒素中で冷却した。グローブバック中では基板をシリル化浴(95℃、2時間
)内で処理してITO面につながれる−CH2CH2CH2NH2基を形成した。シリル化浴
(20ml)は、4Å分子ふるいで事前に乾燥させたHPLCグレードのトルエン(Aldr
ich)中の5重量%の3−アミノプロピルトリメトキシシラン(Aldrich)からな
る。次に基板をHPLCグレードのトルエン(1×50ml)、HPLCグレードのメタノー ル(2×50ml)およびHPLCグレードのイソプロパノール(2×50ml)中で、この順
序で洗浄した。斜めの照明下で観察することによる検査は、不十分な処理がなさ
れていれば生じたであろうシリカゲルの形成の兆候は見られなかった。
を四次化(quarternise)してpH不感でレドックス不活性のプロピルトリメチル アンモニウムイオン(−CH2CH2CH2NMe3 +)とする。メチル化浴(20ml)は、HPLC
グレードのN,N-ジメチルホルムアミド(Aldrich)中の酸補集剤として、5重量 %のCH3l(Aldrich)と0.5重量%のトリエチルアミンからなる。次に、基板を脱
イオンH2O(3×50ml)とHPLCグレードのイソプロパノール(1×50ml)中で洗浄 し、乾燥キャビネット内で50℃で乾燥した。この段階での視覚的検査は、変性さ
れたITO面が本質的に清潔に保たれていることを示した。
液を商業的物質(Bayer AGの試用製品Al4071)から用意した。完全にドープされ
たPEDOT:PSSのダークブルー溶液2.0ml(1.6w/v%全固形分)を以下の体
積の55w/v%ヒドラジン水和物(Aldrich)と反応させた: 材料P1を用意するために0.00ml(無し)、 材料P2を用意するために0.20ml、 材料P3を用意するために1.0ml、 材料P4を用意するために8.0ml。
体積を10.0mlとした。反応混合物を70℃まで3時間加熱し、その間にPEDOT
のデドーピングが起きた。次にその溶液を一晩置いた。沈殿は観察されなかった
。得られた溶液のUV可視吸収分光学測定(図14に示す)は、選択的デドーピン
グの成功を示した。P1溶液のスペクトルは完全にドープされた(約30%ドープさ れた)PEDOTの特性であり、P4溶液のそれはドープされていない(すなわち
0%ドープされた)PEDOTの特性である。P2とP3のスペクトルは2つの中間に
あり、620nmでのп-п*推移の補正強度から推定するとそれぞれ約25%と20%に対 応する。ガラス基板上に鋳造されたミクロン厚膜上での4つのインラインプロー
ブにより測定された直流導電率もドーピングの減少レベルと合致する:P1につい
て1.0S/cm、P2について0.01S/cm、P3について0.008S/cm、P4について0.004S/cm 。
5w/v%水性NH3の付加によりpHを11に調整した。したがって、これは組立溶液中
に約0.15w/v%の総ポリマー固形物を与える。NaCl水は脱イオン水を使って作られ
た。溶液のイオン強度は25mMに保たれ、商業的高分子電解質中のイオン不純物の
影響を排除し、自己組立のための一定のイオン背景を提供した。
risation of sylylene bisdialkysulfonium salts」, Journal of Polymer Scie
nce Polymer Symposium 72, pp55-66, 1985を参照。)中の2.05gのポリ(p−キ
シリレンテテトラヒドロチオフェニウム塩酸塩)溶液を18ml、25mMのNaCl溶液と
混合し、50μl、35w/v%の水性NH3の付加によりpHを11に調整した。よって組立
溶液中のPPV−THT含量は約0.1w/v%であった。
ネット中で室温(22℃)で2時間以内の高分子電解質自己組立を行った。 (a)デバイスIIの中間層の1つの二分子層を組み立てるために、変性したI
TO基板を10分間P1溶液中に沈め、2×30mlの新鮮な脱イオン水中で合計1分 間強く洗浄し、次にPPV−THT溶液中に10分間浸け、最後に2×30mlの新 鮮な脱イオン水中で1分間洗浄した。このサイクルをさらに5回繰返し、完全に
ドープされたPEDOT:PSSの6個の二分子層膜をITOアノード上に組み
