JP2002357404A - 変位センサ - Google Patents

変位センサ

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JP2002357404A JP2001166692A JP2001166692A JP2002357404A JP 2002357404 A JP2002357404 A JP 2002357404A JP 2001166692 A JP2001166692 A JP 2001166692A JP 2001166692 A JP2001166692 A JP 2001166692A JP 2002357404 A JP2002357404 A JP 2002357404A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 変位センサの小型化と操作力の省力化とを両
立が困難であった。 【解決手段】 リニヤブッシュ4の外筒体7に外筒体側
回転止め用孔部11を、ボールガイド9にボールガイド
側回転止め用孔部15をそれぞれ設け、可動シャフト5
1に回転止めピン51Aの嵌合用のピン嵌合孔部79を
設けて、この回転止めピン51Aを、外筒体側回転止め
用孔部11とボールガイド側回転止め用孔部15とに、
可動部50の移動方向に移動可能に挿入し、且つ回転止
めピン51Aをピン嵌合孔部79に挿入して可動部回転
阻止手段を構成するようにした。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、部品の寸法等を測
定する変位センサに係り、特に、差動トランス方式を用
いた変位センサに関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のこの種の変位センサとしては、そ
の直径を例えばφ8から例えばφ6にした場合、変位セ
ンサの機械への取付において、より密着取付が可能にな
り、変位センサが取り付けられた機械をより小型化する
ことができる。また、変位センサの可動部の重量を低減
せざるを得ないので、変位センサの荷重が低減でき、今
まで荷重が大きくて正確に測定できなかったものに使用
可能になる。
【0003】変位センサの直径を例えばφ8から例えば
φ6にする場合、ただ単に寸法を3/4(0.75)
倍、断面を0.56倍にすればよいわけでなく、コア部
材を作動する可動部の回転止め等の本来の機能、性能を
確保することが必要であり、また、部品の小形化による
組立性の低下を防ぎ、また、コア部材を作動する可動部
とハウジング側との間の防水の強化が必要になってい
た。
【0004】そして、従来の変位センサとしては、例え
ば、図16に示すものがある。この変位センサは、ハウ
ジング80内にリニヤブッシュ81と差動トランス95
のコイル側とを設け、ハウジング80内に、可動シャフ
ト91とこの可動シャフト91に連設したコア部材89
とを有する可動部101を、リニヤブッシュ94を介し
てハウジング80の軸線方向に移動可能に設けて、コア
部材89を差動トランス95のコイル側に挿入して差動
トランス95を構成し、ハウジング80内に設けたばね
部材、例えばコイル径が変化しない平行コイルばね(図
示せず)で可動部101を付勢して可動シャフト91の
先端部をハウジング80外に突出し、可動シャフト91
の突出部に接触子93を設けた構成であり、リニヤブッ
シュ94は、周部に長孔88を有する外筒体81内に、
周部の多数のボール83を保持したボールガイド84を
挿入して構成してあり、シャフト91に設けた回転止め
ピン92を外筒体81の長孔88に挿入して可動部10
1の回転を阻止するようにしてある。
【0005】また、従来の変位センサとして図17の
(1)に示すものがある。この変位センサは、ハウジン
グ80内にリニヤブッシュ94と差動トランス95のコ
イル側とを設け、ハウジング80内に、可動シャフト9
1とこの可動シャフト91に連設したコア部材89とを
有する可動部101を、リニヤブッシュ94を介してハ
ウジング80の軸線方向に移動可能に設けて、コア部材
89を差動トランス95のコイル側に挿入して差動トラ
ンス95を構成し、ハウジング80内に設けたばね部
材、例えばコイル径が変化しない平行コイルばね(図示
せず)で可動部101を付勢して可動シャフト91の先
端部をハウジング80外に突出し、可動シャフト91の
突出部に接触子93を設けた構成であり、可動シャフト
91に設けた回転止め部材102にハウジング80の軸
線方向に長い溝部102Aを設け、ハウジング80のピ
ン圧入孔部80aに金属製の回転止めガイドピン103
を圧入し、この回転止めガイドピン103を、図17の
(2)に示すように溝部102Aに挿入して可動部10
1の回転を阻止するようにしてある。
【0006】また、ケーブルの引出し部のハウジング8
0への固定及びシール構造は、図18に示すように樹脂
充填部108とケーブル挿通孔部109とを有するケー
ブル止め部材110を用いて、ケーブル挿通孔部109
にケーブル96を挿通し、樹脂充填部108とケーブル
挿通孔部109と間にOリング111を配置して、樹脂
充填部108にエポキシ樹脂112を充填し、ケーブル
止め部材110をハウジング80の後端部に圧入した行
われていた。
【0007】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た図16に示す従来の変位センサによれば、可動部10
1の回転を阻止する構成として、可動シャフト91に設
けた回転止めピン92をリニヤブッシュ94の外筒体8
1の長孔88に挿入するようにしてあり、外筒体81に
長孔88を設ける必要があり、ボール83が摺接する外
筒体81の内面に長孔88の形成時に生じるバリが存在
し、このバリの除去加工が必要になる等、このリニヤブ
ッシュの構成、加工が複雑になっており、このような可
動部回転阻止手段を、そのまま、より小型化する変位セ
ンサに適応することは、組立作業性を著しく低下させる
という問題点があったし、特に、この変位センサの場
合、可動方向の長さが長くなり、リニヤブッシュ94の
外筒体81が差動トランス95に隣接するようになっ
て、外筒体81の磁性が差動トランス95の特性に影響
を与え、品質が不安定になり、また、温度特性が不安定
になるという問題点があった。
【0008】また、図17に示すように、可動部101
の回転を阻止する構成として、ハウジング80に設けた
