JP2002361467A - レーザ加工装置 - Google Patents
レーザ加工装置Info
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- JP2002361467A JP2002361467A JP2001166974A JP2001166974A JP2002361467A JP 2002361467 A JP2002361467 A JP 2002361467A JP 2001166974 A JP2001166974 A JP 2001166974A JP 2001166974 A JP2001166974 A JP 2001166974A JP 2002361467 A JP2002361467 A JP 2002361467A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 案内管内部に侵入した粉塵を効率的に捕捉し
て、反射ミラーやレンズの汚損を防止し、ワークの加工
精度を向上することができるレーザ加工装置を提供す
る。 【解決手段】 レーザ発振器１２に連結された第１固定
案内管１３を外側案内管２１と内側案内管２２により構
成し、内側案内管２２の前後両端部に第１及び第２偏向
板２８，２９を配置収容する。前記外側案内管２１及び
内側案内管２２は第１エア噴射ノズル２６を貫通支持す
る。該第１エア噴射ノズル２６から噴射されたエアを内
側案内管２２の内部で螺旋旋回流として流し、内側案内
管２２の先端部から出たエアを第１偏向板２８に衝突さ
せ、エアをエア流路２５に偏向させて循環させる。この
エアの循環流が第１及び第２偏向板２８，２９に塗布し
た粘着剤３０に触れることによりエア中に含まれる粉塵
が吸着される。
て、反射ミラーやレンズの汚損を防止し、ワークの加工
精度を向上することができるレーザ加工装置を提供す
る。 【解決手段】 レーザ発振器１２に連結された第１固定
案内管１３を外側案内管２１と内側案内管２２により構
成し、内側案内管２２の前後両端部に第１及び第２偏向
板２８，２９を配置収容する。前記外側案内管２１及び
内側案内管２２は第１エア噴射ノズル２６を貫通支持す
る。該第１エア噴射ノズル２６から噴射されたエアを内
側案内管２２の内部で螺旋旋回流として流し、内側案内
管２２の先端部から出たエアを第１偏向板２８に衝突さ
せ、エアをエア流路２５に偏向させて循環させる。この
エアの循環流が第１及び第２偏向板２８，２９に塗布し
た粘着剤３０に触れることによりエア中に含まれる粉塵
が吸着される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レーザ加工装置に
係り、詳しくは案内管内に侵入した粉塵を捕捉すること
ができるレーザ加工装置に関するものである。
係り、詳しくは案内管内に侵入した粉塵を捕捉すること
ができるレーザ加工装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】レーザ加工装置はレーザ発振器から出力
されるレーザビームを反射ミラーを経由して加工ヘッド
に導き、該加工ヘッドのレンズによりレーザビームを集
束してワークに照射し、ワークを加工するようになって
いる。
されるレーザビームを反射ミラーを経由して加工ヘッド
に導き、該加工ヘッドのレンズによりレーザビームを集
束してワークに照射し、ワークを加工するようになって
いる。
【０００３】前記レーザビームの光軸を保護するために
レーザ発振器から反射ミラーの間及び反射ミラーから加
工ヘッドの間を円形案内管により保護するようにしてい
た。そして、前記案内管内を密閉状態にして、案内管内
に粉塵が入るのを防止するために案内管の外部より清浄
なエアを送り込んで、案内管内を外気に比較して僅かに
圧力を高めるようになっていた。
レーザ発振器から反射ミラーの間及び反射ミラーから加
工ヘッドの間を円形案内管により保護するようにしてい
た。そして、前記案内管内を密閉状態にして、案内管内
に粉塵が入るのを防止するために案内管の外部より清浄
なエアを送り込んで、案内管内を外気に比較して僅かに
