JP2002357504A - 液体検知用光学ユニット - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 検知に至るまでの液量を少なくすることので
きる液体検知用光学ユニットを提供する。 【解決手段】 液体が接触可能な検出面３ａ'、３ｂ'を
下方に、液体が落下可能な受液面３ｄを上方に有するハ
ウジング２と、ハウジングの側方に突出する固定部５、
６と、検出面に液体が接触しているときと接触していな
いときとで受光量が異なるようにハウジング内で支持さ
れる投光光学系７・受光光学系８とを備え、受液面から
検出面に液体を導通させる液体導通部６ｄをハウジング
と固定部との間に設けた構成としたものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液体検知用光学ユ
ニットに関し、特に半導体製造設備内で漏液を検知する
ために受液容器に取り付けて好適な液体検知用光学ユニ
ットに関する。

【０００２】

【従来の技術】例えば、半導体製造設備においては、
水、塩酸、引火性の強い液体、腐食性の液体等種々の処
理液が使用されており、これらの液体の通路としての配
管が多数設けられている。これらの配管は、途中に弁装
置が介装されたり、配管同士が継手により接続されてい
る。配管と弁装置との接続部や配管同士の接続部（継
目）の下方位置にはステンレス鋼等の耐食性の受液容器
が配置されており、接続部から万一液体が漏れた場合に
漏液を受容するようにしている。

【０００３】そして、受液容器には前記接続部の略真下
に漏液を検出するためのセンサが配設されており、速や
かに漏液を検知するようにしている。この漏液検知セン
サは、引火性の強い液体の漏液に対する防爆や腐食性液
体による電線の腐食等に対処するために検出部に電気部
品を持たない光ファイバ式の液体検知用光学ユニットが
使用されている。

【０００４】図１４は、受液容器に取り付けた従来の液
体検知用光学ユニットの斜視図、図１５は、図１４の矢
線XV―XVに沿う断面図、図１６は、図１５の矢線XVI―X
VIに沿う断面図を示す。図１４に示すように液体検知用
光学ユニット（以下、単に「光学ユニット」という）６
０は、例えば、多角筒状のハウジング６１と、このハウ
ジング６１の側面６１ｇの両端から側方に突出する一対
の取付部６２、６２とが透光性及び耐薬品性を有する例
えば、フッ素樹脂部材で一体に形成されており、取付部
６２、６２がベース６３に着脱可能に装着支持されてい
る。ベース６３は、耐食性を有する例えば、ステンレス
の受液容器９０の上面９０ａに固着された取付ボルト９
１に装着され固定ナット９２により着脱可能に固定され
ている。

【０００５】図１５及び図１６に示すようにハウジング
６１内には光ファイバ６４、レンズ６５及び投光用プリ
ズム６６から成る投光光学系６７と、光ファイバ６８、
レンズ６９及び受光用プリズム７０から成る受光光学系
７１とが収納されており、ハウジング６１の下面６１ｅ
は平面とされて受液容器９０の上面９０ａ（以下「受液
面９０ａ」という）との間に僅かな間隙を存して並行に
離隔対向している。

【０００６】発光素子（図示せず）から投光用光ファイ
バ６４に導入された光は、レンズ６５を通して投光用プ
リズム６６に入射し、当該投光用プリズム６６により下
方に反射されて一部が点線ａで示すようにハウジング６
１の検出面６１ｄ、６１ｆで反射されて受光用プリズム
７０に至り（以下「反射光ａ」という）、一部が１点鎖
線ｂで示すように受液面９０ａで反射され、下面６１ｅ
に入射して受光用プリズム７０に至り（以下「反射光
ｂ」という）、レンズ６９から受光用光ファイバ６８を
通して受光素子（図示せず）で検出されるようになって
いる。図１５、図１７に示すようにハウジング６１の検
出面６１ｄ、６１ｆにおいて液体（漏液）を検出可能な
領域（以下「検出面対応領域」という）Ａは、プリズム
６６、７０の各反射面の下方の僅かな領域であり、この
検出面対応領域Ａの両側の大部分の領域Ｂは、液体を検
知できない領域（以下「検出面非対応領域Ｂ」という）
である。