金属製の回転止めガイドピン103を、回転止め部材1
02の溝部102Aに挿入したものがあるが、この場
合、可動部101が動く際に、回転止めガイドピン10
3が溝部102Aを摺動し、金属同志の摩擦が生じて、
摺動抵抗が大きくなって、操作力の低減が困難になると
いう問題点があったし、特に、ハウジング80に回転止
めピン103のピン圧入孔部80aがあるために、防水
性の確保ができない、ハウジング80のピン圧入孔部8
0aに肉厚が必要になり小径化が困難になる、可動方向
の長さが長くなる、ハウジング80の加工コストが高価
になるという問題点があった。
【0009】また、可動シャフト91の復帰ばねにコイ
ル径が変化しないコイルばね(平行ばね)を使用してい
るために、センサが小型化すると、コイルばねが周囲部
品に干渉して摩擦を生じ、変位センサの小型化と操作力
の省力化とを両立が困難であった。
【0010】また、ケーブルの引出し部のハウジング8
0への固定を、ケーブル止め部材110のケーブル挿通
孔部109にケーブル96を挿通し、樹脂充填部108
とケーブル挿通孔部109と間にOリング111を配置
して、樹脂充填部108にエポキシ樹脂112を充填
し、ケーブル止め部材110をハウジング80の後端部
に圧入してあるために、強度のバラツキが大きく、ケー
ブル引出し部の柔軟性(ケーブル屈曲性)の確保が困難
になっていたし、変位センサの小型化と引張り強度を大
きくすることとの両立が困難になるという問題点があっ
た。
【0011】また、従来の別の変位センサとして、図1
9に示すものがあるが、この変位センサの場合、ハウジ
ング80−1に雌ねじ部120を設け、リニヤブッシュ
94−1の外筒体81−1に雄ねじ部121を設けて、
この雄ねじ部121を雌ねじ部120に螺合させて両者
を結合する場合に、平パッキン122を締付けて防水を
行っているが、雄ねじ部121のねじ山の分だけ高さが
必要になり、変位センサの小形化を困難にしている。ま
た、ねじ結合によらずに接着材で結合するものもある
が、この場合、安定したシール性の確保が困難であると
いう問題点があった。
【0012】また、従来の別の変位センサとして、図2
0に示すものがあるが、この変位センサの場合、組立に
おいて、ゴムブーツ123を測定子124側から可動シ
ャフト125に嵌めるようにしている。可動シャフト1
25には測定子124にねじ結合するための雄ねじ部1
26が設けてあるために、雄ねじ部126でゴムブーツ
123のシール部123aの内面(シール面)が傷付
き、安定したシール性の確保が困難であるという問題点
があった。
【0013】本発明は、上記の問題点に着目して成され
たものであって、その目的とするところは、上記した従
来技術の問題点を解決し、本来の機能及び性能を確保し
ながら小型化が可能な変位センサを提供することにあ
る。
【0014】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明に係る変位センサは、ハウジング内に、外
筒体とこの外筒体の軸線方向に移動可能な可動部担持体
とを有するリニヤブッシュを設けると共に、差動トラン
スのコア部材を保持する可動シャフトを有する可動部
を、リニヤブッシュを介してハウジングの軸線方向に移
動可能に設け、可動シャフトの先端側に接触子を設け、
可動部を復帰ばね部材で外方に付勢し、且つ可動部の回
転を可動部回転阻止手段で阻止するようにした変位セン
サであって、リニヤブッシュの外筒体と可動部担持体と
のそれぞれに回転止め用孔部を設け、可動シャフトに回
転止め部材の挿入係止部を設け、この回転止め部材を回
転止め用孔部に可動部の移動方向に移動可能に挿入し、
且つ回転止め部材を挿入係止部に挿入係止して可動部回
転阻止手段を構成するようにしたものである。
【0015】ここで、リニヤブッシュの外筒体とは、例
えばリニヤブッシュがハウジングに嵌合され接着される
場合に、このハウジングに内面に接着される筒体が該当
し、可動部担持体とは、例えば多数のボールを保持した
ボールガイドが該当する。また、回転止め用孔部は外筒
体側回転止め用孔部とボールガイド側回転止め用孔部が
該当する。また、回転止め部材とは回転止めピンが該当
し、挿入係止部とはピン嵌合孔部が該当する。
【0016】かかる構成により、可動部回転阻止手段
を、変位センサの本体内部に内蔵させることができて、
半径方向のクリアランスを抑え、変位センサの小径化が
可能になるし、また、短胴化が可能になる。しかも、可
動シャフトの強度の確保、可動シャフトの加工容易化が
可能になる。
【0017】そして、上記した本発明に係る変位センサ
において、リニヤブッシュにおける外筒体と可動部担持
体とのそれぞれの回転止め用孔部が、可動部の移動方向
に長い長方形状である。
【0018】かかる構成により、回転止め部材が回転止
め用孔部に引っ掛かることがなく、可動部の移動を円滑
に行うことができる。
【0019】そして、上記した本発明に係る変位センサ
において、外筒体の回転止め用孔部を熱収縮チューブで
封止するようにした。
【0020】外筒体の回転止め用孔部を熱収縮チューブ
で封止するとは、外筒体の外周部に設けたチューブ装着
部に熱収縮性合成樹脂フイルム製のチューブを被せ、熱
を加えることにより、このチューブを熱収縮させて回転
止め用孔部を封止することである。
【0021】かかる構成により、リニヤブッシュをハウ
ジングに嵌合して接着剤で接着する場合に、接着剤が回
転止め用孔部に進入することを防止することができる。
【0022】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、ハウジングに、こ
の中心側に突入する凸部を設け、この凸部にハウジング
の軸線に対して直交する方向の衝合部を形成し、ハウジ
ングに回転防止部材を設け、この回転防止部材の外面部
に平坦部を形成して、この平坦部の端部にハウジングの
軸線に対して直交する方向の衝合部を形成し、平坦部に
凸部を位置させると共に、衝合部を互いに衝合させて回
転防止部材の位置決めと回転防止を行うようにしたもの
である。
【0023】かかる構成により、回転防止部材をハウジ
ング内に挿入した状態で、平坦部に凸部を位置させて衝
合部を互いに衝合させて回転防止部材をハウジングに固
定し、回転防止部材の位置決めを行うと共に、回転止め
を実現することができる。
【0024】そして、凸部の形成を、ハウジングを打込