圧力を高めるようになっていた。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
レーザ加工装置は、前記反射ミラーのクリーニングの
際、又、案内管の内部清浄用エアの送り込みを停止した
時や、あるいは案内管内を開放する際に案内管の継ぎ目
から粉塵が入り込み、粉塵対策としては不十分であっ
た。又、案内管内部に入ってしまった粉塵を外部に排出
することができず、このためレーザビームの案内管に接
続された反射ミラーやレンズが汚損され易く、クリーニ
ング頻度を多くしなければならず、レーザビームに粉塵
が悪影響を及ぼしワークの加工精度を低下させるという
問題もあった。
レーザ加工装置は、前記反射ミラーのクリーニングの
際、又、案内管の内部清浄用エアの送り込みを停止した
時や、あるいは案内管内を開放する際に案内管の継ぎ目
から粉塵が入り込み、粉塵対策としては不十分であっ
た。又、案内管内部に入ってしまった粉塵を外部に排出
することができず、このためレーザビームの案内管に接
続された反射ミラーやレンズが汚損され易く、クリーニ
ング頻度を多くしなければならず、レーザビームに粉塵
が悪影響を及ぼしワークの加工精度を低下させるという
問題もあった。
【０００５】この発明の目的は、上記従来の技術に存す
る問題点を解消して、案内管内に侵入した粉塵を捕捉し
て、反射ミラーやレンズの状態を良好に保ち、ワークの
加工作業を精度良く行うことができるレーザ加工装置を
提供することにある。
る問題点を解消して、案内管内に侵入した粉塵を捕捉し
て、反射ミラーやレンズの状態を良好に保ち、ワークの
加工作業を精度良く行うことができるレーザ加工装置を
提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、請求項１に記載の発明は、レーザ発振器のレーザ
ビームを案内管を通してレンズを備えたレーザ加工ヘッ
ドに導き、レーザビームをワークに照射してワークを加
工するようにしたレーザ加工装置において、前記案内管
内には該案内管と同芯状に内側案内管が収容され、該内
側案内管には前記案内管の外部からエアを内側案内管の
内部に供給するためのエア噴射ノズルが設けられ、前記
案内管の内周面には、前記内側案内管の前後両端縁から
所定距離だけ離れた位置に位置するようにドーナッツ板
状の第１偏向板及び第２偏向板が配置され、前記エア噴
射ノズルから噴射されたエアの流路に粉塵を捕捉する捕
捉手段を設けたことを要旨とする。
めに、請求項１に記載の発明は、レーザ発振器のレーザ
ビームを案内管を通してレンズを備えたレーザ加工ヘッ
ドに導き、レーザビームをワークに照射してワークを加
工するようにしたレーザ加工装置において、前記案内管
内には該案内管と同芯状に内側案内管が収容され、該内
側案内管には前記案内管の外部からエアを内側案内管の
内部に供給するためのエア噴射ノズルが設けられ、前記
案内管の内周面には、前記内側案内管の前後両端縁から
所定距離だけ離れた位置に位置するようにドーナッツ板
状の第１偏向板及び第２偏向板が配置され、前記エア噴
射ノズルから噴射されたエアの流路に粉塵を捕捉する捕
捉手段を設けたことを要旨とする。
【０００７】請求項２に記載の発明は、請求項１におい
て、前記エア噴射ノズルは内側案内管の内部でエアが螺
旋旋回流となって流動するように内側案内管の長手方向
及び内側案内管の内周に対して傾斜状態で配置されてい
ることを要旨とする。
て、前記エア噴射ノズルは内側案内管の内部でエアが螺
旋旋回流となって流動するように内側案内管の長手方向
及び内側案内管の内周に対して傾斜状態で配置されてい
ることを要旨とする。
【０００８】請求項３に記載の発明は、請求項１又は２
において、前記第１偏向板及び第２偏向板の少なくとも
一方の偏向板のエア偏向面に粉塵の捕捉手段としての粘
着剤を塗布したことを要旨とする。
において、前記第１偏向板及び第２偏向板の少なくとも
一方の偏向板のエア偏向面に粉塵の捕捉手段としての粘
着剤を塗布したことを要旨とする。
【０００９】請求項４に記載の発明は、レーザ発振器の