【０００７】図１６に示すように光学ユニット６０が受
光容器９０にセットされた状態において漏液がなく、検
出面６１ｄに液体が付着（接触）していないときには、
投光用プリズム６６から出た光は、反射光ａ、反射光ｂ
として受光用プリズム７０に至り、前記受光素子に検出
される。また、漏液があり、検出面６１ｄに液体（漏
液）Ｑが付着している場合には、投光用プリズム６６か
ら出た光は、一部が実線ｃで示すように検出面６１ｄを
通り抜けて液体Ｑに至り、反射光ｂのみが前記受光素子
に受光される。尚、図１６において、光の経路を分かり
やすくするためにハウジング６１のハッチングを省いて
ある。

【０００８】反射光ａ、ｂの光量をＬａ、Ｌｂとする
と、前記受光素子の受光量は、光学ユニット６０がセッ
ト状態で漏液が無いときに（Ｌａ＋Ｌｂ）となり、漏液
があるときにＬｂとなり、非セット状態のときにＬａと
なる。前記受光素子は、受光量に応じた信号を出力し、
図１８に示すように前記受光素子の受光量を判別するた
めの閾値Ｌｈを、（Ｌａ、Ｌｂ）＜Ｌｈ＜（Ｌａ＋Ｌ
ｂ）に設定することで、光学ユニット６０がセット状態
で前記受光素子の受光量が閾値Ｌｈよりも低いとき（Ｌ
ｂ＜Ｌｈ）に漏液があったことを検知することができ
る。

【０００９】光学ユニット６０の検出面６１ｄ、６１ｅ
に付着した漏液の拭き取り作業や動作チェックを行うべ
く受液容器９０から取り外した場合（非セット状態）に
は、反射光ａのみが前記受光素子に受光される。光学ユ
ニット６０は、受液面９０ａからの反射光ｂをセット状
態で受光し、非セット状態で受光しないようにし、受液
面９０ａからの反射光ｂと検出面６１ｄ、６１ｆからの
反射光ａとが略等しくなるような光学設計として、検出
面６１ｄ、６１ｆを受液面９０ａから離隔することによ
り、擬似的に液体検出状態を作り出して動作チェックを
行っている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の光学ユニッ
トにおいて、図１４に示すようにハウジング６１の上面
６１ａの検出面対応領域Ａ（図１５）のベース６３と反
対側に落下する漏液１は、当該ハウジング６１の表面６
１ｂ、６１ｃを伝わって下方に流れて検出面６１ｄに到
達する（図１６）。よって、光学ユニット６０は、少な
い液量の漏液でも検知することが可能である。

【００１１】一方、ハウジング６１のベース６３側に落
下する漏液２は、ハウジング６１のベース６１側の表面
６１ｈ、６１ｇを伝わって下方に流れるが、ベース６３
や取付部６２上に滞留する。従って、ある程度の漏液量
がないとこれらのベース６３又は取付部６２から流れ落
ちて検出面対応領域Ａに到達せず、漏液検知までに時間
を要する。

【００１２】更に、図１４、図１７に示すようにハウジ
ング６１の検出面非対応領域Ｂの受液面に落下する漏液
３は、ハウジング６１の表面６１ｂ、６１ｃ、又は６１
ｈ、６１ｇを伝わって下方に流れるが、前述と同様にあ
る程度の液量がないと検出面６１ｄ、６１ｆの検出面対
応領域Ａに到達せず、漏液検知までに時間を要する。こ
のように、従来構造の光学ユニットにおいては、漏液が
落下する場所によっては検知するまでの液量を多く必要
とし、漏液に対して迅速に対処し得ない場合があるとい
う問題があった。

【００１３】本発明は、上述の点に鑑みてなされたもの
で、液体検知用光学ユニットにおいて検知に至るまでの
液量を少なくすることのできる液体検知用光学ユニット
を提供することを目的とする。

【００１４】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項１の液体検知用光学ユニットは、液体が接触可
能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に
有するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する
固定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触
していないときとで受光量が異なるように前記ハウジン
グ内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前
記受液面から検出面に液体を導通させる液体導通部を前
記ハウジングと固定部との間に設けたことを特徴とす
る。

