JP2002502032A - アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の測定法 - Google Patents

アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の測定法

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Abstract

(57)【要約】 本発明は、アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の濃度を正確に測定するための方法に関する。この方法は、界面活性剤を有機溶剤中に抽出し、この溶剤を分離しそして定量的に測定できる有色の錯体を形成して、界面活性剤の実際の濃度を得ることを含んでなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【背景】
本発明は、アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の濃度を測定するため
の効果的でかつ正確な方法に関する。現像剤などのアルカリ性水溶液は、像形成
プロセス、特に集積回路の作製の際の像形成プロセスにおいて化学剤成分として
フォトリソグラフに広く使用されている。現像剤はフォトレジストと相互作用し
て、基体上に像を描画する。これらの現像剤は、塩基の水溶液、または時折、塩
基と界面活性剤との水溶液からなる。界面活性剤、特に非イオン性界面活性剤は
、現像剤中において多くの場合に望ましい。なぜならば、これらは、現像剤水性
相とフォトレジスト膜との間に或る程度の湿潤性を与え、また更に、フォトレジ
ストのリソグラフ性を向上させ得るからである。界面活性剤の化学組成及び濃度
は、現像剤の有効性並びに現像された像の品質及び再現性に決定的な要因である
。それゆえ、現像剤中の非イオン性界面活性剤の濃度を正確に測定し得る分析方
法を備えることが重要である。
【０００２】 フォトレジストは当業者には周知である。一般的に言えば、これらは、光に対
して感応性であって、それによってそれらにパターンを形成し得るようでなけれ
ばならず、かつ次のエッチングまたは他の加工処理に対して選択的に耐え、それ
によって上記パターンをその下の基体に転写し得るようでなけらばならない。現
在、集積回路製造において主に使用されているフォトレジストシステムは、ノボ
ラックとジアゾナフトキノンとのコンビネーションである。ポジ型フォトレジス
トに使用される部類のジアゾナフトキノンは、典型的には、ナフトキノンジアジ
ドスルホニルクロライドとフェノール化合物との反応によって生成される。この
ように生じた反応生成物は、ナフトキノン(1,2) ジアジド(5)-スルホニル、ナフ
トキノン(1,2) ジアジド(4)-スルホニル、ナフトキノン(2,1) ジアジド(5)-スル
ホニルもしくはナフトキノン(2,1) ジアジド4-スルホニル基またはこれらの複数
種のものを含み得る。もちろん、こうして合成されたスルホネートエステルは、
いかなる適当なフェノール化合物の残基も含み得る。これらのジアジドは、有機
溶剤中には可溶であるが、水中には大して溶解しない相当に非極性の有機分子で
ある。露光すると、ジアゾナフトキノン系光活性化合物は、当業者に公知のメカ
ニズムにより塩基に可溶性の極性カルボン酸を生成する。それゆえ、現像剤とし
て水性塩基を用いると、露光された光活性化合物は比較的可溶性であり、一方、
露光されていない光活性化合物は比較的不溶性である。これが、像形成の基本と
なる溶解度の差を発生させる。
【０００３】 しかし、光活性化合物の溶解性を変化させるだけでは十分ではなく、もっと適
切に言えば、フォトレジスト混合物全体が、その溶解性を変化させなければなら
ない。それゆえ、吸収スペクトルについてであるが、光活性（感光性）化合物と
バインダー樹脂との相互作用も考慮すべき重要な事柄である。応じて、ポジ型フ
ォトレジスト組成物は、一般的に、ノボラックの部類のフェノール- ホルムアル
デヒド樹脂または時折、ポリ(4- ヒドロキシスチレン）などのヒドロキシスチレ
ン系ポリマーを含む。スチレン、メチルスチレン、スチレン- 無水マレイン酸成
分を含む他のポリマー性成分も上記のものとの組み合わせで使用することができ
る。ポジ型フォトレジストに関する更なる一般的情報については、米国特許第4,
732,836 号及び同第4,863,827 号を参照されたい。なお、これらの特許文献の内
容は、引用によってここに掲載されたものとする。
【０００４】 現像は、集積回路製造プロセスの重要な場面の一つなので、現像剤組成及び現
像剤プロセスの選択はフォトレジストの像形成においてかなりの重要性を占める
。様々な種類の界面活性剤を含む現像剤は当業界において公知であり、界面活性
