JP2002506954A - 精度が向上したアクチュエータ - Google Patents

精度が向上したアクチュエータ

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JP2002506954A
JP2002506954A JP2000536127A JP2000536127A JP2002506954A JP 2002506954 A JP2002506954 A JP 2002506954A JP 2000536127 A JP2000536127 A JP 2000536127A JP 2000536127 A JP2000536127 A JP 2000536127A JP 2002506954 A JP2002506954 A JP 2002506954A
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nut
actuator
hard
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オルシェウスキー，アーミン，ハーバート，エミル，オウガスト
ドルエ，クレア
フックス，トーマス，ビルヘルム
カッパン，ヘンドリックス，ヤン
デ，ブリーズ，アレクサンダー，ヤン，カレル
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Abstract

(57)【要約】 アクチュエータは、ハウジング（１、１０）、原動機、作動部材および該原動機の回転運動に応答して、該ハウジング（１、１０）に対する該作動部材の直線運動を行うねじ機構を備え、前記ねじ機構は、ねじ（５、１６）およびナット（１、１７）を備え、そのうちの一つは、転動体軸受（２、１１）により、該ハウジング（１、１０）に対して回動可能に支持されており、前記転動体軸受（２、１１）は、内側軌道（６）および外側軌道（６）、並びに前記軌道ところがり接触をしている転動体を有している。該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、例えば、該ねじ（５、１６）、ナット（１、１７）またはローラ（４、１６）、および（または）該軸受（２、１１）の少なくとも一つの構成要素、例えば、該内側軌道輪または該外側軌道輪は、ハードカッティング作業、例えば、ハードターニング、ハードミリング、ハードドリリングなどにより加工された表面部分を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】 本発明は、ハウジング、原動機、作動部材および該原動機の回転運動に応答し
て、該ハウジングに対する該作動部材の直線運動を行うねじ機構を備え、前記ね
じ機構は、ねじおよびナットを備え、そのうちの少なくとも一つは、転動体軸受
により、該ハウジングに対して回動可能に支持されており、前記転動体軸受は、
内側軌道および外側軌道、並びに前記軌道ところがり接触をしている転動体を有
するアクチュエータに関する。
【０００２】 このようなアクチュエータは、既知であり、例えば、ディスクブレーキのブレ
ーキキャリパなど、様々な目的に応用可能である。このアクチュエータは、ねじ
およびナットのねじ山、ローラ、軸受の軌道など、正確に機械加工された表面を
持ついくつかの構成要素を含んでいる。したがって、アクチュエータの総コスト
の相当な部分は、機械加工の工程に帰すべきものである。
【０００３】 今まで、一方では、精度の要求を満足し、他方では、製造コストを下げる試み
がなされてきた。本発明は、両方の要求が満足されるアクチュエータを提供しよ
うとするものである。この目的は、ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例え
ば、ねじ、ナットまたはローラおよび（または）軸受の少なくとも一つの構成要
素、例えば、内側軸受輪または外側軸受輪が、ハードカッティング作業、例えば
、ハードターニング、ハードミリング、ハードドリリングなどで加工された表面
部分を含むことで達成される。
【０００４】 制御信号に応答するアクチュエータの変位の精度は、ねじ機構および軸受のい
くつかの表面の係合に大きく左右される。ナットおよびねじのねじ山部および介
在ローラ、そしてまた、軸受の軌道も、この点で決定的な役割を演じる。また、
これら表面の相互の位置に関する精度も、重要である。これら表面は、ハードカ
ッティング法により、固有の精度を有するねじまたはナットと一体化してよく、
この固有の精度は、組み立てられた複数部品の構造物で役割を演じる累積製造誤
差によって影響されることはない。
【０００５】 ハードターニングは、焼入れ鋼構成要素を機械加工するための単一点加工法で
ある。これは、荒研削および仕上研削の両方に対する有利な別法と考えられる。
ハードターニングの前記工程は、セラミックまたは超砥粒工具により実施される
。これは、生産コストの低減と適切な仕上げを組み合わせるのに特に適している
。
【０００６】 さらに、一体化された表面は、多軸旋盤により簡便に作成可能であり、これは