レーザビームを案内管を通してレンズを備えたレーザ加
工ヘッドに導き、レーザビームをワークに照射してワー
クを加工するようにしたレーザ加工装置において、前記
案内管内にエアの流動手段を設け、そのエア流路に粉塵
を捕捉する捕捉手段を設けたことを要旨とする。
レーザビームを案内管を通してレンズを備えたレーザ加
工ヘッドに導き、レーザビームをワークに照射してワー
クを加工するようにしたレーザ加工装置において、前記
案内管内にエアの流動手段を設け、そのエア流路に粉塵
を捕捉する捕捉手段を設けたことを要旨とする。
【００１０】請求項５に記載の発明は、請求項４におい
て、前記エアの流動手段は、エアを案内管内で循環させ
るように構成されていることを要旨とする。請求項６に
記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項において、
前記案内管の内周面又は内側案内管の外周面のいずれか
一方又は両方に粘着剤を塗布したことを要旨とする。
て、前記エアの流動手段は、エアを案内管内で循環させ
るように構成されていることを要旨とする。請求項６に
記載の発明は、請求項１〜５のいずれか一項において、
前記案内管の内周面又は内側案内管の外周面のいずれか
一方又は両方に粘着剤を塗布したことを要旨とする。
【００１１】請求項７に記載の発明は、請求項１〜６の
いずれか一項において、前記粉塵の捕捉手段は、交換可
能に収容されていることを要旨とする。
いずれか一項において、前記粉塵の捕捉手段は、交換可
能に収容されていることを要旨とする。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明を具体化した一実
施形態を図１〜図３に基づいて説明する。図１に示すよ
うにレーザ加工装置１１のレーザ発振器１２には、第１
固定案内管１３が連結され、第１固定案内管１３の先端
部には第１伸縮案内管１４を介して反射ミラー１５が連
結されている。反射ミラー１５には第２伸縮案内管１６
の上端が連結され、第２伸縮案内管１６の下端部には第
２固定案内管１７の上端部が連結され、第２固定案内管
１７の下端部にはレーザ加工ヘッド１８が連結されてい
る。レーザ加工ヘッド１８内にはレンズ１９が収容され
ている。
施形態を図１〜図３に基づいて説明する。図１に示すよ
うにレーザ加工装置１１のレーザ発振器１２には、第１
固定案内管１３が連結され、第１固定案内管１３の先端
部には第１伸縮案内管１４を介して反射ミラー１５が連
結されている。反射ミラー１５には第２伸縮案内管１６
の上端が連結され、第２伸縮案内管１６の下端部には第
２固定案内管１７の上端部が連結され、第２固定案内管
１７の下端部にはレーザ加工ヘッド１８が連結されてい
る。レーザ加工ヘッド１８内にはレンズ１９が収容され
ている。
【００１３】前記レーザ発振器１２から出力されたレー
ザビームＢは、第１固定案内管１３及び第１伸縮案内管
１４内を通り反射ミラー１５で反射される。その後、第
２伸縮案内管１６及び第２固定案内管１７内を通り、レ
ーザ加工ヘッド１８内部のレンズ１９によって集束さ
れ、加工テーブル２０上に支持したワークＷに照射され
るようになっている。前記第１及び第２固定案内管１
３，１７はほぼ同様に構成されているので、第１固定案
内管１３の構成について図２を中心に説明する。
ザビームＢは、第１固定案内管１３及び第１伸縮案内管
１４内を通り反射ミラー１５で反射される。その後、第
２伸縮案内管１６及び第２固定案内管１７内を通り、レ
ーザ加工ヘッド１８内部のレンズ１９によって集束さ
れ、加工テーブル２０上に支持したワークＷに照射され
るようになっている。前記第１及び第２固定案内管１
３，１７はほぼ同様に構成されているので、第１固定案
内管１３の構成について図２を中心に説明する。
【００１４】前記第１固定案内管１３は外側に位置する
円筒状の外側案内管２１と、該外側案内管２１の内部に
所定間隔をおいて同心状に収容保持された内側案内管２
２を備えている。外側案内管２１と内側案内管２２は複
数本の連結ロッド２３によって連結されている。前記内
側案内管２２の内部にはレーザ発振器１２から出力され
