JP2002333175A - 蒸気噴射式シンブル管加湿器及び急速蒸気発生装置 - Google Patents

蒸気噴射式シンブル管加湿器及び急速蒸気発生装置

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 いろいろな幾何学的形状変化を与え流動抵抗
を減少させながら、多重流路から構成して気流ダクト内
に均一に蒸気噴射ノズルを配置することにより吸収長さ
を短くし且つ混合を促進することにより加湿性能を向上
させると共に、蒸気噴射管を交換し得るようにした加湿
器及び急速蒸気発生装置を提供する。 【解決手段】 高応答加湿システムで必要な加湿容量に
応じて応用上の柔軟性を高めるため多数の蒸気噴射管を
モジュール化して多重流路で構成し、前記蒸気噴射管と
両側の上流ヘッダ及び下流ヘッダとを着脱用締結手段で
結合して、加湿容量に応じて流路を開閉し得るように構
成した。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は高応答加湿システム
において蒸気噴射管(humidifying tube)を加湿蒸気ヘッ
ダと容易に着脱交換することが可能であって加湿容量に
応じて蒸気噴射管の数を調節することができると共に、
蒸気噴射管の形状を新規にシンブル管型に設計して加湿
システムの設置による流動圧力損失を減少させ、非常に
均一な温度の蒸気を気流に供給して均一な温、湿度の気
体流動状態を得ることができる加湿装置及び前記加湿装
置へ蒸気を急速に供給する蒸気発生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、各種実験装置や精密尖端製品の
生産工程には変化範囲の極めて狭く厳しい湿度管理が要
求される場合が多い。このような湿度管理には迅速な応
答性と高い安定性が求められる。通常、加湿装置は加湿
メカニズムによって蒸気噴射式、水噴霧式、気化式に分
類するが、特に、精密産業分野に多く用いられる蒸気噴
射式はその基本構造によって電熱式、電極式、赤外線
式、過熱蒸気式に大別する。
【０００３】加湿器において、加湿管は噴射蒸気の均一
性及び外部空気との混合に大影響を与えると共に、全体
加湿システムの吸収の長さと加湿装置の性能を左右する
が、一般に、固定式多重流路急速加湿システムの加湿管
は、単純な円管とすることにより、吸収の長さが長く且
つ加湿性能が低いという問題点だけでなく、噴霧容量が
固定されていて加湿容量の変化による蒸気噴霧量を調節
し難いという短所がある。
【０００４】また、従来の蒸気発生装置であるパン型蒸
気発生装置(pan type steam generator)は、加熱用ヒー
ターのみが水の中に浸かっている構造とされており、水
を加熱させた後蒸気を発生させるまで非常に長い時間が
かかるため、蒸気発生の要求に即刻的に応答できないと
いう短所がある。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明はかかる従来の
固定式多重流路加湿システムの問題点を解決するための
もので、その目的はいろいろな幾何学的な形状変化を与
え流動抵抗を減少させながら、多重流路から構成して気
流ダクト内に均一に蒸気噴射ノズルを配置することによ
り吸収の長さを短くし且つ混合を促進することにより加
湿性能を向上させると共に、蒸気噴射管を交換し得るよ
うにした加湿器を提供することにある。
【０００６】本発明の他の目的は、加湿器に供給される
蒸気発生器の応答性を高めた蒸気圧制装置を提供するこ
とにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明では、従来の多重管加湿器における加湿管が
蒸気ヘッダへの固定式であるのに比べ、蒸気ヘッダに対
しての着脱が可能であって、加湿量の範囲に応じて蒸気
噴射管を交換することができると共に、１点支持ねじで
各加湿管流路への蒸気量を調節することができる流動抵
抗調節器を備え、噴射方向も任意に調節できるように構
成し、必要な加湿量の範囲に応じて適切な蒸気噴射管で
交換することもでき、蒸気噴射ノズルを無孔ノズル或い
はねじに置き換えて蒸気噴出孔の数を調節することもで
き、外部空気流動方向への蒸気噴射管投影断面積を小さ
くして流動抵抗を低減させながら、多重流路を作ってよ
り均一な蒸気噴射ができるように構成し、また、蒸気噴
射管の内部にＵ字形側断面を有する流路ガイド用挿入物
或いは０字形平断面を有する内部流路ガイド用挿入物を
挿入して流路を迂回させ、蒸気噴射管流路内の流動中に
一部加熱して外部空気の冷却による管内部蒸気の不均一
な効果を補償することにより、蒸気噴射管としてのシン
ブル管の内部からより均一な状態の蒸気が噴出され得る
ように構成し、季節的な要因を含んで加湿負荷の変動が
激しくて加湿負荷が極めて小さい場合には、蒸気を噴射
する蒸気噴射管としてのシンブル管を円筒型プラグで簡
単に交替することにより、蒸気噴射管の数を調節して加
湿量を調節できるように構成した加湿装置を提供する。
【０００８】また、本発明では、加熱線が水の中に完全
に浸っており、２／３以上充分に浸っている多孔性金
属、金属網、金属製フィンのフィン効果による熱伝達面
積が大きくなって加熱線から水への熱伝達が促進され、
液体が毛細管現象によってポンピングされるので、これ
を加熱して高応答で蒸気を発生させる蒸気発生装置を提
供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明を添付図に基づいて
詳しく説明する。
【００１０】本発明は、高応答加湿システムにおいて必
要な加湿容量に応じて応用上の柔軟性を高めることがで
きるように、蒸気噴射管１１３を、多重流路にモジュー
ル化し、両側の蒸気ヘッダに対して着脱交換できるよう
に締結手段を備える加湿器１を提供する。
【００１１】前記加湿器１は、季節的な要因を含んで加
湿負荷の変動が激しい場合、或いは加湿負荷が極めて小
さい場合に、蒸気を噴射する蒸気噴射管１１３を円筒形
プラグで簡単に交替することにより、蒸気噴射管１１３
の数を調節して加湿量を調節するように構成した。
【００１２】前記多重流路からなる蒸気噴射管１１３
は、いろいろな幾何学的な形状変化を与え流動抵抗を減
少させながら、気流ダクト内に均等に蒸気噴射孔を配置
することにより吸収の長さを短くし、且つ混合を促進す
ることにより加湿性能を向上させる構造である。
【００１３】前記蒸気噴射管１１３に設けられる蒸気噴
射ノズル１１６は、気流断面に均等に配置し且つ隣り合
う蒸気噴射管１１３のものと互いにずれるように設置す
ることにより、蒸気が外部空気流動断面に均等に噴射さ
れよく混合されて一層均一な加湿状態を維持するように
構成した。
【００１４】前記蒸気噴射管１１３は、蒸気ヘッダから
各蒸気噴射管１１３の流路に流入される蒸気量を調節し
得る流動抵抗調節器を備え、蒸気噴射管１１３の回転で
蒸気噴射方向も任意に調節することができると共に、蒸
気噴射ノズル１１６を無孔ノズル或いはねじに置き換え
て蒸気噴出孔の数を調節することもできる構造とする。
【００１５】前記蒸気噴射管１１３の構造は、外部空気
流動方向への加湿管投影断面積を小さくして蒸気噴射管