【００１５】請求項２の液体検知用光学ユニットは、液
体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可能な受液
面を上方に有するハウジングと、前記ハウジングの側方
に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触している
ときと接触していないときとで受光量が異なるように前
記ハウジング内で支持される投光光学系・受光光学系と
を備え、前記受液面は、検出面非対応領域から検出面対
応領域に向かって下がるガイド面を備えたことを特徴と
する。

【００１６】液体検知用光学ユニットは、検出面に液体
が接触していないときには、投光光学系から投光された
光が検出面で反射されて受光光学系に至り、検出面に液
体が付着しているときには、受光量が減少する。液体検
知用光学ユニットは、受光量の違いにより、液体の有無
を検知する。ハウジングの受液面に落下して固定部と反
対側に流れ落ちた液体は、そのまま検出面に至り、固定
部側に流れ落ちた液体は、液導通部を通して検出面に至
る。これにより、ハウジングの受液面に落下した液体
は、ハウジングの固定部に遮られることなく検出面に到
達するので、検知に至るまでの液量が少なくて済み、迅
速に検知可能となる（請求項１）。

【００１７】ハウジングの受液面の検出面非対応領域に
落下した液体は、ガイド面に沿って流れ、検出面対応領
域に導かれて検出面に到達する。これにより、検知に至
るまでの液量が少なくなり、迅速に検知可能となる（請
求項２）。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下図面を参照して本発明の実施
の形態について説明する。 （第１の実施形態）図１は、本発明に係る液体検知用光
学ユニットの第１実施形態を示す組立斜視図、図２は、
図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立てた状態の
矢線II-IIに沿う断面図、図３は、図２の矢線III-IIIに
沿う断面図である。

【００１９】図１に示すように液体検知用光学ユニット
（以下、単に「光学ユニット」という）１は、ハウジン
グ２と、このハウジング２を支持するベース６からな
り、ハウジング２は、ケース３、カバー４、及びケース
３に一体に設けられた一対の取付部５、５からなる。そ
して、取付部５、５とベース６とにより固定部が構成さ
れてハウジング２を受液容器９０の上面９０ａに固定す
る。ケース３には投光光学系７、受光光学系８が収納さ
れている。投光光学系７、受光光学系８は、光ファイバ
ユニット１０、レンズ１３、１４、及びプリズム１５、
１６からなる。そして、ケース３は、透光性及び耐薬品
性を有する例えば、フッ素樹脂部材により形成されてい
る。

【００２０】ケース３は、図３に示すように両側面３
ａ、３ｂの略下半分３ａ'、３ｂ'が夫々下面３ｃに対し
て例えば、４５°の角度をなす傾斜面とされ、端面視五
角形の角筒状をなしている。両側面３ａ、３ｂの下半分
３ａ'、３ｂ'は、液体（漏液）の検出面（以下「検出面
３ａ'、３ｂ'」という）とされ（図３）、内部に収納空
間３ｅが設けられている。

【００２１】光ファイバユニット１０は、投光用光ファ
イバ１１と受光用光ファイバ１２からなり、口金１７、
１７を介してホルダ１８に挿入固定される。ホルダ１８
内にはレンズ１３、１４が光ファイバ１１、１２の先端
面に当接して配置され、これらのレンズ１３、１４の後
方に夫々プリズム１５、１６が配置される。そして、投
光用光ファイバ１１、レンズ１３、プリズム１５により
投光光学系７が構成され、受光用光ファイバ１２、レン
ズ１４、プリズム１６により受光光学系８が構成されて
いる。これらの投光光学系７、受光光学系８は、ケース
３の収納空間３ｅ内に長手方向に沿って並行に配置され
ている。

【００２２】カバー４は、収納空間３ｅの開口部に装着
されてケース３の一端を密閉し、光ファイバーユニット
１０は、保護チューブ１９を介してケース３の他端から
延出され、端末が検出装置（図示せず）に接続される。
前記検出装置において投光用光ファイバ１１の端末が発
光素子の発光面に、受光用光ファイバ１２の端末が受光
素子の受光面（何れも図示せず）に接続される。

