JP2002357311A - 燃焼式除害装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 燃焼式除害装置における測定温度等に異常が
発生した場合でも迅速に対応することができ、時間的、
金銭的なロスを最小限に抑えることができる燃焼式除害
装置を提供する。 【解決手段】 被処理ガスの有害成分濃度、流量、圧力
を測定する手段と、燃料及び助燃ガスの流量を測定する
手段と、燃焼筒内の火炎から発せられる紫外線量、圧
力、温度を測定する手段と、冷却流体の流量、圧力を測
定する手段と、排出ガスの有害成分濃度、流量、圧力、
温度を測定する手段と、各測定測定値を記憶する手段
と、各測定値を各設定値と比較する手段と、各測定値に
異常が認められたときにあらかじめ設定されたメールア
ドレスに向けて測定値異常情報を含む電子メールを送信
する手段とを備えている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、燃焼式除害装置に
関し、詳しくは、半導体製造工程や液晶製造工程で使用
されるシラン、アンモニア、亜酸化窒素、その他の各種
特殊材料ガスのような有害物質、また、人体への毒性は
明確ではないが、地球温暖化等の環境に対して悪影響を
及ぼす四フッ化メタン、六フッ化エタン、両者の特性を
有する三フッ化窒素等を含む排ガスを除害処理するため
の燃焼式除害装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体工業プロセス、例えば、半導体製
造装置やＬＣＤ製造装置から排出される排ガス中には、
毒性ガス、腐食性ガス、可燃性ガス、地球環境に悪影響
を及ぼす不燃性ガスや支燃性ガス等の有害成分が含まれ
ているため、これらの有害成分の除害（無害化）処理を
行ってから排ガスを排出する必要がある。このような、
排ガスの除害を行うための装置の一つとして、燃焼式除
害装置が知られている。

【０００３】この燃焼式除害装置は、燃焼筒内に導入さ
れた排ガス中に含まれる各種有害成分を、燃焼筒内でメ
インバーナーの火炎によって燃焼させたり、熱分解させ
たりして除害処理を行うもので、例えば、特開平１０−
１１０９２６号公報等に各種形状のものが開示されてい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】このような燃焼式除害
装置は、燃焼火炎との直接接触によって排ガスを処理し
ているため、装置にトラブルが発生した場合や、通常よ
り除害能力が低下した場合には、迅速かつ安全に対処す
る必要がある。

【０００５】今までは、燃焼式除害装置を運転する担当
者が現場で運転状態を管理しているが、燃焼式除害装置
の運転状況を常時把握していることは大変困難であり、
装置から発せられる警報等を察知して初めて対策を打つ
というのが現状である。燃焼式除害装置には、フェイル
セーフ機能や、フールプルーフ機能といった安全に装置
を停止させる機能が設置されているため、火災等の災害
が発生することはないが、トラブルの原因追及のために
大幅なタイムロスを生じる可能性があり、その間、半導
体製造装置等の運転を停止させざるを得ない状況に陥る
と、莫大な損失を被るおそれもある。

【０００６】そこで本発明は、燃焼式除害装置における
測定温度等に異常が発生した場合でも迅速に対応するこ
とができ、時間的、金銭的なロスを最小限に抑えること
ができる燃焼式除害装置を提供することを目的としてい
る。

【０００７】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明の燃焼式除害装置は、燃焼筒内に導入した被
処理ガス中の有害成分を燃焼火炎で燃焼又は熱分解させ
て除害処理を行う燃焼式除害装置において、前記燃焼筒
内の火炎の状態を検知する紫外線量測定手段と、前記燃
焼筒に導入される被処理ガス中の有害成分濃度を測定す
る入口濃度測定手段と、該被処理ガスの流量を測定する
被処理ガス流量測定手段と、該被処理ガスの圧力を測定
する被処理ガス圧力測定手段と、燃焼用火炎を形成する
燃料及び助燃ガスの流量を測定する燃料流量測定手段及
び助燃ガス流量測定手段と、燃焼筒内の圧力を測定する
燃焼筒圧力測定手段と、燃焼筒内の温度を測定する燃焼
筒温度測定手段と、燃焼筒から排出された燃焼排ガスを
冷却するための冷却空気や冷却水のような冷却流体の流
量を測定する冷却流体流量測定手段と、該冷却流体の取
込圧力を測定する冷却流体圧力測定手段と、燃焼排ガス
と冷却流体とが混合した排出ガス中の有害成分濃度を測
定する出口濃度測定手段と、該排出ガスの流量を測定す
る排出ガス流量測定手段と、該排出ガスの圧力を測定す
る排出ガス圧力測定手段と、該排出ガスの温度を測定す
る排出ガス温度測定手段と、各測定手段で測定した測定
値を記憶する記憶手段と、各測定手段で測定した測定値
をあらかじめ設定された各設定値と比較する比較手段
と、該比較手段で比較した各測定値が各設定値から外れ
たときに、あらかじめ設定されたメールアドレスに向け
て測定値異常情報を含む電子メールを送信する通信手段
を備えていることを特徴としている。

