JP2002352962A - 有機発光素子およびその製造方法、有機発光表示装置および照明装置 - Google Patents
有機発光素子およびその製造方法、有機発光表示装置および照明装置Info
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- JP2002352962A JP2002352962A JP2001158722A JP2001158722A JP2002352962A JP 2002352962 A JP2002352962 A JP 2002352962A JP 2001158722 A JP2001158722 A JP 2001158722A JP 2001158722 A JP2001158722 A JP 2001158722A JP 2002352962 A JP2002352962 A JP 2002352962A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 上部電極として透明導電膜を成膜する工程に
おいて、有機発光層がスパッタダメージを受けるため、
有機発光層が化学的に変質したりする。また、高温に晒
されて熱で変性することもある。これらの結果、有機発
光素子の効率不足や信頼性低下といった発光素子特性の
劣化を引き起こすという問題を生じていた。 【解決手段】 有機発光層１３の上に、透光性マトリッ
クス樹脂１５中に透光性の導電性微粒子１６が分散され
てなる上層電極１４を備えた有機発光素子とする。
おいて、有機発光層がスパッタダメージを受けるため、
有機発光層が化学的に変質したりする。また、高温に晒
されて熱で変性することもある。これらの結果、有機発
光素子の効率不足や信頼性低下といった発光素子特性の
劣化を引き起こすという問題を生じていた。 【解決手段】 有機発光層１３の上に、透光性マトリッ
クス樹脂１５中に透光性の導電性微粒子１６が分散され
てなる上層電極１４を備えた有機発光素子とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、有機発光素子およ
びその製造方法、ならびに有機発光表示装置および照明
装置に関する。
びその製造方法、ならびに有機発光表示装置および照明
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】映像表示装置や照明装置としての応用開
発がなされている有機エレクトロルミネセンス素子（以
下、ＥＬとも称す。）等の有機発光素子は、基板上に形
成された有機発光層などから構成されており、自発光型
であるためにコントラストが高く、視野角が広いなどの
優れた特性を有する。最近では、特に薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）アレイ基板上に画素として有機発光素子を形
成したアクティブマトリックス型の有機発光表示装置が
高特性のフラットディスプレイとして注目され、盛んに
開発が行われている。
発がなされている有機エレクトロルミネセンス素子（以
下、ＥＬとも称す。）等の有機発光素子は、基板上に形
成された有機発光層などから構成されており、自発光型
であるためにコントラストが高く、視野角が広いなどの
優れた特性を有する。最近では、特に薄膜トランジスタ
（ＴＦＴ）アレイ基板上に画素として有機発光素子を形
成したアクティブマトリックス型の有機発光表示装置が
高特性のフラットディスプレイとして注目され、盛んに
開発が行われている。
【０００３】以下、有機発光素子の製造方法の一従来例
を、図３を参照しながら上層電極形成工程まで説明す
る。
を、図３を参照しながら上層電極形成工程まで説明す
る。
【０００４】まず、基板３１上に下層電極３２を形成す
る。下層電極３２の材料は装置構成により選ばれ、Ａｌ
等からなる金属膜や、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化
物）などの透明導電膜、あるいはそれらの積層膜が用い
られる。それらの膜の形成手段には蒸着やスパッタリン
グ等が用いられる。次いで、ホール輸送層、発光層、電
子輸送層、電子注入層等から構成される有機発光層３３
を形成する。次いで、上層電極３４を形成する。上層電
極３４の材料も装置構成により選ばれ、下層電極３２と
同様にＡｌ等からなる金属膜や、ＩＴＯ（インジウム・
スズ酸化物）などの透明導電膜、あるいはそれらの積層
膜が用いられる。
る。下層電極３２の材料は装置構成により選ばれ、Ａｌ
等からなる金属膜や、ＩＴＯ（インジウム・スズ酸化
物）などの透明導電膜、あるいはそれらの積層膜が用い
られる。それらの膜の形成手段には蒸着やスパッタリン
グ等が用いられる。次いで、ホール輸送層、発光層、電
子輸送層、電子注入層等から構成される有機発光層３３
を形成する。次いで、上層電極３４を形成する。上層電
