JP2002333580A - 顕微鏡のアライメント整合方法および光ビームのアライメント整合装置を備える顕微鏡 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単にビーム路を光学的システム内で調整す
ることのできる方法を提供すること。 【解決手段】 顕微鏡（１５）の光ビーム（１）を所定
位置で光ビーム（１）の調整装置（７）へ入力結合し、
その際に入力結合光ビーム（９）を装置（７０）内で形
成し、入力結合光ビーム（９）を少なくとも２つのフォ
ト検知器（１０，２２）に偏向し、ここでフォト検知器
（１０，２２）はそれぞれ前記所定位置から異なる距離
を有しており、入力結合光ビーム（０）と目標位置（７
２）との偏差をフォト検知器（１０，２２）の電気信号
から検出し、光学的構成部材（７６）を少なくとも１つ
の調整素子（７８）を介して、入力結合光ビーム（９）
を目標位置（７２）にもたらすために調整する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は顕微鏡の調整方法、
即ちアライメント整合方法に関する。とりわけ本発明
は、顕微鏡において光ビームの少なくとも１つの区間を
アライメント整合するための方法に関し、ここで前記少
なくとも１つの区間はアライメント整合可能な光学的構
成部材と、アライメント整合装置の取り付けられた位置
とにより定義される。

【０００２】さらに本発明は、顕微鏡において光ビーム
をアライメント整合するアライメント整合装置を有する
顕微鏡に関する。とりわけ本発明は、試料を照明するた
めの照明源と、顕微鏡光学系とを有する顕微鏡に関する
ものであり、ここで照明源および顕微鏡光学系は顕微鏡
の光軸を定める。

【０００３】光ビームの伝播方向ないし空間位置・配向
は、４つの特徴的パラメータにより十分に定義される。
すなわち１つは、光学システムの光軸からの光ビームの
空間的間隔（オフセット）であり、２つの座標によって
表される。この２つの座標は、光ビームを光軸に対し
て、光軸に対して直交する断面で平行移動することによ
って生じる。さらに、光ビームないしは光ビームが平行
移動された後（オフセットの除去後）に（それにより生
ずる直線が）光軸と交差する角度、並びにそれぞれ光ビ
ームと光軸を通って延在する２つの直線により定められ
る面の空間位置を固定の座標系を基準にして表す角度に
よって定義される。

【０００４】米国特許第５,２０６,７６６号には、光学
的スキャナに使用されるレーザダイオードを配向するた
めの方法および装置が開示されている。正確に配向する
ためにスキャナの前方には、目標マークを備える半透明
ディスクが取り付けられている。レーザダイオードの正
確な配向は、レーザビームが目標マークに当たるときに
達成される。

【０００５】米国特許５,７１７,６６６号明細書には、
光学的手段に対するアライメント整合（軸心合わせ）装
置が開示されており、これによりレンズの中央軸とレー
ザビームの光軸との間のずれが検出され補償・調整され
る。この装置は第１と第２のフォト検知器を開示してい
る。第１のフォト検知器はレンズの中央軸に沿って移動
可能であり、これによりずれの程度を検出する。第２の
フォト検知器によりレーザビームの分布が検出される。
さらにビームスプリッタが設けられており、このビーム
スプリッタはレーザビームを２つのフォト検知器に指向
ける。この機構はレーザ光源を２つのフォト検知器から
得られる信号に基づいて位置調整し、レーザ光源を相応
にアライメント整合する。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】上述の従来技術におい
ては、ビーム路の光学的システムにおけるアライメント
整合が、複雑で簡単ではないという問題がある。本発明
の第１の視点において、第１の課題は、簡単にビーム路
を光学的システム内でアライメント整合することのでき
る方法を提供することである。