たレーザビームＢのビーム通路２４が形成され、外側案
内管２１と内側案内管２２の間にはエア循環用のエア流
路２５が形成されている。前記外側案内管２１及び内側
案内管２２には第１エア噴射ノズル２６が外側案内管２
１の外側から内側案内管２２の内側に向って貫通支持さ
れている。該第１エア噴射ノズル２６の先端部により圧
縮エア供給源（図示略）から清浄な圧縮エアが内側案内
管２２のビーム通路２４内に内側案内管２２の長手方向
及び内周面に対して傾斜状態で噴射されるようになって
いる。前記外側案内管２１の外周部には第２エア噴射ノ
ズル２７が貫通され、圧縮エア供給源から清浄なエアが
エア流路２５内に外側案内管２１の長手方向及び内周面
に対して傾斜状態で噴射されるようになっている。
円筒状の外側案内管２１と、該外側案内管２１の内部に
所定間隔をおいて同心状に収容保持された内側案内管２
２を備えている。外側案内管２１と内側案内管２２は複
数本の連結ロッド２３によって連結されている。前記内
側案内管２２の内部にはレーザ発振器１２から出力され
たレーザビームＢのビーム通路２４が形成され、外側案
内管２１と内側案内管２２の間にはエア循環用のエア流
路２５が形成されている。前記外側案内管２１及び内側
案内管２２には第１エア噴射ノズル２６が外側案内管２
１の外側から内側案内管２２の内側に向って貫通支持さ
れている。該第１エア噴射ノズル２６の先端部により圧
縮エア供給源（図示略）から清浄な圧縮エアが内側案内
管２２のビーム通路２４内に内側案内管２２の長手方向
及び内周面に対して傾斜状態で噴射されるようになって
いる。前記外側案内管２１の外周部には第２エア噴射ノ
ズル２７が貫通され、圧縮エア供給源から清浄なエアが
エア流路２５内に外側案内管２１の長手方向及び内周面
に対して傾斜状態で噴射されるようになっている。
【００１５】前記内側案内管２２の反射ミラー１５側の
端部と対応するように外側案内管２１の内周面には、第
１偏向板２８が取り付けられている。この第１偏向板２
８はドーナッツ板状に形成され、そのビーム透過穴２８
ａは、前記内側案内管２２の内部に形成されたビーム通
路２４の内径よりも若干小径に形成されている。又、前
記内側案内管２２のレーザ発振器１２側の端部と対応す
るように外側案内管２１内には、第２偏向板２９が収容
されている。この第２偏向板２９も第１偏向板２８と同
様にドーナッツ板状に形成され、そのビーム透過穴２９
ａは内側案内管２２の内径よりも若干小さく形成されて
いる。
端部と対応するように外側案内管２１の内周面には、第
１偏向板２８が取り付けられている。この第１偏向板２
８はドーナッツ板状に形成され、そのビーム透過穴２８
ａは、前記内側案内管２２の内部に形成されたビーム通
路２４の内径よりも若干小径に形成されている。又、前
記内側案内管２２のレーザ発振器１２側の端部と対応す
るように外側案内管２１内には、第２偏向板２９が収容
されている。この第２偏向板２９も第１偏向板２８と同
様にドーナッツ板状に形成され、そのビーム透過穴２９
ａは内側案内管２２の内径よりも若干小さく形成されて
いる。
【００１６】この実施形態では前記外側案内管２１、内
側案内管２２、ビーム通路２４、エア流路２５、第１エ
ア噴射ノズル２６及び第２エア噴射ノズル２７等により
エア循環型のエアの流動手段を構成している。
側案内管２２、ビーム通路２４、エア流路２５、第１エ
ア噴射ノズル２６及び第２エア噴射ノズル２７等により
エア循環型のエアの流動手段を構成している。
【００１７】前記第１及び第２偏向板２８，２９の対向
する偏向面には、粉塵の捕捉手段としての例えばホット
メルト等のゴム系粘着剤３０が塗布されている。前記第
１固定案内管１３の外側案内管２１には図示しないが、
前記第１エア噴射ノズル２６及び第２エア噴射ノズル２
７から供給されるエアの一部を外部に排出するエア抜き
孔が形成されている。
する偏向面には、粉塵の捕捉手段としての例えばホット
メルト等のゴム系粘着剤３０が塗布されている。前記第
１固定案内管１３の外側案内管２１には図示しないが、
前記第１エア噴射ノズル２６及び第２エア噴射ノズル２