【００２３】図２、図３に示すように投光用光ファイバ
１１からレンズ１３を通して図中水平に射出された光
は、プリズム１５により４５°真下に反射されて検出面
３ａ'に至り、当該検出面３ａ'で４５°真横に反射され
て検出面３ｂ'に至り、当該検出面３ｂ'で４５°真上に
反射されてプリズム１６に至り、当該プリズム１６によ
り４５°水平に反射されレンズ１４を通して受光用光フ
ァイバ１２に入射される。このようにして投光光学系７
から射出された光が検出面３ａ'、３ｂ'で反射されて受
光光学系８に入射される。そして、検出面３ａ'、３ｂ'
のプリズム１５、１６の反射面に対向する僅かな範囲が
液体の検出面対応領域Ａ、この検出面対応領域Ａの両側
の領域が検出面非対応領域Ｂとされる（図２、図４）。

【００２４】図１及び図３乃至図７に示すようにケース
３の上面３ｄは、上方に凸の曲面をなすように両側部が
下降し、検出面対応領域Ａの略中央に対応する位置にお
いて最大径をなして両側面３ａ、３ｂの略中央に連設さ
れ（図３、図６、図７）、当該位置から両側の各検出面
非対応領域Ｂの端部に向かって曲面の径が小さくなって
幅狭とされ、両側部３ｄ'、３ｄ"が夫々両端部に向かっ
て斜め上方に向かう傾斜面とされている（図５、図６、
図７）。即ち、両側縁部３ｄ'、３ｄ"が夫々両端から検
出面対応領域Ａに向かって下方に傾斜する略扁平なＶ形
をなす傾斜面とされている（図４、図６、図７）。そし
て、ケース上面３ｄ全体が落下（滴下）する液体（漏
液）の受液面とされ、両側縁部３ｄ'、３ｄ"が上面３ｄ
の検出面非対応領域Ｂに落下した液体を検出面対応領域
Ａに導くガイド面とされている。ケース３の下面３ｃに
は検出面対応領域Ａの両側に幅方向（検出面３ａ'と３
ｂ'との間を横切る方向）にスリット３ｃ'、３ｃ'が設
けられている（図２、図４）。これらのスリット３ｃ'
により、検出面３ｂ'に付着した液体を検出面３ａ'に導
くことができるようになっている。

【００２５】図１に示すようにケース３の側面３ｂの両
端近傍に一対の取付部５、５が側方に延出して形成され
ており、各取付部５には基端から先端近傍まで長孔５ａ
が設けられている。取付部５の内側面には長孔５ａの先
端から取付部先端５ｂまで切欠５ｃが設けられている。
ベース６は、両側面前端に揺動軸６ａ、６ａが突設され
ており、これらの揺動軸６ａ、６ａと間隔を存して凸条
部６ｂ、６ｂが前後方向に設けられている。揺動軸６ａ
は、取付部５の切欠５ｃから長孔５ａ内に嵌め込まれて
当該長孔５ａ内を摺動可能とされ、凸条部６ｂは、取付
部５の長孔５ａ内を摺動可能とされている。これによ
り、取付部５がベース６に摺動可能とされている。

【００２６】図１及び図５に示すようにベース６のケー
ス３の側面３ｂと当接する前端面には、検出面対応領域
Ａの位置に液体導通部（切欠）６ｄが設けられており、
上面（受液面）３ｄの縁部３ｄ"の下端から側面３ｂ流
れ落ちる液体を当該ベース６の下方に導通させるように
なっている。また、ベース６の前端面には液体導通部６
ｄと並んでハウジング係止用の孔６ｅが設けられてい
る。一方、ケース３の側面３ｂには孔６ｅと対応して係
止部３ｆが突設されており、孔６ｅに嵌合してベース６
にハウジング２を確実に係止するようになっている。更
に、凸条部６ｂに突設された係止部６ｃが長孔５ａの先
端に節度をもって係止され、当該長孔５ａの基端に当接
している揺動軸６ａと協働して取付部５を係止する。こ
れにより、ハウジング２がベース６の取付位置に確実に
係止保持される。

