JP2002370367A

JP2002370367A - 液体吐出ヘッドの製造方法およびその製造方法による液体吐出ヘッド

Info

Publication number: JP2002370367A
Application number: JP2001185054A
Authority: JP
Inventors: Hiroaki Mihara; 弘明三原; Toshio Kashino; 俊雄樫野; Shuji Koyama; 修司小山
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 2001-06-19
Filing date: 2001-06-19
Publication date: 2002-12-24

Abstract

(57)【要約】【課題】バンプ上に接着剤が付かない、安定して高品
質な液体吐出ヘッドの製造方法およびその製造方法によ
る液体吐出ヘッドを提供する。【解決手段】複数の基板を有するウェハ状態の素子基
板上で、流路壁と、前記流路壁と同材質の塀とを、同時
に形成する工程と、バンプを配する工程と、複数の基板
を有するウェハ状態の天板基板上で、液室及び供給口を
形成する工程と、前記素子基板上に形成された流路壁上
に接着剤を塗布する工程と、塗布された接着剤をＢステ
ージ化する工程と、前記素子基板と前記天板基板をアラ
イメントする工程と、アライメントされた素子基板と天
板基板を接合し、接着剤を硬化させる工程と、接合され
た前記ウェハ状態の素子基板と天板基板とを、切断ライ
ンに沿って同時に切断し、個別チップ部品に切り分ける
工程と、前記バンプに配線基板を接合させる工程と、を
有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体を噴射し飛翔
液滴を形成して記録を行う液体吐出ヘッドの製造方法お
よびその製造方法による液体吐出ヘッドに関するもので
ある。

【０００２】また本発明は紙、糸、繊維、布帛、皮革、
金属、プラスチック、ガラス、木材、セラミックス等の
被記録媒体に対し記録を行う、プリンタ、複写機、通信
システムを有するファクシミリ、プリンタ部を有するワ
ードプロセッサ等の装置、さらには各種処理装置と複合
的に組み合わせた産業記録装置に適用できる発明であ
る。

【０００３】なお、本発明における、「記録」とは、文
字や図形等の意味を持つ画像を被記録媒体に対して付与
することだけでなく、パターン等の意味を持たない画像
を付与することも意味する。

【０００４】

【従来の技術】従来より、液体吐出ヘッドのオリフィス
から記録液（インク）を吐出することにより記録を行う
インクジェット記録装置が、低騒音、高速記録などの点
で優れた記録装置として知られている。

【０００５】このインクジェット記録法については、こ
れまでにもさまざまな方式が提案され改良が加えられて
商品化されたものもあれば現在実用化への努力が続けら
れているものもある。

【０００６】この種の液体吐出ヘッドの一例を図７、
８、９に示す。

【０００７】１は素子基板（以下ヒーターボード）、２
は、ヒーターボード１に備えられ、吐出するために利用
されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子（以下
ヒータ）、３は天板基板、４は流路、５は流路４に連通
したインクを吐出するための吐出口、６は、吐出口５を
有し、天板基板３と一体となって形成されているオリフ
ィスプレート、７は流路４に液体を供給するための液
室、１０はヒーターボード１によって発生した熱を放熱
するための放熱基板、１１はバンプ、１２はプリンタ本
体からの電気信号を受信するための配線基板、１３はバ
ンプ１１と配線基板１２を繋ぐためのリード、１７は天
板基板３とヒーターボード１を接合させるバネである。

【０００８】上記構成の液体吐出ヘッドは、シリコンウ
ェハ上にパターニングされたヒーターボード１の各々に
バンプｌｌを形成した後、各々に切断する。そして、配
線基板１２を接続し、ヒーターボード１へ放熱基板１０
を接合して、ヒーターボード１への天板基板接合を行っ
た後、バネ１７をかける。

【０００９】天板基板３をヒーターボード１に接合する
ためにバネ１７を用いる場合、天板基板３の材料として
は変形し易く、ヒーターボード１への密着が良好と思わ
れる樹脂材料等が用いられていた。

【００１０】天板基板３の材料としては、ポリサルフォ
ン、ポリエーテルサルフォン、ポリフェニレンオキサイ
ド、ポリフェニレンサルファイド、ポリプロピレンなど
の樹脂材料などが用いられていた。