７から供給されるエアの一部を外部に排出するエア抜き
孔が形成されている。
【００１８】次に、前記のように構成したレーザ加工装
置についてその動作を説明する。図１においてレーザ発
振器１２からレーザビームＢが出力されると、該レーザ
ビームＢは第１偏向板２８のビーム透過穴２８ａを通り
内側案内管２２内のビーム通路２４を通る。さらに、第
２偏向板２９のビーム透過穴２９ａを通過して反射ミラ
ー１５により反射される。その後、第２伸縮案内管１６
内を通り、さらに第２固定案内管１７の内部を通ってレ
ンズ１９に導かれ、集束されたレーザビームがワークＷ
に照射されて、ワークの加工が行われる。
置についてその動作を説明する。図１においてレーザ発
振器１２からレーザビームＢが出力されると、該レーザ
ビームＢは第１偏向板２８のビーム透過穴２８ａを通り
内側案内管２２内のビーム通路２４を通る。さらに、第
２偏向板２９のビーム透過穴２９ａを通過して反射ミラ
ー１５により反射される。その後、第２伸縮案内管１６
内を通り、さらに第２固定案内管１７の内部を通ってレ
ンズ１９に導かれ、集束されたレーザビームがワークＷ
に照射されて、ワークの加工が行われる。
【００１９】前記第１エア噴射ノズル２６からは圧力エ
ア供給源からエアがビーム通路２４の内周面に向かって
傾斜した状態で噴射される。このためビーム通路２４内
では図２に示すようにエアが内側案内管２２の内周面を
這うようにして螺旋旋回流となって流れ、第１偏向板２
８に向かって流動する。内側案内管２２内を出たエアは
第１偏向板２８の偏向面に衝突し、その一部は偏向面に
より跳ね返ってエア流路２５内に流れ、前記第２偏向板
２９に向かって流れる。ここで、第２偏向板２９の偏向
面により反射されて第１エア噴射ノズル２６により噴射
されるエアに引かれるようにしてビーム通路２４に流
れ、第１偏向板２８に向かって流れる。このようにして
第１及び第２偏向板２８，２９の間ではビーム通路２４
から第１偏向板２８、エア流路２５に向かうエアの循環
流が生じることになる。
ア供給源からエアがビーム通路２４の内周面に向かって
傾斜した状態で噴射される。このためビーム通路２４内
では図２に示すようにエアが内側案内管２２の内周面を
這うようにして螺旋旋回流となって流れ、第１偏向板２
８に向かって流動する。内側案内管２２内を出たエアは
第１偏向板２８の偏向面に衝突し、その一部は偏向面に
より跳ね返ってエア流路２５内に流れ、前記第２偏向板
２９に向かって流れる。ここで、第２偏向板２９の偏向
面により反射されて第１エア噴射ノズル２６により噴射
されるエアに引かれるようにしてビーム通路２４に流
れ、第１偏向板２８に向かって流れる。このようにして
第１及び第２偏向板２８，２９の間ではビーム通路２４
から第１偏向板２８、エア流路２５に向かうエアの循環
流が生じることになる。
【００２０】なお、第１エア噴射ノズル２６及び第２エ
ア噴射ノズル２７により第１固定案内管１３内にエアが
供給されるので、内部の圧力が上昇する。これは、図示
しないエア抜き孔から外部に排出され、内部圧力が大気
圧よりも若干高い圧力に保持される。
ア噴射ノズル２７により第１固定案内管１３内にエアが
供給されるので、内部の圧力が上昇する。これは、図示
しないエア抜き孔から外部に排出され、内部圧力が大気
圧よりも若干高い圧力に保持される。
【００２１】次に、前記のように構成したレーザ加工装
置について、その効果を構成と共に列記する。 （１）前記実施形態ではレーザ発振器１２と反射ミラー
１５の間に第１固定案内管１３を設け、第１固定案内管
１３に対し外側案内管２１、内側案内管２２、第１，第
２エア噴射ノズル２６，２７及び第１，第２偏向板２
８，２９等からなるエア循環手段を設けた。又、前記第
１及び第２偏向板２８，２９の対向する偏向面に粘着剤
３０を塗布した。このため、第１固定案内管１３内を循
環するエア中に含まれる粉塵が第１偏向板２８の粘着剤
３０により捕捉されると共に第２偏向板２９の粘着剤３
０によっても捕捉され、第１固定案内管１３内の粉塵を
確実に捕捉することができる。このため、粉塵が反射ミ
ラー１５の反射面に付着したり、レーザ加工ヘッド１８