１１３による外部空気流動損失を最少化しながら蒸気噴
射量を充分大きくするために、外部には平管状もしくは
楕円管状とし、内部には蒸気が迂回し得るように流路を
形成してなるシンブル管型蒸気噴射管１１３’の構造と
する。
【００１６】前記シンブル管型蒸気噴射管１１３’は、
蒸気噴射管１１３の内部に、Ｕ字形側断面を有する流路
ガイド用挿入物或いは０字形平断面を有する内部流路ガ
イド用挿入物を挿入し、蒸気流路を迂回させて外部空気
の冷却による内部蒸気の不均一効果を補償することによ
り、噴射される蒸気がほぼ均一な状態を維持して均一な
加湿を可能としたシンブル管構造を取る。
【００１７】前記シンブル管型蒸気噴射管１１３’を成
す外部管は、殆ど外部主流動の流動抵抗を減少させうる
形状とされているが、両端連結部分が円形とされてお
り、上部ヘッダ及び下部ヘッダにフェルール(ferrule)
１３１で締結されて漏洩が防止される蒸気噴射シンブル
管の締結構造を取る。
【００１８】前記蒸気噴射管１１３に装着される噴射ノ
ズルは、外部空気によって供給される蒸気が冷却され凝
縮が発生しても、重力によって凝縮水を下方に排出さ
せ、凝縮液が蒸気と一緒に混ぜられて噴射されることを
防止できるように、ノズルを蒸気噴射管１１３の内部に
突出させたノズル構造、及び蒸気噴射管１１３において
ノズルをボルト形状の密封体に置き換えることにより、
蒸気噴出口の数を簡単に調節できるノズル構造とする。
【００１９】前記蒸気ヘッダから蒸気噴射管１１３への
流動抵抗を調節することにより均一な流量分配となるよ
うに、ヘッダ内への傾斜切断管の挿入の深さに変化を与
えることができると共に、蒸気噴射管１１３の上流端が
適当な切断角β（−６０°≦β≦＋６０°）で傾くよう
に加工することにより、傾斜面の方向回転による、蒸気
噴射管１１３の流入側から蒸気噴射管１１３内部への蒸
気流入量を調節することができるようにした構造とす
る。
【００２０】前記蒸気噴射管１１３の他端は、直角（９
０°）に加工し、支持バッフル板１２３と開口度調節板
１２４を挿入することにより、凝縮水と流出蒸気量の調
節を容易にして、支持バッフル板１２３の形状と圧力降
下に応じて噴射される蒸気の比率調節を可能とし、これ
により経済的で多様な運転条件に対応できるようにした
構造とする。
【００２１】前記蒸気噴射ノズル孔は、適当な傾斜角β
（−６０°≦β≦＋６０°）で傾くように加工し、シン
ブル管に弾塑性変形を用いた圧着ピン式、或いは丸頭プ
ラスねじに孔を加工して作ったねじ式に設けられた蒸気
噴射ノズル１１６構造とする。
【００２２】本発明の加湿器１に蒸気を供給する高応答
加湿システムの蒸気発生装置２は、ヒーターを水の中に
浅く含浸させ、ヒーターの周りを多孔性金属や金属網、
金属製フィンで取り囲み、この多孔性金属の上部を２／
３以上充分に浸かるようにして、ヒーターに伝達される
水のような液体が毛細管力によってポンピングされ、常
に上部まで接水(wetting)状態に維持されるだけでな
く、ヒーターと液体との間に、フィンの役をする拡張さ
れた熱伝達面積を有し、加湿の応答性を高めることがで
きるように長手方向に複数個の大きい隙間を設け、ヒー
ターによって発生した気泡の離脱と液体の流入を容易に
した構造とし、加湿負荷の制御応答性を向上させるよう
に構成する。
【００２３】以下、本発明の実施例の構成及び作用を添
付図に基づいて詳細に説明する。
【００２４】図１は本発明の加湿器１に対する全体組立
図である。図１に示すように、蒸気発生装置２からの蒸
気は、蒸気供給用管１２５を介して蒸気供給圧力調節用
バルブ１２７を通過した後、液体を分別する気水分離器
１２８、加湿器１の上流ヘッダ１１１、多重流路からな
る蒸気噴射管１１３を通して噴射される。噴射されてい
ない残留液体成分の凝縮液は、下流ヘッダ１１２を介し
て戻ってくる循環過程を辿る。
【００２５】前記圧力調節用バルブの両端には蒸気供給
遮断用バルブ１２６が設けられており、非常時或いは修
理時に蒸気の供給を遮断する。蒸気の供給端及び凝縮液
の回収端側にはストレーナー１２９が設けられており、
不純物を濾過する。それぞれのストレーナーの下端部に
は蒸気トラップ１３０が設けられており、必要に応じて
凝縮水を排出する。
【００２６】前記本発明の加湿器１の蒸気噴射管１１３
は、既存の固定式多重流路急速加湿システムとは異な
り、多重流路式蒸気噴射管１１３の着脱化を提案して需
要による設計の柔軟性を向上させ、標準化されたヘッダ
による多重流路設計を採用することにより、均一な加湿
及び加湿負荷変動に対する負荷調節を可能として柔軟性
を向上させることができるように構成した。
【００２７】即ち、加湿器１の製作に際して、蒸気噴射
管１１３をモジュール化し、多様な締結手段１１４（図
２ａ）で上流ヘッダ１１１及び下流ヘッダ１１２に締結
することにより、必要に応じて蒸気噴射管１１３を交換
し或いは流路を成す蒸気噴射管１１３のモジュールを分
離し、流路を塞ぐことにより、流路の数を容易に調節し
て蒸気の容量を調節することが可能な構造とし、加湿負
荷の変動による負荷調節を可能とすることにより、応用
上の柔軟性を高めることができる。
【００２８】前記蒸気噴射管１１３に挿入され、蒸気を
噴射する蒸気噴射ノズル１１６は、蒸気噴射管１１３の
内部に突出挿入されている。このように構成した理由
は、供給蒸気の過熱度が充分に高くない場合或いは蒸気
噴射管１１３の外部空気温度がかなり低い場合、蒸気噴
射管１１３の外部空気によって供給される蒸気が冷却さ
れ凝縮が発生しても、重力によって凝縮水を下方に排出
させ、凝縮液が蒸気と一緒に混ぜられて噴射されること
を防止するために、ノズルを蒸気噴射管１１３の内部に
突出させた構造とする。これにより、凝縮水の噴出を防
止することができる。
【００２９】図２ａは本発明の蒸気噴射管１１３が垂直
に設置された時の組立平面図で、それぞれの蒸気噴射管
１１３が上流ヘッダ１１１及び下流ヘッダ１１２に締結
手段１１４によって締結されていることを示す。
【００３０】図２ｂは本発明の蒸気噴射管１１３が水平
に設置された時の組立正面図である。
【００３１】図３は本発明による加湿ノズルの蒸気噴射
管１１３における配置図である。図３に示すように、加
湿量が多い場合、蒸気噴射ノズル１１６を、蒸気噴射管
１１３の両側面に設置し且つ隣り合う蒸気噴射管１１３
のものとずれるように設置することにより、蒸気が外部
空気流動端面に均等に噴射されよく混合されて一層均一
な加湿状態を維持するように構成する。
【００３２】図４ａ乃至図６ｂはヘッダに蒸気噴射管１
１３を連結する多様な締結手段１１４を示しているが、
蒸気ヘッダから蒸気噴射管１１３への流動抵抗を調節す
ることにより均一な流量分配となるように、傾斜切断し
た蒸気噴射管１１３の上流端である流動抵抗調節管１１
５のヘッダ内部挿入の深さに変化を与えることができ、
この流動抵抗調節管１１５は、適当な切断角β（−６０
°≦β≦＋６０°）で傾くように加工することにより、
流入側で傾斜面の方向を回転させ、流動抵抗による蒸気
供給管内への蒸気流入量の調節を可能とした。
【００３３】蒸気噴射管１１３の他方の下流端は、直角
（９０°）に加工し、開口度調節板１２４及び支持バッ
フル板１２３を挿入することにより、凝縮水と流出蒸気