【０００７】本発明の第２の視点において、第２の課題
は、簡単、迅速かつ確実にアライメント整合ないしはそ
の検査をすることのできる顕微鏡を提供することであ
る。

【０００８】

【課題を解決するための手段】第１の課題は請求項１の
特徴部分の構成を有する方法によって解決される。即
ち、光ビームの少なくとも１つの区間を顕微鏡内でアラ
イメント整合する方法であって、該区間は、アライメン
ト整合可能な光学的構成部材と、アライメント整合装置
がもたらされる位置とによって規定される形式の方法に
おいて、顕微鏡の光ビームを所定位置で光ビームのアラ
イメント整合装置へ入力結合し、その際に入力結合光ビ
ームを該アライメント整合装置内で形成し、該入力結合
光ビームを少なくとも２つのフォト検知器に偏向し、該
フォト検知器はそれぞれ前記所定位置から異なる距離を
有しており、該入力結合光ビームと目標位置との偏差を
フォト検知器の電気信号から検出し、前記光学的構成部
材を少なくとも１つの調整素子を介して、該入力結合光
ビームを目標位置にもたらすために、調整する、ことを
特徴とする。

【０００９】さらに第２の課題は、請求項６の特徴部分
の構成を有する顕微鏡によって解決される。即ち、試料
を照明するための照明源と、顕微鏡光学系とを有する顕
微鏡であって、照明源と顕微鏡光学系とが顕微鏡の光軸
を定める形式の顕微鏡において、少なくとも１つの調整
可能な光学素子が顕微鏡の光軸に設けられており、少な
くとも１つのアライメント整合装置が、顕微鏡の光ビー
ム中の光学素子に後置された位置に取り付けられてい
る、ことを特徴とする。

【００１０】

【発明の実施の形態】本発明の利点はとりわけ光学的機
器構成において、特徴的ビームパラメータを光学システ
ムのビーム路の少なくとも１つの個所において測定する
ことができることである。とりわけ有利には、当該装置
を顕微鏡でのアライメント整合（調心）のために使用す
る。ここで顕微鏡は、アライメント整合装置を取り付け
ることができる相応の位置を有する。この測定に基づい
て光学システムないしは顕微鏡において所定の光学素子
の位置を調整素子によって変化することができ、これに
より光ビームの空間的位置を光学システムにおいて、こ
の光ビームが所要の目標位置にもたらされるように変更
することができる。光ビームの所要の目標位置は光学シ
ステムにより定義される光軸と一致する。

【００１１】本発明の装置は、光学システムのいずれの
個所にも取り付けることができる。本発明の装置は２つ
の異なる形式で光学システムに取り付けることができ
る。第１の形式では、光学システムの光ビームが直接、
偏向なしで当該装置に達する。この装置は入力結合箇所
で相応の固定により、光学システムのビーム路に直接取
り付けられる。この装置には入力結合のための手段が設
けられており、これにより入力結合光ビームが形成され
る。この光ビームは角度変化なしで装置に達する。入力
結合手段は例えばレンズまたはビーム減衰器（グレーフ
ィルタ）とすることができる。第２の形式では、光学シ
ステムの光ビームが偏向（角度変化あり）を介して当該
装置に達し、これによりこの装置内で入力結合光ビーム
が定義される。結合箇所で光ビームはビームスプリッタ
または従来のミラーによって当該装置に達する。

【００１２】この装置に対する必要条件は、少なくとも
第１および第２のフォト検知器がそれぞれ入力結合箇所
に対して異なる距離で配置されていることである。フォ
ト検知器は有利には位置感知性の２次元検知器として構
成されている。この装置には少なくとも１つの偏向手段
が設けられており、この偏向手段は入力結合光ビームを
第１のフォト検知器に向ける。この偏向手段を通過した
入力結合光ビームの成分は第２のフォト検知器に達す
る。この装置にはフォト検知器を異なるように取り付け
ることができる。フォト検知器を取り付けるときに満た
さなければならない、この装置に対するただ１つの条件
はフォト検知器がそれぞれ入力結合箇所に対して異なる
距離（光路行程）を有することである。本発明の別の実
施形態では、フォト検知器に付加的に光学的目標マーク
が設けられている。この目標マークはユーザに対してア
ライメント整合時の調整の品質についての付加的な可視
コントロールを提供する。しかし調整のためには、フォ
ト検知器のみを信頼するだけで十分である。光ビームの
位置を検出するのには電子光学的センサ、例えば四分円
ダイオードまたはＰＳＤ（Position Sensitiv Detecto
r）が有利であることが判明した。有利にはＰＳＤが使
用される。なぜなら四分円ダイオードは、光ビーム横断
面にほぼ相当する領域内だけでしか位置検出ができない
からである。ＰＳＤの機能は当業者には公知であるから
ここでは詳細に立ち入らない。４つの電極での光電流を
読み出すことにより、フォトセンサ内の光ビームの衝突
個所を求めることができる。