剤は、現像プロセスにある種の望ましい特性、例えば湿潤性、像形成プロセス後
の基体の清潔さ、フォトレジストのリソグラフ性の向上などを与えるために使用
される。現像剤中に使用される界面活性剤の特定のタイプの一つは、非イオン性
のもの、特にエチレンオキシドとプロピレンオキシドとのブロックコポリマーで
ある。他の非イオン性界面活性剤、例えばエトキシル化されたアルコール、エト
キシル化されたアルキルフェノール及びフッ素化されたポリマーも使用し得る。
Schwalm らの米国特許第5,039,595 号には、塩基として複素環式ヒドロキシアル
キル化合物を含む他の水性現像剤が記載されている。なお、この特許文献の内容
は、引用することによってここに掲載されたものとする。この'595号特許には、
ノニルフェノキシポリ（エチレンオキシ）エタノール、オクチルフェノキシポリ
（エチレンオキシ）エタノールまたは市販のフッ素化された界面活性剤が使用し
得ることが書き記されている（第４欄、第45〜51行）。
【０００５】 界面活性剤の化学組成ばかりでなく、その濃度もフォトレジストの現像プロセ
スに影響を及ぼす。それゆえ、非イオン性界面活性剤の濃度を監視し及びこれを
顧客の指定範囲内で一貫して製品化できることが重要である。本願は、水性アル
カリ性現像剤中の非イオン性界面活性剤を正確に単離し及び定量する新規方法に
関する。
【０００６】 非イオン性ポリマーを単離及び分光光度分析するための方法、特にポリエーテ
ル結合に対するコバルト化合物の錯体形成能に基づく方法が公知である。硝酸コ
バルトとチオシアン酸アンモニウムとの溶液（本書において、チオシアン酸コバ
ルト溶液と称する）を界面活性剤に添加すると、分光光度分析により監視できる
有色染料が形成する。まさにフォトリソグラフで使用される現像剤に該当するこ
とであるが、非イオン性ポリエーテル系界面活性剤がアルカリ溶液中に存在する
場合はこれらの方法が機能しないことが本発明者により確認された。従来技術、
具体的にはBASFプロシジャー(BASF Procedure)(07054 ニュージャージー州、パ
ーシッパニー、チェリーヒルロード 100)、“水及び排水検査の標準的方法(Sta
ndard methods for examination of water and wastewater)”(20005 ワシント
ンディーシー、フィフティーンス St. NW, 1015、アメリカン・パブリック・
ヘルス・アソシエーション、セクション 5540B&D) 及び“試験的生分解及び環境
調査における非イオン性界面活性剤の分析方法(Analytical method for nonioni
c surfactants in laboratory biodegradation and environmental studies) ”
( エンビロンメンタル・サイエンス・アンド・テクノロジー, ボリューム11, 11
67, 1997) は、サブレーション(sublation) することによって溶液から界面活性
剤を固形の形で単離し、次いでこれを有機溶剤中に再溶解し、そして次いで分光
光度分析により分析することができるコバルト錯体を形成させることを推奨して
いる。この方法は、窒素のバブリング(nitrogen bubbling) 、乳酸エチル中への
界面活性剤の収集、界面活性剤の蒸発乾固及び塩化メチレン中への界面活性剤の
溶解からなる多数の段階を含み、煩雑である。各々の段階は、潜在的に、測定誤
差を大きくする可能性を持つ。更に、特に現像剤中に界面活性剤が少量でしか存
在しない場合は、確実に定量できる程の量の固体の界面活性剤を得るためには多
量の現像剤を使用しなければならない。それゆえ、製造品質管理の観点から、各
段階の簡素化及びその数の最小化を必須要件として有する方法が極めて望ましい
。参考文献“分離したラット肝臓潅流システムで測定されたPluronic F-68 の測
色分析(Colorimetric assay for Pluronic F-68 as measured in isolated rat
liver perfusion systems)”( アナリティカル・ケミストリー、ボリューム187,
54, 1990)は、PluronicF68 界面活性剤の水溶液を乾燥してこの界面活性剤を得
、水中に溶解し、この界面活性剤のコバルト錯体を形成させ、乳酸エチルを添加
しそして析出した染料をアセトン中に溶解し、次いでこの染料を分光光度分析に
より分析してこの界面活性剤の濃度を得る分析方法を開示している。この方法も
また、数多くの段階、特に固体界面活性剤の単離という望ましくない段階を含み
しかも高まった誤差発生傾向を本質的に有する技術である。更に、この技術は、
アルカリ性溶液には適当でないことが確認された、チオシアン酸コバルトを水溶
液に添加することを推奨している。
【０００７】 従来技術により提案された長たらしい手順のゆえに、新しい簡単な方法が開発