立てた。 (b)デバイスIIIの中間層の最初の3つの二分子層は、デバイスIIについ
て上述したプロトコルにしたがって製作した。次に、PEDOT:PSS組立溶
液を次の組立サイクルのためにP2に変え、次にP3に変え、最後にP4に変えた。よ
って、得られたポリマー多層膜の理想化された組成は、30%ドープ(完全ドープ )PEDOTの3つの二分子層、それに続く25%ドープPEDOTの1つの二分 子層、20%ドープPEDOTの1つの二分子層、および非ドープPEDOTの1 つの二分子層である。 (c)デバイスIVの中間層膜の最初の6個の二分子層はデバイスIIIについ
て上述したように製作される。その後、ポリ(スチレンスルフォン酸、ナトリウ
ム塩)の多価負イオン溶液中と、それに続くPPV−THTの多価正イオン溶液
中での追加の組立サイクルとを利用してPEDOT:PSS/PPV膜上にキャ
ッピングPSS/PPV膜が組み立てられる。ポリ(スチレンスルフォン酸)溶
液は、24mgのポリ(スチレンスルフォン酸、ナトリウム塩)(分子重量=70,000
、Aldrichより)を20ml、25mMのNaCl溶液に加えることにより作られ、50μl、35
w/v%の水性NH3の付加によりpHを11に調整した。
動的真空(10-6mbar未満の圧力)中で70℃で2時間焼くことにより、緩く結合し
た水分子を自己組立高分子電解質膜から排除し、PPV−THTの部分的変換を
行ってオリゴ−p−フェニレンビニレン配列の短い共役セグメントを与えた。よ
り高い焼き温度は、デバイスの低電圧での動作時に相当な非生産的漏れ電流を生
じさせることがわかった。後続の工程は全てグローブボックス中で行われた。
層をシャドウマスクを通じて10-6mbarの基礎圧力下で20Å/sで熱蒸発させて、各
デバイス基板上に1.5mm2(公称)発光ダイオードを8個規定した。次に1000Åの
薄いアルミニウム保護層カルシウム上に蒸発させた。
溶液から1850rpmのレートで320ÅPEDOT:PSS膜をスピンコーティングす
ることにより製作された。次にその膜をパート(4)で述べたように70℃で焼き
、その後860Åの5BTF8膜、およびそれに続く2000Åカルシウム層および100
0Åアルミニウム保護層を上記(5)に記載したように蒸着した。
のバッチにより製作した。
ネルは、印加電圧に対する、デバイスの輝度およびそのデバイスを通じた電流密
度を与える。各図の下部パネルは、印加電圧に対する、電力効率およびデバイス
の量子効率を与える。
る。データは、各種デバイスの3〜4個を平均化することにより得た。
PSSのみで作られた制御デバイスに対してデバイスの電力効率を大きく改善す
ることを示している。上の表から、中間層デバイスII〜Vについて、3〜4V
の適度に低い駆動での電力効率および約10cd/m2での輝度の30倍から40倍の 改善が達成される。低電圧においてさえも、これらのデバイスはより効率的であ
る。20〜30lm/Wの電力効率はデバイスの電源オンの直後に容易に達成される。(
図20参照。輝度に対するデバイスの電力効率を示す。)電力効率は、駆動電圧
および輝度の増加に伴って減少する。しかし、1000cd/m2のある程度高い輝度に おいてさえも、制御デバイスにわたる2倍から3倍の促進がなお達成されている
。高いlm/W値をより高い輝度にシフトするための1つのアプローチは、5BTF
8層の厚さを増加させることである。特に、その厚さは1000Å、1200Å、1500Å
程度、または2000Å程度まで増加させることができる。
する機能を提供すると考えられ、それは電荷の再結合を容易にするとともに励起
を発光層内に閉じこめることを助ける。層状PEDOT:PSS/PPVアセン
ブリ中の半導体PPV層の、特に停止層としての存在は、これにおいて重要な役
割を果たすと考えられる。半変換PPVは、PEDOT、F8BTおよびF8(
図21a参照)より数10分の1電子ボルト高い電子運搬のためのLUMOレベ
ルを有することが期待され、それは逆方向から界面を通過する電子にブロック効
果を与えるであろう。閉じこめられた電子はデバイス内の電界を有益に再分布し
、デバイス内に注入された電子と正孔とのバランスを改善する。また、/PPV
層は後に形成される励起を、非放射的損失につながるITOアノードとの直接接