極３４の材料も装置構成により選ばれ、下層電極３２と
同様にＡｌ等からなる金属膜や、ＩＴＯ（インジウム・
スズ酸化物）などの透明導電膜、あるいはそれらの積層
膜が用いられる。
【０００５】有機発光素子の構成としては、発光を上方
から（すなわち基板と反対側から）取り出す構造と、発
光を下方から（すなわち基板側から）取り出す構造と、
大きく分けて２つがあるが、特にＴＦＴアレイ基板上に
有機発光素子を形成する場合には、上方から発光を取り
出すと開口率が大きく取れて発光利用効率が高くなるの
で好ましい。この構造においては、上層電極は透光性で
なければならず、通常は上記のＩＴＯ（インジウム・ス
ズ酸化物）などの金属酸化物をスパッタリング法により
成膜した透明導電膜が用いられる。
から（すなわち基板と反対側から）取り出す構造と、発
光を下方から（すなわち基板側から）取り出す構造と、
大きく分けて２つがあるが、特にＴＦＴアレイ基板上に
有機発光素子を形成する場合には、上方から発光を取り
出すと開口率が大きく取れて発光利用効率が高くなるの
で好ましい。この構造においては、上層電極は透光性で
なければならず、通常は上記のＩＴＯ（インジウム・ス
ズ酸化物）などの金属酸化物をスパッタリング法により
成膜した透明導電膜が用いられる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記の図３に示した方
法で有機発光素子を作製すると、スパッタリング法によ
り透明導電膜を成膜する工程において、有機発光層がス
パッタダメージを受けるため、有機発光層が化学的に変
質したりする。また、高温に晒されて熱で変性すること
もある。これらの結果、有機発光素子の効率不足や信頼
性低下といった発光素子特性の劣化を引き起こすという
問題が生じていた。特に有機発光表示装置においては、
基板の全領域において上記不良を抑えて表示品位と信頼
性を確保することが望まれる。
法で有機発光素子を作製すると、スパッタリング法によ
り透明導電膜を成膜する工程において、有機発光層がス
パッタダメージを受けるため、有機発光層が化学的に変
質したりする。また、高温に晒されて熱で変性すること
もある。これらの結果、有機発光素子の効率不足や信頼
性低下といった発光素子特性の劣化を引き起こすという
問題が生じていた。特に有機発光表示装置においては、
基板の全領域において上記不良を抑えて表示品位と信頼
性を確保することが望まれる。
【０００７】そこで、本発明は発光効率の高い有機発光
素子とそれを実現するための製造方法、ならびに表示品
位と信頼性に優れた有機発光表示装置、有機発光照明装
置を提供することを目的とする。
素子とそれを実現するための製造方法、ならびに表示品
位と信頼性に優れた有機発光表示装置、有機発光照明装
置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の有機発光素子
は、基板上に積層された少なくとも下層電極、有機発光
層、上層電極を備え、上層電極が透光性マトリックス樹
脂中に透光性の導電性微粒子が分散されてなることを特
徴とする。
は、基板上に積層された少なくとも下層電極、有機発光
層、上層電極を備え、上層電極が透光性マトリックス樹
脂中に透光性の導電性微粒子が分散されてなることを特
徴とする。
【０００９】また本発明の有機発光素子は、基板上に積
層された少なくとも下層電極、有機発光層、２層以上か
らなる上層電極を備え、上層電極がマトリックス樹脂中
に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層を
少なくとも有することを特徴とする。
層された少なくとも下層電極、有機発光層、２層以上か
らなる上層電極を備え、上層電極がマトリックス樹脂中
に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層を
少なくとも有することを特徴とする。
【００１０】これら本発明の有機発光素子は、透光性に
優れた上層電極をスパッタリング法によらず形成できる
ので、有機発光層が化学的に変質したりすることはな
い。よって、発光効率が高く、信頼性に優れた有機発光
素子となる。
優れた上層電極をスパッタリング法によらず形成できる
ので、有機発光層が化学的に変質したりすることはな
い。よって、発光効率が高く、信頼性に優れた有機発光
素子となる。
【００１１】上記の構成においては、導電性微粒子が金
属酸化物であることが好ましい。特には、少なくともイ
ンジウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つである
ことが好適である。これらの金属酸化物は透光性と導電
性に優れているからである。
属酸化物であることが好ましい。特には、少なくともイ
ンジウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つである
