JP2005330407A - Repeelable adhesive sheet and method for processing adherend by using the same - Google Patents

Repeelable adhesive sheet and method for processing adherend by using the same Download PDF

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JP2005330407A JP2004151153A JP2004151153A JP2005330407A JP 2005330407 A JP2005330407 A JP 2005330407A JP 2004151153 A JP2004151153 A JP 2004151153A JP 2004151153 A JP2004151153 A JP 2004151153A JP 2005330407 A JP2005330407 A JP 2005330407A
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Sachi Muroi
佐知 室井
Satoshi Asai
聡 浅井
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To prepare a repeelable adhesive sheet capable of readily peeling it from an adherend without generating contamination such as paste residue on the adherend by heating and being usable by an adhesive layer alone. <P>SOLUTION: The repeelable adhesive sheet has a film-shaped or sheet-shaped substrate and an adhesive layer provided on at least either one surface of the substrate and composed of an adhesive composition containing thermally expandable fine small spheres and an adhesive. In the adhesive sheet, the surface of the substrate on which the adhesive layer is provided is a surface having peelable properties and the substrate is peelable under non-heating conditions from the adhesive layer. <P>COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI

Description

本発明は、再剥離性粘着シート、及びこの再剥離性粘着シートを用いた被着体加工方法に関し、更に詳しくは、加熱により被着体に糊残り等の汚染を生じさせることなく容易に剥離できるとともに、粘着層単独で使用可能な再剥離性粘着シート、及びこの再剥離性粘着シートを用いた被着体加工方法に関する。   The present invention relates to a releasable pressure-sensitive adhesive sheet and a method for processing an adherend using the releasable pressure-sensitive adhesive sheet. More specifically, the present invention easily peels without causing contamination such as adhesive residue on the adherend by heating. In addition, the present invention relates to a releasable pressure-sensitive adhesive sheet that can be used alone, and a method for processing an adherend using the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

従来、熱膨張性微小球を含有する粘着層を基材の片面に配設した粘着部材が提案され、用いられている(例えば、特許文献1〜4参照)。かかる粘着部材は、被着体に貼り付け、使用目的を終え不要となった後には簡単に剥離することのできる再剥離性粘着シートとして、電気・電子業界において広く用いられている。具体的には、フレキシブルプリント基板(FPC)製造工程における裏打用シートや半導体ウェハの切断工程、積層セラミックコンデンサーの小片化加工工程における仮止めシート、メッキ用マスキングシート等として好適に用いられている。   Conventionally, an adhesive member in which an adhesive layer containing thermally expandable microspheres is disposed on one side of a substrate has been proposed and used (see, for example, Patent Documents 1 to 4). Such an adhesive member is widely used in the electric / electronic industry as a releasable adhesive sheet that can be easily peeled off after it has been attached to an adherend and is no longer needed after it has been used. Specifically, it is suitably used as a backing sheet or a semiconductor wafer cutting step in a flexible printed circuit board (FPC) manufacturing process, a temporary fixing sheet in a small-size processing step of a multilayer ceramic capacitor, a plating masking sheet, or the like.

近年の電気・電子業界における薄膜化及び高精度化された製品の開発スピードには目覚しいものがある一方で、世界的な視点からみると環境保護対策や使用エネルギーの削減等のニーズも高まりつつある。かかるニーズに対応するため、再剥離性粘着シートについても高密着性、高信頼性等の機能をより高めることの他、環境・資源の保護、コスト削減、生産時間短縮等に貢献する必要性がある。   In recent years, the development speed of thinned and highly accurate products in the electrical and electronic industries has been remarkable, but from a global perspective, needs for environmental protection measures and reduction of energy consumption are also increasing. . In order to meet such needs, the re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet needs to contribute to the enhancement of functions such as high adhesion and high reliability, as well as environmental and resource protection, cost reduction, and production time reduction. is there.

例えば、FPC製造工程においても基板の薄膜化、高精度化とともに、コスト削減、生産時間短縮等を目的として被着体の両面同時加工が可能である裏打用シート開発の要望が高まっている。関連する従来技術として、基材の両面に粘着層を設けた加熱発泡型の粘着部材が提案されている(例えば、特許文献5,6参照)。しかし、これらの粘着部材は両面の剥離性が異なることを特徴とするものであり、被着体の両面同時加工を可能にするものではなかった。   For example, in the FPC manufacturing process, there is a growing demand for the development of a backing sheet that can simultaneously process both sides of an adherend for the purpose of reducing the cost and production time as well as making the substrate thinner and more accurate. As a related prior art, a heat-foaming type pressure-sensitive adhesive member in which pressure-sensitive adhesive layers are provided on both surfaces of a base material has been proposed (see, for example, Patent Documents 5 and 6). However, these pressure-sensitive adhesive members are characterized by different peelability on both sides, and do not enable simultaneous processing on both sides of an adherend.

また、基材の片面又は両面に加熱発泡型粘着層を設けた加熱発泡型粘着部材が提案されている(例えば、特許文献7〜9参照)。しかし、これらの粘着部材を、いわゆるロール−to−ロールの製造工程等に用いようとすると満足する追従性が発揮されず、工程中で浮きを生ずるという問題があった。更に、粘着シートの製造時にはより多くの工程が必要となって生産性が良好ではなく、また、高温での作業時には、基材の熱収縮により被着体に損傷を与える場合もあった。
特開平11−302614号公報 特開2000−351947号公報 特開2002−69422号公報 特開2003−160765号公報 特開2000−248240号公報 特許第2613389号公報 特許第1679239号公報 特開2002−69410号公報 特開2001−57472号公報
Moreover, the heat foaming type adhesive member which provided the heat foaming type adhesive layer in the single side | surface or both surfaces of the base material is proposed (for example, refer patent documents 7-9). However, when these pressure-sensitive adhesive members are used in a so-called roll-to-roll manufacturing process or the like, there is a problem that satisfactory followability is not exhibited and floating occurs in the process. Furthermore, the production of the pressure-sensitive adhesive sheet requires more steps and the productivity is not good. Further, when the work is performed at a high temperature, the adherend may be damaged due to thermal contraction of the base material.
JP-A-11-302614 JP 2000-351947 A JP 2002-69422 A JP 2003-160765 A JP 2000-248240 A Japanese Patent No. 2613389 Japanese Patent No. 1679239 JP 2002-69410 A JP 2001-57472 A

本発明は、加熱により被着体に糊残り等の汚染を生じさせることなく容易に剥離できるとともに、粘着層単独で使用可能な再剥離性粘着シート、並びに、この再剥離性粘着シートを用いた、加工精度及び生産性に優れた被着体加工方法を提供することをその課題とする。   The present invention uses a releasable pressure-sensitive adhesive sheet that can be easily peeled off without causing contamination such as adhesive residue on the adherend by heating, and a releasable pressure-sensitive adhesive sheet that can be used alone. An object of the present invention is to provide an adherend processing method excellent in processing accuracy and productivity.

本発明者らは鋭意研究を重ねた結果、所定の粘着層が配設される基材の表面を剥離性を有する面とし、基材を粘着層から剥離可能とすることにより上記課題を解決する本発明をなすに至った。即ち、本発明によれば以下に示す再剥離性粘着シート、及び被着体加工方法が提供される。   As a result of intensive studies, the inventors of the present invention solve the above problem by making the surface of the base material on which the predetermined adhesive layer is disposed a surface having peelability and making the base material peelable from the adhesive layer. It came to make this invention. That is, according to the present invention, the following releasable pressure-sensitive adhesive sheet and adherend processing method are provided.

[1]フィルム状又はシート状の基材と、前記基材の少なくとも一方の面上に配設される、熱膨張性微小球及び粘着剤を含む粘着剤組成物からなる粘着層とを備えた再剥離性粘着シートであって、前記基材の、前記粘着層が配設される面が剥離性を有する面であり、前記基材が前記粘着層から非加熱条件下で剥離可能である再剥離性粘着シート。 [1] A film-like or sheet-like base material, and an adhesive layer made of an adhesive composition containing thermally expandable microspheres and an adhesive, disposed on at least one surface of the base material. A re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet, wherein a surface of the base material on which the pressure-sensitive adhesive layer is disposed is a surface having releasability, and the base material can be peeled from the pressure-sensitive adhesive layer under non-heating conditions. Peelable adhesive sheet.

[2]前記粘着剤組成物の25℃における弾性率が、1.0×105〜7.0×108Paである前記[1]に記載の再剥離性粘着シート。 [2] The releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to [1], wherein the pressure-sensitive adhesive composition has an elastic modulus at 25 ° C. of 1.0 × 10 5 to 7.0 × 10 8 Pa.

[3]前記粘着剤が、架橋剤と反応し得る活性基をその分子構造中に有するアクリル系粘着剤である前記[1]又は[2]に記載の再剥離性粘着シート。 [3] The releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to [1] or [2], wherein the pressure-sensitive adhesive is an acrylic pressure-sensitive adhesive having in its molecular structure an active group capable of reacting with a crosslinking agent.

[4]前記[1]〜[3]のいずれかに記載の再剥離性粘着シートの前記粘着層の表面に第一の被着体を貼着するとともに前記基材を非加熱条件下で剥離して前記粘着層の表面を露出させ、露出させた前記粘着層の前記表面に第二の被着体を貼着した状態で、前記第一及び第二の被着体の少なくとも一方について所定の加工を行い、次いで、前記粘着層を加熱して剥離することにより前記所定の加工がなされた加工済み被着体を得ることを含む被着体加工方法。 [4] A first adherend is adhered to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of [1] to [3], and the substrate is peeled off under non-heating conditions. Then, the surface of the adhesive layer is exposed, and the second adherend is adhered to the exposed surface of the adhesive layer, and at least one of the first and second adherends is predetermined. An adherend processing method comprising: processing and then obtaining the processed adherend subjected to the predetermined processing by heating and peeling the adhesive layer.