、精度およびコスト（生産速度）両方の点で、有利である。
【０００７】 軸受は、ねじを直接または間接に支持してよい。さらに、ハードターニング加
工を施した表面は、ねじ機構の半径方向支持に適用してよい。同様に、前記表面
部分は、ねじ機構の軸方向支持に適用してよい。
【０００８】 さらなる可能性によれば、本アクチュエータは、ねじ機構に接続された歯車減
速機構を含んでよく、前記歯車減速機構は、ハードカッティング作業、例えば、
ハードターニング、ハードミリング、ハードドリリングなどにより製造された表
面部分を含んでよい。
【０００９】 さらに、ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、ねじ、ナットまたは
ローラ、および（または）軸受の少なくとも一つの構成要素、例えば、内側軸受
輪または外側軸受輪、および（または）歯車減速機構の少なくとも一つの構成要
素は、研削により加工された表面部分を含んでよい。
【００１０】 また、ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、ねじ、ナットまたはロ
ーラ、および（または）軸受の少なくとも一つの構成要素、例えば、内側軸受輪
または外側軸受輪、および（または）歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素
は、ブローチ加工により加工された表面部分を含んでよい。
【００１１】 アクチュエータのねじ、ナットなどの一体化部分は、ハードターニング法によ
り加工してよい。例えば、シールまたはシールドを取り付けるための溝は、この
方法により、内輪および（または）外輪に加工してよい。さらに、この方法によ
り、ナットまたはねじに、駆動手段、例えば、スプライン、歯車または歯を設け
て、駆動源と直接または間接に係合させてよい。
【００１２】 特に、構成要素の少なくとも一つは、冷間鍛造、および（または）冷間圧延、
ソフトターニング、および焼入れの連続加工工程とその後のハードターニングに
より得られる表面部分、例えば、ねじのねじ山部を含んでよい。
【００１３】 別法として、構成要素、例えば、軸受軌道などの機能表面の少なくとも一つの
少なくとも一部は、表面修正のため、例えば、ラッピングにより、あるいはダイ
ヤモンド様のコーティングにより、処理してよい。
【００１４】 また、構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部は、焼結粉末材料から得て
よい。
【００１５】 さらに、構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部は、油、塩を用いる急冷
法、またはスプレー焼入れ法、またはコーティング法を用いる表面硬化により無
心焼入れまたは肌焼きを施された材料を含んでよい。
【００１６】 さらに、構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部、例えば、軌道は、高分
子またはスプレー焼入れ法を用いる誘導表面硬化により処理してよい。
【００１７】 問題の軸受は、４点接触玉軸受またはころ軸受、例えば、円筒ニードルまたは
テーパころ軸受であってよい。
【００１８】 減速歯車機構は、ねじ機構のねじまたはナットのいずれかと係合してよい。
【００１９】 この点で、ねじまたはナットは、減速歯車手段支持軸受のための（追加の）軌
道を含んでよく、前記減速歯車手段は、ねじ機構および駆動源の両方と係合する
。
【００２０】 第１の可能性によれば、ナットは、転動体軸受により、ハウジングに対して、
回動可能に支持されており、前記軸受の内輪は、ナットと単一体を形成もしくは
ナットの基準面と係合する。
【００２１】 第２の可能性によれば、ねじは、転動体軸受により、ハウジングに対して、回
動可能に支持されており、前記軸受の内輪は、ナットと単一体を形成もしくはナ
ットの基準面と係合する。
【００２２】 ハードカッティング作業により得られる構成要素に対しては、数種類の鋼を適
用してよい。これら鋼種の例としては、浸炭鋼、鍛鋼、粉末成形鋼、圧延鋼、鋳
鋼、工具鋼、鍛鋼などがある。
【００２３】 本発明はまた、前記アクチュエータは、ハウジング、原動機、作動部材および
該原動機の回転運動に応答して、該ハウジングに対する該作動部材の直線運動を
行うねじ機構を備え、前記ねじ機構は、ねじおよびナットを備え、そのうちの少
なくとも一つは、転動体軸受により、該ハウジングに対して回動可能に支持され
ており、前記転動体軸受は、内側軌道および外側軌道、並びに前記軌道ところが
り接触をする転動体を有している上記の請求項のうちのいずれか一つに記載のア
クチュエータを製造する方法にも関わる。
【００２４】 本発明によれば、前記方法は、該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例え
ば、ねじ、ナット、ケージ、カム、ローラまたはボールの表面部分、および（ま