み加工することにより行い、ハウジングの外周部をセン
タレス研磨加工により研磨してハウジングの厚さを薄く
し、凸部の突入寸法を所定の大きさに確保するようにし
た。
【0025】かかる構成により、厚さの薄いハウジング
でも凸部の突入寸法を所定の大きさに確保することがで
きるし、ハウジングの厚さの薄くすることができて、変
位センサの小径化に寄与することができる。
【0026】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、ハウジング側に第
1、第2の固定側ストッパー部を設け、可動部に第1、
第2に可動側ストッパー部を設け、復帰ばね部材による
可動部の引っ張り限界を、回転止め部材と回転止め用孔
部の前端部との間に隙間を持たせた状態で、第1の可動
側ストッパー部を第1の固定側ストッパー部に衝合させ
て構成し、可動部の押込みによる押込み限界を、回転止
め部材と回転止め用孔部の後端部との間に隙間を持たせ
た状態で、第2の可動側ストッパー部を第2の固定側ス
トッパー部に衝合させて構成するものである。
【0027】そして、リニヤブッシュの外筒体に第1の
固定側ストッパー部を設け、ハウジングに固定された回
転防止部材に第1の固定側ストッパー部を設け、可動シ
ャフトにコアシャフトを設けて、このコアシャフトに第
1、第2の可動側ストッパー部を設けることが好まし
い。
【0028】かかる構成により、復帰ばね部材による可
動部の引っ張り限界及び可動部の押込みによる押込み限
界のそれぞれにおいても、回転止め部材が回転止め用孔
部の端部(前、後端部)に衝合しないために、回転止め
部材の変形を防止することができるし、また、回転止め
部材が変形しないために、差動トランスにおけるコア部
材の位置ずれを無くすことができる。
【0029】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、コアシャフトと回
転防止部材とのそれぞればね受部を設け、これらのばね
受部間に復帰ばね部材を介在させ、この復帰ばね部材を
円錐コイルばねで構成すると共に、コアシャフトに円錐
コイルばねとの干渉を避けるテーパ部を設けたものであ
る。
【0030】かかる構成により、変位センサを小形化し
ても、この円錐コイルばねが周囲の部品に干渉すること
が少なくなるために、可動部の操作力を軽減することが
できるし、また、変位センサの小形化に寄与することが
できる。
【0031】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、可動シャフトと測
定子保持部材とを別部品にし、リニヤブッシュの外筒体
に、後側ブーツ嵌合保持部を有するエンドキャップを設
け、測定子保持部材に先側ブーツ嵌合保持部を設け、先
側ブーツ嵌合保持部にゴムブーツの先側部を嵌合して測
定子保持部材をゴムブーツに取付け、測定子保持部材を
可動シャフトの先端部に結合すると共に、ゴムブーツの
後側部を後側ブーツ嵌合保持部に嵌合するようにしたも
のである。
【0032】かかる構成により、ゴムブーツの内部の損
傷を防止することができ、しかも、リニヤブッシュの外
筒体にエンドキャップを設けたことにより、ゴムブーツ
の締めしろを確保することができるために、安定した防
水性を確保することができる。
【0033】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、エンドキャップの
外周部に防水リング嵌合用溝部を設け、防水リング嵌合
用溝部に防水リングを設け、リニヤブッシュの外筒体の
前記ハウジングへの嵌合固着時に防水リングをハウジン
グの内周面に接触させたものである。
【0034】かかる構成により、安定した防水性を確保
することができる。
【0035】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、ケーブルにケーブ
ルキャップを合成樹脂で一体成形し、ケーブルキャップ
をハウジングの後端側に嵌合してケーブルをハウジング
の後端側より引き出すようにしたものである。
【0036】ここで、ケーブルにケーブルキャップを合
成樹脂で一体成形するとは、例えば、ケーブルキャップ
にケーブルと同様なポリエステルエラストマを採用して
一体成形することである。
【0037】かかる構成により、ケーブル保持部が別部
品でなくなるために、部品点数を低減することができ
て、コストを低減することができるし、また、強固で且
つ安定したケーブル引き出し精度を得ることができ、さ
らに、ケーブルの屈曲性を向上させることができる。
【0038】また、本発明に係る変位センサは、上記し
た本発明に係る変位センサにおいて、ケーブルキャップ
の外周部に接着剤溜り用溝部を設けると共に、この接着
溜り用溝部内にシール用突起部を設け、接着剤溜り用溝
部に接着剤を充填し、ケーブルキャップのハウジングへ
の嵌合固着時にシール用突起部をハウジングの内周面に
接触させ、接着剤溜り用溝部に接着剤を封止するように
したものである。
【0039】かかる構成により、安定した防水性を確保
することができる。
【0040】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。
【0041】図1は本発明に係る変位センサの分解状態
の斜視図、図2は同変位センサの縦断面図、図3は同変
位センサの先部分の断面図、図4は同変位センサの中間
部分の断面図、図5は同変位センサにおけるコアシャフ
トの側面図、図6は同変位センサの後部分の断面図であ
る。
【0042】本発明に係る変位センサ(実施の形態)
は、ステンレス製で管状のハウジング1を有しており、
このハウジング1の周面部1Aには、その中間部に位置
させてハウジング1の中心側に突出するハウジング側回
転止め部2が周方向に所定の間隔を置いて複数個形成し
てある。これらのハウジング側回転止め部2は、図9の
(1)に示すようにハウジング1の中心側に突入する凸
部3で構成してある。
【0043】これらの凸部3の形成は、ポンチとダイ
(いずれも図示せず)を用いて打込み加工により、図9
の(2)に示すようにハウジング1の中心側に突入させ
てあるが、凸部3の突入寸法をx、ハウジング1の厚さ
寸法をtとした場合、 x<t/2 にしないと、ハウジング1にクラックCが発生する。
【0044】このために、図9の(1)に示すようにt
よりも厚いハウジング1に、打込み加工により、突入寸
