JP2002219328A - ガス除害装置 - Google Patents

ガス除害装置

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JP2002219328A
JP2002219328A JP2001016237A JP2001016237A JP2002219328A JP 2002219328 A JP2002219328 A JP 2002219328A JP 2001016237 A JP2001016237 A JP 2001016237A JP 2001016237 A JP2001016237 A JP 2001016237A JP 2002219328 A JP2002219328 A JP 2002219328A
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Japan
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abatement
gas
temperature
measured
value
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JP2001016237A
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English (en)
Inventor
Hiroyuki Ono
宏之 小野
Yoshiaki Sugimori
由章 杉森
Osayasu Tomita
修康 富田
Shuichi Koseki
修一 小関
Akiko Nakajima
晶子 中島
Hirotaka Mangyo
大貴 万行
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
Original Assignee
Japan Oxygen Co Ltd
Nippon Sanso Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 除害装置における測定温度等に異常が発生し
た場合でも迅速に対応することができ、時間的、金銭的
なロスを最小限に抑えることができるガス除害装置を提
供する。 【解決手段】 温度測定値や濃度測定値に異常が発生し
たときに、あらかじめ設定されたメールアドレスに向け
て測定値異常情報を含む電子メールを送信する通信手段
を備えている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、ガス除害装置に関
し、詳しくは、半導体製造工程や液晶製造工程で使用さ
れるシラン、ホスフィン、塩化水素、ジクロルシラン、
アンモニア、その他の各種特殊材料ガスのような有害物
質を含む排ガスの除害処理を行うためのガス除害装置に
関する。
【0002】
【従来の技術】シラン等の特殊材料ガスを使用する特殊
材料ガス使用装置、例えば半導体製造装置から排出され
る排ガス中には、原料等として使用した未反応のままの
特殊材料ガスや反応生成物が含まれている。これらの特
殊材料ガスや反応生成物の多くは、人体に対して有害で
あることから、排ガスを除害装置で処理して無害化して
から大気に放出するようにしている。
【0003】このような除害装置の一例として、乾式除
害装置が知られている。この乾式除害装置は、除害剤を
充填した充填筒内に有害物質を含む排ガスを流入させ、
有害物質と除害剤との化学的、物理的な親和力等によっ
て有害物質を除去あるいは無害化して排ガスの除害を行
う。
【0004】このような乾式の除害剤を用いた除害装置
は、一般的に、燃料や電気等のエネルギーを使用せず、
弁の開閉等の運転操作を行ったり、運転中に各部の圧力
や流量を監視したりする必要がほとんどないため、適当
な時期に除害剤を交換するだけの手間で除害処理を行え
るという利点を有している。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】しかし、定期的に除害
剤を交換する場合は、除害剤全量を交換することになる
ため、未使用の除害剤が無駄になってしまい、逆に、半
導体製造装置等の稼働率が一時的に上昇したときには、
除害剤交換時期よりも前に除害剤が破過して除害処理を
行えなくなるおそれがあり、最悪の場合は、半導体製造
装置の運転を行えなくなることもある。
【0006】また、半導体製造装置等の運転条件が変化
して除害筒に流入する有害成分の濃度が一時的に高くな
ったりすると、一般的に有害成分と除害剤との反応が発
熱反応であることから、急激な反応により発熱量が極め