のレンズ１９に付着したりするのをなくすことができ
る。従って、レーザビームＢの光軸上に位置する反射ミ
ラー１５やレンズ１９の汚損を防止して、ワークＷのレ
ーザ加工精度を向上することができる。
置について、その効果を構成と共に列記する。 （１）前記実施形態ではレーザ発振器１２と反射ミラー
１５の間に第１固定案内管１３を設け、第１固定案内管
１３に対し外側案内管２１、内側案内管２２、第１，第
２エア噴射ノズル２６，２７及び第１，第２偏向板２
８，２９等からなるエア循環手段を設けた。又、前記第
１及び第２偏向板２８，２９の対向する偏向面に粘着剤
３０を塗布した。このため、第１固定案内管１３内を循
環するエア中に含まれる粉塵が第１偏向板２８の粘着剤
３０により捕捉されると共に第２偏向板２９の粘着剤３
０によっても捕捉され、第１固定案内管１３内の粉塵を
確実に捕捉することができる。このため、粉塵が反射ミ
ラー１５の反射面に付着したり、レーザ加工ヘッド１８
のレンズ１９に付着したりするのをなくすことができ
る。従って、レーザビームＢの光軸上に位置する反射ミ
ラー１５やレンズ１９の汚損を防止して、ワークＷのレ
ーザ加工精度を向上することができる。
【００２２】（２）前記実施形態では外側案内管２１の
内部に内側案内管２２を同心状に配置し、内側案内管２
２内に第１エア噴射ノズル２６からエアが螺旋旋回気流
となって流れるように内側案内管２２の長手方向及び内
周に対して傾斜状態にして設けた。このため、エアは内
側案内管２２の内周面を螺旋状に這うように流れるの
で、内側案内管２２の内周面に粉塵が溜まり難くなる。
この結果、内側案内管２２の内周面の清掃を効率的に行
うことができると共に内側案内管２２の中心部には大量
のエアが流れないため、レーザビームＢに干渉を与える
ことがない。従って、レーザビームＢに揺らぎを発生さ
せることがなく、ワークの加工品質を損なうことがな
い。
内部に内側案内管２２を同心状に配置し、内側案内管２
２内に第１エア噴射ノズル２６からエアが螺旋旋回気流
となって流れるように内側案内管２２の長手方向及び内
周に対して傾斜状態にして設けた。このため、エアは内
側案内管２２の内周面を螺旋状に這うように流れるの
で、内側案内管２２の内周面に粉塵が溜まり難くなる。
この結果、内側案内管２２の内周面の清掃を効率的に行
うことができると共に内側案内管２２の中心部には大量
のエアが流れないため、レーザビームＢに干渉を与える
ことがない。従って、レーザビームＢに揺らぎを発生さ
せることがなく、ワークの加工品質を損なうことがな
い。
【００２３】（３）前記実施形態では外側案内管２１に
対し第２エア噴射ノズル２７を設けてエア流路２５内に
エア流が発生するようにしたので、エアの循環をより効
果的に行うことができ、粉塵の粘着剤３０による捕捉効
果を高めることができる。
対し第２エア噴射ノズル２７を設けてエア流路２５内に
エア流が発生するようにしたので、エアの循環をより効
果的に行うことができ、粉塵の粘着剤３０による捕捉効
果を高めることができる。
【００２４】なお、この発明は次のように具体化するこ
ともできる。 ・図４に示すように第１固定案内管１３に支持される外
側案内管２１、内側案内管２２を１つのユニットとして
構成し、これを取り外し可能に、かつ直列に連結するよ
うにしてもよい。
ともできる。 ・図４に示すように第１固定案内管１３に支持される外
側案内管２１、内側案内管２２を１つのユニットとして
構成し、これを取り外し可能に、かつ直列に連結するよ
うにしてもよい。
【００２５】この別例では前記第１及び第２偏向板２
８，２９の粘着剤３０に付着した粉塵が多くなったと
き、その第１及び第２偏向板２８，２９の交換又は粘着
剤３０の塗布作業を容易に行うことができる。
８，２９の粘着剤３０に付着した粉塵が多くなったと
き、その第１及び第２偏向板２８，２９の交換又は粘着
剤３０の塗布作業を容易に行うことができる。
【００２６】・図５に示すように前記内側案内管２２及
び第２偏向板２９を省略し、第１エア噴射ノズル２６を
外側案内管２１の一部に貫通支持し、レーザ加工ヘッド