【０００８】さらに、前記記憶手段は、各測定値を所定
時間間隔で経時的に記憶し、前記通信手段は、前記電子
メールの送信時に、記憶手段に記憶されている過去の測
定値を読込んで前記測定値異常情報と共に送信すること
を特徴としている。

【０００９】また、前記被処理ガスの導入経路、燃料の
導入経路、助燃ガスの導入経路、冷却流体の導入経路に
それぞれ設けられている各導入弁の開閉を制御する弁制
御部を有し、前記記憶手段は、該弁制御部からの信号に
よって弁の開閉状態を記憶し、前記通信手段は、前記電
子メールの送信時に、記憶手段に記憶されている過去の
弁開閉状態を読込んで前記測定値異常情報と共に送信す
ることを特徴としている。

【００１０】さらに、前記通信手段は、特定の送信者か
ら送信された電子メールを受信したときに、該電子メー
ルに記載された弁の開閉情報を前記弁制御部に伝達し、
該弁制御部は、通信手段から伝達された弁の開閉情報に
基づいて弁の開閉を行うことを特徴とし、また、前記通
信手段は、特定の送信者から送信された電子メールを受
信したときに、該電子メールに記載された指示に基づい
て前記記憶手段に記憶されている測定値を電子メールで
返信すること、除害装置管理者のサーバーに定期的に前
記記憶手段に記憶した測定値を送信することを特徴とし
ている。

【００１１】

【発明の実施の形態】図１は本発明の燃焼式除害装置の
一形態例を示す配管系統図、図２は燃焼式除害装置に設
けられている制御部の一例を示すブロック図、図３は制
御部の動作例を示すフローチャートである。

【００１２】この燃焼式除害装置は、被処理ガス中の有
害成分を燃焼火炎により燃焼又は熱分解させる燃焼筒１
１と、該燃焼筒１１に火炎形成用の燃料及び助燃ガスを
供給する燃料導入経路１２及び助燃ガス導入経路１３
と、燃焼筒１１に有害成分を含む被処理ガスを導入する
被処理ガス導入経路１４と、燃焼筒から排出される高温
の燃焼排ガスを冷却及び希釈するための冷却流体、例え
ば冷却空気を導入する冷却流体導入経路１５と、燃焼排
ガスと冷却流体である冷却空気とが混合した排出ガスを
導出するための排出ガス導出経路１６とを備えている。

【００１３】また、燃料導入経路１２には燃料導入弁１
２Ｖを介して燃料供給源１２Ｓが、助燃ガス導入経路１
３には助燃ガス導入弁１３Ｖを介して助燃ガス供給源１
３Ｓが、被処理ガス導入経路１４には被処理ガス導入弁
１４Ｖを介して半導体製造装置やＬＣＤ製造装置等の被
処理ガス発生源１４Ｓが、冷却流体導入経路１５には冷
却流体導入弁１５Ｖを介して冷却流体取入口１５Ｓがそ
れぞれ設けられ、排出ガス導出経路１６には排出ガスを
吸引排気するための排気ブロワー１６Ｂが設けられてい
る。

【００１４】さらに、前記燃焼筒１１には、紫外線量測
定手段１１Ｕ、燃焼筒圧力測定手段１１Ｐ及び燃焼筒温
度測定手段１１Ｔが、燃料導入経路１２には燃料流量測
定手段１２Ｆが、助燃ガス導入経路１３には助燃ガス流
量測定手段１３Ｆが、被処理ガス導入経路１４には被処
理ガス中の有害成分濃度を測定する入口濃度測定手段１
４Ｄ、被処理ガス流量測定手段１４Ｆ及び被処理ガス圧
力測定手段１４Ｐが、冷却流体導入経路１５には冷却流
体流量測定手段１５Ｆ及び冷却流体圧力測定手段１５Ｐ
が、排出ガス導出経路１６には排出ガス中の有害成分濃
度を測定する出口濃度測定手段１６Ｄ、排出ガス流量測
定手段１６Ｆ、排出ガス圧力測定手段１６Ｐ及び排出ガ
ス温度測定手段１６Ｔがそれぞれ設けられている。