【００２７】図１に示すようにベース６の略中央に取付
孔６ｇが穿設され、補強用の金属製のカラー６ｈが嵌挿
されている。このベース６は、受液容器９０の受液面９
０ａの所定位置に固着された取付ボルト９１に装着さ
れ、固定ナット９２により固定される。このようにし
て、光学ユニット１が受液容器９０の受液面９０ａに配
設される。

【００２８】以下、光学ユニット１の漏液検知動作につ
いて説明する。図８は、光学ユニット１を受液面９０ａ
にセットした状態を示し、漏液検出可能とされている。
図９において漏液がなく、検出面３ａ'に液体が付着し
ていないときには、発光素子から投光用光ファイバ１
１、レンズ１３を経て投光用プリズム１５で反射された
光は、反射光ａ、反射光ｂとして受光用プリズム１６に
至り、レンズ１４から光ファイバ１２を通して受光素子
に受光される。従って、前記受光素子の受光量は、（Ｌ
ａ＋Ｌｂ）となる。

【００２９】図８に示すようにケース３の上面（受液
面）３ｄの検出面対応領域Ａに落下して取付部５及びベ
ース６と反対側に流れた漏液１は、図９に示すように側
面３ａを伝わって検出面３ａ'に流れ落ちて検出面３ａ'
に付着し、検出面非対応領域Ｂの縁部３ｄ'に流落した
漏液２は、当該縁部３ｄ'の傾斜面（ガイド面）に沿っ
て流れ、その下端から側面３ａを伝わって検出面対応領
域Ａの検出面３ａ'に付着する。この結果、投光用プリ
ズム１５から検出面３ａ'に入射した光は、実線ｃで示
すように検出面３ａ'を通り抜けて液体（漏液）Ｑに至
り、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。従っ
て、前記受光素子の受光量がＬｂ（＜Ｌｈ）となる。

【００３０】また、図８に示すようにケース３の上面３
ｄの検出面対応領域Ａに落下して取付部５、ベース６側
の側面３ｂに流れた漏液３は、ベース６の液体導通部６
ｄを通って検出面３ｂ'に付着し、検出面非対応領域Ｂ
の縁部３ｄ"に落下した漏液４は、当該縁部３ｄ"の傾斜
面（ガイド面）に沿って流れ、その下端から側面３ｂを
伝わって流れ、液体導通部６ｄを通って検出面対応領域
Ａの検出面３ｂ'に付着する。そして、検出面３ｂ'に付
着した漏液３、４がケース３の下面３ｃに設けられた各
スリット３ｃ'（図２）を通して検出面３ａ'側に移動し
て（回り込んで）当該検出面３ａ'に付着したときに
は、上述したように反射光ｂのみが前記受光素子に受光
される。

【００３１】また、検出面３ｂ'に付着した漏液３、４
が検出面３ａ'側に回り込むことなく検出面３ｂ'に付着
しているときには、図１０に示すように投光用プリズム
１５から出た光は、検出面３ａ'で反射され、実線ｃで
示すように検出面３ｂ'を通り抜けて液体（漏液）Ｑに
至り、反射光ｂのみが前記受光素子に受光される。尚、
図９、１０において光の経路を分かりやすくするために
ケース３のハッチングを省いてある。

【００３２】このように、ケース３の上面（受液面）３
ｄに落下した液体は、ハウジング２の取付部５やベース
６に遮られることなく検出面３ａ'、３ｂ'に到達するの
で、検知に至るまでの液量が少なくて済む。また、検出
面非対応領域Ｂに落下した液体は、ガイド面としての縁
部３ｄ'、３ｄ"を伝わって検出面対応領域Ａに移動し、
検出面３ａ'、３ｂ'に到達するので、検知に至るまでの
液量を少なくすることができる。

【００３３】上述したように漏液検出後、検出面３
ａ'、３ｂ'に付着している漏液を拭き取る作業や定期点
検等で光学ユニット１の動作チェックを行う場合には、
作業者が図８に示すセット状態においてケース３を掴ん
で矢印Ａ方向に水平に引き出し、矢印Ｂで示す上方（検
出面３ａ'、３ｂ'が、受液面９０ａから離隔する方向）
に回動させる。取付部５は、セット状態から上方に回動
されて９０°を僅かに超えた位置に係止保持される。こ
れにより、作業者は、検出面３ａ'、３ｂ'に付着してい
る漏液の拭き取り作業や、動作チェックを容易に行うこ
とができる。