触から隔離する。一方、PEDOTは中間層に正孔運搬機能を提供し、発光層と
の界面を通過する正孔注入を補助する。真の効果は、改善された電子−正孔捕捉
および放射的再結合のより高い部分に結合される改善された電子−正孔バランス
である。これは、中間層デバイスで観察される、大きく改善された電力効率につ
ながると考えられる。
層については大きく減少される。それは動作中にデバイス中の電気的ストレスを
減少させ、通常はより長い動作寿命につながるので、非常に望ましい。駆動電圧
の減少は傾斜中間層デバイスIIIおよびIVについて最も顕著である。例えば
、1000cd/m2を得るために必要な電圧は、制御デバイスIについての7.1Vから中
間層デバイスIIについての6.3Vまで下がり、傾斜中間層デバイスIIIおよび
IVについてはさらに5.5Vまで低下する。電子的に傾斜した中間層を有するデバ
イスの改善は、電流注入の大きな緩和に帰し、電力効率の弱い促進からは生じる
貢献が小さい。これは、印加電圧に対する異なるデバイスを通る電流密度をプロ
ットする図22と、輝度に対する種々のデバイスの駆動電圧をプロットする図2
3に明確に示される。したがって、電子的性質の傾斜を中間層へ作り込むことが
できることが明確に示され、傾斜を利用してOLEDの性能を改善することがで
きる。
示す図につながると考えられる。間に傾斜を有する近接層の正孔または電子運搬
状態とエネルギー(および/または分子性質)において厳密に適合する正孔また
は電子運搬状態を有する中間層の製造は、近接層間の電荷運搬のための熱力学的
エネルギーミスマッチを減少させる。注入界面における熱力学的障壁は、例えば
完全にドープされ発光ポリマーとの間に電子的に急な界面を与えるPEDOT層
を使用する従来の二分子層の場合より、傾斜中間層中において小さく、緩やかと
なる。さらに、そのような傾斜は、電界が界面で急に発達して中間層自体を通じ
た段階的変化を許容することを防止する。これは、通常は促進したデバイス劣化
につながる、界面での電荷蓄積を減少させることができる。したがって、要約す
れば、中間層の電子的性質の空間的傾斜は、よりバランスした電子−正孔注入を
OLED中の低い駆動電圧で達成することを可能とする。
態を以下に説明する。好ましくは、各二分子層は2つの成分により構成され、一
方は好ましくは半導体(例えばPPV)であり、他方は好ましくは導電性(例え
ばPEDOT:PSS)である。半導体(もしあれば)は好ましくは、導電性材
料(もしあれば)とデバイスの発光材料の間の中間エネルギーレベルを提供する
。好ましくは、発光材料に当接する(または近接する)導電性材料(もしあれば
)は半導体の2次層である。最後の2次層と発光材料との間に別の層(例えば導
電層)を設けることができる。連続的な二分子層の成分は同じである必要はない
。例えば、異なる導電性材料を個々の層で使用することができる。1つ以上の二
分子層を、3つ以上の2次層を有する層で置換することができる。各2次層はポ
リマー材料により好適に作られ、好ましくは1つのポリマー連鎖の深さ(詳細な
厚さは連鎖の配座により決定される)である。いくつかの好適な実施形態では、
導電性材料の導電性エネルギーレベルは連続する二分子層間で変化し、好ましく
は発光性材料に向かう方向で発光性材料のHOMOおよびLUMOレベルに向か
って連続する二分子層間で増減する。特に、導電性材料の性質がこうして変化す
る場合、別の層を省略し実際に単層により二分子層を置換することができる。そ
のプロセスは、特に電荷注入を改善すべき場合に発光デバイス以外のデバイスに
適用することができる。
ると考えられる。
ドのような)ターンオン特性を示し、それは単層5BTF8デバイスと対照的で
あることを述べておく。
の傾斜にわたる特に精密な制御とそのような傾斜の利益を許容することを示して
いる。
ーレベル分布(特に電荷キャリア運搬のためのもの)、効果的仕事関数、電子親
和力、イオン化エネルギーおよび/または中間層厚さにわたるバンドギャップな
どの1つ以上の電子的および/または光学的パラメータの制御された変化を有す
る中間層を作る手段を提供する。それらの1つ以上を、完成したデバイス内の中
間層に近接する1つ以上の材料の特性と適合させることにより、障壁(例えばエ