【００１１】また、バネ１７の材料としては、ＳＵＳ等
の金属材料等が用いられていた。

【００１２】上記構成の液体吐出ヘッドは、現在市場で
求められているスペックを十分満足し得る。

【００１３】しかし近い将来、市場において液体吐出ヘ
ッドは、更なる高速、高精細な記録を実現するため、ノ
ズル数を増やして高速対応を、ノズルピッチを小さくし
て高精細印刷を、することを求められると予想される。
このように、ノズル数が増え、ノズルピッチが小さくな
った場合、バネによって天板基板３とヒーターボード１
を接合させる上記構成においては、全ての流路４を完全
に密着させることは難しくなる。

【００１４】このため、全ての流路壁１４上に接着剤を
塗布し、天板基板を接合する構成を用いれば、容易にヒ
ーターボード１と天板基板３を密着させることが可能で
ある。

【００１５】流路壁１４上への接着剤の塗布方法として
は、接着剤が均一に塗布された樹脂シートを流路壁１４
にのせて、上から加圧することで樹脂シートの接着剤を
流路壁１４上に転写される方法が考えられる。この加圧
の際、加熱を加えても良い。

【００１６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、流路壁
１４上に接着剤を転写する際、ヒーターボード１上に既
にバンプ１１が存在していたならば、そのバンプ１１に
も接着剤がついてしまう。

【００１７】本発明は、以上のような点にかんがみてな
されたもので、その目的とする処は、前記バンプの近傍
に前記流路壁と同材質の塀を設けることにより、バンプ
上に接着剤が付かない、安定して高品質な液体吐出ヘッ
ドの製造方法およびその製造方法による液体吐出ヘッド
を提供することにある。

【００１８】

【課題を解決するための手段】このため、本発明におい
ては、下記の各項（１）〜（１５）のいずれかに示す液
体吐出ヘッドの製造方法または液体吐出ヘッドを提供す
ることにより、前記目的を達成しようとするものであ
る。

【００１９】（１）液滴を吐出するための吐出口と、前
記吐出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設さ
れ、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生
するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を
有する素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上
にある流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室
と、前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液
室と前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板
と、前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合
させるための接着剤と、電気信号を受信するための配線
基板と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配
線基板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘ
ッドの製造方法において、複数の基板を有するウェハ状
態の素子基板上で、前記流路壁と、前記流路壁と同材質
の塀とを、同時に形成する工程と、前記流路壁と前記塀
とが形成された前記ウェハ状態の素子基板にバンプを配
する工程と、複数の基板を有するウェハ状態の天板基板
上で、前記液室及び前記供給口を形成する工程と、前記
素子基板上に形成された流路壁上に接着剤を塗布する工
程と、塗布された接着剤をＢステージ化する工程と、前
記素子基板と前記天板基板をアライメントする工程と、
アライメントされた素子基板と天板基板を接合し、接着
剤を硬化させる工程と、接合された前記ウェハ状態の素
子基板と天板基板とを、切断ラインに沿って同時に切断
し、個別チップ部品に切り分ける工程と、前記バンプに
前記配線基板を接合させる工程と、を有することを特徴
とする液体吐出ヘッドの製造方法。

【００２０】（２）前記塀は、前記流路壁と共に、後か
ら配される前記バンプを囲むように形成され、前記バン
プを前記塀および前記流路壁の近傍に配することによ
り、前記塀と前記流路壁とで前記バンプを囲むことを特
徴とする前記（１）項に記載の液体吐出ヘッドの製造方
法。

【００２１】（３）前記塀が前記素子基板の切断ライン
上にあり、前記素子基板を切断ラインに沿って切断する
ことで、前記塀を除去することを特徴とする前記（１）
項または（２）項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。

【００２２】（４）液滴を吐出するための吐出口と、前
記吐出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設さ
れ、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生
するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を
有する素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上
にある流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室
と、前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液
室と前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板
と、前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合
させるための接着剤と、電気信号を受信するための配線
基板と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配
線基板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘ
ッドの製造方法において、複数の基板を有するウェハ状
態の素子基板上で、前記流路壁と、前記流路壁と同材質
の塀とを、同時に形成する工程と、前記流路壁と前記塀
とが形成された前記ウェハ状態の素子基板にバンプを配
する工程と、複数の基板を有するウェハ状態の天板基板
上で、前記液室及び前記供給口を形成する工程と、前記
ウェハ状態の素子基板及び天板基板を、切断ラインに沿
って個々に切断する工程と、個別に切断された前記素子
基板の流路壁上に接着剤を塗布する工程と、塗布された
接着剤をＢステージ化する工程と、前記素子基板と前記
天板基板をアライメントする工程と、アライメントされ
た素子基板と天板基板を接合し、接着剤を硬化させる工
程と、前記バンプに前記配線基板を接合させる工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。