ことが好適である。これらの金属酸化物は透光性と導電
性に優れているからである。
【００１２】透光性マトリックス樹脂としては、少なく
ともアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシから選
ばれる樹脂の一つを含むことが好ましい。これらの樹脂
は高い透明性を有し、微粒子の分散性の良いことと、塗
布薄膜形成が容易であることからマトリックス樹脂とし
て好適である。
ともアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシから選
ばれる樹脂の一つを含むことが好ましい。これらの樹脂
は高い透明性を有し、微粒子の分散性の良いことと、塗
布薄膜形成が容易であることからマトリックス樹脂とし
て好適である。
【００１３】また、透光性マトリックス樹脂が光硬化性
樹脂の一つを含むと、光照射により硬化工程を行なうこ
とにより有機発光層を高温に晒すことがないので望まし
い。
樹脂の一つを含むと、光照射により硬化工程を行なうこ
とにより有機発光層を高温に晒すことがないので望まし
い。
【００１４】また本発明の有機発光素子は、基板上に積
層された少なくとも下層電極、有機発光層、２層以上か
らなる上層電極を備え、上層電極が有機発光層側に設け
られたマトリックス樹脂中に導電性金属酸化物の微粒子
が分散されてなる導電層と、導電層の上に設けられた金
属酸化物透明導電層とを有することを特徴とする。
層された少なくとも下層電極、有機発光層、２層以上か
らなる上層電極を備え、上層電極が有機発光層側に設け
られたマトリックス樹脂中に導電性金属酸化物の微粒子
が分散されてなる導電層と、導電層の上に設けられた金
属酸化物透明導電層とを有することを特徴とする。
【００１５】上記の構成によると、マトリックス樹脂中
に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層が
有機発光層の上に設けられているので、その上の金属酸
化物透明導電層がスパッタリング法により形成されて
も、有機発光層がスパッタダメージを受けることがな
い。すなわち、導電層は透光性と導電性に優れたバッフ
ァ層として機能するので、発光効率が高く、信頼性に優
れた有機発光素子を実現できる。
に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層が
有機発光層の上に設けられているので、その上の金属酸
化物透明導電層がスパッタリング法により形成されて
も、有機発光層がスパッタダメージを受けることがな
い。すなわち、導電層は透光性と導電性に優れたバッフ
ァ層として機能するので、発光効率が高く、信頼性に優
れた有機発光素子を実現できる。
【００１６】上記構成においては、金属酸化物透明導電
層が少なくともインジウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸
化物の一つを含むこと、またそれはスパッタリング法で
形成されることが好ましい。これらの金属酸化物は透光
性が高く、導電性に優れ、またスパッタリング法で形成
されたそれらの金属酸化物膜は緻密で膜質が良好となる
からである。
層が少なくともインジウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸
化物の一つを含むこと、またそれはスパッタリング法で
形成されることが好ましい。これらの金属酸化物は透光
性が高く、導電性に優れ、またスパッタリング法で形成
されたそれらの金属酸化物膜は緻密で膜質が良好となる
からである。
【００１７】上記の構成においては、導電性微粒子が金
属酸化物であることが好ましい。また、透光性マトリッ
クス樹脂としては、少なくともアクリル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、エポキシから選ばれる樹脂の一つを含むこと
が好ましい。その理由は上述した通りである。
属酸化物であることが好ましい。また、透光性マトリッ
クス樹脂としては、少なくともアクリル樹脂、ポリウレ
タン樹脂、エポキシから選ばれる樹脂の一つを含むこと
が好ましい。その理由は上述した通りである。
【００１８】本発明で開示する有機発光表示装置は、本
発明の有機発光素子を備えたことを特徴とする。この有
機発光表示装置は、通常、有機発光素子を備えており、
本発明の有機発光素子の高い発光効率と優れた信頼性を
反映したものとなる。
発明の有機発光素子を備えたことを特徴とする。この有
機発光表示装置は、通常、有機発光素子を備えており、
本発明の有機発光素子の高い発光効率と優れた信頼性を
反映したものとなる。
【００１９】また、本発明で開示する有機発光照明装置
は、本発明の有機発光素子を備えたことを特徴とする。
この有機発光照明装置は、通常、有機発光素子を備えて
おり、本発明の有機発光素子の高い発光効率と優れた信
頼性を反映したものとなる。