された。よって、本願は、アルカリ性水溶液から非イオン性ポリマーを抽出しそ
してこれを定量するための効果的でかつ再現性のある方法を開示するものである
。
【０００８】 ［要約］ 本発明の課題は、正確で定量的な測定値を与え、かつ煩雑さが最小限に抑えら
れているため精度が高くしかも費用効果性が高い、アルカリ性水溶液中の非イオ
ン性界面活性剤の濃度レベルを測定するための方法を提供することである。
【０００９】 本発明は、以下の段階、つまり a) アルカリ性水溶液に有機溶剤を加え、そしてこのアルカリ性水溶液から非イ オン性界面活性剤を有機溶剤中に抽出し、 b) 非イオン性界面活性剤を含む有機相を分離し、 c) 錯化剤の溶液を上記有機相に加え、そしてこの錯化剤と非イオン性界面活性 剤とが完全に反応して有色の染料を形成するのに十分な時間これを保持し、 d) この有色の染料の吸光性を測定し、それによって上記アルカリ性水溶液中の 非イオン性界面活性剤の量を測定する、 ことを含む、アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の量を測定する新規方
法に関する。
【００１０】 本発明では、好ましくは、有機溶剤としては塩化メチレンを、錯化剤としては
チオシアン酸コバルトを使用する。チオシアン酸コバルトと界面活性剤との付加
物形成のための保持時間は、好ましくは、30分よりも長い。
【００１１】
【詳細な説明】
本発明は、アルカリ性水溶液、特に現像剤中の非イオン性界面活性剤の濃度を
測定する方法に関する。リソグラフに使用される現像剤は、典型的には、テトラ
アルキルアンモニウムヒドロキシド、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム及びこ
れらの類似物などの塩基の水溶液を含む。界面活性剤は、現像剤に有用な特性、
例えば湿潤性、現像後の基体の清潔さ及びフォトレジストのリソグラフ特性の向
上などを与えるため、多くの種類の界面活性剤が現像剤に添加されている。非イ
オン性界面活性剤は、低発泡性であり、良好な冷水溶解性を持ち、また臨界ミセ
ル濃度が低いことが知られており、そのため特に有用なものであるこが判明して
いる。特に有用なものは、エチレンオキシドとプロピレンオキシドとのコポリマ
ー、フッ素化された界面活性剤、エトキシル化された界面活性剤並びにシロキサ
ン系界面活性剤である。現像剤の望ましい性質を維持するためには界面活性剤の
濃度を特定の範囲に保たなければならないことも判明しており、アルカリ性溶液
中の界面活性剤の濃度を正確に測定するための新規方法が開発されたのはこの理
由のためである。
【００１２】 界面活性剤含有現像剤にチオシアン酸コバルト溶液を直接添加すると、現像剤
の強い塩基性条件のために、析出物が生じ、この析出物は定量的に分析すること
ができないことが実験を通じて判明している。バブリングまたは蒸発処理によっ
て現像剤から界面活性剤を固形の形で単離することは、これらの方法に固有の困
難性、特に界面活性剤の濃度が低いということから実行可能なものとは考えられ
なかった。本発明の新規方法はより簡単な方法であり、有機溶剤を添加し、界面
活性剤を有機相中に抽出し、水性相を除去し、上記有機相にチオシアン酸コバル
ト溶液を直接添加し、そして生じた染料の吸光性を測定し、それによって界面活
性剤の濃度を計算することを含むものである。界面活性剤がコバルト化合物と錯
体を形成することによって明るい色の染料が生じ、これを定量的に分析して、界
面活性剤の実際の濃度を得ることができる。典型的には、アルカリ性水溶液中に
既知の濃度で同じ界面活性剤を含む標準液を、濃度を測定する必要があるサンプ
ルと一緒に試験に付し、そして較正曲線(calibration curve) により、上記未知
サンプル中の界面活性剤の正確な濃度が決定される。非イオン性界面活性剤と有
色の錯体を形成し得るという条件で、チオシアン酸コバルト以外の錯化剤を使用
してもよく、これも本発明の範囲に含まれる。他のコバルト塩または他の遷移金
属の塩も使用し得る。
【００１３】 較正用サンプルは、脱イオン水と塩基から調製した水性アルカリ性現像剤中に
既知の量の界面活性剤を添加することによって調製される。塩基は水酸化ナトリ
ウムまたはカリウムでもよいが、好ましくはテトラメチルアンモニウムヒドロキ
シドまたはコリンである。現像剤中の塩基の濃度は、典型的には、１重量％〜５
重量％、好ましくは２〜３重量％である。較正用サンプルは、好ましくは、未知
サンプルの範囲内の量で界面活性剤を含む。例えば、未知サンプルが、推定して
200ppmの濃度で界面活性剤を含む場合は、標準液は０〜2500ppm の量で界面活性
剤を含んでいてもよい。
【００１４】 多くの場合に、塩化ナトリウムまたは塩化カリウムの様な塩を、有機溶剤の添
加の前のサンプルに加える。この塩は、界面活性剤の発泡力を低め、界面活性剤
