JP2002361618A - Method for producing ceramic green sheet, method for producing laminated ceramic electronic part, and carrier sheet for ceramic green sheet - Google Patents
Method for producing ceramic green sheet, method for producing laminated ceramic electronic part, and carrier sheet for ceramic green sheetInfo
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明はセラミックグリーン
シートの製造方法に関する。また、本発明は、前記セラ
ミックグリーンシートの積層体の製造工程を含む、積層
セラミック電子部品の製造方法、また当該セラミックグ
リーンシートの製造方法に用いられるセラミックグリー
ンシート用キャリアシートに関する。さらには、本発明
は、前記積層セラミック電子部品の製造方法により得ら
れた積層セラミック電子部品に関する。[0001] The present invention relates to a method for producing a ceramic green sheet. In addition, the present invention relates to a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component, including a step for manufacturing the ceramic green sheet laminate, and a ceramic green sheet carrier sheet used in the method for manufacturing a ceramic green sheet. Furthermore, the present invention relates to a multilayer ceramic electronic component obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
【０００２】[0002]
【従来の技術】積層セラミックコンデンサやインダクタ
のような積層セラミック電子部品は、内部に電極を必要
とするため、内部電極を設けたセラミックグリーンシー
トの所定枚数を積層し、加熱焼成し、さらに外部電極を
端部に塗布することにより製造している。特に、積層セ
ラミックコンンデンサなどは小型化、高性能化が要求さ
れるために、限られた厚みの中で前記セラミックグリー
ンシートの積層数をより多くする必要がある。そのた
め、セラミックグリーンシートの厚みを薄くするなどし
て、その積層回数を増やしている。2. Description of the Related Art Multilayer ceramic electronic components such as multilayer ceramic capacitors and inductors require electrodes inside. Therefore, a predetermined number of ceramic green sheets provided with internal electrodes are laminated, heated and fired, and then external electrodes are formed. Is applied to the end. In particular, since a multilayer ceramic capacitor or the like is required to be reduced in size and improved in performance, it is necessary to increase the number of the ceramic green sheets laminated within a limited thickness. Therefore, the number of laminations is increased by reducing the thickness of the ceramic green sheets.
【０００３】セラミックグリーンシートの積層法として
は、セラミックグリーンシート上に、内部電極となる電
極パターンを形成した後に、セラミックグリーンシート
の所定枚数を積層する方法がある。しかしながら、この
方法ではセラミックグリーンシート上に電極を印刷する
工程を経るため、電極分の厚みにより凸部を生じ、積層
数を増やすことでその厚み分が積算され、セラミックグ
リーンシート同士のズレなどが生じて理想とする積層精
度を達成することができない。また、セラミックグリー
ンシートを積層した後には一体化を計るために高い圧力
でプレスを行うが、この際、電極のある部分と電極ない
部分とで受ける圧力の違いにより、剥がれなどが生じる
可能性が高く、欠陥や歩留まりの低下を招く。[0003] As a method of laminating ceramic green sheets, there is a method of laminating a predetermined number of ceramic green sheets after forming an electrode pattern as an internal electrode on the ceramic green sheets. However, in this method, since a step of printing an electrode on the ceramic green sheet is performed, a convex portion is generated due to the thickness of the electrode, and the thickness is integrated by increasing the number of stacked layers, thereby causing a deviation between the ceramic green sheets. As a result, the desired lamination accuracy cannot be achieved. After laminating the ceramic green sheets, pressing is performed at a high pressure in order to measure integration, but at this time, there is a possibility that peeling etc. may occur due to the difference in pressure received between the part with electrodes and the part without electrodes. High, causing defects and a decrease in yield.
【０００４】上記セラミックグリーンシートの積層法の
問題を解決した方法として、たとえば、キャリアシート
上に、内部電極となる電極パターンを形成した後に、セ
ラミックスラリーによりセラミックグリーンシートを形
成し、次いで、得られたセラミックグリーンシートを他
のセラミックグリーンシートに積層する操作を繰り返す
方法が提案されている（特開平６−６１０９０号公報
等）。かかる方法で得られるセラミックグリーンシート
は、その内部に電極が埋め込まれたいるため、電極の凸
部が無く、理想的な積み重ねや薄膜化が可能となる。ま
た積層後のプレス工程で生じていた圧力むらが無くな
り、より良い一体化が製品の良品化率が向上し、高積層
化による高性能化を図ることができる。As a method of solving the problem of the above-mentioned method of laminating ceramic green sheets, for example, after forming an electrode pattern serving as an internal electrode on a carrier sheet, a ceramic green sheet is formed with a ceramic slurry and then obtained. There has been proposed a method of repeating the operation of laminating a ceramic green sheet on another ceramic green sheet (Japanese Patent Laid-Open No. 6-61090). Since the ceramic green sheet obtained by such a method has an electrode embedded therein, there is no convex portion of the electrode, and ideal stacking and thinning are possible. In addition, pressure unevenness generated in the pressing step after lamination is eliminated, better integration improves the yield rate of products, and higher lamination enables higher performance.
【０００５】前記セラミックグリーンシートの積層方法
では、最終的には剥離されるキャリアシート上にセラミ
ックグリーンシートが形成されるため、キャリアシート
には得られたセラミックグリーンシートから容易に剥離
することができる剥離性が要求される。さらには、キャ
リアシートには、内部電極となる電極パターンを形成す
る際に電極のズレがないようにパターン精度を確保する
ことが要求される。しかし、従来知られているセラミッ
クグリーンシート用キャリアシートで前記要求を満足す
るものは知られていない。In the method for laminating ceramic green sheets, since the ceramic green sheets are formed on the carrier sheet that is finally peeled off, the carrier sheet can be easily peeled off from the obtained ceramic green sheets. Peelability is required. Further, the carrier sheet is required to ensure pattern accuracy so that there is no electrode displacement when forming an electrode pattern serving as an internal electrode. However, there is no known carrier sheet for ceramic green sheets that satisfies the above requirements.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】そこで、本発明は、パ
ターン精度よく電極を形成でき、しかもセラミックグリ
ーンシートの形成後にはキャリアシートを容易に剥離す
ることができるセラミックグリーンシートの製造方法、
すなわち、内部電極の埋め込まれた高精度のセラミック
グリーンシートを効率よく製造する方法を提供すること
を目的とする。SUMMARY OF THE INVENTION Accordingly, the present invention provides a method for manufacturing a ceramic green sheet, in which an electrode can be formed with high pattern accuracy and the carrier sheet can be easily peeled after the formation of the ceramic green sheet.