量の調節を容易にした。
【００３４】図４ａ及び図４ｂは、本発明の上流ヘッダ
１１１と蒸気噴射管１１３とを溶接結合した場合の正面
断面図及び側面断面図である。図４ａ及び図４ｂに示す
ように、上流ヘッダに挿入された蒸気噴射管１１３の上
流端である流動抵抗調節管１１５を上流ヘッダ１１１に
直接溶接結合して固定させ、この流動抵抗調節管１１５
に蒸気噴射管１１３を挿入して締結する。前記締結手段
１１４は流動抵抗調節管１１５の下部の周り側にねじ山
を設け、蒸気噴射管固定用ナット１１９で結合させる。
この際、締結された流動抵抗調節管１１５及び蒸気噴射
管１１３との密封のために、流動抵抗調節管１１５の下
端部を半径方向に傾くように加工した後、蒸気噴射管１
１３に挿入されたフェルール１３１を押し込んでフェル
ール１３１に圧力を加えることによりフェルール１３１
を変形させて密封させ、その後蒸気噴射管１１３の周り
に嵌められた蒸気噴射管固定用ナット１１９を流動抵抗
調節管１１５のねじ山に回転結合させる。
【００３５】ここで、蒸気噴射管１１３の外径は流動抵
抗調節管１１５の内径と同一或いはほぼ同一にする。
【００３６】図５は本発明の上流ヘッダ１１１と蒸気噴
射管１１３とを交換可能なねじ締結手段１１４で結合し
た場合の断面図及び詳細断面図を示す。図５に示すよう
に、前記締結手段１１４は、上流ヘッダ１１１に挿入さ
れた流動抵抗調節管１１５を溶接方法によって固定させ
ず、上流ヘッダ１１１にナットとの結合が可能なねじ山
付きホールを加工し、前記ホールに、流動抵抗調節管１
１５を取り囲みながら支持固定する流動抵抗調節管固定
用ナット１１８を直接挿入させ、このナットの下部に蒸
気噴射管１１３を、図４ａ及び図４ｂに示すような蒸気
噴射管固定用ナット１１９を用いる締結手段１１４によ
って締結させて構成する。
【００３７】前記上流ヘッダ１１１に直接挿入固定され
る流動抵抗調節管固定用ナット１１８は、外部の両端に
ねじ山が設けられた上部ナット部と下部ナット部から構
成されており、内部に周り方向に係止突起が設けられ、
上部側には流動抵抗調節管１１５の下部が係止され下部
側には蒸気噴射管１１３が係止されるように構成されて
おり、下端部が傾くように加工され、フェルール１３１
を押し込んで密封させる。
【００３８】前記係止突起によって流動抵抗調節管１１
５は回転のみが可能で、下部側への長さ調整が不可能で
あるが、流動抵抗調節管の交換により上部側突出の高さ
の調節が可能である。
【００３９】また、上部ナット部の一側面ではねじ山付
きホールが加工され、頭部のないボルトが挿入され、こ
れを使用して１点支持で流動調節管を固定させる。
【００４０】前記ナットの構造は、上部ナット部の外径
を下部ナット部の外径より大きくすることにより、下部
ナット部には図４ａ及び図４ｂのような締結手段１１４
のナットが結合される。
【００４１】前記上部ナット部は上流ヘッダ１１１に螺
合して固定する際、周りに突出した突起によって一定長
さ以上挿入されないように構成される。
【００４２】前記蒸気噴射管１１３及び流動抵抗調節管
１１５の外径及び内径は同一の口径とする。
【００４３】図５ａ及び図５ｂは本発明の上流ヘッダ１
１１と蒸気噴射管１１３とを交換可能なねじ締結手段１
１４で結合した場合の断面図及び詳細断面図である。図
５ａ及び図５ｂに示すように、このような締結手段を使
用することにより、図５のような構造で不可能であった
流動抵抗調節管１１５の上下移動を可能にした。
【００４４】前記締結手段は、上流ヘッダに挿入される
図５ａの流動抵抗調節管固定用ナット１１８の構造が図
５の流動抵抗調節管固定用ナット構造のうち上部ナット
部のみがある構造であって、内部に係止突起がないた
め、流動抵抗調節管１１５を所望の高さだけ上下移動さ
せ、ナットの一側に設けられたホールを介して頭部のな
いボルトを挿入させ、１点支持方式で固定させればよ
い。
【００４５】また、流動抵抗調節管１１５及び蒸気噴射
管１１３と同一の外径を有する連結管１１７が上部に位
置した流動抵抗調節管１１５と下部に位置した蒸気噴射
管１１３とを結合させ、内径部の成す空間部を介して流
動抵抗調節管１１５の長さ拡張が可能である。
【００４６】蒸気噴射管固定用ナット１１９の構造は、
前記図５のような構造で結合される。
【００４７】図５ｂの流動抵抗調節管固定用ナット１１
８の構造は、図５ａに示されている流動抵抗調節管固定
用ナット１１８とは異なり、上流ヘッダ１１１にナット
が挿入されることを防止するための係止突起がなく、全
周にねじ山が設けられており、下部の蒸気噴射管固定用
ナット１１９に直接螺合するように構成される。したが
って、ナット自体が上流ヘッダ１１１に挿入されること
ができ、ねじ山が結合される別途のナットによって固定
される。
【００４８】内部に挿入された流動抵抗調節管１１５
は、上述のナットのように一側面にねじ山付きホールが
設けられ、前記ホールに挿入される頭部のないボルトに
より１点支持で流動抵抗調節管１１５の移動を防止す
る。
【００４９】蒸気噴射管固定用ナット１１９の構造は前
記図５のような構造で結合される。
【００５０】図５ａ及び図５ｂにおいて、流動抵抗調節
管１１５の下端部が傾くように加工され、フェルール１
３１が挿入され密封される構造である。
【００５１】図６は本発明の下流ヘッダと蒸気噴射管１
１３とを交換可能なねじ締結手段１１４で結合した場合
の結合断面図を示し、図６ａ及び図６ｂは支持バッフル
板及び開口度調節板を示しているが、蒸気噴射管１１３
の下流端を直角（９０°）に加工し、支持バッフル板１
２３及び開口度調節板１２４を挿入することにより、凝
縮水と流出蒸気量の調節を容易にした。
【００５２】即ち、加湿効率（噴射蒸気量）の低下をも
たらすことなく凝縮水の排出を容易にするため、蒸気噴
射管１１３の下流側と下流側ヘッダとの間に凝縮水排出
溝付き開口度調節板１２４と支持バッフル板１２３を順
次設置して構成することにより、蒸気噴射管１１３に形
成された凝縮水が下流ヘッダ側へ流れて開口度調節板１
２４の排出溝と支持バッフル板１２３の排出溝とを通過
した後、下方のヘッダに流れ込むようにする。この下流
ヘッダ側における凝縮水溝は不必要な蒸気の浪費を抑制
し、蒸発器が垂直のみならず水平に傾くように設けられ
ている時にも、凝縮水の排出機能を効果的に行う。
【００５３】前記締結手段１１４は、支持バッフル板１
２３と開口度調節板１２４を固定するために、下流ヘッ
ダ１１２に螺合する支持バッフル板及び開口度調節板固
定用ナット１２０を下流ヘッダ１１２に挿入させるが、
このような支持バッフル板及び開口度調節板固定用ナッ
ト１２０は、前述した流動抵抗調節管固定用ナット１１
８と同様の構造をもって、外部側両端の周りにねじ山が
設けられており、内部側には下部側の内径が小さくて蒸
気噴射管１１３及び支持バッフル板１２３、そして開口
度調節板１２４が係止されるように構成され、一側端部
が傾くように加工され、ここにフェルール１３１を押し
込んで密封させる。
【００５４】下部側の蒸気噴射管固定用ナット１１９は
上部側の構造と同一に構成される。
【００５５】図６ａの支持バッフル板１２３及び図６ｂ
の開口度調節板１２４は必要に応じていろいろ組み合わ
せて使用する。