ネルギー障壁)の高さおよび幅の有益な操作が達成できる。そしてこれは、輝度
、効率、寿命、駆動電圧および/または色の観点から発光デバイス(特に有機発
光デバイス)の性能を最適化するために利用できる付加的な制御パラメータを提
供する。
のマッチングを可能とする手段として利用するので、中間層に接触する2つの材
料間に望ましいレベルの付着が維持される。また、これはデバイス性のさらなる
最適化を可能とする。
特にポリマー(オリゴマーを含む)に適用可能である。このアプローチを使用し
て層の厚さを通じて以下の特性の1つ以上の変化を提供することができる:組成
、ドーピングレベル、電子親和力、イオン化電位、仕事関数、バンドギャップ、
および電荷注入および/または付着を制御するための分子相互作用。好ましくは
、この変化は異なる組成の複数の2次層を含むPEDOT:PSS層により提供
される。上述の原理を具現化するデバイス中で代替的材料を使用することができ
る。例えば、スルフォン化または他の適当な変性したポリアニリン、ポリチオフ
ェン、ポリ(ビニルカルバゾール)、ポリ(ビニルナフタレン)またはそれらを
ベースとした材料、もしくは他の材料である。
)と発光材料との間の界面、および/またはカソードまたはカソードと接触する
層と発光ポリマーとの境界、および/または2つの発光材料間の界面のいずれか
において、傾斜層が発光材料に適切に近接して位置する。傾斜層の厚さは適当に
は5〜1000Åまたはそれ以上の範囲内であり、好適には5〜200Åまたはそれ以上 の範囲内である。
は、適当には異なる性質(例えば組成)の一連の2次層の蒸着、もしくは1つの
層(または一連の2次層)の蒸着であって、いくつかまたは全ての蒸着工程また
は最後の蒸着工程に続いて、少なくとも最後に蒸着された層/2次層の性質を修
正する工程を有する蒸着により形成される。層または2次層は膜の形態とするこ
とができる。
、その厚さにわたる電子的または分子的性質の変化に適切に結びつく。組成のこ
の空間的変化は拡散的または急激なものとすることができ、層の厚さの全てまた
は部分を通じて延びる。その変化は例えば、配列の方法で一体化された2つ以上
の完全に異なる化学的物体(例えばデバイスIのPEDOTとPPV)から生じ
、または中間層材料のドーピングまたはデドーピングレベル中の連続的変化(デ
バイスII〜IVのような異なる程度のバックボーン荷電など)から生じうる。
層が最初に製作され、またはその製作に続く物理的および/または化学的処理、
例えば電磁放射(UV放射など)またはプラズマに含まれるような高エネルギー
粒子への露出、もしくは拡散、化学量論、時間、反応性および濃度の1つ以上に
より制限される化学反応により誘導される場合、組成の変化が存在する。
的または暗示的に記載された形態またはそのあらゆる一般化の形態またはその組
み合わせを含む。上述の説明から、本発明の視野の範囲内において当業者は種々
の変形が可能であることが明白であろう。
Claims (53)
- 【請求項1】 第1の極性の電荷キャリアを注入するための第1の電荷キャ
リア注入層を形成する工程と、 第1の電荷キャリア注入層上に有機電荷キャリアの運搬層を形成する工程であ
って、前記運搬層は当該運搬層の厚さにわたって変化する電子的および/または
光学的性質を有する工程と、 前記運搬層上に有機発光層を形成する工程と、 発光層上に、第2の極性の電荷キャリアを注入するための第2の電荷キャリア
注入層を形成する工程と、 を有するエレクトロルミネッセントデバイスの製造方法。 - 【請求項2】 運搬層を形成する工程は、運搬層を蒸着する工程と、運搬層
を処理して前記電子的および/または光学的性質の空間的変化を作り出す工程と
を含む請求項1に記載の方法。 - 【請求項3】 前記運搬層は共役材料を含み、前記電子的および/または光
学的性質の変化を作り出す工程は共役材料の共役の程度を減少させる工程を含む
請求項2に記載の方法。 - 【請求項4】 運搬層を処理する工程は、運搬層を反応剤にさらして運搬層
中の化学反応を促進する工程を含む請求項2または3に記載の方法。 - 【請求項5】 反応は酸化または還元反応である請求項4に記載の方法。
- 【請求項6】 反応剤は酸化剤である請求項4または5に記載の方法。