That is, an object of the present invention is to provide a method for efficiently manufacturing a high-precision ceramic green sheet in which internal electrodes are embedded.
【０００７】また、本発明は、前記セラミックグリーン
シートの製造方法により製造したセラミックグリーンシ
ートを積層して積層セラミック電子部品を製造する方法
を提供すること、さらには、当該製造方法により作製さ
れる積層セラミック電子部品を提供することを目的とす
る。Further, the present invention provides a method for manufacturing a laminated ceramic electronic component by laminating ceramic green sheets produced by the method for producing a ceramic green sheet, and further provides a method for producing a laminated ceramic electronic component. It is intended to provide a ceramic electronic component.
【０００８】また、本発明は、前記セラミックグリーン
シートの製造方法、積層セラミック電子部品の製造方法
に用いるセラミックグリーンシート用キャリアシートを
提供することを目的とする。Another object of the present invention is to provide a ceramic green sheet carrier sheet used in the method for producing a ceramic green sheet and the method for producing a laminated ceramic electronic component.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明者は、前記課題を
解決すべく鋭意検討を重ねた結果、以下のセラミックグ
リーンシート用キャリアシートを用いた方法により、前
記目的を達成できることを見出し、本発明を完成するに
至った。Means for Solving the Problems As a result of intensive studies to solve the above problems, the present inventor has found that the above object can be achieved by the following method using a ceramic green sheet carrier sheet. The invention has been completed.
【００１０】すなわち、本発明は、ベースフィルムの片
側に、紫外線硬化型剥離粘着層を有するキャリアシート
の当該剥離粘着層上に、所定の電極パターンを形成した
後、当該電極パターンの形成された剥離粘着層上にセラ
ミックスラリーによりセラミックグリーンシートを成形
することを特徴とするセラミックグリーンシートの製造
方法、に関する。That is, the present invention provides a carrier sheet having an ultraviolet-curable release adhesive layer on one side of a base film, after forming a predetermined electrode pattern on the release adhesive layer, The present invention relates to a method for manufacturing a ceramic green sheet, comprising forming a ceramic green sheet on a pressure-sensitive adhesive layer using a ceramic slurry.
【００１１】上記本発明のセラミックグリーンシートの
製造方法では、キャリアシートに剥離性を付与するため
に、シリコーン処理等により剥離処理されたフィルムを
使用する代わりに、紫外線硬化型剥離粘着層を有するキ
ャリアシートを用いている。前記紫外線硬化型剥離粘着
層は、紫外線照射により硬化し、三次元網目状化する性
質を有するものである。かかる紫外線硬化型剥離粘着層
は紫外線照射により容易に粘着性を失って剥離性を示
し、セラミックグリーンシートを形成または積層した後
に紫外線照射することにより、セラミックグリーンシー
トとキャリアシートとを容易に分離することができる。
また、紫外線硬化型剥離粘着層は、ある程度の粘着性を
示し、セラミックスラリーを塗布することによるセラミ
ックグリーンシートの成形工程では塗布時の濡れ性を確
保しており、形成した内部電極パターンの位置精度を崩
すことなく、キャリアシート側にパターン精度よく電極
パターンを形成したグリーンシートを製造できる。In the method for producing a ceramic green sheet of the present invention, a carrier having an ultraviolet-curable release adhesive layer is used instead of using a film subjected to release treatment by silicone treatment or the like in order to impart release properties to the carrier sheet. Sheets are used. The UV-curable release pressure-sensitive adhesive layer has the property of being cured by irradiation with ultraviolet light and forming a three-dimensional network. Such an ultraviolet-curable release pressure-sensitive adhesive layer easily loses its adhesiveness by ultraviolet irradiation and exhibits peelability, and the ceramic green sheet and the carrier sheet are easily separated by ultraviolet irradiation after forming or laminating the ceramic green sheet. be able to.
In addition, the UV-curable release adhesive layer exhibits a certain degree of adhesiveness, and in the process of forming a ceramic green sheet by applying a ceramic slurry, ensures wettability at the time of application. It is possible to manufacture a green sheet having an electrode pattern formed on the carrier sheet side with high pattern accuracy without breaking the pattern.
【００１２】前記セラミックグリーンシートの製造方法
において、紫外線硬化型剥離粘着層のステンレスに対す
る常温（２３℃）における粘着力が、紫外線照射前で
０．１Ｎ／２０ｍｍを超え、紫外線照射後に０．１Ｎ／
２０ｍｍ以下になるものであることが好ましい。紫外線
硬化型剥離粘着層は、紫外線照射により粘着性が低下し
て、剥離を容易にすることができるものである。紫外線
硬化型剥離粘着層の粘着力は、キャリアシート上での電
極形成時に印刷ズレや、電極を金属箔の転写（移し変
え）で行う場合に転写不良を起さず、精度の良い電極パ
ターンが得るには、常温（２３℃）、紫外線照射前で
０．１Ｎ／２０ｍｍを超えるものが好ましく、０．１５
Ｎ／２０ｍｍ以上、さらには０．２Ｎ／２０ｍｍ以上で
あるのが好ましい。また、紫外線照射後には粘着力が、
０．１Ｎ／２０ｍｍ以下、さらには０．０５Ｎ／２０ｍ
ｍ以下になるよう調整したものが好ましい。粘着力は通
常の粘着力測定（ＪＩＳ Ｃ ２１０７）に準ずる、対
ステンレス板（ＳＵＳ３０４ＢＡ）に対する粘着力であ
る（測定条件：幅２０ｍｍ、荷重２ｋｇ）。In the method for producing a ceramic green sheet, the adhesive strength of the ultraviolet-curable release adhesive layer to stainless steel at room temperature (23 ° C.) exceeds 0.1 N / 20 mm before irradiation with ultraviolet light, and 0.1 N / 20 mm after irradiation with ultraviolet light.
It is preferably 20 mm or less. The ultraviolet-curable release pressure-sensitive adhesive layer has a reduced adhesiveness due to ultraviolet irradiation, and can be easily peeled. The adhesive strength of the UV-curable release adhesive layer is such that the electrode pattern with high accuracy does not cause printing misalignment when forming the electrode on the carrier sheet or transfer failure when the electrode is transferred (transferred) by metal foil. In order to obtain, at room temperature (23 ° C.), those exceeding 0.1 N / 20 mm before irradiation with ultraviolet rays are preferable,
It is preferably at least N / 20 mm, more preferably at least 0.2 N / 20 mm. Also, the adhesive strength after UV irradiation,
0.1N / 20mm or less, further 0.05N / 20m
m is preferably adjusted to be equal to or less than m. The adhesive strength is an adhesive strength to a stainless steel plate (SUS304BA) according to a normal adhesive strength measurement (JIS C 2107) (measurement conditions: width 20 mm, load 2 kg).
