JP2002361069A - Supercritical hydroreaction apparatus and vessel - Google Patents

Supercritical hydroreaction apparatus and vessel

Info

Publication number
JP2002361069A
JP2002361069A JP2001175536A JP2001175536A JP2002361069A JP 2002361069 A JP2002361069 A JP 2002361069A JP 2001175536 A JP2001175536 A JP 2001175536A JP 2001175536 A JP2001175536 A JP 2001175536A JP 2002361069 A JP2002361069 A JP 2002361069A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
reactor
titanium
tantalum
layer
supercritical water
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2001175536A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2002361069A5 (en
JP4922500B2 (en
Inventor
Akira Suzuki
明 鈴木
Tomoyuki Iwamori
智之 岩森
Takayuki Shimamune
孝之 島宗
Takanori Kojima
崇則 小島
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Organo Corp
Furuya Metal Co Ltd
Original Assignee
Organo Corp
Furuya Metal Co Ltd
Japan Organo Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Organo Corp, Furuya Metal Co Ltd, Japan Organo Co Ltd filed Critical Organo Corp
Priority to JP2001175536A priority Critical patent/JP4922500B2/en
Publication of JP2002361069A publication Critical patent/JP2002361069A/en
Publication of JP2002361069A5 publication Critical patent/JP2002361069A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP4922500B2 publication Critical patent/JP4922500B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y02TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
    • Y02PCLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
    • Y02P20/00Technologies relating to chemical industry
    • Y02P20/50Improvements relating to the production of bulk chemicals
    • Y02P20/54Improvements relating to the production of bulk chemicals using solvents, e.g. supercritical solvents or ionic liquids

Landscapes

  • Organic Low-Molecular-Weight Compounds And Preparation Thereof (AREA)
  • Fire-Extinguishing Compositions (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a supercritical hydroreaction apparatus for subjecting liquid to be treated which contains an organic chlorine compound in particular to supercritical water treatment. SOLUTION: This apparatus is the supercritical hydroreaction apparatus which has a reactor 12 housing supercritical water, introduces the liquid to be treated which contains the organic chlorine compound into the reactor and subjects the liquid to oxidation decomposition by air. The apparatus has a temperature controller 32 for controlling the temperature in the reactor to a range from >=550 to <=650 deg.C by regulating the feed inflow rate, etc., of the liquid to be treated. The surface layers of the reactor walls are coated with composite corrosion resistant layers composed of titanium layers consisting of titanium or a titanium alloy and iridium oxide layers laminated on the titanium layers. The apparatus has a treating fluid flow passage in which the treating fluid flows and an aqueous alkaline solution flow passage which injects an aqueous alkaline solution into the treating fluid by confluence with the treating fluid flow passage and has a neutralizing and rapid cooling section 30 for subjecting the treating fluid to neutralizing and rapid cooling to <=450 deg.C by the aqueous alkaline solution. The wall surfaces in contact with the treating fluid of the neutralizing and rapid cooling section are coated with the composite corrosion resistant layers of the tantalum layers, titanium layers and iridium oxide layers successively disposed on the wall surfaces.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、被処理液、特にP
CB等の有機塩素系化合物を含む被処理液を超臨界水処
理する超臨界水反応装置に関し、更に詳細には、PCB
を完全に分解して無害化する超臨界水処理に最適な超臨
界水反応装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid to be treated,
The present invention relates to a supercritical water reactor for treating a liquid to be treated containing an organic chlorine compound such as CB with supercritical water.
The present invention relates to a supercritical water reactor optimal for supercritical water treatment for completely decomposing and rendering harmless.

【0002】[0002]

【従来の技術】環境問題に対する認識の高まりと共に、
超臨界水反応装置の適用分野の一つとして、環境汚染物
質の分解、無害化が、注目されている。すなわち、超臨
界水の反応媒体的性質を利用した超臨界水反応により、
従来技術では分解することが難しかった有害な難分解性
の有機物、例えば、PCB(ポリ塩素化ビフェニル)、
ダイオキシン、有機塩素系溶剤等を分解して、二酸化炭
素、水、無機塩などの無害な生成物に転化する試みであ
る。
2. Description of the Related Art With increasing awareness of environmental issues,
As one of the application fields of the supercritical water reactor, attention has been paid to decomposition and detoxification of environmental pollutants. In other words, by supercritical water reaction utilizing the properties of the reaction medium of supercritical water,
Harmful hard-to-decompose organic substances that were difficult to decompose in the prior art, for example, PCB (polychlorinated biphenyl),
This is an attempt to decompose dioxins, organic chlorinated solvents, etc., and convert them to harmless products such as carbon dioxide, water, and inorganic salts.

【0003】超臨界水とは、超臨界状態にある水、即
ち、水の臨界点を越えた状態にある水を言い、詳しく
は、臨界温度、即ち374.1℃以上の温度で、かつ水
の臨界圧力、即ち22.04MPa以上の圧力下にある
状態の水を言う。超臨界水は、有機物を溶解する溶解能
が高く、有機化合物に多い非極性物質をも完全に溶解す
ることができる一方、逆に、金属、塩等の無機物に対す
る溶解能は著しく低い。また、超臨界水は、酸素や窒素
などの気体と任意の割合で混合して単一相を構成するこ
とができる。
[0003] Supercritical water refers to water that is in a supercritical state, that is, water that is beyond the critical point of water, and more specifically, has a critical temperature, that is, a temperature of 374.1 ° C or higher, and Of water under a critical pressure of 22.04 MPa or more. Supercritical water has a high ability to dissolve organic substances and can completely dissolve non-polar substances, which are abundant in organic compounds, but has a very low ability to dissolve inorganic substances such as metals and salts. The supercritical water can be mixed with a gas such as oxygen or nitrogen at an arbitrary ratio to form a single phase.

【0004】ここで、図8を参照して、有機塩素系化合
物を含む被処理液を超臨界水処理する、従来の超臨界水
反応装置の基本的な構成を説明する。図8は従来の超臨
界水反応装置の構成を示すフローシートである。超臨界
水反応装置100は、従来、超臨界水処理中に塩が析出
するような有機塩素系の難分解性有機物の酸化分解に最
適な装置と言われている、いわゆるモダープロセス方式
の装置であって、下部に亜臨界水域を有する耐圧密閉型
の縦型反応器102を備え、超臨界水中に固形物として
析出する塩を反応容器下部の亜臨界水域に沈降、分離さ
せるようになっている。
Referring to FIG. 8, a basic configuration of a conventional supercritical water reactor for treating a liquid to be treated containing an organic chlorine compound with supercritical water will be described. FIG. 8 is a flow sheet showing the configuration of a conventional supercritical water reactor. The supercritical water reactor 100 is a so-called modal process type device which is conventionally known as an optimal device for oxidative decomposition of organic chlorine-based hardly decomposable organic substances such as salts that precipitate during supercritical water treatment. There is provided a pressure-resistant closed vertical reactor 102 having a subcritical water area at the bottom, and a salt precipitated as a solid substance in supercritical water is settled and separated into a subcritical water area at the lower part of the reaction vessel. .

【0005】図8に示すように、反応器102の上部に
は、超臨界水を滞留させている超臨界水域104が形成
され、水の臨界点以上の条件、即ち超臨界条件を維持し
ている。一方、反応器102の下部には、亜臨界水域1
08が、超臨界水域104との仮想的界面106を介し
て形成され、水の臨界温度より低い亜臨界水を滞留させ
ている。反応器102の上部には、超臨界水処理する被
処理液及び酸化剤を超臨界水域104に流入させる流入
管110が接続されている。流入管110には、超臨界
水反応により処理すべき有機塩素系化合物を有する被処
理液を送入する被処理液ライン112、有機物を酸化さ
せる酸化剤として空気を送入する空気ライン114が合
流している。尚、必要に応じて、超臨界水又は超臨界水
生成用の補給水を超臨界水域に供給する超臨界水ライン
115を流入管110に接続することもある。
[0005] As shown in FIG. 8, a supercritical water area 104 in which supercritical water is retained is formed at an upper portion of the reactor 102, and a condition above a critical point of water, that is, a supercritical condition is maintained. I have. On the other hand, in the lower part of the reactor 102,
08 is formed via the virtual interface 106 with the supercritical water area 104 and retains subcritical water having a temperature lower than the critical temperature of water. At the upper part of the reactor 102, an inflow pipe 110 for flowing the liquid to be treated and the oxidizing agent to be subjected to the supercritical water treatment into the supercritical water zone 104 is connected. A liquid line 112 for supplying a liquid to be treated having an organochlorine compound to be treated by the supercritical water reaction and an air line 114 for supplying air as an oxidizing agent for oxidizing organic substances are merged into the inflow pipe 110. are doing. If necessary, a supercritical water line 115 for supplying supercritical water or make-up water for generating supercritical water to the supercritical water area may be connected to the inflow pipe 110.

【0006】また、被処理液中の有機塩素系化合物によ
って生成する塩酸を中和するためにアルカリ中和剤を供
給する中和剤ライン116が、被処理液ライン112に
接続されている。本例では、通常、被処理液及び中和剤
は、流入管110を通って反応器102に供給され、酸
化剤である空気により下方に向けてアトマイジングされ
て、反応器102内の超臨界水域104内に噴霧され
る。噴霧された被処理液中の有機塩素系化合物は超臨界
水域104内で瞬時に酸化分解される。超臨界水反応の
結果、被処理液に含有された有機塩素系化合物の塩素
は、アルカリ中和剤と中和して塩となり、超臨界水域か
ら亜臨界水域に移行する。反応器102の上部には、更
に、処理流体ライン118が接続され、被処理液中の有
機物が、超臨界水反応により、主として水と二酸化炭素
になって処理流体と共に超臨界水域104から処理流体
ライン118を通って流出する。
A neutralizing agent line 116 for supplying an alkali neutralizing agent for neutralizing hydrochloric acid generated by the organic chlorine compound in the liquid to be treated is connected to the liquid line 112. In this example, the liquid to be treated and the neutralizing agent are usually supplied to the reactor 102 through the inflow pipe 110, and are atomized downward by the air as the oxidizing agent, so that the supercritical fluid in the reactor 102 It is sprayed into the water area 104. Organochlorine compounds in the sprayed liquid to be treated are instantaneously oxidized and decomposed in the supercritical water area 104. As a result of the supercritical water reaction, the chlorine of the organochlorine compound contained in the liquid to be treated is neutralized with the alkali neutralizer to form a salt, and shifts from the supercritical water area to the subcritical water area. A processing fluid line 118 is further connected to the upper part of the reactor 102, and the organic substance in the liquid to be processed is mainly converted into water and carbon dioxide by a supercritical water reaction, and the processing fluid from the supercritical water zone 104 together with the processing fluid. Exit through line 118.

【0007】一方、反応器102の下部には、亜臨界水
ライン120及び亜臨界排水ライン122が接続され、
亜臨界水ライン120は亜臨界水域108に亜臨界水を
供給し、また亜臨界排水ライン122は超臨界水反応及
び中和反応により生成した塩を溶解している亜臨界水を
排水として亜臨界水域108から排出する。図示しない
が、また、処理流体ライン118及び亜臨界排水ライン
122には、反応器104内の圧力を所定圧力に維持す
る圧力制御装置、処理流体及び亜臨界排水を所定温度に
降温する冷却器、所定圧力に減圧する減圧装置、更には
気液分離装置等が設けてある。
On the other hand, a subcritical water line 120 and a subcritical drain line 122 are connected to a lower portion of the reactor 102.
The sub-critical water line 120 supplies sub-critical water to the sub-critical water area 108, and the sub-critical drain line 122 uses the sub-critical water in which the salt generated by the supercritical water reaction and the neutralization reaction is dissolved as waste water to drain the sub-critical water. Discharge from water area 108. Although not shown, the processing fluid line 118 and the subcritical drainage line 122 also include a pressure controller that maintains the pressure in the reactor 104 at a predetermined pressure, a cooler that lowers the temperature of the processing fluid and subcritical drainage to a predetermined temperature, A decompression device for reducing the pressure to a predetermined pressure, a gas-liquid separation device, and the like are provided.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上述した従来
の超臨界水処理装置によって、高濃度のPCBを含む被
処理液を超臨界水処理しようとすると、次のような問題
が生じていた。第1には、従来のように、水の臨界温度
(374.1℃)を多少超えた反応温度、即ち450℃
から500℃の範囲の温度では、処理液のPCB含量を
排出基準で許容されている3ppb以下にすることが極
めて難しかった。逆に言えば、更に高い反応温度を必要
とすることが予想されることである。
However, the following problems have been encountered when attempting to treat a liquid to be treated containing high-concentration PCB with supercritical water using the above-described conventional supercritical water treatment apparatus. First, as in the conventional case, the reaction temperature slightly exceeds the critical temperature of water (374.1 ° C.), that is, 450 ° C.
At temperatures in the range from 1 to 500 ° C., it was extremely difficult to reduce the PCB content of the processing solution to 3 ppb or less, which is allowed by the discharge standard. Conversely, it is expected that higher reaction temperatures will be required.

【0009】第2には、超臨界水域と亜臨界水域とを反
応器内に形成する2ゾーン方式に起因する二つの問題で
ある。その一は、反応器壁の腐食、特に両域の境界近傍
での腐食が著しいという問題であった。通常は、超臨界
水反応と同時並行的に中和反応が進行するので、腐食問
題は起きないのであるが、場合によって中和が不完全で
あると、腐食が問題となる。従来の方法では、反応器内
に高温の超臨界水域と低温の亜臨界水域とが存在するた
めに、腐食の厳しい領域が必ず存在し、PCBの超臨界
水処理の実用化を図る上で障害となっていた。その二
は、従来法では被処理液の噴霧状態が良くないと、PC
B等が完全に分解せずに、亜臨界水域に入ってしまうこ
とがある。この場合、亜臨界水域の温度が低いために、
亜臨界水域に混入した未分解物が、分解されることなく
そのまま残留し、亜臨界水域から排水として排出される
ので、亜臨界排水中のPCB含量が排出基準を超えると
いう問題があった。
Second, there are two problems caused by the two-zone system in which a supercritical water area and a subcritical water area are formed in a reactor. One problem is that corrosion of the reactor wall, particularly near the boundary between the two regions, is remarkable. Normally, the neutralization reaction proceeds concurrently with the supercritical water reaction, so that no corrosion problem occurs. However, if the neutralization is incomplete, corrosion becomes a problem. In the conventional method, since a high-temperature supercritical water area and a low-temperature subcritical water area exist in the reactor, a severely corrosive area always exists, which is an obstacle to the practical use of PCB supercritical water treatment. Had become. Second, if the spraying of the liquid to be treated is not good in the conventional method, the PC
B and the like may not enter into the subcritical water area without being completely decomposed. In this case, because the temperature of the subcritical water area is low,
The undecomposed material mixed in the subcritical water area remains as it is without being decomposed, and is discharged as wastewater from the subcritical water area. Therefore, there is a problem that the PCB content in the subcritical wastewater exceeds the discharge standard.