て大きくなり、除害剤の温度が上昇して除害剤の寿命が
著しく短くなることがある。
【0007】このため、除害筒に温度計を設けて除害剤
の温度を監視したり、除害筒出口にガスセンサーを設け
て排出ガス中の有害成分濃度を監視したり、また、除害
筒の圧力変化や流入ガス量の変化、流入ガス中の有害成
分濃度の変化等を監視するようにしている。
【0008】ところが、このような監視用の各種機器、
センサーは、一般に除害装置の所定位置に組み込まれて
おり、これらの表示を確認するためには、除害装置を設
置した場所へ行かなければならなかった。さらに、これ
らの表示を確認する人間は、例えば半導体製造を専門と
する人達であり、除害装置のことは余り詳しくないこと
が多いため、表示に異常が認められた場合は、あらかじ
め提示されたマニュアルに沿って対応することもできる
が、その除害装置を含めて半導体製造装置等の運転を一
次中断し、除害装置製造会社や保守担当会社に連絡して
保守担当者(サービスマン)の来訪を依頼することが多
かった。
【0009】したがって、保守担当者が到着して異常原
因を解明し、除害剤交換、部品交換等の作業が終了する
までの間、最悪の場合は、半導体等の生産がストップし
てしまうことがある。ところが、異常の発生原因が一時
的なものであり、例えば、パージ不足による残留空気や
水分の影響によって一時的に除害剤の温度が上昇しただ
けの場合は、そのまま除害装置の運転を継続していても
ほとんど問題がなく、例えば希釈ガスを一時的に増量す
るだけで問題が解決することが多い。しかし、従来は、
このような場合でも、ガス除害装置だけでなく半導体製
造装置の運転も停止しなければならず、半導体製造メー
カーにとって多大な損失となり、また、保守担当者の出
張に要する金銭的、時間的なロスも大きな問題となる。
【0010】そこで本発明は、除害装置における測定温
度等に異常が発生した場合でも迅速に対応することがで
き、時間的、金銭的なロスを最小限に抑えることができ
るガス除害装置を提供することを目的としている。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明のガス除害装置は、有害成分を含むガスを除
害剤を充填した除害筒内に流通させて除害処理を行うガ
ス除害装置において、前記除害筒内の除害剤温度を測定
する温度測定手段と、除害筒から導出した処理ガス中の
前記有害成分濃度を測定する濃度測定手段と、前記温度
測定手段で測定した温度測定値とあらかじめ設定した温
度設定値とを比較する温度比較手段と、前記濃度測定手
段で測定した濃度測定値とあらかじめ設定した濃度設定
値とを比較する濃度比較手段と、測定した前記温度測定
値及び濃度測定値を記憶する記憶手段と、前記温度比較
手段で比較した温度測定値が前記温度設定値を超えたと
き、又は、前記濃度比較手段で比較した濃度測定値が前
記濃度設定値を超えたときに、あらかじめ設定されたメ
ールアドレスに向けて測定値異常情報を含む電子メール
を送信する通信手段を備えていることを特徴とし、特
に、前記温度測定手段が、除害筒内のガス流れ方向に対
して複数個が設置されていることを特徴としている。
【0012】また、前記除害筒に導入されるガスの流量
を測定する流量測定手段と、該除害筒の圧力を測定する
圧力測定手段とを有するとともに、前記通信手段は、流
量測定手段で測定した流量測定値があらかじめ設定した
流量設定値を超えたとき、又は、圧力測定手段で測定し
た圧力測定値があらかじめ設定した圧力設定値を超えた
ときに、測定値異常情報を含む前記電子メールを送信す
ることを特徴としている。
【0013】さらに、前記記憶手段は、各測定値を所定
時間間隔で経時的に記憶し、前記通信手段は、前記電子
メールの送信時に、記憶手段に記憶されている過去の測
定値を読込んで前記測定値異常情報と共に送信すること
を特徴としている。
【0014】また、除害筒へのガス流入経路に設けた弁
及び有害成分濃度を希釈するために導入される希釈ガス
の導入経路に設けた弁の開閉を制御する弁制御部を有
し、前記記憶手段は、該弁制御部からの信号によって弁
の開閉状態を記憶し、前記通信手段は、前記電子メール
の送信時に、記憶手段に記憶されている過去の弁開閉状
態を読込んで前記測定値異常情報と共に送信することを
特徴としている。
【0015】さらに、前記通信手段は、特定の送信者か
ら送信された電子メールを受信したときに、該電子メー
ルに記載された弁の開閉情報を前記弁制御部に伝達し、
該弁制御部は、通信手段から伝達された弁の開閉情報に
基づいて弁の開閉を行うこと、特定の送信者から送信さ
れた電子メールを受信したときに、該電子メールに記載
された指示に基づいて前記記憶手段に記憶されている測