【００５６】図示したように、季節的な要因を含んで加
湿負荷の変動が激しい場合或いは加湿負荷が非常に小さ
い場合には、蒸気を噴射する蒸気噴射管１１３が挿入さ
れるネット部に円筒形プラグで簡単に交替することによ
り、蒸気噴射管１１３の数を調節して加湿量を調節す
る。
【００５７】図７ａ及び図７ｂは本発明に用いた低速及
び高速蒸気噴射ノズル１１６と蒸気噴射管１１３との組
立図である。図７ａ及び図７ｂに示すように、蒸気噴射
ノズル孔は、適当な傾斜角β（−６０°≦β≦＋６０
°）で傾くように加工され、弾塑性変形を用いた圧着ピ
ン式（図７ａ）、或いは丸頭プラスねじに孔を加工して
作ったねじ式（図７ｂ）とすることができる。
【００５８】図８は本発明の上流ヘッダ１１１及び下流
ヘッダ１１２とシンブル管型蒸気噴射管１１３’を交換
可能なねじ締結手段で結合した場合の組立図である。図
８に示すように、既存の蒸気噴射管を、外部空気流動に
対する流動抵抗を減らすことが可能な平管や楕円形管な
どを含むいろいろな形状に設計し、この蒸気噴射管の内
部にＵ字形側断面を有する流路ガイド用挿入物１２１ま
たは０字形平断面を有する内部流路ガイド用挿入物１２
２を挿入してシンブル管構造を形成することにより、外
部空気によって不均一に冷却される蒸気が迂回経路で一
部加熱され、シンブル管の内部から噴射される蒸気状態
がほぼ均一な状態となるように蒸気流路を形成すること
により、均一な加湿が可能である。
【００５９】蒸気流路の方向は、前記支持バッフル板１
２３及び開口度調節板１２４の終端で流動方向を変えた
蒸気が、シンブル管型蒸気噴射管に設置されている蒸気
噴射ノズルを介して噴出されることを可能とした。
【００６０】シンブル管型蒸気噴射管１１３’の内部で
凝縮された凝縮水は、重力によって下流側ヘッダに流れ
る。
【００６１】支持バッフル板１２３及び開口度調節板１
２４の形状組合で圧力降下により噴射される蒸気の比率
調節を可能とすることにより、不必要な蒸気の浪費を防
止して経済的で、多様な運転に対応することができるよ
うにした。
【００６２】蒸気噴射管をシンブル管型蒸気噴射管１１
３’の構造ではない単一管構造にすると、蒸気噴射管１
１３と外部空気の熱伝達によって内部の蒸気状態が不均
一になり、これによる加湿器１の性能低下をもたらし、
蒸気圧の変化で蒸気噴射量が不均一になることもある。
【００６３】ここで、特に注目すべき事実は、大部分の
外部管は外部の主流動の流動抵抗を減少させる形状とさ
れているが、両端部は円形とされているため、上部ヘッ
ダ及び下部ヘッダにフェルール嵌合されることにより漏
洩を防止する構造を取っていることである。
【００６４】図９は本発明のシンブル管及びノズルの組
立断面図である。このような構造のシンブル管構造が図
１０ａ乃至図１１に多様に示されている。
【００６５】図１０ａ及び図１０ｂは本発明による装置
の蒸気噴射管１１３の外形が平管、楕円管、菱形管など
からなるシンブル管型蒸気噴射管を示しているが、内部
にＵ字形側断面を有する流路ガイド用挿入物１２１が挿
入されて構成される。
【００６６】前記挿入物は上端部が塞がっており、上流
ヘッダから供給される蒸気が上部を介して直接噴射ノズ
ルに供給されず、下部に下降して挿入物の開放部分を介
してさらに上昇した後噴射ノズルを介して噴射される。
【００６７】このように蒸気の流動方向を変えることに
より、両側に噴射される蒸気状態の均一性を向上させよ
うとしたものである。
【００６８】図１１は０字形平断面を有する内部流路カ
イド用挿入物１２２が挿入された本発明による平管、楕
円管、菱形管形のシンブル管型蒸気噴射管を示している
が、挿入物の上端部が塞がっており、上流ヘッダからの
蒸気が上部を介して直接噴射ノズルに供給されず、下部
に下降して挿入物の開放された部分を介して更に上昇し
た後噴射ノズルを介して噴射される。この際、上部を塞
ぐ方法は、円筒管の上部に円板などを使用して溶接など
の方法で付着して密封すればよい。それとも、図１１の
ｃのように内部挿入物の上部を別途の部材なしで平らに
した後密封すれば、コストなどが少なくかかる。このよ
うに管の内部に小径管を挿入してシンブル管を作り、蒸
気の流動方向を変えることにより、両側に噴射される蒸
気状態の均一性を向上させようとしたものである。
【００６９】図１２は本発明に用いられる、流動圧力損
失が少なく且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内
部構造を示しているが、上部直径が小さく下部直径が大
きい円錐台筒を挿入して、上部と下部を塞ぎ下部の一部
を開放するが、塞がり部が傾いて加工される。
【００７０】図１３ａ乃至図１４ｂは、本発明に用いら
れる、流動圧力損失が少なく且つ交換可能なシンブル管
型蒸気噴射管の内部構造を示しているが、蒸気噴射管に
挿入される内部挿入物を外部に突出するように加工し、
蒸気噴射ノズルをこの内部挿入物のみに形成して、低コ
ストで製作される構造を見せる。
【００７１】図１２乃至図１４ｂは、管内部の一側面に
のみ蒸気噴射ノズル１１６が設けられ、シンブル管型蒸
気噴射管１１３’を作り、蒸気の流動方向を変えること
により、一側面に噴射される蒸気状態の均一性を向上さ
せようとしたものである。
【００７２】図１５ａ及び図１５ｂは本発明の高応答蒸
気発生装置２を示しているが、蒸気加湿器１に蒸気を供
給するように外部を取り囲んで下部の水を蓄えるケーシ
ング２０１と、水を加熱するヒーター２０２と、水を供
給するスプレーノズル２０３と、下部の水を排出する排
水口２０４とからなる蒸気発生装置２において、必要な
加湿負荷変動による応答性の高い高応答蒸気発生装置を
構成するために、一般にパン(pan)式加湿器１に用いら
れる含浸形湿式ヒーターとは異なり、ヒーターの外部を
長さの非常に短い多孔性媒質の金属構造や金属網、金属
製フィンでヒーターを取り囲んでおり、単位体積当り熱
伝達面積の非常に大きいアブソーバ (absorber)２０５
で構成し、水位をヒーターと多孔性金属上端部との間に
位置させた構造とする。
【００７３】前記ヒーターを取り囲んでいるアブソーバ
を必要に応じてヒーターに多数個挿入させて構成する。
【００７４】また、必要容量によって前記スプレーノズ
ル、ヒーター、排水口などは並列に複数個使用してシス
テムを構成することができる。
【００７５】前記アブソーバ２０５の断面形状は、円形
または四角形などの様々な形状に変形構成することがで
きる。
【００７６】従って、液体が毛細管力によってポンピン
グされ、多孔性金属上端部は、常に接水状態(wetting)
に維持されるだけでなく、ヒーターと液体との間に広い
熱伝達面積を有するようにする。
【００７７】また、ヒーターから発生した熱の伝達効率
を高めて加湿の応答性を高めることもできるように、長
手方向に多数の隙間をもっており、ヒーターによって生
成された気泡の離脱を容易にした構造とされており、加
熱負荷の制御応答性を向上させる構造を取っている。
【００７８】本発明は上述した特定の好ましい実施例に
限定されず、特許請求の範囲で請求する本発明の要旨を
外れることなく当該発明の属する技術分野で通常の知識
を有する者であれば誰でも多様な変形実施が可能なのは