法がxの凸部3を形成した後に、ハウジング1の外周部
をセンタレス研磨加工により研磨してハウジング1の厚
さ寸法をtにすることで、これらの凸部3の突入寸法x
を確保している。この場合、センタレス研磨加工により
ハウジング1の外周部の凹部3−1を無くすことが可能
になって、変位センサの外観を向上させることができ
る。そして、凸部3の前面部が衝合部3Aにしてある。
【0045】そして、図2および図6に示すようにハウ
ジング1の後端部には、このケーブル46に一体成形さ
れたケーブルキャップ74が嵌合固着してある。すなわ
ち、ケーブルキャップ74にポリエステルエラストマを
採用し、ケーブル46に一体成形してある。この場合、
ケーブルキャップ74の外周部には、周方向に接着剤溜
り用溝部76が形成してあり、この接着剤溜り用溝部7
6の底部には周方向にシール用突起部77が形成してあ
る。
【0046】ケーブルキャップ74はハウジング1の後
部に嵌合されて取付けられるのであるが、この場合、図
6に示すように接着剤溜り用溝部76に接着剤Fを充填
した状態で嵌合が行われており、ハウジング1の後端部
の内周面部にシール用突起部77が接していて、接着剤
溜り用溝部76に接着剤Fを閉じ込めている。このため
に、安定してシール性を確保して防水機能を高めてお
り、また、引っ張り強度が確保されている。
【0047】また、ハウジング1内には、図2に示すよ
うに、その前部から後部にかけて、リニヤブッシュ4
と、回転防止部材(ストッパー)5と、差動トランス6
のコイル側(ボビン組立体)6Aと、ケーブルスペーサ
42と、ボビン支持ばね44とがこの順序に設けてあ
る。
【0048】上記したリニヤブッシュ4は、図2及び図
7に示すように、外筒体7内に、周部に多数のボール8
を回転可能に保持した筒状の可動部担持体であるボール
ガイド9を収容して構成してある。そして、外筒体7は
筒状の部材本体7Aを有しており、この部材本体7Aの
外周部の中間部には、他の部分より一段低いチューブ装
着部10が形成してある。そして、部材本体7Aには、
チューブ装着部10の中央部に位置させて回転止め用孔
部である外筒体側回転止め用孔部11が形成してある。
【0049】この外筒体側回転止め用孔部11は、図1
1に示すように外筒体7の軸線方向イに長い長方形であ
って、外筒体側回転止め用孔部11の前、後端部11
a、11bは軸線方向イに対して直角であり、外筒体側
回転止め用孔部11の4隅の角部のアール(R)は小さ
くしてある。
【0050】外筒体側回転止め用孔部11の前、後端部
が、図12の(1)に示すように半円形もしくは図12
の(2)に示すように半楕円形であると、後述する回転
止めピン51Aが外筒体側回転止め用孔部11の前、後
端部に喰い込み引っ掛かるという不具合があり、この不
具合を解消している。
【0051】また、外筒体7の内周部の後部には、第1
の固定側ストッパー部であるリング状の外筒体側ストッ
パー部7Bが設けてある。また、外筒体7の先側にはエ
ンドキャップ12が圧入により固着してあり、このエン
ドキャップ12にはシール嵌合溝13が形成してあり、
また、エンドキャップ12の先側には後側ブーツ嵌合保
持部14が設けてある。
【0052】また、ボールガイド9には、リニヤブッシ
ュ4を組立てた場合に、外筒体7の外筒体側回転止め用
孔部11に対応する回転止め用孔部であるボールガイド
側回転止め用孔部15が設けてあり、このボールガイド
側回転止め用孔部15は外筒体側回転止め用孔部11と
同構成である。
【0053】また、回転防止部材5は、図2及び図4に
示すように筒状の部材本体5Aを備えており、この部材
本体5Aの後部には部材本体5Aより小径な圧入部16
が形成してあり、部材本体5Aと圧入部16との渡り部
17の内面側がばね受部18になされており、このばね
受部18には、第1の固定側ストッパー部であるストッ
パー部18Aが設けてある。また、部材本体5Aの外周
部には、その後部に位置させて平坦面部19が周方向に
所定の間隔をおいて複数形成してあり、これらの平坦面
部19の前端には立壁状の衝合部20が形成してあっ
て、部材側回転止め部21が構成してある。
【0054】そして、回転防止部材5がハウジング1内
に挿入された状態では、ハウジング側回転止め部2の凸
部3が部材側回転止め部21の平坦部19に位置し、衝
合部3A、20が互いに衝合していて、回転防止部材5
の位置決めと、その回転が防止される。
【0055】差動トランス6のコイル側6Aはボビン2
4を有しており、このボビン24の前端部には前側シー
ルド嵌合部25が、後端部には後側シールド嵌合部26
とこの後側シールド嵌合部26より大径なハウジング当
接部27とが形成してあり、この後側シールド嵌合部2
6とハウジング当接部27とに溝状のコイル線導出部2
8が2か所形成してある。また、ボビン24の中間部に
は仕切り部29が設けてあり、ボビン24の仕切り部2
9を挟んだ前後に互いに結線した第1、第2のコイル3
0、31が設けてある。
【0056】そして、ボビン24には筒状のシールド部
材32が被せてある。すなわち、シールド部材32は、
その前端部を前側シールド嵌合部25に被せ、後端部を
後側シールド嵌合部26にそれぞれ被せて第1、第2の
コイル30、31を覆い、ボビン24に取り付けてあ
る。
【0057】また、シールド部材32には、熱収縮性合
成樹脂フイルム(例えば、ポリイミドフイルム)製のボ
ビンチューブ33が被せてある。また、ボビン24の後
端部には第1、第2のコイル30、31の結線部及びコ
イル端末の端子(いずれも図示せず)に接続された第
1、第2、第3の端子ピン38、39、40が後方に向
かって突出している。
【0058】このように、ボビン24に第1、第2のコ
イル30、31を設け、ボビン24に第1、第2のコイ
ル30、31を覆うようにして筒状のシールド部材32
を被せ、さらに、シールド部材32に、熱収縮性合成樹
脂フイルム製のボビンチューブ33を被せて、差動トラ
ンス6のコイル側6Aが構成してあり、このように構成
された差動トランス6のコイル側6Aがハウジング1内
に収納固定された状態では、この差動トランス6のコイ
ル側6Aとハウジング1とは同軸性を確保することがで
きる。
【0059】そして、差動トランス6のコイル側6Aが
ハウジング1内に収納固定された状態では、ボビン24
の前側シールド嵌合部25に回転防止部材5の圧入部1
6が圧入してあり、ボビン24の後端部のハウジング当