- 【請求項7】 反応剤は酸素である請求項4ないし6のいずれかに記載の方
法。 - 【請求項8】 反応剤はプラズマの形態である請求項4ないし7のいずれか
に記載の方法。 - 【請求項9】 運搬層を形成する工程は、前記電子的および/または光学的
性質がその厚さにわたって変化する状態で運搬層を蒸着する工程を含む請求項1
に記載の方法。 - 【請求項10】 運搬層は自己組立方法により蒸着される請求項9に記載の
方法。 - 【請求項11】 運搬層は一連の2次層の形態で蒸着される請求項1、9お
よび10のいずれかに記載の方法。 - 【請求項12】 運搬層は、各々が異なる材料の2つの2次層を含む一連の
二分子層の形態で蒸着される請求項1、9、10および11のいずれかに記載の
方法。 - 【請求項13】 運搬層は、各々が前記電子的および/または光学的性質に
おいて異なる材料の一連の2次層を含むように蒸着される請求項1、9ないし1
2のいずれかに記載の方法。 - 【請求項14】 前記材料の2次層は運搬層の厚さにわたり前記性質が傾斜
されている請求項13に記載の方法。 - 【請求項15】 前記材料はポリ(スチレンスルフォン酸)を含む請求項1
3または14に記載の方法。 - 【請求項16】 2次層は、前記電子的および/または光学的性質における
相違を達成するようにドープされる請求項13ないし15のいずれかに記載の方
法。 - 【請求項17】 少なくともいくつかの2次層において、ポリ(スチレンス
ルフォン酸)はポリ(エチレンジオキシチオフェン)によりドープされる請求項
15または16に記載の方法。 - 【請求項18】 前記性質はエネルギーレベルまたはエネルギーレベル分布
である請求項1ないし17のいずれかに記載の方法。 - 【請求項19】 前記性質はイオン化電位である請求項18に記載の方法。
- 【請求項20】 第1の電荷キャリア注入層から発光層へ向かう方向におい
て、運搬層のイオン化電位は、第1の電荷キャリア注入層の伝導帯から離れるよ
うに変化する請求項1ないし19のいずれかに記載の方法。 - 【請求項21】 第1の極性の電荷キャリアは正の電荷キャリアである請求
項1ないし20のいずれかに記載の方法。 - 【請求項22】 第1の電荷キャリア注入層から発光層へ向かう方向におい
て、イオン化電位は発光層のHOMOレベルへ向かって変化する請求項1ないし
21のいずれかに記載の方法。 - 【請求項23】 運搬層は、ポリ(スチレンスルフォン酸)をドープしたポ
リ(エチレンジオキシチオフェン)および/またはBFAおよび/またはPPV
を含む請求項1ないし22のいずれかに記載の方法。 - 【請求項24】 正電荷キャリアを注入するための第1の電荷キャリア注入
層を形成する工程と、 第1の電荷キャリア注入層上に有機発光層を形成する工程であって、発光層の
電子的および/または光学的性質が発光層の厚さにわたって変化する工程と、 発光層上に、負電荷キャリアを注入するための第2の電荷キャリア注入層を形
成する工程と、 を有するエレクトロルミネッセントデバイスの形成方法。 - 【請求項25】 発光層を形成する工程は、発光層を蒸着する工程と、発光
層を処理して発光層の厚さにわたる電子的および/または光学的性質の変化を作
り出す工程と、を有する請求項16に記載の方法。 - 【請求項26】 発光層を処理する工程は、発光層を反応剤にさらして発光
層中の化学反応を促進する工程を含む請求項25に記載の方法。 - 【請求項27】 反応は酸化または還元反応である請求項26に記載の方法
。 - 【請求項28】 反応剤は酸化剤である請求項26または27に記載の方法
。 - 【請求項29】 反応剤は酸素である請求項26ないし28のいずれかに記
載の方法。 - 【請求項30】 反応剤はプラズマの形態である請求項26ないし29のい
ずれかに記載の方法。 - 【請求項31】 発光層は共役材料を含み、電子的および/または光学的性
質における変化を作り出す工程は、共役材料の共役の程度を減少させる工程を含
む請求項25ないし30のいずれかに記載の方法。 - 【請求項32】 発光層の光学的ギャップは、第1の電荷キャリア注入層か
ら第2の電荷キャリア注入層へ向かう方法において変化する請求項25ないし3