【0010】第3には、PCBを処理する際のように被
処理液中の有機塩素濃度が高い場合、中和反応及び塩生
成分離のメカニズムに不明な点が多く、PCBの超臨界
水処理ではPCBの有機塩素に由来して生成した塩酸を
従来のように反応器内で完全に中和させる処理は、実際
には難しく、確実性に乏しいという問題があった。
Thirdly, when the concentration of organic chlorine in the liquid to be treated is high, as in the case of treating PCB, there are many unclear points in the mechanism of neutralization reaction and salt formation / separation. In such a case, there is a problem that it is actually difficult to completely neutralize hydrochloric acid generated from the organic chlorine of the PCB in the reactor as in the related art, and the reliability is poor.

【0011】そこで、中和処理の改良案として、処理流
体にアルカリ水溶液を注入して急冷中和する中和急冷部
を反応器出口又は下流に設け、反応器外でアルカリ水溶
液を注入して処理流体を中和急冷することが試みられて
いる。しかし、この方法では、処理流体が反応器から流
出して中和急冷部に入って始めて中和されるので、超臨
界水反応により生成した多量の塩酸が反応器内に存在す
ることになる。そのために、従来から耐食層として反応
器の内壁に使用されてきたインコネル625等のニッケ
ル合金は、塩酸による腐食が著しく、使用に耐えないと
いう問題があった。また、急冷中和部でも、アルカリ水
溶液と処理流体との中和反応が終了する地点までの配管
の腐食が著しく、同じくニッケル合金を配管に使用して
も、長期の使用が難しいという問題がある。
Therefore, as an improvement of the neutralization treatment, a neutralization and quenching section is provided at the outlet or downstream of the reactor for injecting an alkaline aqueous solution into the treatment fluid and quenching and neutralizing the same. Attempts have been made to neutralize and quench the fluid. However, in this method, a large amount of hydrochloric acid generated by the supercritical water reaction is present in the reactor because the process fluid flows out of the reactor and enters the neutralization quenching section before neutralization. For this reason, nickel alloys such as Inconel 625, which have been conventionally used as a corrosion-resistant layer on the inner wall of a reactor, have a problem in that they are significantly corroded by hydrochloric acid and cannot be used. Further, even in the quenching neutralization section, there is a problem that the pipe is significantly corroded up to the point where the neutralization reaction between the alkaline aqueous solution and the processing fluid is completed, and it is difficult to use the nickel alloy for the pipe for a long time. .

【0012】更には、中和急冷部と併用して、圧力バラ
ンス型反応器を採用する試みも行われている。圧力バラ
ンス型反応器130は、図9に示すように、圧力容器と
して形成された外円筒体131と、外円筒体131と相
互に連通する内円筒体として設けられ、超臨界水を収容
して反応域を形成する反応カートリッジ132との2重
円筒体として形成されている。流入管110(図8参
照)に接続された入口ノズル133から、被処理液と、
酸化剤として酸素含有ガス、例えば空気とを反応カート
リッジ132内の反応域134に流入させ、かつ、圧力
バランス用ガス送入口135から外円筒体131と反応
カートリッジ132との間の環状部136に、圧力バラ
ンス用ガスとして、例えば空気を供給する。圧力バラン
ス用ガスは、圧力容器131と反応カートリッジ132
との上部間隙137を介して環状部136から反応域1
34に流入し、酸化剤の一部として消費される。
Further, attempts have been made to employ a pressure balanced reactor in combination with a neutralization and quenching section. As shown in FIG. 9, the pressure-balanced reactor 130 is provided as an outer cylinder 131 formed as a pressure vessel and as an inner cylinder communicating with the outer cylinder 131, and contains supercritical water. It is formed as a double cylinder with a reaction cartridge 132 forming a reaction zone. From the inlet nozzle 133 connected to the inflow pipe 110 (see FIG. 8),
An oxygen-containing gas, such as air, as an oxidant is caused to flow into the reaction zone 134 in the reaction cartridge 132, and from the pressure-balancing gas inlet 135 to the annular portion 136 between the outer cylinder 131 and the reaction cartridge 132, For example, air is supplied as a pressure balancing gas. The pressure balancing gas is supplied from the pressure vessel 131 and the reaction cartridge 132.
From the annular portion 136 via the upper gap 137 to the reaction zone 1
34 and is consumed as part of the oxidant.

【0013】反応カートリッジ132内の反応域134
に流入した被処理液は、超臨界水中で酸素により酸化分
解され、反応器流出管138から流出する。中和急冷部
は、反応カートリッジ132の下流で、圧力容器132
の内側又は外側に設けられる。従来の圧力バランス型反
応器では、内外の圧力差は殆ど無いため、反応カートリ
ッジ132を非圧力容器として薄い肉厚で形成できるの
で、反応カートリッジ132を高価な耐食性金属、例え
ばインコネル625等のニッケル合金で形成しても、コ
ストが嵩まないという利点がある。また、環状部136
は腐食性が強い雰囲気ではないので、外円筒体131は
必ずしも反応カートリッジ132と同じ材質で形成する
必要はなく、通常、耐熱/耐圧性炭素鋼、或いはステン
レス鋼で形成される。しかし、高価なニッケル合金で形
成した反応カートリッジであっても、塩酸による腐食が
著しく、短期間で交換せざるを得ないと言う問題があっ
た。
The reaction zone 134 in the reaction cartridge 132
Is oxidized and decomposed by oxygen in the supercritical water and flows out of the reactor outlet pipe 138. The neutralization and quenching section is located downstream of the reaction cartridge 132,
Is provided inside or outside. In the conventional pressure-balanced reactor, since there is almost no pressure difference between the inside and the outside, the reaction cartridge 132 can be formed as a non-pressure vessel with a small thickness, so that the reaction cartridge 132 can be made of an expensive corrosion-resistant metal, for example, a nickel alloy such as Inconel 625 or the like. There is an advantage that the cost is not increased even if it is formed with. In addition, the annular portion 136
Since the atmosphere is not a highly corrosive atmosphere, the outer cylinder 131 does not necessarily need to be formed of the same material as the reaction cartridge 132, and is usually formed of heat-resistant / pressure-resistant carbon steel or stainless steel. However, there is a problem that even a reaction cartridge formed of an expensive nickel alloy is significantly corroded by hydrochloric acid and must be replaced in a short time.

【0014】そこで、本発明の目的は、被処理液、特
に、PCB等を高濃度で含有する被処理液を超臨界水処
理して、排出基準で許容される3ppb以下のPCB濃
度にまで処理液のPCB濃度を低下させる装置であっ
て、長期間にわたり安定して運転できる超臨界水処理装
置を提供することである。
Therefore, an object of the present invention is to treat a liquid to be treated, in particular, a liquid to be treated containing a high concentration of PCB or the like, with supercritical water to reduce the concentration of PCB to 3 ppb or less which is permitted by the discharge standard. An object of the present invention is to provide a supercritical water treatment apparatus that reduces the PCB concentration of a liquid and that can operate stably for a long period of time.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明者は、(1)PCB等の高有機塩素濃度の被
処理液を排出基準で許容される3ppbのPCB濃度に
まで超臨界水処理できる反応温度を確立すること、
(2)その温度条件下で、しかも高濃度の塩酸雰囲気で
使用できる反応器の材料を確立することが必要であると
考えた。
In order to achieve the above object, the present inventor has set forth the following object: (1) To increase the concentration of a liquid to be treated having a high organochlorine concentration, such as PCB, to a PCB concentration of 3 ppb, which is allowable on a discharge standard. Establishing a reaction temperature at which critical water treatment is possible;
(2) It was considered necessary to establish a reactor material that can be used under such temperature conditions and in a highly concentrated hydrochloric acid atmosphere.

【0016】そこで、先ず、PCBの超臨界水処理によ
り生成する処理流体中のPCB含量を3ppb以下にす
るために、PCBの分解率と超臨界水反応の反応温度と
の関係を調べた。その結果、23MPaの反応圧力、及
び2分間以上4分間以下の反応時間の条件では、反応温
度が500℃のときには、PCB濃度は3ppb以上で
あって、排出基準である3ppbを満足させることはで
きないこと、そして反応温度を550℃及び650℃に
することにより、PCB濃度を3ppb以下にすること
ができることが判った。尚、反応温度が500℃のとき
には、反応時間を4分間以上にしても、PCB濃度を3
ppb以下にすることができないことも判った。
Therefore, first, the relationship between the decomposition rate of PCB and the reaction temperature of the supercritical water reaction was investigated in order to reduce the PCB content in the processing fluid generated by the supercritical water treatment of PCB to 3 ppb or less. As a result, under the conditions of a reaction pressure of 23 MPa and a reaction time of 2 minutes or more and 4 minutes or less, when the reaction temperature is 500 ° C., the PCB concentration is 3 ppb or more, and it is not possible to satisfy the discharge standard of 3 ppb. It was found that the PCB concentration could be reduced to 3 ppb or less by setting the reaction temperature to 550 ° C. and 650 ° C. When the reaction temperature is 500 ° C., the PCB concentration is 3
It was also found that it could not be less than ppb.

【0017】すなわち、反応温度を550℃以上650
℃以下の範囲の温度に設定することにより、処理流体中
のPCB濃度が3ppb以下になるように、PCB又は
PCB類似化合物からなる有機塩素系化合物を含む被処
理液を超臨界水反応により酸化分解することができる。
PCB類似化合物とは、PCBとほぼ同じような化学構
造を有する化合物であって、例えばダイオキシン類、ク
ロロベンゼン系化合物、クロロフェノール類等である。
That is, the reaction temperature is 550 ° C. or higher and 650 ° C.
By setting the temperature in the range of not more than ℃, oxidative decomposition of the liquid to be treated containing the organic chlorine-based compound composed of PCB or PCB-like compound by the supercritical water reaction so that the PCB concentration in the treatment fluid is 3 ppb or less. can do.
The PCB-like compound is a compound having a chemical structure substantially similar to that of PCB, and includes, for example, dioxins, chlorobenzene compounds, chlorophenols, and the like.

【0018】次いで、550℃以上の温度で高濃度塩酸
に対して耐食性を有する材料を選定するために、種々の
材料で反応器を作製し、実際にPCBを超臨界水処理す
ることにより材料の耐食性評価を行うという腐食試験を
行った。ところで、例えば純度100%の三塩素化物か
ら五塩素化物までのPCBを超臨界水処理すると、生成
する塩酸の濃度は約10質量%〜15質量%程度とな
る。そこで、腐食試験では、塩酸水溶液の塩酸濃度を2
0質量%とし、各種材料の腐食速度を以下のようにして
測定した。
Next, in order to select a material having corrosion resistance to high-concentration hydrochloric acid at a temperature of 550 ° C. or more, reactors are made of various materials, and the PCB is actually treated with supercritical water to obtain a material. A corrosion test was performed to evaluate the corrosion resistance. By the way, for example, when a PCB having a purity of 100% from trichloride to pentachloride is treated with supercritical water, the concentration of the generated hydrochloric acid is about 10% to 15% by mass. Therefore, in the corrosion test, the hydrochloric acid concentration of the aqueous hydrochloric acid solution was set to 2
At 0% by mass, the corrosion rates of various materials were measured as follows.

【0019】先ず、下記に挙げる材料でオートクレーブ
状の反応器をそれぞれ作製し、塩酸濃度20質量%の塩
酸水溶液を各反応器内に収容し、反応器内の塩酸水溶液
を圧力22MPaで実験温度200℃に昇温し、500
時間から600時間その温度に維持して、各反応器の容
器壁の腐食速度を測定した。その結果は、表1に示す通
りである。尚、表1で−の表示は、反応器の単位面積当
たりの重量が塩化物の生成により増えたことを示す。従
って、マイナス表示の腐食速度も、腐食が進行している
ことを意味する。
First, autoclave-shaped reactors were prepared from the following materials, respectively, and an aqueous hydrochloric acid solution having a hydrochloric acid concentration of 20% by mass was accommodated in each of the reactors. Temperature to 500 ℃
The temperature was maintained from time to 600 hours and the corrosion rate of the vessel wall of each reactor was measured. The results are as shown in Table 1. In Table 1, the symbol "-" indicates that the weight per unit area of the reactor was increased by the generation of chloride. Accordingly, the corrosion rate indicated by a minus sign also means that corrosion is in progress.

【表1】 [Table 1]

【0020】次いで、温度300℃から650℃まで、
550℃を除いて50℃刻みに実験温度を設定し、同様
の腐食実験を行ったところ、表1及び図10に示す腐食
実験結果を得た。図10は表1の数字をグラフ化したも
のである。実験に供した材料は、耐食性が高いと評価さ
れている白金族元素のうちの白金(Pt)、イリジウム
(Ir)、ルテニウム(Ru)、及びロジウム(Rh)
と、白金族に次いで耐食性が高いと評価されているチタ
ン{Ti(ASTMグレード12)}、タンタル(T
a)、及び酸化アルミナ(Al2 3 )の7種類であ
る。
Next, from a temperature of 300 ° C. to 650 ° C.,
Except for 550 ° C., the experiment temperature was set in increments of 50 ° C. and the same corrosion experiment was performed. As a result, the corrosion experiment results shown in Table 1 and FIG. 10 were obtained. FIG. 10 is a graph of the numbers in Table 1. The materials used in the experiments were platinum (Pt), iridium (Ir), ruthenium (Ru), and rhodium (Rh) among the platinum group elements evaluated to have high corrosion resistance.
And titanium (Ti (ASTM grade 12)) and tantalum (T
a) and alumina oxide (Al 2 O 3 ).

【0021】尚、ロジウム(Rh)は、塩酸濃度20質
量%の塩酸水溶液に溶解し易く、反応器を作製して実物
による腐食実験を行うことができないことが判ったの
で、他の材料の腐食条件と同じ条件でテストピースを塩
酸水溶液に浸漬して、耐食性を評価した。ロジウムの腐
食実験の結果は、表1で、300℃で27mm/yの腐
食速度と表されているが、ロジウムが300℃では塩酸
水溶液に溶解してしまうので、その溶解速度を腐食速度
として表示したものである。
Incidentally, it was found that rhodium (Rh) was easily dissolved in an aqueous hydrochloric acid solution having a hydrochloric acid concentration of 20% by mass, and it was found that it was not possible to prepare a reactor and perform an actual corrosion test. The test piece was immersed in a hydrochloric acid aqueous solution under the same conditions as above, and the corrosion resistance was evaluated. The results of the rhodium corrosion experiment are shown in Table 1 as a corrosion rate of 27 mm / y at 300 ° C. However, since rhodium is dissolved in an aqueous hydrochloric acid solution at 300 ° C., the dissolution rate is indicated as the corrosion rate. It was done.