接部41の後面にケーブルスペーサ42の前端部が衝合
しており、このケーブルスペーサ42の後端部とケーブ
ルキャップ74の先端部のばね受部43との間にボビン
支持ばね44が圧縮状態で介装してあり、このボビン支
持ばね44の付勢力はケーブルスペーサ42を介してボ
ビン24を回転防止部材5に押し付けている。
【0060】したがって、温度変化による内部部品(回
転防止部材5、ボビン24、ケーブルスペーサ42)の
寸法伸縮はボビン支持ばね44が吸収し、内部部品間に
隙間ができない。このために、温度係数が向上し、繰り
返し精度が向上するようになる。
【0061】そして、ボビン24に設けた第1、第2の
コイル30、31及びシールド部材32はフレキシブル
基板45の配線パターンを介してケーブル46に接続し
てある。そして、フレキシブル基板45はケーブルスペ
ーサ42の内方に位置している。
【0062】また、ハウジング1内には、復帰ばねであ
る円錐コイルばね48と、コア部材53を備えた可動部
50が挿入してある。すなわち、この可動部50は、図
2及び図4に示すように可動シャフト51と、この可動
シャフト51の後端部にねじ結合されたコアシャフト5
2とを有しており、コアシャフト52の後部にはコア部
材53が取り付けてある。
【0063】可動シャフト51の前端部には雌ねじ部6
0が、後端部には雌ねじ部78がそれぞれ形成してあ
り、また、可動シャフト51の中間部には、半径方向に
挿入係止部であるピン嵌合孔部79が形成してある。
【0064】コアシャフト52は、図4及び図5に示す
ように、このシャフト本体52Aに、その先側から後方
に向かって、雄ねじ部54、第1の可動側ストッパー部
である鍔状のストッパー部55、ばね受部56、テーパ
部57、第2の可動側ストッパー部であるストッパー部
58及びコア部材保持部59を形成して構成してある。
そして、コア部材保持部59にコア部材53が保持され
ている。
【0065】また、測定子保持部材61は、図2、図3
及び図8に示すように、部材本体61Aに、その先側か
ら後方に向かって、測定子取付ねじ部62、測定子固定
用ストッパ部63、後側ブーツ嵌合保持部64及び結合
用ねじ部65を形成して構成してある。
【0066】ゴムブーツ66は、図2、図3及び図8に
示すように、筒状のブーツ本体66Aの先側に先側被嵌
合部(シール部)67を、後部内側に後側被嵌合部(シ
ール部)68をそれぞれ形成して構成してある。
【0067】また、測定子70は、図2、図3及び図8
に示すように、ボール状の接触子71と、この接触子7
1を回転可能に保持したボールホルダ72とを備えてお
り、ボールホルダ72には雌ねじ部73が形成してあ
る。
【0068】そして、リニヤブッシュ4の組立は、外筒
体7内に、周部に多数のボール8を回転可能に保持した
ボールガイド9を収容し、外筒体側回転止め用孔部11
側からボールガイド側回転止め用孔部15を介して可動
シャフト51のピン嵌合孔部79に回転止め部材である
回転止めピン51Aを挿入係止し、外筒体7のチューブ
装着部10に熱収縮性合成樹脂フイルム製のボビンチュ
ーブ10Aを被せて、熱収縮させることで外筒体側回転
止め用孔部11を塞いで行われる。
【0069】そして、リニヤブッシュ4はハウジング1
に嵌合した際に、その外筒体7が接着剤でハウジング1
に接着される。そして、外筒体側回転止め用孔部11と
ボールガイド側回転止め用孔部15と回転止めピン51
Aとピン嵌合孔部79とで可動部回転阻止手段が構成さ
れる。また、可動部50の組立は可動シャフト51の後
端部の雌ねじ部78にコアシャフト52の雄ねじ部54
を螺合して行われる。
【0070】そして、エンドキャップ12の外周部の防
水リング嵌合用溝部13に防水リング(Oリング)13
Aを設けて、リニヤブッシュ4をハウジング1に嵌合し
て固着してあり、この場合に、防水リング13Aがハウ
ジング1の内周面に接触していて、安定した防水性が確
保される。そして、可動シャフト51は、リニヤブッシ
ュ4によりハウジング1に対して、その軸方向に移動可
能に保持されている。また、コアシャフト52の後部は
回転防止部材5の後端部(圧入部16)を貫通してい
て、コアシャフト52に設けられたコア部材53はボビ
ン24内に挿入してあり、このコア部材53と上記した
差動トランス6のコイル側6Aとで差動トランス6を構
成している。
【0071】また、ハウジング側回転止め部2の衝合部
3Aを部材側回転止め部21の衝合部20に衝合させて
回転防止部材5をハウジング1に対して位置決めし、ハ
ウジング1の凸部3を回転防止部材5の周部の平坦部1
9に位置させることで、この回転防止部材5の回転を阻
止している。
【0072】円錐コイルばね48は、その先端部をコア
シャフト52に設けたばね受部56に、後端部を回転防
止部材5のばね受部18にそれぞれ接していて、その付
勢力により可動部50を前方に押していて、可動シャフ
ト51の前部をハウジング1の先端部より前方に突出さ
せている。
【0073】そして、可動部50とゴムブーツ66及び
測定子70の組立は、図8において、矢印(1)に示す
ように、測定子保持部材61の先側ブーツ嵌合保持部6
4にゴムブーツの先側被嵌合部67を嵌合して測定子保
持部材61をゴムブーツ66に取付け、次に、矢印
(2)に示すように、測定子保持部材61の結合用ねじ
部65を可動シャフト51の先端部の雌ねじ部60に螺
合すると共に、ゴムブーツ後側被嵌合部68を外筒体7
の先側のエンドキャップ12の後側ブーツ嵌合保持部1
4に嵌合し、測定子保持部材61の測定子取付ねじ部6
2に測定子70の雌ねじ部73を螺合することで行われ
る。
【0074】次に、上記のように構成された変位センサ
の作動を説明する。
【0075】変位センサを所定位置にセットして、移動
体(図示せず)が変位せず、この移動体が変位センサの
接触子71に干渉しない状態(引っ張り限界位置)で
は、図15の(1)に示すように円錐コイルばね48の
付勢力により可動部50が前方に押し出されて、コアシ
ャフト52に設けたストッパー部55が外筒体7の内周
部に設けた外筒体側ストッパー部7Bに衝合している。
この場合、回転止めピン51Aは外筒体側回転止め用孔
部11の前縁部11a及びボールガイド側回転止め用孔
部15の前縁部15aには当たらない。
【0076】このために、回転止めピン51Aの変形が
防止できるし、この回転止めピン51Aが変形しないた
めに、差動トランス6のコア部材53の位置ずれがなく