【００１３】本発明のさらなる利点および構成は図面お
よび以下の説明から明らかとなる。

【００１４】

【実施例】図１には本発明のアライメント整合装置７０
を示す。この装置は位置信号の電子検出および読み出
し、並びに可視コントロールが可能である。顕微鏡１５
の光学システム内を矢印２により示された方向に伝播す
る光ビーム１は、入力結合手段３によってアライメント
整合装置７０へ反射される。入力結合手段３は従来のビ
ームスプリッタとして構成することができ、このビーム
スプリッタは顕微鏡１５の光学システム１００により定
められる光軸に恒久的に配置されている。同様に入力結
合手段３を従来のミラーとして構成することができる。
このミラーは単に光ビーム１の調整を検出するために、
光ビーム１がアライメント整合装置７０に入力結合され
るように顕微鏡１５の光学システム１００に取り付ける
ことができる。入力結合手段３は入力結合光ビーム９を
規定し、この入力結合光ビームはアライメント整合装置
７０内に設けられたビームスプリッタ４，３６，３８に
よって少なくとも２つのフォト検知器１０および２２に
偏向される。第１のビームスプリッタ４は入力結合光ビ
ーム９を、可視的に観察可能な第１の目標マーク８に偏
向する。第１のビームスプリッタ４は例えば簡単なガラ
スプレートとして構成することができる。

【００１５】入力結合ビーム９は直線ビーム伝播のため
の光軸４０を、装置７０のケーシング部分８０内で規定
する。第２のビームスプリッタ３６は、第１のビームス
プリッタ４を通過した光ビームを第１のフォト検知器１
０に偏向する。この第１のフォト検知器は例えば位置感
知性の２次元検知器として構成することができる。第２
のビームスプリッタ３６は例えば被覆された５０／５０
ビームスプリッタとして構成することができる。第３の
ビームスプリッタ３８は、第２のビームスプリッタ３６
を通過した光ビームを可視コントロール可能な第２の目
標マーク２９に偏向する。第３のビームスプリッタ３８
も同様に簡単なガラスプレートとして構成することがで
きる。第３のビームスプリッタ３８を通過した光ビーム
は第２のフォト検知器２２に達する。このフォト検知器
も同様に位置感知性の２次元検知器として構成すること
ができる。図１に示した目標マーク８，２０およびフォ
ト検知器１０，２２の特別の構成は単に複数の可能性か
ら選択したものである。ただ１つの要件は、ケーシング
部分８０に少なくとも２つのフォト検知器１０，２２が
設けられていること、フォト検知器１０，２２が入力結
合手段３から異なる距離で配置されていること、そして
少なくとも１つのフォト検知器１０または２２が入力結
合光ビーム９の光軸からケーシング部分８０内で所定間
隔をおいていることである。第１または第２の目標マー
クは省略することができる。入力結合手段３の空間的位
置は入力結合箇所３ａを定める。

【００１６】フォト検知器１０と２２は複数の電気端子
を有しており、これらの端子はコンピュータ１１と接続
されている。コンピュータ１１は例えばＰＣまたは集積
回路として構成することができ、光学システム１００の
アライメント整合（調心）を検出するために所要の計算
を実行する。コンピュータ１１にはディスプレイ１３
（図１参照）が配属されている。このディスプレイには
例えば顕微鏡の光学システムにおいてアライメント整合
（調心）すべき光ビーム１の瞬時位置がグラフィックに
表示される。第１，第２および第３のビームスプリッタ
４，３６，３８並びに第２のフォト検知器２２は入力結
合光ビーム９の伝播方向ないしは入力結合光ビーム９の
光軸４０上に配置されている。ここで伝播方向は矢印２
ａによって示されている。装置７０のケーシング部分８
０は端面８０ａでフランジ８２を介して、顕微鏡１５の
光学システム１００と結合している。この結合は、装置
７０を顕微鏡の光学システム１００に対して規定された
位置で取り付けるために用いられる。図示の実施例で
は、入力結合光ビーム９が角度変化して装置７０に導か
れる。入力結合光ビーム９が偏向なしで装置７０に達す
るように装置を顕微鏡の光学システムと結合することも
考えられる。