【００１３】また本発明は、前記製造方法によりセラミ
ックグリーンシートを製造した後、得られたセラミック
グリーンシートを他のセラミックグリーンシート上に積
層する工程、およびセラミックグリーンシートから紫外
線照射によりキャリアシートを剥離する工程を含むこと
を特徴とする積層セラミック電子部品の製造方法、に関
する。Further, the present invention provides a method of manufacturing a ceramic green sheet according to the above-described manufacturing method, laminating the obtained ceramic green sheet on another ceramic green sheet, and peeling the carrier sheet from the ceramic green sheet by irradiating ultraviolet rays. And a method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
【００１４】前記製造方法により製造したセラミックグ
リーンシートは、紫外線照射により容易にキャリアシー
トと剥離して、分離することができ、またセラミックグ
リーンシートの積層体は電極ズレがなく高精度のものが
得られる。特に、積層数が１００層を超える高積層セラ
ミックコンデンサ等の製造には、効果的に作用すること
ができる。The ceramic green sheet produced by the above-mentioned production method can be easily separated from the carrier sheet by irradiation with ultraviolet rays and separated therefrom, and a laminated body of ceramic green sheets having no electrode deviation and having high precision can be obtained. Can be In particular, the present invention can be effectively applied to the manufacture of a high-layer ceramic capacitor having more than 100 layers.
【００１５】また本発明は、前記セラミックグリーンシ
ートの製造方法または前記積層セラミック電子部品の製
造方法に用いられる、ベースフィルムの片側に紫外線硬
化型剥離粘着層を有するセラミックグリーンシート用キ
ャリアシート、に関する。The present invention also relates to a ceramic green sheet carrier sheet having an ultraviolet-curable release adhesive layer on one side of a base film, which is used in the method for producing a ceramic green sheet or the method for producing a laminated ceramic electronic component.
【００１６】かかるセラミックグリーンシート用キャリ
アシートを用いることにより、パターン精度よく内部電
極を形成でき、しかもキャリアシートはセラミックグリ
ーンシートから容易に剥離でき、効率的にセラミックグ
リーンシート、その積層体、さらには積層セラミック電
子部品を製造できる。By using such a carrier sheet for ceramic green sheets, the internal electrodes can be formed with high pattern accuracy, and the carrier sheet can be easily peeled off from the ceramic green sheets. A multilayer ceramic electronic component can be manufactured.
【００１７】さらに本発明は、前記積層セラミック電子
部品の製造方法により得られた積層セラミック電子部
品、に関する。Further, the present invention relates to a multilayer ceramic electronic component obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component.
【００１８】[0018]
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態につい
ての詳細を図面を参照しながら説明する。図１は、ベー
スフィルム１ａの片側に紫外線硬化型剥離粘着層１ｂを
有するセラミックグリーンシート用キャリアシート１で
ある。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows a ceramic green sheet carrier sheet 1 having an ultraviolet-curable release adhesive layer 1b on one side of a base film 1a.
【００１９】キャリアシート１の基材であるベースフィ
ルム１ａとしては、紫外線照射されることから光透過性
のものが用いられるが、かかる支持体となる各種プラス
チックフィルムを特に制限なく使用できる。一般的には
ポリエステルフィルムを用いるのが好適である。その他
のプラスチックフィルムとしては、たとえば、ポリイミ
ドフィルム、ポリメチルペンテン、ポリエチレンナフタ
レート、ポリブチレンナフタレートなどの耐熱性を兼ね
備えたフィルムを用いるのが好ましい。また、ベースフ
ィルム１ａとしてはこれらを複合したフィルムを用いる
こともできる。また、ポリオレフィン系や塩化ビニルな
どの、比較的柔軟なフィルムを使用し、剥離の際、若干
の延伸を行い剥離の補助をすることができるフィルムも
好適に用いことができる。ベースフィルム１ａの厚さ
は、通常１０〜２００μｍ程度である。As the base film 1a, which is the base material of the carrier sheet 1, light-transmitting ones are used because they are irradiated with ultraviolet rays, but various plastic films serving as such a support can be used without any particular limitation. Generally, it is preferable to use a polyester film. As the other plastic film, for example, a film having heat resistance such as a polyimide film, polymethylpentene, polyethylene naphthalate, or polybutylene naphthalate is preferably used. Further, a film in which these are combined can be used as the base film 1a. Also, a relatively flexible film such as a polyolefin or vinyl chloride is used, and a film that can be slightly stretched at the time of peeling to assist the peeling can be suitably used. The thickness of the base film 1a is usually about 10 to 200 μm.
【００２０】紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの形成材とし
ては、形成する電極パターンを固定するため、通常、若
干の粘着性を有するベースポリマーを含む粘着剤に、紫
外線硬化による剥離性を付与するための分子内に光重合
性炭素−炭素二重結合を少なくとも２個有する低分子化
合物（以下、光重合性化合物という）および光重合開始
剤を配合したものを用いる。The material for forming the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b is generally used for fixing an electrode pattern to be formed, and usually for imparting a release property by ultraviolet curing to an adhesive containing a base polymer having a slight tackiness. A mixture of a low molecular weight compound having at least two photopolymerizable carbon-carbon double bonds in the molecule (hereinafter referred to as a photopolymerizable compound) and a photopolymerization initiator is used.
【００２１】ベースポリマーとしては、たとえば、天然
ゴム、各種合成ゴム等のゴム系ポリマーやアクリル系ポ
リマー等があげられる。アクリル系ポリマーとしては、
アクリル酸アルキルエステルおよび／またはメタクリル
酸アルキルエステル（アルキル基としては、炭素数１〜
２０、好ましくは１〜１０のものである。かかるアルキ
ル基としては、メチル基、エチル基、プロピル基、ブチ
ル基、2 −エチルヘキシル基、イソオクチル基、イソノ
ニル基、イソデシル基、ドデシル基、ラウリル基、トリ
デシル基、ペンタデシル基、ヘキサデシル基、ヘプタデ
シル、オクタデシル基、ノナデシル基、エイコシル基等
があげられる）を主成分として、これらにアクリル酸、
メタクリル酸、イタコン酸、アクリル酸ヒドロキシプロ
ピル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル、Ｎ−メチロー
ルアクリルアミド、アクリロニトリル、メタクリロニト
リル、アクリル酸グリシジル、メタクリル酸グリシジ
ル、酢酸ビニル、スチレン、イソプレン、ブタジエン、
イソプレン、ビニルエーテル等を共重合したものなどが
あげられる。上記のベースポリマーは、ベースポリマー
中に光重合性炭素−炭素二重結合を持つものであっても
よい。Examples of the base polymer include rubber polymers such as natural rubber and various synthetic rubbers, and acrylic polymers. As an acrylic polymer,
Acrylic acid alkyl ester and / or methacrylic acid alkyl ester (as the alkyl group,
20, preferably 1 to 10. Such alkyl groups include methyl, ethyl, propyl, butyl, 2-ethylhexyl, isooctyl, isononyl, isodecyl, dodecyl, lauryl, tridecyl, pentadecyl, hexadecyl, heptadecyl, octadecyl Group, nonadecyl group, eicosyl group, etc.) as main components, and acrylic acid,
Methacrylic acid, itaconic acid, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, N-methylolacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, glycidyl acrylate, glycidyl methacrylate, vinyl acetate, styrene, isoprene, butadiene,
Examples thereof include copolymers of isoprene, vinyl ether, and the like. The above base polymer may have a photopolymerizable carbon-carbon double bond in the base polymer.