は、本発明の有機発光素子を備えたことを特徴とする。
この有機発光照明装置は、通常、有機発光素子を備えて
おり、本発明の有機発光素子の高い発光効率と優れた信
頼性を反映したものとなる。
【００２０】本発明の有機発光素子の一つの製造方法
は、基板上に、少なくとも下層電極、有機発光層、上層
電極を形成する工程を備える有機発光素子の製造方法で
あって、上層電極を形成する工程において、有機発光層
の上に少なくとも透光性マトリックス樹脂と透光性の導
電性微粒子を含むインクを塗布する工程と、インクを硬
化させる工程とを行なうことを特徴とする。
は、基板上に、少なくとも下層電極、有機発光層、上層
電極を形成する工程を備える有機発光素子の製造方法で
あって、上層電極を形成する工程において、有機発光層
の上に少なくとも透光性マトリックス樹脂と透光性の導
電性微粒子を含むインクを塗布する工程と、インクを硬
化させる工程とを行なうことを特徴とする。
【００２１】上記製造方法によれば、透光性に優れた上
層電極をスパッタリング法によらず形成できるので、有
機発光層がダメージを受けて化学的に変質したりするこ
とはない。よって、発光効率が高く、信頼性に優れた有
機発光素子を製造できる。
層電極をスパッタリング法によらず形成できるので、有
機発光層がダメージを受けて化学的に変質したりするこ
とはない。よって、発光効率が高く、信頼性に優れた有
機発光素子を製造できる。
【００２２】本発明の有機発光素子のもう一つの製造方
法は、基板上に、少なくとも下層電極、有機発光層、上
層電極を形成する工程を有する有機発光素子の製造方法
であって、上層電極を形成する工程において、有機発光
層の上に少なくとも透光性マトリックス樹脂と透光性の
導電性微粒子を含むインクを塗布する工程と、インクを
硬化させる工程と、その上に金属酸化物からなる透明導
電層を形成する工程とを行なうことを特徴とする。
法は、基板上に、少なくとも下層電極、有機発光層、上
層電極を形成する工程を有する有機発光素子の製造方法
であって、上層電極を形成する工程において、有機発光
層の上に少なくとも透光性マトリックス樹脂と透光性の
導電性微粒子を含むインクを塗布する工程と、インクを
硬化させる工程と、その上に金属酸化物からなる透明導
電層を形成する工程とを行なうことを特徴とする。
【００２３】上記製造方法によれば、マトリックス樹脂
中に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層
が有機発光層の上に設けられているので、その上の金属
酸化物透明導電層がスパッタリング法により形成されて
も、有機発光層がスパッタダメージを受けることがな
い。すなわち、導電層は透光性と導電性に優れたバッフ
ァ層として機能するので、発光効率が高く、信頼性に優
れた有機発光素子を製造できる。
中に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電層
が有機発光層の上に設けられているので、その上の金属
酸化物透明導電層がスパッタリング法により形成されて
も、有機発光層がスパッタダメージを受けることがな
い。すなわち、導電層は透光性と導電性に優れたバッフ
ァ層として機能するので、発光効率が高く、信頼性に優
れた有機発光素子を製造できる。
【００２４】また、インクを硬化させる工程を光照射に
よって行えば、有機発光層を高温に晒すことなく硬化工
程を行なえるので好ましい製造方法となる。
よって行えば、有機発光層を高温に晒すことなく硬化工
程を行なえるので好ましい製造方法となる。
【００２５】
【発明の実施の形態】以下本発明の実施の形態について
図面を参考にしながら説明する。
図面を参考にしながら説明する。
【００２６】（実施の形態１）図１は本発明に係る発光
素子の第１の実施例を示す断面図である。
素子の第１の実施例を示す断面図である。
【００２７】基板１１は、本発明の発光素子を坦持でき
るものであればよく、ガラス基板あるいは樹脂基板、樹
脂フィルム、またはシリコン基板等を用いることができ
る。下層電極１２には、素子の構造により様々な材料が
選ばれる。上部（すなわち基板と反対側）より発光を取
り出す構造の場合、下層電極は光を反射する膜であれば
よく、ＡｌあるいはＡｌ化合物、銀あるいは銀化合物等
の金属膜を用いることが好ましい。さらに、銀化合物と
しては、銀・パラジウム・銅（ＡｇＰｄＣｕ）の合金あ
るいは銀・金・銅（ＡｇＡｕＣｕ）の合金を用いるのが
好ましい。いわゆる電流注入型の有機ＥＬ素子の場合、
通常反射電極は陰極となり、電子の注入効率のよい材
料、すなわち仕事関数の低い材料を用いることが多い。
有機ＥＬ素子の陰極としては例えばＡｌ−Ｌｉ合金、Ｍ
ｇ−Ａｇ合金等の、仕事関数が低いが反応性の高い金属
（Ｌｉ、Ｍｇ等）と反応性が低く安定な金属（Ａｌ、Ａ
ｇ等）との合金を用いればよい。あるいは、Ｌｉ／Ａ
ｌ、ＬｉＦ／Ａｌ等の仕事関数の低い金属あるいはその