【００２３】（５）前記塀は、前記流路壁と共に、後か
ら配される前記バンプを囲むように形成され、前記バン
プを前記塀および前記流路壁の近傍に配することによ
り、前記塀と前記流路壁とで前記バンプを囲むことを特
徴とする前記（４）項に記載の液体吐出ヘッドの製造方
法。

【００２４】（６）液滴を吐出するための吐出口と、前
記吐出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設さ
れ、液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生
するエネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を
有する素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上
にある流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室
と、前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液
室と前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板
と、前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合
させるための接着剤と、電気信号を受信するための配線
基板と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配
線基板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘ
ッドであって、前記（１）項ないし（５）項のいずれか
に記載の製造方法により製造される液体吐出ヘッド。

【００２５】（７）前記液体を吐出するために利用され
るエネルギーが熱であることを特徴とする前記（６）項
に記載の液体吐出ヘッド。

【００２６】（８）前記素子基板は、シリコンからなる
ことを特徴とする前記（６）項に記載の液体吐出ヘッ
ド。

【００２７】（９）前記天板基板は、シリコン、ガラ
ス、樹脂、またはこれらの複合材料からなることを特徴
とする前記（６）項に記載の液体吐出ヘッド。

【００２８】（１０）前記バンプの高さは、前記塀の高
さ以下であることを特徴とする前記（６）項に記載の液
体吐出ヘッド。

【００２９】（１１）前記接着剤は、前記流路壁上にあ
ることを特徴とする前記（６）項に記載の液体吐出ヘッ
ド。

【００３０】（１２）前記塀は、樹脂材料からなること
を特徴とする前記（６）項に記載の液体吐出ヘッド。

【００３１】（１３）前記接着剤が、紫外線照射、赤外
線照射あるいは加熱などの処理を行うことにより、Ｂス
テージ化する接着剤であることを特徴とする前記（６）
項に記載の液体吐出ヘッド。

【００３２】（１４）前記接着剤が熱硬化性および光エ
ネルギー硬化性、または熱硬化性もしくは光エネルギー
硬化性のエポキシ系接着剤であることを特徴とする前記
（６）項に記載の液体吐出ヘッド。

【００３３】（１５）前記流路には、液体の流れを制御
する可動部材及び、前記可動部材の上方への動きを制御
するための上方変位規制部材を有することを特徴とする
前記（６）項に記載の液体吐出ヘッド。

【００３４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。

【００３５】図１は、本発明に係る液体吐出ヘッドの一
例を示す模式的側面図であり、図２は、本発明に係る液
体吐出ヘッドの一例を示す流路近傍の模式的断面図であ
る。

【００３６】１は素子基板（以下、ヒーターボード）、
２は、ヒーターボード１に備えられた、吐出エネルギー
を発生するためのエネルギー発生素子（以下、ヒー
タ）、３は不図示の供給口を備えた天板基板、４は流
路、５は液体を吐出するための吐出口、６は吐出口５を
有するオリフィスプレート、７は流路４に液体を供給す
るための液室、８は液体の流れを制御する可動部材であ
り、９は可動部材を制御する上方変位規制部材（ストッ
パー）である。更に、１０はヒーターボード１が発する
熱を放熱するための放熱基板、１１はバンプ、１２はヒ
ーターボード１に電気信号を送信するための配線基板、
１３はバンプ１１と配線基板１２を繋ぐためのリードで
ある。

【００３７】次に、図３に、ウェハ状態のヒーターボー
ドの模式的斜視図を示す。

【００３８】１４は流路壁、１５は塀、１６は接着剤で
ある。

【００３９】次に、図４において上記構成の液体吐出ヘ
ッドの製造工程フローを示す。

【００４０】図４（ａ）では、ウェハ状態のヒーターボ
ード１に流路壁１４と、流路壁１４と同材質で同じ高さ
の塀１５、更にはバンプ１１も形成されている。このと
きバンプ１１は、塀１５の近傍に配し、流路壁１４と塀
１５とでバンプ１１を囲むようにしている。そして、バ
ンプ１１の高さは、流路壁１４及び塀１５よりも小さ
い。流路壁１４と向かい合う塀１５との距離は、以下の
関係が望ましい。

【００４１】バンプの径＜流路壁１４と向かい合う塀１
５との距離＜バンプの径＋1ｍｍ図４（ｂ）では、流路
壁１４及び塀１５の上に接着剤１６が塗布された後、Ｕ
Ｖを照射して接着剤１６がＢステージ化した状態を示
す。そして、この時のＵＶ照射量は、０．５〜４Ｊ／ｃ
ｍ²程度である。流路壁１４及び塀１５への接着剤塗布
方法は、図５、６において詳細を示した。