【0022】ところで、実際の超臨界水処理では、反応
器の容器壁の腐食速度が1mm/年未満であれば、腐食
性が低く、反応器の材料として最も好ましい耐食性材料
であると評価できる。また、腐食速度が1mm/年以上
5mm/年未満のときには、その腐食速度は許容できる
範囲内の腐食性であって、反応器の材料として採用可能
な耐食性材料であると評価できる。しかし、腐食速度が
5mm/年を越えるときには、その腐食速度は許容でき
る範囲を超えており、反応器の材料として採用できる耐
食性材料とは評価できない。
By the way, in the actual supercritical water treatment, if the corrosion rate of the vessel wall of the reactor is less than 1 mm / year, the corrosion resistance is low and it can be evaluated that it is the most preferable corrosion resistant material as the material of the reactor. When the corrosion rate is 1 mm / year or more and less than 5 mm / year, the corrosion rate is corrosive within an allowable range and can be evaluated as a corrosion resistant material that can be used as a material for the reactor. However, when the corrosion rate exceeds 5 mm / year, the corrosion rate exceeds the allowable range, and cannot be evaluated as a corrosion-resistant material that can be used as a reactor material.

【0023】上述した腐食性(耐食性)の判定基準に従
い、腐食試験で得た容器壁の腐食速度に基づいて、腐食
試験に供した各材料が反応器に使えるかどうかについ
て、以下のように評価した。イリジウム以外の材料、即
ちチタン、タンタル(Ta)、白金(Pt)、ルテニウ
ム(Ru)、ロジウム(Rh)、及び酸化アルミナ(A
2 3 )の腐食性は、特定の温度範囲では、腐食速度
が1mm/年以上5mm/年未満であって、許容できる
範囲内に収まるものの、その温度範囲外では腐食速度が
高く、そのままでは採用できない。例えば、チタン、ル
テニウム、ロジウムは、高温領域では、腐食速度が低い
ものの、400℃以下の温度、特に300℃では、腐食
速度が極めて高い。逆に、タンタルは、400℃以下の
温度領域では、腐食速度が低いものの、400℃以上の
高温領域では、腐食速度が極めて高い。また、酸化アル
ミナは、高温領域で、腐食速度は低いものの、割れが発
生するので、反応器の耐食材料として使うことはできな
い。
According to the above criterion for corrosion (corrosion resistance), based on the corrosion rate of the container wall obtained in the corrosion test, whether or not each material subjected to the corrosion test can be used in a reactor is evaluated as follows. did. Materials other than iridium, namely, titanium, tantalum (Ta), platinum (Pt), ruthenium (Ru), rhodium (Rh), and alumina oxide (A
corrosive l 2 O 3), in particular temperature range, the corrosion rate was less than 1 mm / year over 5 mm / year, but falls within the allowable range, high corrosion rate at that temperature range, it is Cannot be adopted. For example, titanium, ruthenium, and rhodium have a low corrosion rate in a high-temperature region, but have a very high corrosion rate at a temperature of 400 ° C. or less, particularly at 300 ° C. Conversely, tantalum has a low corrosion rate in a temperature range of 400 ° C. or lower, but has a very high corrosion rate in a high temperature range of 400 ° C. or higher. In addition, although alumina oxide has a low corrosion rate in a high-temperature region, it cracks and cannot be used as a corrosion-resistant material for a reactor.

【0024】更に言えば、耐食性の高いと評価されてい
る白金族元素であっても、イリジウム以外の白金、ルテ
ニウム(Ru)、及びロジウム(Rh)は特定の温度範
囲を除いて耐食性に乏しく、イリジウムのみが常温から
650℃までの温度範囲にわたり良好な耐食性を有す
る。
Furthermore, even among platinum group elements which are evaluated as having high corrosion resistance, platinum other than iridium, ruthenium (Ru) and rhodium (Rh) have poor corrosion resistance except in a specific temperature range. Only iridium has good corrosion resistance over the temperature range from room temperature to 650 ° C.

【0025】反応器内は、全域にわたって550〜65
0℃の温度範囲にあることが望まれるが、実際の運転に
おいては、ノズル噴霧が悪化した場合に、反応器の一
部、特に下部が400℃以下の温度となることが考えら
れ、この範囲で、腐食速度が許容範囲以内であることが
必要である。例えば、チタンを使った反応器であれば、
チタンの耐食性を機能させるためには、反応器を常に高
温域に維持することが必要であって、特別の温度維持装
置が必要になる。これでは、設備コストが嵩み、しかも
運転が複雑になるという問題がある。
In the reactor, 550 to 65
Although it is desirable that the temperature is in a temperature range of 0 ° C., in actual operation, when the nozzle spraying is deteriorated, it is considered that a temperature of a part of the reactor, particularly the lower part, becomes 400 ° C. or less. It is necessary that the corrosion rate be within an allowable range. For example, if the reactor uses titanium,
In order for the corrosion resistance of titanium to work, it is necessary to keep the reactor always in a high temperature range, and a special temperature maintenance device is required. In this case, there is a problem that the equipment cost increases and the operation becomes complicated.

【0026】以上の実験結果から、本発明者は、400
℃以上の温度域で耐食性の良好なチタンと、400℃以
下の温度域で耐食性の良好なタンタルとを組み合わせる
ことを考えた。ところで、チタン、タンタルは、耐食性
が良好な温度範囲が極めて臨界的に限定され、反応容器
の温度が何らかの理由で耐食性を示す温度範囲から逸脱
すると、腐食が著しく進行するという難点がある。一
方、イリジウムは、常温から650℃までの温度範囲に
わたり良好な耐食性を示すものの、機械的加工が難しい
という問題があった。
From the above experimental results, the present inventor found that 400
Consideration was given to combining titanium having good corrosion resistance in a temperature range of 400 ° C. or more with tantalum having good corrosion resistance in a temperature range of 400 ° C. or less. By the way, titanium and tantalum have a disadvantage that the temperature range in which corrosion resistance is good is extremely critically limited, and if the temperature of the reaction vessel deviates from the temperature range in which corrosion resistance is exhibited for some reason, corrosion proceeds significantly. On the other hand, iridium has good corrosion resistance over a temperature range from room temperature to 650 ° C., but has a problem that mechanical processing is difficult.

【0027】そこで、本発明者は、ライニング等の機械
的加工によってイリジウム層を形成する代わりに、化学
的気相成長法(Chemical Vapor Deposition Process 、
以下、CVD法と言う)によって、酸化イリジウム層
(IrO2 )をチタン層又はタンタル層上に成長させる
ことを着想した。酸化イリジウム層の耐食性を前述と同
様な実験で調べたところ、イリジウム層と同じ耐食性を
有することを実験で確認することができた。本発明者
は、実験を重ねて、チタン層上に、又はタンタル層上
に、CVD法によって酸化イリジウム層を成長させるこ
とにより、チタン層と酸化イリジウム層との複合耐食
層、タンタル層と酸化イリジウム層との複合耐食層、又
はタンタル層、チタン層、及び酸化イリジウム層の3層
の複合耐食層を形成することができることを確認した。
Therefore, the present inventor has proposed that instead of forming an iridium layer by mechanical processing such as lining, a chemical vapor deposition method (Chemical Vapor Deposition Process,
Hereafter, the idea was to grow an iridium oxide layer (IrO 2 ) on a titanium layer or a tantalum layer by a CVD method. When the corrosion resistance of the iridium oxide layer was examined by the same experiment as described above, it was confirmed by the experiment that the iridium oxide layer had the same corrosion resistance as the iridium layer. The present inventor has repeatedly conducted experiments to grow an iridium oxide layer on a titanium layer or a tantalum layer by a CVD method, whereby a composite corrosion-resistant layer of a titanium layer and an iridium oxide layer, a tantalum layer and an iridium oxide It was confirmed that a composite corrosion-resistant layer with a layer or a composite corrosion-resistant layer of three layers of a tantalum layer, a titanium layer, and an iridium oxide layer could be formed.

【0028】そして、チタン層上に膜厚2500〜30
00nmの酸化イリジウム層をCVD法によって積層し
たTi/IrO2 複合耐食層で反応器の内壁面を被覆
し、前述と同じ腐食実験を行った。腐食実験の結果、腐
食速度は、常温から650℃の範囲にわたってイリジウ
ムと同様であって、例えば300℃でプラス2mm/年
以下であった。つまり、Ti/IrO2 複合耐食層は、
チタン層の耐食性が低い400℃以下でも十分な耐食性
を示し、また、常温から650℃の範囲で、ほぼイリジ
ウムと同じ程度の耐食性を有する。
Then, a film thickness of 2500 to 30 is formed on the titanium layer.
The inner wall surface of the reactor was covered with a Ti / IrO 2 composite corrosion-resistant layer in which a 00 nm iridium oxide layer was laminated by a CVD method, and the same corrosion test as described above was performed. As a result of the corrosion experiment, the corrosion rate was the same as that of iridium in the range from room temperature to 650 ° C., and was, for example, less than plus 2 mm / year at 300 ° C. That is, the Ti / IrO 2 composite corrosion-resistant layer is
The titanium layer exhibits sufficient corrosion resistance even at 400 ° C. or lower where the corrosion resistance is low, and has almost the same corrosion resistance as iridium in the range from room temperature to 650 ° C.

【0029】また、本発明者は、耐食層を形成する場
合、単一の耐食性材料、例えばイリジウム層で耐食層を
形成するより、寧ろ、多少異なる耐食性を有す複数の耐
食材料、例えばチタン層と酸化イリジウム層との複合耐
食層を形成する方が不測の条件下でもより一層確実な耐
食性を示すと考えた。例えば、孔食状の腐食の場合、仮
に酸化イリジウム層に孔食が生じたとしても、下層のチ
タン層にまで孔食が進行することは少ないからである。
また、反応器内で不測の急激な温度低下が生じても、チ
タン層のみであれば、腐食の発生、進行が懸念される
が、酸化イリジウム層を表層に有するので、腐食が発生
しない。そこで、本発明者は、腐食され易い反応容器壁
を上述の複合耐食層で被覆することにより、常温から6
50℃までの温度範囲にわたり、腐食速度の許容できる
限度内で、即ち長期間にわたり安全に、有機塩素系化合
物の超臨界水処理を行うことができるという、本発明を
発明するに至った。
Further, the present inventor has found that when forming a corrosion resistant layer, rather than forming a corrosion resistant layer with a single corrosion resistant material, for example, an iridium layer, a plurality of corrosion resistant materials having slightly different corrosion resistance, for example, a titanium layer, It was considered that the formation of a composite corrosion-resistant layer composed of a metal and an iridium oxide layer exhibited more reliable corrosion resistance even under unexpected conditions. For example, in the case of pitting-like corrosion, even if pitting occurs in the iridium oxide layer, pitting corrosion rarely progresses to the underlying titanium layer.
In addition, even if an unexpected sudden temperature drop occurs in the reactor, if the titanium layer alone is used, the occurrence and progress of corrosion may be concerned. However, since the iridium oxide layer is provided on the surface layer, no corrosion occurs. Therefore, the present inventor has proposed that the reaction vessel wall, which is easily corroded, is coated with the above-mentioned composite corrosion-resistant layer so that the temperature of the reaction vessel wall is reduced from room temperature to 6
The present invention has been made so that supercritical water treatment of an organochlorine compound can be performed safely over a temperature range up to 50 ° C. and within an allowable limit of the corrosion rate, that is, for a long period of time.

【0030】上記目的を達成するために、上述の知見に
基づいて、本発明に係る超臨界水反応装置(以下、第1
の発明と言う)は、超臨界水を収容する反応器を備え、
有機塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入し
て酸化剤により酸化分解する超臨界水反応装置におい
て、反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲
に制御する温度制御装置を備え、反応器の被処理液と接
する反応器壁面が、壁面上に設けられたチタン又はチタ
ン合金からなるチタン層と、チタン層上に積層された酸
化イリジウム層との複合耐食層で被覆されていることを
特徴としている。
In order to achieve the above object, based on the above-mentioned findings, the supercritical water reactor (hereinafter referred to as the first
Comprises a reactor containing supercritical water,
In a supercritical water reactor in which a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into a reactor and oxidized and decomposed by an oxidizing agent, a temperature controller for controlling the temperature in the reactor to a range of 550 ° C or more and 650 ° C or less. The reactor wall in contact with the liquid to be treated in the reactor is coated with a composite corrosion-resistant layer of a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on the wall and an iridium oxide layer laminated on the titanium layer. It is characterized by having.

【0031】本発明では、被処理液の送入流量、超臨界
水の送入流量、超臨界水生成のために反応器に送入する
補給水の送入流量、及び補給水の温度の少なくともいず
れかを調整して、反応温度を550℃以上650℃以下
の範囲の温度に設定することにより、有機塩素化合物が
PCB又はPCB類似化合物である場合、被処理液の酸
化分解により生成した処理液中のPCB濃度を3ppb
以下にすることができる。本発明で、PCB類似化合物
とは、PCBとほぼ同じような化学構造を有する化合物
であって、例えばダイオキシン類、クロロベンゼン系化
合物、クロロフェノール類等である。また、本発明で
は、特定した複合耐食層で反応器の壁面を被覆している
ので、上述の温度でも、生成塩酸による腐食雰囲気に抗
して長期間にわたり安定し、PCB等の有機塩素化合物
を含む被処理液を処理することができる。酸化イリジウ
ム層の膜厚は、処理する有機塩素化合物、反応器内の塩
酸濃度によって異なるが、実用的には、1500nm以
上とする。
In the present invention, at least the feed flow rate of the liquid to be treated, the feed flow rate of supercritical water, the feed flow rate of make-up water fed into the reactor for generating supercritical water, and the temperature of make-up water By adjusting any of them and setting the reaction temperature to a temperature in the range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, when the organic chlorine compound is PCB or a PCB-like compound, the treatment liquid generated by oxidative decomposition of the liquid to be treated PCB concentration of 3ppb
It can be: In the present invention, the PCB-like compound is a compound having a chemical structure substantially similar to that of PCB, such as dioxins, chlorobenzene compounds, and chlorophenols. Further, in the present invention, since the wall surface of the reactor is covered with the specified composite corrosion resistant layer, even at the above-mentioned temperature, it is stable for a long time against the corrosive atmosphere due to the generated hydrochloric acid, and the organic chlorine compound such as PCB can be removed. The liquid to be treated can be treated. The thickness of the iridium oxide layer depends on the organochlorine compound to be treated and the concentration of hydrochloric acid in the reactor, but is practically 1500 nm or more.