の単離をより簡単にすることが知られており、この目的に公知のいかなる塩でも
使用することができる。この塩が溶解したら、有機溶剤を溶液に添加して界面活
性剤を抽出する。抽出を少回数繰り返すこと、好ましくは三回抽出を繰り返すこ
とが良好な結果を与えることがわかった。ただし、抽出の回数は、使用する界面
活性剤のタイプ及び溶剤の量によって決定される。使用し得る溶剤は、水性相か
ら界面活性剤を抽出するのに有効で、かつ水性相と混合しない溶剤である。有効
であることがわかった特定の溶剤の一つは塩化メチレンであるが、キシレン、ト
ルエン及びブチルアセテートの様な他の溶剤も使用し得る。
【００１５】 有機相への界面活性剤の抽出が完了したら、水性相を除去し、そして得られた
各抽出液を一緒にする。この抽出液には、次いでチオシアン酸コバルト水溶液を
添加する。チオシアン酸コバルトを添加する前の塩基性水溶液の除去は、コバル
ト- 界面活性剤染料の形成が妨害されることを阻止する。予期できないことには
、チオシアン酸コバルト溶液の添加から染料の吸光度の測定までの間の時間が、
試験の正確さに重要であることが判明した。得られたデータは、安定した吸光度
の読みが達成されるようになるまでには、最短で30分、好ましくは１〜２時間の
保持時間が必要であることを示した。
【００１６】 紫外光分光光度計が、染料錯体の吸光度を──好ましくはその最大ピークにお
いて──測定するために使用される。このコバルト錯体は、約318nm または約62
0nm に吸収ピークを与える。各標準サンプルの吸光度に対する濃度のプロットか
ら較正曲線が得られる。このプロットは、次いで、未知の界面活性剤濃度を有す
るサンプルの正確な濃度を得るために使用することができる。
【００１７】 以下の具体例は、本発明の組成物を製造及び使用する方法の詳細な例示を与え
るであろう。しかし、これらの例は、本発明の範囲をいかようにも限定もしくは
減縮することを意図したものではなく、本発明を実施するのに排他的に使用しな
ければならない条件、パラメータまたは値を与えるものと解釈するべきではない
。
【００１８】
【実施例】例１（比較例） 脱イオン水(DI 水) 中1000ppm のNoigen EP120A 界面活性剤５ml（日本国、〒
600 京都市下京区塩小路通烏丸西入ル、新京都センタービル７階在の第一工業製
薬株式会社から入手できる）及びAZ(R) 300 MIF 現像剤50ml（08876 ニュージャ
ージー州、サマービル、マイスター通り70在のクラリアントコーポレーション、
AZ(R) エレクトロニック・マテリアルズから入手できる、テトラメチルアンモニ
ウムヒドロキシド水溶液）及び脱イオン水50mlからなる溶液を、250ml 分液漏斗
中で調製した。
【００１９】 上記250ml 分液漏斗中で塩化ナトリウム20ｇを溶解した。水100ml 中でチオシ
アン酸アンモニウム208 ｇと硝酸コバルト六水和物93ｇとを組み合わせることに
よって調製したチオシアン酸コバルト溶液10mlをこの漏斗に添加した。析出物が
直ぐさま生じ、これにより次の分析が不正確になり、この方法は失敗に終わった
。例２ Tetronic(R) 701 界面活性剤100mg （07054 ニュージャージー州、パーシッパ
ニー、チェリーヒルロード100 在のBASFコーポレーションから入手できる）及び
脱イオン水(DI 水)100mlからなる原料溶液を調製した。三つの較正用サンプルを
、上記原料溶液0.5ml 、2.5ml 、５ml用いて作製し、そしてAZ(R) 300MIF現像剤
50ml（08876 ニュージャージー州、サマービル、マイスター通り70在のクラリ
アントコーポレーション、AZ(R) エレクトロニック・マテリアルズから入手でき
る、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド水溶液）及び脱イオン水50mlで希釈
して250ml 分液漏斗に添加した。
【００２０】 各々の分液漏斗で塩化ナトリウム20ｇを溶解させた。塩化メチレン10mlを漏斗
に添加することによって、各々の溶液から界面活性剤を抽出し、振盪し、次いで
塩化メチレンを分離し25mlフラスコ中に入れた。これを、更に別の10mlの塩化メ
チレン、次いで更に５mlの塩化メチレンを用いて繰り返した。全ての塩化メチレ
ンを上記25mlフラスコに集めそしてこのフラスコを塩化メチレンで25mlの目盛り
まで満たした。この抽出手順を全てのサンプルについて繰り返した。水100ml 中
でチオシアン酸アンモニウム208 ｇと硝酸コバルト六水和物93ｇとを組み合わせ
ることによって調製したチオシアン酸コバルト溶液１mlを各々のフラスコに添加
した。これらの溶液を30分間放置したところ、溶液が色づいた。上部の水性相を
除去し、そして各々の溶液を２時間放置した。これらの全てサンプルの吸光性を
