JP2002367513A - カラーブラウン管の露光装置、その設計方法およびその調整方法 - Google Patents

カラーブラウン管の露光装置、その設計方法およびその調整方法

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JP2002367513A
JP2002367513A JP2001174940A JP2001174940A JP2002367513A JP 2002367513 A JP2002367513 A JP 2002367513A JP 2001174940 A JP2001174940 A JP 2001174940A JP 2001174940 A JP2001174940 A JP 2001174940A JP 2002367513 A JP2002367513 A JP 2002367513A
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panel
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light source
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English (en)
Inventor
Morikazu Sasaki
盛一 佐々木
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 ストライプ管のドーミング時およびドリフト
後にパネル面全域でランディング誤差を減らすために
は、露光光線経路を、パネル面左右端では外向きに、パ
ネル面中間域では内向きに修正しなければならない。と
ころが従来の補正レンズは非常に複雑な形状をしてお
り、そこに更に上記のランディング修正を追加するのは
簡単ではない。 【解決手段】 光源11と補正レンズ13の間、または
補正レンズ13とパネル16の間に平面ガラスの第二補
正レンズ14を挿入すると、パネル面中央21では光線
のランディング誤差は変化せず、パネル面左右端22で
は光線が外向きに変化し、パネル面中間域23では光線
が内向きに変化する。これにより理想的ランディング誤
差分布への修正が容易に実現できる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明はカラーブラウン管の
露光装置、特にその補正レンズに関する。
【0002】
【従来の技術】図3は従来のカラーブラウン管の露光装
置30の部分断面図である。光源31をカラーブラウン
管の偏向中心相当位置に置き、光源31からの光線32
の経路を補正レンズ33により複雑に補正し、光線32
をシャドウマスク34の開孔を通してパネル35内面の
感光膜36に当てる。光線32経路を補正する理由は、
偏向ヨークにより偏向される電子ビームの軌道に光線3
2経路を合わせるためである。
【0003】図4(a)、(b)はカラーブラウン管の
パネル面での電子ビームと蛍光体ストライプの位置関係
(ランディング)の説明図である。図のカラーブラウン
管は蛍光体を縦ストライプ状に形成する、通称ストライ
プ管と呼ばれるカラーブラウン管である。
【0004】図において、Rは赤色蛍光体ストライプ、
Gは緑色蛍光体ストライプ、Bは青色蛍光体ストライ
プ、BMは黒鉛ストライプである。各蛍光体ストライ
プ、黒鉛ストライプはパネル面の上端から下端まで連続
している。電子ビーム41は縦長のほぼ長方形で、短辺
は蛍光体ストライプR、G、Bの幅より大きい。蛍光体
ストライプR、G、Bの中で電子ビーム41の当ってい
る部分は発光する。一方黒鉛ストライプBMは電子ビー
ム41が当っても発光しない。
【0005】図4(a)は電子ビーム41の中心線と緑
色蛍光体ストライプGの中心線が一致している場合で、
すなわちランディング誤差が0の場合である。電子ビー
ム41の位置はここが最適である。
【0006】図4(b)は電子ビーム41が左の限度ぎ
りぎりまでずれた場合である。このときのランディング
誤差は矢印42のように表わされる。矢印42の方向が
ランディング誤差の方向、矢印42の長さがランディン
グ誤差の大きさを示す。これ以上電子ビーム41が左に
ずれると、緑色蛍光体ストライプGの輝度が低くなる上
に、赤色蛍光体ストライプRが発光するようになるた
め、緑色発光に赤色発光が混ざり色純度が悪くなる。同
様に電子ビーム41が右の限度を超えてずれると緑色発
光に青色発光が混ざってしまう。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】蛍光体を縦ストライプ
状に形成するカラーブラウン管(ストライプ管)におい
ては蛍光体ストライプに沿った縦方向(上下方向)のラ
ンディング誤差の許容量は非常に大きい。したがってラ
ンディング精度向上は横方向(左右方向)だけに集中さ
れる。ところでストライプ管において、シャドウマスク
のドーミング時およびドリフト後のランディング特性を