【００４２】図５は、本発明に係る液体吐出ヘッドの流
路壁上に、接着剤を塗布する工程を示す模式図、図６
は、図５における、塀近傍の拡大模式図である。

【００４３】５１、５２はヒーターボード１に接着剤１
６を押し当てるための上側ロール、下側ロール、５３は
接着剤１６が均一に塗布されている樹脂シート、５４は
ヒーターボード１を支えるためのウェハ治具である。ウ
ェハ治具５４にのせられたヒーターボード１は、回転す
る上側ロール５１と下側ロール５２の間を、接着剤付き
樹脂シート５３と共に通ることによって流路壁１４及び
塀１５へ接着剤１６が転写される。

【００４４】この際、上側ロール５１の押し込み荷重は
０．５〜５ｋｇｆ／ｃｍ²、ロール温度は８０〜１５０
℃、ロール送り速度は０．１〜２ｍ／ｍｉｎである。

【００４５】また、樹脂シート５３に塗布されている接
着剤１６の厚みは、０．５〜１０μｍである。

【００４６】図４（ｃ）では、ヒーターボード１と天板
基板３をアライメントした後、加圧状態で加熱を行い、
接着剤１６を硬化して両者を接合する。

【００４７】この際の条件は、加圧荷重１０００〜３０
００ｍｂａｒ、加熱温度は７０〜１５０℃である。

【００４８】図４（ｄ）では、接合されたヒーターボー
ド１と天板基板３を切断する工程を示した。そして、図
に示す切断ラインを切断することによって、液体吐出ヘ
ッドを構成する個別チップ部品Ｔが完成する。

【００４９】図４（ｅ）では、切断された個別チップ部
品Ｔに放熱基板１０を接合して、配線基板１２を付け、
オリフィスプレート６を貼り合せた状態を示した。更に
この後、液体供給部材組み付け、封止、タンク組み付け
を行い、液体吐出ヘッドが完成する（不図示）。

【００５０】なお、本実施例においては、ウェハ状態の
ヒーターボード１と天板基板３を接合した後、切断ライ
ンを切断して個別チップを作成したが、ウェハ状態で切
断を行った後、ヒーターボード１と天板基板３を接合し
てもよい。

【００５１】また、本実施例においては、塀１５は切断
ライン上にあったが、配線基板１２が付けられる範囲で
あれば、切断後に残っていても構わない。

【００５２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、流路壁
に接着剤を塗布する際、バンプの近傍に塀を設けること
によって、バンプ上に接着剤が付かない、安定して高品
質な液体吐出ヘッドの製造方法およびその製造方法によ
る液体吐出ヘッドを提供する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す模
式的側面図である。

【図２】本発明に係る液体吐出ヘッドの一例を示す流
路近傍の模式的断面図である。

【図３】本発明に係る液体吐出ヘッドにおけるヒータ
ーボードの模式的斜視図である。

【図４】本発明に係る液体吐出ヘッドの製造工程フロ
ーを（ａ）〜（ｅ）に示したものである。

【図５】本発明に係る液体吐出ヘッドの流路壁上に、
接着剤を塗布する工程を示す模式図である。

【図６】図５における、塀近傍の拡大模式図である。

【図７】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す流路近傍
の模式的断面図である。

【図８】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的側
面図である。

【図９】従来の液体吐出ヘッドの一例を示す模式的斜
視図である。

【符号の説明】

１素子基板（ヒーターボード）２エネルギー発生素子（ヒータ）３天板基板４流路５吐出口６オリフィスプレート７液室８可動部材９上方変位規制部材（ストッパー）１０放熱基板１１バンプ１２配線基板１３リード１４流路壁１５塀１６接着剤１７バネ５１上側ロール５２下側ロール５３樹脂シート５４ウェハ治具Ｔ個別チップ部品

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者小山修司東京都大田区下丸子３丁目30番２号キヤノン株式会社内Ｆターム(参考） 2C057 AF93 AG46 AG82 AK07 AP22 AP25