[5]前記所定の加工が、少なくとも所定の導電体層をパターン化する工程を含む、フレキシブルプリント基板(FPC)を製造するための加工である前記[4]に記載の被着体加工方法。 [5] The adherend processing method according to [4], wherein the predetermined processing includes processing for patterning at least a predetermined conductor layer, and is a processing for manufacturing a flexible printed circuit board (FPC).

[6]前記所定の加工が、切断加工である前記[4]に記載の被着体加工方法。 [6] The adherend processing method according to [4], wherein the predetermined process is a cutting process.

[7]前記所定の加工が、導電体層形成加工である前記[4]に記載の被着体加工方法。 [7] The adherend processing method according to [4], wherein the predetermined processing is a conductor layer forming processing.

本発明の再剥離性粘着シートは、加熱により被着体に糊残り等の汚染を生じさせることなく容易に剥離できるとともに、いわゆるロール−to−ロールの製造工程等においては粘着層単独で使用可能であるといった効果を奏するものである。   The releasable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention can be easily peeled off without causing contamination such as adhesive residue on the adherend by heating, and can be used alone in a so-called roll-to-roll manufacturing process. The effect that it is.

また、本発明の被着体加工方法によれば、加熱により被着体に糊残り等の汚染を生じさせることなく容易に剥離できるとともに粘着層単独で使用することが可能な再剥離性粘着シートを用いるため、被着体加工の高精度化と加工効率の向上を図ることができる。   Moreover, according to the adherend processing method of the present invention, a releasable pressure-sensitive adhesive sheet that can be easily peeled off without causing contamination such as adhesive residue on the adherend by heating and can be used alone. Therefore, it is possible to improve the accuracy of processing the adherend and improve the processing efficiency.

以下、本発明の実施の形態について説明するが、本発明は以下の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で、当業者の通常の知識に基づいて、適宜、設計の変更、改良等が加えられることが理解されるべきである。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described. However, the present invention is not limited to the following embodiments, and may be appropriately selected based on ordinary knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention. It should be understood that design changes, improvements, etc. may be made.

本発明の再剥離性粘着シートは、フィルム状又はシート状の基材と、この基材の少なくとも一方の面上に配設される、熱膨張性微小球及び粘着剤を含む粘着剤組成物からなる粘着層とを備えた再剥離性粘着シートであり、基材の、粘着層が配設される面が剥離性を有する面であり、基材が粘着層から非加熱条件下で剥離可能なものである。以下、その詳細について説明する。   The releasable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention comprises a film-like or sheet-like base material, and a pressure-sensitive adhesive composition comprising thermally expandable microspheres and a pressure-sensitive adhesive disposed on at least one surface of the base material. A releasable pressure-sensitive adhesive sheet comprising a pressure-sensitive adhesive layer, the surface of the base material on which the pressure-sensitive adhesive layer is disposed is a surface having peelability, and the base material can be peeled off from the pressure-sensitive adhesive layer under non-heating conditions. Is. The details will be described below.

本発明の実施形態である再剥離性粘着シートを構成する基材は、粘着層が配設される面(粘着層配設面)が剥離性を有するものである。このような粘着層配設面を有する基材を用いることにより、この基材は、粘着層から非加熱条件下で剥離可能である。ここで、本発明にいう「非加熱条件下で剥離可能」とは、何らの加熱処理を施すことなく、例えば室温(25℃前後)条件下で容易に剥離することが可能であることをいう。このような剥離性の粘着層配設面を有する基材としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレン、ポリプロピレン、又はポリアリレート等の各種樹脂からなるフィルムやシート、ポリエチレンラミネート紙、ポリブチレンラミネート紙、クリーコート紙、樹脂コート紙、又はグラシン紙等の各種紙材を挙げることができ、これらのうちから粘着シートの利用分野に応じて適宜選択することができる。また、粘着層配設面に離型処理が施された基材を好適に用いることもできる。   As for the base material which comprises the releasable adhesive sheet which is embodiment of this invention, the surface (adhesion layer arrangement | positioning surface) by which an adhesion layer is arrange | positioned has peelability. By using a base material having such an adhesive layer-providing surface, the base material can be peeled off from the adhesive layer under non-heating conditions. Here, the phrase “removable under non-heating conditions” as used in the present invention means that it can be easily peeled off, for example, at room temperature (around 25 ° C.) without any heat treatment. . Examples of the substrate having such a peelable adhesive layer-providing surface include films and sheets made of various resins such as polyethylene terephthalate, polybutylene terephthalate, polyethylene, polypropylene, and polyarylate, polyethylene laminated paper, and polybutylene. Various paper materials such as laminated paper, crea-coated paper, resin-coated paper, and glassine paper can be exemplified, and among these, it can be appropriately selected according to the application field of the pressure-sensitive adhesive sheet. Moreover, the base material by which the mold release process was performed to the adhesion layer arrangement | positioning surface can also be used suitably.

基材の粘着層配設面に施される離型処理としては、例えばシリコーン系樹脂、長鎖アルキル系樹脂、フッ素系樹脂等の離型剤の塗布による離型剤層の形成処理を挙げることができる。なお、基材は透明であっても、これを構成する材質に各種顔料や染料を配合して着色したものであってもよく、更にはその表面がマット状に加工されていてもよい。   Examples of the release treatment applied to the adhesive layer-providing surface of the substrate include a release agent layer forming treatment by applying a release agent such as a silicone resin, a long chain alkyl resin, or a fluorine resin. Can do. The substrate may be transparent, or may be colored by blending various pigments and dyes with the material constituting the substrate, and the surface may be processed into a mat shape.

本発明の実施形態である再剥離性粘着シートは、剥離性を有する上述の基材の面上に粘着層を配設した積層構造を有するものである。この粘着層は、熱膨張性微小球と粘着剤を含む粘着剤組成物によって形成されている。粘着剤組成物に含まれる熱膨張性微小球は、弾性を有する殻内に、所定の温度まで加熱することにより容易にガス化して膨張する物質(気化物質)を内包させたものである。殻に内包される気化物質の好適例としては、ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン等の物質、又はこれらの物質の混合物を挙げることができる。なお、気化物質は、熱膨張性微小球を膨張させようとする所望の温度に応じて適宜選択することができる。   The releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to an embodiment of the present invention has a laminated structure in which a pressure-sensitive adhesive layer is disposed on the surface of the above-described base material having peelability. This adhesive layer is formed of an adhesive composition containing thermally expandable microspheres and an adhesive. The heat-expandable microspheres contained in the pressure-sensitive adhesive composition are obtained by encapsulating a substance (vaporizing substance) that easily gasifies and expands when heated to a predetermined temperature in an elastic shell. Preferable examples of the vaporized substance contained in the shell include substances such as pentane, hexane, heptane, and octane, or a mixture of these substances. In addition, a vaporization substance can be suitably selected according to the desired temperature which is going to expand a thermally expansible microsphere.

上述の気化物質を内包する殻としては、例えば、熱溶融性物質、熱膨張により破壊する物質で形成されたものを挙げることができる。殻を形成する物質としては、例えば、塩化ビニリデン−アクリロニトリル共重合体、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタクリレート、ポリアクリロニトリル、ポリ塩化ビニリデン、ポリスルホン等を挙げることができる。なお、熱膨張性微小球の具体例としては、マイクロスフェア(商品名(松本油脂製薬社製))等の市販品を挙げることができる。また、熱膨張性微小球は、これに内包される気化物質の体積膨張率が5倍以上、好ましくは7倍以上、特に好ましくは10倍以上となるまで破裂しない適度な強度を有するものであることが、加熱処理により粘着層の粘着力を効率よく低下させることができるために好ましい。更に、熱膨張性微小球の大きさは、平均粒径で10〜90μmの範囲から適宜選択することが好ましい。   Examples of the shell enclosing the vaporized material described above include those formed of a heat-meltable material or a material that is destroyed by thermal expansion. Examples of the substance forming the shell include vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polymethyl methacrylate, polyacrylonitrile, polyvinylidene chloride, and polysulfone. Specific examples of the thermally expandable microspheres include commercially available products such as microspheres (trade name (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.)). Further, the thermally expandable microsphere has an appropriate strength that does not rupture until the volume expansion coefficient of the vaporized substance contained therein is 5 times or more, preferably 7 times or more, particularly preferably 10 times or more. It is preferable because the adhesive force of the adhesive layer can be efficiently reduced by heat treatment. Furthermore, the size of the thermally expandable microspheres is preferably selected as appropriate from the range of 10 to 90 μm in terms of average particle diameter.