【0032】本発明の好適な実施態様では、反応器の被
処理液と接する反応器壁面が、壁面上に設けられたタン
タル又はタンタル合金からなるタンタル層と、タンタル
層上に設けられたチタン又はチタン合金からなるチタン
層と、チタン層上に積層された酸化イリジウム層との3
層の複合耐食層で被覆されている。これにより、酸化イ
リジウム層が腐食し、更に、不測の事情により反応器の
温度が400℃より低下してチタン層が腐食した時に
も、内側のタンタル層で耐腐食性を維持することができ
る。つまり、PCB等の極めて有害な物質を取り扱う際
に必要なフェイルセーフの考えに基づいている。また、
反応器内の温度分布に基づいて算出した温度が400℃
未満の領域の反応器壁面が、壁面上に設けられたタンタ
ル又はタンタル合金からなるタンタル層と、タンタル層
上に積層された酸化イリジウム層との複合耐食層で被覆
されている。これにより、反応器の耐食性を更に高める
ことができる。
In a preferred embodiment of the present invention, the reactor wall in contact with the liquid to be treated in the reactor has a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall, and a titanium or tantalum layer provided on the tantalum layer. A titanium layer composed of a titanium alloy and an iridium oxide layer laminated on the titanium layer;
The layers are coated with a composite corrosion resistant layer. Accordingly, even when the iridium oxide layer is corroded and the titanium layer is corroded due to unexpected circumstances when the temperature of the reactor falls below 400 ° C., the corrosion resistance of the inner tantalum layer can be maintained. That is, it is based on a fail-safe concept required when handling extremely harmful substances such as PCBs. Also,
The temperature calculated based on the temperature distribution in the reactor is 400 ° C
The reactor wall in the region below is covered with a composite corrosion-resistant layer of a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall and an iridium oxide layer laminated on the tantalum layer. Thereby, the corrosion resistance of the reactor can be further increased.

【0033】本発明で、複合耐食層で被覆するには、先
ず、ニッケル合金等で形成された反応器壁上に既知のラ
イニング法によってチタン層又はタンタル層を被覆し、
次いでチタン層又はタンタル層上にCVD法によって酸
化イリジウム層を成長させる。また、ニッケル合金層上
にチタン層又はタンタル層を被覆した被覆金属材を加工
して、反応器を形成し、次いで反応器壁のチタン層又は
タンタル層上にCVD法によって酸化イリジウム層を成
長させる。尚、本発明で「壁面を複合耐食層で被覆す
る」という表現は、反応器自体がチタン又はタンタルで
形成され、その内壁面上に酸化イリジウム層を積層した
態様も含む。
In the present invention, in order to coat with a composite corrosion-resistant layer, first, a titanium layer or a tantalum layer is coated on a reactor wall formed of a nickel alloy or the like by a known lining method.
Next, an iridium oxide layer is grown on the titanium layer or the tantalum layer by a CVD method. Further, a reactor is formed by processing a coated metal material in which a titanium layer or a tantalum layer is coated on a nickel alloy layer, and then an iridium oxide layer is grown on the titanium layer or the tantalum layer on the reactor wall by a CVD method. . In the present invention, the expression "coating the wall surface with the composite corrosion-resistant layer" includes an embodiment in which the reactor itself is formed of titanium or tantalum, and an iridium oxide layer is laminated on the inner wall surface.

【0034】本発明で使用するチタン及びチタン合金
は、JIS規格又はASTM規格で規定されるものであ
って、例えばJIS規格では、純チタンはJIS1種か
ら3種で規定されるチタン金属、チタン合金はチタンパ
ラジウム合金として規定されるJIS11種から13種
のチタン合金、及び他のチタン合金としてTi−6Al
−4V合金及びTi−6Al−4VELI合金がある。
また、ASTM規格では、純チタンはASTM Gra
de1からGrade4で規定されるチタン金属、チタ
ン合金はチタンパラジウム合金として規定されるAST
M Grade7とGrade11のチタン合金であ
る。また、ASTM規格でGrade12なども適用で
きる。
The titanium and titanium alloy used in the present invention are specified by the JIS standard or the ASTM standard. For example, in the JIS standard, pure titanium is a titanium metal or a titanium alloy specified by one to three types of JIS. Are titanium alloys of JIS 11 to 13 specified as titanium-palladium alloys, and Ti-6Al as other titanium alloys.
-4V alloy and Ti-6Al-4VELI alloy.
According to the ASTM standard, pure titanium is ASTM Gra.
titanium metal and titanium alloy specified by de1 to Grade 4 are AST specified as titanium palladium alloy
M Grade 7 and Grade 11 are titanium alloys. Also, Grade 12 and the like can be applied according to the ASTM standard.

【0035】本発明で使用するタンタル及びタンタル合
金は、JIS規格又はASTM規格で規定されるもので
あって、純タンタルの他にも、タンタル−タングステン
合金なども適用できる。第1の発明で、チタン層又はチ
タン合金層、及びタンタル層又はタンタル合金層は、反
応器の容器壁にライニングしても良く、また溶接法によ
り肉盛りしても良い。また、HIP処理によって反応器
の容器壁に接合することもできる。
The tantalum and the tantalum alloy used in the present invention are specified by the JIS standard or the ASTM standard. In addition to pure tantalum, a tantalum-tungsten alloy or the like can be applied. In the first invention, the titanium layer or the titanium alloy layer and the tantalum layer or the tantalum alloy layer may be lined with the vessel wall of the reactor, or may be built up by welding. Further, it can be joined to the vessel wall of the reactor by HIP processing.

【0036】反応器が圧力バランス型反応器である場合
には、本発明に係る超臨界水反応装置(以下、第2の発
明という)は、超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、反
応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制御
する温度制御装置を備え、反応器が、圧力容器と、圧力
容器と相互に連通する反応カートリッジとの2重筒体で
あって、被処理液と、酸化剤とを反応カートリッジ内に
供給し、かつ、圧力容器と反応カートリッジとの間に圧
力バランス用ガスを供給して、反応カートリッジ内で被
処理液を酸化含有ガスにより酸化分解する圧力バランス
型反応器として構成され、反応カートリッジが、チタン
又はチタン合金からなるチタン層と、チタン層の両面に
積層された酸化イリジウム層とからなる複合耐食材で形
成されていることを特徴としている。
When the reactor is a pressure balanced reactor, the supercritical water reactor according to the present invention (hereinafter referred to as the second invention) comprises a reactor containing supercritical water, and comprises an organic chlorine reactor. A supercritical water reactor in which a liquid to be treated containing a compound is introduced into a reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent is provided with a temperature controller for controlling the temperature in the reactor to a range of 550 ° C or more and 650 ° C or less. Wherein the reactor is a double cylinder comprising a pressure vessel and a reaction cartridge communicating with the pressure vessel, and supplies the liquid to be treated and the oxidizing agent into the reaction cartridge, and reacts with the pressure vessel. It is configured as a pressure-balanced reactor that supplies a pressure-balancing gas between the cartridge and the reaction cartridge to oxidize and decompose the liquid to be treated with the oxidizing gas in the reaction cartridge. A titanium layer formed is characterized in that it is formed of a composite corrosion-resistant material composed of iridium oxide layer laminated on both surfaces of the titanium layer.

【0037】第2の発明では、温度制御装置が、被処理
液の送入流量、超臨界水の送入流量、超臨界水生成のた
めに反応器に送入する補給水の送入流量、及び補給水の
温度の少なくともいずれかを調整することにより、反応
器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制御す
ることができる。
[0037] In the second invention, the temperature control device is configured to control the flow rate of the liquid to be treated, the flow rate of the supercritical water, the flow rate of the make-up water fed to the reactor for generating the supercritical water, By adjusting at least one of the temperature of the makeup water and the temperature of the makeup water, the temperature in the reactor can be controlled in the range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less.

【0038】また、別法として、反応カートリッジを、
タンタル又はタンタル合金からなるタンタル層と、タン
タル層の両面に設けられたチタン又はチタン合金からな
るチタン層と、チタン層の両面に積層された酸化イリジ
ウム層とからなる複合耐食材で形成しても良い。これに
より、酸化イリジウム層が腐食し、更に、不測の事情に
より反応器の温度が400℃より低下してチタン層が腐
食した時にも、内側のタンタル層で耐腐食性を維持する
ことができる。
Alternatively, the reaction cartridge may be
A tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy, a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on both surfaces of the tantalum layer, and a composite corrosion-resistant material formed of an iridium oxide layer stacked on both surfaces of the titanium layer good. Accordingly, even when the iridium oxide layer is corroded and the titanium layer is corroded due to unexpected circumstances when the temperature of the reactor falls below 400 ° C., the corrosion resistance of the inner tantalum layer can be maintained.

【0039】本発明の第3の発明は、超臨界水を収容す
る反応器を備え、有機塩素化合物を含有する被処理液を
反応器内に導入して酸化剤により酸化分解する超臨界水
反応装置において、反応器内の温度を550℃以上65
0℃以下の範囲に制御する温度制御装置を備え、反応器
が、圧力容器と、圧力容器と相互に連通する反応カート
リッジとの2重筒体であって、被処理液と酸化剤とを反
応カートリッジ内に供給し、かつ、圧力容器と反応カー
トリッジとの間に圧力バランス用ガスを供給して、反応
カートリッジ内で被処理液を酸化分解する圧力バランス
型反応器として構成され、処理流体が流れる処理流体流
路と、処理流体流路に合流してアルカリ水溶液を処理液
中に注入するアルカリ水溶液流路とを備え、アルカリ水
溶液によって処理流体を450℃以下に中和急冷するよ
うにした中和急冷部を反応器外に備え、処理流体流路及
びアルカリ水溶液流路の流路壁面が、壁面上に設けられ
たタンタル又はタンタル合金からなるタンタル層と、タ
ンタル層上に積層された酸化イリジウム層との複合耐食
層で被覆されている。また、処理流体流路及びアルカリ
水溶液流路の流路壁面を、壁面上に設けられたチタン又
はチタン合金からなるチタン層と、チタン層上に設けら
れたタンタル又はタンタル合金からなるタンタル層と、
タンタル層上に積層された酸化イリジウム層との複合耐
食層で被覆するようにしても良い。また、本発明の中和
急冷部は、前記第1の発明または第2の発明と併用して
用いるとよい。
The third invention of the present invention is directed to a supercritical water reaction in which a reactor containing supercritical water is provided, and a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. In the apparatus, the temperature in the reactor is set to 550 ° C. or higher and 65
A temperature control device for controlling the temperature within a range of 0 ° C. or lower is provided, and the reactor is a double cylinder comprising a pressure vessel and a reaction cartridge communicating with the pressure vessel, and reacts the liquid to be treated with the oxidizing agent. It is configured as a pressure-balanced reactor for supplying a pressure-balancing gas between the pressure vessel and the reaction cartridge, and oxidizing and decomposing the liquid to be treated in the reaction cartridge, through which the processing fluid flows. A neutralization method comprising a processing fluid flow path, and an alkaline aqueous solution flow path that joins the processing fluid flow path and injects an alkaline aqueous solution into the processing liquid, and neutralizes and quenches the processing fluid to 450 ° C. or less with the alkaline aqueous solution. A quenching unit is provided outside the reactor, and the flow path walls of the processing fluid flow path and the alkaline aqueous solution flow path are stacked on the tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall face and the tantalum layer It is coated with a composite corrosion resistant layer of iridium oxide layer. Further, the processing fluid flow path and the flow path wall surface of the alkaline aqueous solution flow path, a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on the wall surface, and a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the titanium layer,
You may make it cover with the composite corrosion-resistant layer with the iridium oxide layer laminated on the tantalum layer. Further, the neutralization and quenching section of the present invention may be used in combination with the first or second invention.

【0040】圧力バランス型反応器では、中和急冷部を
反応器の圧力容器と反応カートリッジとの間の環状部に
備えて良い。尚、第1及び第2の発明の超臨界水装置で
は、反応器は反応器内全域にわたり超臨界水域のみを形
成し、亜臨界水域を形成しないようになっている。
In a pressure balanced reactor, a neutralization quench may be provided in the annular portion between the pressure vessel of the reactor and the reaction cartridge. In the supercritical water apparatus according to the first and second aspects of the present invention, the reactor forms only a supercritical water area over the entire area of the reactor and does not form a subcritical water area.

【0041】[0041]

【発明の実施の形態】以下に、添付図面を参照し、実施
形態例を挙げて本発明の実施の形態を具体的かつ詳細に
説明する。実施形態例1 本実施形態例は、第1の発明に係る超臨界水反応装置の
実施形態の一例であって、図1は本実施形態例の超臨界
水反応装置の構成を示すフローシート、及び図2は反応
器の詳細を示す断面図である。本実施形態例の超臨界水
反応装置は、超臨界水の存在下で超臨界水反応により主
としてPCBを含む被処理液を処理する装置であって、
図1に示すように、超臨界水反応を行う反応器として、
縦型の耐圧密閉型反応器12を備え、反応器12から処
理流体を流出させる処理流体管14に、順次、処理流体
を冷却する冷却器16、反応器12内の圧力を制御する
圧力制御弁18、及び、処理流体をガスと液体とに気液
分離する気液分離器20を備えている。
Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the accompanying drawings. Embodiment 1 This embodiment is an example of an embodiment of the supercritical water reactor according to the first invention, and FIG. 1 is a flow sheet showing the configuration of the supercritical water reactor of this embodiment. 2 is a sectional view showing details of the reactor. The supercritical water reactor of the present embodiment is an apparatus for treating a liquid to be treated mainly containing PCB by a supercritical water reaction in the presence of supercritical water,
As shown in FIG. 1, as a reactor for performing a supercritical water reaction,
A vertical pressure-resistant closed type reactor 12 is provided, a processing fluid pipe 14 through which a processing fluid flows out from the reactor 12, a cooler 16 for sequentially cooling the processing fluid, and a pressure control valve for controlling the pressure in the reactor 12. And a gas-liquid separator 20 for gas-liquid separation of the processing fluid into gas and liquid.