【００１５】なお、燃焼火炎発生部が、メインバーナー
とパイロットバーナーとを有している場合、前記燃料導
入経路１２及び助燃ガス導入経路１３は、各バーナー毎
にそれぞれ２系統が設けられる。

【００１６】このような機器構成を有する燃焼式除害装
置には、図２に示すような制御装置２０が設けられてい
る。この制御装置２０には、あらかじめ設定された各種
手順に基づいて作動する制御部２１を中心として、前述
の紫外線量測定手段（火炎センサー：ウルトラビジョ
ン）２２、各圧力測定手段（圧力計）２３、各温度測定
手段（温度計）２４、各流量測定手段（流量計）２５、
各濃度測定手段（分析計）２６の各測定値を装置運転情
報として取込むとともに、各導入弁の開閉を制御する弁
制御部２７との間で弁開閉情報の授受を行うデータ入出
力部（Ｉ／Ｏ）２８と、取込んだ各種測定値等を記憶す
るとともに、各種設定値や情報、シーケンス等を記憶し
た記憶部２９と、各種測定値等を表示する表示部３０
と、設定値等を入力する入力部３１と、各種時間情報を
設定するタイマー３２と、電子メール等の情報を送受信
する通信手段３３とを備えている。

【００１７】比較手段を含む制御部２１は、例えば図３
に示すように、ステップ４１〜４５で、紫外線量、圧
力、温度、流量、濃度をあらかじめ設定された各設定値
と、Ｉ／Ｏ２８を介して取込んだ各測定値とを比較し、
ステップ４６でこれらに異常が無いと判断したときに
は、ステップ４７で表示部３０に正常な運転状態である
ことを表示するとともに、ステップ４８で各測定値をハ
ードディスク等の記憶部２９に運転データとして記憶す
る。この各測定値の比較処理は、タイマー３２に設定さ
れた所定の時間間隔、例えば１分間隔で行われる。

【００１８】ステップ４１〜４５で紫外線量、圧力、温
度、流量、濃度に異常が認められた場合は、各ステップ
から異常検出ステップ５１〜５５にそれぞれ進み、各変
数Ｕ（紫外線量）、Ｐ（圧力）、Ｔ（温度）、Ｆ（流
量）、Ｄ（濃度）に異常状態を示す符号「Ｘ」を代入
し、ステップ４６でこれらの変数のひとつにでも「Ｘ」
が代入されているとき、すなわち、装置の運転状態に異
常がある場合は、ステップ５６に進んで表示部３０に異
常状態を表示するとともに、ステップ５７において、通
信手段３３に各測定値等の所定のデータを送り、あらか
じめ設定されたメールアドレスに向けて測定値異常情報
を含む電子メールを送信する。

【００１９】この電子メールには、この燃焼式除害装置
に設定された固有の名称（ＩＤ）、異常発生時間、異常
内容、異常発生前の各測定値の状態、弁の開閉状態等が
含まれており、さらに、装置設置場所、保守担当者（会
社）、保守履歴、異常発生履歴のような燃焼式除害装置
に関する各種情報を含めることができる。このとき、異
常の内容によっては、燃焼式除害装置の運転をバックア
ップ設備に切替えたり、さらには、半導体製造装置の運
転までも停止させるようなインターロック機能を制御装
置２０に組み込んでおくことができ、この場合は、これ
らの情報を含めた電子メールが送信されることになる。
また、必要に応じてポケットベル（登録商標）にも異常
発生情報を送信するようにしてもよい。

【００２０】なお、記憶部２９に記憶するデータは、１
時間経過までは測定時間間隔である１分ごと、その後３
時間経過までは一部のデータを削除して５分ごと、６時
間経過までは１０分ごとというように、正常運転が継続
しているときには、中間のデータを適当に削除して記憶
することにより、記憶容量を節約することができ、デー
タの送信や確認も容易に行うことが可能となる。

