JP2002357346A - クリーンルーム - Google Patents
クリーンルームInfo
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- JP2002357346A JP2002357346A JP2001163214A JP2001163214A JP2002357346A JP 2002357346 A JP2002357346 A JP 2002357346A JP 2001163214 A JP2001163214 A JP 2001163214A JP 2001163214 A JP2001163214 A JP 2001163214A JP 2002357346 A JP2002357346 A JP 2002357346A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 クリーンクラス１０００以下、１００００以
下または１０００００以下程度のクリーンルームにおい
て、省エネルギーかつ低ランニングコストを実現するク
リーンルームを得る。 【解決手段】 クリーンルームにおいて、クリーン度の
上限を設定し、クリーン度のオンライン測定データに基
づいて空調機の送風量を自動制御することにより、前記
上限設定範囲内にクリーン度を制御する。
下または１０００００以下程度のクリーンルームにおい
て、省エネルギーかつ低ランニングコストを実現するク
リーンルームを得る。 【解決手段】 クリーンルームにおいて、クリーン度の
上限を設定し、クリーン度のオンライン測定データに基
づいて空調機の送風量を自動制御することにより、前記
上限設定範囲内にクリーン度を制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明はクリーンルームに関
し、詳しくは省エネルギー、または低コストでクリーン
クラス１０００以下、１００００以下または１００００
０以下程度に調整されたクリーンルームに関する。この
クリーンルームは電子写真感光体の製造分野をはじめ、
食品製造分野、半導体製造分野、医薬品製造分野等のク
リーン環境を要する分野に応用し得る。
し、詳しくは省エネルギー、または低コストでクリーン
クラス１０００以下、１００００以下または１００００
０以下程度に調整されたクリーンルームに関する。この
クリーンルームは電子写真感光体の製造分野をはじめ、
食品製造分野、半導体製造分野、医薬品製造分野等のク
リーン環境を要する分野に応用し得る。
【０００２】
【従来の技術】クリーンルームは一般的に清浄度の上限
でクリーンクラスいくつ以下のように設計されている
が、オンラインで管理されることはなく、安全側の設計
値よりかなり低いところで運転されている。例えば半導
体製造工場のようなスーパークリーンを必要とする部門
ではそれで良いが、クリーンクラス１０００以下、１０
０００以下または１０００００以下程度のクリーンルー
ムではこのような安全側管理はエネルギーの無駄遣いで
あり、かつコストアップでもある。
でクリーンクラスいくつ以下のように設計されている
が、オンラインで管理されることはなく、安全側の設計
値よりかなり低いところで運転されている。例えば半導
体製造工場のようなスーパークリーンを必要とする部門
ではそれで良いが、クリーンクラス１０００以下、１０
０００以下または１０００００以下程度のクリーンルー
ムではこのような安全側管理はエネルギーの無駄遣いで
あり、かつコストアップでもある。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】電子写真感光体を製造
するクリーンルームは上述のクリーンクラス１０００以
下、１００００以下または１０００００以下程度であ
る。そこで本発明はクリーンクラス１０００以下、１０
０００以下または１０００００以下程度のクリーンルー
ムにおいて、省エネルギー、かつ低ランニングコストを
実現するクリーンルームを提供することを目的とする。
するクリーンルームは上述のクリーンクラス１０００以
下、１００００以下または１０００００以下程度であ
る。そこで本発明はクリーンクラス１０００以下、１０
０００以下または１０００００以下程度のクリーンルー
ムにおいて、省エネルギー、かつ低ランニングコストを
実現するクリーンルームを提供することを目的とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】上記本発明の目的は次の