たは）該軸受の少なくとも一つの構成要素、例えば、内側軸受輪または外側軸受
輪の表面部分を、ハードカッティング、例えば、ハードターニング、ハードミリ
ング、ハードドリリングなどにより、加工する工程を含む。
【００２５】 さらに、前記方法は、該歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分
を、ハードカッティング作業、例えば、ハードターニング、ハードミリング、ハ
ードドリリングなどにより、加工する工程を含んでよい。
【００２６】 さらに、該方法は、該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、ねじ、
ナット、ケージ、カム、ローラまたはボールの表面部分、および（または）該軸
受の少なくとも一つの構成要素、例えば、内側軸受輪または外側軸受輪の表面部
分、および（または）該減速歯車機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分を
、研削により、加工する工程を含んでよい。
【００２７】 また、該方法は、該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、ねじ、ナ
ット、またはローラの表面部分、および（または）該軸受の少なくとも一つの構
成要素、例えば、内側軸受輪または外側軸受輪の表面部分、および（または）該
歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分を、ブローチ加工により加
工する工程、および（または）少なくともねじまたはナットに、前記軸受の内側
軌道もしくは内側軸受輪の基準面を加工する工程を含んでよい。
【００２８】 ハードカッティング作業は、少なくとも二つの同時にアクティブなカッティン
グチップを有するカッティングヘッドにより、実施できる。複数のカッティング
チップを有する切削工具を適用することにより、迅速な加工作業が実施可能であ
る。
【００２９】 以下、図に示した実施例を参照して、本発明をさらに説明する。
【００３０】 図１は、ねじアクチュエータの第１の実施例の一部を示す。
【００３１】 図２は、ねじアクチュエータの第２の実施例の一部を示す。
【００３２】 図１に示したアクチュエータは、ナット１を含み、これは、軸受２により、ハ
ウジングパン３内で回動可能に支持されている。ナットは、ローラ４により、ね
じ５に係合している。ナット１を回動することにより、ねじ５は、軸方向に変位
する。ローラは、図から分かるように、ケージ３０内に収容されている。
【００３３】 本発明によれば、本アクチュエータのいくつかの表面は、ハードカッティング
作業により加工されてきた。例えば、軸受２の起動６（起動６はナット１と一体
化されている）は、ハードターニング作業により得られる。また、ねじのねじ山
部７も、ハードカッティング作業により加工される。
【００３４】 さらに、ローラ４およびナットの内ねじ山部も、この方法で得ることができる
。
【００３５】 ナットは、別の軌道８を含んでよいが、これもハードターニング作業により得
られる。この軌道８は、ニードル軸受に使用でき、例えば、減速歯車機構などの
別のアクチュエータ部品を支持するのに使える。
【００３６】 図２によるアクチュエータは、ハウジング１０を含み、これは、スラスト軸受
１１を支持している。スラスト軸受１１は、スリーブ１２を支持しており、これ
は、歯車１３に接続され、歯車１３は、歯車伝動装置、例えば、傘歯車１４によ
り駆動される。歯車１４は、軸１５により、原動機（図示せず）に接続されてい
る。
【００３７】 スリーブ１２は、ねじ１６に接続されている。このねじ１６は、歯車１３、１
４により回動可能であるが、軸方向には移動できない。
【００３８】 ねじを回動すると、ナット１７は、ローラ１８を介して、軸方向に移動する。
ナット１７は、中間スリーブ１９により、ピストン２０に接続されている。
【００３９】 ピストン２０は、外部の軸方向溝２１を有し、これは、ハウジング１０に取り
付けられた突起２２に係合している。したがって、ピストン２０、そしてそれに
よってナット１７は、軸方向に移動できるが、回動はできない。
【００４０】 図２によるアクチュエータのいくつかの表面は、ハードカッティング作業によ
り得る。図１によるアクチュエータの場合と同様、ねじ１６、ナット１７のねじ
山部、並びにローラ１８は、例えば、ハードターニングにより得てよい。また、
スリーブ１２のフランジ２４の基準面２３（この基準面２３は軸受１１の位置を
定義する）も、この方法で得られる。
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１２年５月２６日（２０００．５．２６）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】請求項１
【補正方法】変更
【補正内容】
【請求項１】 ハウジング（１、１０）、原動機、作動部材および該原動機
の回転運動に応答して、該ハウジング（１、１０）に対する該作動部材の直線運