化合物と仕事関数の高い金属の積層電極などを用いるこ
とができる。下層電極１２の形成方法としては、スパッ
タ、エレクトロンビーム蒸着、抵抗加熱蒸着等の方法を
用いればよい。
るものであればよく、ガラス基板あるいは樹脂基板、樹
脂フィルム、またはシリコン基板等を用いることができ
る。下層電極１２には、素子の構造により様々な材料が
選ばれる。上部（すなわち基板と反対側）より発光を取
り出す構造の場合、下層電極は光を反射する膜であれば
よく、ＡｌあるいはＡｌ化合物、銀あるいは銀化合物等
の金属膜を用いることが好ましい。さらに、銀化合物と
しては、銀・パラジウム・銅（ＡｇＰｄＣｕ）の合金あ
るいは銀・金・銅（ＡｇＡｕＣｕ）の合金を用いるのが
好ましい。いわゆる電流注入型の有機ＥＬ素子の場合、
通常反射電極は陰極となり、電子の注入効率のよい材
料、すなわち仕事関数の低い材料を用いることが多い。
有機ＥＬ素子の陰極としては例えばＡｌ−Ｌｉ合金、Ｍ
ｇ−Ａｇ合金等の、仕事関数が低いが反応性の高い金属
（Ｌｉ、Ｍｇ等）と反応性が低く安定な金属（Ａｌ、Ａ
ｇ等）との合金を用いればよい。あるいは、Ｌｉ／Ａ
ｌ、ＬｉＦ／Ａｌ等の仕事関数の低い金属あるいはその
化合物と仕事関数の高い金属の積層電極などを用いるこ
とができる。下層電極１２の形成方法としては、スパッ
タ、エレクトロンビーム蒸着、抵抗加熱蒸着等の方法を
用いればよい。
【００２８】発光層１３としては、例えばＡｌｑ3等の
有機発光材料を用いる。好ましくは、発光層１３を多層
構造すなわち正孔輸送層と電子輸送性発光層を積層した
２層構造、あるいは正孔輸送層、発光層、電子輸送層を
積層した３層構造、あるいはそれ以上の多層構造とすれ
ばよい。発光層の形成は主に抵抗加熱蒸着法を用いる
が、エレクトロンビーム蒸着法、スパッタ法等を用いる
ことも場合により可能である。また、いわゆる高分子型
と称される発光材料を用いてもよく、その場合には各種
印刷法やインクジェット法などにより有機発光層が形成
される。
有機発光材料を用いる。好ましくは、発光層１３を多層
構造すなわち正孔輸送層と電子輸送性発光層を積層した
２層構造、あるいは正孔輸送層、発光層、電子輸送層を
積層した３層構造、あるいはそれ以上の多層構造とすれ
ばよい。発光層の形成は主に抵抗加熱蒸着法を用いる
が、エレクトロンビーム蒸着法、スパッタ法等を用いる
ことも場合により可能である。また、いわゆる高分子型
と称される発光材料を用いてもよく、その場合には各種
印刷法やインクジェット法などにより有機発光層が形成
される。
【００２９】上層電極１４は透光性マトリックス樹脂１
５中に透光性の導電性微粒子１６が分散されてなる。マ
トリックス樹脂１５の材料としては、例えばアクリル樹
脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネー
ト樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等の透光性の
高い材料が用いられる。好ましくは透光性の高いアクリ
ル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂を含む構成で
あると良い。透光性の導電性微粒子１６としては、イン
ジウム、スズ、亜鉛など複数の金属の酸化物（いわゆる
ＩＴＯ、ＡＴＯ等）からなる微粒子が用いられる。微粒
子の大きさは３ｎｍ〜１μ程度が用いられる。微粒子の
形状は、球状、樹枝状、針状、ウイスカ状などいずれで
も良い。導電性微粒子の大きさが小さく、かつ樹脂中に
含まれる割合が多いほど、上層電極の電気抵抗を小さく
し、透光性を上げることができるので好ましい。特にマ
トリックス樹脂２０重量部に対して導電性微粒子が８０
重量部以上の割合で分散されているのが望ましい。上層
電極の厚みは抵抗値を小さくするためには０．１μｍ〜
数μｍ程度が必要となる。
５中に透光性の導電性微粒子１６が分散されてなる。マ
トリックス樹脂１５の材料としては、例えばアクリル樹
脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂、ポリカーボネー
ト樹脂、ポリエチレンテレフタレート樹脂等の透光性の
高い材料が用いられる。好ましくは透光性の高いアクリ
ル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂を含む構成で
あると良い。透光性の導電性微粒子１６としては、イン
ジウム、スズ、亜鉛など複数の金属の酸化物（いわゆる
ＩＴＯ、ＡＴＯ等）からなる微粒子が用いられる。微粒
子の大きさは３ｎｍ〜１μ程度が用いられる。微粒子の
形状は、球状、樹枝状、針状、ウイスカ状などいずれで
も良い。導電性微粒子の大きさが小さく、かつ樹脂中に
含まれる割合が多いほど、上層電極の電気抵抗を小さく
し、透光性を上げることができるので好ましい。特にマ
トリックス樹脂２０重量部に対して導電性微粒子が８０