なり、検出精度を向上できる。
【0077】そして、変位センサに交流電流を供給する
と、第1、第2のコイル30、31には電磁誘導により
電流が流れる。コア部材53が第1、第2のコイル3
0、31に等しく跨がっている(中心にある)ときは、
第1、第2のコイル30、31に発生する電圧の絶対値
は等しくなる。
【0078】移動体が変位して変位センサの接触子71
に干渉し、図15の(2)に示すように可動部50を円
錐コイルばね48に抗して押し込むと、可動部50に保
持されたコア部材53が差動トランス6のボビン24内
を、その中心より後方に移動して第2のコイル31側に
多く挿入される。したがって、第2のコイル31に誘導
される電圧の方が高くなり、コア部材53の移動量に比
例して出力電圧は変化する。この出力電圧の変化量を検
出して移動体の変位を検出する。
【0079】この場合、押込み限界位置では、コアシャ
フト52に設けたストッパー部58が回転防止部材5の
ばね受部18に設けたストッパー部18Aに衝合する。
この場合、回転止めピン51Aは外筒体側回転止め用孔
部11の後縁部11b及びボールガイド側回転止め用孔
部15の後縁部15bには当たらない。
【0080】このために、回転止めピン51Aの変形が
防止できるし、この回転止めピン51Aが変形しないた
めに、差動トランス6のコア部材53の位置ずれがなく
なり、検出精度を向上できる。
【0081】上記した本発明の実施の形態によれば、リ
ニヤブッシュ4の外筒体7とボールガイド9とのそれぞ
れに回転止め用孔部(外筒体側回転止め用孔部11、ボ
ールガイド側回転止め用孔部15)を設け、可動シャフ
ト51に回転止めピン51Aの嵌合用のピン嵌合孔部7
9を設けて、この回転止めピン51Aを、回転止め用孔
部(外筒体側回転止め用孔部11、ボールガイド側回転
止め用孔部15)に可動部50の移動方向に移動可能に
挿入し、且つ回転止めピン51Aをピン嵌合孔部79に
挿入して可動部回転阻止手段を構成するようにしたの
で、可動部回転阻止手段を、変位センサの本体内部に内
蔵させることができて、半径方向のクリアランスを抑え
て変位センサの小径化が可能になるし、また、短胴化が
可能になり、また、可動シャフト51の強度確保がで
き、また、可動シャフト51の加工容易化が可能にな
る。
【0082】そして、リニヤブッシュ4における回転止
め用孔部(外筒体側回転止め用孔部11、ボールガイド
側回転止め用孔部15)が、可動部50の移動方向に長
い長方形状であることにより、回転止めピン51Aが回
転止め用孔部(外筒体側回転止め用孔部11、ボールガ
イド側回転止め用孔部15)に引っ掛かることがなく、
可動部50の移動を円滑に行うことができる。
【0083】そして、外筒体側回転止め用孔部11を熱
収縮チューブ10Aで封止するようにしたことにより、
リニヤブッシュ4をハウジング1に嵌合して接着剤で接
着する場合に、接着剤が回転止め用孔部(外筒体側回転
止め用孔部11、ボールガイド側回転止め用孔部15)
に進入することを防止することができる。
【0084】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、円錐コイルばね47による可動部50の引っ張り限
界及び可動部50の押込みによる押込み限界のそれぞれ
においても、回転止めピン51Aと回転止め用孔部(外
筒体側回転止め用孔部11、ボールガイド側回転止め用
孔部15)の前、後端部11a、15a,11b、15
bに衝合しないために、回転止めピン51Aの変形を防
止することができるし、また、回転止めピン51Aが変
形しないために、差動トランス6におけるコア部材53
の位置ずれを無くすことができる。
【0085】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、コアシャフト52と回転防止部材5とのそれぞれに
ばね受部56、18を設け、これらのばね受部56、1
8間に円錐コイルばね47を介在させ、コアシャフト5
2に円錐コイルばね47との干渉を避けるテーパ部57
を設けたことにより、変位センサを小形化しても、この
円錐コイルばね47が周囲の部品に干渉することが少な
くなるために、可動部50の操作力を軽減することがで
きるし、また、変位センサの小形化に寄与できる。
【0086】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、可動シャフト51と測定子保持部材61とを別部品
にし、リニヤブッシュ4の外筒体7に、後側ブーツ嵌合
保持部14を有するエンドキャップ12を設け、測定子
保持部材61に先側ブーツ嵌合保持部64を設け、先側
ブーツ嵌合保持部64にゴムブーツ66の先側部を嵌合
して測定子保持部材61をゴムブーツ66に取付け、測
定子保持部材61を可動シャフト51の先端部に結合す
ると共に、ゴムブーツ66の後側部を後側ブーツ嵌合保
持部14に嵌合するようにしたことにより、ゴムブーツ
66の内部の損傷を防止することができる。
【0087】したがって、図20に示す従来の変位セン
サのように、組立において、ゴムブーツ123を測定子
124側から可動シャフト125に嵌める場合、この可
動シャフト125の雄ねじ部126でゴムブーツ123
のシール部123aの内面(シール面)が傷付き、安定
したシール性の確保が困難であるという不具合が解消で
きる。
【0088】しかも、図13に示すように、リニヤブッ
シュ4の外筒体7にエンドキャップ12を設けたことに
より、このエンドキャップ12に後側ブーツ嵌合保持部
14を設けることができ、この後側ブーツ嵌合保持部1
4で、ゴムブーツ66の後側部の後側被嵌合部(シール
部)68を嵌合保持し得て、この後側被嵌合部(シール
部)68の板厚の確保が可能になる。したがって、ゴム
ブーツ66の後側部のシール部66aの締めしろdを確
保することができるために、安定した防水性を確保する
ことができる。
【0089】従来では、図14に示すように、ハウジン
グ1に後側ブーツ嵌合保持部14−1を設けており、こ
のために、ゴムブーツ66の後側部の後側被嵌合部66
aの締めしろd´が小さくなり、防水が不完全なものに
なっていた。
【0090】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、エンドキャップ12の外周部に防水リング嵌合用溝
部13を設け、防水リング嵌合用溝部13に防水リング