手段により達成される。すなわち、本発明によれば、第
一に、請求項１では、クリーン度の上限を設定し、クリ
ーン度のオンライン測定データに基づいて空調機の送風
量を自動制御することにより、上記上限設定範囲内にク
リーン度を制御することを特徴とするクリーンルームが
提供される。
手段により達成される。すなわち、本発明によれば、第
一に、請求項１では、クリーン度の上限を設定し、クリ
ーン度のオンライン測定データに基づいて空調機の送風
量を自動制御することにより、上記上限設定範囲内にク
リーン度を制御することを特徴とするクリーンルームが
提供される。
【０００５】第二に、請求項２では、上記請求項１記載
のクリーンルームにおいて、クリーンルームのクリーン
度制御機構が、少なくともクリーンルームのクリーン度
をオンラインで測定するクリーン度計、クリーン度計か
らの複数の出力データを風量制御用データに演算処理す
る演算装置、演算装置からのデータにより空調機の送風
機に運転状態を指令する指示調節計および指示調節計か
らの指令で送風量を可変する空調機からなることを特徴
とするクリーンルームが提供される。
のクリーンルームにおいて、クリーンルームのクリーン
度制御機構が、少なくともクリーンルームのクリーン度
をオンラインで測定するクリーン度計、クリーン度計か
らの複数の出力データを風量制御用データに演算処理す
る演算装置、演算装置からのデータにより空調機の送風
機に運転状態を指令する指示調節計および指示調節計か
らの指令で送風量を可変する空調機からなることを特徴
とするクリーンルームが提供される。
【０００６】第三に、請求項３では、上記請求項２記載
のクリーンルームにおいて、オンラインクリーン度計、
演算装置および指示調節計が外部出力機能を有すること
を特徴とするクリーンルームが提供される。
のクリーンルームにおいて、オンラインクリーン度計、
演算装置および指示調節計が外部出力機能を有すること
を特徴とするクリーンルームが提供される。
【０００７】第四に、請求項４では、上記請求項３記載
のクリーンルームにおいて、オンラインクリーン度計が
１台で２箇所以上の測定点を測定することを特徴とする
クリーンルームが提供される。
のクリーンルームにおいて、オンラインクリーン度計が
１台で２箇所以上の測定点を測定することを特徴とする
クリーンルームが提供される。
【０００８】第五に、請求項５では、上記請求項４記載
のクリーンルームにおいて、前記２箇所以上の測定点を
測定する方法としてバルブの切り替えにより測定点を選
択することを特徴とするクリーンルームが提供される。
のクリーンルームにおいて、前記２箇所以上の測定点を
測定する方法としてバルブの切り替えにより測定点を選
択することを特徴とするクリーンルームが提供される。
【０００９】第六に、請求項６では、上記請求項５記載
のクリーンルームにおいて、バルブが無発塵型であるこ
とを特徴とするクリーンルームが提供される。
のクリーンルームにおいて、バルブが無発塵型であるこ
とを特徴とするクリーンルームが提供される。
【００１０】第七に、請求項７では、上記請求項１また
は２記載のクリーンルームにおいて、空調機が送風量を
外部設定で可変制御可能なファンを有することを特徴と
するクリーンルームが提供される。
は２記載のクリーンルームにおいて、空調機が送風量を
外部設定で可変制御可能なファンを有することを特徴と
するクリーンルームが提供される。
【００１１】第八に、請求項８では、上記請求項７記載
のクリーンルームにおいて、空調機が少なくとも送風量
の下限を設定することを特徴とするクリーンルームが提
供される。
のクリーンルームにおいて、空調機が少なくとも送風量
の下限を設定することを特徴とするクリーンルームが提
供される。
【００１２】第九に、請求項９では、上記請求項１記載
のクリーンルームにおいて、立ち上げ時にクリーン度の
数値を無視して一定時間空調機を運転するタイマー設定
ができることを特徴とするクリーンルームが提供され
る。
のクリーンルームにおいて、立ち上げ時にクリーン度の
数値を無視して一定時間空調機を運転するタイマー設定
ができることを特徴とするクリーンルームが提供され
る。
【００１３】
【発明の実施の形態】以下に本発明を詳細に説明する。
上記のごとく本発明は清浄度の上限を設定して、その上
限以下で上限に近い範囲を自動制御することにより、省