【００１７】ケーシング部分８０内では入力結合光ビー
ム９が入力結合光ビーム４０の光軸に対しても同様に平
行に移動されているか、および／または空間的に傾斜し
ている。空間的傾斜は２つの角度φとθにより一義的に
記述することができる。光ビーム１の光軸６０に対す
る、入力結合手段３の領域での距離の計算は簡単な三角
法計算から得られる。ここで理想的に調整された光ビー
ム４０におけるビームスプリッタ３６から第１のフォト
検知器１０までの距離、およびビームスプリッタ３６か
ら第２のフォト検知器２２までの距離が計算に作用を及
ぼす。第１のフォト検知器１０で検出された座標ペア
（ｘ１，ｙ１）と第２のフォト検知器２２で検出された
座標ペア（ｘ２，ｙ２）によって、入力結合手段光ビー
ム９と入力結合光ビームの光軸４０との偏差を検出する
ことができる。角度φは、入力結合光ビーム９ないしは
入力結合光ビーム９により定められた直線が平行移動
（オフセットの除去）の後に光軸４０と交差する角度で
ある。角度φは次式に基づいて計算される。

【数１】 ここでａはビームスプリッタ３６から第１のフォト検知
器１０までの距離、ｂはビームスプリッタ３６から第２
のフォト検知器２２までの距離である。

【００１８】角度θは同様にオフセットを除去した後、
それぞれ入力結合光ビーム９と光軸４０を通って延在す
る２つの直線により定められる面の空間的位置を固定座
標系を基準にして表すものであり、次のように計算され
る。

【数２】 但し 但し 顕微鏡１５の光学システム１００の光ビーム１は少なく
とも１つの光学素子（光学的構成部材）７６を通過す
る。この光学素子７６は光ビーム１が顕微鏡１５の光学
システム１００内で正確に光軸６０を通るように調整す
ることができる。この調整の結果、入力結合光ビーム９
は装置７０内で正確に目標位置７２に当たるようにな
る。光学素子７６の調整は複数の調整素子７８によって
行うことができ、これにより光ビーム１は相互に独立し
た４つの空間的方向（パラメータ）で、すなわち２つの
ラテラル調整と２つの角度調整を操作することができ
る。これにより光ビーム１を光軸６０と一致（調心、ア
ライン）させることができる。調整素子７８は手動でユ
ーザにより調整することができる。またはすべての調整
素子７８は自動的に調整することができる。調整は電気
機械的に行われる。ここでコンピュータ１１は、調整素
子７８の調整に基づき変化する（第１、第２フォト検知
器への入力結合光ビームの入射の）実際位置を常時比較
し、調整素子７８の調整を適合させ、目標位置を迅速か
つ効率的に達成する。

【００１９】図２は顕微鏡１５の構造を概略的に示す。
この図示の実施例には共焦点走査顕微鏡の概略的構造が
示されている。照明源８４から到来する光はファイバ８
５によって光入力結合光学系８６に導かれる。この光入
力結合光学系８６は照明光ビーム９６を定める。この照
明光ビームはこの実施例では実線として示されている。
照明光ビーム９６は照明ピンホール８７を介してビーム
スプリッタ８８に達する。ビームスプリッタ８８は照明
光ビーム９６をスキャンモジュール８９に反射する。こ
のスキャンモジュールはカルダン懸架されたスキャンミ
ラー８３を含んでおり、このスキャンミラーは照明光ビ
ーム９６をスキャン光学系９０と別の光学系９１によっ
て顕微鏡光学系９２に偏向する。スキャンモジュール８
９と顕微鏡光学系９２とによって照明光ビーム９６は試
料９３の上へ投下入射、ないしは試料を通過するように
案内される。