【００２１】前記電子メールの送信先アドレスは、この
燃焼式除害装置の管理者や管理会社、運転に詳しい技術
者、保守担当の技術者や会社、燃焼式除害装置を含む半
導体製造設備全体の管理者や管理担当部門等であって、
装置規模や有害成分の種類、バックアップ設備の状況等
によって適当な送信先を設定しておくことができ、ま
た、異常内容によって送信先を選択するように設定する
こともできる。

【００２２】さらに、この電子メールの送信先は、各会
社内のパソコンだけでなく、携帯端末、携帯電話、ＰＨ
Ｓも対象とすることができ、一人の技術者が複数のメー
ルアドレスを保有している場合には、それぞれに同じ内
容を送信することができ、携帯電話のような表示画面の
小さな送信先には、異常情報の概要のみを送信するよう
に設定することもできる。また、異常の内容に応じて文
字の色や大きさ、書体を変えたり、背景を変えたり、音
声を付加したりすることもできる。

【００２３】このようにして燃焼式除害装置の制御装置
２０から送信された電子メールは、インターネット回線
を通り、サーバ６１を介して装置管理者のパソコン６２
と共に、該装置管理者や保守部門の担当者が保有する携
帯端末６３に送られ、保守担当者は、受信した電子メー
ルの内容に基づいて最適な措置を講じることになる。こ
のとき、装置管理者や保守担当者が受信した場合に、開
封メッセージを制御装置２０に送信するように設定して
おき、制御装置２０の表示部３０に開封メッセージを表
示させることにより、異常情報が装置管理者や保守担当
者に伝達されたことを確実に知ることができる。

【００２４】パソコン６２は、電子メールの送受信やサ
ーバ６１へのアクセスを行うモデムやＬＡＮ等の通信部
６４、各種情報を記憶するハードディスク等の記憶部６
５、各種情報を表示するディスプレイ等の表示部６６、
各種入力や選択を行うキーボードやマウス等の入力部６
７を有する制御部６８を備えるものであって、各種情報
の読み取り、表示、記憶、入力及び送受信ができるよう
に形成されている。

【００２５】また、サーバ６１やパソコン６２には、必
要に応じて各燃焼式除害装置に関する情報を登録してお
くことができる、例えば、前記燃焼式除害装置のＩＤに
対応する装置名、設置場所、設置時期、対象とするガス
の組成及び有害ガスの種類や濃度、燃料及び助燃ガスの
種類、保守担当部門（自社の支店、営業所、あるいは、
保守代行を行う会社、支店、営業所等）及び担当責任
者、過去の補修履歴、異常発生履歴等の燃焼式除害装置
に関する情報の他、発生した異常に対する対応策や、他
に設置した同様の燃焼式除害装置で発生した異常情報の
検索機能までも組み込んでおくことができる。

【００２６】サーバ６１にこれらの各種情報を登録して
おくことにより、特定のパソコン６２や携帯端末６３以
外のパソコンや携帯端末からも、任意にサーバ６１にア
クセスすることによってこれらの情報を引き出すことが
可能となる。また、パソコン等から電子メールでサーバ
６１や制御装置２０に問い合わせることにより、サーバ
６１や制御装置２０から必要な情報を電子メールで受け
取るようにすることもでき、例えば特定の時期の温度変
化や圧力変化を簡単に知ることができる。そして、燃焼
筒１１の火炎状態の変化や温度変化、圧力変化等を定期
的に確認することにより、異常事態の発生を未然に防止
することも可能であり、必要に応じて保守担当者の携帯
端末６３に連絡して点検や整備を指示することもでき
る。なお、これらの情報の閲覧に対しては、パスワード
等の保護対策を施しておく。

【００２７】また、パソコン６２と携帯端末６３との間
の通信もサーバ６１を介して可能に形成されており、例
えば、発生した異常情報に対して特別な修理や補修等が
必要なときなど、装置製造会社の技術担当者等からパソ
コン６２を介して保守部門の保守担当者等の携帯端末６
３に宛てて、その旨を通知することができ、燃焼式除害
装置の異常発生に対して適切な修理や補修を確実に行う
ことができる。また、現場での詳細な情報を保守担当者
の携帯端末６３から技術担当者のパソコン６２に送信し
て指示を仰ぐこともできる。