定値を電子メールで返信すること、除害装置管理者のサ
ーバーに定期的に前記記憶手段に記憶した測定値を送信
することを特徴としている。
【0016】
【発明の実施の形態】図1はガス除害装置の一形態例を
示す配管系統図、図2はガス除害装置に設けられている
制御部の一例を示すブロック図、図3は制御部の動作例
を示すフローチャートである。
【0017】このガス除害装置は、内部に金属酸化物や
金属水酸化物等の除害剤11を充填した除害筒12と、
該除害筒12に有害成分含有ガスを導入するガス導入経
路13と、除害処理後のガスを除害筒12から導出する
ガス導出経路14とからなるものであって、ガス導入経
路13には、有害成分を含むガスを発生するような装
置、例えば半導体製造装置15が弁16及び流量測定手
段(流量計)17を介して接続されるとともに、除害筒
内の圧力を測定する圧力測定手段(圧力計)18と、弁
19を介して希釈ガスを導入する希釈ガス導入経路20
とが設けられている。また、除害筒12には、ガス流れ
方向に対して3箇所に温度測定手段(温度計)21a,
21b,21cが設けられており、ガス導出経路14に
は、処理ガス中に含まれる有害成分濃度を測定する濃度
測定手段(分析計)22、例えばリアルタイムで低濃度
の測定を行えるFT−IRや、定電位電解式あるいは半
導体式のガス検知器が設けられている。
【0018】ガス除害装置には、図2に示すような制御
装置30が設けられている。この制御装置30には、あ
らかじめ設定された各種手順に基づいて作動する制御部
31を中心として、前記流量計17、圧力計18、温度
計21a,21b,21c、分析計22の各測定値を装
置運転情報として取込むとともに、前記弁16,19の
開閉を制御する弁制御部23との間で弁開閉情報の授受
を行うデータ入出力部(I/O)32と、取込んだ各種
測定値等を記憶するとともに、各種設定値や情報、シー
ケンス等を記憶した記憶部33と、各種測定値を表示す
る表示部34と、設定値等を入力する入力部35と、各
種時間情報を設定するタイマー36と、電子メール等の
情報を送受信する通信手段37とを有している。
【0019】制御部31は、例えば図3に示すように、
ステップ41〜44で圧力、温度、流量、濃度をあらか
じめ設定された各設定値と、I/O32を介して取込ん
だ各測定値とを比較し、ステップ45でこれらに異常が
無いと判断したときには、ステップ46で表示部34に
正常な運転状態であることを表示するとともに、ステッ
プ47で各測定値をハードディスク等の記憶部33に運
転データとして記憶する。この各測定値の比較処理は、
タイマー36に設定された所定の時間間隔、例えば1分
間隔で行われる。
【0020】ステップ41〜44で圧力、温度、流量、
濃度に異常が認められた場合は、各ステップから異常検
出ステップ51〜54にそれぞれ進み、各変数P(圧
力)、T(温度)、F(流量)、D(濃度)に異常状態
を示す符号Xを代入し、ステップ45でこれらの変数の
ひとつにでもXが代入されているとき、すなわち、装置
の運転状態に異常がある場合は、ステップ55に進んで
表示部34に異常状態を表示するとともに、ステップ5
6において、通信手段37に各測定値等の所定のデータ
を送り、あらかじめ設定されたメールアドレスに向けて
測定値異常情報を含む電子メールを送信する。
【0021】この電子メールには、このガス除害装置に
設定された固有の名称(ID)、異常発生時間、異常内
容、異常発生前の各測定値の状態、弁の開閉状態等が含
まれており、さらに、装置設置場所、保守担当者(会
社)、保守履歴、異常発生履歴のようなガス除害装置に
関する各種情報を含めることができる。このとき、異常
の内容によっては、ガス除害装置の運転をバックアップ
設備に切替えたり、さらには、半導体製造装置の運転ま
でも停止させるようなインターロック機能を制御装置3
0に組み込んでおくことができ、この場合は、これらの
情報を含めた電子メールが送信されることになる。ま
た、必要に応じてポケットベル(登録商標)にも異常発
生情報を送信するようにしてもよい。
【0022】なお、記憶部33に記憶するデータは、1
時間経過までは測定時間間隔である1分ごと、その後3
時間経過までは一部のデータを削除して5分ごと、6時
間経過までは10分ごとというように、正常運転が継続
しているときには、中間のデータを適当に削除して記憶
することにより、記憶容量を節約することができ、デー
タの送信や確認も容易に行うことが可能となる。
【0023】前記電子メールの送信先アドレスは、この
ガス除害装置の管理者や管理会社、運転に詳しい技術
者、保守担当の技術者や会社、ガス除害装置を含む半導