1のいずれかに記載の方法。 - 【請求項33】 第1の極性の電荷キャリアを注入する第1の電荷キャリア
注入層と、第2の極性の電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア注入層と、
電荷キャリア注入層間に配置された少なくとも1つの有機層とを有するエレクト
ロルミネッセントデバイスの形成方法において、有機層を少なくとも部分的に酸
化または還元する工程を含む方法。 - 【請求項34】 部分的酸化または還元は、有機層の厚さにわたる電子的ま
たは光学的性質の変化をもたらす請求項33に記載の方法。 - 【請求項35】 有機層は電荷運搬層である請求項33または34に記載の
方法。 - 【請求項36】 有機層は発光層である請求項33または34に記載の方法
。 - 【請求項37】 有機層を部分的に酸化または還元する工程は、有機層を酸
化剤または還元剤にさらす工程を含む請求項33ないし36のいずれかに記載の
方法。 - 【請求項38】 酸化剤または還元剤は反応性の酸化剤または還元剤である
請求項37に記載の方法。 - 【請求項39】 酸化剤または還元剤は酸素プラズマである請求項38に記
載の方法。 - 【請求項40】 有機層を部分的に酸化または還元する工程は、有機層を光
にさらして光酸化プロセスを実行する請求項33ないし36のいずれかに記載の
方法。 - 【請求項41】 前記さらす工程は、有機層の主面をさらす請求項37ない
し40のいずれかに記載の方法。 - 【請求項42】 有機層を部分的に酸化または還元する工程は、層の厚さの
少なくとも部分を通じて酸化の傾斜を作る請求項33ないし41のいずれかに記
載の方法。 - 【請求項43】 酸化の傾斜は電子的および/または光学的性質の傾斜を生
じさせる請求項34に記載の方法。 - 【請求項44】 前記性質はイオン化電位である請求項43に記載の方法。
- 【請求項45】 正電荷キャリアを注入する第1の電荷キャリア注入層と、 負電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア注入層と、 電荷キャリア注入層間に配置された有機発光層と、 発光層と電荷キャリア注入層の一方との間に配置され、層の厚さにわたって変
化する電子的および/または光学的性質を有する有機材料を含む有機電荷キャリ
ア運搬層と、 を備えるエレクトロルミネッセントデバイス。 - 【請求項46】 電子的および/または光学的性質は、電荷キャリアの運搬
に責任を有するエネルギーレベルまたはエネルギーレベル分布である請求項45
に記載のエレクトロルミネッセントデバイス。 - 【請求項47】 電子的および/または光学的性質はイオン化レベルである
請求項45または46に記載のエレクトロルミネッセントデバイス。 - 【請求項48】 発光層と他方の電荷キャリア注入層との間に配置された第
2の有機電荷キャリア運搬層を有する請求項45ないし47のいずれかに記載の
エレクトロルミネッセントデバイス。 - 【請求項49】 第2の有機電荷キャリア運搬層は、前記他方の電荷キャリ
ア注入層から正電荷キャリアを受け取るイオン化電位を有する有機材料を含み、
前記電位は第2の運搬層の厚さにわたって変化する請求項48に記載のエレクト
ロルミネッセントデバイス。 - 【請求項50】 第2の有機電荷キャリア運搬層は、前記他方の電荷キャリ
ア注入層から負電荷キャリアを受け取る電子親和力を有する有機材料を含み、前
記親和力は第2の運搬層の厚さにわたって変化する請求項48に記載のエレクト
ロルミネッセントデバイス。 - 【請求項51】 正電荷キャリアを注入する第1の電荷キャリア注入層と、 負電荷キャリアを注入する第2の電荷キャリア注入層と、 電荷キャリア注入層間に配置された有機発光層とを有し、前記有機発光層の電
子的および/または光学的性質は発光層の厚さにわたって変化するエレクトロル
ミネッセントデバイス。 - 【請求項52】 添付図面の図3ないし図23を参照して記載したエレクト
ロルミネッセントデバイスの形成方法。 - 【請求項53】 添付図面の図3ないし図23を参照して記載したエレクト
ロルミネッセントデバイス。
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