１８と対応する位置にエアの排気ノズル３１を貫通支持
するようにしてもよい。
び第２偏向板２９を省略し、第１エア噴射ノズル２６を
外側案内管２１の一部に貫通支持し、レーザ加工ヘッド
１８と対応する位置にエアの排気ノズル３１を貫通支持
するようにしてもよい。
【００２７】・図５に示す別例において、図６に示すよ
うに第１偏向板２８をフィルタ３２に代えて、排気ノズ
ル３１をフィルタ３２の内側に配置するようにしてもよ
い。 ・前記第１偏向板及び第２偏向板の一方の偏向板のエア
偏向面に粉塵の捕捉手段としての粘着剤を塗布してもよ
い。
うに第１偏向板２８をフィルタ３２に代えて、排気ノズ
ル３１をフィルタ３２の内側に配置するようにしてもよ
い。 ・前記第１偏向板及び第２偏向板の一方の偏向板のエア
偏向面に粉塵の捕捉手段としての粘着剤を塗布してもよ
い。
【００２８】・前記外側案内管２１の内周面又は内側案
内管２２の外周面のいずれか一方又は両方に粘着剤を塗
布してもよい。 ・粘着剤としてアクリル系、シリコーン系、ビニル系の
ものを用いてもよい。
内管２２の外周面のいずれか一方又は両方に粘着剤を塗
布してもよい。 ・粘着剤としてアクリル系、シリコーン系、ビニル系の
ものを用いてもよい。
【００２９】前記実施形態から把握される技術思想を以
下に説明する。 （技術思想１） 請求項４において、案内管には排気ノ
ズルが設けられ、排気ノズルと対応して粉塵の捕捉手段
としての粘着剤又はフィルターが設けられているレーザ
加工装置。
下に説明する。 （技術思想１） 請求項４において、案内管には排気ノ
ズルが設けられ、排気ノズルと対応して粉塵の捕捉手段
としての粘着剤又はフィルターが設けられているレーザ
加工装置。
【００３０】（技術思想２） 請求項７において、固定
案内管１３には外側案内管２１、内側案内管２２及び第
１、第２偏向板２８，２９からなるユニットが取り外し
可能に、かつ直列に連結されているレーザ加工装置。
案内管１３には外側案内管２１、内側案内管２２及び第
１、第２偏向板２８，２９からなるユニットが取り外し
可能に、かつ直列に連結されているレーザ加工装置。
【００３１】
【発明の効果】以上詳述したように、この発明は、案内
管内に侵入した粉塵を捕捉して、反射ミラーやレンズの
状態を良好に保ち、ワークの加工作業を品質を損なうこ
となく行うことができる。
管内に侵入した粉塵を捕捉して、反射ミラーやレンズの
状態を良好に保ち、ワークの加工作業を品質を損なうこ
となく行うことができる。
【図１】 この発明を具体化したレーザ加工装置の略体
正面図。
正面図。
【図２】 要部の拡大斜視図。
【図３】 要部の拡大横断面図。
【図４】 この発明の別例を示す要部断面図。
【図５】 この発明の別例を示す要部断面図。
【図６】 この発明の別例を示す要部断面図。
１２…レーザ発振器、１３…第１固定案内管、１７…第
２固定案内管、２１…外側案内管、２２…内側案内管、
２４…ビーム通路、２５…エア流路、２６…第１エア噴
射ノズル、２７…第２エア噴射ノズル、２８…第１偏向
板、２９…第２偏向板、３０…粘着剤。
２固定案内管、２１…外側案内管、２２…内側案内管、
２４…ビーム通路、２５…エア流路、２６…第１エア噴
射ノズル、２７…第２エア噴射ノズル、２８…第１偏向
板、２９…第２偏向板、３０…粘着剤。
Claims (7)
- 【請求項１】 レーザ発振器のレーザビームを案内管を
通してレンズを備えたレーザ加工ヘッドに導き、レーザ
ビームをワークに照射してワークを加工するようにした
レーザ加工装置において、 前記案内管内には該案内管と同芯状に内側案内管が収容
され、該内側案内管には前記案内管の外部からエアを内
側案内管の内部に供給するためのエア噴射ノズルが設け
られ、前記案内管の内周面には、前記内側案内管の前後
両端縁から所定距離だけ離れた位置に位置するようにド
ーナッツ板状の第１偏向板及び第２偏向板が配置され、
前記エア噴射ノズルから噴射されたエアの流路に粉塵を
捕捉する捕捉手段を設けたことを特徴とするレーザ加工
装置。 - 【請求項２】 請求項１において、前記エア噴射ノズル
は内側案内管の内部でエアが螺旋旋回流となって流動す