体製造設備全体の管理者や管理担当部門等であって、装
置規模や有害成分の種類、バックアップ設備の状況等に
よって適当な送信先を設定しておくことができ、また、
異常内容によって送信先を選択するように設定すること
もできる。
【0024】さらに、この電子メールの送信先は、各会
社内のパソコンだけでなく、携帯端末、携帯電話、PH
Sも対象とすることができ、一人の技術者が複数のメー
ルアドレスを保有している場合には、それぞれに同じ内
容を送信することができ、携帯電話のような表示画面の
小さな送信先には、異常情報の概要のみを送信するよう
に設定することもできる。また、上記異常情報だけでな
く、例えば、過去の除害剤交換履歴を参照して除害剤1
1の交換時期が近付いたというような注意情報を送信す
ることも可能である。さらに、異常の内容に応じて文字
の色や大きさ、書体を変えたり、背景を変えたり、音声
を付加したりすることもできる。
【0025】このようにしてガス除害装置の制御装置3
0から送信された電子メールは、インターネット回線を
通り、サーバ61を介して装置管理者のパソコン62と
共に、該装置管理者や保守部門の担当者が保有する携帯
端末63に送られ、保守担当者は、受信した電子メール
の内容に基づいて最適な措置を講じることになる。この
とき、装置管理者や保守担当者が受信した場合に、開封
メッセージを制御装置30に送信するように設定してお
き、制御装置30の表示部34に開封メッセージを表示
させることにより、異常情報が装置管理者や保守担当者
に伝達されたことを確実に知ることができる。
【0026】パソコン62は、電子メールの送受信やサ
ーバ61へのアクセスを行うモデムやLAN等の通信部
64、各種情報を記憶するハードディスク等の記憶部6
5、各種情報を表示するディスプレイ等の表示部66、
各種入力や選択を行うキーボードやマウス等の入力部6
7を有する制御部68を備えるものであって、各種情報
の読み取り、表示、記憶、入力及び送受信ができるよう
に形成されている。
【0027】また、サーバ61やパソコン62には、必
要に応じて各ガス除害装置に関する情報を登録しておく
ことができる、例えば、前記ガス除害装置のIDに対応
する装置名、設置場所、設置時期、対象とするガスの組
成及び有害ガスの種類や濃度、除害剤の種類及び充填
量、保守担当部門(自社の支店、営業所、あるいは、保
守代行を行う会社、支店、営業所等)及び担当責任者、
除害剤交換履歴、過去の補修履歴、異常発生履歴等のガ
ス除害装置に関する情報の他、発生した異常に対する対
応策や、他に設置した同様のガス除害装置で発生した異
常情報の検索機能までも組み込んでおくことができる。
【0028】サーバ61にこれらの各種情報を登録して
おくことにより、特定のパソコン62や携帯端末63以
外のパソコンや携帯端末からも、任意にサーバ61にア
クセスすることによってこれらの情報を引き出すことが
可能となる。また、パソコン等から電子メールでサーバ
61や制御装置30に問い合わせることにより、サーバ
61や制御装置30から電子メールで必要な情報を受け
取るようにすることもでき、例えば特定の時期の温度変
化や圧力変化を簡単に知ることができる。そして、除害
筒の温度変化や圧力変化等を定期的に確認することによ
り、異常事態の発生を未然に防止することも可能であ
り、必要に応じて保守担当者の携帯端末63に連絡して
点検や整備を指示することもできる。なお、これらの情
報の閲覧に対しては、パスワード等の保護対策を施して
おく。
【0029】また、パソコン62と携帯端末63との間
の通信もサーバ61を介して可能に形成されており、例
えば、発生した異常情報に対して特別な修理や補修等が
必要なときなど、装置製造会社の技術担当者等からパソ
コン62を介して保守部門の保守担当者等に宛てて、そ
の旨を通知することができ、ガス除害装置の異常発生に
対して適切な修理や補修を確実に行うことができる。ま
た、現場での詳細な情報を保守担当者の携帯端末63か
ら技術担当者のパソコン62に送信して指示を仰ぐこと
もできる。
【0030】このように形成することにより、通常の運
転状態において、例えば最下流側の温度計21cが測定
した温度が上昇し始めたときには、この温度上昇情報を
電子メールで通知することにより、保守担当者等に除害
剤11の破過が近いことを知らせることができ、このと
き、過去の除害剤交換履歴や上流側の温度計21a,2
1bの温度変化を同時に通知することにより、除害筒1
2内での破過の進行状況を知ることができ、これによっ
て破過に至るまでの期間を推測することができるので、
除害剤11の交換予定日を的確に決定することができ
る。