【0042】超臨界水反応装置10は、超臨界水反応に
供する被処理液を反応器12に供給する供給系統とし
て、インバータ制御又はストローク制御によって吐出量
の調節が可能な被処理液ポンプ24と、空気圧縮機28
とを備えて、被処理液管22を介してPCBを含む被処
理液を反応器12に送入し、かつ、空気送入管26及び
被処理液管22を介して酸化剤として空気を被処理液と
共に反応器12に送入する。図示しないが、必要に応じ
て超臨界水又は超臨界水生成用の補給水を反応器12に
補充するようにしてもよく、また、補給水を所望の温度
に加熱する加熱器を設けることもできる。更に、超臨界
水反応装置10は、反応器12から出た直後の処理流体
管14に中和急冷部30を備え、注入管31から処理流
体にアルカリ水溶液を注入して処理流体を温度450℃
以下、好ましくは350℃以下に中和急冷するようにな
っている。
The supercritical water reactor 10 includes, as a supply system for supplying the liquid to be subjected to the supercritical water reaction to the reactor 12, a liquid to be treated pump 24 whose discharge amount can be adjusted by inverter control or stroke control. , Air compressor 28
The liquid to be treated including the PCB is fed into the reactor 12 through the liquid pipe 22 to be treated, and air is supplied as an oxidizing agent through the air inlet pipe 26 and the liquid pipe 22 to be treated. It is fed into the reactor 12 together with the processing liquid. Although not shown, supercritical water or make-up water for generating supercritical water may be replenished to the reactor 12 if necessary, and a heater for heating the make-up water to a desired temperature may be provided. it can. Further, the supercritical water reactor 10 is provided with a neutralization quenching unit 30 in the processing fluid pipe 14 immediately after exiting the reactor 12, and an alkaline aqueous solution is injected into the processing fluid from the injection pipe 31 to raise the temperature of the processing fluid to 450 ° C.
The neutralization and rapid cooling is preferably performed at 350 ° C. or lower.

【0043】また、超臨界水反応装置10は、被処理液
の送入流量を調整することにより、反応器12内の反応
温度を例えば550℃に制御する温度制御装置32を備
えている。温度制御装置32は、反応器12内の温度を
計測する温度計34を有し、温度計34の温度に基づい
て被処理液ポンプ24の吐出量を調節して被処理液の出
口温度を調整することにより、反応温度を550℃以上
650℃以下の範囲の設定温度に制御する。温度制御装
置32の構成は、これに限らず、例えば超臨界水の送入
流量を調整することにより、或いは超臨界水生成用の補
給水の送入流量を調整することにより、更には補給水の
送入温度を調整することにより、反応器12内の反応温
度を550℃以上650℃以下の範囲に制御することが
できる。
The supercritical water reactor 10 includes a temperature controller 32 for controlling the reaction temperature in the reactor 12 to, for example, 550 ° C. by adjusting the flow rate of the liquid to be treated. The temperature control device 32 has a thermometer 34 for measuring the temperature inside the reactor 12, and adjusts the discharge amount of the liquid to be treated pump 24 based on the temperature of the thermometer 34 to adjust the outlet temperature of the liquid to be treated. Thereby, the reaction temperature is controlled to a set temperature in the range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less. The configuration of the temperature control device 32 is not limited to this. For example, by adjusting the supply flow rate of supercritical water, or by adjusting the supply flow rate of makeup water for generating supercritical water, The reaction temperature in the reactor 12 can be controlled in the range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less by adjusting the feed temperature of the reactor.

【0044】反応器12は、図2に示すように、超臨界
水処理時の圧力、例えば23MPaに抗する機械的強度
を有する縦型筒状容器12aとして形成されている。容
器12aの内壁は、内壁にライニングされたチタン層1
2b及びチタン層12b上にCVD法によって成長させ
た酸化イリジウム層12cの複合耐食層で被覆されてい
る。
As shown in FIG. 2, the reactor 12 is formed as a vertical cylindrical container 12a having a mechanical strength against the pressure during supercritical water treatment, for example, 23 MPa. The inner wall of the container 12a has a titanium layer 1 lined with the inner wall.
2b and the titanium layer 12b are covered with a composite corrosion-resistant layer of an iridium oxide layer 12c grown by a CVD method.

【0045】CVD法による酸化イリジウム層12cの
成長プロセスは、例えば、次のようにして行う。すなわ
ち、予めアセトンによりチタン層の脱脂処理を行った
後、700℃の水蒸気気流中にて酸化処理を行ってチタ
ン層表面をチタン酸化物とする。一方、塩化イリジウム
(IrC13 )をアミルアルコールに溶解し、還流器を
具備する加熱蒸留装置に入れ、温度90℃で10時間還
流を継続することにより得た塩化イリジウムの塩化物の
3/4をアミルアルコールと置換したイリジウム塗布液
を生成する。このイリジウム塗布液をチタン酸化物の表
面に塗布し、室温にて自然乾燥した後、110℃で強制
乾燥する。次いで700℃の水蒸気含有雰囲気下で10
分間熱分解反応処理を行う。この塗布→乾燥→熱分解反
応処理を10回繰り返して見掛け膜厚3000nmの酸
化イリジウムの被覆層を形成した。
The growth process of the iridium oxide layer 12c by the CVD method is performed, for example, as follows. That is, after the titanium layer is degreased in advance with acetone, the titanium layer is oxidized in a steam stream at 700 ° C. to turn the titanium layer surface into titanium oxide. On the other hand, iridium chloride (IrCl 3 ) was dissolved in amyl alcohol, put into a heating distillation apparatus equipped with a reflux device, and refluxed at a temperature of 90 ° C for 10 hours to obtain 3/4 of the iridium chloride chloride obtained. An iridium coating solution substituted with amyl alcohol is produced. This iridium coating solution is applied to the surface of titanium oxide, air-dried at room temperature, and then forcedly dried at 110 ° C. Then, under an atmosphere containing steam at 700 ° C., 10
Perform a thermal decomposition reaction treatment for a minute. This coating → drying → thermal decomposition reaction treatment was repeated 10 times to form a coating layer of iridium oxide having an apparent film thickness of 3000 nm.

【0046】反応器12は、被処理液管22と接続し、
被処理液及び空気を反応器12内に流入させる流入口3
6を上部に、処理流体管14に接続し、処理流体を流出
させる流出口38を側壁に備えている。チタン層12b
は、チタン又はチタン合金によって形成されている。ま
た、チタン層12bに代えて、チタン又はチタン合金か
らなるチタン層と、チタン層と容器壁との間に設けられ
た、タンタル又はタンタル合金からなるタンタル層との
積層膜であっても良い。
The reactor 12 is connected to the liquid pipe 22 to be treated,
Inflow port 3 through which liquid to be treated and air flow into reactor 12
6 is provided on the upper side, and an outlet 38 connected to the processing fluid pipe 14 and allowing the processing fluid to flow out is provided on the side wall. Titanium layer 12b
Is formed of titanium or a titanium alloy. Instead of the titanium layer 12b, a laminated film of a titanium layer made of titanium or a titanium alloy and a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided between the titanium layer and the container wall may be used.

【0047】中和急冷部30は、図3に示すように、処
理流体が流れる処理流体流路40と、注入管31を処理
流体流路40に合流させてアルカリ水溶液を処理流体中
に注入するアルカリ水溶液流路42とから構成されてい
る。本実施形態例では、処理流体流路40とアルカリ水
溶液流路42とは、Y字状に合流しているが、直角に合
流しても良い。処理流体流路40及びアルカリ水溶液流
路42の流路壁は、それぞれ、タンタル合金で形成され
たタンタル管壁44と、チタン又はチタン合金で形成さ
れ、タンタル壁の内周に設けられたチタン管壁46と、
チタン管壁46上にCVD法によって成長させた酸化イ
リジウム層47との3層構造で形成されている。尚、タ
ンタル管壁44の外周にニッケル合金鋼製管体を挿入
し、ニッケル合金鋼製管体を圧力構造体としても良い。
As shown in FIG. 3, the neutralizing and quenching unit 30 joins the processing fluid flow path 40 through which the processing fluid flows and the injection pipe 31 to the processing fluid flow path 40 to inject the alkaline aqueous solution into the processing fluid. And an aqueous alkaline solution channel 42. In the present embodiment, the processing fluid flow path 40 and the alkaline aqueous solution flow path 42 join in a Y-shape, but may join at a right angle. The flow path walls of the processing fluid flow path 40 and the alkaline aqueous solution flow path 42 are respectively a tantalum pipe wall 44 formed of a tantalum alloy and a titanium pipe formed of titanium or a titanium alloy and provided on the inner periphery of the tantalum wall. A wall 46;
It is formed in a three-layer structure with an iridium oxide layer 47 grown on a titanium tube wall 46 by a CVD method. Note that a nickel alloy steel tube may be inserted into the outer periphery of the tantalum tube wall 44, and the nickel alloy steel tube may be used as the pressure structure.

【0048】中和急冷部30を形成するには、先ず、タ
ンタル合金の円柱体を形成し、次いで円柱体をドリリン
グして、貫通路を有するタンタル管壁44を形成する。
そして、タンタル管壁44の貫通路内にチタン合金の溶
融液を流し込み、放冷して固化させた後、HIP処理を
施して、タンタル合金相とチタン合金相との接合を確実
にする。次いで、チタン合金相をドリリングして、チタ
ン管壁46と、チタン管壁46の外側に設けられたタン
タル管壁44とを形成する。続いて、チタン管壁46上
にCVD法によって酸化イリジウム層47を成長させる
ことにより、処理流体流路40及びアルカリ水溶液流路
42を形成することができる。また、別の作製方法とし
て、タンタル合金の円柱体を形成し、次いで円柱体をド
リリングして、貫通路を有するタンタル管壁44を形成
し、チタン管壁44上にチタン合金を溶接法等により肉
盛りしてチタン壁46を設け、続いてチタン管壁46上
にCVD法によって酸化イリジウム層47を成長させ
る。
To form the neutralization and quenching portion 30, first, a columnar body of a tantalum alloy is formed, and then the columnar body is drilled to form a tantalum tube wall 44 having a through passage.
Then, a molten solution of the titanium alloy is poured into the through passage of the tantalum tube wall 44, and is allowed to cool and solidify. Then, HIP processing is performed to ensure the joining between the tantalum alloy phase and the titanium alloy phase. Next, the titanium alloy phase is drilled to form a titanium tube wall 46 and a tantalum tube wall 44 provided outside the titanium tube wall 46. Subsequently, by growing the iridium oxide layer 47 on the titanium tube wall 46 by the CVD method, the processing fluid flow path 40 and the alkaline aqueous solution flow path 42 can be formed. As another manufacturing method, a columnar body of a tantalum alloy is formed, and then the cylinder is drilled to form a tantalum tube wall 44 having a through passage, and a titanium alloy is formed on the titanium tube wall 44 by a welding method or the like. A titanium wall 46 is provided by building up, and then an iridium oxide layer 47 is grown on the titanium tube wall 46 by a CVD method.

【0049】別法として、中和急冷部30の処理流体流
路40及びアルカリ水溶液流路42の流路壁を、それぞ
れ、純タンタル又はタンタル合金からなるタンタル管壁
と、タンタル管壁上にCVD法によって成長させた酸化
イリジウム層とから構成しても良い。別法の中和急冷部
30を作製するには、例えば、先ず、タンタル合金の円
柱体を形成し、次いで円柱体をドリリングして、貫通路
を有するタンタル管壁を形成する。次いで、CVD法に
よって酸化イリジウム層をタンタル管壁面に成長させ
る。
Alternatively, the processing fluid flow path 40 and the alkaline aqueous solution flow path 42 of the neutralization and quenching section 30 may be respectively provided with a tantalum tube wall made of pure tantalum or a tantalum alloy and a tantalum tube wall on the tantalum tube wall. And an iridium oxide layer grown by a conventional method. In order to manufacture the neutralization quenching part 30 of another method, for example, first, a cylinder of a tantalum alloy is formed, and then the cylinder is drilled to form a tantalum tube wall having a through passage. Next, an iridium oxide layer is grown on the wall surface of the tantalum tube by the CVD method.

【0050】本実施形態例では、温度制御装置32によ
って反応器12内の温度を600℃に制御することによ
り、PCBを含む被処理液を超臨界水処理により完全に
分解して処理液のPCBの残留量を3ppb以下に抑え
ることができる。また、チタン合金層12bと酸化イリ
ジウム層12cとの複合耐食層が、反応器12の耐食層
として確実に機能する。また、仮に、反応器12内の温
度が400℃以下に低下しても、酸化イリジウム層12
cが表層にあるので、腐食が進行するようなことは生じ
ない。中和急冷部30は、酸化イリジウム層44で被覆
されているので、腐食が進行するようなことは生じな
い。万一、酸化イリジウム層44が腐食しても、温度が
高い通常の状態では、チタン管壁44が耐食性を維持
し、逆に、温度が予期せずに例えば400℃以下に低下
した状態では、チタン管壁44は腐食されるものの、そ
の外側のタンタル管壁46が耐食性を維持する。
In the present embodiment, by controlling the temperature in the reactor 12 to 600 ° C. by the temperature control device 32, the liquid to be treated including PCB is completely decomposed by the supercritical water treatment, and the PCB of the treatment liquid is decomposed. Can be suppressed to 3 ppb or less. In addition, the composite corrosion-resistant layer of the titanium alloy layer 12b and the iridium oxide layer 12c reliably functions as a corrosion-resistant layer of the reactor 12. Further, even if the temperature in the reactor 12 drops to 400 ° C. or less, the iridium oxide layer 12
Since c is present in the surface layer, the corrosion does not proceed. Since the neutralization and quenching section 30 is covered with the iridium oxide layer 44, corrosion does not proceed. Even if the iridium oxide layer 44 is corroded, in a normal state where the temperature is high, the titanium tube wall 44 maintains corrosion resistance, and conversely, in a state where the temperature unexpectedly drops to, for example, 400 ° C. or less, The titanium tube wall 44 is corroded, but the outer tantalum tube wall 46 maintains corrosion resistance.