エネルギー、かつ低ランニングコストのクリーンルーム
を得るものである。図1に本発明の一実施例である省エ
ネルギーかつ低ランニングコストタイプのクリーンルー
ムのイメージ図を示す。１はクリーン度クラス１０００
０のクリーンルームで、外部設置の空調機３で調和され
た空気を給気ダクト８、天井部設置のＨＥＰＡフィルタ
ー２を通してクリーンにして取り入れている。クリーン
ルーム１の床部からはリターン空気がリターンダクト９
によって空調機３に戻る。空調機３には一部新鮮空気１
０が取り入れられる。
上記のごとく本発明は清浄度の上限を設定して、その上
限以下で上限に近い範囲を自動制御することにより、省
エネルギー、かつ低ランニングコストのクリーンルーム
を得るものである。図1に本発明の一実施例である省エ
ネルギーかつ低ランニングコストタイプのクリーンルー
ムのイメージ図を示す。１はクリーン度クラス１０００
０のクリーンルームで、外部設置の空調機３で調和され
た空気を給気ダクト８、天井部設置のＨＥＰＡフィルタ
ー２を通してクリーンにして取り入れている。クリーン
ルーム１の床部からはリターン空気がリターンダクト９
によって空調機３に戻る。空調機３には一部新鮮空気１
０が取り入れられる。
【００１４】クリーンルーム１の室内には、外部出力機
能付オンラインクリーン度計４が設置され、同オンライ
ンクリーン度計４は３つの測定箇所１２を持つ。３つの
測定箇所１２はそれぞれビニールチューブ１３でオンラ
インクリーン度計４とつながっている。ビニールチュー
ブ１３の分岐点には無発塵型バルブ１１があって、各測
定箇所の切り換えを自動で行っている。オンラインクリ
ーン度計４で収集した3つの測定箇所のデータは、外部
出力機能によって、演算装置５に取り込まれる。
能付オンラインクリーン度計４が設置され、同オンライ
ンクリーン度計４は３つの測定箇所１２を持つ。３つの
測定箇所１２はそれぞれビニールチューブ１３でオンラ
インクリーン度計４とつながっている。ビニールチュー
ブ１３の分岐点には無発塵型バルブ１１があって、各測
定箇所の切り換えを自動で行っている。オンラインクリ
ーン度計４で収集した3つの測定箇所のデータは、外部
出力機能によって、演算装置５に取り込まれる。
【００１５】本実施例では、演算装置５にシーケンサを
使用したがこれは比較的安価で信頼性が高いからであ
る。しかし外部出力機能を有して演算機能を持つもので
あればシーケンサに限ることはない。演算装置５では主
に次の２つの演算を行う。１つは３つの測定箇所からの
データ（０．５μｍ以上のパーティクルの数）をクリー
ン度（１立方フィートにおける１分間の０．５μｍ以上
のパーティクルの数）に計算する。これは空調設備のク
リーン度に対する応答性をよくするため３箇所の測定デ
ータの採取時間を短縮しているためである。もう１つは
３つの測定箇所のデータから演算したクリーン度からど
の数値をクリーンルーム１のクリーン度と判断して指示
調節計に送るかの判断である。
使用したがこれは比較的安価で信頼性が高いからであ
る。しかし外部出力機能を有して演算機能を持つもので
あればシーケンサに限ることはない。演算装置５では主
に次の２つの演算を行う。１つは３つの測定箇所からの
データ（０．５μｍ以上のパーティクルの数）をクリー
ン度（１立方フィートにおける１分間の０．５μｍ以上
のパーティクルの数）に計算する。これは空調設備のク
リーン度に対する応答性をよくするため３箇所の測定デ
ータの採取時間を短縮しているためである。もう１つは
３つの測定箇所のデータから演算したクリーン度からど
の数値をクリーンルーム１のクリーン度と判断して指示
調節計に送るかの判断である。
【００１６】本実施例では、安全側に考えて３つのうち
で一番高い数値をクリーンルーム１のクリーン度と判断
している。ここで、オンラインクリーン度計４を高価な
大試料空気量タイプにし、測定箇所１２も１箇所にすれ
ば演算装置５は不要になるが、クリーンルーム１のクリ
ーン度の測定精度が悪くなるし、コストアップにもな
る。
で一番高い数値をクリーンルーム１のクリーン度と判断
している。ここで、オンラインクリーン度計４を高価な
大試料空気量タイプにし、測定箇所１２も１箇所にすれ
ば演算装置５は不要になるが、クリーンルーム１のクリ
ーン度の測定精度が悪くなるし、コストアップにもな
る。
【００１７】６は指示調節計を示す。演算装置５からの
データを取り込み表示部にクリーン度として表示する。