【００３４】光学ユニット１は、非セット状態におい
て、図９に示すように投光用プリズム１５から出た光の
一部が点線で示すように検出面３ａ'、３ｂ'で反射され
て受光用プリズム１６に至り、前記受光素子に受光され
る。光学ユニット１は、受液面９０ａからの反射光ｂを
セット状態で受光し、非セット状態で受光しないように
し、受液面からの反射光ｂと検出面３ａ'、３ｂ'からの
反射光ａとが略等しくなるような光学設計とされてお
り、非セット状態で擬似的に液体検出状体を作り出して
動作チェックを行う。作業者は、上記作業を終了した後
光学ユニット１を図８に示すセット位置に戻す。

【００３５】（第２の実施形態）図１１は、本発明に係
る光学ユニットの第２実施形態を示す斜視図である。光
学ユニット２０は、ハウジング２１と固定部２２とが一
体に形成されており、ハウジング２１内には、第１の実
施形態における光学ユニット１と同様に投光用光学系、
受光用光学系が収納されており（図１）、検出面２１
ａ'、２１ｂ'の略中央が検出面対応領域Ａ、その両側の
領域が検出面非対応領域Ｂとされている（図１３）。

【００３６】ハウジング２２の受液面としての上面２１
ｄは、第１実施形態における上面に比して急峻な屋根形
の形状をなして両側面２１ａ、２１ｂ側に傾斜してお
り、ガイド面としての両縁部２１ｄ'、２１ｄ"も上面２
０ｄと同様に両端近傍から急峻な傾斜面をなして略両側
面２１ａ、２１ｂの中央の検出面対応領域Ａに向かって
下方に傾斜して形成されている。そして、固定部２２ハ
ウジング２１の側面２１ｂとの付根には、縁部２１ｄ"
の最下部位置即ち、検出面対応領域Ａと対応する位置に
液体導通部（切欠）２２ａが設けられている。

【００３７】漏液１がハウジング２１の上面（受液面）
２１ｄに落下して側面２１ａ側に流れ落ちた場合、漏液
１は、図１２に示すように検出面対応領域Ａの検出面２
１ａ'に付着する。この結果、第１実施形態の場合と同
様に受液面９０ａで反射された反射光のみが検知され
る。また、漏液２が上面（受液面）２１ｄに落下して側
面２１ｂ側に流れた場合、或いは漏液３が縁部３ｄ"に
落下して側面２１ｂ側に流れた場合（図１３）、漏液
２、３は、固定部２２の液体導通部２２ａを通って検出
面２２ｂ'に至り、ハウジング２１の下面２１ｃの検出
面対応領域Ａの両側に設けられた図示しないスリット
（図７参照）を通して検出面２１ａ'側に移動して（回
り込んで）当該検出面２１ａ'に付着したときには受液
面９０ａで反射された反射光のみが検知される。また、
検出面２２ｂ'に付着した漏液２、３が検出面２１ａ'側
に回り込むことなく当該検出面２１ｂ'に付着している
ときには、受液面９０ａで反射された反射光のみが検知
され、前記受光素子の受光量が低下する。尚、図１２に
おいて、光の経路を分かりやすくするためにケース３の
ハッチングを省いてある。

【００３８】

【発明の効果】以上説明したように請求項１の発明によ
れば、液体が接触可能な検出面を下方に、液体が落下可
能な受液面を上方に有するハウジングと、前記ハウジン
グの側方に突出する固定部と、前記検出面に液体が接触
しているときと接触していないときとで受光量が異なる
ように前記ハウジング内で支持される投光光学系・受光
光学系とを備え、前記受液面から検出面に液体を導通さ
せる液体導通部を前記ハウジングと固定部との間に設け
たことで、受液面に落下した液体は、ハウジングの固定
部に遮られることなく検出面に到達するので、検知に至
るまでの液量が少なくて済むという効果がある。