るように内側案内管の長手方向及び内側案内管の内周に
対して傾斜状態で配置されているレーザ加工装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、前記第１偏向
板及び第２偏向板の少なくとも一方の偏向板のエア偏向
面に粉塵の捕捉手段としての粘着剤を塗布したレーザ加
工装置。 - 【請求項４】 レーザ発振器のレーザビームを案内管を
通してレンズを備えたレーザ加工ヘッドに導き、レーザ
ビームをワークに照射してワークを加工するようにした
レーザ加工装置において、 前記案内管内にエアの流動手段を設け、そのエア流路に
粉塵を捕捉する捕捉手段を設けたことを特徴とするレー
ザ加工装置。 - 【請求項５】 請求項４において、前記エアの流動手段
は、エアを案内管内で循環させるように構成されている
レーザ加工装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５のいずれか一項において、
前記案内管の内周面又は内側案内管の外周面のいずれか
一方又は両方に粘着剤を塗布したレーザ加工装置。 - 【請求項７】 請求項１〜６のいずれか一項において、
前記粉塵の捕捉手段は、交換可能に収容されているレー
ザ加工装置。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001166974A JP4358458B2 (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | レーザ加工装置 |
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|---|---|---|---|
| JP2001166974A JP4358458B2 (ja) | 2001-06-01 | 2001-06-01 | レーザ加工装置 |
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| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002361467A true JP2002361467A (ja) | 2002-12-18 |
| JP4358458B2 JP4358458B2 (ja) | 2009-11-04 |
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| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20090308851A1 (en) * | 2008-06-12 | 2009-12-17 | Trumpf Sachsen Gmbh | Device for laser machining |
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| DE102021123617A1 (de) | 2021-09-13 | 2023-03-16 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Laserbearbeitungskopf mit Klebefalle |
| JP7430424B2 (ja) | 2018-10-05 | 2024-02-13 | 株式会社アフレアー | 気体吸引装置およびレーザ処理装置 |
-
2001
- 2001-06-01 JP JP2001166974A patent/JP4358458B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| WO2023036985A3 (de) * | 2021-09-13 | 2023-05-19 | Precitec Gmbh & Co. Kg | Laserbearbeitungskopf mit klebefalle |
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