【0051】実施形態例2 本実施形態例は、第2の発明に係る超臨界水反応装置の
実施形態の一例であって、図4は本実施形態例の超臨界
水反応装置の構成を示すフローシート、図5(a)は反
応器の詳細を示す断面図、及び図5(b)は反応カート
リッジを形成する複合耐食材の構成を示す図5(a)の
線I−Iの断面図である。図4及び図5中、図1から図
3に示す部位、部品と同じものには同じ符号を付し、そ
の説明を省略する。本実施形態例の超臨界水反応装置5
0は、圧力容器と、反応容器と相互に連通する反応カー
トリッジとからなる圧力バランス型反応器を反応器とし
て備えた超臨界水反応装置であって、図4及び図5に示
すように、反応器52の構成、中和急冷部が反応器52
内に内蔵されていること、及び反応器52に圧力バラン
ス用の空気が送入されていることを除いて、実施形態例
1と同じ構成を有する。
Embodiment 2 This embodiment is an example of the embodiment of the supercritical water reactor according to the second invention, and FIG. 4 shows the configuration of the supercritical water reactor of this embodiment. 5 (a) is a cross-sectional view showing details of the reactor, and FIG. 5 (b) is a cross-sectional view taken along line II of FIG. 5 (a) showing the structure of the composite corrosion-resistant material forming the reaction cartridge. It is. 4 and 5, the same parts as those shown in FIGS. 1 to 3 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. Supercritical water reactor 5 of this embodiment
Numeral 0 is a supercritical water reactor equipped as a reactor with a pressure-balanced reactor composed of a pressure vessel and a reaction cartridge mutually communicating with the reaction vessel. As shown in FIG. 4 and FIG. The configuration of the reactor 52 and the
It has the same configuration as that of Embodiment 1 except that it is built in the inside and that air for pressure balance is fed into the reactor 52.

【0052】圧力バランス型反応器52は、図5(a)
に示すように、外筒として設けられた圧力容器54と、
圧力容器54内に内筒として設けられた反応カートリッ
ジ56との2重筒体として形成され、反応カートリッジ
56の内部58は、超臨界水反応の反応域として構成さ
れている。圧力容器54は、反応圧力に対抗するため
に、厚肉の高強度鋼製耐圧円筒型容器として形成されて
いて、圧力容器54と反応カートリッジ56との間の環
状部62は、後述するように圧力バランス用のガスとし
ての空気層であって、腐食性雰囲気ではない。一方、反
応カートリッジ56は、図5(b)に示すように、チタ
ン又はチタン合金で形成された薄肉の有蓋有底円筒体5
6aとして形成され、更に、有蓋有底円筒体の内表面
(内部58側)にCVD法によって成長させた酸化イリ
ジウム層56bが積層されている。反応カートリッジ5
6の底部と圧力容器54の底部との間に多少の間隙を有
するように圧力容器54内に配置されている。
FIG. 5A shows a pressure-balance type reactor 52.
As shown in the figure, a pressure vessel 54 provided as an outer cylinder,
It is formed as a double cylinder with a reaction cartridge 56 provided as an inner cylinder in the pressure vessel 54, and an inside 58 of the reaction cartridge 56 is configured as a reaction zone for a supercritical water reaction. The pressure vessel 54 is formed as a thick, high-strength steel pressure-resistant cylindrical vessel in order to oppose the reaction pressure, and an annular portion 62 between the pressure vessel 54 and the reaction cartridge 56 is formed as described later. This is an air layer as a pressure balancing gas, not a corrosive atmosphere. On the other hand, as shown in FIG. 5 (b), the reaction cartridge 56 is a thin-walled bottomed cylindrical body 5 made of titanium or a titanium alloy.
6a, and an iridium oxide layer 56b grown by a CVD method on the inner surface (inside 58 side) of the closed bottomed cylindrical body. Reaction cartridge 5
6 and the bottom of the pressure vessel 54 are arranged in the pressure vessel 54 so as to have some gap between them.

【0053】圧力容器54と反応カートリッジ56との
間に、連通孔60を介して反応カートリッジ56の内部
と連通する環状部62が形成されており、ノズル64を
経て反応カートリッジ56に流入した空気と同じ圧力の
空気が環状部62に導入されているので、反応カートリ
ッジ56の内外では圧力差が殆ど無く、環状部62と反
応カートリッジ56内とは、圧力がバランスしている。
換言すれば、圧力容器54は、超臨界水処理時の圧力、
例えば23MPaに抗する強度を備え、反応カートリッ
ジ56は、反応器52の内圧力を受けないようにして反
応域を区画する耐腐食性の隔壁として機能している。
尚、環状部62に空気を導入するのは、空気が非腐食性
流体であるからである。
An annular portion 62 communicating with the inside of the reaction cartridge 56 through a communication hole 60 is formed between the pressure vessel 54 and the reaction cartridge 56. The annular portion 62 communicates with the air flowing into the reaction cartridge 56 through the nozzle 64. Since air having the same pressure is introduced into the annular portion 62, there is almost no pressure difference between the inside and outside of the reaction cartridge 56, and the pressure between the annular portion 62 and the inside of the reaction cartridge 56 is balanced.
In other words, the pressure vessel 54 has a pressure during supercritical water treatment,
For example, the reaction cartridge 56 has a strength against 23 MPa, and functions as a corrosion-resistant partition wall that partitions the reaction zone by not receiving the internal pressure of the reactor 52.
The air is introduced into the annular portion 62 because the air is a non-corrosive fluid.

【0054】反応器52は、圧力容器54と反応カート
リッジ56とを貫通して反応カートリッジ56の内部に
突出したノズル64と、反応カートリッジ56から環状
部62を通って反応器52外に処理流体を流出させる処
理流体導管66と、環状部62内の処理流体導管66に
設けられた中和急冷部68と、環状部62に圧力バラン
ス用ガスとして空気を送入する空気送入ノズル70とを
備えている。中和急冷部68は、実施形態例1の中和急
冷部30と同じ構造(図3参照)であって、注入管31
が接続され、処理流体にアルカリ水溶液を注入し、45
0℃以下に中和急冷するようになっている。ノズル64
は被処理液管22(図4参照)に、処理流体導管66は
処理流体管14に、それぞれ、接続されている。また、
空気送入ノズル70は、空気送入管26から分岐した空
気送入枝管72(図4参照)に接続され、空気を環状部
62に導入し、次いで連通孔60を介して反応カートリ
ッジ56内部に流入させ、酸化剤の一部とする。
The reactor 52 includes a nozzle 64 that penetrates through the pressure vessel 54 and the reaction cartridge 56 and protrudes into the reaction cartridge 56, and a processing fluid from the reaction cartridge 56 to the outside of the reactor 52 through the annular portion 62. A processing fluid conduit 66 to flow out, a neutralizing and quenching portion 68 provided in the processing fluid conduit 66 in the annular portion 62, and an air inlet nozzle 70 for sending air as a pressure balancing gas into the annular portion 62 are provided. ing. The neutralizing and quenching section 68 has the same structure as the neutralizing and quenching section 30 of the first embodiment (see FIG. 3).
Is connected, and an alkaline aqueous solution is injected into the processing fluid, and 45
Neutralization and quenching are performed below 0 ° C. Nozzle 64
Is connected to the liquid pipe 22 to be processed (see FIG. 4), and the processing fluid conduit 66 is connected to the processing fluid pipe 14. Also,
The air inlet nozzle 70 is connected to an air inlet branch pipe 72 (see FIG. 4) branched from the air inlet pipe 26 to introduce air into the annular portion 62, and then through the communication hole 60 to the inside of the reaction cartridge 56. To make a part of the oxidizing agent.

【0055】本実施形態例では、実施形態例1と同様
に、温度制御装置32によって反応器52、正確には反
応カートリッジ56内の温度を例えば600℃に制御す
ることにより、PCBを含む被処理液を超臨界水処理に
より完全に分解して処理液のPCBの残留量を3ppb
以下に抑えることができる。また、反応器12内の温度
が600℃に制御されているので、チタン合金で形成さ
れ、更に酸化イリジウム層で被膜された反応カートリッ
ジ56は、反応域を確保する耐食壁として確実に機能す
る。中和急冷部68も、実施形態例1と同様に機能し、
同様の効果を有する。
In the present embodiment, similarly to the first embodiment, by controlling the temperature in the reactor 52, more precisely, the reaction cartridge 56 to, for example, 600 ° C. by the temperature control device 32, the processing target including the PCB is controlled. The solution is completely decomposed by supercritical water treatment to reduce the residual amount of PCB in the treatment solution to 3 ppb
It can be suppressed to the following. Further, since the temperature in the reactor 12 is controlled to 600 ° C., the reaction cartridge 56 formed of a titanium alloy and further coated with an iridium oxide layer reliably functions as a corrosion-resistant wall for securing a reaction region. The neutralization and quenching section 68 also functions in the same manner as in the first embodiment,
It has a similar effect.

【0056】実施形態例3 本実施形態例は、第2の発明に係る超臨界水反応装置の
実施形態の一例であって、図6(a)は実施形態例3の
反応器の詳細を示す断面図、図6(b)は反応カートリ
ッジの外筒を形成する複合耐食材の構成を示す、図6
(a)の線I−Iの断面図、及び図6(c)は反応カー
トリッジの内筒を形成する複合耐食材の構成を示す、図
6(a)の線II−IIの断面図である。図6中、図5と同
じ部位、部品には同じ符号を付し、その説明を省略して
いる。本実施形態例の超臨界水反応装置は、反応器76
の構成が、反応器52と異なり、反応カートリッジ内に
内筒を有することを除いて、実施形態例2と同じ構成を
有する。
Embodiment 3 This embodiment is an example of an embodiment of the supercritical water reactor according to the second invention, and FIG. 6A shows the details of the reactor of Embodiment 3 of the present invention. FIG. 6B is a cross-sectional view showing the structure of the composite corrosion-resistant material forming the outer cylinder of the reaction cartridge.
FIG. 6A is a cross-sectional view taken along a line II-II, and FIG. 6C is a cross-sectional view taken along a line II-II in FIG. 6A, illustrating a configuration of a composite corrosion-resistant material forming an inner cylinder of the reaction cartridge. . 6, the same parts and components as those in FIG. 5 are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted. The supercritical water reactor of the present embodiment includes a reactor 76
Is different from the reactor 52 and has the same configuration as that of Embodiment 2 except that the reaction cartridge has an inner cylinder in the reaction cartridge.

【0057】反応器76は、図6(a)に示すように、
圧力容器54と、圧力容器54と相互に連通する反応カ
ートリッジ80とからなる圧力バランス型反応器であ
り、反応カートリッジ80は、外筒82と、外筒82内
に収容され、超臨界水反応の反応域を内部に有する内筒
84とから構成されている。外筒82は、実施形態例2
の反応カートリッジ56と同じように、図6(b)に示
すように、チタン又はチタン合金製の有底有蓋円筒体8
2aとして形成され、更に円筒体82aの内面がCVD
法によって成長させた酸化イリジウム層82bで被覆さ
れている。内筒84は、上端が開口し、底部が逆円錐状
のチタン又はチタン合金製の有底円筒体84aとして形
成され、更に、図6(c)に示すように、円筒体84a
の内外面が、CVD法によって成長させた酸化イリジウ
ム層84bで被覆されている。尚、内筒84はこの形状
に限るものではなく、傘を上下逆にしたような形状のも
のなど、ノズルから噴出し下方に向かう流体の流れを反
転させて上方に向かわせるようにできる限り、その形状
に制約はない。
The reactor 76 is, as shown in FIG.
A pressure-balanced reactor comprising a pressure vessel 54 and a reaction cartridge 80 mutually communicating with the pressure vessel 54. The reaction cartridge 80 is housed in the outer cylinder 82 and the outer cylinder 82, and is used for supercritical water reaction. And an inner cylinder 84 having a reaction zone therein. The outer cylinder 82 is a second embodiment.
As shown in FIG. 6B, similarly to the reaction cartridge 56 of FIG.
2a, and the inner surface of the cylindrical body 82a is formed by CVD.
It is covered with an iridium oxide layer 82b grown by the method. The inner cylinder 84 is formed as a bottomed cylindrical body 84a made of titanium or a titanium alloy having an open upper end and an inverted conical bottom, as shown in FIG. 6 (c).
Are covered with an iridium oxide layer 84b grown by the CVD method. Note that the inner cylinder 84 is not limited to this shape, as long as it can reverse the flow of the fluid ejected from the nozzle and moving downward, such as an umbrella having an inverted shape, as long as it can be directed upward. There are no restrictions on its shape.

【0058】ノズル64から流入した被処理液は、内筒
84の内部で超臨界水処理され、処理流体となって上端
の開口から外筒82と内筒84との間の環状部86に流
入し、環状部86を流下して外筒82の底部に入り、外
筒82の底部に接続された処理液導管88を介して処理
流体管14に流出する。圧力容器54内の処理流体導管
88には、実施形態例1の中和急冷部30と同じ構造
(図3参照)の中和急冷部90が設けてあって、注入管
31が接続され、処理液にアルカリ水溶液を注入し、4
50℃以下に中和急冷するようになっている。空気送入
ノズル70は、空気を環状部62に導入し、次いで連通
孔60を介して反応カートリッジ80の上端開口から反
応カートリッジ80内部に流入させ、酸化剤の一部とす
る。以上の構成により、本実施形態例の超臨界水反応装
置も、実施形態例2と同じ効果を有する。
The liquid to be treated flowing from the nozzle 64 is subjected to supercritical water treatment inside the inner cylinder 84, and flows as a treatment fluid into the annular portion 86 between the outer cylinder 82 and the inner cylinder 84 from the opening at the upper end. Then, it flows down the annular portion 86 to enter the bottom of the outer cylinder 82, and flows out to the processing fluid pipe 14 via the processing liquid conduit 88 connected to the bottom of the outer cylinder 82. The processing fluid conduit 88 in the pressure vessel 54 is provided with a neutralization and quenching section 90 having the same structure as the neutralization and quenching section 30 of the first embodiment (see FIG. 3). Inject the alkaline aqueous solution into the solution,
Neutralization and quenching are performed below 50 ° C. The air inlet nozzle 70 introduces air into the annular portion 62, and then flows the air into the reaction cartridge 80 from the upper end opening of the reaction cartridge 80 through the communication hole 60, thereby forming a part of the oxidizing agent. With the above configuration, the supercritical water reactor of the present embodiment also has the same effects as the second embodiment.