重量部以上の割合で分散されているのが望ましい。上層
電極の厚みは抵抗値を小さくするためには０．１μｍ〜
数μｍ程度が必要となる。
【００３０】上層電極の形成は、有機発光層の上に少な
くとも透光性マトリックス樹脂と透光性の導電性微粒子
を含むインクを塗布した後、硬化させることによって行
なわれる。特に、紫外光などの光照射によるポリマー重
合反応等を利用して樹脂を硬化させる方法によれば、有
機発光層が熱によるダメージを受けることがないので都
合が良い。
くとも透光性マトリックス樹脂と透光性の導電性微粒子
を含むインクを塗布した後、硬化させることによって行
なわれる。特に、紫外光などの光照射によるポリマー重
合反応等を利用して樹脂を硬化させる方法によれば、有
機発光層が熱によるダメージを受けることがないので都
合が良い。
【００３１】（実施の形態２）図２は本発明に係る発光
素子の第１の実施例を示す断面図である。
素子の第１の実施例を示す断面図である。
【００３２】基板２１、下層電極２２、発光層２３は
（実施の形態１）と同様のものであるので、詳細は省略
する。上層電極２４は、有機発光層２３側に設けられた
マトリックス樹脂２５中に導電性金属酸化物の微粒子２
６が分散されてなる導電層２７と、その上に設けられた
金属酸化物透明導電層２８とを有する。
（実施の形態１）と同様のものであるので、詳細は省略
する。上層電極２４は、有機発光層２３側に設けられた
マトリックス樹脂２５中に導電性金属酸化物の微粒子２
６が分散されてなる導電層２７と、その上に設けられた
金属酸化物透明導電層２８とを有する。
【００３３】導電層２７は（実施の形態１）と同様の方
法で形成される。その上の金属酸化物透明導電層２８は
スパッタリング法、エレクトロンビーム蒸着法などによ
って形成されるが、導電層２７が介在しているので有機
発光層２３にダメージを与えることがない。
法で形成される。その上の金属酸化物透明導電層２８は
スパッタリング法、エレクトロンビーム蒸着法などによ
って形成されるが、導電層２７が介在しているので有機
発光層２３にダメージを与えることがない。
【００３４】また、本実施例の構成の微小な有機発光素
子をマトリクス状に並べることにより、表示装置を作製
することができる。すなわち、基板側の下層電極をスト
ライプ状にパターニングした後、発光層等を形成し、上
層電極を下層電極に対して直交するようにストライプ状
にパターニングする。そして、発光させたい素子（画
素）の上下の電極に任意の電圧を印加することにより、
任意の有機発光素子（画素）を任意の輝度で発光させる
ことができる。
子をマトリクス状に並べることにより、表示装置を作製
することができる。すなわち、基板側の下層電極をスト
ライプ状にパターニングした後、発光層等を形成し、上
層電極を下層電極に対して直交するようにストライプ状
にパターニングする。そして、発光させたい素子（画
素）の上下の電極に任意の電圧を印加することにより、
任意の有機発光素子（画素）を任意の輝度で発光させる
ことができる。
【００３５】また特に、絶縁性基板上に有機発光素子の
スイッチング素子としてＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を
作り込んだ基板（いわゆるＴＦＴアレイ）を用いること
により、アクティブマトリックス型の有機発光表示装置
を作製することが出来る。
スイッチング素子としてＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を
作り込んだ基板（いわゆるＴＦＴアレイ）を用いること
により、アクティブマトリックス型の有機発光表示装置
を作製することが出来る。
【００３６】さらに、本実施例の有機発光素子を任意の
面積の基板面に形成することで、バックライト等の照明
装置を作製することができる。
面積の基板面に形成することで、バックライト等の照明
装置を作製することができる。
【００３７】なお、本実施の形態においては、有機発光
素子の上層電極形成工程までしか記述していないが、必
要に応じて水分の侵入を防ぐためにガラスや樹脂等によ
り封止を行なってもよい。
素子の上層電極形成工程までしか記述していないが、必
要に応じて水分の侵入を防ぐためにガラスや樹脂等によ
り封止を行なってもよい。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように本発明の構成によれ
ば、有機発光層に何らのダメージを与えることなく上層
電極を形成するため、有機発光素子の効率不足や信頼性
低下といった発光素子特性の劣化を引き起こすことがな
い。よって、発光効率の高い有機発光素子を実現し、そ
れを用いた表示品位と信頼性に優れた有機発光表示装置
を提供することが可能になる。
ば、有機発光層に何らのダメージを与えることなく上層
電極を形成するため、有機発光素子の効率不足や信頼性
低下といった発光素子特性の劣化を引き起こすことがな