【００２０】照明光ビーム９６は試料９３が不透明の場
合、対象物表面上へと案内（入射）される。生物学的試
料または透明な試料の場合には、試料９３を通過するよ
うに照明光ビーム９６を案内することもできる。このこ
との意味するのは、試料９３の種々異なる焦点面が順
次、照明光ビーム９６によって走査（断層スキャン）さ
れるということである。付加的（同時ないし後段での）
合成（画象処理）により試料９３の３次元画像が得られ
る。照明源８４から到来する照明光ビーム９６は実線と
して示されている。試料９３から発する光は検知光ビー
ム９８であり、これは図３に破線で示されている。検知
光ビーム９８は顕微鏡光学系９２を通過し、スキャンモ
ジュール８９を介してビームスプリッタ８８に達し、検
知ピンホール９４を通過して検知器９５に当たる。この
検知器は例えばフォトマルチプライヤとして構成されて
いる。検知器９５では、試料９３から発した検知光の出
力に比例する電気的検知信号が形成される。図２に示し
た実施例には、装置７０に対するアライメント整合のた
めに４つの可能な位置が示されている。第１の位置１６
０は照明ピンホール８７とビームスプリッタ８８との間
にある。照明光ビーム９６のアライメント整合は光入力
結合光学系８６にて実行される（図３参照）。第２の位
置１６１はスキャンモジュール８９とスキャン光学系９
０との間に設けられている。第３の位置１６２は光学系
９１と顕微鏡光学系９２との間にある。第４の位置１６
３は検知ピンホール９４と検知器９５との間に設けるこ
とができる。

【００２１】図３は、入力結合光ビーム９の入射の実際
位置と目標位置７２との偏差をディスプレイ１３に可視
表示するためのユーザインタフェース１１０の実施例を
示す。実際位置は光軸４０を基準に、光軸４０に対する
平行移動および／または光軸４０に対する傾斜によって
一義的に表される。ユーザインタフェース１１０は複数
の表示部分（ないし表示要素）から構成される。第１の
部分１２０には、入力結合光ビーム９が２つのフォト検
知器１０と２０に命中する地点１２４と１２５が空間的
視野で示されている。この第１の視野１２０の他に、ズ
ームスケール１１１を設けることができ、ズームスケー
ルは第１の視野１２０においてズームを調整することが
できる。第１の視野１２０の他に投影表示部１２２を設
けることができる。入力結合光ビーム９のフォト検知器
１０と２２への命中地点１２４と１２５が概略的に示さ
れたフォト検知器面１２６にプロットされている。さら
に角度φとθがグラフィックな角度指示部１２８と数値
角度指示部１３０でユーザインタフェース１１０に表示
される。同様にユーザには別の視野１２６ａで光ビーム
の強度および第１のフォト検知器１０への命中地点がリ
アルタイムで表示される。ユーザはここで付加的に光ビ
ームの位置の変化を調整素子７８の調整によって追従調
整することができる。視野１２６ａの下方には別の視野
１２６ｂが設けられており、これは光ビームの強度と第
２の検知器２２上での入射位置を表す。この２つの視野
１２６ａと１２６ｂには、光ビームの入射位置が光点に
より示される。強度はグレーステップ（段階）または適
切に選択されたカラーステップ（段階）により表すこと
ができる。

【００２２】グラフィック角度指示部１２８および数値
角度指示部１３０の下方には選択窓１３２が設けられて
いる。この選択窓により調整すべき光学素子７６を呼び
出すことができる。図３には光学素子７６として光入力
結合光学系８６が選択されている。

【００２３】さらにユーザインタフェース１１０には光
学素子７６の画像が配置されている。ここではユーザに
どの調整素子７８を、光ビーム１を目標位置７２にもた
らすために調整すべきかが指示される。すべての表示お
よび指示はオンラインでリアルタイムで行われる。