【００２８】さらに、パソコン６２においては、制御装
置２０を介して燃焼式除害装置の運転状態を常時監視す
ることもでき、該パソコン６２から制御装置２０を介し
て弁制御部２６に導入弁の開閉等の支持を与えることも
できる。すなわち、装置製造会社の技術担当者等が、自
社や自宅等で燃焼式除害装置の運転状態を管理すること
が可能となり、燃焼式除害装置が深刻なトラブルに陥る
前に対策を打つことができる。また、万一燃焼式除害装
置が停止するようなトラブルに陥った場合でも、迅速か
つ安全な対応が可能となる。さらに、燃焼式除害装置の
使用者に対して的確な情報を伝えることができる。

【００２９】加えて、燃焼式除害装置における異常現象
と、その発生原因や異常解消策とを関連付けて任意に検
索可能な状態にしておくことにより、使用者側において
も、異常発生時の原因究明や対応を迅速かつ確実に行う
ことができる（トラブルシューティング）。

【００３０】このように形成することにより、通常の運
転状態において、例えば、排出ガス温度測定手段１６Ｔ
の測定温度が上昇し始めたときには、この温度上昇情報
が制御装置２０から保守担当者や技術者のパソコン６２
や携帯端末６３に通知され、保守担当者等は、排出ガス
の温度が上昇したことを即座に知ることができる。例え
ば通常運転時の排出ガス基準温度が８５℃で、上限温度
が１２０℃の場合、測定温度が９０℃を超えた付近で温
度上昇情報を通知するように設定しておくことにより、
上限温度に達する前、すなわち、排出ガスの温度が上限
温度に達して安全装置の作用で装置の運転が中断される
前に対応策を打つことが可能となる。

【００３１】ここで、排出ガスの温度が上昇する原因と
しては、排気ブロワー１６Ｂが作動していない。メ
インバーナーの燃料や助燃ガスの流量が適切ではない。
パイロットバーナーの燃料や助燃ガスの流量が適切で
はない。冷却流体導入弁１５Ｖの開度が適切ではな
い。冷却流体取入口１５Ｓが異物で塞がれている。
排出ガス温度測定手段１６Ｔの温度検出部、例えば熱電
対が燃焼生成物等で汚れている。などが考えられる。

【００３２】これらの原因の中で、の温度検出部の汚
れ以外は、各測定データを確認することによって異常原
因を推定することが可能である。すなわち、排気ブロ
ワー１６Ｂが作動していない場合は、排出ガス導出経路
１６における流量や圧力が変化するので、排出ガス流量
測定手段１６Ｆの測定値や排出ガス圧力測定手段１６Ｐ
の測定値を確認することによって排気ブロワー１６Ｂの
状態を確認できる。

【００３３】この場合、パソコン６２等から制御装置２
０に排気ブロワー１６Ｂを作動させる指示を送ることに
よって排気ブロワー１６Ｂが作動し、排出ガスの温度が
下がり始めればパソコン６２等からの遠隔操作で異常を
解消できたことになる。

【００３４】また、制御装置２０の表示部３０に排気ブ
ロワー１６Ｂを点検して貰う旨の依頼を表示し、使用者
側で排気ブロワー１６Ｂを点検して作動させて貰うよう
にしてもよい。このような対応で排気ブロワー１６Ｂが
正常に作動しなかった場合は、排気ブロワー１６Ｂ自体
が故障していることも考えられるので、使用者側での修
理や予備のブロワーへの交換が可能かを問い合わせ、対
応不可能な場合は、保守担当者が出向いて排気ブロワー
１６Ｂを修理したり、交換したりするといった対応をと
ることになる。

【００３５】また、のメインバーナーの燃料や助燃ガ
スの流量が適切ではない場合や、のパイロットバーナ
ーの燃料や助燃ガスの流量が適切ではない場合も、燃料
流量測定手段１２Ｆや助燃ガス流量測定手段１３Ｆの測
定データを確認することで異常原因を直ちに知ることが
できるので、燃料導入弁１２Ｖや助燃ガス導入弁１３Ｖ
を遠隔操作によりあるいは指示により調節することで異
常を解消できる。

【００３６】同様に、冷却流体導入弁１５Ｖの開度が
適切ではない場合も、冷却流体流量測定手段１５Ｆや冷
却流体圧力測定手段１５Ｐの測定データで確認できるの
で、冷却流体導入弁１５Ｖの開度を遠隔操作によりある
いは指示により調節すればよいが、冷却流体導入弁１５
Ｖを調節しても解消されない場合、冷却流体導入弁１５
Ｖが既に全開になっている場合は、の冷却流体取入口
１５Ｓが異物で塞がれていることが考えられるので、制
御装置２０の表示部３０に冷却流体取入口１５Ｓを点検
するという表示を行い、使用者側で対応して貰えばよ
い。