い。よって、発光効率の高い有機発光素子を実現し、そ
れを用いた表示品位と信頼性に優れた有機発光表示装置
を提供することが可能になる。
【図１】本発明の実施の形態１における有機発光素子の
構成を示す模式図
構成を示す模式図
【図２】本発明の実施の形態２における有機発光素子の
構成を示す模式図
構成を示す模式図
【図３】有機発光素子の一従来例の構成を示す模式図
１１ 基板 １２ 下層電極 １３ 有機発光層 １４ 上層電極 １５ マトリックス樹脂 １６ 導電性微粒子 ２１ 基板 ２２ 下層電極 ２３ 有機発光層 ２４ 上層電極 ２５ マトリックス樹脂 ２６ 導電性微粒子 ２７ 導電層 ２８ 金属酸化物透明導電層
Claims (23)
- 【請求項１】 基板上に積層された少なくとも下層電
極、有機発光層、上層電極を備え、前記上層電極が透光
性マトリックス樹脂中に透光性の導電性微粒子が分散さ
れてなることを特徴とする有機発光素子。 - 【請求項２】 前記導電性微粒子が金属酸化物であるこ
とを特徴とする請求項１記載の有機発光素子。 - 【請求項３】 前記導電性微粒子が少なくともインジウ
ム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つを含むことを
特徴とする請求項１記載の有機発光素子。 - 【請求項４】 前記透光性マトリックス樹脂が少なくと
もアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂から
選ばれる樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項１記
載の有機発光素子。 - 【請求項５】 前記透光性マトリックス樹脂が光硬化性
樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項１記載の有機
発光素子。 - 【請求項６】 基板上に積層された少なくとも下層電
極、有機発光層、２層以上からなる上層電極を備え、前
記上層電極がマトリックス樹脂中に導電性金属酸化物の
微粒子が分散されてなる導電層を少なくとも有すること
を特徴とする有機発光素子。 - 【請求項７】 前記導電性微粒子が金属酸化物であるこ
とを特徴とする請求項６記載の有機発光素子。 - 【請求項８】 前記導電性微粒子が少なくともインジウ
ム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つを含むことを
特徴とする請求項６記載の有機発光素子。 - 【請求項９】 前記透光性マトリックス樹脂が少なくと
もアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂から
選ばれる樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項６記
載の有機発光素子。 - 【請求項１０】 前記透光性マトリックス樹脂が光硬化
性樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項６記載の有
機発光素子。 - 【請求項１１】 基板上に積層された少なくとも下層電
極、有機発光層、２層以上からなる上層電極を備え、前
記上層電極が有機発光層側に設けられたマトリックス樹
脂中に導電性金属酸化物の微粒子が分散されてなる導電
層と、前記導電層の上に設けられた金属酸化物透明導電
層とを有することを特徴とする有機発光素子。 - 【請求項１２】 前記金属酸化物透明導電層が少なくと
もインジウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つを
含むことを特徴とする請求項１１記載の有機発光素子。 - 【請求項１３】 前記金属酸化物透明導電層がスパッタ
リング法で形成されたことを特徴とする請求項１１記載
の有機発光素子。 - 【請求項１４】 前記導電性微粒子が金属酸化物である
ことを特徴とする請求項１１記載の有機発光素子。 - 【請求項１５】 前記導電性微粒子が少なくともインジ
ウム、スズ、亜鉛から選ばれる酸化物の一つを含むこと
を特徴とする請求項１１記載の有機発光素子。 - 【請求項１６】 前記透光性マトリックス樹脂が少なく
ともアクリル樹脂、ポリウレタン樹脂、エポキシ樹脂か
ら選ばれる樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項１
１記載の有機発光素子。 - 【請求項１７】 前記透光性マトリックス樹脂が光硬化
性樹脂の一つを含むことを特徴とする請求項１１記載の
有機発光素子。 - 【請求項１８】 請求項１〜１７のいずれかに記載の有
機発光素子を備えたことを特徴とする有機発光表示装
置。 - 【請求項１９】 請求項１〜１７のいずれかに記載の有
機発光素子を備えたことを特徴とする有機発光照明装
置。 - 【請求項２０】 基板上に、少なくとも下層電極、有機