【００３９】請求項２の発明によれば、液体が接触可能
な検出面を下方に、液体が落下可能な受液面を上方に有
するハウジングと、前記ハウジングの側方に突出する固
定部と、前記検出面に液体が接触しているときと接触し
ていないときとで受光量が異なるように前記ハウジング
内で支持される投光光学系・受光光学系とを備え、前記
受液面は、検出面非対応領域から検出面対応領域に向か
って下がるガイド面を備えたことで、検出面非対応領域
に落下した液体は、ガイド面を伝わって検出面対応領域
に移動し、検出面に到達するので、検知に至るまでの液
量を少なくすることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第１の
実施形態の組立斜視図である。

【図２】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立て
た状態における矢線II-IIに沿う断面図である。

【図３】図２に示す液体検知用光学ユニットの矢線III-
IIIに沿う断面図である。

【図４】図３に示す液体検知用光学ユニットの液体の検
出面対応領域及び非対応領域の説明図である。

【図５】図１に示す液体検知用光学ユニットを組み立て
た状態の平面図である。

【図６】図５に示す液体検知用光学ユニットの正面図で
ある。

【図７】図５に示す液体検知用光学ユニットの背面図で
ある。

【図８】図１に示す液体検知用光学ユニットの使用状態
を示す斜視図である。

【図９】図８に示す液体検知用光学ユニットの漏液検出
の説明図である。

【図１０】図８に示す液体検知用光学ユニットの漏液検
出の説明図である。

【図１１】本発明に係る液体検知用光学ユニットの第２
実施形態の斜視図である。

【図１２】図１１に示す液体検知用光学ユニットの矢線
XII-XIIに沿う断面図である。

【図１３】図１２に示す液体検知用光学ユニットの液体
の検出面対応領域及び非対応領域の説明図である。

【図１４】従来の液体検知用光学ユニットの一例を示す
斜視図である。

【図１５】図１４に示す液体検知用光学ユニットの矢線
XV-XVに沿う断面図である。

【図１６】図１５に示す液体検知用光学ユニットの矢線
XVI-XVIに沿う断面図である。

【図１７】図１５に示す液体検知用光学ユニットの液体
の検出面対応領域及び非対応領域の説明図である。

【図１８】図１７における液体検知用光学ユニットのセ
ット状態における漏液検出時、非検出時、及び非セット
状態における受光量を示すグラフである。

【符号の説明】

１、２０ 液体検知用光学ユニット（光学ユニット） ２、２１ ハウジング ３ ケース ３ａ'、３ｂ' 検出面 ３ｄ、２１ｄ 上面（受液面） ３ｄ'、３ｄ" 縁部（ガイド面） ４ カバー ５、２２ 取付部 ６ ベース ６ｃ 液体導通部 ７ 投光光学系 ８ 受光光学系 １０ 光ファイバユニット １１ 投光用光ファイバ １２ 受光用光ファイバ １３、１４ レンズ １５、１６ プリズム １８ ホルダ ９０ 受液容器 ９０ａ 受液容器上面（受液面） ９１ 取付ボルト ９２ 固定ナット

フロントページの続き (72)発明者 簑島 祥典 東京都渋谷区渋谷２丁目12番19号 株式会 社山武内 Ｆターム(参考） 2F014 FA02 2G067 AA01 BB16 CC01 DD11

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 液体が接触可能な検出面を下方に、液体
   が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、 前記ハウジングの側方に突出する固定部と、 前記検出面に液体が接触しているときと接触していない
   ときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持
   される投光光学系・受光光学系とを備え、 前記受液面から検出面に液体を導通させる液体導通部を
   前記ハウジングと固定部との間に設けたことを特徴とす
   る液体検知用光学ユニット。
2. 【請求項２】 液体が接触可能な検出面を下方に、液体
   が落下可能な受液面を上方に有するハウジングと、 前記ハウジングの側方に突出する固定部と、 前記検出面に液体が接触しているときと接触していない
   ときとで受光量が異なるように前記ハウジング内で支持
   される投光光学系・受光光学系とを備え、 前記受液面は、検出面非対応領域から検出面対応領域に
   向かって下がるガイド面を備えたことを特徴とする液体
   検知用光学ユニット。