またそのクリーン度を予め設定している上限値（本実施
例では１００００）と比較して、効率良く設定範囲内に
なるように、空調機３の送風量が外部設定で可変制御で
きるファン７に指示を送る。
データを取り込み表示部にクリーン度として表示する。
またそのクリーン度を予め設定している上限値（本実施
例では１００００）と比較して、効率良く設定範囲内に
なるように、空調機３の送風量が外部設定で可変制御で
きるファン７に指示を送る。
【００１８】本実施例では、空調機のファン７のモータ
ーをインバータ化して周波数を指令することにより、回
転数を可変して送風量を可変している。指示調節計６か
らの周波数指令には下限値（本実施例では２５Ｈｚ）を
設ける。これはクリーン度が予め設定している上限値よ
りかなり低い場合に、指示調節計６からの周波数指令値
が低くなり過ぎて空調機３の送風量が少なくなり、クリ
ーンルーム１の温湿度が管理出来なくなるのを防止する
ためである。
ーをインバータ化して周波数を指令することにより、回
転数を可変して送風量を可変している。指示調節計６か
らの周波数指令には下限値（本実施例では２５Ｈｚ）を
設ける。これはクリーン度が予め設定している上限値よ
りかなり低い場合に、指示調節計６からの周波数指令値
が低くなり過ぎて空調機３の送風量が少なくなり、クリ
ーンルーム１の温湿度が管理出来なくなるのを防止する
ためである。
【００１９】クリーンルーム１の運転には、上記のクリ
ーン度管理運転モードのほかに立ち上げ運転モードがあ
る。立ち上げ運転モードは、空調機３の運転を開始した
ときから予めタイマーで設定された一定時間（本実施例
では５時間）は、クリーン度に関係なく空調機３が定格
運転（インバータ周波数ＭＡＸ運転）を行う。これは、
クリーンルームを素早く設定条件にするためで、一定時
間後に自動的にクリーン度管理運転モードに切り換わ
る。
ーン度管理運転モードのほかに立ち上げ運転モードがあ
る。立ち上げ運転モードは、空調機３の運転を開始した
ときから予めタイマーで設定された一定時間（本実施例
では５時間）は、クリーン度に関係なく空調機３が定格
運転（インバータ周波数ＭＡＸ運転）を行う。これは、
クリーンルームを素早く設定条件にするためで、一定時
間後に自動的にクリーン度管理運転モードに切り換わ
る。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、請求項１のクリーンルー
ムによれば、クリーン度の上限を設定し、クリーン度の
オンライン測定データを基に空調機の送風量を自動制御
することから、クリーン度を設定範囲内に制御して、空
調機の過剰運転をやめ、省エネルギーかつ低ランニング
コスト運転のクリーンルームを作ることができる。本発
明によればクリーンクラス１０以下のスーパークリーン
ルーム以外すべてのクリーンルームにおいて効果が得ら
れる。
ムによれば、クリーン度の上限を設定し、クリーン度の
オンライン測定データを基に空調機の送風量を自動制御
することから、クリーン度を設定範囲内に制御して、空
調機の過剰運転をやめ、省エネルギーかつ低ランニング
コスト運転のクリーンルームを作ることができる。本発
明によればクリーンクラス１０以下のスーパークリーン
ルーム以外すべてのクリーンルームにおいて効果が得ら
れる。
【００２１】請求項２のクリーンルームによれば、クリ
ーンルームのクリーン度制御機構として、いずれも必要
な構成要素を備えていることから、省エネルギーかつ低
ランニングコストのクリーンルームを効率良く作ること
ができ、これらが一つでも欠ければ該クリーンルームを
作るのは困難である。
ーンルームのクリーン度制御機構として、いずれも必要
な構成要素を備えていることから、省エネルギーかつ低
ランニングコストのクリーンルームを効率良く作ること
ができ、これらが一つでも欠ければ該クリーンルームを
作るのは困難である。
【００２２】請求項３のクリーンルームによれば、上記
構成要素の内、オンラインクリーン度計、演算装置およ
び指示調節計には外部出力機能が必要であり、この機能
がないと省エネルギーかつ低ランニングコストタイプの
クリーンルームを作ることができない。
構成要素の内、オンラインクリーン度計、演算装置およ
び指示調節計には外部出力機能が必要であり、この機能
がないと省エネルギーかつ低ランニングコストタイプの
クリーンルームを作ることができない。
【００２３】請求項４のクリーンルームによれば、オン