【0059】実施形態例4 本実施形態例は、第2の発明に係る超臨界水反応装置の
実施形態の一例であって、図7は反応器の詳細を示す断
面図である。図7中、図6と同じ部位、部品には同じ符
号を付し、その説明を省略する。本実施形態例の超臨界
水反応装置は、中和急冷部92が反応器外に設けられて
いること、及びそれに関連して反応器94の構成が異な
ることを除いて、実施形態例3と同じ構成を有する。反
応器94は、図7に示すように、中和急冷部92が反応
器の外部に設けてあることを除いて、実施形態例3の反
応器76と同じ構成を備え、反応カートリッジの外筒8
2は圧力容器54の底部に接し、処理流体管14が直接
圧力容器54の底部を貫通して外筒82の内部に連通し
ている。中和急冷部92は圧力容器54の底部に接する
ようにして処理流体管14に設けてある。本実施形態例
の反応器94では、実施形態例3の反応器76に比べて
中和急冷部92の取り付けが容易である。尚、実施形態
例2の超臨界水反応装置の反応器52で、反応カートリ
ッジ56の底部を圧力容器54の底部上に配置し、環状
部62に設けた中和急冷部68に代えて、図7に示すよ
うに中和急冷部92を圧力容器54の底部に接するよう
に設けることもできる。
Embodiment 4 This embodiment is an example of an embodiment of the supercritical water reactor according to the second invention, and FIG. 7 is a sectional view showing details of the reactor. 7, the same parts and components as those in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals, and description thereof will be omitted. The supercritical water reactor of the present embodiment is different from the supercritical water reactor of Embodiment 3 except that the neutralization and quenching section 92 is provided outside the reactor and the configuration of the reactor 94 is different in relation thereto. It has the same configuration. As shown in FIG. 7, the reactor 94 has the same configuration as the reactor 76 of Embodiment 3 except that a neutralizing and quenching unit 92 is provided outside the reactor. 8
2 is in contact with the bottom of the pressure vessel 54, and the processing fluid pipe 14 penetrates directly through the bottom of the pressure vessel 54 and communicates with the inside of the outer cylinder 82. The neutralization quenching section 92 is provided in the processing fluid pipe 14 so as to be in contact with the bottom of the pressure vessel 54. In the reactor 94 of the present embodiment, the installation of the neutralization quenching part 92 is easier than in the reactor 76 of the third embodiment. Note that, in the reactor 52 of the supercritical water reactor of the second embodiment, the bottom of the reaction cartridge 56 is disposed on the bottom of the pressure vessel 54, and the neutralization and quenching section 68 provided in the annular section 62 is replaced with the drawing. As shown in FIG. 7, a neutralization quenching section 92 may be provided so as to be in contact with the bottom of the pressure vessel 54.

【0060】[0060]

【発明の効果】本発明によれば、反応温度を550℃以
上650℃以下の範囲に制御することにより、有機塩素
化合物を含有する被処理液を超臨界水処理して無害化す
ることができ、例えばPCB又はPCB類似化合物等の
場合、処理流体中のPCB濃度を3ppb以下にするこ
とができる。また、本発明によれば、反応器壁又は反応
カートリッジを特定する複合耐食層で被覆し、又は特定
する複合耐食材で形成することにより、反応器の腐食の
進行を抑制して、有機塩素化合物、例えばPCB又はP
CB類似化合物を含有する被処理液を超臨界水処理して
処理流体中のPCB濃度を3ppb以下にする処理を長
期間にわたり安定して可能とする超臨界水反応装置を実
現している。
According to the present invention, by controlling the reaction temperature in the range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, the liquid to be treated containing the organic chlorine compound can be rendered harmless by supercritical water treatment. For example, in the case of PCB or a PCB-like compound, the concentration of PCB in the processing fluid can be 3 ppb or less. Further, according to the present invention, by coating the reactor wall or the reaction cartridge with the specified composite corrosion resistant layer, or by forming the specified composite corrosion resistant material, the progress of corrosion of the reactor is suppressed, and the organochlorine compound is suppressed. , For example, PCB or P
A supercritical water reaction apparatus has been realized which can stably treat a liquid to be treated containing a CB-like compound with supercritical water to reduce the PCB concentration in the treatment fluid to 3 ppb or less over a long period of time.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】実施形態例1の超臨界水反応装置の構成を示す
フローシートである。
FIG. 1 is a flow sheet showing a configuration of a supercritical water reactor of a first embodiment.

【図2】実施形態例1の反応器の詳細を示す断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view illustrating details of a reactor according to Embodiment 1.

【図3】中和急冷部の断面図である。FIG. 3 is a sectional view of a neutralization and quenching section.

【図4】実施形態例2の超臨界水反応装置の構成を示す
フローシートである。
FIG. 4 is a flow sheet showing a configuration of a supercritical water reactor of a second embodiment.

【図5】図5(a)は実施形態例2の反応器の詳細を示
す断面図、及び図5(b)は反応カートリッジを形成す
る複合耐食材の構成を示す図5(a)の線I−Iの断面
図である。
5 (a) is a cross-sectional view showing details of a reactor according to a second embodiment, and FIG. 5 (b) is a line in FIG. 5 (a) showing a configuration of a composite corrosion-resistant material forming a reaction cartridge. It is sectional drawing of II.

【図6】図6(a)は実施形態例3の反応器の詳細を示
す断面図、図6(b)は反応カートリッジの外筒を形成
する複合耐食材の構成を示す、図6(a)の線I−Iの
断面図、及び図6(c)は反応カートリッジの内筒を形
成する複合耐食材の構成を示す、図6(a)の線II−II
の断面図である。
6 (a) is a cross-sectional view showing details of a reactor according to Embodiment 3; FIG. 6 (b) shows a configuration of a composite corrosion-resistant material forming an outer cylinder of a reaction cartridge; FIG. 6) is a cross-sectional view taken along line II, and FIG. 6C is a cross-sectional view taken along line II-II in FIG.
FIG.

【図7】実施形態例4の反応器の詳細を示す断面図であ
る。
FIG. 7 is a cross-sectional view illustrating details of a reactor according to a fourth embodiment.

【図8】従来の超臨界水反応装置の構成を示すフローシ
ートである。
FIG. 8 is a flow sheet showing a configuration of a conventional supercritical water reactor.

【図9】従来の圧力バランス型反応器の構成を示す断面
図である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional pressure balanced reactor.

【図10】腐食実験の結果を示すグラフである。FIG. 10 is a graph showing the results of a corrosion experiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 実施形態例1の超臨界水反応装置 12 反応器 12a 縦型筒状容器 12b チタン合金層 12c 酸化イリジウム層 14 処理流体管 16 冷却器 18 圧力制御弁 20 気液分離器 22 被処理液管 24 被処理液ポンプ 26 空気送入管 28 空気圧縮機 30 中和急冷部 31 注入管 32 温度制御装置 34 温度計 36 流入口 38 流出口 40 処理流体流路 42 アルカリ水溶液流路 44 タンタル管壁 46 チタン管壁 47 酸化イリジウム層 50 実施形態例2の超臨界水反応装置 52 反応器 54 圧力容器 56 反応カートリッジ 56a チタン又はチタン合金で形成された薄肉の有蓋
有底円筒体 56b 酸化イリジウム層 58 反応カートリッジの内部 60 連通孔 62 環状部 64 ノズル 66 処理流体導管 68 中和急冷部 70 空気送入ノズル 72 空気送入枝管 76 実施形態例3の反応器 80 反応カートリッジ 82 外筒 82a チタン又はチタン合金製の有底有蓋円筒体 82b 酸化イリジウム層 84 内筒 84a チタン又はチタン合金製の有底円筒体 84b 酸化イリジウム層 86 環状部 88 処理流体導管 90 中和急冷部 92 実施形態例4の中和急冷部 94 実施形態例4の反応器 100 従来の超臨界水反応装置 102 反応器 104 超臨界水領域 106 仮想的界面 108 亜臨界水領域 110 流入管 112 被処理液ライン 114 空気ライン 115 超臨界水ライン 116 中和剤ライン 118 処理流体ライン 120 亜臨界水ライン 122 亜臨界排水ライン 130 圧力バランス型反応器 131 外円筒体 132 反応カートリッジ 133 入口ノズル 134 反応域 135 圧力バランス用ガス送入口 136 環状部 137 上部間隙 138 反応器流出管
Reference Signs List 10 supercritical water reactor of Embodiment 1 12 reactor 12a vertical cylindrical container 12b titanium alloy layer 12c iridium oxide layer 14 processing fluid pipe 16 cooler 18 pressure control valve 20 gas-liquid separator 22 liquid pipe to be treated 24 Liquid pump 26 to be treated 26 Air inlet tube 28 Air compressor 30 Neutralizing and quenching part 31 Injection tube 32 Temperature controller 34 Thermometer 36 Inlet 38 Outlet 40 Processing fluid channel 42 Alkaline aqueous solution channel 44 Tantalum tube wall 46 Titanium Tube wall 47 Iridium oxide layer 50 Supercritical water reactor of Embodiment 2 52 Reactor 54 Pressure vessel 56 Reaction cartridge 56a Thin-walled bottomed cylindrical body formed of titanium or a titanium alloy 56b Iridium oxide layer 58 Reaction cartridge Inside 60 Communication hole 62 Annular part 64 Nozzle 66 Processing fluid conduit 68 Neutralization quenching part 70 Air inlet nozzle 72 Air inlet branch pipe 76 Reactor of Embodiment 3 80 Reaction cartridge 82 Outer cylinder 82a Covered closed cylinder made of titanium or titanium alloy 82b Iridium oxide layer 84 Inner cylinder 84a Made of titanium or titanium alloy Cylinder with bottom 84b Iridium oxide layer 86 Annular part 88 Processing fluid conduit 90 Neutralization quenching part 92 Neutralization quenching part of Embodiment 4 94 Reactor of Embodiment 4 100 Conventional supercritical water reactor 102 Reactor 104 Supercritical water region 106 Virtual interface 108 Subcritical water region 110 Inflow pipe 112 Liquid line to be treated 114 Air line 115 Supercritical water line 116 Neutralizer line 118 Processing fluid line 120 Subcritical water line 122 Subcritical drainage line 130 Pressure Balance type reactor 131 Outer cylinder 132 Reaction cartridge 133 Inlet Le 134 feeding the reaction zone 135 the pressure balance gas inlet 136 annulus 137 upper gap 138 reactor effluent pipe

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 FI テーマコート゛(参考) B01J 19/00 B01J 19/00 B 301 301A 19/26 19/26 C07B 35/06 C07B 35/06 37/06 37/06 61/00 61/00 B C07C 25/18 C07C 25/18 (72)発明者 岩森 智之 東京都江東区新砂1丁目2番8号 オルガ ノ株式会社内 (72)発明者 島宗 孝之 東京都豊島区南大塚2丁目37番5号 株式 会社フルヤ金属内 (72)発明者 小島 崇則 東京都豊島区南大塚2丁目37番5号 株式 会社フルヤ金属内 Fターム(参考) 2E191 BA13 BC01 BD11 4G075 AA37 BA05 BA06 BB05 CA02 CA05 CA62 CA65 CA66 DA01 DA18 EB01 EC01 FA12 FB02 FC09 4H006 AA05 AC13 AC26 BB31 BB49 BC10 BD81 BD83 BD84 BE10 BE30 ──────────────────────────────────────────────────の Continued on the front page (51) Int.Cl. 7 Identification symbol FI Theme coat ゛ (Reference) B01J 19/00 B01J 19/00 B 301 301A 19/26 19/26 C07B 35/06 C07B 35/06 37 / 06 37/06 61/00 61/00 B C07C 25/18 C07C 25/18 (72) Inventor Tomoyuki Iwamori 1-2-8 Shinsuna, Koto-ku, Tokyo Organo Co., Ltd. (72) Inventor Takayuki Shimamune Tokyo 2-37-5 Minami-Otsuka, Toshima-ku, Tokyo Furuya Metal Co., Ltd. (72) Inventor Takanori Kojima 2-37-5, Minami-Otsuka, Toshima-ku, Tokyo F-Terminal Co., Ltd. F-term (reference) 2E191 BA13 BC01 BD11 4G075 AA37 BA05 BA06 BB05 CA02 CA05 CA62 CA65 CA66 DA01 DA18 EB01 EC01 FA12 FB02 FC09 4H006 AA05 AC13 AC26 BB31 BB49 BC10 BD81 BD83 BD84 BE10 BE30