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】液滴を吐出するための吐出口と、前記吐
出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設され、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を有す
る素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上にあ
る流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室と、
前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液室と
前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板と、
前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合させ
るための接着剤と、電気信号を受信するための配線基板
と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配線基
板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘッド
の製造方法において、複数の基板を有するウェハ状態の
素子基板上で、前記流路壁と、前記流路壁と同材質の塀
とを、同時に形成する工程と、前記流路壁と前記塀とが
形成された前記ウェハ状態の素子基板にバンプを配する
工程と、複数の基板を有するウェハ状態の天板基板上
で、前記液室及び前記供給口を形成する工程と、前記素
子基板上に形成された流路壁上に接着剤を塗布する工程
と、塗布された接着剤をＢステージ化する工程と、前記
素子基板と前記天板基板をアライメントする工程と、ア
ライメントされた素子基板と天板基板を接合し、接着剤
を硬化させる工程と、接合された前記ウェハ状態の素子
基板と天板基板とを、切断ラインに沿って同時に切断
し、個別チップ部品に切り分ける工程と、前記バンプに
前記配線基板を接合させる工程と、を有することを特徴
とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項２】前記塀は、前記流路壁と共に、後から配
される前記バンプを囲むように形成され、前記バンプを
前記塀および前記流路壁の近傍に配することにより、前
記塀と前記流路壁とで前記バンプを囲むことを特徴とす
る請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項３】前記塀が前記素子基板の切断ライン上に
あり、前記素子基板を切断ラインに沿って切断すること
で、前記塀を除去することを特徴とする請求項１または
２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項４】液滴を吐出するための吐出口と、前記吐
出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設され、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を有す
る素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上にあ
る流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室と、
前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液室と
前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板と、
前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合させ
るための接着剤と、電気信号を受信するための配線基板
と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配線基
板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘッド
の製造方法において、複数の基板を有するウェハ状態の
素子基板上で、前記流路壁と、前記流路壁と同材質の塀
とを、同時に形成する工程と、前記流路壁と前記塀とが
形成された前記ウェハ状態の素子基板にバンプを配する
工程と、複数の基板を有するウェハ状態の天板基板上
で、前記液室及び前記供給口を形成する工程と、前記ウ
ェハ状態の素子基板及び天板基板を、切断ラインに沿っ
て個々に切断する工程と、個別に切断された前記素子基
板の流路壁上に接着剤を塗布する工程と、塗布された接
着剤をＢステージ化する工程と、前記素子基板と前記天
板基板をアライメントする工程と、アライメントされた
素子基板と天板基板を接合し、接着剤を硬化させる工程
と、前記バンプに前記配線基板を接合させる工程と、を
有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項５】前記塀は、前記流路壁と共に、後から配
される前記バンプを囲むように形成され、前記バンプを
前記塀および前記流路壁の近傍に配することにより、前
記塀と前記流路壁とで前記バンプを囲むことを特徴とす
る請求項４に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
【請求項６】液滴を吐出するための吐出口と、前記吐
出口に連通する流路と、前記流路に対応して配設され、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生する
エネルギー発生素子と、前記エネルギー発生素子を有す
る素子基板と、前記流路を構成し、前記素子基板上にあ
る流路壁と、前記流路に液体を供給するための液室と、
前記液室に液体を供給するための供給口と、前記液室と
前記供給口を有し、前記流路の天井となる天板基板と、
前記流路壁と前記天板基板の間にあり、両者を接合させ
るための接着剤と、電気信号を受信するための配線基板
と、前記素子基板上にあり、前記素子基板と前記配線基
板とをつなぐためのバンプと、を備えた液体吐出ヘッド
であって、請求項１ないし５のいずれかに記載の製造方
法により製造される液体吐出ヘッド。
【請求項７】前記液体を吐出するために利用されるエ
ネルギーが熱であることを特徴とする請求項６に記載の
液体吐出ヘッド。
【請求項８】前記素子基板は、シリコンからなること
を特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項９】前記天板基板は、シリコン、ガラス、樹
脂、またはこれらの複合材料からなることを特徴とする
請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１０】前記バンプの高さは、前記塀の高さ以
下であることを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘ
ッド。
【請求項１１】前記接着剤は、前記流路壁上にあるこ
とを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１２】前記塀は、樹脂材料からなることを特
徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１３】前記接着剤が、紫外線照射、赤外線照
射あるいは加熱などの処理を行うことにより、Ｂステー
ジ化する接着剤であることを特徴とする請求項６に記載
の液体吐出ヘッド。
【請求項１４】前記接着剤が熱硬化性および光エネル
ギー硬化性、または熱硬化性もしくは光エネルギー硬化
性のエポキシ系接着剤であることを特徴とする請求項６
に記載の液体吐出ヘッド。
【請求項１５】前記流路には、液体の流れを制御する
可動部材及び、前記可動部材の上方への動きを制御する
ための上方変位規制部材を有することを特徴とする請求
項６に記載の液体吐出ヘッド。