紫外光分光計を用いて620nm で測定した。標準サンプルの吸光性をプロットし、
そしてａを計算した。一般的に、0.8 よりも大きい相関係数が、濃度と吸光性と
の間の良好な関係を示し、界面活性剤サンプルの未知濃度を決定するのに使用で
きる。
【００２１】 この手順を他の非イオン性界面活性剤を用いて繰り返した。様々な界面活性剤
の結果を表１に示す。良好な相関係数を示すデータは、本発明の新規試験方法が
、アルカリ性水溶液中の界面活性剤濃度を正確に分析するために使用できること
を示している。
【００２２】
【表１】 Pluronic(R) 及びTetronic(R) は、07054 ニュージャージー州、パーシッパニ
ー、チェリーヒルロード100 在のBASFコーポレーションの商標である。 Macol (R) は、60031 イリノイ州、ガーニー、ポレットDr.3938 在のPPG インダ
ストリーズの商標である。 Fluorad FC-170C は、55144 ミネソタ州、セント・ポール223 、３Ｍセンタービ
ル在の３Ｍカンパニーから購入した。 Surfynol(R) は、18195 ペンシルベニア州、アーレンタウン、ハミルトンブール
バード7201在のエアープロダクツ・アンド・ケミカル・コーポレーションの商標
である。 Hodag は、60076 イリノイ州、スコッキー、ノース・セントラル・パーク・アベ
ニュー7247在のカルゲン・ケミカル・コーポレーションから購入した。 Emery 6706は、45232 オハイオ州、シンシナティー、エステクリークドライブ
、5051在のヘンケルコーポレーションから購入した。 Noigen EP-120Aは、日本国、〒600 、京都市下京区塩小路通烏丸西入ル、新京都
センタービル７階在の第一工業製薬株式会社から購入した。例３ AZ(R) 300MIF現像剤中のTetronic(R) 701 界面活性剤の未知濃度を測定するた
めに実験を行った。AZ(R) 300MIF現像剤50mlに、脱イオン水中1000ppm のTetron
ic(R) 701 界面活性剤の溶液約3.75mlを添加した。この実験は、前記の較正用サ
ンプル及び追加の未知サンプルを用いて例２に記載のように行った。結果を以下
の表２に示す。
【００２３】
【表２】
【手続補正書】特許協力条約第３４条補正の翻訳文提出書
【提出日】平成１１年１２月２３日（１９９９．１２．２３）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 コンザレズ・エリエイザ・ビー アメリカ合衆国、ニュージャージー州 07003、ブルームフィールド、ジョージ・ ストリート、80 (72)発明者 ランクエ・ピラーツィタ・エル アメリカ合衆国、ニュージャージー州 08822、フレミントン、ハート・ブールバ ード、73 (72)発明者 カリンダス・マリア・エフ・ワイ アメリカ合衆国、ニュージャージー州 08901、ニュー・ブランスビック、ストッ クトン・ロード、24 Ｆターム(参考） 2G042 AA01 BD18 CA02 CB03 DA06 EA03 FA06 FB02

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 以下の段階、すなわち a) アルカリ性水溶液に有機溶剤を加え、そしてこのアルカリ性水溶液から非イ オン性界面活性剤を上記有機溶剤中に抽出し、 b) 上記非イオン性界面活性剤を含む有機相を分離し、 c) この有機相に錯化剤の溶液を加え、そしてこの錯化剤が非イオン性界面活性 剤と完全に反応して有色の染料を形成するのに十分な時間これを保持し、 d) この有色の染料の吸光性を測定し、これによって上記アルカリ性水溶液中の 非イオン性界面活性剤の量を測定する、 ことを含む、アルカリ性水溶液中の非イオン性界面活性剤の量を測定する方法。
  2. 【請求項２】 錯化剤が、チオシアン酸コバルトの溶液である、請求項１の
    方法。
  3. 【請求項３】 チオシアン酸コバルトが、水中でチオシアン酸アンモニウム
    と硝酸コバルト六水和物とを混合することによって形成されるものである、請求
    項２の方法。
  4. 【請求項４】 有機溶剤を添加する前に、アルカリ性水溶液に塩を添加する
    、請求項１の方法。
  5. 【請求項５】 塩が、塩化ナトリウム及び塩化カリウムから選択される、請
    求項１の方法。
  6. 【請求項６】 アルカリ性水溶液が、非イオン性界面活性剤、水、及びテト
    ラアルキルアンモニウムヒドロキシド、コリン、水酸化ナトリウム及び水酸化カ
    リウムから選択されるアルカリを含む、請求項１の方法。
  7. 【請求項７】 有機溶剤が、塩化メチレン、トルエン及びキシレンから選択
    される、請求項１の方法。
  8. 【請求項８】 保持時間が30分より長い、請求項１の方法。