動を行うねじ機構を備え、前記ねじ機構は、ねじ（５、１６）およびナット（１
、１７）を備え、そのうちの一つは、転動体軸受（２、１１）により、該ハウジ
ング（１、１０）に対して回動可能に支持されており、前記転動体軸受（２、１
１）は、内側軌道（６）および外側軌道、並びに前記軌道ところがり接触をして
いる転動体を有しているアクチュエータにおいて、該ねじ機構の構成要素の少な
くとも一つ、例えば、該ねじ（５、１６）、ナットまたはローラ（５、１８）、
および（または）該軸受の少なくとも一つの構成要素、例えば、該内側軌道輪ま
たは該外側軌道輪は、粉末成形鋼を含み、前記構成要素は、さらにハードカッテ
ィング作業、例えば、ハードターニング、ハードミリング、ハードドリリングな
どにより加工された表面部分を含むことを特徴とするアクチュエータ。
【手続補正書】
【提出日】平成１３年５月１８日（２００１．５．１８）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (81)指定国 ＥＰ(ＡＴ，ＢＥ，ＣＨ，ＣＹ， ＤＥ，ＤＫ，ＥＳ，ＦＩ，ＦＲ，ＧＢ，ＧＲ，ＩＥ，Ｉ Ｔ，ＬＵ，ＭＣ，ＮＬ，ＰＴ，ＳＥ)，ＯＡ(ＢＦ，ＢＪ ，ＣＦ，ＣＧ，ＣＩ，ＣＭ，ＧＡ，ＧＮ，ＧＷ，ＭＬ， ＭＲ，ＮＥ，ＳＮ，ＴＤ，ＴＧ)，ＡＰ(ＧＨ，ＧＭ，Ｋ Ｅ，ＬＳ，ＭＷ，ＳＤ，ＳＬ，ＳＺ，ＵＧ，ＺＷ)，Ｅ Ａ(ＡＭ，ＡＺ，ＢＹ，ＫＧ，ＫＺ，ＭＤ，ＲＵ，ＴＪ ，ＴＭ)，ＡＥ，ＡＬ，ＡＭ，ＡＴ，ＡＵ，ＡＺ，ＢＡ ，ＢＢ，ＢＧ，ＢＲ，ＢＹ，ＣＡ，ＣＨ，ＣＮ，ＣＵ， ＣＺ，ＤＥ，ＤＫ，ＥＥ，ＥＳ，ＦＩ，ＧＢ，ＧＤ，Ｇ Ｅ，ＧＨ，ＧＭ，ＨＲ，ＨＵ，ＩＤ，ＩＬ，ＩＮ，ＩＳ ，ＪＰ，ＫＥ，ＫＧ，ＫＰ，ＫＲ，ＫＺ，ＬＣ，ＬＫ， ＬＲ，ＬＳ，ＬＴ，ＬＵ，ＬＶ，ＭＤ，ＭＧ，ＭＫ，Ｍ Ｎ，ＭＷ，ＭＸ，ＮＯ，ＮＺ，ＰＬ，ＰＴ，ＲＯ，ＲＵ ，ＳＤ，ＳＥ，ＳＧ，ＳＩ，ＳＫ，ＳＬ，ＴＪ，ＴＭ， ＴＲ，ＴＴ，ＵＡ，ＵＧ，ＵＳ，ＵＺ，ＶＮ，ＹＵ，Ｚ Ｗ (72)発明者 ドルエ，クレア フランス共和国、エフ 73420 ドルメタ ズ クララフォンド、ルトゥ ラ カルナ ラズ 283 (72)発明者 フックス，トーマス，ビルヘルム ドイツ連邦共和国、デーイー 52066 ア ーヒエン、サリエラリー 54 (72)発明者 カッパン，ヘンドリックス，ヤン オランダ国、エヌエル 3435 ディーエム ニューベガイン、バルターホーエン ５ (72)発明者 デ，ブリーズ，アレクサンダー，ヤン，カ レル オランダ国、エヌエル 4003 カーアー ティーエル、エヌ ベートストラート 69 Ｆターム(参考） 3J062 AA60 AB21 AC07 BA11 BA31 CD02 CD22 CD23 CD45 CD54 5H607 DD08 EE31 EE52 GG08

Claims (32)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 ハウジング（１、１０）、原動機、作動部材および該原動機
    の回転運動に応答して、該ハウジング（１、１０）に対する該作動部材の直線運
    動を行うねじ機構を備え、前記ねじ機構は、ねじ（５、１６）およびナット（１
    、１７）を備え、そのうちの一つは、転動体軸受（２、１１）により、該ハウジ
    ング（１、１０）に対して回動可能に支持されており、前記転動体軸受（２、１
    １）は、内側軌道（６）および外側軌道、並びに前記軌道ところがり接触をして
    いる転動体を有しているアクチュエータにおいて、該ねじ機構の構成要素の少な
    くとも一つ、例えば、該ねじ（５、１６）、ナットまたはローラ（５、１８）、
    および（または）該軸受の少なくとも一つの構成要素、例えば、該内側軌道輪ま
    たは該外側軌道輪は、ハードカッティング作業、例えば、ハードターニング、ハ
    ードミリング、ハードドリリングなどにより加工された表面部分を含むことを特
    徴とするアクチュエータ。
  2. 【請求項２】 前記表面部分は、該ねじ機構の半径方向支持のためにあるこ
    ととする請求項１に記載のアクチュエータ。
  3. 【請求項３】 前記表面部分は、該ねじ機構の軸方向支持のためにあること
    とする請求項１または２に記載のアクチュエータ。
  4. 【請求項４】 該ねじ機構に接続された歯車減速機構を含み、該歯車減速機
    構は、ハードカッティング作業、例えば、ハードターニング、ハードミリング、
    ハードドリリングなどにより加工された表面部分を含むこととする請求項１、２
    または３に記載のアクチュエータ。
  5. 【請求項５】 該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、該ねじ、
    ナットまたはローラ、および（または）該軸受の少なくとも一つの構成要素、例
    えば、該内側軌道輪または該外側軌道輪、および（または）該歯車減速機構の少
    なくとも一つの構成要素は、研削により加工された表面部分を含むこととする上