最適にするための理想的な初期ランディング誤差分布
は、図5に示すように、パネル面中央51ではランディ
ング誤差はほとんど無く、パネル面左右端52ではラン
ディング誤差が内向き、パネル面中央とパネル面左右端
の中間域53ではランディング誤差が外向きというもの
である。そして内向きおよび外向きのランディング誤差
量を任意に調整できることが必要である。
【0008】上記の理想的ランディング誤差分布をパネ
ル面全域で得るため、露光光線経路を、パネル面左右端
52では外向きに、パネル面中間域53では内向きに修
正しなければならない。
【0009】ところが既に従来の補正レンズは複雑な光
線経路を実現するために非常に複雑な形状をしており、
そこに更に上記のランディング修正を追加するのは簡単
ではない。そのため無理にそのような補正レンズを製作
しても計算通りの修正結果が得られるとは限らないから
時間と費用のリスクが大きい。また計算通りの修正結果
が得られて補正レンズが実用になっても、その後偏向ヨ
ークの特性が改良されたらその補正レンズは使えなくな
ってしまうので不経済である。
【0010】上記のように一枚の補正レンズで全てのラ
ンディング修正を行なうのは困難である。そこで本発明
は単純な構造で安価な第二補正レンズを従来の補正レン
ズに組み合わせて、全てのランディング修正を容易にお
こなう手段を提供する。本発明のランディング修正手段
は偏向ヨークの特性変化にも容易に対応できる。
【0011】
【課題を解決するための手段】請求項1記載の発明は、
光源からの光線が、補正レンズ、シャドウマスク開孔を
通過後、パネル内面の感光膜に入射するカラーブラウン
管の露光装置において、前記光源と前記補正レンズの
間、または前記補正レンズと前記パネルの間に平面ガラ
スの第二補正レンズを挿入したことを特徴とするカラー
ブラウン管の露光装置である。
【0012】光源と補正レンズの間、または補正レンズ
とパネルの間に平面ガラスの第二補正レンズを挿入する
と、パネル面中央では露光光線のランディング誤差は変
化せず、パネル面左右端では露光光線が外向きに、パネ
ル面中央とパネル面左右端の中間域では露光光線が内向
きに修正される。つまり理想的ランディング誤差分布に
必要な光線移動が得られる。
【0013】請求項2記載の発明は、光源からの光線
が、補正レンズ、シャドウマスク開孔を通過後、パネル
内面の感光膜に入射するカラーブラウン管の露光装置の
光線経路設計において、前記補正レンズによる光線経路
変化に加えて、前記光源と前記補正レンズの間、または
前記補正レンズと前記パネルの間に挿入された平面ガラ
スの第二補正レンズによる光線経路変化をも考慮するこ
とを特徴とするカラーブラウン管の露光装置の設計方法
である。
【0014】あらかじめ、光源と補正レンズの間、また
は補正レンズとパネルの間にある厚さの平面ガラスの第
二補正レンズを挿入することを考えて補正レンズの設計
をしておくと、実際に出来上がった補正レンズと第二補
正レンズで露光テストした結果、ランディング誤差修正
が不足のときは第二補正レンズの厚さを厚くし、ランデ
ィング誤差修正が過度のときは第二補正レンズの厚さを
薄くすることでランディング誤差修正を適切にできる。
【0015】本発明の設計方法が特に有用なのはランデ
ィング誤差修正が過度のときである。もし第二補正レン
ズを考えずに補正レンズを設計したとすると、ランディ
ング誤差修正が不足の場合は第二補正レンズを追加すれ
ば良いので簡単だが、ランディング誤差修正が過度の場
合は補正レンズを作り直すほかないので非常に不経済な
ことになる。しかし本発明のようにあらかじめ適当な厚
さの第二補正レンズも考慮した補正レンズ設計をすれ
ば、ランディング誤差修正が過度の場合も第二補正レン
ズの厚さを薄くするだけで良い。第二補正レンズは単純
な平面ガラスであるから補正レンズに比べ桁違いに安
く、また容易に手に入るため大変経済的である。
【0016】請求項3記載の発明は、光源からの光線
が、補正レンズ、シャドウマスク開孔を通過後、パネル
内面の感光膜に入射するカラーブラウン管の露光装置に
おいて、前記光源と前記補正レンズの間、または前記補
正レンズと前記パネルの間に平面ガラスの第二補正レン
ズを挿入し、このとき適当な厚さの前記第二補正レンズ
を用いることによりランディング誤差を最適にすること
を特徴とするカラーブラウン管の露光装置の調整方法で
ある。
【0017】請求項2記載の発明について説明したよう
にして、計算と実験により第二補正レンズの適切な厚さ
を確立しても、実際に大量生産をおこなうと、例えば偏
向ヨークの特性がロットにより変化したりして、ランデ
ィング誤差修正が最適でなくなることがしばしば起こ
る。
【0018】このような場合に備え、あらかじめ厚さの
少しずつ異なる多種類の第二補正レンズを準備してお
き、その中から実際に最も適した厚さの第二補正レンズ
を選んで用いる。このようにすれば第二補正レンズを交
換しながら滞り無く大量生産を進めることができる。