【００２４】図４はユーザインタフェース１１０の実施
例を示す。この実施例では、第１の視野１２０，投影表
示部１２２、グラフィックおよび数値角度指示部１２
８，１３０，視野１２６ａと１２６ｂ、および選択窓１
３２が図３と同じである。図４に示されたユーザインタ
フェース１１０の実施例では、別の光学素子７６が示さ
れている。この光学素子７６には同様に複数の調整素子
７８が表示されている。ユーザには、光ビーム１を目標
位置７２にもたらすにはどの調整素子を調整すべきかが
指示される。調整すべき光学素子の標識はカラー標識に
より行うことができる。図４の実施例にはＫスキャナが
示されている。

【００２５】図５に示したユーザインタフェース１１０
の実施例には、別の光学素子７６が示されている。この
光学素子７６には同様に複数の調整素子７８が表示され
ている。ユーザには、光ビーム１を目標位置にもたらす
ためにはどの調整素子を操作すべきかが指示される。調
整すべき調整素子の標識も同様にカラー標識により行わ
れる。ここで操作すべき調整素子は例えば赤により示す
ことができる。図５の実施例には、ビーム拡開（Strahl
aufweiten）のためのモジュールが示されている。さら
にユーザインタフェース１１０に表示された他のすべて
の視野および表示は図３および図４のそれらと同じであ
る。従ってここではこれ以上詳細に立ち入らない。

【００２６】本発明を特に有利な実施例に基づいて説明
した。しかしもちろん請求の範囲の保護範囲を逸脱する
ことなく、変更および改善が可能である。

【００２７】

【発明の効果】本発明の第１の視点において、請求項１
の方法により、簡単にビーム路を光学的システム内でア
ライメント整合、調心できる。さらに各従属項２〜５に
より、付加的な具体的効果が達成される。第２の視点に
おいて、請求項６の顕微鏡により、簡単、迅速かつ確実
にアライメント整合ないしその検査をすることのできる
顕微鏡が提供される。さらに各従属請求項７〜１０によ
り、付加的な利点が達成される。本発明の効果が実質的
に達成される限りにおいて、各請求項に規定する事項の
均等の方法、手段、要素は、当然に本発明の範囲内に属
するものとし、また、このことは、出願当初から補正後
も含め、特許発効後に当然妥当する。なお、特許請求の
範囲に付記した図面参照符号は、さらに理解を助けるた
めのものであり、図示の態様への限定を意図しない。

【図面の簡単な説明】

【図１】コンピュータおよびディスプレイと関連する調
整装置の概略図である。

【図２】顕微鏡およびこれに所属のビーム路と、顕微鏡
での調整装置の可能な位置を示す概略図である。

【図３】光入力結合モジュールの表示および所属の調整
素子を備えるユーザインタフェースである。

【図４】Ｋスキャナの表示および所属の調整素子を備え
るユーザインタフェースである。

【図５】ビーム拡張のためのモジュールの表示および所
属の調整素子を備えるユーザインタフェースである。

【符号の説明】

１ 光ビーム ３ 入力結合手段 ４ 第１のビームスプリッタ ８ 第１の目標マーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ヨハン エンゲルハルト ドイツ連邦共和国 Ｄ−76669 バート シェーンボルン シースマウアーヴェーク ６ Ｆターム(参考） 2H041 AA12 AB14 AC04 AZ05 2H052 AD36 AF02