    記の請求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  6. 【請求項６】 該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、該ねじ、
    ナットまたはローラ、および（または）該軸受の少なくとも一つの構成要素、例
    えば、該内側軸受輪または該外側軸受輪、および（または）該歯車減速機構の少
    なくとも一つの構成要素は、ブローチ加工により加工された表面部分を含むこと
    とする上記の請求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  7. 【請求項７】 該構成要素の少なくとも一つは、冷間鍛造、および（または
    ）冷間圧延、ソフトターニング、および焼入れの連続加工工程とその後のハード
    ターニングにより得られる表面部分、例えば、ねじのねじ山部、軌道、基準面ま
    たは歯を含むこととする上記の請求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエ
    ータ。
  8. 【請求項８】 該構成要素、例えば、軸受軌道などの該機能表面の少なくと
    も一つの少なくとも一部は、表面修正のため、例えば、ラッピングにより、ある
    いはダイヤモンド様のコーティングにより、処理されていることとする上記の請
    求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  9. 【請求項９】 該構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部は、金属また
    は非金属材料または焼結粉末材料から得ることとする上記の請求項のうちのいず
    れか一つに記載のアクチュエータ。
  10. 【請求項１０】 該構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部は、油、塩
    を用いる急冷法、またはスプレー焼入れ法、またはコーティング法を用いる表面
    硬化により無心焼入れまたは肌焼きを施された材料を含むこととする上記の請求
    項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  11. 【請求項１１】 該構成要素の少なくとも一つの少なくとも一部、例えば、
    該軸受軌道は、高分子、ガスまたはスプレー焼入れ法を用いる誘導表面硬化によ
    り処理されることとする上記の請求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエ
    ータ。
  12. 【請求項１２】 前記軸受の内側軌道、もしくは前記内側軌道を含む内側軸
    受輪との係合のための基準面は、該ナットまたはねじと一体化されていることと
    する上記の請求項のうちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  13. 【請求項１３】 該ナットは、転動体軸受により、該ハウジング（４）に対
    して、回動可能に支持されており、前記軸受の内輪は、該ナットと単一体を形成
    もしくは該ナットの基準面と係合することとする請求項１２に記載のアクチュエ
    ータ。
  14. 【請求項１４】 該ねじは、転動体軸受により、該ハウジング（４）に対し
    て、回動可能に支持されており、前記軸受の内輪は、該ナットと単一体を形成も
    しくは該ナットの基準面と係合することとする請求項１２または１３に記載のア
    クチュエータ。
  15. 【請求項１５】 該内輪および（または）該外輪は、シールまたはシールド
    を取り付けるための溝を含む上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアクチュ
    エータ。
  16. 【請求項１６】 該ナットまたはねじは、駆動源との直接的なまたは間接的
    な係合のために、駆動手段、例えば、キー溝、スプライン、歯車または歯を含む
    こととする上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  17. 【請求項１７】 該軸受は、玉軸受、例えば、４転接触玉軸受、またはテー
    パころ軸受、例えば、ニードルころ軸受、円筒軸受またはテーパころ軸受である
    こととする上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  18. 【請求項１８】 該ねじ機構は、該ねじまたはナットと係合する減速歯車機
    構を介して駆動されることとする上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアク
    チュエータ。
  19. 【請求項１９】 該ねじまたはナットは、減速歯車手段支持軸受のための（