【0019】
【発明の実施の形態】図1は本発明のカラーブラウン管
の露光装置の一実施例10の部分断面図である。光源1
1をカラーブラウン管の偏向中心相当位置に置き、光源
11からの光線12の経路を補正レンズ13および第二
補正レンズ14により電子ビームの軌道に合わせて複雑
に補正し、光線12をシャドウマスク15の開孔を通し
てパネル16内面の感光膜17に当てる。
【0020】本発明のカラーブラウン管の露光装置の一
実施例10の特徴は、補正レンズ13とパネル16の間
に平面ガラスでできた第二補正レンズ14が挿入されて
いることである。第二補正レンズ14の機能は、図2に
示すように、パネル面20の中央21では光線12の位
置を変化させず、パネル面左右端22では光線12を矢
印のように外向きに寄せ、パネル面中央21とパネル面
左右端22の中間域23では光線12を矢印のように内
向きに寄せることである。
【0021】すなわち第二補正レンズ14の機能は、パ
ネル面左右端22とパネル面中間域23とでランディン
グ誤差の方向を反転させることである。
【0022】第二補正レンズ14の具体的な材質、寸法
の例を挙げると、材質は高級なガラスは必要無く、一般
的なソーダライムガラスでよい。寸法は縦横6〜7イン
チの正方形で厚さが3mm〜6mmの平行平板である。
ソーダライムガラスは非常に安価であるから各種厚さの
第二補正レンズ14を揃えてもコストは無視できる。
【0023】第二補正レンズ14による光線12の移動
量は、厚さ3mmの場合、パネル面左右端22で外向き
に2〜3μm、パネル面中間域23で内向きに1μm程
度である。また厚さ6mmの場合、パネル面左右端22
で外向きに4〜6μm、パネル面中間域23で内向きに
2〜3μm程度である。
【0024】
【発明の効果】光源と補正レンズの間、または補正レン
ズとパネルの間に平面ガラスの第二補正レンズを挿入す
ると、パネル面中央では露光光線のランディング誤差は
変化せず、パネル面左右端では露光光線が外向きに変化
し、パネル面中央とパネル面左右端の中間域では露光光
線が内向きに変化する。これにより理想的なランディン
グ誤差分布が容易に得られる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のカラーブラウン管の露光装置の一実
施例の部分断面図
【図2】 本発明のカラーブラウン管の露光装置の一実
施例における光線の移動の説明図
【図3】 従来のカラーブラウン管の露光装置の部分断
面図
【図4】 パネル面での電子ビームと蛍光体ストライプ
の位置関係の説明図
【図5】 電子ビームのランディング特性の説明図
【符号の説明】
10 本発明のカラーブラウン管の露光装置の一実施例 11 光源 12 光線 13 補正レンズ 14 第二補正レンズ 15 シャドウマスク 16 パネル 17 感光膜 20 パネル面 21 パネル面中央 22 パネル面左右端 23 パネル面中間域 30 従来のカラーブラウン管の露光装置 31 光源 32 光線 33 補正レンズ 34 シャドウマスク 35 パネル 36 感光膜 41 電子ビーム 42 ランディング誤差を示す矢印 51 パネル面中央 52 パネル面左右端 53 パネル面中間域 R 赤色蛍光体ストライプ B 青色蛍光体ストライプ G 緑色蛍光体ストライプ BM 黒鉛ストライプ

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】光源からの光線が、補正レンズ、シャドウ
    マスク開孔を通過後、パネル内面の感光膜に入射するカ
    ラーブラウン管の露光装置において、前記光源と前記補
    正レンズの間、または前記補正レンズと前記パネルの間
    に平面ガラスの第二補正レンズを挿入したことを特徴と
    するカラーブラウン管の露光装置。
  2. 【請求項2】光源からの光線が、補正レンズ、シャドウ
    マスク開孔を通過後、パネル内面の感光膜に入射するカ
    ラーブラウン管の露光装置の光線経路設計において、前
    記補正レンズによる光線経路変化に加えて、前記光源と
    前記補正レンズの間、または前記補正レンズと前記パネ
    ルの間に挿入された平面ガラスの第二補正レンズによる
    光線経路変化をも考慮することを特徴とするカラーブラ
    ウン管の露光装置の設計方法。
  3. 【請求項3】光源からの光線が、補正レンズ、シャドウ
    マスク開孔を通過後、パネル内面の感光膜に入射するカ
    ラーブラウン管の露光装置において、前記光源と前記補
    正レンズの間、または前記補正レンズと前記パネルの間
    に平面ガラスの第二補正レンズを挿入し、このとき適当
    な厚さの前記第二補正レンズを用いることによりランデ
    ィング誤差を最適にすることを特徴とするカラーブラウ
    ン管の露光装置の調整方法。
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