【0031】また、ガス除害装置を接続した半導体製造
装置15がバッチ方式の運転を行い、各運転時に一定量
の有害ガスを排出する場合は、除害剤交換後の半導体製
造装置15の運転回数を制御装置30でカウントした
り、半導体製造装置15の制御部から取込んだりするこ
とにより、この運転回数に基づいて除害剤の交換時期を
推測することができ、運転回数と前記温度上昇とを組合
わせることにより、除害剤の交換時期をより確実に推定
することができる。これにより、除害筒12での有害成
分の除害処理を確実に行いながら、除害剤を無駄なく利
用することができるとともに、除害剤交換に関係するス
ケジュール調整も容易に行うことができ、半導体製造装
置15の運転停止時間を極力減らすことができる。な
お、有害成分との反応によって除害剤11の重量が変化
する場合は、除害筒12の重量を測定するロードセルの
ような重量測定手段を設置し、測定した重量変化に基づ
いて除害剤の破過を推測することができる。また、分析
計22の濃度測定値の変化により除害剤の破過を推測す
ることもできる。
【0032】また、温度測定値が所定温度より上昇した
場合は、ガス除害装置に詳しい技術者がパソコン62や
携帯端末63を利用してサーバ61や制御装置30の記
憶部33に蓄積した各測定値からそれまでの運転状況を
読み取ることにより、弁19を開いて希釈ガス導入経路
20からの希釈ガス導入量を増加させるだけで対応が可
能か、あるいは、弁16を閉じてガス除害装置の運転を
停止させる必要があるかを判断することができ、この判
断に基づいた指示をパソコン62や携帯端末63から電
子メール等によってサーバ61を介して制御装置30に
伝達することにより、希釈ガス導入量を増加させるだけ
で対応可能な場合は、ガス除害装置の運転を停止させる
ことなく半導体製造装置51の運転も通常通り継続する
ことができるとともに、保守担当者の出張に要する金銭
的、時間的なロスも発生することがなくなり、半導体製
造設備全体における金銭的、時間的なロスを大幅に削減
することができる。
【0033】さらに、ガス導入経路13にも分析計を設
けて有害成分濃度を測定することにより、ガス流量と測
定濃度とから除害筒内に流入した累計有害成分量を算出
することができるので、除害剤の破過の推定も容易に行
えるとともに、担当の技術者が測定濃度の経時変化を見
ることによって温度測定値の上昇原因を容易に追求する
ことができる。また、過去の事例から、除害剤の温度上
昇原因となる事例とともにその対策を表示させることに
より、原因究明をより簡単に行うことができ、迅速に対
応することもできる(トラブルシューティング)。
【0034】加えて、パソコン等からの指示のみで対応
が可能な軽微な異常の発生状況を蓄積し、また、制御装
置30の記憶部33やサーバ61に蓄積されている温度
情報、流量情報等を参照することにより、半導体製造装
置15の運転状況の変化を読み取ることができ、このガ
ス除害装置を設置した時点に比べて半導体製造装置15
の稼働率が上昇したことを知ったときには、より高性能
なガス除害装置への交換を提案することができ、ガス除
害装置の販売促進にも寄与することができる。
【0035】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のガス除害
装置によれば、装置の異常発生を迅速に担当者に知らせ
ることができるので、その対応も迅速かつ的確に行うこ
とができる。さらに、迅速かつ的確な対応によって装置
の運転停止時間を極力減らすことができ、設備全体の金
銭的、時間的なロスを大幅に削減することができる。ま
た、トラブルシューティング機能を有することにより安
全性も大幅に向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ガス除害装置の一形態例を示す配管系統図で
ある。
【図2】 ガス除害装置の制御部の一例を示すブロック
図である。
【図3】 制御部の動作例を示すフローチャートであ
る。
【符号の説明】
11…除害剤、12…除害筒、13…ガス導入経路、1
4…ガス導出経路、15…半導体製造装置、16…弁、
17…流量計、18…圧力計、19…弁、20…希釈ガ
ス導入経路、21a,21b,21c…温度計、22…
分析計、23…弁制御部、30…制御装置、31…制御
部、32…I/O、33…記憶部、34…表示部、35
…入力部、36…タイマー、37…通信手段、61…サ
ーバ、62…パソコン、63…携帯端末、64…通信
部、65…記憶部、66…表示部、67…入力部、68
…制御部