    追加の）軌道を含み、前記減速歯車手段は、該ねじ機構および駆動源の両方と係
    合することとする上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  20. 【請求項２０】 該ねじ機構は、ボールねじまたはローラねじを含むことと
    する上記の請求項うちのいずれか一つに記載のアクチュエータ。
  21. 【請求項２１】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、浸炭鋼を含むこととする上記の請求項うちのいず
    れか一つに記載のアクチュエータ。
  22. 【請求項２２】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、鍛鋼を含むこととする上記の請求項うちのいずれ
    か一つに記載のアクチュエータ。
  23. 【請求項２３】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、粉末成形鋼を含むこととする上記の請求項うちの
    いずれか一つに記載のアクチュエータ。
  24. 【請求項２４】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、圧延鋼を含むこととする上記の請求項うちのいず
    れか一つに記載のアクチュエータ。
  25. 【請求項２５】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、鋳鋼を含むこととする上記の請求項うちのいずれ
    か一つに記載のアクチュエータ。
  26. 【請求項２６】 該ねじ機構の構成要素の少なくとも一つ、および（または
    ）該軸受の少なくとも一つは、工具鋼を含むこととする上記の請求項うちのいず
    れか一つに記載のアクチュエータ。
  27. 【請求項２７】 前記アクチュエータは、ハウジング、原動機、作動部材お
    よび該原動機の回転運動に応答して、該ハウジングに対する該作動部材の直線運
    動を行うねじ機構を備え、前記ねじ機構は、ねじおよびナットを備え、そのうち
    の少なくとも一つは、転動体軸受により、該ハウジングに対して回動可能に支持
    されており、前記転動体軸受は、内側軌道および外側軌道、並びに前記軌道とこ
    ろがり接触をする転動体を有している上記の請求項のうちのいずれか一つに記載
    のアクチュエータを製造する方法において、該ねじ機構の少なくともひとつの構
    成要素、例えば、該ねじ、ナット、ケージ、カム、ころまたは玉の表面部分、お
    よび（または）該軸受の少なくともひとつの構成要素、例えば、該内側軸受輪ま
    たは該外側軸受輪の表面部分を、ハードカッティング作業、例えば、ハードター
    ニング、ハードミリング、ハードドリリングなどにより、加工する工程を特徴と
    するアクチュエータ製造方法。
  28. 【請求項２８】 該歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分を
    、ハードカッティング作業、例えば、ハードターニング、ハードミリング、ハー
    ドドリリングなどにより、加工する工程を含むこととする請求項４に記載のアク
    チュエータを加工するための請求項２７に記載の方法。
  29. 【請求項２９】 該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、該ねじ
    、ナット、ケージ、カム、ころまたは玉の表面部分、および（または）該軸受の
    少なくとも一つの構成要素、例えば、該内側軸受輪または該外側軸受輪の表面部
    分、および（または）該歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分を
    、研削により加工する工程を含むこととする請求項２７または２８に記載の方法
    。
  30. 【請求項３０】 該ねじ機構の少なくとも一つの構成要素、例えば、該ねじ
    、ナットまたはころの表面部分、および（または）該軸受の少なくとも一つの構
    成要素、例えば、該内側軸受輪または該外側軸受輪の表面部分、および（または
    ）該歯車減速機構の少なくとも一つの構成要素の表面部分を、ブローチ加工によ
    り加工する工程を含むこととする請求項２７乃至２９のいずれか一つに記載の方
    法。
  31. 【請求項３１】 前記軸受の内側軌道、もしくは内側軸受輪の基準面を、少
    なくとも該ねじまたはナットに加工する工程を含むこととする請求項２７乃至３
    ０のいずれか一つに記載の方法。
  32. 【請求項３２】 ハードカッティング作業は、少なくとも二つの同時にアク
    ティブなカッティングチップを有するカッティングヘッドにより、実施されるこ
    ととする請求項１７乃至３１のいずれか一つに記載の方法。
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