もちろん、そのような変更は特許請求の範囲記載の範疇
内にある。
【００７９】
【発明の効果】以上説明した本発明の蒸気噴射式多重流
路シンブル管加湿器及び急速蒸気発生システムは、加湿
負荷量によって蒸気噴射管（シンブル管型蒸気噴射管）
の数を調節することにより大範囲の加湿量を調節するこ
とができ、蒸気噴射管（シンブル管型蒸気噴射管）に設
置されたノズルの数を調節することにより小範囲内の加
湿量を調節することができ、加湿管内に設けられた挿入
物による噴射蒸気状態の均一化による均一加湿が可能で
あって、クリーンルームのみならず半導体工程用加湿装
置に採用されて活用されることができるため、吸収の長
さの縮小及び加湿効率の向上によって生産性も高めるこ
とができる。
【００８０】更に、加湿が必要であれば、直ちに高応答
で蒸気発生器から蒸気を供給することができるという長
所がある。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の加湿器に対する全体組立図である。
【図２ａ】本発明の蒸気噴射管が垂直に設置された時の
組立平面図である。
【図２ｂ】本発明の蒸気噴射管が水平に設置された時の
組立正面図である。
【図３】本発明の加湿ノズルの蒸気噴射管の配置図であ
る。
【図４ａ】本発明の上流ヘッダと蒸気噴射管とを溶接結
合した場合の正断面図である。
【図４ｂ】本発明の上流ヘッダと蒸気噴射管とを溶接結
合した場合の側断面図である。
【図５】本発明の上流ヘッダと蒸気噴射管とを交換可能
なねじ締結手段によって結合した場合の断面図及び詳細
断面図である。
【図５ａ】本発明の上流ヘッダと蒸気噴射管とを交換可
能なねじ締結手段によって結合した場合の断面図であ
る。
【図５ｂ】本発明の上流ヘッダと蒸気噴射管とを交換可
能なねじ締結手段によって結合した場合の詳細断面図で
ある。
【図６】本発明の下流ヘッダと蒸気噴射管とを交換可能
なねじ締結手段によって結合した場合の断面図及び結合
詳細図である。
【図６ａ】支持バッフル板を示す断面図である。
【図６ｂ】開口度調節板を示す断面図である。
【図７ａ】本発明に使用した低速及び高速蒸気噴射用ノ
ズルと蒸気噴射管との組立図である。
【図７ｂ】本発明に使用した低速及び高速蒸気噴射用ノ
ズルと蒸気噴射管との組立図である。
【図８】本発明の上流ヘッダ及び下流ヘッダとシンブル
管型蒸気噴射管とを交換可能なねじ締結手段によって結
合した場合の組立図である。
【図９】本発明のシンブル管型蒸気噴射管及びノズルの
組立断面図である。
【図１０ａ】本発明による装置の平管、楕円管、菱形管
などのシンブル管型蒸気噴射管を示す断面図である。
【図１０ｂ】前記多様な蒸気噴射管に挿入されるＵ字形
側断面を有する流路ガイド用挿入物を示す断面図であ
る。
【図１１】０字形平断面を有する内部流路ガイド用挿入
物が挿入された本発明の平管、楕円管、菱形管形状のシ
ンブル管型蒸気噴射管を示す図である。
【図１２】本発明に用いられる、流動圧力損失が少なく
且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内部構造を示
す図である。
【図１３ａ】本発明に用いられる、流動圧力損失が少な
く且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内部構造を
示す図である。
【図１３ｂ】本発明に用いられる、流動圧力損失が少な
く且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内部構造を
示す図である。
【図１４ａ】本発明に用いられる、流動圧力損失が少な
く且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内部構造を
示す図である。
【図１４ｂ】本発明に用いられる、流動圧力損失が少な
く且つ交換可能なシンブル管型蒸気噴射管の内部構造を
示す図である。
【図１５ａ】本発明の高応答蒸気発生装置を示す図であ
る。
【図１５ｂ】本発明の高応答蒸気発生装置を示す図であ
る。
【符号の説明】
１ 加湿器 ２ 蒸気発生装置 １１１ 上流ヘッダ １１２ 下流ヘッダ １１３ 蒸気噴射管 １１３’ シンブル管型蒸気噴射管 １１４ 締結手段 １１５ 流動抵抗調節管 １１６ 蒸気噴射ノズル １１７ 連結管 １１８ 流動抵抗調節管固定用ナット １１８ａ 流動抵抗調節管固定用ナット締付用ナット １１８ｂ レンチ或いはスパナ用座溝 １１９ 蒸気噴射管固定用ナット １２０ 支持バッフル板及び開口度調節板固定用ナッ
ト １２１ Ｕ字形側断面を有する流路ガイド用挿入物 １２２ ０字形平断面を有する内部流路ガイド用挿入
物 １２３ 支持バッフル板 １２４ 開口度調節板 １２５ 蒸気供給用管 １２６ 蒸気供給遮断用バルブ １２７ 蒸気供給圧力調節用バルブ １２８ 気水分離器 １２９ ストレーナー １３０ 蒸気トラップ １３１ フェルール ２０１ ケーシング ２０２ ヒーター ２０３ スプレーノズル ２０４ 排水口 ２０５ アブソーバ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 パク ビョン−ギュ 大韓民国 ソウル市 ヤンチョン−ク シ ンジョン１ドン モクトン・アパート930 −104（番地なし) (72)発明者 チョウ ス−ヨン 大韓民国 キョンサンナム−ド チンジュ −シ ピョンゴ−ドン トゥルマル・ハン ボ・アパート105−1401（番地なし) (72)発明者 キム ジョン−ピル 大韓民国 キョンギ−ド コヤン−シ イ ルサン−ク ジャンハン−ドン ホス・マ ウル 311−1202（番地なし) (72)発明者 ジョン ヘ−リョン 大韓民国 ソウル市 カンナム−ク ドゴ ク−ドン ヨクサム・ラッキー・アパート 107−701（番地なし) (72)発明者 イ ジュン−シク 大韓民国 ソウル市 ヤンチョン−ク シ ンジョン１ドン モクトン・アパート1024 −1405（番地なし) Ｆターム(参考） 3L055 AA10 BA02 BB01 BC02 CA04 DA04

Claims (22)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 高応答加湿システムにおいて、 高応答加湿システムで必要な加湿容量に応じて応用上の
    柔軟性を高めることができるように多数の蒸気噴射管
    （１１３）をモジュール化して多重流路で構成し、前記
    蒸気噴射管（１１３）と両側の上流ヘッダ（１１１）及
    び下流ヘッダ（１１２）とを着脱用締結手段で結合し
    て、加湿容量に応じて流路を開閉し得るように構成した
    ことを特徴とする蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  2. 【請求項２】 前記蒸気噴射管（１１３）の断面を平
    管、楕円管、菱形管などのいろいろな幾何学的な形状と
    して、気流による流動抵抗を減らすように加工し、気流
    ダクト内に均一に蒸気噴射ノズル（１１６）を配置した
    ことを特徴とする請求項１記載の蒸気噴射式シンブル管
    加湿器。
  3. 【請求項３】 前記蒸気噴射ノズル（１１６）は、気流