【００２２】また、前記粘着剤にはベースポリマーに加
えて架橋剤を適宜に加えることもできる。架橋剤の具体
例としては、ポリイソシアネート化合物、エポキシ化合
物、アジリジン化合物、メラミン系化合物や金属塩系化
合物、金属キレート系化合物、アミノ樹脂系化合物や過
酸化物などの加硫剤があげられる。ベースポリマーや光
重合性化合物の種類、使用量に応じて、架橋剤の種類、
使用量等を調整することにより紫外線照射前と紫外線照
射後の粘着力が前記範囲になるように調整することがで
きる。通常、ベースポリマー１００重量部に対して、架
橋剤１〜５重量部程度とするのが好ましい。Further, a crosslinking agent may be appropriately added to the pressure-sensitive adhesive in addition to the base polymer. Specific examples of the crosslinking agent include vulcanizing agents such as polyisocyanate compounds, epoxy compounds, aziridine compounds, melamine compounds, metal salt compounds, metal chelate compounds, amino resin compounds and peroxides. Depending on the type of base polymer or photopolymerizable compound, the amount used, the type of crosslinking agent,
By adjusting the amount of use and the like, the adhesive strength before and after irradiation with ultraviolet light can be adjusted so as to be within the above range. Usually, it is preferable to use about 1 to 5 parts by weight of the crosslinking agent based on 100 parts by weight of the base polymer.
【００２３】光重合性化合物は、その分子量が通常１万
以下程度であるのが良く、より好ましくは、紫外線照射
による紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの三次元網状化が効
率よくなされるように、その分子量が５０００以下であ
る。分子内に有する光重合性炭素−炭素二重結合の数は
２〜６個程度のものが好ましい。特に好ましい光重合性
化合物としては、例えばトリメチロールプロパントリア
クリレート、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、ぺンタエリスリトールモノヒドロキシトリアクリレ
ート、ぺンタエリスリトールテトラアクリレート、ジぺ
ンタエリスリトールモノヒドロキシぺンタアクリレー
ト、ジぺンタエリスリトールヘキサアクリレートなどが
あげられる。光重合性化合物は、１種を単独で用いても
よく２種以上を併用してもよい。The photopolymerizable compound preferably has a molecular weight of usually about 10,000 or less, and more preferably, a three-dimensional network of the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b by ultraviolet irradiation is efficiently formed. Its molecular weight is 5000 or less. The number of photopolymerizable carbon-carbon double bonds in the molecule is preferably about 2 to 6. Particularly preferred photopolymerizable compounds include, for example, trimethylolpropane triacrylate, tetramethylol methanetetraacrylate, pentaerythritol monohydroxytriacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, pentaerythritol monohydroxypentaacrylate, pentaerythritol Hexaacrylate and the like. One photopolymerizable compound may be used alone, or two or more photopolymerizable compounds may be used in combination.
【００２４】光重合性化合物の使用量は、通常、上記ベ
ースポリマー１００重量部に対して、１〜１００重量部
程度、好ましくは５〜５０重量部の範囲とするのがよ
い。光重合性化合物の使用量が少なすぎると紫外線硬化
型剥離粘着層１ｂの紫外線照射による三次元網状化が不
十分となり、粘着力低下の程度が小さすぎて、キャリア
シート１からの分離が困難となる。一方、その使用量が
多すぎると、光重合開始剤が残留するなどして、問題を
生じることとなる。光重合開始剤としては、例えば、イ
ソプロピルベンゾインエーテル、イソブチルベンゾイン
エーテル、ベンゾフェノン、クロロリオキサントン、ド
デシルチオキサントン、ジメチルチオキサントン、ジエ
チルチオキサントン、アセトフェノンジエチルケター
ル、ベンジルジメチルケタール、α−ヒドロキシシクロ
へキシルフェニルケトン、2 −ヒドロキシメチルフェニ
ルプロパンなどがあげられる。光重合開始剤は１種を単
独で用いてもよく２種以上を併用してもよい。The amount of the photopolymerizable compound used is usually about 1 to 100 parts by weight, preferably 5 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the base polymer. If the amount of the photopolymerizable compound is too small, three-dimensional reticulation of the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b by ultraviolet irradiation becomes insufficient, and the degree of decrease in adhesive strength is too small, so that separation from the carrier sheet 1 is difficult. Become. On the other hand, if the amount used is too large, the photopolymerization initiator remains and causes a problem. Examples of the photopolymerization initiator include, for example, isopropyl benzoin ether, isobutyl benzoin ether, benzophenone, chlorolioxanthone, dodecylthioxanthone, dimethylthioxanthone, diethylthioxanthone, acetophenone diethyl ketal, benzyl dimethyl ketal, α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2 -Hydroxymethylphenylpropane and the like. One photopolymerization initiator may be used alone, or two or more photopolymerization initiators may be used in combination.
【００２５】光重合開始剤の使用量は、通常、上記ベー
スポリマー１００重量部に対して０．１〜５重量部程
度、好ましくは０．５〜２重量部の範囲とするのがよ
い。光重合開始剤の使用量が少なすぎると、紫外線照射
後の三次元網状化が不十分となり、キャリアシート１か
らの分離が不十分となる。一方、その使用量が多すぎる
と、残留する開始剤で問題を生じる。なお、必要に応じ
て、光重合促進剤としてトリエチルアミン、テトラエチ
ルぺンタアミンジメチルアミノエタノールなどのアミン
化合物を併用してもよい。The amount of the photopolymerization initiator used is generally about 0.1 to 5 parts by weight, preferably 0.5 to 2 parts by weight, based on 100 parts by weight of the base polymer. If the amount of the photopolymerization initiator is too small, three-dimensional network formation after ultraviolet irradiation becomes insufficient, and separation from the carrier sheet 1 becomes insufficient. On the other hand, if the amount is too large, a problem arises with the residual initiator. If necessary, an amine compound such as triethylamine or tetraethylpentamine dimethylaminoethanol may be used in combination as a photopolymerization accelerator.