13Aを設け、リニヤブッシュ4のハウジング1への嵌
合固着時に防水リング13Aをハウジング1の内周面に
接触させたことにより、安定した防水性を確保すること
ができる。
【0091】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、ケーブル46にケーブルキャップ47を合成樹脂で
一体成形し、ケーブルキャップ47をハウジング1の後
端側に嵌合してケーブル46をハウジング1の後端側よ
り引き出すようにしたことにより、ケーブルキャップ4
7が別部品でなくなるために、部品点数を低減すること
ができて、コストを低減することができるし、また、強
固で且つ安定したケーブル引き出し精度を得ることがで
き、さらに、ケーブル46の屈曲性を向上させることが
できる。
【0092】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、ケーブルキャップ47の外周部に接着剤溜り用溝部
76を設けると共に、この接着溜り用溝部76内にシー
ル用突起部77を設け、接着剤溜り用溝部76に接着剤
Fを充填し、ケーブルキャップ47のハウジング1への
嵌合固着時にシール用突起部77をハウジング1の内周
面に接触させ、接着剤溜り用溝部76に接着剤Fを封止
するようにしたことにより、安定した防水性を確保する
ことができる。
【0093】また、上記した本発明の実施の形態によれ
ば、ハウジング側回転止め部2を、ハウジング1の中心
側に突入する凸部3にハウジング1の軸線に対して直交
する方向の衝合部3Aを形成して構成し、部材側回転止
め部21を、回転防止部材5の外面部に平坦部19を形
成して、この平坦部19の端部にハウジング1の軸線に
対して直交する方向の衝合部20を形成して構成し、回
転防止部材5をハウジング1内に挿入した状態で、平坦
部19に凸部3を位置させて衝合部3A、20を互いに
衝合させて回転防止部材5の位置決めを行い、回転を防
止することができる。
【0094】そして、凸部3の形成を、ハウジング1を
打込み加工することにより行い、凸部3を形成後に、ハ
ウジング1の外周部をセンタレス研磨加工により研磨し
てハウジング1の厚さを薄くし、凸部3の突入寸法を所
定の大きさに確保することができて、変位センサの小径
化に寄与することができる。
【0095】
【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る変位
センサによれば、可動部回転阻止手段を、変位センサの
本体内部に内蔵させることができて、半径方向のクリア
ランスを抑えて変位センサの小径化が可能になるし、ま
た、短胴化が可能になり、また、可動シャフトの強度確
保ができ、また、可動シャフトの加工容易化が可能にな
る。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る変位センサの分解状態の斜視図で
ある。
【図2】同変位センサの縦断面図である。
【図3】同変位センサの先部分の断面図である。
【図4】同変位センサの中間部分の断面図である。
【図5】同変位センサにおけるコアシャフトの側面図で
ある。
【図6】同変位センサの後部分の断面図である。
【図7】同変位センサにおける可動部回転阻止手段の分
解状態の斜視図である。
【図8】同変位センサにおけるゴムブーツ組立説明のた
めの斜視図である。
【図9】同変位センサにおけるハウジング側回転止め部
の断面図である。
【図10】従来技術としてのハウジング側回転止め部の
断面図である。
【図11】本発明に係る変位センサにおける回転止め用
孔部の平面図である。
【図12】(1)は従来技術としての回転止め用孔部の
平面図である。(2)は他の従来技術としての回転止め
用孔部の平面図である。
【図13】本発明に係る変位センサにおけるゴムブーツ
のシール部の組立説明のための断面図である。
【図14】従来技術としてのゴムブーツのシール部の組
立説明のための断面図である。
【図15】(1)は本発明に係る変位センサにおける可
動部の引っ張り限界の説明図である。(2)は本発明に
係る変位センサにおける可動部の押込み限界の説明図で
ある。
【図16】従来の変位センサの分解状態の斜視図であ
る。
【図17】(1)は従来の他の変位センサの分解状態の
斜視図である。(2)は同変位センサの縦断面図であ
る。
【図18】従来の変位センサのケーブル部分のシール構
造の断面図である。
【図19】従来の変位センサのハウジングとリニヤブッ
シュとの結合部分のシール構造の斜視図である。
【図20】従来の変位センサにおけるゴムブーツ組立説
明のための斜視図である。
【符号の説明】
1 ハウジング 1A 周面部 2 ハウジング側回転止め部 3 凸部 3−1 凹部 3A 衝合部 4 リニアブッシュ 5 回転防止部材(ストッパー) 6 差動トランス 6A コイル側(ボビン組立体) 7 外筒体 7A 部材本体 7B 外筒体側ストッパー部(第1の固定側ストッ
パー部) 8 ボール 9 ボールガイド(可動部担持体) 10 チューブ装着部 11 外筒体側回転止め用孔部(回転止め用孔部) 11a 前端部 11b 後端部 12 エンドキャップ 13 シール嵌合溝 13A 防水リング(Oリング) 14 後側ブーツ嵌合保持部 15 ボールガイド側回転止め用孔部(回転止め用
孔部) 16 圧入部 17 渡り部 18 ばね受け部 18A ストッパー部(第2の固定側ストッパー部) 19 平坦面部 20 衝合部 21 部材側回転止め部 24 ボビン 25 前側シールド嵌合部 26 後側シールド嵌合部 27 ハウジング当接部 28 コイル線導出部 29 仕切り部 30 第1のコイル 31 第2のコイル 32 シールド部材 33 ボビンチューブ 38 第1の端子ピン 39 第2の端子ピン 40 第3の端子ピン 41 ハウジング当接部 42 ケーブルスペーサ 43 ばね受部 44 ボビン支持ばね 45 フレキシブル基板 46 ケーブル 48 円錐コイルばね(復帰ばね部材) 50 可動部 51 可動シャフト 51A 回転止めピン 52 コアシャフト 53 コア部材 54 雄ねじ部 55 ストッパー部(第1の可動側ストッパー部) 56 ばね受部 57 テーパ部 58 ストッパー部(第2の可動側ストッパー部) 59 コア部材保持部 60 雌ねじ部 61 測定子保持部材 62 測定子取付ねじ部 63 測定子固定用ストッパー部6 64 先側ブーツ嵌合保持部 65 結合用ねじ部 66 ゴムブーツ 67 先側被嵌合部(シール部) 68 後側被嵌合部(シール部) 70 測定子 71 接触子 72 ボールホルダ 73 雌ねじ部 74 ケーブルキャップ 76 接着剤溜り用溝部 77 シール用突起部 78 雌ねじ部 79 ピン嵌合孔部(挿入係止部) F 接着剤