    断面に均等に配置し、隣り合う蒸気噴射管（１１３）の
    ものとずれるように設置して、蒸気が外部空気の流動断
    面に均一に噴射されよく混合されるように構成したこと
    を特徴とする請求項２記載の蒸気噴射式シンブル管加湿
    器。
  4. 【請求項４】 前記蒸気噴射ノズルの孔を傾斜角β（−
    ６０°≦β≦＋６０°）で傾くように加工したことを特
    徴とする請求項２記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  5. 【請求項５】 前記噴射ノズルは、蒸気噴射管（１１
    ３）に弾塑性変形を用いた圧着ピン式、或いは丸頭プラ
    スねじに孔を加工して作ったねじ式のいずれかを選択し
    て使用することを特徴とする請求項２記載の蒸気噴射式
    シンブル管加湿器。
  6. 【請求項６】 前記噴射ノズルは、蒸気噴射管（１１
    ３）の外部空気によって供給される蒸気が冷却され凝縮
    が発生しても、重力によって凝縮水を下方に排出させ、
    凝縮液が蒸気と一緒に混ぜられて噴射されることを防止
    するように、ノズルを蒸気噴射管（１１３）の内部に突
    出させて構成したことを特徴とする請求項２記載の蒸気
    噴射式シンブル管加湿器。
  7. 【請求項７】 前記蒸気噴射管（１１３）は、上部に、
    両側端の上流ヘッダ（１１１）及び下流ヘッダ（１１
    ２）に突出し、各蒸気噴射管（１１３）の流路に流入さ
    れる蒸気量を調節し得るようにした流動抵抗調節管（１
    １５）を含み、蒸気噴射管（１１３）の回転によって蒸
    気噴射方向も任意に調節することができ、蒸気噴射ノズ
    ル（１１６）の蒸気噴出孔の数も調節することができる
    ように構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸気噴
    射式シンブル管加湿器。
  8. 【請求項８】 前記蒸気噴射管（１１３）に設けられた
    噴射ノズルを分離してボルト形状の密封体に置き換える
    ことにより、蒸気噴出口の数を調節することができるよ
    うにしたことを特徴とする請求項７記載の蒸気噴射式シ
    ンブル管加湿器。
  9. 【請求項９】 前記蒸気噴射管（１１３）の流動調節管
    は、蒸気ヘッダから蒸気噴射管（１１３）への流動抵抗
    を調節することにより均一な流量分配となるように、上
    下移動によって上流ヘッダ（１１１）内への挿入深さに
    変化を与えるように構成し、上部を傾くように切断加工
    することにより、傾斜面の方向回転による蒸気噴射管
    （１１３）の流入側から蒸気噴射管（１１３）内部への
    蒸気流入量の調節を可能としたことを特徴とする請求項
    ７記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  10. 【請求項１０】 前記流動調節管の上部切断角は、β
    （−６０°≦β≦＋６０°）であることを特徴とする請
    求項９記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  11. 【請求項１１】 前記蒸気噴射管（１１３）の下流ヘッ
    ダ（１１２）と結合する方の端は直角（９０°）に加工
    し、この部分に支持バッフル板（１２３）と開口調節板
    （１２４）を挿入することにより、凝縮水と流出蒸気量
    の調節を容易にして、多数の穿孔ホールが設けられた支
    持バッフル板（１２３）及び開口度調節板（１２４）の
    形状組合で圧力降下に応じて噴射される蒸気の比率を調
    節するように構成したことを特徴とする請求項１記載の
    蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  12. 【請求項１２】 蒸気噴射管（１１３）と上流ヘッダ
    （１１１）との締結手段（１１４）は、下部の外周縁に
    ねじ山が設けられた流動抵抗調節管（１１５）を上流ヘ
    ッダ（１１１）に直接溶接結合して固定させ、この流動
    抵抗調節管（１１５）に蒸気噴射管（１１３）を挿入
    し、流動抵抗調節管（１１５）の下端部に半径方向に傾
    くように加工された部分にフェルール（１３１）を結合
    させて密封させた後、蒸気噴射管（１１３）の外周に嵌
    められた蒸気噴射管固定用ナット（１１９）によって流
    動抵抗調節管（１１５）のねじ山に回転結合させたこと
    を特徴とする請求項１記載の蒸気噴射式シンブル管加湿
    器。
  13. 【請求項１３】 前記蒸気噴射管（１１３）と上流ヘッ
    ダ（１１１）との締結手段（１１４）は、 上流ヘッダ（１１１）にねじ山付きホールを加工し、前
    記ホールに流動抵抗調節管（１１５）を取り囲みながら
    支持固定する流動抵抗調節管固定用ナット（１１８）を
    直接挿入させ、このナットの下部に蒸気噴射管（１１
    ３）を挿入させた後、蒸気噴射管固定用ナット（１１
    ９）で結合させるが、 前記流動抵抗調節管固定用ナットの構造は、外部両端に
    ねじ山が設けられた上部ナット部と下部ナット部から構
    成し、内部に外周方向に係止突起を形成し、この上部ナ
    ット部の一側面にねじ山が設けられたホールを加工し、
    頭部のないボルトが挿入されて１点支持するように形成
    され、周り方向に上流ヘッダ（１１１）への挿入防止用
    突出顎を形成し、下端部を半径方向に傾くように加工し
    てフェルール（１３１）を結合した構造であることを特
    徴とする請求項１記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  14. 【請求項１４】 前記蒸気噴射管（１１３）と上流ヘッ
    ダ（１１１）との締結手段（１１４）は、 上流ヘッダ（１１１）にねじ山付きホールを加工し、前
    記ホールに流動抵抗調節管（１１５）を取り囲みながら
    支持固定する流動抵抗調節管固定用ナット（１１８）を
    直接挿入させ、このナットの下部に結合する流動抵抗調
    節管（１１５）及び蒸気噴射管（１１３）と同一の外径
    を有する流動抵抗調節管（１１５）の挿入深さ調節用連
    結管（１１７）を用いて流動抵抗調節管（１１５）及び
    蒸気噴射管（１１３）を結合させた後、前記連結管（１
    １７）を蒸気噴射管固定用ナット（１１９）で結合させ
    るが、 前記流動抵抗調節管固定用ナットの構造は、内周の上端
    にねじ山が設けられ、ねじ山の下に周り方向に係止突起
    が設けられ、一側面にねじ山が設けられたホールを加工
    し、頭部のないボルトが挿入されて１点支持するように
    形成され、下端部を傾くように加工してフェルール（１
    ３１）を結合した構造であることを特徴とする請求項１
    記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  15. 【請求項１５】 前記蒸気噴射管（１１３）と上流ヘッ