ラインクリーン度計１台で２箇所以上の測定点を測定す
ることから、クリーンルームのクリーン度を低コストで
正確に測定することができる。
ラインクリーン度計１台で２箇所以上の測定点を測定す
ることから、クリーンルームのクリーン度を低コストで
正確に測定することができる。
【００２４】請求項５のクリーンルームによれば、オン
ラインクリーン度計のクリーン度測定サンプル取り入れ
口の切り換えにバルブを使用することから、２箇所以上
の測定がスムーズに行える。
ラインクリーン度計のクリーン度測定サンプル取り入れ
口の切り換えにバルブを使用することから、２箇所以上
の測定がスムーズに行える。
【００２５】請求項６のクリーンルームによれば、上記
バルブに無発塵型を用いることから、クリーン度データ
が外乱の影響を受けない。
バルブに無発塵型を用いることから、クリーン度データ
が外乱の影響を受けない。
【００２６】請求項７のクリーンルームによれば、送風
量が外部設定で可変制御可能な送風機を有することか
ら、クリーン度を上限値と比較して効率良く設定範囲内
になるようにすることができる。
量が外部設定で可変制御可能な送風機を有することか
ら、クリーン度を上限値と比較して効率良く設定範囲内
になるようにすることができる。
【００２７】請求項８のクリーンルームによれば、空調
機の送風量に下限を設けることから、クリーンルームの
温湿度条件が確保される。
機の送風量に下限を設けることから、クリーンルームの
温湿度条件が確保される。
【００２８】請求項９のクリーンルームによれば、クリ
ーンルーム立ち上げ時に一定時間クリーン度上限設定を
無視して運転する機能を持たせることから、立ち上げに
必要な時間を短くすることができる。立ち上げ時にクリ
ーン度上限設定に従った運転をすると、クリーンルーム
の温湿度条件が確保されないうちに低風量運転になって
クリーン度+温湿度の両方の条件を満たすのに時間がか
かる場合がある。また、タイマーで運転切り換えをする
ことにより、切り換え忘れによるロスをなくすことがで
きる。
ーンルーム立ち上げ時に一定時間クリーン度上限設定を
無視して運転する機能を持たせることから、立ち上げに
必要な時間を短くすることができる。立ち上げ時にクリ
ーン度上限設定に従った運転をすると、クリーンルーム
の温湿度条件が確保されないうちに低風量運転になって
クリーン度+温湿度の両方の条件を満たすのに時間がか
かる場合がある。また、タイマーで運転切り換えをする
ことにより、切り換え忘れによるロスをなくすことがで
きる。
【図１】本発明の一実施例であるクリーンルームのイメ
ージ図である。
ージ図である。
１ クリーンルーム ２ ＨＥＰＡフィルター ３ 空調機 ４ オンラインクリーン度計 ５ 演算装置 ６ 指示調節計 ７ ファン ８ 給気ダクト ９ リターンダクト １０ 新鮮空気 １１ 無発塵型バルブ １２ （クリーン度）測定箇所 １３ ビニールチューブ
Claims (9)
- 【請求項１】 クリーン度の上限を設定し、クリーン度
のオンライン測定データに基づいて空調機の送風量を自
動制御することにより、前記上限設定範囲内にクリーン
度を制御することを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項２】 請求項１記載のクリーンルームにおい
て、クリーンルームのクリーン度制御機構が、少なくと
もクリーンルームのクリーン度をオンラインで測定する
クリーン度計、クリーン度計からの複数の出力データを
風量制御用データに演算処理する演算装置、演算装置か
らのデータにより空調機の送風機に運転状態を指令する
指示調節計および指示調節計からの指令で送風量を可変
する空調機からなることを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項３】 請求項２記載のクリーンルームにおい
て、オンラインクリーン度計、演算装置および指示調節
計が外部出力機能を有することを特徴とするクリーンル
ーム。 - 【請求項４】 請求項３記載のクリーンルームにおい
て、オンラインクリーン度計が１台で２箇所以上の測定
点を測定することを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項５】 請求項４記載のクリーンルームにおい
て、前記２箇所以上の測定点を測定する方法としてバル
ブの切り替えにより測定点を選択することを特徴とする