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 富田 修康 東京都港区西新橋1−16−7 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 小関 修一 東京都港区西新橋1−16−7 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 中島 晶子 東京都港区西新橋1−16−7 日本酸素株 式会社内 (72)発明者 万行 大貴 東京都港区西新橋1−16−7 日本酸素株 式会社内 Fターム(参考) 4D002 AA13 AA19 AA27 AA40 AC07 GA02 GB02 GB03 HA10 5K048 BA23 CA08 DA02 DC04 DC07 EA11 EB10 EB12 FB08 FC01 HA01 HA02 HA05 HA07 5K101 KK13 LL01 LL05 MM07 NN03 NN18 NN21 NN34 RR12 SS07 TT06 UU16

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 有害成分を含むガスを除害剤を充填した
    除害筒内に流通させて除害処理を行うガス除害装置にお
    いて、前記除害筒内の除害剤温度を測定する温度測定手
    段と、除害筒から導出した処理ガス中の前記有害成分濃
    度を測定する濃度測定手段と、前記温度測定手段で測定
    した温度測定値とあらかじめ設定した温度設定値とを比
    較する温度比較手段と、前記濃度測定手段で測定した濃
    度測定値とあらかじめ設定した濃度設定値とを比較する
    濃度比較手段と、測定した前記温度測定値及び濃度測定
    値を記憶する記憶手段と、前記温度比較手段で比較した
    温度測定値が前記温度設定値を超えたとき、又は、前記
    濃度比較手段で比較した濃度測定値が前記濃度設定値を
    超えたときに、あらかじめ設定されたメールアドレスに
    向けて測定値異常情報を含む電子メールを送信する通信
    手段を備えていることを特徴とするガス除害装置。
  2. 【請求項2】 前記温度測定手段は、除害筒内のガス流
    れ方向に対して複数個が設置されていることを特徴とす
    る請求項1記載のガス除害装置。
  3. 【請求項3】 前記除害筒に導入されるガスの流量を測
    定する流量測定手段と、該除害筒の圧力を測定する圧力
    測定手段とを有するとともに、前記通信手段は、流量測
    定手段で測定した流量測定値があらかじめ設定した流量
    設定値を超えたとき、又は、圧力測定手段で測定した圧
    力測定値があらかじめ設定した圧力設定値を超えたとき
    に、測定値異常情報を含む前記電子メールを送信するこ
    とを特徴とする請求項1記載のガス除害装置。
  4. 【請求項4】 前記記憶手段は、各測定値を所定時間間
    隔で経時的に記憶し、前記通信手段は、前記電子メール
    の送信時に、記憶手段に記憶されている過去の測定値を
    読込んで前記測定値異常情報と共に送信することを特徴
    とする請求項1記載のガス除害装置。
  5. 【請求項5】 除害筒へのガス流入経路に設けた弁及び
    有害成分濃度を希釈するために導入される希釈ガスの導
    入経路に設けた弁の開閉を制御する弁制御部を有し、前
    記記憶手段は、該弁制御部からの信号によって弁の開閉
    状態を記憶し、前記通信手段は、前記電子メールの送信
    時に、記憶手段に記憶されている過去の弁開閉状態を読
    込んで前記測定値異常情報と共に送信することを特徴と
    する請求項1記載のガス除害装置。
  6. 【請求項6】 前記通信手段は、特定の送信者から送信
    された電子メールを受信したときに、該電子メールに記
    載された弁の開閉情報を前記弁制御部に伝達し、該弁制
    御部は、通信手段から伝達された弁の開閉情報に基づい
    て弁の開閉を行うことを特徴とする請求項5記載のガス
    除害装置。
  7. 【請求項7】 前記通信手段は、特定の送信者から送信
    された電子メールを受信したときに、該電子メールに記
    載された指示に基づいて前記記憶手段に記憶されている
    測定値を電子メールで返信することを特徴とする請求項
    1記載のガス除害装置。
  8. 【請求項8】 前記通信手段は、除害装置管理者のサー
    バーに定期的に前記記憶手段に記憶した測定値を送信す
    ることを特徴とする請求項1記載のガス除害装置。
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