Claims (10)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 反応器の被処理液と接する反応器壁面が、壁面上に設け
られたチタン又はチタン合金からなるチタン層と、チタ
ン層上に積層された酸化イリジウム層との複合耐食層で
被覆されていることを特徴とする超臨界水反応装置。
1. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, wherein a reactor wall in contact with the liquid to be treated in the reactor has a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on the wall, and a titanium layer A supercritical water reactor characterized by being coated with a composite corrosion-resistant layer with an iridium oxide layer laminated thereon.
【請求項2】 反応器の被処理液と接する反応器壁面
が、壁面上に設けられたタンタル又はタンタル合金から
なるタンタル層と、タンタル層上に設けられたチタン又
はチタン合金からなるチタン層と、チタン層上に積層さ
れた酸化イリジウム層との3層の複合耐食層で被覆され
ていることを特徴とする請求項1に記載の超臨界水反応
装置。
2. A reactor wall in contact with a liquid to be treated in a reactor, comprising: a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall; and a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on the tantalum layer. The supercritical water reactor according to claim 1, wherein the supercritical water reactor is coated with three composite corrosion-resistant layers including an iridium oxide layer laminated on a titanium layer.
【請求項3】 反応器内の温度分布に基づいて算出した
温度が400℃未満の領域の反応器壁面が、壁面上に設
けられたタンタル又はタンタル合金からなるタンタル層
と、タンタル層上に積層された酸化イリジウム層との複
合耐食層で被覆されていることを特徴とする請求項1に
記載の超臨界水反応装置。
3. The reactor wall in a region where the temperature calculated based on the temperature distribution in the reactor is less than 400 ° C. is laminated on a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall and on the tantalum layer The supercritical water reactor according to claim 1, wherein the supercritical water reactor is coated with a composite corrosion-resistant layer with the iridium oxide layer formed.
【請求項4】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 反応器が、圧力容器と、圧力容器と相互に連通する反応
カートリッジとの2重筒体であって、被処理液と、酸化
剤とを反応カートリッジ内に供給し、かつ、圧力容器と
反応カートリッジとの間に圧力バランス用ガスを供給し
て、反応カートリッジ内で被処理液を酸化分解する圧力
バランス型反応器として構成され、 すくなくとも反応カートリッジの内壁面が、チタン又は
チタン合金からなるチタン層と、チタン層上に積層され
た酸化イリジウム層とからなる複合耐食材で形成されて
いることを特徴とする超臨界水反応装置。
4. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, wherein the reactor is a double cylinder of a pressure vessel and a reaction cartridge mutually communicating with the pressure vessel; , An oxidizing agent is supplied into the reaction cartridge, and a pressure-balancing gas is supplied between the pressure vessel and the reaction cartridge to constitute a pressure-balanced reactor for oxidatively decomposing the liquid to be treated in the reaction cartridge. At least the inner wall of the reaction cartridge is made of a composite corrosion-resistant material composed of a titanium layer made of titanium or a titanium alloy and an iridium oxide layer laminated on the titanium layer. Supercritical water reactor characterized.
【請求項5】 すくなくとも反応カートリッジの内壁面
が、タンタル又はタンタル合金からなるタンタル層と、
タンタル層上に設けられたチタン又はチタン合金からな
るチタン層と、チタン層上に積層された酸化イリジウム
層とからなる複合耐食材で形成されていることを特徴と
する請求項4に記載の超臨界水反応装置。
5. The reaction cartridge according to claim 1, wherein at least an inner wall surface of the reaction cartridge comprises a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy;
The super-corrosion material according to claim 4, wherein the composite material is formed of a composite corrosion-resistant material including a titanium layer formed of titanium or a titanium alloy provided on a tantalum layer, and an iridium oxide layer stacked on the titanium layer. Critical water reactor.
【請求項6】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 処理流体が流れる処理流体流路と、処理流体流路に合流
してアルカリ水溶液を処理流体中に注入するアルカリ水
溶液流路とを備え、アルカリ水溶液によって処理液を4
50℃以下に中和急冷するようにした中和急冷部を反応
器外に備え、 処理流体流路及びアルカリ水溶液流路の流路壁面が、壁
面上に設けられたタンタル又はタンタル合金からなるタ
ンタル層と、タンタル層上に積層された酸化イリジウム
層との複合耐食層で被覆されていることを特徴とする超
臨界水反応装置。
6. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. to 650 ° C .; a processing fluid flow path through which the processing fluid flows; and an alkaline aqueous solution flow path that joins the processing fluid flow path and injects the alkaline aqueous solution into the processing fluid. And treating the solution with an alkaline aqueous solution
A neutralization and quenching section for neutralizing and quenching to 50 ° C or less is provided outside the reactor, and the flow path wall of the processing fluid flow path and the alkaline aqueous solution flow path is made of tantalum or a tantalum alloy provided on the wall. A supercritical water reactor characterized by being coated with a composite corrosion-resistant layer of a layer and an iridium oxide layer laminated on a tantalum layer.
【請求項7】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 処理流体が流れる処理流体流路と、処理流体流路に合流
してアルカリ水溶液を処理流体中に注入するアルカリ水
溶液流路とを備え、アルカリ水溶液によって処理液を4
50℃以下に中和急冷するようにした中和急冷部を反応
器外に備え、 処理流体流路及びアルカリ水溶液流路の流路壁面が、壁
面上に設けられたチタン又はチタン合金からなるチタン
層と、チタン層上に設けられたタンタル又はタンタル合
金からなるタンタル層と、タンタル層上に積層された酸
化イリジウム層との複合耐食層で被覆されていることを
特徴とする超臨界水反応装置。
7. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. to 650 ° C .; a processing fluid flow path through which the processing fluid flows; and an alkaline aqueous solution flow path that joins the processing fluid flow path and injects the alkaline aqueous solution into the processing fluid. And treating the solution with an alkaline aqueous solution
A neutralization and quenching unit for neutralizing and quenching to 50 ° C. or less is provided outside the reactor, and the processing fluid flow path and the alkaline aqueous solution flow path wall face are formed of titanium or titanium alloy provided on the wall face. A supercritical water reactor characterized by being coated with a composite corrosion-resistant layer of a layer, a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on a titanium layer, and an iridium oxide layer stacked on the tantalum layer .
【請求項8】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 反応器が、圧力容器と、圧力容器と相互に連通する反応
カートリッジとの2重筒体であって、被処理液と酸化剤
とを反応カートリッジ内に供給し、かつ、圧力容器と反
応カートリッジとの間に圧力バランス用ガスを供給し
て、反応カートリッジ内で被処理液を酸化分解する圧力
バランス型反応器として構成され、 処理流体が流れる処理流体流路と、処理流体流路に合流
してアルカリ水溶液を処理流体中に注入するアルカリ水
溶液流路とを有し、アルカリ水溶液によって処理液を4
50℃以下に中和急冷するようにした中和急冷部を反応
器の圧力容器と反応カートリッジとの間の環状部に備
え、 処理流体流路及びアルカリ水溶液流路の流路壁面が、壁
面上に設けられたタンタル又はタンタル合金からなるタ
ンタル層と、タンタル層上に積層された酸化イリジウム
層との複合耐食層で被覆されていることを特徴とする超
臨界水反応装置。
8. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, wherein the reactor is a double cylinder of a pressure vessel and a reaction cartridge mutually communicating with the pressure vessel; An oxidizing agent is supplied into the reaction cartridge, and a pressure-balancing gas is supplied between the pressure vessel and the reaction cartridge to constitute a pressure-balanced reactor for oxidatively decomposing the liquid to be treated in the reaction cartridge. A processing fluid flow path through which the processing fluid flows, and an alkaline aqueous solution flow path that joins the processing fluid flow path and injects an alkaline aqueous solution into the processing fluid.
A neutralizing and quenching unit for neutralizing and quenching to 50 ° C or lower is provided in an annular portion between the pressure vessel of the reactor and the reaction cartridge. A supercritical water reactor characterized by being coated with a composite corrosion-resistant layer of a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on a tantalum layer and an iridium oxide layer laminated on the tantalum layer.
【請求項9】 超臨界水を収容する反応器を備え、有機
塩素化合物を含有する被処理液を反応器内に導入して酸
化剤により酸化分解する超臨界水反応装置において、 反応器内の温度を550℃以上650℃以下の範囲に制
御する温度制御装置を備え、 反応器が、圧力容器と、圧力容器と相互に連通する反応
カートリッジとの2重筒体であって、被処理液と酸化剤
とを反応カートリッジ内に供給し、かつ、圧力容器と反
応カートリッジとの間に圧力バランス用ガスを供給し
て、反応カートリッジ内で被処理液を酸化分解する圧力
バランス型反応器として構成され、 処理流体が流れる処理流体流路と、処理流体流路に合流
してアルカリ水溶液を処理流体中に注入するアルカリ水
溶液流路とを有し、アルカリ水溶液によって処理液を4
50℃以下に中和急冷するようにした中和急冷部を反応
器の圧力容器と反応カートリッジとの間の環状部に備
え、 処理流体流路及びアルカリ水溶液流路の流路壁面が、壁
面上に設けられたチタン又はチタン合金からなるチタン
層と、チタン層上に設けられたタンタル又はタンタル合
金からなるタンタル層と、タンタル層上に積層された酸
化イリジウム層との複合耐食層で被覆されていることを
特徴とする超臨界水反応装置。
9. A supercritical water reactor comprising a reactor containing supercritical water, wherein a liquid to be treated containing an organic chlorine compound is introduced into the reactor and oxidatively decomposed by an oxidizing agent. A temperature control device for controlling a temperature in a range of 550 ° C. or more and 650 ° C. or less, wherein the reactor is a double cylinder of a pressure vessel and a reaction cartridge mutually communicating with the pressure vessel; An oxidizing agent is supplied into the reaction cartridge, and a pressure-balancing gas is supplied between the pressure vessel and the reaction cartridge to constitute a pressure-balanced reactor for oxidatively decomposing the liquid to be treated in the reaction cartridge. A processing fluid flow path through which the processing fluid flows, and an alkaline aqueous solution flow path that joins the processing fluid flow path and injects an alkaline aqueous solution into the processing fluid.
A neutralizing and quenching unit for neutralizing and quenching to 50 ° C or lower is provided in an annular portion between the pressure vessel of the reactor and the reaction cartridge. Is provided with a titanium layer made of titanium or a titanium alloy, a tantalum layer made of tantalum or a tantalum alloy provided on the titanium layer, and a composite corrosion-resistant layer of an iridium oxide layer stacked on the tantalum layer. A supercritical water reactor.
【請求項10】 塩酸水溶液を含む700℃以下の流体
を収容する容器、又は容器内で塩酸水溶液を含む反応流
体を700℃以下の温度範囲で反応させる反応器として
構成された容器であって、 容器の流体又は反応流体と接する容器壁面が、壁面上に
設けられたチタン又はチタン合金からなるチタン層と、
チタン層上に積層された酸化イリジウム層との複合耐食
層で被覆されていることを特徴とする容器。
10. A container configured to contain a fluid containing an aqueous hydrochloric acid solution at a temperature of 700 ° C. or lower, or a reactor configured to react a reaction fluid containing an aqueous hydrochloric acid solution in a temperature range of 700 ° C. or less, A vessel wall in contact with the fluid or the reaction fluid of the vessel, a titanium layer made of titanium or a titanium alloy provided on the wall,
A container characterized by being coated with a composite corrosion-resistant layer with an iridium oxide layer laminated on a titanium layer.
JP2001175536A 2001-06-11 2001-06-11 Supercritical water reactor Expired - Fee Related JP4922500B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001175536A JP4922500B2 (en) 2001-06-11 2001-06-11 Supercritical water reactor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001175536A JP4922500B2 (en) 2001-06-11 2001-06-11 Supercritical water reactor

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2002361069A true JP2002361069A (en) 2002-12-17
JP2002361069A5 JP2002361069A5 (en) 2008-07-24
JP4922500B2 JP4922500B2 (en) 2012-04-25

Family

ID=19016650

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2001175536A Expired - Fee Related JP4922500B2 (en) 2001-06-11 2001-06-11 Supercritical water reactor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP4922500B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005137959A (en) * 2003-11-04 2005-06-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water reaction apparatus
JP2007186572A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Hitachi Ltd Apparatus for reforming heavy oil, gas turbine with heavy oil-reforming apparatus, gas turbine plant with heavy oil-reforming apparatus, and method of reforming heavy oil
JP2007191445A (en) * 2006-01-20 2007-08-02 Nippon Zeon Co Ltd Apparatus and method continuously producing cyclic ketone compound
JP2014004523A (en) * 2012-06-25 2014-01-16 Ricoh Co Ltd Fluid purification apparatus
US9127372B2 (en) 2005-01-12 2015-09-08 The Japan Steel Works, Ltd. Pressure vessel for growing single crystals

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS504459B1 (en) * 1970-12-25 1975-02-19
JPS5373478A (en) * 1976-12-14 1978-06-29 Japan Carlit Co Ltd Method of manufacturing platinum coated metal electrode
JPH0681198A (en) * 1992-06-04 1994-03-22 Nippon Steel Corp Insoluble electrode and its production
JPH06294000A (en) * 1993-04-08 1994-10-21 Nippon Steel Corp Insoluble iridium oxide coated electrode and its production
JPH10314769A (en) * 1997-05-22 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water oxidizing method and device
JPH10314766A (en) * 1997-05-21 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water reaction apparatus
JPH10314768A (en) * 1997-05-22 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Method for oxidation of supercritical water
JP2001121166A (en) * 1999-10-27 2001-05-08 Japan Organo Co Ltd Supercritical water treatment method for organic chlorine compound and supercritical water reaction apparatus

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS504459B1 (en) * 1970-12-25 1975-02-19
JPS5373478A (en) * 1976-12-14 1978-06-29 Japan Carlit Co Ltd Method of manufacturing platinum coated metal electrode
JPH0681198A (en) * 1992-06-04 1994-03-22 Nippon Steel Corp Insoluble electrode and its production
JPH06294000A (en) * 1993-04-08 1994-10-21 Nippon Steel Corp Insoluble iridium oxide coated electrode and its production
JPH10314766A (en) * 1997-05-21 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water reaction apparatus
JPH10314769A (en) * 1997-05-22 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water oxidizing method and device
JPH10314768A (en) * 1997-05-22 1998-12-02 Japan Organo Co Ltd Method for oxidation of supercritical water
JP2001121166A (en) * 1999-10-27 2001-05-08 Japan Organo Co Ltd Supercritical water treatment method for organic chlorine compound and supercritical water reaction apparatus

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005137959A (en) * 2003-11-04 2005-06-02 Japan Organo Co Ltd Supercritical water reaction apparatus
JP4545417B2 (en) * 2003-11-04 2010-09-15 オルガノ株式会社 Supercritical water reactor
US9127372B2 (en) 2005-01-12 2015-09-08 The Japan Steel Works, Ltd. Pressure vessel for growing single crystals
US9926642B2 (en) 2005-01-12 2018-03-27 Furuya Metal Co., Ltd. Method of manufacturing a pressure vessel for growing single crystals
JP2007186572A (en) * 2006-01-12 2007-07-26 Hitachi Ltd Apparatus for reforming heavy oil, gas turbine with heavy oil-reforming apparatus, gas turbine plant with heavy oil-reforming apparatus, and method of reforming heavy oil
JP2007191445A (en) * 2006-01-20 2007-08-02 Nippon Zeon Co Ltd Apparatus and method continuously producing cyclic ketone compound
JP2014004523A (en) * 2012-06-25 2014-01-16 Ricoh Co Ltd Fluid purification apparatus

Also Published As

Publication number Publication date
JP4922500B2 (en) 2012-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7914659B2 (en) High-capacity chlorine dioxide generator
JP5611225B2 (en) Method of treating water and water system with chlorine dioxide in piping
JP5085550B2 (en) Reactor and method for treating materials in an oxygen-deficient state in a fluid reaction medium
JP4455703B2 (en) Supercritical water reactor
WO2007102884A2 (en) Chlorine dioxide-based water treatment system for on-board ship applications
WO2000047519A1 (en) Method and apparatus for treating aqueous medium
JP2002361069A (en) Supercritical hydroreaction apparatus and vessel
Lee et al. An anti-corrosive reactor for the decomposition of halogenated hydrocarbons with supercritical water oxidation
JPH07313987A (en) High pressure reaction container apparatus
KR19990075323A (en) Oxidative Decomposition of Wastewater Containing Organics Using Supercritical Water and Catalytic Oxidation
JP4545417B2 (en) Supercritical water reactor
JP2001170664A (en) Supercritical water treating device
JP4267791B2 (en) Supercritical water treatment equipment
US7442314B2 (en) Wet oxidation method
JP3836270B2 (en) Method for shutting down supercritical water reactor
JP4107637B2 (en) Hydrothermal reactor
JP2001170664A5 (en)
JP2002001089A (en) Supercritical water reaction apparatus and container
JP2001300290A (en) Supercritical water reaction apparatus and container
JP4857459B2 (en) Hydrothermal reaction method and apparatus
JP2001232382A (en) Supercritical water reacting apparatus
US20090226351A1 (en) Supercritical Oxidation Process for the Treatment of Corrosive Materials
JP2001269566A (en) Supercritical water reaction apparatus
JP3437408B2 (en) Supercritical water oxidation method and apparatus
Son et al. Effect of NaOH on the decomposition of halogenated hydrocarbon by supercritical water oxidation

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080519

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080519

RD03 Notification of appointment of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423

Effective date: 20080519

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821

Effective date: 20080519

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20111004

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20111130

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20120110

A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20120206

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150210

Year of fee payment: 3

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees