JP2002357536A - 表面プラズモン共鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態測定方法 - Google Patents

表面プラズモン共鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態測定方法

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Koji Suzuki
鈴木  孝治
Kazuyoshi Kurihara
一嘉 栗原
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 測定感度の向上を図ることができる表面プラ
ズモン共鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態測定方
法を提供すること。 【解決手段】 本発明に係る表面プラズモン共鳴現象を
利用した光吸収応答式物質状態測定方法は、プリズムの
裏面に金属薄膜を配置し、該金属薄膜の表面に試料を直
接接触させるように構成すると共に、前記プリズムを通
して前記金属薄膜の裏面に光線を全反射で照射し、その
時に生じる暗線を解析することにより前記金属表面にお
ける試料の物質状態を測定する表面プラズモン共鳴現象
を利用した試料の物質状態を測定する測定方法であっ
て、前記試料に光吸収物質を結合すると共に、前記金属
薄膜の厚さを55nm以下にし、反射光の最低反射率の
変化に基づいて前記試料の物質状態を測定する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、表面プラズモン共
鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態測定方法に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来から、金や銀等の金属薄膜表面に発
生する表面プラズモン共鳴現象を利用して物質の状態測
定を行うことが提案されている。表面プラズモンとは、
金属−誘電体界面に生じる電子の疎密波の一種であり、
その波数は試料の厚さや光学特性(誘電率、屈折率)に
よって変化する。この変化を直接測定することはできな
いため、表面プラズモン共鳴を利用した測定方法では、
プリズムの底面に金や銀等の金属を堆積して金属薄膜を
形成し、その金属薄膜の表面に試料を直接接触させた状
態で、レーザーや発光ダイオードなどの光を前記金属薄
膜の裏面、即ち、試料の反対面から当ててエバネッセン
ト波を発生させ、このエバネッセント波が表面プラズモ
ンと共鳴することに起因した減光により生じる暗線の角
度の角度変化から屈折率の変化を測定することで金属薄
膜表面に接触させた試料の状態変化を間接的に測定する
のが一般的な方法となっている。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来の表面プラズモン共鳴現象を利用した物体状態の
測定方法は、その測定感度があまり高くないという問題
があり、感度を上げることが望まれている。また、従来
の表面プラズモン共鳴現象を利用した物体状態の測定方
法では、測定対象に標識を付ける必要ないこと(ノンラ
ベル)が長所として強調されすぎたため、標識技術の導
入が非常に遅れており、潜在能力が非常に高く、測定感
度が向上する可能性を持つ標識技術を導入した光吸収式
応答式物質状態測定方法は未だ充分に開発されていな
い。上記した従来の問題点に鑑みて、発明者等は、光吸
収応答式の物質状態測定方法について鋭意研究した結
果、従来の測定方法には見られない挙動を示し、かつ、
測定感度を上げることができる光吸収応答式物質状態測
定方法を発明するに至った。本発明は、測定感度の向上
を図ることができる表面プラズモン共鳴現象を利用した
光吸収応答式物質状態測定方法を提供することを目的と
している。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明に係る表面プラズモン共鳴現象を利用し
た光吸収応答式物質状態測定方法は、プリズムの裏面に
金属薄膜を配置し、該金属薄膜の表面に試料を直接接触
させるように構成すると共に、前記プリズムを通して前
記金属薄膜の裏面に光線を全反射で照射し、その時に生
じる暗線を解析することにより前記金属表面における試
料の物質状態を測定する表面プラズモン共鳴現象を利用
した試料の物質状態を測定する測定方法であって、前記
試料に光吸収物質を結合すると共に、前記金属薄膜の厚
さを55nm以下にし、反射光の最低反射率の変化に基
づいて前記試料の物質状態を測定することを特徴とす
る。好ましくは、前記金属薄膜の厚さは25nm〜45
nmの間の厚さにされ得る。
【0005】
【発明の実施の形態】以下、添付図面に示した実施例を
参照しながら本発明に係る光吸収応答式の表面プラズモ
ン共鳴現象を利用した物質状態測定方法を利用したの実
施の形態について説明していく。尚、以下の説明では、
本発明に係る光吸収応答式の表面プラズモン共鳴現象を
利用した物質状態測定方法を光吸収型SPR測定方法と
称し、従来の表面プラズモン共鳴現象を利用した物質状
態測定方法をSPR測定方法と称する。
【0006】始めに、P偏光の三層フレネル方程式につ
いて説明する。センシングシステムは、図1に示すよう
に、プリズムp−金属層m−センシング層sからなると
仮定する。P偏光の光が入射角θで光の反射率Rは、P
偏光のフレネル方程式により次式のように与えられる。 上記した式中、γpmはプリズムpと金属層mとの界面に
対する振幅反射率であり、γmsは、それぞれ金属層mと
センシング層sとの界面に対する振幅反射率であり、こ
れらはフレネルの公式として与えられる。εjは、媒質j
における誘電率であり、kjzは、界面に垂直な波数ベク
トル成分である。また、kは、界面に水平な入射波数
ベクトル成分である。dは、金属層mの厚さであり、ω
は入射光の角周波数であり、cは光速である。各層にお
ける光学的物質は、誘電率の中で記述される。プリズム
層pでは分散効果は無視できる。プリズムpの誘電率ε
は、次式(6)で与えられる。 式中、ηはプリズムpの屈折率である。金属層mの誘
電率εは、ドルーデモデルを仮定すると次式(7)で
得ることができる。 従来のSPR測定方法と光吸収型SPR測定方法との大
きな違いは、センシング層sの光学的特質にある。従来
のSPR測定方法がセンシング層における光の屈折率の
実部しか測定していなかったのに対して、光吸収型SP
R測定方法では、光吸収による実部と虚部の両方の変化
を観測する。単位体積当たりN個の吸収振動子から成る
センシング層sの誘電率εは、ローレンツモデルを仮
定することにより、次式(9)のように得られる。 式中、eは素電荷、mは電子の質量、εは真空中の
誘電率、ωは吸収周波数、γは減衰周波数である。ま
た、λmaxとλ1/2は、吸収最大波長と吸収スペク
トルにおける半値全幅である。fはモル吸光係数と関係
がある振動子強度である。 センシング層sの屈折率の実部と虚部を次式(14)の
ように定義すると、 [Ab]<<1の条件下で式(9)を近似することにより、
次式(15)及び(16)が得られる。 クレッチマンの理論によると、式(1)は、次のように
変形できる。 ここで、kspは、クレッチマンATR(減衰全反射)
配置において生成される表面プラズモンの複素波数であ
り、kは、プリズムが存在しない時に金属層とセンシ
ング層との界面に理論的に生成される表面プラズモンの
複素波数であり、kは、プリズムが存在する時のk
の補正項であり、数学的記述に関して、x’とx’’
は、複素数xの実部と虚部とをそれぞれ示している。式
(17)において、反射率Rは、次式で与えられる共鳴
角θSPRと最小反射率Rminとにおけるディップを
持つ。 共鳴角θSPRと最小反射率Rminは次のように近似
できる。 ここで、式(21)の近似について説明すると、一般的
なSPR実験では、k’>|k’|の場合、式(2
1)は次式(A1)のように簡単化される。 ここで、k’は式(19)によって与えられる。ま
た、ε’>>ε’’、|ε’|>>ε’’、及
び|ε’m|>>ε’ の場合、式(A1)は次式(A
2)、即ち、式(23)に変形できる。 他方、式(20)におけるk’’の近似は次のように
与えられる。 式(B3)〜式(B5)は次式(B6)に等しい。 最終的に、式(B1)及び(B2)は、式(B7)、即
ち、式(25)に示すようにηの近似値として与えられ
る。 図2(a)は、特性パラメータηを関数とする最小反射
率Rminの図表を示しており、図2(b)は、dR
min/dηの図表を示している。最小反射率R min
は、η=1で最小値0を持ち、η=1の付近では変化が
少ない。また、最小反射率Rminは、η>1の時、着
実な増加し、また、η<1の時に急激に減少している。
光吸収型SPR測定方法において、共鳴角θSPRと最
小反射率Rminは、式(23)及び式(24)に示し
たように、[Ab]の関数としてのn及びηでそれぞれ表
されている。式(15)を参考にすると、センシング層
sの屈折率実部nは、次式のように表せる。 一方、式(25)と式(B1)〜(B7)を参考にする
と、特性変数ηは次式で与えられる。 注意として、nの式(26)とηの式(28)は、[A
b]<<1の時、それぞれ有効である。
【0007】光吸収型SPR測定方法の理論を検証する
ために、金属層に銀の光学定数を使った数値シミュレー
ション計算と理論とを比較する。本発明者等による理論
はクレッチマン理論の拡張である。クレッチマンの理論
は、銀薄膜SPRに定量的に適用できる。文献(D.J.Na
sh,J.R.Sambles, J.Mod.Optics 43(1996) 81-91)の信頼
あるデータを式(7)でフィッティングすることによ
り、銀の光学定数として、400〜900nmの範囲で が得られる。また、吸収材料の光学定数として、 を仮定した。これは水中の色素分子の典型的な場合であ
る。数値計算に使った他のパラメータは、 c=2.998×10m/s e=1.602×1019C m=9.109×10−31kg N=6.02×10mol−1 である。これらの値をシミュレーションで用いた。図3
及び図4は、銀薄膜が60nmと40nmにおける光吸
収型SPRカーブの数値シミュレーションである。この
シミュレーションから第1に、共鳴角における吸収型S
PRカーブの振る舞いは、励起周波数ωと吸収周波数ω
の大小関係に大きく関係していることが分かる。ま
た、第2に、最小反射率の振る舞いが金属層の膜厚に依
存していることが分かる。図3及び図4は、吸収型SP
Rカーブの典型的な3種類を計算した結果である。図3
及び図4は、それぞれ3つの励起条件の場合を計算した
結果であり、(a)は、ω=ω(600nm)の共鳴
励起の場合、(b)はω=ω+γ/2(〜555n
m)の高周波数非共鳴の場合、(c)はω=ω−γ/
2(〜657nm)低周波数非共鳴の場合である。それ
ぞれの励起条件で、吸収のモル濃度が 0M 2×10−2M 4×10−2M 8×10−2M 16×10−2M である5つのSPRカーブをシミュレーションした。各
図において矢印は吸収物質のモル濃度が増加ときのSP
Rカーブにおける最小点の単純な振る舞いを示してい
る。図3及び図4において、共鳴角はω=ωの時に一
定であり、ω=ω+γ/2の時に減少、ω=ω−γ
/2の時に増加する。一方、最小反射率は、吸収モル濃
度が増加するにつれて、図3の場合には、単純に増加
し、図4の場合には、始めに減少した後に増加してい
る。発明者等の光吸収型SPR測定方法の理論によれ
ば、上記したシミュレーションにおける複雑なSPRカ
ーブの振る舞いは明確に説明される。式(23)で与え
られる共鳴角の振る舞いは、式(26)及び式(27)
で与えられるnの周波数依存性により理解できる。つ
まり、式(27)で なので、nは、ω=ωの時に一定、ω>ωの時に
減少、ω<ωの時に増加となる。図5はシミュレーシ
ョン条件で計算したCAbの波長依存性を示したもので
ある。係数CAbは、ω<ωの時に正、ω>ωの時
に負になる。特に、係数C Abは、ω=ω−γ/2の
時に最大となり、また、ω=ω+γ/2の時に最小と
なる。一方、式(24)及び式(25)で与えられる最
小反射率の振る舞いは、式(29)のηAbの周波数依
存性と式(30)のηの金属膜厚依存性により理解す
ることができる。図6は、波長の関数とするηAbとη
の数値計算結果を示している。ηだけが金属薄膜の
関数である。この図から、ηAbが周波数に強く依存し
ており、ηが金属膜厚に依存していることが分かる。
ηAbとηは共に正である。η Abの周波数依存性は
[Ab]を関数とするηの増加率と関係している。図6
(b)から、 ではηの増加率は最大であり、ωとωとの差が大きく
なるにつれて、その増加率が小さくなることが分かる。
ηの金属膜厚依存性から、図3と図4とで最小反射率
の振る舞いが違う理由がわかる。ηは[Ab]の線形増加関
数であり、ηは[Ab]=0の初期値である。図2(a)
で最小反射率が[Ab]の関数であることを考慮すると、[A
b]が増加するにつれて、最小反射率はη>1の時には
単純に増加し、η<1の時には始めに減少し、次に増
加することが理解できる。図6(b)から、金属膜厚が
55nmより小さければ、初期値ηは1より小さいこ
とが分かり、従って、図4に示したような最小反射率の
複雑な振る舞いは、金属膜厚が55nmよりも薄い時に
起こることが分かる。尚、上記したシミュレーションは
金属膜厚を40nmとして行っているが、発明者等のシ
ミュレーションによれば、最小反射率の複雑な振る舞い
は、金属膜厚が25nm〜45nm、特に、30nm〜
40nmの時に強く起こる。
【0008】以上説明した数値シミュレーションによ
り、光吸収型SPRのSPRカーブ測定の二つの方法が
提案され得る。一つは共鳴角の変化に基づく測定方法で
あり、もう一つは最小反射率の変化に基づく測定方法で
ある。共鳴角の変化を測定する場合は、励起波長が重要
であり、ω=ω−γ/2又はω=ω+γ/2のよう
な非共鳴励起が好ましい。尚、ω=ωとなる共鳴励起
では共鳴角が変化しないので測定することはできない。
また、収束するビームを使う測定では、図4に示したよ
うに金属膜厚を40nm程度に薄くすることが好まし
い。このように金属膜厚を40nm程度まで薄くするこ
とにより、高いコントラストのSPRカーブを得ること
ができる。また、上記したように、本発明による光吸収
型SPR測定方法によれば、最小反射率の変化から物質
状態変化を測定することができる。この最小反射率の変
化に基づく測定は、共鳴角の変化に基づく測定時のよう
な励起周波数の制限がなく、励起周波数の応答範囲が広
い。尚、最小反射率の変化に基づいて物質状態変化を測
定する場合、ω=ωとなる共鳴励起の場合の方が、非
共鳴励起の場合よりも[Ab]の変化に対して高感度とな
る。 以上説明した光吸収型SPRのSPRカーブ測定に対す
る理論は、固定入射角度のP偏光の反射強度測定や、固
定入射角度の偏光回転測定などの他の測定方法に対して
も適用され得る。上記したように、本発明者等は、光吸
収型SPRカーブの複雑な振る舞いを鋭意研究した結
果、η>1の時には、最低反射率はモル濃度の増加に
伴って単純に増加するだけであるが、η<1の時に
は、最低反射率がモル濃度の増加に伴って始めは減少
し、次いで増加することを見出し、η<1になるよう
な金属膜厚が略55nm以下であることを見出した。こ
のように、η<1とすることにより、即ち、金属膜厚
を55nm以下とすることにより、最低反射率がモル濃
度の増加に伴って一度減少した後に増加するように振舞
うため、単純に増加するだけの場合に比べて最低反射率
の変化量が大きくなるので、高い感度で最低反射率の変
化に基づいて物質状態変化を測定することが可能になる
という効果を奏し、また、上記したように最低反射率の
変化に基づく測定は、共鳴角の変化に基づく測定のよう
に励起周波数の制限がないという効果も併せて奏する。
尚、上記したシミュレーションは、金属層に銀の光学定
数を使って行ったが、金属層に金を用いる場合でもシミ
ュレーションの定性的な結果は同じであり、金属膜厚の
数値についても金の場合も銀の場合と同様のことがいえ
る。
【0009】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る表面
プラズモン共鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態測
定方法は、試料に光吸収物質を結合すると共に、前記金
属薄膜の厚さを55nm以下とするので、試料のモル濃
度の増加に伴って、一度減少した後に増加するという最
低反射率変化を得ることができる。そして、これによ
り、測定感度を高めることができ、また、反射光の最低
反射率の変化に基づいて前記試料の物質状態を測定する
ので、共鳴角の変化に基づく測定のように励起周波数の
制限がないという効果を奏する。また、前記金属薄膜の
厚さを25nm〜45nmの間の厚さにすることによ
り、前記最低反射率の変化の変化量を、特に大きくする
ことができるようになり、測定感度をより高めることが
できるという効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 プリズムp−金属m−センシング層sの界面
からなるクレッチマン配置を示している。
【図2】 (a)は特性パラメータを関数とする最小反
射率Rminの理論的な振る舞いを示すグラフであり、
(b)は最小反射率の微分dRmin/dηの理論的な
振る舞いを示すグラフであり、パラメータηは吸収振動
子の濃度に線形の関係にあり、Rminがη=1のとき
に最小値0を取ることを表している。
【図3】 銀の膜厚が60nmの時の光吸収SPRの数
値シミュレーションを示すグラフであり、(a)はω=
ωの共鳴励起条件、(b)はω=ω+γ/2の高周
波数非共鳴条件、(c)はω=ω−γ/2の低周波数
非共鳴条件における結果をそれぞれ示している。
【図4】 銀の膜厚が40nmの時の光吸収SPRの
数値シミュレーションを示すグラフであり、(a)はω
=ωの共鳴励起条件、(b)はω=ω+γ/2の高
周波数非共鳴条件、(c)はω=ω−γ/2の低周波
数非共鳴条件における結果をそれぞれ示している。
【図5】 式(27)で定義される係数CAbの波長依
存性を数値計算で表すグラフである。尚、CAbは、吸
収変化により生じる屈折率実部nの吸収モル濃度[Ab]
の係数である。
【図6】 (a)及び(b)は、式(29)及び式(3
0)で、それぞれ与えられる係数ηAbとηの波長依
存性を数値的に計算した結果を表すグラフであり、最小
反射率Rminは、Rmin=1−4η/(η+
1)、η=(ηAb[Ab]+1)ηで与えられる。
(a)は、ηの傾きと強く関係している係数η の波
長依存性を示しており、(b)は、係数ηの波長依存
性を示している。尚、(b)における8つの曲線は、金
属膜厚が30、35、40、45、50、55、60及
び65の時に得られた曲線を示している。
【符号の説明】
p プリズム m 金属層 s センシング層 θ 入射角 d 金属膜厚
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2G059 AA02 AA03 EE02 GG04 JJ12

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】プリズムの裏面に金属薄膜を配置し、該金
    属薄膜の表面に試料を直接接触させるように構成すると
    共に、 前記プリズムを通して前記金属薄膜の裏面に光線を全反
    射で照射し、 その時に生じる暗線を解析することにより前記金属表面
    における試料の物質状態を測定する表面プラズモン共鳴
    現象を利用した試料の物質状態を測定する測定方法であ
    って、 前記試料に光吸収物質を結合すると共に、 前記金属薄膜の厚さを55nm以下にし、 反射光の最低反射率の変化に基づいて前記試料の物質状
    態を測定することを特徴とする表面プラズモン共鳴現象
    を利用した光吸収応答式物質状態測定方法。
  2. 【請求項2】前記金属薄膜の厚さが25nm〜45nm
    の間の厚さであることを特徴とする請求項1に記載の表
    面プラズモン共鳴現象を利用した光吸収応答式物質状態
    測定方法。
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