【００２６】さらに、紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの形
成材には、必要により、従来公知の各種の粘着付与剤、
老化防止剤、充填剤、老化防止剤、着色剤等の慣用の添
加剤を含有させることができる。また、剥離性を向上さ
せる目的で、加熱することで、膨張するマイクロカプセ
ル状の発泡剤を配合することもできる。Further, as necessary, various conventionally known tackifiers may be added to the material for forming the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b.
Conventional additives such as an anti-aging agent, a filler, an anti-aging agent, and a coloring agent can be contained. For the purpose of improving the releasability, a microcapsule-like foaming agent that expands when heated can be added.
【００２７】紫外線硬化型剥離粘着層１ｂの厚さ（塗布
乾燥後）は、通常１〜１５０μｍ程度、好ましくは５〜
１５μｍ程度である。The thickness (after coating and drying) of the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b is usually about 1 to 150 μm, preferably 5 to 150 μm.
It is about 15 μm.
【００２８】本発明のキャリアシート１は、ベースフィ
ルム１ａ上に若干粘着性のある紫外線硬化型剥離粘着層
１ｂが形成されたものであるが、その作成方法は特に制
限されない。たとえば、ベースフィルム１ａに、直接、
前記粘着剤（前記粘着剤に光重合性化合物および光開始
剤を配合したもの）を塗布して紫外線硬化型剥離粘着層
１ｂを形成する方法のほか、容易に剥離可能なセパレー
タ、剥離処理を施したフィルム上に前記粘着剤を塗布し
て紫外線硬化型剥離粘着層１ｂを形成した後、これをベ
ースフィルム１ａ上に移着させる方法などを採用するこ
ともでき、適宜に方式を選んで作成することができる。The carrier sheet 1 of the present invention has a slightly adhesive UV-curable release adhesive layer 1b formed on a base film 1a, but the method of making it is not particularly limited. For example, directly on the base film 1a,
In addition to the method of forming the ultraviolet-curable release pressure-sensitive adhesive layer 1b by applying the above-mentioned pressure-sensitive adhesive (the above-mentioned pressure-sensitive adhesive containing a photopolymerizable compound and a photoinitiator), a separator which can be easily peeled off, and A method may be employed in which the pressure-sensitive adhesive is applied to the formed film to form an ultraviolet-curable release pressure-sensitive adhesive layer 1b, and then transferred to the base film 1a. be able to.
【００２９】本発明のセラミックグリーンシート２の製
造方法は、まず、図２のように前記キャリアシート１に
形成された紫外線硬化型剥離粘着層１ｂに、所定の電極
パターン２ａを形成した後、図３のように当該電極パタ
ーン２ａの形成された紫外線硬化型剥離粘着層１ｂ上
に、電極パターン２ａを覆うようにセラミックスラリー
を塗布、乾燥してセラミックバインダー層２ｂを形成す
ることにより行う。In the method of manufacturing the ceramic green sheet 2 according to the present invention, first, as shown in FIG. 2, after a predetermined electrode pattern 2a is formed on the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b formed on the carrier sheet 1, FIG. As shown in FIG. 3, a ceramic slurry is applied on the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b on which the electrode pattern 2a is formed so as to cover the electrode pattern 2a, and dried to form a ceramic binder layer 2b.
【００３０】電極パターン２ａの形成方法は特に制限さ
れず、たとえば、内部電極となる導電ペーストを印刷す
る方法があげられる。導電ペーストとしては、パラジウ
ム合金またはニッケル等を主体とした導電ペーストがあ
げられ、印刷方法としてはスクリーン印刷法等があげら
れる。電極パターン２ａの厚みはできるだけ薄層にする
ことが望ましい。乾燥後の厚みとして、通常１〜１．５
μｍとなるように調整するのが望ましい。また、電極パ
ターン２ａの形成方法としては、パターン化された箔状
金属を、キャリアシート１の紫外線硬化型剥離粘着層１
ｂの粘着性を利用して転写する方法等を採用できる。更
に薄膜からなる電極パターン２ａを得るためには、パタ
ーンメッキまたはパターン蒸着を利用することができ
る。The method for forming the electrode pattern 2a is not particularly limited, and includes, for example, a method of printing a conductive paste to be an internal electrode. Examples of the conductive paste include a conductive paste mainly composed of a palladium alloy, nickel, or the like, and examples of a printing method include a screen printing method. It is desirable that the thickness of the electrode pattern 2a be as thin as possible. The thickness after drying is usually 1 to 1.5
It is desirable to adjust to be μm. As a method for forming the electrode pattern 2a, a patterned foil-like metal is applied to the ultraviolet-curable release adhesive layer 1 of the carrier sheet 1.
A method of transferring using the adhesiveness of b can be adopted. Further, in order to obtain the electrode pattern 2a formed of a thin film, pattern plating or pattern evaporation can be used.
【００３１】セラミックバインダー層２ｂを形成するセ
ラミックスラリーとしては、チタン酸バリウムやチタン
酸カルシウムなどのセラミック原料粉末と有機バインダ
ーを含んでなり、希釈用溶剤などにより粘度調整された
スラリーが用いられる。セラミックスラリーの塗布法は
一般的なシート成形方法を採用でき、たとえば、ドクタ
ーブレード法、リバースコート法などにより行うことが
できる。乾燥後のセラミックグリーンシート２の厚み
は、２〜５μｍ程度が好ましく、乾燥後の厚みが前記範
囲になるように均一に塗布する。セラミックスラリーの
乾燥温度は、キャリアシート１の紫外線硬化型剥離粘着
層１ｂが硬化してしまわないように１００℃程度以下で
溶剤分を乾燥させるのが好ましい。As the ceramic slurry for forming the ceramic binder layer 2b, a slurry containing a ceramic raw material powder such as barium titanate or calcium titanate and an organic binder and having a viscosity adjusted by a diluting solvent or the like is used. The ceramic slurry can be applied by a general sheet forming method, such as a doctor blade method or a reverse coating method. The thickness of the dried ceramic green sheet 2 is preferably about 2 to 5 μm, and is uniformly applied so that the dried thickness is in the above range. The ceramic slurry is preferably dried at a temperature of about 100 ° C. or less so that the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b of the carrier sheet 1 is not cured.
【００３２】こうして図３に示すような、キャリアシー
ト１の紫外線硬化型剥離粘着層１ｂ面に、所定パターン
で内部電極となる金属パターン２ａを配列し、かつ両面
とも平滑となるセラミックグリーンシート２が形成され
る。セラミックグリーンシート２は電極２ａと一体に、
キャリアシート１と分離するため、電極２ａによる凸部
はできない。セラミックグリーンシート２は厚みが一定
で平滑面同士の積層となるので、重ね合わせが容易で、
積算による厚みの影響を気にすることなく、低圧力での
プレスで高積層ができる。In this manner, as shown in FIG. 3, a ceramic green sheet 2 in which metal patterns 2a serving as internal electrodes are arranged in a predetermined pattern on the surface of the ultraviolet-curable release adhesive layer 1b of the carrier sheet 1 and both surfaces are smooth. It is formed. The ceramic green sheet 2 is integrated with the electrode 2a,
Since the carrier 2 is separated from the carrier sheet 1, a protrusion due to the electrode 2 a cannot be formed. Since the ceramic green sheet 2 has a constant thickness and is a stack of smooth surfaces, it is easy to overlap,
High lamination can be performed by pressing at low pressure without worrying about the influence of thickness due to integration.
【００３３】図３に示す、キャリアシート１上に形成さ
れたセラミックグリーンシート２は、図４または図５に
示すように、他のセラミックグリーンシートと積層して
セラミックグリーンシート積層体とするが、その際には
一般的な紫外線照射装置により紫外線を照射してセラミ
ックグリーンシート２からキャリアシート１を剥離す
る。The ceramic green sheet 2 formed on the carrier sheet 1 shown in FIG. 3 is laminated with another ceramic green sheet to form a ceramic green sheet laminate as shown in FIG. 4 or FIG. At this time, the carrier sheet 1 is peeled from the ceramic green sheet 2 by irradiating ultraviolet rays with a general ultraviolet irradiator.
【００３４】たとえば、図４（ａ）のように、キャリア
シート１に紫外線照射して、キャリアシート１とセラミ
ックグリーンシート２を分離した後、セラミックグリー
ンシート２のみを吸着して、図４（ｂ）のようにセラミ
ックグリーンシート２を順次に積み重ねて積層する方法
があげられる。図４（ｂ）では、ベースとなるセラミッ
クグリーンシート３上にセラミックグリーンシート２を
まず積層し、順次にセラミックグリーンシート２を積層
している。キャリアシート１への紫外線照射量は、特に
制限されないが、通常、５０〜１０００ｍＪ／ｃｍ2 程
度である。For example, as shown in FIG. 4 (a), the carrier sheet 1 is irradiated with ultraviolet rays to separate the carrier sheet 1 and the ceramic green sheet 2, and then only the ceramic green sheet 2 is adsorbed. 2), the ceramic green sheets 2 are sequentially stacked and laminated. In FIG. 4B, the ceramic green sheets 2 are first stacked on the ceramic green sheet 3 serving as a base, and the ceramic green sheets 2 are sequentially stacked. The amount of ultraviolet irradiation to the carrier sheet 1 is not particularly limited, but is usually about 50 to 1000 mJ / cm 2 .
【００３５】また、図５（ａ）のようにセラミックグリ
ーンシート２を、ベースのセラミックグリーンシート３
上に重ね合わせ、さらに熱プレスを用いて圧着加熱した
後に、キャリアシート１に紫外線照射することで、図５
（ｂ）（ｃ）のようにセラミックグリーンシート２を転
写して積層するとともに、キャリアシート１を剥離する
方法があげられる。その後、この操作を順次、繰り返し
て電極パターンを精度良く合わせて、圧着加熱を繰り返
してセラミックグリーンシート２積層する。圧着加熱の
条件は特に制限されないが、通常、２０〜５０℃程度、
１×１０5 〜１×１０8 Ｐａ程度のような条件である。As shown in FIG. 5A, the ceramic green sheet 2 is replaced with a base ceramic green sheet 3.
After the carrier sheet 1 is overlaid thereon and pressed and heated using a hot press, the carrier sheet 1 is irradiated with ultraviolet rays, as shown in FIG.
(B) As shown in (c), there is a method of transferring and laminating the ceramic green sheet 2 and peeling the carrier sheet 1. Thereafter, this operation is sequentially repeated so that the electrode patterns are accurately adjusted, and the pressure bonding and heating are repeated to laminate the two ceramic green sheets. The conditions for the pressure heating are not particularly limited, but are usually about 20 to 50 ° C,
The conditions are about 1 × 10 5 to 1 × 10 8 Pa.
【００３６】前記セラミックグリーンシート２の積層に
あたっては、予め、セラミックグリーンシート２をキャ
リアシート１ごと、精度良く打ち抜いた後に、順次に積
層とキャリアシート１を剥離を行うことにより、積層時
の重ね合わせ精度をコントロールすることもできる。In laminating the ceramic green sheets 2, the ceramic green sheets 2 are punched out of the carrier sheet 1 with high precision in advance, and then the lamination and the carrier sheet 1 are sequentially peeled off, thereby superimposing at the time of lamination. You can also control the precision.
【００３７】前記セラミックグリーンシート積層体は、
これを切断してチップ化する工程、チップを焼成する工
程、さらにはチップに外部電極を形成する工程を施すこ
とにより積層セラミックコンデンサ等の電子部品とな
る。The ceramic green sheet laminate is
An electronic component such as a multilayer ceramic capacitor is obtained by subjecting the chip to a step of cutting into chips, a step of firing the chips, and a step of forming external electrodes on the chips.
【００３８】[0038]
【実施例】以下に、実施例によって本発明を具体的に説
明するが、本発明はこれらによって何等限定されるもの
ではない。なお、各例中の部、％は重量基準である。The present invention will be described below in more detail with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The parts and percentages in each example are based on weight.
【００３９】実施例１ アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およ
びアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からな
るポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換
算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタ
ン工業社製：コロネートＬ）６部、ジぺンタエリスリト
ールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部およびα
−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添加
し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該粘
着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後
の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケー
タを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間
投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。Example 1 100 parts of a polymer obtained by copolymerizing 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile and 5 parts of acrylic acid (in terms of a toluene solution having a solid content of 40%) were obtained. 6 parts of isocyanate crosslinking agent (Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), 15 parts of dipentaerythritol monohydroxypentane acrylate and α
1 part of -hydroxycyclohexyl phenyl ketone was added and mixed to prepare an ultraviolet-curable release adhesive. The pressure-sensitive adhesive is applied to a polyester film (50 μm) using an applicator so that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer after drying becomes 10 μm, and the mixture is put into a hot-air dryer at 130 ° C. for 3 minutes and dried. Thus, a desired carrier sheet was obtained.
【００４０】実施例２ アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およ
びアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からな
るポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換
算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタ
ン工業社製：コロネートＬ）１０部、ジぺンタエリスリ
トールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部および
α−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添
加し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該
粘着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥
後の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケ
ータを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分
間投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。Example 2 A polymer obtained by copolymerizing 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile, and 5 parts of acrylic acid (100 parts of a toluene solution having a solid content of 40%) was obtained. 10 parts of an isocyanate crosslinking agent (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd .: Coronate L), 15 parts of dipentaerythritol monohydroxypentacrylate, and 1 part of α-hydroxycyclohexyl phenyl ketone are added and mixed, followed by UV-curable release adhesive. An agent was prepared. The pressure-sensitive adhesive is applied to a polyester film (50 μm) using an applicator so that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer after drying becomes 10 μm, and the mixture is put into a hot-air dryer at 130 ° C. for 3 minutes and dried. Thus, a desired carrier sheet was obtained.
【００４１】実施例３ アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およ
びアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からな
るポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換
算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタ
ン工業社製：コロネートＬ）８部、ジぺンタエリスリト
ールモノヒドロキシぺンタアクリレート１５部およびα
−ヒドロキシシクロへキシルフェニルケトン１部を添加
し混合して紫外線硬化型剥離粘着剤を調製した。当該粘
着剤を、ポリエステルフィルム（５０μｍ）に、乾燥後
の粘着剤層の厚みが１０μｍとなるように、アプリケー
タを使用して塗布し、１３０℃で、熱風乾燥機に３分間
投入して乾燥して、所望のキャリアシートを得た。Example 3 A polymer obtained by copolymerizing 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile and 5 parts of acrylic acid (100 parts of a toluene solution having a solid content of 40%) was obtained. 8 parts of an isocyanate-based crosslinking agent (Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.), 15 parts of dipentaerythritol monohydroxypentane acrylate and α
1 part of -hydroxycyclohexyl phenyl ketone was added and mixed to prepare an ultraviolet-curable release adhesive. The pressure-sensitive adhesive is applied to a polyester film (50 μm) using an applicator so that the thickness of the pressure-sensitive adhesive layer after drying becomes 10 μm, and then put in a hot-air dryer at 130 ° C. for 3 minutes to dry. Thus, a desired carrier sheet was obtained.
【００４２】比較例１ アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およ
びアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からな
るポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換
算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタ
ン工業社製：コロネートＬ）１５部を添加し混合して粘
着剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム
（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍと
なるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃
で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャ
リアシートを得た。Comparative Example 1 100 parts of a copolymer obtained by copolymerizing 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile and 5 parts of acrylic acid (in terms of a toluene solution having a solid content of 40%) were added to An adhesive was prepared by adding and mixing 15 parts of an isocyanate-based crosslinking agent (Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.). The pressure-sensitive adhesive is applied to a polyester film (50 μm) using an applicator such that the pressure-sensitive adhesive layer after drying has a thickness of 10 μm, and is applied at 130 ° C.
Then, the mixture was put into a hot air drier for 3 minutes and dried to obtain a desired carrier sheet.
【００４３】比較例２ アクリル酸ブチル１００部、アクリロニトリル５部およ
びアクリル酸５部を共重合して得られた共重合体からな
るポリマー１００部（固形分４０％のトルエン溶液を換
算）に対し、イソシアネート系架橋剤（日本ポリウレタ
ン工業社製：コロネートＬ）１部を添加し混合して粘着
剤を調製した。当該粘着剤を、ポリエステルフィルム
（５０μｍ）に、乾燥後の粘着剤層の厚みが１０μｍと
なるように、アプリケータを使用して塗布し、１３０℃
で、熱風乾燥機に３分間投入して乾燥して、所望のキャ
リアシートを得た。Comparative Example 2 100 parts of a copolymer obtained by copolymerizing 100 parts of butyl acrylate, 5 parts of acrylonitrile and 5 parts of acrylic acid (in terms of a toluene solution having a solid content of 40%) were compared with One part of an isocyanate-based crosslinking agent (Coronate L, manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) was added and mixed to prepare an adhesive. The pressure-sensitive adhesive is applied to a polyester film (50 μm) using an applicator such that the pressure-sensitive adhesive layer after drying has a thickness of 10 μm, and is applied at 130 ° C.
Then, the mixture was put into a hot air drier for 3 minutes and dried to obtain a desired carrier sheet.
【００４４】（粘着力の測定）実施例または比較例で得
られたキャリアシートの常温（２３℃）での紫外線照射
前の粘着力（Ｎ／２０ｍｍ）と紫外線照射後の粘着力
（Ｎ／２０ｍｍ）を調べた。粘着力はステンレス板（Ｓ
ＵＳ３０４ＢＡ）に対する粘着力である。紫外線照射後
の粘着力は、キャリアシートをステンレス板に貼り合わ
せた後、高圧水銀ランプ（４０Ｗ／ｃｍ）で１５ｃｍの
距離から２０秒間紫外線照射した後の粘着力である。結
果を表１に示す。(Measurement of Adhesive Strength) The adhesive strength (N / 20 mm) of the carrier sheet obtained in Examples or Comparative Examples before irradiation with ultraviolet light at normal temperature (23 ° C.) and the adhesive force after irradiation with ultraviolet light (N / 20 mm) ). Adhesive strength is stainless steel plate (S
US304BA). The adhesive strength after UV irradiation is the adhesive strength after bonding the carrier sheet to a stainless steel plate and then irradiating the UV with a high-pressure mercury lamp (40 W / cm) from a distance of 15 cm for 20 seconds. Table 1 shows the results.
【００４５】[0045]
【表１】 測定条件：幅２０ｍｍ、荷重２ｋｇ。[Table 1] Measurement conditions: width 20 mm, load 2 kg.
【００４６】（セラミックグリーンシートおよびその積
層体の製造）実施例または比較例で得られたキャリアシ
ート上へ、スクリーン印刷法を用いて、導電ペーストを
所定のパターン状に塗布し、９０℃で１分間乾燥を行っ
た。その上から、セラミックスラリーとして、アクリル
系樹脂をバインダーとしたチタン酸バリウムを、アプリ
ケーターを使用して塗布し、温度（７０℃）で乾燥し
て、厚さ３μｍのセラミックグリーンシートを製造し
た。得られたセラミックグリーンシートを、別途、前記
同様のセラミックスラリー（アクリル系樹脂をバインダ
ーとしたチタン酸バリウム）により形成されたベースの
セラミックグリーンシート（厚さ３０μｍ）にハンドロ
ーラで貼り合わせ、さらにラミネータで貼り合せてセラ
ミックグリーンシートを積層し後、高圧水銀ランプ（４
０Ｗ／ｃｍ）を１５ｃｍの距離から２０秒間照射してキ
ャリアシートを取り除いた。更にこの上に同様にして、
セラミックグリーンシートを１０層積層した。セラミッ
クグリーンシート積層体について以下の評価を行った。
結果を表２に示す。(Manufacture of ceramic green sheet and laminate thereof) A conductive paste was applied on the carrier sheet obtained in the example or the comparative example in a predetermined pattern using a screen printing method. Drying was performed for minutes. As a ceramic slurry, barium titanate using an acrylic resin as a binder was applied using an applicator and dried at a temperature (70 ° C.) to produce a ceramic green sheet having a thickness of 3 μm. The obtained ceramic green sheet is separately adhered to a base ceramic green sheet (thickness: 30 μm) formed of the same ceramic slurry (barium titanate using an acrylic resin as a binder) by a hand roller, and further a laminator. After laminating the ceramic green sheets by lamination, a high-pressure mercury lamp (4
(0 W / cm) from a distance of 15 cm for 20 seconds to remove the carrier sheet. In the same way as above,
Ten ceramic green sheets were laminated. The following evaluation was performed on the ceramic green sheet laminate.
Table 2 shows the results.
【００４７】（電極ズレ）得られたセラミックグリーン
シートを積層体を切断し、内部の電極パターンの寸法に
ズレが発生しているか否かを確認した。(Displacement of Electrode) The laminate was cut from the obtained ceramic green sheet, and it was confirmed whether or not the dimensions of the internal electrode pattern were displaced.
【００４８】（積層性：剥離性）セラミックグリーンシ
ートを積層する際に、キャリアシートの剥離が良好に行
われるか否かを評価した。(Laminating Property: Peeling Property) When laminating ceramic green sheets, it was evaluated whether or not the carrier sheet was peeled well.
【００４９】[0049]
【表２】 比較例ではセラミックグリーンシートがキャリアシート
から剥離できず電極ズレを確認できない。[Table 2] In the comparative example, the ceramic green sheet could not be peeled from the carrier sheet, and no electrode displacement could be confirmed.
【図１】セラミックグリーンシート用キャリアシートの
断面図である。FIG. 1 is a sectional view of a carrier sheet for a ceramic green sheet.
【図２】セラミックグリーンシート用キャリアシート上
に内部電極を形成した場合の断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view when an internal electrode is formed on a ceramic green sheet carrier sheet.
【図３】セラミックグリーンシート用キャリアシート上
にセラミックグリーンシートを形成した場合の断面図で
ある。FIG. 3 is a cross-sectional view when a ceramic green sheet is formed on a ceramic green sheet carrier sheet.
【図４】セラミックグリーンシートとキャリアシートを
分離して製造したセラミックグリーンシート積層体の断
面図である。FIG. 4 is a sectional view of a ceramic green sheet laminate manufactured by separating a ceramic green sheet and a carrier sheet.
【図５】セラミックグリーンシートとキャリアシートを
分離して製造したセラミックグリーンシート積層体の断
面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of a ceramic green sheet laminate manufactured by separating a ceramic green sheet and a carrier sheet.
１ キャリアシート １ａ ベースフィルム １ｂ 紫外線硬化型剥離粘着層 ２ セラミックグリーンシート ２ａ 内部電極 ２ｂ セラミックバインダー層 ３ ベースのセラミックグリーンシート DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Carrier sheet 1a Base film 1b Ultraviolet curing type peeling adhesive layer 2 Ceramic green sheet 2a Internal electrode 2b Ceramic binder layer 3 Base ceramic green sheet
Claims (5)
剥離粘着層を有するキャリアシートの当該剥離粘着層上
に、所定の電極パターンを形成した後、当該電極パター
ンの形成された剥離粘着層上にセラミックスラリーによ
りセラミックグリーンシートを成形することを特徴とす
るセラミックグリーンシートの製造方法。1. A predetermined electrode pattern is formed on a release adhesive layer of a carrier sheet having an ultraviolet-curable release adhesive layer on one side of a base film, and then on the release adhesive layer on which the electrode pattern is formed. A method for producing a ceramic green sheet, comprising forming a ceramic green sheet with a ceramic slurry.
対する常温（２３℃）における粘着力が、紫外線照射前
で０．１Ｎ／２０ｍｍを超え、紫外線照射後に０．１Ｎ
／２０ｍｍ以下になるものであることを特徴とする請求
項１記載のセラミックグリーンシートの製造方法。2. The adhesive strength of the ultraviolet-curable release adhesive layer to stainless steel at room temperature (23 ° C.) exceeds 0.1 N / 20 mm before irradiation with ultraviolet light, and 0.1 N / 20 mm after irradiation with ultraviolet light.
The method for producing a ceramic green sheet according to claim 1, wherein the thickness of the ceramic green sheet is equal to or less than / 20 mm.
セラミックグリーンシートを製造した後、得られたセラ
ミックグリーンシートを他のセラミックグリーンシート
上に積層する工程、およびセラミックグリーンシートか
ら紫外線照射によりキャリアシートを剥離する工程を施
すことを特徴とする積層セラミック電子部品の製造方
法。3. A method of manufacturing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2, further comprising: laminating the obtained ceramic green sheet on another ceramic green sheet; and irradiating the carrier with ultraviolet light from the ceramic green sheet. A method of manufacturing a multilayer ceramic electronic component, comprising a step of peeling a sheet.
ーンシートの製造方法または請求項３記載の積層セラミ
ック電子部品の製造方法に用いられる、ベースフィルム
の片側に、紫外線硬化型剥離粘着層を有するセラミック
グリーンシート用キャリアシート。4. A ceramic having an ultraviolet-curable release adhesive layer on one side of a base film used in the method for producing a ceramic green sheet according to claim 1 or 2 or the method for producing a multilayer ceramic electronic component according to claim 3. Carrier sheet for green sheet.
の製造方法により得られた積層セラミック電子部品。5. A multilayer ceramic electronic component obtained by the method for manufacturing a multilayer ceramic electronic component according to claim 3.
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| US10/092,966 US6773533B2 (en) | 2001-03-05 | 2002-03-05 | Manufacturing method of ceramic green sheet, manufacturing method of multilayer ceramic electronic components, and carrier sheet for ceramic green sheets |
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