【００３７】各測定手段で測定した圧力や流量のデータ
に異常が無いときには、の温度検出部の汚れが考えら
れるので、表示部３０に温度検出部を点検して貰う依頼
表示を行うようにする。

【００３８】いずれの場合でも、異常発生原因をある程
度想定できるので、保守担当者が出向いて機器の修理や
交換を行う際にも、必要な部品等をあらかじめ用意して
から出向くことにより、修理や交換を確実に、かつ、短
時間で行うことができ、金銭的、時間的なロスを大幅に
削減することができる。

【００３９】従来は、装置から排出ガスの温度が上限温
度の１２０℃に達したときに発せられる警報で使用者側
の担当者が異常発生を知り、その後に取扱説明書を参照
したり、保守担当者や担当技術者に電話等で問い合わせ
たりしなければならず、また、保守担当者等も装置の運
転状態を把握できていないので、異常原因の推定や特定
が極めて困難であったが、上述のように、各測定データ
や導入弁の開度等をリアルタイムで確認できることによ
り、異常に対する対応を、容易、迅速かつ確実に行うこ
とが可能となる。

【００４０】したがって、フェイルセーフ機能等によっ
て燃焼式除害装置が自動停止する前に対応することが可
能となり、半導体製造装置等の運転を停止させなければ
ならない事態にまで達することを少なくでき、半導体製
造装置等の運転を停止させる場合であっても、修理等に
要する時間の短縮によって短時間で運転を再開すること
ができる。

【００４１】加えて、パソコン６２等からの指示のみで
対応が可能な軽微な異常の発生状況を蓄積し、また、制
御装置２０の記憶部２９やサーバ６１に蓄積されている
温度情報、流量情報、圧力情報等を参照することによ
り、半導体製造装置等の運転状況の変化を読み取ること
ができ、この燃焼式除害装置を設置した時点に比べて半
導体製造装置等の稼働率が上昇したことを知ったときに
は、より高性能な燃焼式除害装置への交換を提案するこ
とができ、燃焼式除害装置の販売促進にも寄与すること
ができる。

【００４２】

【発明の効果】以上説明したように、本発明の燃焼式除
害装置によれば、装置の異常発生を保守担当者等に迅速
に知らせることができるので、その対応も迅速かつ的確
に行うことができる。さらに、迅速かつ的確な対応によ
って装置の運転停止時間を極力減らすことができ、設備
全体の金銭的、時間的なロスを大幅に削減することがで
きる。また、トラブルシューティング機能を有すること
により安全性も大幅に向上する。

【図面の簡単な説明】

【図１】 燃焼式除害装置の一形態例を示す配管系統図
である。

【図２】 燃焼式除害装置の制御部の一例を示すブロッ
ク図である。

【図３】 制御部の動作例を示すフローチャートであ
る。

【符号の説明】

１１…燃焼筒、１１Ｐ…燃焼筒圧力測定手段、１１Ｔ…
燃焼筒温度測定手段、１１Ｕ…紫外線量測定手段、１２
…燃料導入経路、１２Ｆ…燃料流量測定手段、１２Ｓ…
燃料供給源、１２Ｖ…燃料導入弁、１３…助燃ガス導入
経路、１３Ｆ…助燃ガス流量測定手段、１３Ｓ…助燃ガ
ス供給源、１３Ｖ…助燃ガス導入弁、１４…被処理ガス
導入経路、１４Ｄ…入口濃度測定手段、１４Ｆ…被処理
ガス流量測定手段、１４Ｐ…被処理ガス圧力測定手段、
１４Ｓ…被処理ガス発生源、１４Ｖ…被処理ガス導入
弁、１５…冷却流体導入経路、１５Ｆ…冷却流体流量測
定手段、１５Ｐ…冷却流体圧力測定手段、１５Ｓ…冷却
流体取入口、１５Ｖ…冷却流体導入弁、１６…排出ガス
導出経路、１６Ｂ…排気ブロワー、１６Ｄ…出口濃度測
定手段、１６Ｆ…排出ガス流量測定手段、１６Ｐ…排出
ガス圧力測定手段、１６Ｔ…排出ガス温度測定手段、２
０…制御装置、２１…制御部、２２…火炎センサー、２
３…圧力計、２４…温度計、２５…流量計、２６…分析
計、２７…弁制御部、２８…データ入出力部、２９…記
憶部、３０…表示部、３１…入力部、３２…タイマー、
３３…通信手段、６１…サーバ、６２…パソコン、６３
…携帯端末、６４…通信部、６５…記憶部、６６…表示
部、６７…入力部、６８…制御部