粘着剤組成物に含まれる粘着剤は、ゴム系粘着剤、アクリル系粘着剤のいずれでもよいが、熱膨張性微小球の膨張前における温度条件下での保持力、強粘着力を発揮する点でアクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤には、アクリル酸アルキルエステル及び/又はメタクリル酸アルキルエステルの単量体成分と架橋剤と反応し得る官能基を有する単量体との共重合体が包含される。即ち、アクリル系粘着剤は、その分子構造中に架橋剤と反応し得る活性基を有するものであることが好ましい。この活性基としては、例えばカルボキシル基、水酸基、アミド基等を挙げることができる。   The pressure-sensitive adhesive contained in the pressure-sensitive adhesive composition may be either a rubber-based pressure-sensitive adhesive or an acrylic pressure-sensitive adhesive, but exhibits a holding force and a strong pressure-sensitive adhesive force under temperature conditions before expansion of the thermally expandable microsphere. An acrylic adhesive is preferred. The acrylic pressure-sensitive adhesive includes a copolymer of a monomer component of acrylic acid alkyl ester and / or methacrylic acid alkyl ester and a monomer having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent. That is, the acrylic pressure-sensitive adhesive preferably has an active group capable of reacting with the crosslinking agent in its molecular structure. Examples of the active group include a carboxyl group, a hydroxyl group, and an amide group.

アクリル酸アルキルエステルやメタクリル酸アルキルエステルを構成するアルキルエステルとしては、例えばメチルエステル、エチルエステル、プロピルエステル、イソプロピルエステル、ブチルエステル、イソブチルエステル、s−ブチルエステル、t−ブチルエステル、ペンチルエステル、ヘキシルエステル、ヘプチルエステル、オクチルエステル、イソオクチルエステル、2−エチルヘキシルエステル、イソデシルエステル、ドデシルエステル、トリデシルエステル、ペンタデシルエステル、オクタデシルエステル、ノナデシルエステル、エイコシルエステル等を挙げることができる。   Examples of the alkyl ester constituting the acrylic acid alkyl ester and methacrylic acid alkyl ester include methyl ester, ethyl ester, propyl ester, isopropyl ester, butyl ester, isobutyl ester, s-butyl ester, t-butyl ester, pentyl ester, hexyl. Examples thereof include esters, heptyl esters, octyl esters, isooctyl esters, 2-ethylhexyl esters, isodecyl esters, dodecyl esters, tridecyl esters, pentadecyl esters, octadecyl esters, nonadecyl esters, and eicosyl esters.

架橋剤と反応し得る官能基を有する単量体としては、その官能基がカルボキシル基であるアクリル酸、メタクリル酸、カルボキシエチルアクリレート、カルボキシペンチルアクリレート、イタコン酸、マレイン酸、フマル酸、クロトン酸、等の他、官能基がヒドロキシル基であるアクリル酸ヒドロキシエチル、メタクリル酸ヒドロキシエチル、アクリル酸ヒドロキシプロピル、メタクリル酸ヒドロキシプロピル、アクリル酸ヒドロキシブチル、メタクリル酸ヒドロキシブチル、アクリル酸ヒドロキシヘキシル、メタクリル酸ヒドロキシヘキシル、アクリル酸ヒドロキシオクチル、メタクリル酸ヒドロキシオクチル、アクリル酸ヒドロキシデシル、メタクリル酸ヒドロキシデシル、アクリル酸ヒドロキシラウリル、メタクリル酸ヒドロキシラウリル等、更には、官能基がアミド基であるアクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、官能基が反応性アミノ基であるメタクリル酸ジメチルアミノエチル、メタクリル酸ジメチルアミノメチル、メタクリル酸ターシャリーブチルアミノエチル等を挙げることができる。これらの単量体は単独で、又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。   As a monomer having a functional group capable of reacting with a crosslinking agent, acrylic acid, methacrylic acid, carboxyethyl acrylate, carboxypentyl acrylate, itaconic acid, maleic acid, fumaric acid, crotonic acid, whose functional group is a carboxyl group, In addition, hydroxyethyl acrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl acrylate, hydroxypropyl methacrylate, hydroxybutyl acrylate, hydroxybutyl methacrylate, hydroxyhexyl acrylate, hydroxyhexyl methacrylate whose functional group is a hydroxyl group , Hydroxyoctyl acrylate, hydroxyoctyl methacrylate, hydroxydecyl acrylate, hydroxydecyl methacrylate, hydroxylauryl acrylate, hydroxylaur methacrylate In addition, acrylic acid amide, methacrylic acid amide whose functional group is an amide group, dimethylaminoethyl methacrylate, dimethylaminomethyl methacrylate, tertiary butylaminoethyl methacrylate, etc. whose functional group is a reactive amino group, etc. Can be mentioned. These monomers may be used alone or in combination of two or more.

更に、所望により上述してきた単量体以外の単量体を併用してもよい。具体的にはスチレン、酢酸ビニル、アクリロニトリル、アクリルアミド、ポリエチレングリコールアクリレート、N−ビニルピロリドン、及びテトラフルフリルアクリレート等を挙げることができる。   Further, if desired, monomers other than those described above may be used in combination. Specific examples include styrene, vinyl acetate, acrylonitrile, acrylamide, polyethylene glycol acrylate, N-vinyl pyrrolidone, and tetrafurfuryl acrylate.

粘着剤は、前述のアクリル酸アルキルエステル及び/又はメタクリル酸アルキルエステルの単量体と、架橋剤と反応し得る官能基を有する単量体とをラジカル共重合させることによって得ることができる。この場合の共重合法はよく知られており、乳化重合法、溶液重合法、塊状重合法、懸濁重合法、及び光重合法等を挙げることができる。また、粘着剤は、架橋剤で架橋されていてもよい。架橋剤は粘着剤に合せて適宜選択すればよく、特に制約はない。具体的には、イソシアネート系架橋剤、金属キレート架橋剤及びエポキシ系架橋剤等が用いられる。   The pressure-sensitive adhesive can be obtained by radical copolymerization of the aforementioned acrylic acid alkyl ester and / or methacrylic acid alkyl ester monomer and a monomer having a functional group capable of reacting with the crosslinking agent. The copolymerization method in this case is well known, and examples thereof include an emulsion polymerization method, a solution polymerization method, a bulk polymerization method, a suspension polymerization method, and a photopolymerization method. The pressure-sensitive adhesive may be crosslinked with a crosslinking agent. The crosslinking agent may be appropriately selected according to the pressure-sensitive adhesive, and is not particularly limited. Specifically, an isocyanate crosslinking agent, a metal chelate crosslinking agent, an epoxy crosslinking agent, and the like are used.

また、粘着層を構成する粘着剤組成物には、ガラス転移点のコントロール剤としての各種の樹脂を添加することが、被着体との密着性をコントロールすることができるために好ましい。添加する樹脂としては、ゴム、粘着付与樹脂、ワックス、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、アミド樹脂、及びエポキシ樹脂等を好適例として挙げることができる。   Moreover, it is preferable to add various resins as a glass transition point control agent to the pressure-sensitive adhesive composition constituting the pressure-sensitive adhesive layer because the adhesion to the adherend can be controlled. Preferred examples of the resin to be added include rubber, tackifier resin, wax, acrylic resin, polyester resin, urethane resin, amide resin, and epoxy resin.

粘着剤組成物の25℃における弾性率は、1.0×105〜7.0×108Paであることが好ましく、2.0×105〜6.5×108Paであることが更に好ましく、4.0×105〜6.0×108Paであることが特に好ましい。25℃における弾性率が1.0×105Pa未満であると、加熱条件下において粘着剤の密着力及び保持力が極端に低下する傾向にあり、7.0×108Pa超であると、被着体への追従性が低下する傾向にある。なお、本発明にいう「弾性率」とは、試料となる粘着剤組成物を所定の基材上に塗工・乾燥後に剥離させることにより得られる、厚さ0.1mm×幅3mm×長さ15mmの試料シートを使用し、TMA引張モード法により、荷重−0.2〜−0.5gの条件で測定した値(Pa)をいう。なお、弾性率の測定方法の詳細については後述する。 The elastic modulus at 25 ° C. of the pressure-sensitive adhesive composition is preferably 1.0 × 10 5 to 7.0 × 10 8 Pa, and preferably 2.0 × 10 5 to 6.5 × 10 8 Pa. More preferably, it is 4.0 × 10 5 to 6.0 × 10 8 Pa. When the elastic modulus at 25 ° C. is less than 1.0 × 10 5 Pa, the adhesive force and holding force of the pressure-sensitive adhesive tend to be extremely lowered under heating conditions, and is over 7.0 × 10 8 Pa. The followability to the adherend tends to decrease. The “elastic modulus” referred to in the present invention is a thickness of 0.1 mm × width of 3 mm × length obtained by peeling a pressure-sensitive adhesive composition as a sample after coating and drying on a predetermined substrate. The value (Pa) measured under the condition of a load of −0.2 to −0.5 g by a TMA tensile mode method using a 15 mm sample sheet. Details of the elastic modulus measurement method will be described later.

次に、本発明の実施形態である再剥離性粘着シートを作製する方法について概説する。まず、フィルム状又はシート状の基材の面上に粘着層を形成するには、前述の粘着剤組成物を適当な溶剤に溶解又は分散させて、固形分濃度が20〜60質量%程度の粘着層形成塗工液を調製する。次いで、この粘着剤層形成塗工液を、基材の面上に常法に従って塗布した後、乾燥することにより粘着層を形成して、再剥離性粘着シートを作製することができる。形成する粘着層の厚さは、15〜100μmとすればよい。粘着層の厚さが100μmよりも厚いと、加熱処理後の剥離時に凝集破壊が起こり易くなるため、良好な剥離性が得られなくなる場合があり、15μmよりも薄いと、被着体との十分な粘着力が得られなくなる場合がある。   Next, a method for producing a releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to an embodiment of the present invention will be outlined. First, in order to form an adhesive layer on the surface of a film-like or sheet-like substrate, the above-mentioned adhesive composition is dissolved or dispersed in an appropriate solvent, and the solid content concentration is about 20 to 60% by mass. An adhesive layer forming coating solution is prepared. Subsequently, after applying this adhesive layer formation coating liquid on the surface of a base material in accordance with a conventional method, the adhesive layer is formed by drying, and a releasable adhesive sheet can be produced. What is necessary is just to let the thickness of the adhesion layer to form be 15-100 micrometers. If the thickness of the adhesive layer is more than 100 μm, cohesive failure is likely to occur at the time of peeling after the heat treatment, so that good peelability may not be obtained. If the thickness is less than 15 μm, sufficient adhesion with the adherend is obtained. May not be able to obtain a sufficient adhesive strength.

なお、粘着層中に残存する揮発分の量(以下、「残存揮発分量」と記す)によっては、粘着層と基材との粘着性や熱膨張性微小球が膨張する温度以上に加熱した後における、被着体からの剥離性、糊残り性に悪影響を及ぼす場合がある。従って、粘着層中の残存揮発分量は、4質量%以下とすることが好ましく、2質量%以下とすることが更に好ましい。なお、所望とする残存揮発分量とするためには、粘着層形成塗工液を調製するための溶剤の量や、塗工後の乾燥時間等を調整すればよい。粘着層形成塗工液には、従来慣用されている各種添加剤、例えば界面活性剤、潤滑剤、安定剤、粘度調整剤、染料等を添加することができる。   Depending on the amount of volatile component remaining in the adhesive layer (hereinafter referred to as “residual volatile component amount”), after heating to a temperature higher than the temperature at which the adhesiveness between the adhesive layer and the substrate or the thermally expandable microspheres expands May adversely affect the peelability from the adherend and the adhesive residue. Accordingly, the residual volatile content in the adhesive layer is preferably 4% by mass or less, and more preferably 2% by mass or less. In addition, what is necessary is just to adjust the quantity of the solvent for preparing the adhesion layer formation coating liquid, the drying time after coating, etc. in order to set it as the desired residual volatile matter amount. Various conventionally used additives such as surfactants, lubricants, stabilizers, viscosity modifiers, dyes, and the like can be added to the adhesive layer forming coating solution.

本実施形態の再剥離性粘着シートは、これを構成する基材を剥離除去し、加工対象となる被着体を粘着層の両面に貼着した積層体(積層体A)を構成すれば、かかる被着体の加工を容易にすることができる。また、粘着層の一方の面に加工対象となる被着体、他方の面に適当な支持体又は所定の製造工程で使用される治具等を貼着した積層体(積層体B)を構成しても、かかる被着体の加工を容易にすることができる。   If the peelable adhesive sheet of this embodiment peels and removes the base material constituting this, and constitutes a laminate (laminate A) in which the adherend to be processed is adhered to both sides of the adhesive layer, Processing of such an adherend can be facilitated. In addition, an adherend to be processed is formed on one surface of the adhesive layer, and a laminate (laminate B) in which an appropriate support or a jig used in a predetermined manufacturing process is attached to the other surface. Even so, the processing of the adherend can be facilitated.

次に、本発明の被着体加工方法について説明する。本発明の被着体加工方法は、上述してきたいずれかの再剥離性粘着シートの粘着層の表面に第一の被着体を貼着するとともに基材を非加熱条件下で剥離して粘着層の表面を露出させ、露出させた粘着層の表面に第二の被着体を貼着した状態で、第一及び第二の被着体の少なくとも一方について所定の加工を行い、次いで、粘着層を加熱して剥離することにより所定の加工がなされた加工済み被着体を得ることを含む被着体加工方法である。以下、その詳細について説明する。   Next, the adherend processing method of the present invention will be described. In the adherend processing method of the present invention, the first adherend is adhered to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of any of the above-described releasable pressure-sensitive adhesive sheets, and the base material is peeled off under non-heating conditions. In a state where the surface of the layer is exposed and the second adherend is adhered to the surface of the exposed adhesive layer, predetermined processing is performed on at least one of the first and second adherends, and then the adhesive It is an adherend processing method including obtaining a processed adherend that has been subjected to predetermined processing by heating and peeling a layer. The details will be described below.

本発明の実施形態である被着体加工方法において、加工の対象となる被着体(第一及び第二の被着体)としては、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、セロハン、ポリイミド、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、芳香族ポリアミド、ポリスルホン、液晶ポリマー等の耐熱性を有する合成樹脂製のフィルムやシート、ガラス、金属、又はセラミックからなるシート等が挙げられる。また、これらの被着体を構成する材料のうちの数種類を積層した積層複合体を被着体として使用することもできる。なお、第一の被着体と第二の被着体は同一のものであっても、異なるものであってもよい。更には、第一又は第二の被着体の一方の被着体を適当な支持体又は所定の製造工程で使用される治具等とし、他方の被着体のみについて所定の加工を行うこともできる。   In the adherend processing method according to the embodiment of the present invention, the adherends to be processed (first and second adherends) are, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polycarbonate, triacetyl. Films and sheets made of heat-resistant synthetic resins such as cellulose, cellophane, polyimide, polyamide, polyphenylene sulfide, polyetherimide, polyethersulfone, aromatic polyamide, polysulfone, and liquid crystal polymer, sheets made of glass, metal, or ceramic Etc. Moreover, the laminated composite which laminated | stacked several types of the materials which comprise these adherends can also be used as an adherend. The first adherend and the second adherend may be the same or different. Furthermore, one adherend of the first or second adherend is used as an appropriate support or a jig used in a predetermined manufacturing process, and predetermined processing is performed only on the other adherend. You can also.

本実施形態の被着体加工方法によれば、これまで述べてきたいずれかの再剥離性粘着シートを用いる。この再剥離性粘着シートを用いれば、それを構成する基材を粘着層から非加熱条件下で容易に剥離除去することができるため、加工対象となる被着体を粘着層の両面に貼着した、いわゆる基材レスの積層体(積層体A)を構成することができる。本実施形態の被着体加工方法では、このような基材レスの積層体を構成した状態で、この積層体を構成する被着体(第一の被着体及び/又は第二の被着体)について所定の加工を行うため、製造工程における積層体の高追従性、被着体の薄膜化、省資源化を実現することができる。また、基材レスの状態で所定の加工を行うため、例えば高温条件下で作業等した場合であっても基材の寸法変化に影響されることがなく、被着体に対して高精度の高い加工を行うことができる。従って、本実施形態の被着体加工方法によれば、FPCの製造、半導体ウェハの切断、積層セラミックコンデンサーの小片化、メッキ、スパッタリング等による被着体表面上への導電層の形成等を行うことができる。   According to the adherend processing method of the present embodiment, any one of the releasable adhesive sheets described so far is used. If this re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet is used, the substrate constituting it can be easily peeled and removed from the pressure-sensitive adhesive layer under non-heated conditions, so the adherend to be processed is stuck on both sides of the pressure-sensitive adhesive layer. Thus, a so-called substrate-less laminate (laminate A) can be formed. In the adherend processing method of the present embodiment, an adherend (first adherend and / or second adherend) constituting the laminate in a state where such a substrate-less laminate is constituted. Since the predetermined processing is performed on the body, it is possible to realize high followability of the laminated body, thin film of the adherend, and resource saving in the manufacturing process. In addition, since the predetermined processing is performed without the base material, it is not affected by the dimensional change of the base material even when the work is performed under a high temperature condition, for example. High processing can be performed. Therefore, according to the adherend processing method of the present embodiment, the FPC is manufactured, the semiconductor wafer is cut, the multilayer ceramic capacitor is made smaller, the conductive layer is formed on the adherend surface by plating, sputtering, and the like. be able to.

また、本実施形態の被着体加工方法においては、前記第一及び第二の被着体の少なくとも一方が、銅張り積層板(CCL)をはじめとする、その表面上に導電体層が形成されてなるものであり、かつ、粘着層に貼着された状態の被着体に対して行う所定の加工が、少なくとも導電体層をパターン化する工程を含む、FPCを製造するための加工であることが好ましい。即ち、本実施形態の被着体加工方法では、これまで述べてきたいずれかの再剥離性粘着シートを用いるため、被着体上に高精度なパターン配線を効率よく形成することができる。   In the adherend processing method of the present embodiment, at least one of the first and second adherends has a conductor layer formed on the surface thereof, including a copper clad laminate (CCL). The processing for manufacturing the FPC, in which the predetermined processing performed on the adherend in a state of being attached to the adhesive layer includes at least the step of patterning the conductor layer. Preferably there is. That is, in the adherend processing method of this embodiment, since any one of the releasable adhesive sheets described so far is used, highly accurate pattern wiring can be efficiently formed on the adherend.

次に、被着体表面の導電体層をパターン化する工程を含む、FPCを製造するための加工の一例について概説する。まず、FPCを製造するための加工を実施するに先立ち、本発明の再剥離性粘着シートを用いて、前述の積層体A、又はBを構成する。具体的には、まず再剥離性粘着シートの粘着層の表面に、加工対象となる基板(第一の被着体)を貼着する。次いで、非加熱条件下で基材を剥離して粘着層の表面を露出させ、そこに、同じく加工対象となる基板(第二の被着体)を貼着する。加工対象となる基板(第一の被着体及び第二の被着体)は、例えば銅張り積層板(CCL)等であり、その樹脂面を粘着層に貼着することにより、積層体Aを構成することができる。また、第一の被着体又は第二の被着体のいずれかを、加工対象とはしない適当な支持体又は所定の製造工程で使用される治具等とすれば、積層体Bを構成することができる。更には、再剥離粘着シートの粘着層と基材との間に、各種フィルム、シート、樹脂板等を挟みこんで積層体Cを構成してもよい。   Next, an outline of an example of processing for manufacturing an FPC including the step of patterning the conductor layer on the adherend surface will be described. First, prior to performing the processing for manufacturing the FPC, the above-described laminate A or B is configured using the releasable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention. Specifically, a substrate (first adherend) to be processed is first attached to the surface of the adhesive layer of the releasable adhesive sheet. Next, the base material is peeled off under non-heating conditions to expose the surface of the adhesive layer, and a substrate (second adherend) that is also a processing target is adhered thereto. The substrate (first adherend and second adherend) to be processed is, for example, a copper-clad laminate (CCL) or the like, and the laminate A is obtained by sticking the resin surface to the adhesive layer. Can be configured. Further, if either the first adherend or the second adherend is an appropriate support that is not an object to be processed or a jig that is used in a predetermined manufacturing process, the laminate B is configured. can do. Furthermore, you may comprise the laminated body C by pinching | interposing various films, a sheet | seat, a resin board, etc. between the adhesion layer of a re-peeling adhesive sheet, and a base material.

その後、被着体の表面上に配設された導電体層をパターン化する。パターン化は、従来公知の片面構造のFPCを製造するための各種の方法により実施すればよく、具体例としては以下に示す写真法、又は印刷法等を挙げることができる。パターン化完了後は、熱膨張性微小球の膨張温度以上の温度に加熱することにより再剥離性粘着シートを剥離させれば、加工が施された被着体に過剰の負荷をかけることなく加工済み被着体であるFPCを得ることができる。   Thereafter, the conductor layer disposed on the surface of the adherend is patterned. The patterning may be carried out by various methods for producing a conventionally known single-sided FPC, and specific examples include the following photographic methods and printing methods. After patterning is complete, if the re-peelable adhesive sheet is peeled off by heating to a temperature higher than the expansion temperature of the heat-expandable microspheres, it will be processed without applying an excessive load to the processed adherend. An FPC which is a finished adherend can be obtained.

[写真法]:まず、導電体層の表面全体に、液状の感光剤を塗布・乾燥する、又は感光性のドライフィルムを貼着する。次いで、導体パターン部分のみを露光させるとともに現像して、露光した箇所に耐エッチング性皮膜を残す。次に、エッチング液により、露出した導体の不要部分(導体パターン部分以外の部分)を溶解・除去する。その後、エッチングレジスト層を剥離・除去し、導体パターン部分を形成・露出させ、露出した導体パターン部分の表面にカバーレイフィルムを貼り合わせるとともに、150℃前後で加熱プレスしてカバーレイフィルムを硬化させることにより、導電体層をパターン化する。 [Photographing method]: First, a liquid photosensitive agent is applied and dried, or a photosensitive dry film is attached to the entire surface of the conductor layer. Next, only the conductor pattern portion is exposed and developed to leave an etching resistant film at the exposed portion. Next, the exposed unnecessary portion of the conductor (portion other than the conductor pattern portion) is dissolved and removed with an etching solution. Thereafter, the etching resist layer is peeled and removed to form and expose the conductor pattern portion, and the coverlay film is bonded to the surface of the exposed conductor pattern portion, and the coverlay film is cured by heating and pressing at about 150 ° C. Thus, the conductor layer is patterned.

[印刷法]:まず、導電体層の表面に、耐エッチング性インキをスクリーン印刷により印刷(塗布)・乾燥する。次に、エッチング液により、露出した導体の不要部分(導体パターン部分以外の部分)を溶解・除去する。その後、エッチングレジスト層を剥離・除去し、導体パターン部分を形成・露出させ、露出した導体パターン部分の表面にカバーレイフィルムを貼り合わせるとともに、150℃前後で加熱プレスしてカバーレイフィルムを硬化させることにより、導電体層をパターン化する。 [Printing method]: First, an etching resistant ink is printed (applied) and dried on the surface of the conductor layer by screen printing. Next, the exposed unnecessary portion of the conductor (portion other than the conductor pattern portion) is dissolved and removed with an etching solution. Thereafter, the etching resist layer is peeled and removed to form and expose the conductor pattern portion, and the coverlay film is bonded to the surface of the exposed conductor pattern portion, and the coverlay film is cured by heating and pressing at about 150 ° C. Thus, the conductor layer is patterned.

また、本実施形態の被着体加工方法においては、再剥離性粘着シートに貼着された状態の被着体に対して行う所定の加工が、切断加工であることが好ましい。即ち、本実施形態の被着体加工方法では、これまで述べてきたいずれかの再剥離性粘着シートを用いるため、製造工程における積層体の高追従性、被着体の薄膜化、省資源化を実現することができる。また、基材レスの状態で加工を行うため、例えば高温条件下で作業等した場合であっても基材の寸法変化に影響されることがなく、被着体に対して高精度の高い加工を行うことができる。更には、切断加工がなされた加工済み被着体に過剰の負荷をかけることなく粘着層を剥離することができ、損傷等の不具合のない加工済み被着体を容易に得ることができる。   Moreover, in the adherend processing method of this embodiment, it is preferable that the predetermined process performed with respect to the adherend in the state stuck on the releasable adhesive sheet is a cutting process. That is, in the adherend processing method of the present embodiment, since any of the releasable adhesive sheets described so far is used, high followability of the laminate in the manufacturing process, thinning of the adherend, and resource saving. Can be realized. In addition, since processing is performed without a base material, for example, even when working under high temperature conditions, it is not affected by dimensional changes of the base material, and highly accurate processing is performed on the adherend. It can be performed. Furthermore, the pressure-sensitive adhesive layer can be peeled off without applying an excessive load to the processed adherend that has been cut, and a processed adherend that is free from defects such as damage can be easily obtained.

切断加工を実施するに先立ち、本発明の実施形態である再剥離性粘着シートを使用して前述の積層体Bを構成する。加工対象となる被着体は、例えばセラミックシート、半導体ウェハ等である。なお、再剥離粘着シートの粘着層と支持体又は治具等との間に、各種フィルム、シート、樹脂板等を挟みこんで積層体Cを構成してもよい。次に、積層体B又はCの被着体について、これらを小片化する等の切断加工をする。切断加工完了後は、熱膨張性微小球の膨張温度以上の温度に加熱することにより再剥離性粘着シートを剥離させれば、加工が施された被着体に過剰の負荷をかけることなく加工済み被着体を得ることができる。   Prior to performing the cutting process, the above-described laminate B is configured using the releasable pressure-sensitive adhesive sheet which is an embodiment of the present invention. The adherend to be processed is, for example, a ceramic sheet or a semiconductor wafer. In addition, you may comprise the laminated body C by pinching | interposing various films, a sheet | seat, a resin board, etc. between the adhesion layer of a re-peeling adhesive sheet, and a support body or a jig | tool. Next, the laminated body B or C adherend is subjected to a cutting process such as fragmentation. After the cutting process is completed, if the re-peelable adhesive sheet is peeled off by heating to a temperature equal to or higher than the expansion temperature of the heat-expandable microspheres, it will be processed without applying an excessive load to the processed adherend. A finished adherend can be obtained.

また、本実施形態の被着体加工方法においては、再剥離性粘着シートに貼着された状態の被着体に対して行う所定の加工が、導電体層形成加工であることが好ましい。即ち、本実施形態の被着体加工方法では、これまで述べてきたいずれかの再剥離性粘着シートを用いるため、製造工程における積層体の高追従性、被着体の薄膜化、省資源化を実現することができる。また、基材レスの状態で加工を行うため、例えば高温条件下で作業等した場合であっても基材の寸法変化に影響されることがなく、被着体に対して高精度の高い加工を行うことができる。更には、導電体層形成加工がなされた加工済み被着体に過剰の負荷をかけることなく粘着層を剥離することができ、損傷等の不具合のない加工済み被着体を容易に得ることができる。なお、導電体層形成加工の具体例としては、メッキ加工、ラミネート加工、スパッタリング加工等を挙げることができる。   Moreover, in the adherend processing method of this embodiment, it is preferable that the predetermined process performed with respect to the adherend in the state affixed on the releasable adhesive sheet is a conductor layer forming process. That is, in the adherend processing method of the present embodiment, since any of the releasable adhesive sheets described so far is used, high followability of the laminate in the manufacturing process, thinning of the adherend, and resource saving. Can be realized. In addition, since processing is performed without a base material, for example, even when working under high temperature conditions, it is not affected by dimensional changes of the base material, and highly accurate processing is performed on the adherend. It can be performed. Furthermore, the pressure-sensitive adhesive layer can be peeled without applying an excessive load to the processed adherend subjected to the conductor layer forming process, and a processed adherend free from defects such as damage can be easily obtained. it can. Specific examples of the conductor layer forming process include plating, laminating, and sputtering.

導電体層形成加工を実施するに先立ち、本発明の実施形態である再剥離性粘着シートを使用して、前述の積層体A、又はBを構成する。加工対象となる被着体は、例えばポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリエチレン、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、セロハン、ポリイミド、ポリアミド、ポリフェニレンスルフィド、ポリエーテルイミド、ポリエーテルスルホン、芳香族ポリアミド、ポリスルホン、液晶ポリマー等の耐熱性を有する合成樹脂製のフィルム又はシートである。なお、再剥離粘着シートの粘着層と基材との間に、各種フィルム、シート、樹脂板等を挟みこんで積層体Cを構成してもよい。次に、積層体A、B、又はCの被着体について、定法に従って導電体層形成加工をする。導電体層形成加工完了後は、熱膨張性微小球の膨張温度以上の温度に加熱することにより再剥離性粘着シートを剥離させれば、加工が施された加工済み被着体に過剰の負荷をかけることなく加工済み被着体を得ることができる。   Prior to performing the conductor layer forming process, the above-described laminate A or B is configured using the releasable pressure-sensitive adhesive sheet which is an embodiment of the present invention. The adherend to be processed is, for example, polyethylene terephthalate, polyethylene naphthalate, polyethylene, polycarbonate, triacetylcellulose, cellophane, polyimide, polyamide, polyphenylene sulfide, polyetherimide, polyethersulfone, aromatic polyamide, polysulfone, liquid crystal polymer It is a synthetic resin film or sheet having heat resistance such as. In addition, you may comprise the laminated body C by pinching | interposing various films, a sheet | seat, a resin board, etc. between the adhesion layer and base material of a re-peeling adhesive sheet. Next, a conductor layer forming process is performed on the adherend of the laminate A, B, or C according to a conventional method. After the conductor layer forming process is completed, if the re-peelable adhesive sheet is peeled off by heating to a temperature equal to or higher than the expansion temperature of the heat-expandable microsphere, an excessive load is applied to the processed adherend. A processed adherend can be obtained without application of.

次に、実施例により本発明を更に詳細に説明するが、本発明はこれらの例によってなんら限定されるものではない。   EXAMPLES Next, although an Example demonstrates this invention further in detail, this invention is not limited at all by these examples.

(実施例1)
熱膨張性微小球(F−50D(松本油脂製薬社製))8.3質量部、アクリル系粘着剤(固形分=35質量%、Mw=50万、ガラス転移点=−31℃(日本カーバイド社製))100質量部、テルペンフェノール系粘着付与樹脂(軟化点125℃(ヤスハラケミカル社製))10.5質量部、エポキシ系架橋剤(N,N,N’N’−テトラグリシジル−m−キシレンジアミン)0.12質量部、及びトルエン21質量部を均一に混合、溶解し、粘着層形成塗工液を調製した。この粘着層形成塗工液を、シリコン離型処理が施された厚さ50μmのポリエチレンテレフタレートシート(基材)上にベーカー式アプリケーターにて塗布し、100℃にて十分乾燥することにより、厚さ45μmの粘着剤層が形成された再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。なお、各種物性値の測定方法、及び評価方法を以下に示す。
(Example 1)
Thermally expandable microspheres (F-50D (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.)) 8.3 parts by mass, acrylic adhesive (solid content = 35% by mass, Mw = 500,000, glass transition point = −31 ° C. (Nippon Carbide) 100 parts by mass, terpene phenol-based tackifier resin (softening point 125 ° C. (manufactured by Yasuhara Chemical Co.)), 10.5 parts by mass, epoxy-based crosslinking agent (N, N, N′N′-tetraglycidyl-m-) Xylenediamine) 0.12 parts by mass and 21 parts by mass of toluene were uniformly mixed and dissolved to prepare an adhesive layer forming coating solution. The adhesive layer-forming coating solution is coated on a 50 μm-thick polyethylene terephthalate sheet (base material) that has been subjected to silicon release treatment with a baker-type applicator and dried sufficiently at 100 ° C. A re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet on which a 45 μm pressure-sensitive adhesive layer was formed was produced. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet. In addition, the measuring method and evaluation method of various physical property values are shown below.

[弾性率]:再剥離性粘着シートを構成する粘着層(粘着剤組成物)の常温(25℃)における弾性率(Pa)を測定した。具体的には、試料となる粘着剤組成物を所定のシリコーンシート上に塗工・乾燥後に剥離させることにより、厚さ0.1mm×幅3mm×長さ15mmの試料シートを作製し、この試料シートの長手方向の一方の端部を固定式チャックにより、他方の端部を可動式チャックによりそれぞれ担持し、TMA4000S(MAC SCIENCE社製)を用いてTMA引張モード法により、各設定温度条件下、−0.2〜−0.5gの荷重を負荷して測定した。 [Elastic modulus]: The elastic modulus (Pa) at room temperature (25 ° C.) of the pressure-sensitive adhesive layer (pressure-sensitive adhesive composition) constituting the removable pressure-sensitive adhesive sheet was measured. Specifically, a sample sheet having a thickness of 0.1 mm, a width of 3 mm, and a length of 15 mm is prepared by applying a pressure-sensitive adhesive composition as a sample onto a predetermined silicone sheet and then peeling it off. One end in the longitudinal direction of the sheet is supported by a fixed chuck, the other end is supported by a movable chuck, and each set temperature condition is determined by TMA tension mode method using TMA4000S (manufactured by MAC SCIENCE). It measured by applying a load of -0.2 to -0.5 g.

[初期剥離力]:被着体として、SUS304板をJIS Z 0237に従って処理したものを使用し、その表面に20mm幅の粘着シートを貼り付けてサンプルを用意した。このサンプルについて、室温にて180°剥離力を測定し、得られた値を25mm幅の再剥離性粘着シートを用いた場合の値(N/25mm)に換算した。 [Initial peeling force]: As an adherend, a SUS304 plate treated according to JIS Z 0237 was used, and a 20 mm wide adhesive sheet was attached to the surface thereof to prepare a sample. About this sample, 180 degree peeling force was measured at room temperature, and the obtained value was converted into the value (N / 25mm) at the time of using a 25 mm width removable adhesive sheet.

[加熱剥離性(SUS)]:被着体として、SUS304板をJIS Z 0237に従って処理したものを使用し、その表面に100×100mmの粘着シートを貼り付けた後、120℃(実施例6についてのみ160℃)のホットプレート上で10分間加熱した。放冷後、室温(25℃)にて粘着シートが被着体から剥離しているか否かを以下の基準で評価した。
◎:何も力を加えずに被着体から剥離する。
○:粘着層に指を触れた後、被着体から剥離する。
△:粘着層に力を加えると、糊残りなく剥離する。
×:粘着層に力を加えても容易に剥離せず、剥離の際に糊残りが見られる。
[Heat releasability (SUS)]: As an adherend, a SUS304 plate treated according to JIS Z 0237 was used, and a 100 × 100 mm pressure-sensitive adhesive sheet was attached to the surface, and then 120 ° C. (about Example 6). Only on a hot plate at 160 ° C. for 10 minutes. After cooling, whether or not the adhesive sheet was peeled off from the adherend at room temperature (25 ° C.) was evaluated according to the following criteria.
A: Peel from the adherend without applying any force.
○: After touching the adhesive layer with a finger, it peels off from the adherend.
(Triangle | delta): When force is applied to the adhesion layer, it peels without adhesive residue.
X: Even if force is applied to the pressure-sensitive adhesive layer, it does not peel easily, and adhesive residue is observed during peeling.

(実施例2)
熱膨張性微小球(F−50D(松本油脂製薬社製))9.5質量部、アクリル系粘着剤(固形分=35質量%、Mw=43万、ガラス転移点=−36℃(ハリマ化成社製))100質量部、キシレン系粘着付与樹脂(軟化点170℃(三菱瓦斯化学社製))17.5質量部、エポキシ系架橋剤(N,N,N’N’−テトラグリシジル−m−キシレンジアミン)0.53質量部、及びトルエン21質量部を均一に混合、溶解し、粘着層形成塗工液を調製した。この粘着層形成塗工液を用いたこと以外は実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
(Example 2)
Thermally expandable microspheres (F-50D (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.)) 9.5 parts by mass, acrylic adhesive (solid content = 35% by mass, Mw = 430,000, glass transition point = −36 ° C. (Harima Kasei) 100 parts by mass, xylene-based tackifier resin (softening point 170 ° C. (manufactured by Mitsubishi Gas Chemical)), 17.5 parts by mass, epoxy-based crosslinking agent (N, N, N′N′-tetraglycidyl-m) -Xylenediamine) 0.53 parts by mass and 21 parts by mass of toluene were uniformly mixed and dissolved to prepare an adhesive layer forming coating solution. A releasable pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that this pressure-sensitive adhesive layer-forming coating solution was used. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

(実施例3)
熱膨張性微小球(F−50D(松本油脂製薬社製))9.4質量部、アクリル系粘着剤(固形分47質量%、Mw=48万、ガラス転移温度−34℃(一方社製))100質量部、テルペンフェノール系粘着付与樹脂(軟化点125℃(ヤスハラケミカル社製))14.5質量部、エポキシ系架橋剤(N,N,N’N’−テトラグリシジル−m−キシレンジアミン)0.62質量部、及びトルエン21質量部を均一に混合、溶解し、粘着層形成塗工液を調製した。この粘着層形成塗工液を用いたこと以外は実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
(Example 3)
9.4 parts by mass of thermally expandable microspheres (F-50D (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.)), acrylic adhesive (solid content 47% by mass, Mw = 480,000, glass transition temperature -34 ° C. (manufactured by one company) ) 100 parts by mass, terpene phenol-based tackifier resin (softening point 125 ° C. (manufactured by Yasuhara Chemical Co.)), 14.5 parts by mass, epoxy-based crosslinking agent (N, N, N′N′-tetraglycidyl-m-xylenediamine) 0.62 parts by mass and 21 parts by mass of toluene were uniformly mixed and dissolved to prepare an adhesive layer forming coating solution. A releasable pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that this pressure-sensitive adhesive layer-forming coating solution was used. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

(実施例4)
架橋剤としてイソシアネート系のコロネートL(日本ポリウレタン工業社製)0.36質量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
Example 4
A re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that 0.36 parts by mass of isocyanate-based coronate L (manufactured by Nippon Polyurethane Industry Co., Ltd.) was used as a crosslinking agent. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

(実施例5)
粘着付与樹脂としてロジン系粘着付与樹脂(軟化点85℃(ハリマ化成社製))21質量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
(Example 5)
A detachable pressure-sensitive adhesive sheet was prepared in the same manner as in Example 1 except that 21 parts by mass of a rosin-based tackifying resin (softening point: 85 ° C. (manufactured by Harima Chemicals)) was used as the tackifying resin. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

(実施例6)
熱膨張性微小球としてF−100D(松本油脂製薬社製)8.3質量部を用いたこと以外は、実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
(Example 6)
A releasable pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that 8.3 parts by mass of F-100D (manufactured by Matsumoto Yushi Seiyaku Co., Ltd.) was used as the thermally expandable microsphere. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

(比較例1)
基材として厚み100μmのポリエチレンテレフタレートシート(シリコン離型処理なし)を用いたこと以外は、実施例1と同様にして再剥離性粘着シートを作製した。この再剥離性粘着シートの物性値の測定結果、及び特性評価結果を表1に示す。
(Comparative Example 1)
A re-peelable pressure-sensitive adhesive sheet was produced in the same manner as in Example 1 except that a polyethylene terephthalate sheet (without silicon release treatment) having a thickness of 100 μm was used as the substrate. Table 1 shows the measurement results of the physical property values and the property evaluation results of the removable pressure-sensitive adhesive sheet.

Figure 2005330407
Figure 2005330407

(実施例7)
実施例1で得られた再剥離性粘着シートの粘着層の両面に、2枚の銅張り積層板(CCL)(1F1 TM50(東レ社製))のそれぞれのPI面をそれぞれラミネートした。次に、これらの銅張り積層板のそれぞれの銅箔面にドライフィルムをラミネートし、その後、露光、現像(1%炭酸ナトリウム溶液、30℃×60秒)、エッチングにより所定の回路を加工形成(塩化第二鉄溶液、45℃)、レジスト剥離(2%NaOH溶液、45℃×60秒)を行うことにより、積層体(加工済み被着体)を得た。得られた積層体について、加熱剥離性(CCL)、汚染性(CCL)、及び生産性の評価を行った。結果を表2に示す。なお、加熱剥離性(CCL)、汚染性(CCL)、及び生産性の評価方法を以下に示す。
(Example 7)
The PI surfaces of two copper-clad laminates (CCL) (1F1 TM50 (manufactured by Toray Industries, Inc.)) were laminated on both sides of the adhesive layer of the releasable adhesive sheet obtained in Example 1, respectively. Next, a dry film is laminated on each copper foil surface of these copper-clad laminates, and then a predetermined circuit is processed and formed by exposure, development (1% sodium carbonate solution, 30 ° C. × 60 seconds), and etching ( A laminated body (processed adherend) was obtained by performing ferric chloride solution (45 ° C.) and resist stripping (2% NaOH solution, 45 ° C. × 60 seconds). About the obtained laminated body, heat peelability (CCL), contamination | pollution property (CCL), and productivity were evaluated. The results are shown in Table 2. In addition, the evaluation method of heat peelability (CCL), contamination (CCL), and productivity is shown below.

[加熱剥離性(CCL)]:積層体(加工済み被着体)を、120℃のホットプレート上で10分間加熱した。放冷後、室温(25℃)にて粘着シートが被着体から剥離しているか否かを以下の基準で評価した。
◎:何も力を加えずに被着体から剥離する。
○:粘着層に指を触れた後、被着体から剥離する。
△:粘着層に力を加えると、糊残りなく剥離する。
×:粘着層に力を加えても容易に剥離せず、剥離の際に糊残りが見られる。
[Heat peelability (CCL)]: The laminate (processed adherend) was heated on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes. After cooling, whether or not the adhesive sheet was peeled off from the adherend at room temperature (25 ° C.) was evaluated according to the following criteria.
A: Peel from the adherend without applying any force.
○: After touching the adhesive layer with a finger, it peels off from the adherend.
(Triangle | delta): When force is applied to the adhesion layer, it peels without adhesive residue.
X: Even if force is applied to the pressure-sensitive adhesive layer, it does not peel easily, and adhesive residue is observed during peeling.

[汚染性(CCL)]:前述の「加熱剥離性(CCL)」の評価において、粘着層を剥離した被着体の表面の汚染性を以下の基準で評価した。
○:被着体に変色、糊残りが見られない。
×:被着体に変色又は糊残りが見られる。
[Contamination (CCL)]: In the above-mentioned evaluation of “heat peelability (CCL)”, the contamination of the surface of the adherend from which the adhesive layer was peeled was evaluated according to the following criteria.
○: No discoloration or adhesive residue is observed on the adherend.
X: Discoloration or adhesive residue is observed on the adherend.

[生産性]:エッチングにより所定の回路を形成加工する工程を1.5m/分の速度で流した場合における、単位時間当りのCCLの加工枚数を生産量として算出した。この生産量が、50枚/時間であった場合を○、25枚/時間であった場合を×として生産性を評価した。なお、CCLのサイズは350mm×250mmであった。 [Productivity]: The number of processed CCLs per unit time when the process of forming and processing a predetermined circuit by etching was made to flow at a speed of 1.5 m / min was calculated as the production amount. Productivity was evaluated by setting the case where the production amount was 50 sheets / hour as ◯ and the case where it was 25 sheets / hour as x. The CCL size was 350 mm × 250 mm.

(実施例8)
実施例2で得られた再剥離性粘着シートを用いたこと以外は実施例7と同様にして積層体を得た。得られた積層体について、加熱剥離性(CCL)、汚染性(CCL)、及び生産性の評価を行った。結果を表2に示す。
(Example 8)
A laminate was obtained in the same manner as in Example 7 except that the removable pressure-sensitive adhesive sheet obtained in Example 2 was used. About the obtained laminated body, heat peelability (CCL), contamination | pollution property (CCL), and productivity were evaluated. The results are shown in Table 2.

(比較例2)
比較例1で得られた再剥離性粘着シートを用いたこと以外は実施例7と同様にして積層体を得た。得られた積層体について、加熱剥離性(CCL)、汚染性(CCL)、及び生産性の評価を行った。結果を表2に示す。
(Comparative Example 2)
A laminate was obtained in the same manner as in Example 7 except that the releasable pressure-sensitive adhesive sheet obtained in Comparative Example 1 was used. About the obtained laminated body, heat peelability (CCL), contamination | pollution property (CCL), and productivity were evaluated. The results are shown in Table 2.

(実施例9)
実施例1で得られた再剥離性粘着シートの粘着層の一方の面にSUS製の製造用治具を貼着した。また、粘着層の他方の面に積層セラミックグリーンシート(フィラー:TiO2、バインダー:PVB)をラミネートした。次に、積層セラミックグリーンシートのバインダー軟化点以上(50〜90℃)に加熱した状態で、積層セラミックグリーンシートを昇降ブレードにて切断して小片化し、加工済み被着体を得た。その後、120℃のホットプレート上で10分加熱し、室温まで放冷後、粘着層を剥離させて、小片化されたセラミックコンデンサーを得た。なお、得られた加工済み被着体について、加熱剥離性(グリーンシート)、汚染性(グリーンシート)の評価を行った。結果を表2に示す。また、加熱剥離性(グリーンシート)、汚染性(グリーンシート)の評価方法を以下に示す。
Example 9
A manufacturing jig made of SUS was attached to one surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the releasable pressure-sensitive adhesive sheet obtained in Example 1. A laminated ceramic green sheet (filler: TiO 2 , binder: PVB) was laminated on the other surface of the adhesive layer. Next, the multilayer ceramic green sheet was cut with a lifting blade while being heated to a temperature equal to or higher than the binder softening point of the multilayer ceramic green sheet (50 to 90 ° C.) to obtain a processed adherend. Then, it heated for 10 minutes on a 120 degreeC hotplate, and stood to cool to room temperature, Then, the adhesion layer was peeled and the ceramic capacitor fragmented was obtained. The processed adherend thus obtained was evaluated for heat peelability (green sheet) and contamination (green sheet). The results are shown in Table 2. Moreover, the evaluation method of heat peelability (green sheet) and contamination (green sheet) is shown below.

[加熱剥離性(グリーンシート)]:被着体(加工済み被着体)を、120℃のホットプレート上で10分間加熱した。放冷後、室温(25℃)にて粘着層が被着体から剥離しているか否かを以下の基準で評価した。
◎:何も力を加えずに被着体から剥離する。
○:粘着層に指を触れた後、被着体から剥離する。
△:粘着層に力を加えると、糊残りなく剥離する。
×:粘着層に力を加えても容易に剥離せず、剥離の際に糊残りが見られる。
[Heat releasability (green sheet)]: The adherend (processed adherend) was heated on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes. After cooling, whether or not the adhesive layer was peeled off from the adherend at room temperature (25 ° C.) was evaluated according to the following criteria.
A: Peel from the adherend without applying any force.
○: After touching the adhesive layer with a finger, it peels off from the adherend.
(Triangle | delta): When force is applied to the adhesion layer, it peels without adhesive residue.
X: Even if force is applied to the pressure-sensitive adhesive layer, it does not peel easily, and adhesive residue is observed during peeling.

[汚染性(グリーンシート)]:前述の「加熱剥離性(グリーンシート)」の評価において、粘着層を剥離した被着体の表面の汚染性を以下の基準で評価した。
○:被着体に変色、糊残りが見られない。
×:被着体に変色又は糊残りが見られる。
[Contamination (Green Sheet)]: In the above-mentioned evaluation of “heat-peelability (green sheet)”, the contamination of the surface of the adherend from which the adhesive layer was peeled was evaluated according to the following criteria.
○: No discoloration or adhesive residue is observed on the adherend.
X: Discoloration or adhesive residue is observed on the adherend.

(実施例10)
実施例1で得られた再剥離性粘着シートの粘着層の両面にポリイミドフィルム(25μm)をそれぞれラミネートした。次に、無電解銅メッキ浴(硫酸銅(10g/l)、還元剤、水酸化ナトリウム、キレート剤、添加剤)を行い、ポリイミドフィルム上に18μm厚みの導体を形成して加工済み被着体を得た。その後、120℃のホットプレート上で10分加熱し、室温まで放冷後、粘着層を剥離させて2枚の銅張積層板を得た。なお、得られた加工済み被着体について、加熱剥離性(ポリイミド)、及び薬液しみこみ性の評価を行った。結果を表2に示す。また、加熱剥離性(ポリイミド)、及び薬液しみこみ性の評価方法を以下に示す。
(Example 10)
Polyimide films (25 μm) were laminated on both sides of the pressure-sensitive adhesive layer of the releasable pressure-sensitive adhesive sheet obtained in Example 1, respectively. Next, an electroless copper plating bath (copper sulfate (10 g / l), reducing agent, sodium hydroxide, chelating agent, additive) is formed to form a conductor having a thickness of 18 μm on the polyimide film, and the processed adherend Got. Then, it heated for 10 minutes on a 120 degreeC hotplate, and after standing_to_cool to room temperature, the adhesion layer was peeled and the two copper clad laminated boards were obtained. In addition, about the obtained processed to-be-adhered body, evaluation of heat peelability (polyimide) and chemical | medical solution penetration was performed. The results are shown in Table 2. Moreover, the evaluation method of heat peelability (polyimide) and chemical | medical solution penetration property is shown below.

[加熱剥離性(ポリイミド)]:加工済み被着体を、120℃のホットプレート上で10分間加熱した。放冷後、室温(25℃)にて粘着層が加工済み被着体から剥離しているか否かを以下の基準で評価した。
◎:何も力を加えずに加工済み被着体から剥離する。
○:粘着層に指を触れた後、加工済み被着体から剥離する。
△:粘着層に力を加えると、糊残りなく剥離する。
×:粘着シートに力を加えても容易に剥離せず、剥離の際に糊残りが見られる。
[Heat releasability (polyimide)]: The processed adherend was heated on a hot plate at 120 ° C. for 10 minutes. After cooling, whether or not the adhesive layer was peeled off from the processed adherend at room temperature (25 ° C.) was evaluated according to the following criteria.
A: Peel from the processed adherend without applying any force.
○: After touching the adhesive layer with a finger, it is peeled off from the processed adherend.
(Triangle | delta): When force is applied to the adhesion layer, it peels without adhesive residue.
X: Even if force is applied to the pressure-sensitive adhesive sheet, it does not peel easily, and adhesive residue is observed at the time of peeling.

[薬液しみこみ性]:前述の「加熱剥離性(ポリイミド)」の評価において、粘着シートを剥離した加工済み被着体の表面の薬液しみこみ性を以下の基準で評価した。
○:加工済み被着体と粘着層の界面に薬液のしみこみが見られない。
×:加工済み被着体と粘着層の界面に薬液のしみこみが見られる。
[Chemical solution soaking property]: In the above-mentioned evaluation of “heat peelability (polyimide)”, the chemical solution soaking property of the processed adherend from which the pressure-sensitive adhesive sheet was peeled was evaluated according to the following criteria.
○: No soaking of the chemical solution is observed at the interface between the processed adherend and the adhesive layer.
X: Smudge of the chemical solution is seen at the interface between the processed adherend and the adhesive layer.

Figure 2005330407
Figure 2005330407

表1に示すように、実施例1〜6の再剥離性粘着シートは、加熱前は被着体との密着力が十分である一方、加熱後は糊残りや抵抗なく加工済み被着体より剥離可能であることが明らかである。また、実施例1〜6の再剥離性粘着シートを使用すれば、基材を剥離させ、基材レスの状態で被着体の加工を行うことができるため、比較例1に比して優れた加工性を有し、価格、生産性、及び環境面からも優位である。   As shown in Table 1, the releasable pressure-sensitive adhesive sheets of Examples 1 to 6 have sufficient adhesion with the adherend before heating, while after heating, the processed adherend without any adhesive residue or resistance. It is clear that it can be peeled off. Moreover, if the releasable pressure-sensitive adhesive sheets of Examples 1 to 6 are used, the substrate can be peeled off and the adherend can be processed in a state of no substrate, which is superior to Comparative Example 1. It has excellent processability and is advantageous in terms of price, productivity, and environment.

また、表2に示すように、FPC製造用の裏打用シートとして用いること(実施例7,8)、積層セラミックグリーンシートの切断加工用の仮固定シートとして用いること(実施例9)、及び導電体層形成加工用のマスキングシートとして用いること(実施例10)等、各種の被着体加工方法に好適に使用できることが明らかである。また、基材レスの状態で被着体の加工が可能であり、両面同時加工による生産性向上、及び基材の熱収縮の影響を排除して寸法変化減少に寄与することを確認することができた。   Further, as shown in Table 2, it is used as a backing sheet for FPC production (Examples 7 and 8), used as a temporary fixing sheet for cutting a multilayer ceramic green sheet (Example 9), and conductive. It is apparent that it can be suitably used for various adherend processing methods such as use as a masking sheet for body layer formation processing (Example 10). In addition, it can be confirmed that it is possible to process the adherend without the base material, and that it improves productivity by simultaneous processing on both sides and contributes to reduction in dimensional change by eliminating the influence of heat shrinkage of the base material. did it.

本発明の再剥離性粘着シートは、フレキシブルプリント基板(FPC)製造工程における裏打用シートや、半導体ウェハの切断工程、及び積層セラミックコンデンサーの小片化加工工程における仮止めシート等として好適である。   The releasable pressure-sensitive adhesive sheet of the present invention is suitable as a backing sheet in a flexible printed circuit board (FPC) manufacturing process, a temporary fixing sheet in a cutting process of a semiconductor wafer, and a fragmentation process of a multilayer ceramic capacitor.

Claims (7)

フィルム状又はシート状の基材と、前記基材の少なくとも一方の面上に配設される、熱膨張性微小球及び粘着剤を含む粘着剤組成物からなる粘着層とを備えた再剥離性粘着シートであって、
前記基材の、前記粘着層が配設される面が剥離性を有する面であり、前記基材が前記粘着層から非加熱条件下で剥離可能である再剥離性粘着シート。
Removability comprising a film-like or sheet-like base material, and an adhesive layer made of an adhesive composition containing thermally expandable microspheres and an adhesive, disposed on at least one surface of the base material An adhesive sheet,
The releasable pressure-sensitive adhesive sheet, wherein the surface of the base material on which the pressure-sensitive adhesive layer is disposed is a surface having peelability, and the base material is peelable from the pressure-sensitive adhesive layer under non-heating conditions.
前記粘着剤組成物の25℃における弾性率が、1.0×105〜7.0×108Paである請求項1に記載の再剥離性粘着シート。 The releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1, wherein the pressure-sensitive adhesive composition has an elastic modulus at 25 ° C. of 1.0 × 10 5 to 7.0 × 10 8 Pa. 前記粘着剤が、架橋剤と反応し得る活性基をその分子構造中に有するアクリル系粘着剤である請求項1又は2に記載の再剥離性粘着シート。   The releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to claim 1 or 2, wherein the pressure-sensitive adhesive is an acrylic pressure-sensitive adhesive having in its molecular structure an active group capable of reacting with a crosslinking agent. 請求項1〜3のいずれか一項に記載の再剥離性粘着シートの前記粘着層の表面に第一の被着体を貼着するとともに前記基材を非加熱条件下で剥離して前記粘着層の表面を露出させ、
露出させた前記粘着層の前記表面に第二の被着体を貼着した状態で、前記第一及び第二の被着体の少なくとも一方について所定の加工を行い、
次いで、前記粘着層を加熱して剥離することにより前記所定の加工がなされた加工済み被着体を得ることを含む被着体加工方法。
The first adherend is adhered to the surface of the pressure-sensitive adhesive layer of the releasable pressure-sensitive adhesive sheet according to any one of claims 1 to 3, and the base material is peeled off under non-heating conditions to form the pressure-sensitive adhesive. Exposing the surface of the layer,
In a state where the second adherend is attached to the exposed surface of the pressure-sensitive adhesive layer, predetermined processing is performed on at least one of the first and second adherends,
Next, an adherend processing method including obtaining the processed adherend subjected to the predetermined processing by heating and peeling the adhesive layer.
前記所定の加工が、少なくとも所定の導電体層をパターン化する工程を含む、フレキシブルプリント基板(FPC)を製造するための加工である請求項4に記載の被着体加工方法。   The adherend processing method according to claim 4, wherein the predetermined processing is processing for manufacturing a flexible printed circuit board (FPC) including a step of patterning at least a predetermined conductor layer. 前記所定の加工が、切断加工である請求項4に記載の被着体加工方法。   The adherend processing method according to claim 4, wherein the predetermined process is a cutting process. 前記所定の加工が、導電体層形成加工である請求項4に記載の被着体加工方法。   The adherend processing method according to claim 4, wherein the predetermined processing is a conductor layer forming processing.
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