  9. 【請求項９】 界面活性剤がポリエーテル系界面活性剤である、請求項１の
    方法。
  10. 【請求項１０】 界面活性剤が、エチレンオキシドとプロピレンオキシドと
    のコポリマー、エトキシル化された界面活性剤、フッ素化されたポリオキシエチ
    レン系界面活性剤、ポリエーテルシロキサン系界面活性剤である、請求項１の方
    法。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011179887A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Sumika Enviro-Science Co Ltd 工業用薬剤の簡易濃度測定試薬および濃度測定方法

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW558736B (en) * 2000-02-26 2003-10-21 Shipley Co Llc Method of reducing defects
WO2002086492A1 (fr) * 2001-04-17 2002-10-31 Chugai Seiyaku Kabushiki Kaisha Procede de quantification de tensioactif
US9683935B2 (en) * 2012-06-18 2017-06-20 Nalco Company Method to measure surfactant in fluid
CN103048319B (zh) * 2012-12-21 2015-02-18 上海景峰制药股份有限公司 一种玻璃酸钠生产过程中消毒残留十六烷基三甲基氯化铵的检测方法
CN107976512A (zh) * 2016-12-14 2018-05-01 广西强荣实业有限公司 一种无机粉体水性样品活化率测试装置及方法
CN107991256B (zh) * 2018-01-24 2020-12-22 中国海洋石油集团有限公司 一种原油组分与驱油用表面活性剂相互作用的测定方法
US11761874B2 (en) 2020-05-15 2023-09-19 Saudi Arabian Oil Company CMC-based method for surfactant concentration determination

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE2435759A1 (de) * 1974-07-25 1976-02-12 Merck Patent Gmbh Verfahren und mittel zur bestimmung nichtionischer tenside
US4602963A (en) * 1985-01-07 1986-07-29 Surface Treatments, Inc. Method for metal cleaning
US4732836A (en) * 1986-05-02 1988-03-22 Hoechst Celanese Corporation Novel mixed ester O-quinone photosensitizers
US4863827A (en) * 1986-10-20 1989-09-05 American Hoechst Corporation Postive working multi-level photoresist
SU1555653A1 (ru) * 1988-02-29 1990-04-07 Предприятие П/Я В-8873 Способ определени полиэтиленгликолей в оксиэтилированных алкилфенолах
DE3827567A1 (de) * 1988-08-13 1990-02-22 Basf Ag Waessrige entwicklerloesung fuer positiv arbeitende photoresists
SU1675747A1 (ru) * 1989-07-06 1991-09-07 Ленинградский горный институт им.Г.В.Плеханова Способ определени неионогенных поверхностно-активных веществ

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2011179887A (ja) * 2010-02-26 2011-09-15 Sumika Enviro-Science Co Ltd 工業用薬剤の簡易濃度測定試薬および濃度測定方法

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