フロントページの続き (72)発明者 富田 修康 東京都港区西新橋１−16−７ 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 小関 修一 東京都港区西新橋１−16−７ 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 中島 晶子 東京都港区西新橋１−16−７ 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 小野 宏之 東京都港区西新橋１−16−７ 日本酸素株 式会社内 Ｆターム(参考） 3K062 AB01 AC19 BA04 BA05 CA01 CB03 CB08 DA01 DA07 DA11 DA21 DB12 3K078 AA06 BA17 BA20 BA29

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 燃焼筒内に導入した被処理ガス中の有害
   成分を燃焼火炎で燃焼又は熱分解させて除害処理を行う
   燃焼式除害装置において、前記燃焼筒内の火炎の状態を
   検知する紫外線量測定手段と、前記燃焼筒に導入される
   被処理ガス中の有害成分濃度を測定する入口濃度測定手
   段と、該被処理ガスの流量を測定する被処理ガス流量測
   定手段と、該被処理ガスの圧力を測定する被処理ガス圧
   力測定手段と、燃焼用火炎を形成する燃料及び助燃ガス
   の流量を測定する燃料流量測定手段及び助燃ガス流量測
   定手段と、燃焼筒内の圧力を測定する燃焼筒圧力測定手
   段と、燃焼筒内の温度を測定する燃焼筒温度測定手段
   と、燃焼筒から排出された燃焼排ガスを冷却するための
   冷却流体の流量を測定する冷却流体流量測定手段と、該
   冷却流体の取込圧力を測定する冷却流体圧力測定手段
   と、燃焼排ガスと冷却流体とが混合した排出ガス中の有
   害成分濃度を測定する出口濃度測定手段と、該排出ガス
   の流量を測定する排出ガス流量測定手段と、該排出ガス
   の圧力を測定する排出ガス圧力測定手段と、該排出ガス
   の温度を測定する排出ガス温度測定手段と、各測定手段
   で測定した測定値を記憶する記憶手段と、各測定手段で
   測定した測定値をあらかじめ設定された各設定値と比較
   する比較手段と、該比較手段で比較した各測定値が各設
   定値から外れたときに、あらかじめ設定されたメールア
   ドレスに向けて測定値異常情報を含む電子メールを送信
   する通信手段を備えていることを特徴とする燃焼式除害
   装置。
2. 【請求項２】 前記記憶手段は、各測定値を所定時間間
   隔で経時的に記憶し、前記通信手段は、前記電子メール
   の送信時に、記憶手段に記憶されている過去の測定値を
   読込んで前記測定値異常情報と共に送信することを特徴
   とする請求項１記載の燃焼式除害装置。
3. 【請求項３】 前記被処理ガスの導入経路、燃料の導入
   経路、助燃ガスの導入経路、冷却流体の導入経路にそれ
   ぞれ設けられている各導入弁の開閉を制御する弁制御部
   を有し、前記記憶手段は、該弁制御部からの信号によっ
   て弁の開閉状態を記憶し、前記通信手段は、前記電子メ
   ールの送信時に、記憶手段に記憶されている過去の弁開
   閉状態を読込んで前記測定値異常情報と共に送信するこ
   とを特徴とする請求項１記載の燃焼式除害装置。
4. 【請求項４】 前記通信手段は、特定の送信者から送信
   された電子メールを受信したときに、該電子メールに記
   載された弁の開閉情報を前記弁制御部に伝達し、該弁制
   御部は、通信手段から伝達された弁の開閉情報に基づい
   て弁の開閉を行うことを特徴とする請求項３記載の燃焼
   式除害装置。
5. 【請求項５】 前記通信手段は、特定の送信者から送信
   された電子メールを受信したときに、該電子メールに記
   載された指示に基づいて前記記憶手段に記憶されている
   測定値を電子メールで返信することを特徴とする請求項
   １記載の燃焼式除害装置。
6. 【請求項６】 前記通信手段は、除害装置管理者のサー
   バーに定期的に前記記憶手段に記憶した測定値を送信す
   ることを特徴とする請求項１記載の燃焼式除害装置。