Claims (10)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 光ビーム（１）の少なくとも１つの区間
   を顕微鏡（５）内でアライメント整合する方法であっ
   て、 該区間は、アライメント整合可能な光学的構成部材（７
   ６）と、アライメント整合装置（７０）がもたらされる
   位置とによって規定される形式の方法において、 顕微鏡（１５）の光ビーム（１）を所定位置で光ビーム
   （１）のアライメント整合装置（７）へ入力結合し、そ
   の際に入力結合光ビーム（９）を該アライメント整合装
   置（７０）内で形成し、 該入力結合光ビーム（９）を少なくとも２つのフォト検
   知器（１０，２２）に偏向し、 該フォト検知器（１０，２２）はそれぞれ前記所定位置
   から異なる距離を有しており、 該入力結合光ビーム（９）と目標位置（７２）との偏差
   をフォト検知器（１０，２２）の電気信号から検出し、 前記光学的構成部材（７６）を少なくとも１つの調整素
   子（７８）を介して、該入力結合光ビーム（９）を目標
   位置（７２）にもたらすために、調整する、 ことを特徴とするアライメント整合方法。
2. 【請求項２】 前記光学的構成部材（７６）の調整をユ
   ーザにより手動で行い、 このときユーザには該光学的構成部材（７６）および変
   化されるべき調整素子（７８）がディスプレイ（１３）
   に表示され、これにより該入力結合光ビーム（９）を目
   標位置（７２）にもたらす、請求項１記載の方法。
3. 【請求項３】 光学的構成部材（７６）の調整を自動的
   に行い、 ここで該光学的構成部材（７６）および調整素子（７
   ８）はディスプレイ（１３）に表示され、 ちょうど自動的に変化される調整素子（７８）を常に強
   調表示し、これにより前記入力結合光ビーム（９）を目
   標位置（７２）にもたらす、請求項１記載の方法。
4. 【請求項４】 さらに光ビーム（１）の空間的位置を、
   入力結合光ビーム（９）が２つのフォト検知器（１０，
   ２２）に偏向される、顕微鏡（１５）の部分において検
   出し、 該フォト検知器は位置感知性の２次元センサとして構成
   されており、 該入力結合光ビーム（９）の位置感知性センサへの命中
   地点（１２４，１２５）から、前記顕微鏡（１５）の部
   分における光ビーム（１）の、定義された光軸（６０）
   に対する相対的位置を計算する、請求項１記載の方法。
5. 【請求項５】 光ビーム（１）の命中地点（１２４，１
   ２５）と目標位置（７２）との偏差をグラフィック形態
   （１２８）にまたは数値形態（１３０）で、コンピュー
   タ（１１）を介してアライメント整合装置（７０）と接
   続されたディスプレイ（１３）上に表示し、 光ビーム（１）の命中地点（１２４，１２５）の変化を
   調整素子（７８）の調整時に表示する、請求項１記載の
   方法。
6. 【請求項６】 試料（９３）を照明するための照明源
   （８４）と、顕微鏡光学系（９２）とを有する顕微鏡
   （１５）であって、 照明源と顕微鏡光学系（９２）とが顕微鏡（１５）の光
   軸（６０）を定める形式の顕微鏡において、 少なくとも１つの調整可能な光学素子（７６）が顕微鏡
   （１５）の光軸（６０）に設けられており、 少なくとも１つのアライメント整合装置（７０）が、顕
   微鏡（１５）の光ビーム（６０）中の光学素子（７６）
   に後置された位置（１６０，１６１，１６２，１６３）
   に取り付けられている、ことを特徴とする顕微鏡。
7. 【請求項７】 光ビームのアライメント整合装置（７
   ０）は、光ビームを該アライメント整合装置（７０）に
   入力結合するための手段（３）を有し、 該入力結合するための手段（３）は、入力結合箇所（３
   ａ）および入力結合光ビーム（９）を定め、 前記アライメント整合装置（７０）は、少なくとも第１
   と第２のフォト検知器（１０，２２）をそれぞれ入力結
   合箇所（３ａ）に対して異なる距離で有し、 前記アライメント整合装置（７０）は入力結合光ビーム
   （９）中に少なくとも１つのビームスプリッタ（３６）
   を有し、 該ビームスプリッタは入力結合光ビーム（９）を少なく
   とも１つのフォト検知器（１０，２２）に向ける、こと
   を特徴とする請求項６記載の顕微鏡。
8. 【請求項８】 前記フォト検知器（１０，２２）は、位
   置感知性の２次元検知器として構成されている、ことを
   特徴とする請求項７記載の顕微鏡。
9. 【請求項９】 コンピュータ（１１）とディスプレイ
   （１３）とが設けられており、 該ディスプレイ（１３）には光ビーム（１）の命中地点
   （１２４，１２５）と目標位置（７２）との偏差がグラ
   フィック形態でおよび／または読み取り可能な形態で表
   示される、ことを特徴とする請求項６記載の顕微鏡。
10. 【請求項１０】 顕微鏡は共焦点走査顕微鏡である、こ
    とを特徴とする請求項６から９までのいずれか１項記載
    の顕微鏡。