    ダ（１１１）との締結手段（１１４）は、 上流ヘッダ（１１１）にねじ山付きホールを加工し、前
    記ホールに流動抵抗調節管（１１５）を取り囲みながら
    支持固定する流動抵抗調節管固定用ナット（１１８）を
    直接挿入させた後、この流動抵抗調節管固定用ナット
    （１１８）を更に外部の固定ナット（１１８ａ）を用い
    て上流ヘッダ（１１１）に固定し、この流動抵抗調節管
    固定用ナット（１１８）の下部に蒸気噴射管（１１３）
    を挿入させた後、蒸気噴射管固定用ナット（１１９）で
    結合させるが、 前記流動抵抗調節管固定用ナットの構造は、内周全体に
    ねじ山が設けられており、中央の両側面にレンチ使用の
    ための座溝（１１８ｂ）が設けられ、一側面にねじ山が
    設けられたホールを加工して頭部のないボルトが挿入さ
    れ１点支持するように形成し、下端部が傾くように加工
    してフェルール（１３１）を装着した構造であることを
    特徴とする請求項１記載の蒸気噴射式シンブル管加湿
    器。
  16. 【請求項１６】 前記蒸気噴射管（１１３）と下流ヘッ
    ダ（１１２）との締結手段（１１４）は、 下流ヘッダ（１１２）にねじ山付きホールを加工し、前
    記ホールに支持バッフル板及び開口度調節板固定用ナッ
    ト（１２０）を直接挿入結合させ、更に支持バッフル
    板、開口度調節板及び蒸気噴射管（１１３）を挿入し、
    支持バッフル板及び開口度調節板固定用ナット（１２
    ０）の外部に流動抵抗調節管固定用ナット（１１８）を
    結合させるが、 支持バッフル板及び開口度調節板固定用ナット（１２
    ０）の構造は、外周両端にねじ山が設けられており、内
    部側には下部側の内径が小さくて蒸気噴射管（１１
    ３）、支持バッフル板（１２３）及び開口度調節板（１
    ２４）が係止されるようにした構造であることを特徴と
    する請求項１記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  17. 【請求項１７】 前記加湿容量に応じて流路を開閉する
    際に、蒸気噴射管（１１３）と結合する両側の上流ヘッ
    ダ（１１１）及び下流ヘッダ（１１２）を円筒形プラグ
    で結合して蒸気噴射管（１１３）の数を調節するように
    構成したことを特徴とする請求項１記載の蒸気噴射式シ
    ンブル管加湿器。
  18. 【請求項１８】 前記蒸気噴射管（１１３）はその内部
    に蒸気が迂回し得る流路を形成したシンブル管型蒸気噴
    射管（１１３’）としたことを特徴とする請求項１記載
    の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  19. 【請求項１９】 前記シンブル管型蒸気噴射管（１１
    ３’）の構造は、蒸気噴射管（１１３）の内部にＵ字形
    側断面を有する流路ガイド用挿入物（１２１）及び０字
    形平断面を有する内部支持挿入物（１２２）を挿入して
    流路を形成し、外部空気冷却による内部蒸気の不均一効
    果を補償することにより、噴射される蒸気がほぼ均一な
    状態を維持するように構成したことを特徴とする請求項
    １８記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  20. 【請求項２０】 前記シンブル管型蒸気噴射管（１１
    ３’）の外部管構造は、外部主流動の流動抵抗を減少し
    得る断面形状を平管、楕円管、菱形管などのいろいろ幾
    何学的な形状とし、両端部分を円形断面として、上部ヘ
    ッダ及び下部ヘッダにフェルール（１３１）が締結され
    漏洩が防止されるようにした締結構造であることを特徴
    とする請求項１８記載の蒸気噴射式シンブル管加湿器。
  21. 【請求項２１】 前記シンブル管型蒸気噴射管（１１
    ３’）の構造は、内部流路ガイド用挿入物を外部に一部
    突出して加工し、蒸気噴射ノズルをこの内部挿入物の一
    側に形成したことを特徴とする請求項１８記載の蒸気噴
    射式シンブル管加湿器。
  22. 【請求項２２】 蒸気加湿器に蒸気を供給するように外
    部を取り囲み下部の水を蓄えるケーシング（２０１）
    と、水を加熱するヒーター(２０２)と、水を供給するス
    プレーノズル（２０３）と、下部の水を排出する排水口
    （２０４）とからなる蒸気発生装置（２）において、 ヒーターの外部を長さの極めて短い多孔性媒質の金属構
    造や金属網、金属製フィンで包んでいて、液体が毛細管
    力によってポンピングされて多孔性金属上端部は常に接
    水状態(wetting)に維持されるだけでなく、ヒーターと
    液体との間に単位体積当り熱伝達面積の非常に大きい多
    数のアブソーバ（２０５）で構成し、且つヒーターから
    発生した熱の伝達効率を高めて加湿の応答性を高めるこ
    とができるように長手方向に多数の隙間を設けており、
    ヒーターによって生成された気泡の離脱を容易にした構
    造とし、加熱負荷の制御応答性を向上させたことを特徴
    とする急速蒸気発生装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009008338A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Shinko Kogyo Co Ltd 蒸気加湿器
JP2014219160A (ja) * 2013-05-09 2014-11-20 株式会社東芝 直接接触式復水器
JP2016010799A (ja) * 2015-07-27 2016-01-21 東芝三菱電機産業システム株式会社 二流体噴霧装置
CN109974105A (zh) * 2017-12-26 2019-07-05 天津市圣莱特净化设备有限公司 一种蒸汽快速扩散器

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100821770B1 (ko) 2006-09-28 2008-04-14 현대자동차주식회사 연료전지용 하이브리드 가습 장치
US7980535B2 (en) 2007-05-21 2011-07-19 Dristeem Corporation Demand activated steam dispersion system
US8356593B2 (en) * 2007-07-18 2013-01-22 Vapotherm, Inc. Delivery tube for breathing gas heating and humidification system
US8905023B2 (en) 2007-10-05 2014-12-09 Vapotherm, Inc. Hyperthermic humidification system