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ハウジング内に、外筒体とこの外筒体の
    軸線方向に移動可能な可動部担持体とを有するリニヤブ
    ッシュを設けると共に、差動トランスのコア部材を保持
    する可動シャフトを有する可動部を、前記リニヤブッシ
    ュを介して前記ハウジングの軸線方向に移動可能に設
    け、前記可動シャフトの先端側に接触子を設け、前記可
    動部を復帰ばね部材で外方に付勢し、且つ前記可動部の
    回転を可動部回転阻止手段で阻止するようにした変位セ
    ンサであって、 前記リニヤブッシュの前記外筒体と前記可動部担持体と
    のそれぞれに回転止め用孔部を設け、前記可動シャフト
    に回転止め部材の挿入係止部を設け、この回転止め部材
    を前記回転止め用孔部に前記可動部の移動方向に移動可
    能に挿入し、且つ前記回転止め部材を前記挿入係止部に
    挿入係止して前記可動部回転阻止手段を構成するように
    したことを特徴とする変位センサ。
  2. 【請求項2】 前記外筒体と前記可動部担持体とのそれ
    ぞれの前記回転止め用孔部が、前記可動部の移動方向に
    長い長方形状である請求項1に記載の変位センサ。
  3. 【請求項3】 前記外筒体の前記回転止め用孔部を熱収
    縮チューブで封止するようにした請求項1又は請求項2
    に記載の変位センサ。
  4. 【請求項4】 前記ハウジングに、この中心側に突入す
    る凸部を設け、この凸部に前記ハウジングの軸線に対し
    て直交する方向の衝合部を形成し、 前記ハウジングに回転防止部材を設け、この回転防止部
    材の外面部に平坦部を形成して、この平坦部の端部に前
    記ハウジングの軸線に対して直交する方向の衝合部を形
    成し、 前記平坦部に前記凸部を位置させると共に、前記衝合部
    を互いに衝合させて前記回転防止部材の位置決めと回転
    防止を行うようにした請求項1乃至請求項3のいずれか
    に記載の変位センサ。
  5. 【請求項5】 前記凸部の形成を、前記ハウジングを打
    込み加工することにより行い、前記ハウジングの外周部
    をセンタレス研磨加工により研磨してハウジングの厚さ
    を薄くし、前記凸部の突入寸法を所定の大きさに確保す
    るようにした請求項4に記載の変位センサ。
  6. 【請求項6】 前記ハウジング側に第1、第2の固定側
    ストッパー部を設け、前記可動部に第1、第2の可動側
    ストッパー部を設け、 前記復帰ばね部材による前記可動部の引っ張り限界を、
    前記回転止め部材と前記回転止め用孔部の前端部との間
    に隙間を持たせた状態で、前記第1の可動側ストッパー
    部を前記第1の固定側ストッパー部に衝合させて構成
    し、 前記可動部の押込みによる押込み限界を、前記回転止め
    部材と前記回転止め用孔部の後端部との間に隙間を持た
    せた状態で、前記第2の可動側ストッパー部を前記第2
    の固定側ストッパー部に衝合させて構成するようにした
    請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の変位センサ。
  7. 【請求項7】 前記リニヤブッシュの前記外筒体に前記
    第1の固定側ストッパー部を設け、前記回転防止部材に
    前記第2の固定側ストッパー部を設け、前記可動シャフ
    トにコアシャフトを設けて、このコアシャフトに前記第
    1、第2の可動側ストッパー部を設けた請求項6に記載
    の変位センサ。
  8. 【請求項8】 前記コアシャフトと前記回転防止部材と
    のそれぞれにばね受部を設け、これらのばね受部間に前
    記復帰ばね部材を介在させ、この復帰ばね部材を円錐コ
    イルばねで構成すると共に、前記コアシャフトに前記円
    錐コイルばねとの干渉を避けるテーパ部を設けた請求項
    7に記載の変位センサ。
  9. 【請求項9】 前記可動シャフトと前記測定子を保持す
    る測定子保持部材とを別部品にし、前記リニヤブッシュ
    の前記外筒体に、後側ブーツ嵌合保持部を有するエンド
    キャップを設け、前記測定子保持部材に先側ブーツ嵌合
    保持部を設け、前記先側ブーツ嵌合保持部にゴムブーツ
    の先側部を嵌合して前記測定子保持部材を前記ゴムブー
    ツに取付け、前記測定子保持部材を前記可動シャフトの
    先端部に結合すると共に、前記ゴムブーツの後側部を前
    記後側ブーツ嵌合保持部に嵌合するようにした請求項1
    乃至請求項8のいずれかに記載の変位センサ。
  10. 【請求項10】 前記エンドキャップの外周部に防水リ
    ング嵌合用溝部を設け、前記防水リング嵌合用溝部に防
    水リングを設け、前記リニヤブッシュの前記外筒体の前
    記ハウジングへの嵌合固着時に前記防水リングを前記ハ
    ウジングの内周面に接触させた請求項9に記載の変位セ
    ンサ。
  11. 【請求項11】 前記差動トランスのコイル側に接続さ
    れたケーブルにケーブルキャップを合成樹脂で一体成形
    し、前記ケーブルキャップを前記ハウジングの後端側に
    嵌合して前記ケーブルを前記ハウジングの後端側より引
    き出すようにした請求項1乃至請求項10のいずれかに
    記載の変位センサ。
  12. 【請求項12】 前記ケーブルキャップの外周部に接着
    剤溜り用溝部を設けると共に、この接着溜り用溝部内に
    シール用突起部を設け、前記接着剤溜り用溝部に接着剤
    を充填し、前記ケーブルキャップの前記ハウジングへの
    嵌合固着時に前記シール用突起部を前記ハウジングの内
    周面に接触させ、前記接着剤溜り用溝部に前記接着剤を
    封止するようにした請求項11に記載の変位センサ。
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