発光層、上層電極を形成する工程を備える有機発光素子
の製造方法であって、前記上層電極を形成する工程にお
いて、前記有機発光層の上に少なくとも透光性マトリッ
クス樹脂と透光性の導電性微粒子を含むインクを塗布す
る工程と、前記インクを硬化させる工程とを行なうこと
を特徴とする有機発光素子の製造方法。 - 【請求項２１】 基板上に、少なくとも下層電極、有機
発光層、上層電極を形成する工程を有する有機発光素子
の製造方法であって、前記上層電極を形成する工程にお
いて、前記有機発光層の上に少なくとも透光性マトリッ
クス樹脂と透光性の導電性微粒子を含むインクを塗布す
る工程と、前記インクを硬化させる工程と、その上に金
属酸化物からなる透明導電層を形成する工程とを行なう
ことを特徴とする有機発光素子の製造方法。 - 【請求項２２】 前記透明導電層を形成する工程がスパ
ッタリング法によることを特徴とする請求項２１に記載
の有機発光素子の製造方法。 - 【請求項２３】 前記インクを硬化させる工程が光照射
によることを特徴とする請求項２０〜２２のいずれかに
記載の有機発光素子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158722A JP2002352962A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | 有機発光素子およびその製造方法、有機発光表示装置および照明装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001158722A JP2002352962A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | 有機発光素子およびその製造方法、有機発光表示装置および照明装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002352962A true JP2002352962A (ja) | 2002-12-06 |
Family
ID=19002397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001158722A Pending JP2002352962A (ja) | 2001-05-28 | 2001-05-28 | 有機発光素子およびその製造方法、有機発光表示装置および照明装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2002352962A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009026541A (ja) * | 2007-07-18 | 2009-02-05 | Fujifilm Corp | 発光素子 |
| JP2012023020A (ja) * | 2010-06-17 | 2012-02-02 | Ricoh Co Ltd | 有機エレクトロルミネッセンス素子、その製造方法及び発光装置 |
| WO2012165159A1 (ja) * | 2011-05-30 | 2012-12-06 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子及びその製造方法 |
| WO2013114825A1 (ja) * | 2012-01-31 | 2013-08-08 | パナソニック株式会社 | 有機エレクトロルミネッセンス素子 |
| JP2015053514A (ja) * | 2003-10-03 | 2015-03-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子 |
-
2001
- 2001-05-28 JP JP2001158722A patent/JP2002352962A/ja active Pending
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2017017044A (ja) * | 2003-10-03 | 2017-01-19 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子 |
| JP2018085538A (ja) * | 2003-10-03 | 2018-05-31 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子 |
| JP2020010066A (ja) * | 2003-10-03 | 2020-01-16 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 発光素子 |
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