US8534645B2 (en) 2007-11-13 2013-09-17 Dri-Steem Corporation Heat exchanger for removal of condensate from a steam dispersion system
CA2644003C (en) 2007-11-13 2014-09-23 Dri-Steem Corporation Heat transfer system including tubing with nucleation boiling sites
KR100848933B1 (ko) * 2007-12-21 2008-07-29 주식회사 원방테크 크린룸내 직접분무식 기화가습장치
US8534644B2 (en) * 2008-01-16 2013-09-17 Dri-Steem Corporation Quick-attach steam dispersion tubes and method of attachment
US20090291424A1 (en) * 2008-05-22 2009-11-26 Welcome Jr Joseph Computer television
IT1400498B1 (it) * 2010-06-09 2013-06-11 Cerutti Ugello per l'erogazione di liquidi, in particolare per apparecchiature idrauliche per usi igienici, soffione munito di tali ugelli e apparecchiatura idraulica provvista di tale soffione.
EP2442040B1 (en) * 2010-10-12 2014-01-15 Carel Industries S.p.A. Steam distributor tube for airhumidifier comprising outer shell for thermally shielding
US10088180B2 (en) 2013-11-26 2018-10-02 Dri-Steem Corporation Steam dispersion system
KR101379293B1 (ko) * 2013-12-06 2014-03-31 애드카코리아 주식회사 이중관 증기 분사식 가습기
US10596345B2 (en) 2014-12-31 2020-03-24 Vapotherm, Inc. Systems and methods for humidity control
US10398871B2 (en) 2015-03-31 2019-09-03 Vapotherm, Inc. Systems and methods for patient-proximate vapor transfer for respiratory therapy
CA2943020C (en) * 2015-09-23 2023-10-24 Dri-Steem Corporation Steam dispersion system
WO2018071812A1 (en) 2016-10-14 2018-04-19 Vapotherm, Inc. Systems and methods for high velocity nasal insufflation
US11085656B2 (en) 2017-02-24 2021-08-10 Ademco Inc. Configurable electrode humidifier allowing for various injects
US20190000021A1 (en) * 2017-07-03 2019-01-03 Bill Wen-Chang Huang Rainmaking device
KR101981889B1 (ko) * 2018-03-14 2019-05-23 진종근 복합화력발전소의 배열회수보일러용 증기분사기
WO2020179939A1 (ko) * 2019-03-04 2020-09-10 주식회사 디에이치콘트롤스 복합화력발전소의 배열회수보일러용 증기분사기
KR102430063B1 (ko) * 2020-04-21 2022-08-05 나승원 빵 발효장치
CN112049993A (zh) * 2020-07-24 2020-12-08 中国航天空气动力技术研究院 能够快速更换的高压气流量测量与控制装置及更换方法
KR102479130B1 (ko) 2021-06-03 2022-12-19 (주)상일이엔지 회전식 도어 잠금장치

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US2687614A (en) * 1947-02-01 1954-08-31 Esther C Goddard Fuel admission device for resonance combustion apparatus
US3857514A (en) * 1970-09-03 1974-12-31 Armstrong Machine Works Steam dispersion manifold
US4980099A (en) * 1990-01-16 1990-12-25 The Babcock & Wilcox Company Airfoil lance apparatus for homogeneous humidification and sorbent dispersion in a gas stream
US5126080A (en) * 1991-04-18 1992-06-30 Dri Steem Humidifier Company Rapid absorption steam humidifying system
US5376312A (en) * 1991-04-18 1994-12-27 Dri Steem Humidifier Company Rapid absorption steam humidifying system

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009008338A (ja) * 2007-06-28 2009-01-15 Shinko Kogyo Co Ltd 蒸気加湿器
JP4716380B2 (ja) * 2007-06-28 2011-07-06 新晃工業株式会社 蒸気加湿器
JP2014219160A (ja) * 2013-05-09 2014-11-20 株式会社東芝 直接接触式復水器
JP2016010799A (ja) * 2015-07-27 2016-01-21 東芝三菱電機産業システム株式会社 二流体噴霧装置
CN109974105A (zh) * 2017-12-26 2019-07-05 天津市圣莱特净化设备有限公司 一种蒸汽快速扩散器

Also Published As

Publication number Publication date
JP3588600B2 (ja) 2004-11-10
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