クリーンルーム。 - 【請求項６】 請求項５記載のクリーンルームにおい
て、バルブが無発塵型であることを特徴とするクリーン
ルーム。 - 【請求項７】 請求項１または２記載のクリーンルーム
において、空調機が送風量を外部設定で可変制御可能な
ファンを有することを特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項８】 請求項７記載のクリーンルームにおい
て、空調機が少なくとも送風量の下限を設定することを
特徴とするクリーンルーム。 - 【請求項９】 請求項１記載のクリーンルームにおい
て、立ち上げ時にクリーン度の数値を無視して一定時間
空調機を運転するタイマー設定ができることを特徴とす
るクリーンルーム。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001163214A JP2002357346A (ja) | 2001-03-29 | 2001-05-30 | クリーンルーム |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001-96901 | 2001-03-29 | ||
| JP2001096901 | 2001-03-29 | ||
| JP2001163214A JP2002357346A (ja) | 2001-03-29 | 2001-05-30 | クリーンルーム |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002357346A true JP2002357346A (ja) | 2002-12-13 |
Family
ID=26612602
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001163214A Pending JP2002357346A (ja) | 2001-03-29 | 2001-05-30 | クリーンルーム |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002357346A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009174776A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 換気風量制御方法 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60216139A (ja) * | 1984-04-11 | 1985-10-29 | Kajima Corp | クリンル−ムの空調制御方式 |
| JPS62112940A (ja) * | 1985-11-11 | 1987-05-23 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | クリ−ンル−ムの制御方法 |
| JPS63182548A (ja) * | 1987-01-26 | 1988-07-27 | Shimizu Constr Co Ltd | 超清浄度の評価方法および該評価方法に使用される測定装置 |
| JPH05172378A (ja) * | 1991-12-25 | 1993-07-09 | Matsushita Electron Corp | クリーンルーム |
| JPH05302872A (ja) * | 1992-04-28 | 1993-11-16 | Fujitsu Ltd | 雰囲気の分析方法及び分析装置並びにクリーンルーム雰囲気の制御装置 |
| JPH0791712A (ja) * | 1993-09-28 | 1995-04-04 | Toshiba Kucho Kk | クリ−ンル−ムの室温制御装置 |
| JPH1114112A (ja) * | 1997-06-20 | 1999-01-22 | Sanpo Denki Kk | クリーンルームの空気清浄性能評価方法、装置及びプログラムを記録した可読記録媒体 |
-
2001
- 2001-05-30 JP JP2001163214A patent/JP2002357346A/ja active Pending
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